JP5190495B2 - 液晶表示装置の作製方法 - Google Patents
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Description
下、TFTという)で構成された回路を有する液晶表示パネルに代表される電気光学装置
およびその様な電気光学装置を部品として搭載した電子機器に関する。
て薄膜トランジスタ(TFT)を構成する技術が注目されている。薄膜トランジスタはI
Cや電気光学装置のような電子デバイスに広く応用され、特に画像表示装置のスイッチン
グ素子として開発が急がれている。
置に比べ高精細な画像が得られることからアクティブマトリクス型の液晶表示装置が多く
用いられるようになっている。アクティブマトリクス型の液晶表示装置においては、マト
リクス状に配置された画素電極を駆動することによって、画面上に表示パターンが形成さ
れる。詳しくは選択された画素電極と該画素電極に対応する対向電極との間に電圧が印加
されることによって、画素電極と対向電極との間に配置された液晶層の光学変調が行われ
、この光学変調が表示パターンとして観察者に認識される。
の大面積化とともに、高精細化や高開口率化や高信頼性の要求が高まっている。また、同
時に生産性の向上や低コスト化の要求も高まっている。
置を提供することを課題とする。パネルサイズが大型化するにつれ、使用する材料のコス
トがかかる。特に画素電極と対向電極との間に配置される液晶材料は高価である。
、550mm×650mm、600mm×720mm、680mm×880mm、100
0mm×1200mm、1100mm×1250mm、1150mm×1300mmのよ
うな大面積基板に対して、効率よく液晶表示装置を作製する方法を提供するものである。
さらには、基板サイズが、1500mm×1800mm、1800mm×2000mm、
2000mm×2100mm、2200mm×2600mm、2600mm×3100m
mのような大面積基板を用いる量産に適した液晶表示装置の作製方法を提供する。
液晶注入口の封止などといった複雑な工程が必要である。特にパネルサイズが大型になる
と、毛細管現象を用いて液晶注入を行い、シールで囲まれた領域(少なくとも画素部を含
む)に液晶を充填することが困難となってくる。
晶材料を注入することとなるが、液晶注入口から画素領域まで延びている液晶材料の通り
道となる部分にも液晶を充填されてしまう。また、駆動回路部を画素部と同一基板に設け
た場合、画素部領域だけでなく駆動回路部と重なる部分にも液晶を充填する場合がある。
このように表示部となる領域以外の余分な部分にも液晶材料が充填されてしまう。
は、パネルのほかの部分に比べて極端に多くの液晶が通過する部分となり、注入の際に摩
擦が生じて配向膜表面が変化し、結果的に液晶の配向の乱れを生じさせる恐れもある。
に携帯機器への利用が注目されている。現在、ガラス基板や石英基板が多く使用されてい
るが、割れやすく、重いという欠点がある。また、大量生産を行う上で、ガラス基板や石
英基板は大型化が困難であり、不向きである。そのため、可撓性を有する基板、代表的に
はフレキシブルなプラスチックフィルムを基板として液晶表示装置を形成することが試み
られている。
の不純物に対してブロッキング効果が弱く、液晶表示装置としての信頼性が低くなってし
まう。そのため、プラスチックフィルムを用いた高性能な液晶表示装置は実現されていな
い。
基板上に液晶材料の滴下を真空(減圧下)で行った後、画素電極および柱状スペーサが設
けられた第2の可撓性基板と貼り合わせることによって作製される液晶表示装置を提供す
る。一対の可撓性基板の間隔を柱状スペーサで均一に保ちつつ、減圧下で貼り合わせるこ
とが好ましい。
い。また、シール材の描画は、減圧下で行ってもよいし、大気圧下の不活性雰囲気で行っ
てもよい。シール材には、溶媒が粘度を調節するために加えられることがあるため、減圧
下でシール描画を行う場合、シール材が変質、硬化しないように、揮発しにくい溶媒を含
むシール材を用いることが好ましい。
液晶材料で充填する。
い。また、可撓性基板上に保護膜を設け、画素電極上、即ち画素部上のみに液晶材料の滴
下(減圧下)を真空で行った後、シールが設けられた対向基板と貼り合わせてもよい。
グ法により成膜される窒化珪素膜の単層膜、または酸化珪素膜との積層膜とすることが望
ましい。
ナトリウム、リチウム、マグネシウム等のアルカリ金属又はアルカリ土類金属がTFT(
ポリシリコンTFT、アモルファスシリコンTFT、有機TFTなど)を汚染してしきい
値電圧の変動等を効果的に防ぎ、且つ、水分や酸素に対して極めて高いブロッキング効果
を有する。また、ブロッキング効果を高めるために、窒化珪素膜中における酸素及び水素
含有量は10原子%以下、好ましくは1原子%以下とすることが望ましい。
〜1.5Pa、周波数を13MHz〜40MHz、電力を5〜20W/cm2、基板温度
を室温〜350℃、シリコンターゲット(1〜10Ωcm)と基板との距離を40mm〜
200mm、背圧を1×10-3Pa以下とする。さらに基板裏面に加熱された希ガスを吹
き付けてもよい。例えば、流量比をAr:N2=20sccm:20sccmとし、圧力
を0.8Pa、周波数を13.56MHz、電力を16.5W/cm2、基板温度を20
0℃、シリコンターゲットと基板との距離を60mm、背圧を3×10-5Paとして得ら
れた緻密な窒化珪素膜は、エッチング速度(LAL500を用いて20℃でエッチングし
た際のエッチング速度をいう。以下、同じ。)が9nm以下(好ましくは、0.5〜3.
