JPH0766164A - 薄板状物の回転洗浄装置 - Google Patents
薄板状物の回転洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0766164A JPH0766164A JP23592793A JP23592793A JPH0766164A JP H0766164 A JPH0766164 A JP H0766164A JP 23592793 A JP23592793 A JP 23592793A JP 23592793 A JP23592793 A JP 23592793A JP H0766164 A JPH0766164 A JP H0766164A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- thin material
- thin plate
- cleaning liquid
- motor
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は超音波密度を下げて薄板状物に与え
るダメージをなくし、且つ洗浄効果を増進させる。 【構成】 薄板状物を回転させるように支持した支持盤
の上方に、薄板状物の回転中心から端部まで以上の長さ
のスリットを有する洗浄液ノズルを設置した薄板状物の
回転洗浄装置。
るダメージをなくし、且つ洗浄効果を増進させる。 【構成】 薄板状物を回転させるように支持した支持盤
の上方に、薄板状物の回転中心から端部まで以上の長さ
のスリットを有する洗浄液ノズルを設置した薄板状物の
回転洗浄装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエーハや液品
基板等の薄板状物を回転させながら洗浄する薄板状物の
回転洗浄装置に関するものである。
基板等の薄板状物を回転させながら洗浄する薄板状物の
回転洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の此種装置は図１，２に示すよう
に、薄板状物１を保持した支持盤２を垂直軸３で洗浄カ
ップ４内において回転自在支持している。垂直軸３の洗
浄カップ４外にはプーリ５を軸着し、モータ６のモータ
軸７に軸着したプーリ８とプーリ５とにベルト９を掛
け、モータ６の回転により薄板状物１を回転させる。一
方、薄板状物１の上方にはホース１０を接続した断面円
形状の洗浄液ノズル１１を設けて上面に超音波振動子１
２を固定し、スイングアーム１３の一端に固定されてい
る。スイングアーム１３の他端は可送モータ１４で正逆
回転するスイング軸１５に固定している。
に、薄板状物１を保持した支持盤２を垂直軸３で洗浄カ
ップ４内において回転自在支持している。垂直軸３の洗
浄カップ４外にはプーリ５を軸着し、モータ６のモータ
軸７に軸着したプーリ８とプーリ５とにベルト９を掛
け、モータ６の回転により薄板状物１を回転させる。一
方、薄板状物１の上方にはホース１０を接続した断面円
形状の洗浄液ノズル１１を設けて上面に超音波振動子１
２を固定し、スイングアーム１３の一端に固定されてい
る。スイングアーム１３の他端は可送モータ１４で正逆
回転するスイング軸１５に固定している。
【０００３】従来の装置は前記のように構成したもの
で、超音波振動子１２により超音波が印加された洗浄液
が洗浄液ノズル１１から供給され、モータ６の駆動によ
り常時薄板状物１を回転させて洗浄するようになってい
る。
で、超音波振動子１２により超音波が印加された洗浄液
が洗浄液ノズル１１から供給され、モータ６の駆動によ
り常時薄板状物１を回転させて洗浄するようになってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記洗浄液ノズル１１
は断面円形で形成されているので、洗浄時は絶えずスイ
ングアーム１３で洗浄液ノズル１１をスイングさせる必
要がある。そして、短時間に洗浄効果を上げるために
は、流水中に印加させる超音波の密度を大きくする必要
があるが、あまり大きくなると、薄板状物に超音波によ
るダメージが生じてしまう。
は断面円形で形成されているので、洗浄時は絶えずスイ
ングアーム１３で洗浄液ノズル１１をスイングさせる必
要がある。そして、短時間に洗浄効果を上げるために
は、流水中に印加させる超音波の密度を大きくする必要
があるが、あまり大きくなると、薄板状物に超音波によ
るダメージが生じてしまう。
【０００５】又、薄板状物の上の汚染された液を速やか
に飛ばすためには、遠心力を利用する必要がある。この
際の回転数と洗浄効果との関係を図６に示す。この図６
からも明らかなように、１，０００ｒｐｍ以上回転させ
ないと洗浄効果が上がらない。尚、１，０００ｒｐｍ以
上回転させたときには、汚染された液による水はねが、
薄板状物にはね返らないように注意する必要があった。
に飛ばすためには、遠心力を利用する必要がある。この
際の回転数と洗浄効果との関係を図６に示す。この図６
からも明らかなように、１，０００ｒｐｍ以上回転させ
ないと洗浄効果が上がらない。尚、１，０００ｒｐｍ以
上回転させたときには、汚染された液による水はねが、
薄板状物にはね返らないように注意する必要があった。
【０００６】そこで、本発明においては超音波の密度を
下げて薄板状物に与えるダメージをなくし、且つ洗浄効
果を増進させることができる装置を提供しようするもの
である。
下げて薄板状物に与えるダメージをなくし、且つ洗浄効
果を増進させることができる装置を提供しようするもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、薄板状物を回転させるように支持した支持
盤の上方に、薄板状物の回転中心から端部まで以上の長
さのスリットを有し、超音波振動子を固定した洗浄液ノ
