JP3171965B2 - スピン洗浄乾燥装置 - Google Patents
スピン洗浄乾燥装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスピン洗浄乾燥装置に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示装置用ガラス基板を洗浄
する装置には、基板を回転させながら薬液により洗浄を
行う工程と、基板を高速回転させて乾燥を行う工程をも
ったスピン洗浄乾燥装置が用いられていた。
する装置には、基板を回転させながら薬液により洗浄を
行う工程と、基板を高速回転させて乾燥を行う工程をも
ったスピン洗浄乾燥装置が用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のスピン洗浄
乾燥装置にあっては、基板の乾燥工程においてエアーを
外部から吸入する必要がある。その際には、処理する基
板のサイズが大きくなるにつれて、同じ回転数でも外部
エアーの吸入量が大きくなるため、薬液を受けるスピン
カップ内の圧力が増大し、スピンカップの隙間からエア
ーやリンス液が洩れることがある。逆に処理基板が小さ
い場合には、スピンカップ内が負圧となり、本来エアー
を取り込みたくないスピンカップの隙間等の開口部より
エアーを取り込んでパーティクル付着の原因となった。
乾燥装置にあっては、基板の乾燥工程においてエアーを
外部から吸入する必要がある。その際には、処理する基
板のサイズが大きくなるにつれて、同じ回転数でも外部
エアーの吸入量が大きくなるため、薬液を受けるスピン
カップ内の圧力が増大し、スピンカップの隙間からエア
ーやリンス液が洩れることがある。逆に処理基板が小さ
い場合には、スピンカップ内が負圧となり、本来エアー
を取り込みたくないスピンカップの隙間等の開口部より
エアーを取り込んでパーティクル付着の原因となった。
【０００４】ガラス基板サイズが縦、横が３００ｍｍ，
３，０００ｍｍ及び５００ｍｍ，４５０ｍｍにおける従
来のパーティクル付着量を表１に示す。
３，０００ｍｍ及び５００ｍｍ，４５０ｍｍにおける従
来のパーティクル付着量を表１に示す。
【表１】 前記のように乾燥工程中にパーティクルが付着するのを
少なくして、エアーを効率的に取り込み、且つスピンカ
ップ内の圧力バランスをとる手段が要望されている。そ
こで、本発明においてはエアーの取込量を調整できるよ
うにした装置を提供しようとするものである。
少なくして、エアーを効率的に取り込み、且つスピンカ
ップ内の圧力バランスをとる手段が要望されている。そ
こで、本発明においてはエアーの取込量を調整できるよ
うにした装置を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、筺体内をスピンカップで上下に仕切り、上
部において、被洗浄物をスピンチャックで保持するステ
ージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リンスノズ
ルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被洗浄物
を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置におい
て、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシャワー
板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変用エアー
シャワー板を回転できるように設けてスピン洗浄乾燥装
置を構成した。
するために、筺体内をスピンカップで上下に仕切り、上
部において、被洗浄物をスピンチャックで保持するステ
ージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リンスノズ
ルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被洗浄物
を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置におい
て、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシャワー
板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変用エアー
シャワー板を回転できるように設けてスピン洗浄乾燥装
置を構成した。
【０００６】
【０００７】叉、筺体内をスピンカップで上下に仕切
り、上部において、被洗浄物をスピンチャックで保持す
るステージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リン
スノズルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被
洗浄物を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置
において、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシ
ャワー板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変用
エアーシャワー板を回転できるように設け、スピンカッ
プに排出管を設けて気液分離器と排気量を調整するダン
パを介して排気ブロアーで吸引する様に構成した。
り、上部において、被洗浄物をスピンチャックで保持す
るステージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リン
スノズルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被
洗浄物を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置
において、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシ
ャワー板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変用
エアーシャワー板を回転できるように設け、スピンカッ
プに排出管を設けて気液分離器と排気量を調整するダン
パを介して排気ブロアーで吸引する様に構成した。