5nm以下)と遅く、水素濃度が1×1021atoms/cm-3以下(好ましくは、5×102
0atoms/cm-3以下)と低いという特徴を有している。なお、「LAL500」とは、橋
本化成株式会社製「LAL500 SAバッファードフッ酸」であり、NH4HF2(7.
13%)とNH4F(15.4%)の水溶液である。
91〜2.13、内部応力は4.17×108dyn/cm2、エッチング速度は0.77
〜1.31nm/minである。また、内部応力は、圧縮応力か引っ張り応力かで数値の
正負の符号が変わるが、ここでは絶対値のみを取り扱う。また、上記スパッタ法による窒
化珪素膜のRBSにより得られるSi濃度は37.3atomic%、N濃度は55.9atomic
%である。また、上記スパッタ法による窒化珪素膜のSIMSによる水素濃度は4×10
20atoms/cm-3、酸素濃度は8×1020atoms/cm-3、炭素濃度は、1×1019atoms
/cm-3である。また、上記スパッタ法による窒化珪素膜は可視光域において80%以上
の透過率を有している。窒化珪素膜(膜厚130nm)のSIMS測定結果を図5に示す
。
S測定を行った結果を図6に示す。この窒化珪素膜は、アルゴン濃度が1×1020〜1×
1021cm-3である。なお、表1に、上記酸化シリコン膜と上記窒化シリコン膜の代表的
な成膜条件の一例を示す。
水分などの不純物侵入を効果的に防ぐことができる保護膜として機能させる。
第1の可撓性基板と、第2の可撓性基板と、前記第1の可撓性基板と前記第2の可撓性基
板とからなる一対の基板間に保持された液晶と、を備えた液晶表示装置であり、
前記第1の基板または前記第2の基板上に無機絶縁膜と、
前記一対の基板の間隔を一定に保つための柱状スペーサとを有し、
前記一対の基板は閉じられたパターン形状を有するシール材で貼り合わされていることを
特徴とする液晶表示装置である。
ことを特徴としている。また、上記構成において、前記無機絶縁膜は水素濃度が1×10
21cm-3以下の窒化珪素膜であることを特徴としている。また、上記構成において、前記
無機絶縁膜は水素濃度が1×1021cm-3以下、かつ、酸素濃度が5×1018〜5×10
21cm-3の窒化珪素膜であることを特徴としている。
、他の発明の構成は、
第1の可撓性基板と、第2の可撓性基板と、前記第1の可撓性基板と前記第2の可撓性基
板とからなる一対の基板間に保持された液晶と、を備えた液晶表示装置であり、
前記第1の基板または前記第2の基板上に窒化珪素膜と酸化珪素膜との多層膜からなる無
機絶縁膜と、
前記一対の基板の間隔を一定に保つための柱状スペーサとを有し、
前記一対の基板は閉じられたパターン形状を有するシール材で貼り合わされていることを
特徴とする液晶表示装置である。
ことを特徴としている。
ば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリエ
チレンナフタレート(PEN)、ポリカーボネート(PC)、ナイロン、ポリエーテルエ
ーテルケトン(PEEK)、ポリスルホン(PSF)、ポリエーテルイミド(PEI)、
ポリアリレート(PAR)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリプロピレン、
ポリプロピレンサルファイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニレンオキサイド
、ポリフタールアミド、ポリイミドなどの有機樹脂からなるプラスチック基板が好ましい
。また、プラスチック基板(極性基のついたノルボルネン樹脂からなるARTON:JS
R製)を用いてもよい。
閉じられたシールパターン内に精度よく、滴下量を安定させることが重要である。なお、
インクジェット法は、画素電極に向けて微量の液晶を複数滴噴射(または滴下)で行なう
ものである。インクジェット法を用いることによって、吐出回数、または吐出ポイントの
数などで微量な液晶の量を自由に調節することができる。
ましい。液晶は減圧下で滴下を行っても変質、硬化などはおこらない。減圧下で液晶の滴
下(または噴射)を行う場合、予め減圧して脱泡処理が行われた液晶を用いてもよい。ま
た、液晶の滴下(または噴射)を行っている間、基板を加熱して液晶の脱気を行うととも
に液晶を低粘度化させる。また、必要であれば液晶の滴下後にスピンを行って膜厚の均一
化を図ってもよい。また、貼り合わせの作業は、貼り合わせる際に気泡が入らないように
減圧下で行うことが好ましい。
第1の基板と、第2の基板と、前記第1の基板と前記第2の基板とからなる一対の基板間
に保持された液晶と、を備えた液晶表示装置の作製方法であり、
前記第1の基板または前記第2の基板上に高周波スパッタリング法により無機絶縁膜を形
成する工程と、
前記第1の基板上に画素電極を形成する工程と、
前記第2の基板上に対向電極を形成する工程と、