ズルを設置した薄板状物の回転洗浄装置を構成した。
するために、薄板状物を回転させるように支持した支持
盤の上方に、薄板状物の回転中心から端部まで以上の長
さのスリットを有し、超音波振動子を固定した洗浄液ノ
ズルを設置した薄板状物の回転洗浄装置を構成した。
【０００８】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、薄板状
物を回転させ、上方の洗浄液ノズルのスリットから端部
より回転中心に至るまでの範囲に超音波を印加した洗浄
液を噴出して洗浄を行う。
物を回転させ、上方の洗浄液ノズルのスリットから端部
より回転中心に至るまでの範囲に超音波を印加した洗浄
液を噴出して洗浄を行う。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図１，２に基いて詳細に説
明する。回転装置は従来と同様で、薄板状物１を保持し
た支持盤２を垂直軸３で洗浄カップ４内に回転自在に支
持し、垂直軸３の軸端にプーリ５を軸着し、モータ６の
モータ軸７に軸着したフーリ８と前記プーリ５との間に
ベルト９を設け、モータ６の回転により薄板状物１を回
転させる。
明する。回転装置は従来と同様で、薄板状物１を保持し
た支持盤２を垂直軸３で洗浄カップ４内に回転自在に支
持し、垂直軸３の軸端にプーリ５を軸着し、モータ６の
モータ軸７に軸着したフーリ８と前記プーリ５との間に
ベルト９を設け、モータ６の回転により薄板状物１を回
転させる。
【００１０】一方、スイングアーム１２に固定する洗浄
液ノズル１６を円形の薄板状物１の場合には回転中心ま
での距離以上の矩形状に形成し、下面に長方形のスリッ
ト１７を形成する。このスリット１７の形状は長さが１
／２薄板状物１、巾は１〜５ｍｍのものを用いる。
液ノズル１６を円形の薄板状物１の場合には回転中心ま
での距離以上の矩形状に形成し、下面に長方形のスリッ
ト１７を形成する。このスリット１７の形状は長さが１
／２薄板状物１、巾は１〜５ｍｍのものを用いる。
【００１１】スイングアームには従来と同様に可逆モー
タ１４で回転するスイング軸１５に一端を固定し、洗浄
液ノズル１６は上面に超音波振動子１２を固定し、ホー
ス１０を接続している。
タ１４で回転するスイング軸１５に一端を固定し、洗浄
液ノズル１６は上面に超音波振動子１２を固定し、ホー
ス１０を接続している。
【００１２】本実施例は前記のように構成したもので、
洗浄作業を行はない場合には、図２に破線で示すよう
に、薄板状物１からの外れた位置に待機している。そし
て洗浄を行う際には可逆モータ１４を駆動してスイング
アーム１３をスイングさせて洗浄液ノズル１６を薄板状
物１の上方に位置させる。スリット１７の長さが８６ｍ
ｍの場合には、流量は４〜１０リットル／ｍｉｎとし
た。その際の超音波振動子の周波数は０．８０ＭＨｚで
あり、入力パワーは３０〜３００Ｗであった。前記の状
態でモータ６の駆動で薄板状物１を回転させて洗浄液ノ
ズル１７から洗浄液を噴射させて洗浄を行った。その結
果を図３に回転数と除去率の関係を示した。
洗浄作業を行はない場合には、図２に破線で示すよう
に、薄板状物１からの外れた位置に待機している。そし
て洗浄を行う際には可逆モータ１４を駆動してスイング
アーム１３をスイングさせて洗浄液ノズル１６を薄板状
物１の上方に位置させる。スリット１７の長さが８６ｍ
ｍの場合には、流量は４〜１０リットル／ｍｉｎとし
た。その際の超音波振動子の周波数は０．８０ＭＨｚで
あり、入力パワーは３０〜３００Ｗであった。前記の状
態でモータ６の駆動で薄板状物１を回転させて洗浄液ノ
ズル１７から洗浄液を噴射させて洗浄を行った。その結
果を図３に回転数と除去率の関係を示した。
【００１３】異物として０．５μｍのポリスチレン粒子
を使用して評価した。図６と比較して、低回転でも十分
な除去効果が得られる。この結果と従来装置との比較を
表１に示す。
を使用して評価した。図６と比較して、低回転でも十分
な除去効果が得られる。この結果と従来装置との比較を
表１に示す。
【表１】 表１は１５秒間洗浄した結果を示すもので、本発明の単
位面積当りの入力パワーは少ないにもかかわらず洗浄効
果が大きい。尚、洗浄液ノズルのスリットの長さは薄板
状物が方形の場合には対角線の長さの１／２以上ににす
ればよい。要するに回転中心までの距離以上に設定すれ
ばよいものである。
位面積当りの入力パワーは少ないにもかかわらず洗浄効
果が大きい。尚、洗浄液ノズルのスリットの長さは薄板
状物が方形の場合には対角線の長さの１／２以上ににす
ればよい。要するに回転中心までの距離以上に設定すれ
ばよいものである。
【００１４】
【発明の効果】本発明は前記のような構成、作用を有す
るから洗浄中心は従来のように、洗浄ノズルをスイング
させる必要がなく、低い回転速度で且つ低パワーで超音
波密度を低くして十分な洗浄効果を上げることができ
る。したがって、薄板状物にダメージを与えるようなこ
とが無い。
るから洗浄中心は従来のように、洗浄ノズルをスイング
させる必要がなく、低い回転速度で且つ低パワーで超音
波密度を低くして十分な洗浄効果を上げることができ
る。したがって、薄板状物にダメージを与えるようなこ
とが無い。
【００１５】
【図１】本発明に係る薄板状物の回転洗浄装置の一実施
例の断面図。
例の断面図。
【図２】その平面図。
【図３】回転数と除去率との関係を示す図。
【図４】従来装置の断面図。
【図５】その平面図。
【図６】その装置の回転数と除去率との関係を示す図。
１ 薄板状物 ２ 支持盤 ３ 垂直軸 ４ 洗浄カップ ５ プーリ ６ モータ ７ モータ軸 ８ プーリ ９ ベルト １０ ホース １１ 洗浄液ノズル １２ 超音波振動子 １３ スイングアーム １４ 可逆モータ １５ スイング軸 １６ 洗浄液ノズル １７ スリット
Claims (1)