【０００８】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、ステー
ジを回転させながら、上下部リンスノズルから被洗浄物
の上下部リンス液を放射して洗浄を行い、その後、ステ
ージを高速回転させて乾燥を行う。その乾燥中にスピン
カップの圧力に応じて、可変用エアーシャワー板を回転
させて取入口の開口面積を調整してスピンカップ内を大
気圧にし、同時に排気管からの排気量の調整をダンパー
の開閉角度の調整により行う。
ジを回転させながら、上下部リンスノズルから被洗浄物
の上下部リンス液を放射して洗浄を行い、その後、ステ
ージを高速回転させて乾燥を行う。その乾燥中にスピン
カップの圧力に応じて、可変用エアーシャワー板を回転
させて取入口の開口面積を調整してスピンカップ内を大
気圧にし、同時に排気管からの排気量の調整をダンパー
の開閉角度の調整により行う。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図１乃図２に基づいて詳細
に説明する。筺体１の内部をスピンカップ２で仕切って
水滴を受けるように形成する。そして、筺体１の底にス
ピン駆動部３を設置し、その一部をスピンカップ２を貫
通させ、軸４にステージ５を固定する。このステージ５
は、中央に円形の固定板６を設けて軸４に固定し、固定
板６の上面に十字形を形成するように固定腕７を４個所
に固定し、各固定腕７の自由端にガラス基板８を保持す
るスピンチャック９を設けている。
に説明する。筺体１の内部をスピンカップ２で仕切って
水滴を受けるように形成する。そして、筺体１の底にス
ピン駆動部３を設置し、その一部をスピンカップ２を貫
通させ、軸４にステージ５を固定する。このステージ５
は、中央に円形の固定板６を設けて軸４に固定し、固定
板６の上面に十字形を形成するように固定腕７を４個所
に固定し、各固定腕７の自由端にガラス基板８を保持す
るスピンチャック９を設けている。
【００１０】又、筺体１のスピンカップ２より上側の側
壁にリンスノズル駆動部１０を設け、これに上部リンス
ノズル１１を回動自在に取付け、上部リンスノズル１１
の角度を変化させることにより、ガラス基板８上へのシ
ャワー位置を変化させるようになっている。
壁にリンスノズル駆動部１０を設け、これに上部リンス
ノズル１１を回動自在に取付け、上部リンスノズル１１
の角度を変化させることにより、ガラス基板８上へのシ
ャワー位置を変化させるようになっている。
【００１１】又、筺体１の底にはスピンカップ２を貫通
しガラス基板の下面に薬液等をシャワーする下部リンス
ノズル１２を設置している。更に、筺体１の底にはスピ
ンカップ２を貫通してガラス基板８の下面に乾燥用の気
体を供給する下部ブローノズル１３を設置している。
しガラス基板の下面に薬液等をシャワーする下部リンス
ノズル１２を設置している。更に、筺体１の底にはスピ
ンカップ２を貫通してガラス基板８の下面に乾燥用の気
体を供給する下部ブローノズル１３を設置している。
【００１２】一方、昇降により筺体１を開閉することが
できる中心から外周に向かって多数の取入口１４，１
４，…をリング状に設けたエアーシャワー板１５の下面
中央にガラス基板８の上面に乾燥用の気体を供給する上
部ブローノズル１６を設けている。そして、エアーシャ
ワー板１５の上面に、開口形状が同じである取入口１
７，１７，…を設けた可変用エアーシャワー板１８が軸
１９でエアーシャワー板１５に回転自在に取付けられて
いる。この可変用エアーシャワー板１８は外周に歯を設
け、可変用エアーシャワー板駆動源２０で駆動される歯
車２１と噛合って回転して取入口１７，１７，…と取入
口１４，１４，…とで形成される開口面積を調整するよ
うになっている。
できる中心から外周に向かって多数の取入口１４，１
４，…をリング状に設けたエアーシャワー板１５の下面
中央にガラス基板８の上面に乾燥用の気体を供給する上
部ブローノズル１６を設けている。そして、エアーシャ
ワー板１５の上面に、開口形状が同じである取入口１
７，１７，…を設けた可変用エアーシャワー板１８が軸
１９でエアーシャワー板１５に回転自在に取付けられて
いる。この可変用エアーシャワー板１８は外周に歯を設
け、可変用エアーシャワー板駆動源２０で駆動される歯
車２１と噛合って回転して取入口１７，１７，…と取入
口１４，１４，…とで形成される開口面積を調整するよ
うになっている。
【００１３】又、筺体１のスピンカップ２より上側の側
壁にスピンカップ２の圧力を検出する圧力センサー２２
を取付け、その出力を制御装置２３に入力し、制御信号
により可変用エアーシャワー板駆動源２０を駆動して可
変用エアーシャワー板１８を回転させて取入口１７，１
７，…と１４，１４，…との開口面積を調整するように
なっている。
壁にスピンカップ２の圧力を検出する圧力センサー２２
を取付け、その出力を制御装置２３に入力し、制御信号
により可変用エアーシャワー板駆動源２０を駆動して可
変用エアーシャワー板１８を回転させて取入口１７，１
７，…と１４，１４，…との開口面積を調整するように
なっている。
【００１４】一方、スピンカップ２には両側に排出管２
４，２４を設けて処理後の薬液及び気体を気液分離器２
５に送り、気体と液体とに分離し、気体はダンパー２６
を介して排気ブロアー２７で排気し、液体は所定位置に
流出させる。尚、ダンパー２６は制御装置２３に接続さ
れ、コンダクタンスを制御するようになっている。
４，２４を設けて処理後の薬液及び気体を気液分離器２
５に送り、気体と液体とに分離し、気体はダンパー２６
を介して排気ブロアー２７で排気し、液体は所定位置に
流出させる。尚、ダンパー２６は制御装置２３に接続さ
れ、コンダクタンスを制御するようになっている。
【００１５】本実施例は前記のように構成したもので、
ガラス基板８は、縦、横、厚みが夫々３００ｍｍ、３０
０ｍｍ、１．１ｍｍであり、ステージ５のスピンチャッ
ク９で固定保持されている。筺体１を鎖線で示すように
可変用エアーシャワー板１８で蓋をした後にスピン駆動
部３によりステージ５を５００〜１，５００ｒｐｍで回
転させ、回転中にリンスノズル駆動部１０により上部リ
ンスノズル１１を回転させて所望位置で停止させ、１０
ｃｃ／ｍｉｎ〜３００ｃｃ／ｍｉｎの流量で純水を噴出
させてからガラス基板８の上面を洗浄する。
ガラス基板８は、縦、横、厚みが夫々３００ｍｍ、３０