前記第1の基板上に、前記一対の基板の間隔を一定に保つための柱状スペーサを形成する
工程と、
前記第2の基板上にシール材を描画して仮固定する工程と、
前記第2の基板上における前記シール材に囲まれた領域に液晶材料を減圧下で滴下する工
程と、
前記液晶材料を減圧下で加熱脱気する工程と、
減圧下で前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り合わせる工程と、
前記シール材を固定する工程と、を有することを特徴とする液晶表示装置の作製方法であ
る。
第1の基板と、第2の基板と、前記第1の基板と前記第2の基板とからなる一対の基板間
に保持された液晶と、を備えた液晶表示装置の作製方法であり、
前記第1の基板または前記第2の基板上に高周波スパッタリング法により無機絶縁膜を形
成する工程と、
前記第1の基板上に画素電極を形成する工程と、
前記第2の基板上に対向電極を形成する工程と、
前記第1の基板上に、前記一対の基板の間隔を一定に保つための柱状スペーサを形成する
工程と、
前記第1の基板上にシール材を描画して仮固定する工程と、
前記第1の基板上における前記シール材に囲まれた領域に液晶材料を減圧下で滴下する工
程と、
前記液晶材料を減圧下で加熱脱気する工程と、
減圧下で前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り合わせる工程と、
前記シール材を固定する工程と、を有することを特徴とする液晶表示装置の作製方法で
ある。
を有するプラスチック基板である。また、上記各構成において、前記無機絶縁膜はシリコ
ンをターゲットとした高周波スパッタリング法により作製される窒化珪素膜であることを
特徴としている。前記無機絶縁膜はターボ分子ポンプもしくはクライオポンプを用いて背
圧を1×10-3Pa以下とし、単結晶シリコンターゲットをN2ガスもしくはN2と希ガス
との混合ガスでスパッタして作製される窒化珪素膜であることを特徴としている。
なる。また、シールパターンは閉ループとするため、液晶注入口および通り道のシールパ
ターンは不要となる。従って、液晶注入時に生じる不良(例えば、配向不良など)がなく
なる。
料や熱硬化材料などと混合させて、滴下後に一対の基板間の接着強度を高めてもよい。
スト配向したTNモードを用いる場合が多い。TNモードの液晶表示装置を作製する場合
には、両基板に配向膜を形成し、ラビング処理などを行った後、基板のラビング方向が直
交するように貼り合わせる。
しい。また、画素部を囲み、液晶に接する第1のシールをさらに囲む第2のシールを設け
て2重に囲んでもよい。また、減圧下で貼りあわせる場合、第1のシールと第2のシール
との間には、液晶ではない充填材、例えば樹脂を充填することが好ましい。
た後、互いに貼り合わせてもよい。
ラーを含ませることによって維持すればよい。上記柱状のスペーサは、アクリル、ポリイ
ミド、ポリイミドアミド、エポキシの少なくとも1つを主成分とする有機樹脂材料、もし
くは酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素のいずれか一種の材料、或いはこれらの積層膜か
らなる無機材料であることを特徴としている。
ことによって、分断工程を省略することもできる。従来では、液晶注入口を端面に設ける
ために、貼り合わせ後に分断を行って端面に液晶注入口を形成していた。
た大気圧下、或いは減圧下で行われることを特徴としている。工程短縮のため、減圧下で
液晶を複数噴射し、そのまま減圧下で大気にふれることなく一対の基板を貼りあわせるこ
とが好ましい。
気中、或いは1〜5×104Paの真空中であることを特徴としている。
、希ガスその他の不活性ガスで充填された雰囲気(以下、不活性雰囲気という。)では1
×102〜2×104Pa(好ましくは、5×102〜5×103Pa)とすれば良い。
晶材料を間欠的に付着させることができる。また、前記液晶材料を連続的に付着させるこ
ともできる。
)〜200℃(ただし、プラスチック基板自体が変質しない範囲)に加熱してもよい。加
熱することによって液晶材料の脱気を行う。
型(アクティブマトリクス型)の2種類があり、どちらにも本発明を適用することができ
る。
としては、特に限定されず、結晶構造を有する半導体膜を活性層とするポリシリコンTF
T、非晶質構造を有する半導体膜を活性層とするアモルファスTFT、有機半導体膜を活
性層とする有機TFTを用いることができる。さらにTFTの活性層として、非晶質と結
晶構造(単結晶、多結晶を含む)の中間的な構造を有し、自由エネルギー的に安定な第3
の状態を有する半導体であって、短距離秩序を持ち格子歪みを有する結晶質な領域を含ん
でいるセミアモルファス半導体膜(微結晶半導体膜、マイクロクリスタル半導体膜とも呼
ばれる)も用いることができる。