- 【請求項１】 薄板状物を回転させるように支持した支
持盤の上方に、薄板状物の回転中心から端部まで以上の
長さのスリットを有し、超音波振動子を固定した洗浄液
ノズルを設置したことを特徴とする薄板状物の回転洗浄
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23592793A JPH0766164A (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | 薄板状物の回転洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23592793A JPH0766164A (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | 薄板状物の回転洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0766164A true JPH0766164A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16993306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23592793A Pending JPH0766164A (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | 薄板状物の回転洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0766164A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998001896A1 (fr) * | 1996-07-03 | 1998-01-15 | Ultraclean Technology Research Institute | Appareil de lavage et procede de lavage |
| US7766021B2 (en) * | 2005-11-30 | 2010-08-03 | Shibaura Mechatronics Corporation | Substrate treatment apparatus |
| US7958899B2 (en) * | 2007-08-21 | 2011-06-14 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate cleaning apparatus and substrate cleaning method |
| CN102921659A (zh) * | 2012-10-26 | 2013-02-13 | 北京泰拓精密清洗设备有限公司 | 回转喷淋清洗机 |
| CN108580385A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-09-28 | 安徽忠盛新型装饰材料有限公司 | 一种金属板材均匀清洗装置 |
| CN109794457A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-05-24 | 滨州职业学院 | 一种易于清理异物和消毒的病理科取材装置 |
-
1993
- 1993-08-30 JP JP23592793A patent/JPH0766164A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998001896A1 (fr) * | 1996-07-03 | 1998-01-15 | Ultraclean Technology Research Institute | Appareil de lavage et procede de lavage |
| US6325081B1 (en) | 1996-07-03 | 2001-12-04 | Kabushiki Kaisha Ultraclean Technology Research Institute | Washing apparatus and washing method |
| US7766021B2 (en) * | 2005-11-30 | 2010-08-03 | Shibaura Mechatronics Corporation | Substrate treatment apparatus |
| US7958899B2 (en) * | 2007-08-21 | 2011-06-14 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate cleaning apparatus and substrate cleaning method |
| CN102921659A (zh) * | 2012-10-26 | 2013-02-13 | 北京泰拓精密清洗设备有限公司 | 回转喷淋清洗机 |
| CN102921659B (zh) * | 2012-10-26 | 2015-02-04 | 北京泰拓精密清洗设备有限公司 | 回转喷淋清洗机 |
| CN108580385A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-09-28 | 安徽忠盛新型装饰材料有限公司 | 一种金属板材均匀清洗装置 |
| CN109794457A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-05-24 | 滨州职业学院 | 一种易于清理异物和消毒的病理科取材装置 |
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