０ｍｍ、１．１ｍｍであり、ステージ５のスピンチャッ
ク９で固定保持されている。筺体１を鎖線で示すように
可変用エアーシャワー板１８で蓋をした後にスピン駆動
部３によりステージ５を５００〜１，５００ｒｐｍで回
転させ、回転中にリンスノズル駆動部１０により上部リ
ンスノズル１１を回転させて所望位置で停止させ、１０
ｃｃ／ｍｉｎ〜３００ｃｃ／ｍｉｎの流量で純水を噴出
させてからガラス基板８の上面を洗浄する。
【００１６】一方、下部リンスノズル１２からガラス基
板８の下面に向かって、１０ｃｃ／ｍｉｎ〜３００ｃｃ
／ｍｉｎの流量で純水を噴出させて下面を洗浄する。
尚、上下リンスノズル１１，１２からの純水の噴出時間
は３ｓｅｃ〜１８０ｓｅｃであり、洗浄後の水はスピン
カップ２で受け、両排出管２４，２４から気液分離器２
５で排出される。
板８の下面に向かって、１０ｃｃ／ｍｉｎ〜３００ｃｃ
／ｍｉｎの流量で純水を噴出させて下面を洗浄する。
尚、上下リンスノズル１１，１２からの純水の噴出時間
は３ｓｅｃ〜１８０ｓｅｃであり、洗浄後の水はスピン
カップ２で受け、両排出管２４，２４から気液分離器２
５で排出される。
【００１７】洗浄後は、純水の吹出しを停止させ、スピ
ン駆動部を１，０００〜５，０００ｒｐｍの高速回転に
切替えてガラス基板８を高速回転させる。この高速回転
中に上下部ブローノズル１６，１３から窒素或はエアー
等の気体をガラス基板８の上下面に噴射し、水滴を吹き
払いながら乾燥を行う。この乾燥時間は３〜１８０ｓｅ
ｃである。
ン駆動部を１，０００〜５，０００ｒｐｍの高速回転に
切替えてガラス基板８を高速回転させる。この高速回転
中に上下部ブローノズル１６，１３から窒素或はエアー
等の気体をガラス基板８の上下面に噴射し、水滴を吹き
払いながら乾燥を行う。この乾燥時間は３〜１８０ｓｅ
ｃである。
【００１８】この一連の処理中にスピンカップ２の圧力
を大気圧に保持するため、圧力センサー２２の信号を制
御装置２３にとり込み、ダンパー２６のコンダクタンス
を一定とし、可変用エアーシャワー板駆動源２０を動作
させ、エアーシャワー板１５の開口面積を制御する。
又、ダンパー２６の開閉角度を調整して排気量の調整を
行うこともあり、前記実施例により洗浄乾燥を行った場
合のガラス基板表面のパーティクル数を表２に示す。
を大気圧に保持するため、圧力センサー２２の信号を制
御装置２３にとり込み、ダンパー２６のコンダクタンス
を一定とし、可変用エアーシャワー板駆動源２０を動作
させ、エアーシャワー板１５の開口面積を制御する。
又、ダンパー２６の開閉角度を調整して排気量の調整を
行うこともあり、前記実施例により洗浄乾燥を行った場
合のガラス基板表面のパーティクル数を表２に示す。
【表２】 表２と表１を比較すると、パーティクル付着量が減少し
ており、後工程へ及ぼす影響が減少した。尚、被洗浄物
はガラス基板に限定されるものではなくシリコンウエハ
等各種の板状物に実施することができる。
ており、後工程へ及ぼす影響が減少した。尚、被洗浄物
はガラス基板に限定されるものではなくシリコンウエハ
等各種の板状物に実施することができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明は前記のような構成、作用を有す
るから、被洗浄物の大小にかかわらずスピンカップ内の
圧力バランスをとることが可能となり、スピンカップの
隙間からエアーの出入り及びリンス液の洩れがなくなる
と共に、被洗浄物へのパーティクル付着が著しく減少
し、効率よく乾燥を行うことができる。又、被洗浄物の
サイズに影響されないため、エアーシャワー板や排気ブ
ロアーの交換が不要となった。
るから、被洗浄物の大小にかかわらずスピンカップ内の
圧力バランスをとることが可能となり、スピンカップの
隙間からエアーの出入り及びリンス液の洩れがなくなる
と共に、被洗浄物へのパーティクル付着が著しく減少
し、効率よく乾燥を行うことができる。又、被洗浄物の
サイズに影響されないため、エアーシャワー板や排気ブ
ロアーの交換が不要となった。
【００２０】
【図１】本発明に係るスピン洗浄乾燥装置の一実施例の
縦断面図。
縦断面図。
【図２】エアーシャワー板と可変用エアーシャワー板と
の関係を示す平面図。
の関係を示す平面図。
【符号の説明】 １ 筺体 ２ スピンカップ ３ スピン駆動部 ４ 軸 ５ ステージ ６ 固定板 ７ 固定腕 ８ 被洗浄物（ガラス基板） ９ スピンチャック １０ リンスノズル駆動部 １１ 上部リンスノズル １２ 下部リンスノズル １３ 下部ブローノズル １４ 取入口 １５ エアーシャワー板 １６ 上部ブローノズル １７ 取入口 １８ 可変用エアーシャワー板 １９ 軸 ２０ 可変用エアーシャワー板駆動源 ２１ 歯車 ２２ 圧力センサー ２３ 制御装置 ２４ 排出管 ２５ 気液分離器 ２６ ダンパー ２７ 排気ブロアー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−73626（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−39023（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−155622（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−232929（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−181134（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−54868（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−92289（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−126832（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B08B 3/02
Claims (2)
- 【請求項１】 筺体内をスピンカップで上下に仕切り、
上部において、被洗浄物をスピンチャックで保持するス
テージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リンスノ
ズルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被洗浄