ト型TFTや、ボトムゲート型(逆スタガ型)TFTや、順スタガ型TFTを用いること
ができる。本発明は、特にアクティブ型に有用であり、シリコンをターゲットとした高周
波スパッタリング法により成膜される窒化珪素膜の単層膜、または酸化珪素膜との積層膜
を保護膜に用いることによってTFTの劣化を抑え、信頼性を向上させることができる。
装置を実現できる。
ここでは、対向基板側にシール描画、液晶滴下を行う例を説明する。パネル作製の流れ
を以下に説明する。
る第1の基板110とを用意する。第1の基板110および第2の基板120としては可
撓性基板であり、透光性を有している基板であれば特に限定されないが、代表的にはプラ
スチック基板を用いる。TFTとしては、ポリシリコンを活性層とするTFT(ポリシリ
コンTFTとも呼ばれる)、アモルファスシリコンを活性層とするTFT(アモルファス
シリコンTFTとも呼ばれる)、有機半導体材料を活性層とするTFT(有機TFTとも
呼ばれる)のいずれかを用いればよい。
る効果が弱いので、本発明ではプラスチック基板の片面または両面に保護膜を形成する。
ここでは、片面側のみにスパッタ法で窒化シリコン膜を形成する。シリコンターゲットを
用いたRFスパッタ法により得られる緻密な窒化珪素膜は、ナトリウム、リチウム、マグ
ネシウム等のアルカリ金属又はアルカリ土類金属がTFTを汚染してしきい値電圧の変動
等を効果的に防ぎ、且つ、水分や酸素に対して極めて高いブロッキング効果を有する。ま
た、ブロッキング効果を高めるために、窒化珪素膜中における酸素及び水素含有量は10
原子%以下、好ましくは1原子%以下とすることが望ましい。
〜1.5Pa、周波数を13MHz〜40MHz、電力を5〜20W/cm2、基板温度
を室温〜350℃、シリコンターゲット(1〜10Ωcm)と基板との距離を40mm〜
200mm、背圧を1×10-3Pa以下とする。さらに基板裏面に加熱された希ガスを吹
き付けてもよい。
、第1の基板110にも保護膜113を形成する。第1の基板にはTFTなどを図示して
いないが、TFTの下地絶縁膜、層間絶縁膜、または保護膜として上記窒化シリコン膜を
少なくとも1層設ければよい。
第1の基板110上には透明導電膜からなる画素電極111を形成する。さらに第1の基
板110上には基板間隔を保持するための絶縁物からなる柱状スペーサ115を形成する
。(図1(B))また、両方の基板には、配向膜(図示しない)を形成し、ラビング処理
を行っておく。
アクリル系光硬化樹脂やアクリル系熱硬化樹脂を用いればよい。シール材112としては
フィラー(直径6μm〜24μm)を含み、且つ、粘度40〜400Pa・sのものを用
いる。なお、後に接する液晶に溶解しないシール材料を選択することが好ましい。このシ
ール材112は閉ループとなって表示領域を囲んでいる。ここでシール材の仮焼成を行う
。(図1(C))
減圧下で滴下する。(図1(D))液晶113としては、滴下可能な粘度を有する公知の
液晶材料を用いればよい。液晶ディスペンサにより無駄なく必要な量だけの液晶113を
シール材112に囲まれた領域に保持することができる。また、インクジェット法を用い
て液晶の滴下を行ってもよい。
た第2の基板120とを気泡が入らないように減圧下で貼りあわせる。(図1(F))
なお、紫外線照射に加えて、熱処理を行ってもよい。
徐々に大気圧に戻してもよい。また、減圧下で貼り合わせた後、一対の基板を加圧したま
ま紫外線照射や熱処理を行って、シール材を硬化させてもよい。
晶滴下、加熱脱気、貼り合わせの工程を連続して行う。さらにシール材の描画も減圧下で
行ってもよい。
ここでは、TFT基板側にシール描画、液晶滴下を行う例を説明する。
ない)が設けられている第1の基板210とを用意する。第1の基板210および第2の
基板220としては可撓性基板であり、透光性を有している基板であれば特に限定されな
いが、代表的にはプラスチック基板を用いる。
を形成し、第1の基板210にも保護膜223を形成する。(図2(A))第1の基板に
はTFTなどを図示していないが、TFTの下地絶縁膜、層間絶縁膜、または保護膜とし
て上記窒化シリコン膜を少なくとも1層設ければよい。
に第1の基板210上には基板間隔を保持するための絶縁物からなる柱状スペーサ215
を形成する。また、第2の基板220上に透明導電膜からなる対向電極222を形成する
。(図2(B))また、両方の基板には、配向膜(図示しない)を形成し、ラビング処理
を行っておく。
ト装置により描画する。シール材212としては、アクリル系光硬化樹脂やアクリル系熱
硬化樹脂を用いればよい。シール材212としてはフィラー(直径6μm〜24μm)を
含み、且つ、粘度40〜400Pa・sのものを用いる。なお、後に接する液晶に溶解し
ないシール材料を選択することが好ましい。このシール材212は閉ループとなって表示
領域を囲んでいる。ここでシール材の仮焼成を行う。(図2(C))
減圧下で滴下する。(図2(D))液晶213としては、滴下可能な粘度を有する公知の
液晶材料を用いればよい。液晶ディスペンサにより無駄なく必要な量だけの液晶213を
シール材212に囲まれた領域に保持することができる。また、インクジェット法を用い
て液晶の滴下を行ってもよい。
よる液晶層形成の途中の断面図を示しており、シール材312で囲まれた画素部311を
覆うように液晶材料314を液晶ディスペンサ318から滴下、または、吐出させている
。液晶ディスペンサ318を移動させてもよいし、液晶ディスペンサ318を固定し、基
板を移動させることによって液晶層を形成してもよい。また、複数の液晶ディスペンサ3
18を設置して一度に液晶を滴下してもよい。
に液晶材料314を滴下、または吐出させている。
液晶材料は、図3(C)に示すように滴下される。
ペーサ、323は配向膜、324は保護膜(ここではRFスパッタ法による窒化珪素膜)
をそれぞれ指している。画素部311は、マトリクス状に配置された画素電極と、該画素
電極と接続されているスイッチング素子、ここでは逆スタガ型TFTと、保持容量(図示
しない)とで構成されている。
を低粘度化させて膜厚を均一にする。
た第2の基板220とを気泡が入らないように減圧下で貼りあわせる。(図2(F))
装置の例を示す。
49は光源である。
粘度を下げることもできる。また、第2基板支持台には窓44が設けられており、光源4
9からの紫外光などを通過させるようになっている。ここでは図示していないが窓44を
通して基板の位置アライメントを行う。また、対向基板となる第2の基板31は予め、所
望のサイズに切断しておき、台42に真空チャックなどで固定しておく。図4(A)は貼
り合わせ前の状態を示している。
第1基板35と第2基板31を貼り合わせ、そのまま紫外光を照射することによって仮硬
化させる。貼り合わせ後の状態を図4(B)に示す。
)なお、紫外線照射に加えて、熱処理を行ってもよい。
徐々に大気圧に戻してもよい。また、減圧下で貼り合わせた後、一対の基板を加圧したま
ま紫外線照射や熱処理を行って、シール材を硬化させてから徐々に大気圧に戻してもよい
。
晶滴下、加熱脱気、貼り合わせの工程を連続して行う。さらにシール材の描画も減圧下で
行ってもよい。
、スクライバー装置、ロールカッターなどの切断装置やブレイカー装置を用いて第1の基
板を切断する。こうして、1枚の基板から4つのパネルを作製することができる。
こととする。
示す。
サイズとしては、600mm×720mm、680mm×880mm、1000mm×1
200mm、1100mm×1250mm、1150mm×1300mm、1500mm
×1800mm、1800mm×2000mm、2000mm×2100mm、2200
mm×2600mm、または2600mm×3100mmのような大面積基板を用い、製
造コストを削減することが好ましい。用いることのできる基板として、コーニング社の#
7059ガラスや#1737ガラスなどに代表されるバリウムホウケイ酸ガラスやアルミ
ノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板を用いることができる。更に他の基板として、石英
基板、プラスチック基板などの透光性基板を用いることもできる。
た後、第1のフォトリソグラフィー工程を行い、レジストマスクを形成し、エッチングに
より不要な部分を除去して配線及び電極(ゲート電極、保持容量配線、及び端子など)を
形成する。なお、必要があれば、基板600上に下地絶縁膜を形成する。
元素、前記元素を成分とする合金、または前記元素を成分とする窒化物で形成する。さら
に、Ti、Ta、W、Mo、Cr、Ndから選ばれた元素、前記元素を成分とする合金、
または前記元素を成分とする窒化物から複数選択し、それを積層することもできる。
なる問題が発生し、消費電力の増大を引き起こす。よって、配線抵抗を下げ、低消費電力
を実現するために、上記の配線及び電極の材料としては、Cu、Al、Ag、Au、Cr
、Fe、Ni、Ptまたはこれらの合金を用いることもできる。また、Ag、Au、Cu
、またはPdなどの金属からなる超微粒子(粒径5〜10nm)を凝集させずに高濃度で
分散した独立分散超微粒子分散液を用い、インクジェット法で上記の配線及び電極を形成
してもよい。
膜と酸化シリコン膜の積層を用い、膜厚を50〜200nmとし、好ましくは150nm
の厚さで形成する。尚、ゲート絶縁膜は積層に限定されるものではなく酸化シリコン膜、
窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化タンタル膜などの絶縁膜を用いることもでき
る。
1の非晶質半導体膜を、プラズマCVD法やスパッタ法などの公知の方法で全面に成膜す
る。代表的には非晶質シリコン(a−Si)膜を100nmの膜厚で成膜する。なお、大