物を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置にお
いて、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシャワ
ー板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変用エア
ーシャワー板を回転できるように設けたことを特徴とす
るスピン洗浄乾燥装置。 - 【請求項２】 筺体内をスピンカップで上下に仕切り、
上部において、被洗浄物をスピンチャックで保持するス
テージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リンスノ
ズルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被洗浄
物を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置にお
いて、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシャワ
ー板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変用エア
ーシャワー板を回転できるように設け、スピンカップに
排出管を設けて気液分離器と排気量を調整するダンパを
介して排気ブロアーで吸引することを特徴とするスピン
洗浄乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30435092A JP3171965B2 (ja) | 1992-10-19 | 1992-10-19 | スピン洗浄乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30435092A JP3171965B2 (ja) | 1992-10-19 | 1992-10-19 | スピン洗浄乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06126264A JPH06126264A (ja) | 1994-05-10 |
| JP3171965B2 true JP3171965B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=17931962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30435092A Expired - Fee Related JP3171965B2 (ja) | 1992-10-19 | 1992-10-19 | スピン洗浄乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3171965B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5975097A (en) * | 1996-09-02 | 1999-11-02 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus for target processing substrate |
| JP2002001240A (ja) * | 2000-06-15 | 2002-01-08 | Shibaura Mechatronics Corp | スピン処理装置 |
| WO2007108216A1 (ja) * | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Takahashi Metal Industries Co., Ltd. | 水系洗浄液を用いる洗浄装置 |
| US7635417B2 (en) * | 2006-05-05 | 2009-12-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. | Semiconductor apparatus and cleaning unit thereof |
| JP4884136B2 (ja) * | 2006-08-30 | 2012-02-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置および液処理方法 |
| JP5180661B2 (ja) * | 2008-04-18 | 2013-04-10 | 株式会社ディスコ | スピンナ洗浄装置および加工装置 |
| JP5405955B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2014-02-05 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP5973901B2 (ja) | 2012-12-13 | 2016-08-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法 |
| CN106733827B (zh) * | 2016-12-07 | 2019-05-28 | 无锡艾科瑞思产品设计与研究有限公司 | 一种酶标洗板机防溢流装置 |
| CN108787574A (zh) * | 2018-06-23 | 2018-11-13 | 芜湖通全科技有限公司 | 一种汽车零部件生产加工用清洗装置 |
| CN109174719B (zh) * | 2018-08-17 | 2020-05-22 | 普雷沃流体控制科技（芜湖）有限公司 | 一种阀门生产用自动清洗装置及其操作方法 |
-
1992
- 1992-10-19 JP JP30435092A patent/JP3171965B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06126264A (ja) | 1994-05-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080323 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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