面積基板に成膜する際、チャンバーも大型化するためチャンバー内を真空にすると処理時
間がかかり、成膜ガスも大量に必要となるため、大気圧で線状のプラズマCVD装置を用
いて非晶質シリコン(a−Si)膜の成膜を行ってさらなる低コスト化を図ってもよい。
0〜80nmの厚さで成膜する。一導電型(n型またはp型)を付与する不純物元素を含
む第2の非晶質半導体膜は、プラズマCVD法やスパッタ法などの公知の方法で全面に成
膜する。本実施例ではリンが添加されたシリコンターゲットを用いてn型の不純物元素を
含有する第2の非晶質半導体膜を成膜する。
より不要な部分を除去して島状の第1の非晶質半導体膜、および島状の第2の非晶質半導
体膜を形成する。この際のエッチング方法としてウエットエッチングまたはドライエッチ
ングを用いる。
トリソグラフィー工程を行い、レジストマスクを形成し、エッチングにより不要な部分を
除去して配線及び電極(ソース配線、ドレイン電極、保持容量電極など)を形成する。上
記の配線及び電極の材料としては、Al、Ti、Ta、W、Mo、Cr、Nd、Cu、A
g、Au、Cr、Fe、Ni、Ptから選ばれた元素、または前記元素を成分とする合金
で形成する。また、Ag、Au、Cu、またはPdなどの金属からなる超微粒子(粒径5
〜10nm)を凝集させずに高濃度で分散した独立分散超微粒子分散液を用い、インクジ
ェット法で上記の配線及び電極を形成してもよい。インクジェット法で上記の配線及び電
極を形成すれば、フォトリソグラフィー工程が不要となり、さらなる低コスト化が実現で
きる。
より不要な部分を除去してソース配線、ドレイン電極、容量電極を形成する。この際のエ
ッチング方法としてウエットエッチングまたはドライエッチングを用いる。この段階でゲ
ート絶縁膜と同一材料からなる絶縁膜を誘電体とする保持容量が形成される。そして、ソ
ース配線、ドレイン電極をマスクとして自己整合的に第2の非晶質半導体膜の一部を除去
し、さらに第1の非晶質半導体膜の一部を薄膜化する。薄膜化された領域はTFTのチャ
ネル形成領域となる。
、150nm厚の酸化窒化シリコン膜から成る第1の層間絶縁膜を全面に成膜する。なお
、大面積基板に成膜する際、チャンバーも大型化するためチャンバー内を真空にすると処
理時間がかかり、成膜ガスも大量に必要となるため、大気圧で線状のプラズマCVD装置
を用いて窒化シリコン膜からなる保護膜の成膜を行ってさらなる低コスト化を図ってもよ
い。この後、水素化を行い、チャネルエッチ型のTFTが作製される。
造は特に限定されず、チャネルストッパー型のTFT、トップゲート型のTFT、或いは
順スタガ型のTFTとしてもよい。
、ターボ分子ポンプもしくはクライオポンプを用いて背圧を1×10-3Pa以下とし、単
結晶シリコンターゲットをN2ガスもしくはN2と希ガスとの混合ガスでスパッタして作製
される窒化珪素膜である。この緻密な窒化珪素膜は、ナトリウム、リチウム、マグネシウ
ム等のアルカリ金属又はアルカリ土類金属がTFTを汚染してしきい値電圧の変動等を効
果的に防ぎ、且つ、水分や酸素に対して極めて高いブロッキング効果を有する。また、ブ
ロッキング効果を高めるために、窒化珪素膜中における酸素及び水素含有量は10原子%
以下、好ましくは1原子%以下とすることが望ましい。
ライエッチング工程により、ドレイン電極や保持容量電極に達するコンタクトホールを形
成する。また、同時にゲート配線と端子部を電気的に接続するためのコンタクトホール(
図示しない)を端子部分に形成し、ゲート配線と端子部を電気的に接続する金属配線(図
示しない)を形成してもよい。また、同時にソース配線に達するコンタクトホール(図示
しない)を形成し、ソース配線から引き出すための金属配線を形成してもよい。これらの
金属配線を形成した後にITO等の画素電極を形成してもよいし、ITO等の画素電極を
形成した後にこれらの金属配線を形成してもよい。
O3―ZnO)、酸化亜鉛(ZnO)等の透明電極膜を110nmの厚さで成膜する。そ
の後、第6のフォトリソグラフィー工程とエッチング工程を行うことにより、画素電極6
01を形成する。
スタガ型の画素部のTFT及び保持容量と、端子部で構成されたアクティブマトリクス基
板を作製することができる。
お、本実施例では配向膜623を形成する前に、アクリル樹脂膜等の有機樹脂膜をパター
ニングすることによって基板間隔を保持するための柱状のスペーサ602を所望の位置に
形成した。また、柱状のスペーサに代えて、球状のスペーサを基板全面に散布してもよい
。
配置されたカラーフィルタ620が設けられている。また、このカラーフィルタと遮光層
とを覆う平坦化膜を設けている。次いで、平坦化膜上に透明導電膜からなる対向電極62
1を画素部と重なる位置に形成し、対向基板の全面に配向膜622を形成し、ラビング処
理を施す。
スペンサ装置、またはインクジェット装置でシール材を描画する。シール材を描画した後
、減圧下でシール材に囲まれた領域に液晶ディスペンサ装置で液晶を滴下する。次いで、
大気にふれることなく、減圧下でアクティブマトリクス基板と対向基板とをシール材60
7で貼り合わせる。シール材607にはフィラー(図示しない)が混入されていて、この
フィラーと柱状スペーサ602によって均一な間隔を持って2枚の基板が貼り合わせられ
る。液晶を滴下する方法を用いることによって作製プロセスで使用する液晶の量を削減す
ることができ、特に、大面積基板を用いる場合に大幅なコスト低減を実現することができ
る。
ば、アクティブマトリクス基板または対向基板を所望の形状に分断する。さらに、公知の
技術を用いて偏光板603やカラーフィルタ等の光学フィルムを適宜設ける。そして、公
知の技術を用いてFPCを貼りつける。
設け、カバー606で覆えば、図7にその断面図の一部を示したようなアクティブマトリ
クス型液晶表示装置(透過型)が完成する。なお、カバーと液晶モジュールは接着剤や有
機樹脂を用いて固定する。また、透過型であるので偏光板603は、アクティブマトリク
ス基板と対向基板の両方に貼り付ける。
示装置も作製することができる。反射型の液晶表示装置を得る場合は、画素電極として光
反射率の高い金属膜、代表的にはアルミニウムまたは銀を主成分とする材料膜、またはそ
れらの積層膜等を用いればよい。
、実施例1と異なる液晶モジュールの上面図を図8(B)に示す。
度が小さく1cm2/Vsec程度しか得られていない。そのために、画像表示を行うた
めの駆動回路はICチップで形成され、TAB(Tape Automated Bon
ding)方式やCOG(Chip on glass)方式で実装することとなる。
素部、707はシール材、705はFPCである。なお、減圧下で液晶をディスペンサ装
置またはインクジェット装置により滴下させ、一対の基板701、706をシール材70
7で貼り合わせている。
量産する場合、低温プロセスであり作製プロセスにかかるコストを低減することができる
。減圧下で液晶をディスペンサ装置またはインクジェット装置により滴下させ、一対の基
板を貼り合わせる本発明により、基板サイズに関係なく一対の基板間に液晶を保持させる
ことができるようになるため、20インチ〜80インチの大画面を有する液晶パネルを備
えた表示装置を作製することができる。
膜、代表的にはポリシリコン膜で活性層を構成した場合、電界効果移動度の高いTFTが
得られるため、画素部だけでなく、CMOS回路を有する駆動回路をも同一基板上に作製
することができる。また、駆動回路に加えCPUなども同一基板上に作製することができ
る。
モジュールを作製することができる。
ース信号線駆動回路、713はゲート信号線駆動回路、714は画素部、717は第1シ
ール材、715はFPCである。なお、減圧下で液晶をディスペンサ装置またはインクジ
ェット装置により滴下させ、一対の基板711、716を第1シール材717および第2
シール材で貼り合わせている。駆動回路部712、713には液晶は不要であるため、画
素部714のみに液晶を保持させており、第2シール材718はパネル全体の補強のため
に設けられている。
とができる。
形成したアクティブマトリクス基板を作製する例を示したが、本実施例では、ガラス基板
に形成した素子を剥離して可撓性基板に転写する例を示す。
の基板は後の剥離工程に耐えうる剛性を有していればよく、例えばガラス基板、石英基板
、セラミック基板、シリコン基板、金属基板またはステンレス基板を用いることができる
。金属膜としては、W、Ti、Ta、Mo、Nd、Ni、Co、Zr、Zn、Ru、Rh
、Pd、Os、Irから選ばれた元素または前記元素を主成分とする合金材料若しくは化
合物材料からなる単層、或いはこれらの積層を用いることができる。金属膜の作製方法と
して例えば、金属のターゲットを用いるスパッタリング法により形成すればよい。なお金
属膜の膜厚は、10nm〜200nm、好ましくは50nm〜75nmとなるように形成
すればよい。
ン)膜を用いても構わない。また金属膜の代わりに上記金属の合金(例えば、WとMoと
の合金:WxMo1-X)膜を用いてもよい。この場合、成膜室内に第1の金属(W)及び第
2の金属(Mo)といった複数のターゲットを用いたり、第1の金属(W)と第2の金属
(Mo)との合金のターゲットを用いたスパッタリング法により形成すればよい。また更
に、金属膜に窒素や酸素を添加してもよい。添加する方法として例えば、金属膜に窒素や
酸素をイオン注入したり、成膜室を窒素や酸素雰囲気としてスパッタリング法により形成
したりすればよく、このときターゲットとして窒化金属を用いてもよい。
ときがある。そのため、ドライエッチングによって周縁部の膜を除去することが好ましい
が、その際、第1の基板がエッチングされないために、第1の基板10と金属膜11との
間に窒化酸化珪素(SiONやSiNO)膜等の窒素を有する絶縁膜を100nm程度形
成するとよい。
き、プロセスマージンが広がる。すなわち、例えば、金属の合金を用いた場合、合金の各
金属の組成比を制御することにより、剥離工程を制御できる。具体的には、剥離するため
の加熱温度の制御や、加熱処理の要否までも制御することができる。
と半導体膜を有し、非接触型ICの場合にはアンテナを有してもよい。金属膜や基板から
の不純物やゴミの侵入を防ぐため、被剥離層12、特に半導体膜より下面に窒化珪素(S
iN)膜、窒化酸化珪素(SiONやSiNO)膜等の窒素を有する絶縁膜を下地膜とし
て設けると好ましい。
リコン等を形成すればよい。なお珪素を有する酸化膜の膜厚は、金属膜の約2倍以上であ
ることが望ましい。本実施の形態では、シリコンターゲットを用いたスパッタリング法に
より、酸化シリコン膜を150nm〜200nmの膜厚として形成する。
属酸化物)13が形成される。また金属酸化物は、硫酸、塩酸或いは硝酸を有する水溶液
、硫酸、塩酸或いは硝酸と過酸化水素水とを混同させた水溶液又はオゾン水で処理するこ
とにより金属膜表面に形成される薄い金属酸化物を用いることもできる。更に他の方法と
しては、酸素雰囲気中でのプラズマ処理や、酸素含有雰囲気中で紫外線照射することによ
りオゾンを発生させて酸化処理を行ってもよく、クリーンオーブンを用い200〜350
℃程度に加熱して形成してもよい。
に好ましくは0.1nm〜5nmとなるように形成すればよい。
縁膜と表記する。すなわち、金属膜と、金属酸化物と、絶縁膜と、半導体膜とが積層され
た状態、つまり絶縁膜の一方の面に半導体膜が設けられ、他方の面に金属酸化物及び金属
膜が設けられる構造となっていればよい。
)、有機TFT、薄膜ダイオード等を形成する。これらの半導体素子が薄膜集積回路のC
PUやメモリ等を構成する。そして半導体素子を保護するために、半導体素子上にDLC或
いは窒化炭素(CN)等の炭素を有する保護膜、又は窒化珪素(SiN)或いは窒化酸化
珪素(SiNOやSiON)等の窒素を有する保護膜を設けると好ましい。
い、金属酸化物を結晶化させる。例えば、金属膜にW(タングステン)を用いる場合、4
00℃以上で加熱処理を行うと、WO2又はWO3の金属酸化物が結晶状態となる。また被
剥離層12が有する半導体膜を形成後に加熱を行うと、半導体膜の水素を拡散させること
ができる。この水素により金属酸化物の価数に変化が起こる場合が考えられる。このよう
な加熱処理は、選択される金属膜により温度や要否を決定すればよい。すなわち剥離を容
易に行うために、必要に応じて金属酸化物を結晶化しておけばよい。
結晶性半導体膜を形成する場合の加熱炉やレーザ照射を用いて加熱処理を行うことができ
る。
貼り付ける。なお、第2の基板14は第1の基板10よりも剛性の高い基板を用いること
が好ましい。第1の接着剤15としては剥離可能な接着剤、例えば紫外線により剥離する
紫外線剥離型、熱による剥離する熱剥離型或いは水により剥離する水溶性の接着剤、又は
両面テープ等を使用するとよい。
(図9(C))。図面は模式図であるため記載していないが、結晶化された金属酸化物の
層内、又は金属酸化物の両面の境界(界面)、すなわち金属酸化物と金属膜との界面或い
は金属酸化物と被剥離層との界面で剥がれる。こうして、被剥離層12を第1の基板10
から剥離することができる。
わち金属膜と金属酸化物との界面付近にカッター等で傷を付けるとよい。
写体となる第3の基板(例えばラベル)17に貼り付ける。第2の接着剤15としては紫
外線硬化樹脂、具体的にはエポキシ樹脂系接着剤或いは樹脂添加剤等の接着剤又は両面テ
ープ等を用いればよい。また第3の基板が接着性を有する場合は、第2の接着剤は要しな
い。
ポリアリレート或いはポリエーテルスルフォン等のプラスチック材料などのフレキシブル
(可撓)性を有する基板(フィルム基板と表記する)用いることができる。またコーティ
ング等により、フィルム基板表面の凹凸を低減させたり、硬性、耐性や安定性を高めてお
いてもよい。
には、第1の接着剤を剥がすために紫外線照射を照射したり、加熱したり、水洗したりす
ればよい。
1の接着剤と第2の接着剤とを、それぞれ熱剥離型樹脂と熱硬化型樹脂、又は紫外線剥離
型樹脂と紫外線硬化型樹脂とを用いる場合、一度の加熱や紫外線照射により除去と硬化と
を行うことができる。なお実施者が、第3の基板の透光性等を考慮して適宜接着剤を選択
する。
板上に形成した電気特性の高いスイッチング素子を剥離し、プラスチック基板に転写した
アクティブマトリクス基板が完成する。
は大部分が被剥離層下面に点在(残留)している場合がある。なお金属酸化物が残留して
いる場合は、エッチング等により除去してもよい。更にこのとき、珪素を有する酸化膜を
除去しても構わない。
ができる。
メモリーを含む被剥離層を形成し、実施例3の剥離転写技術を用いてプラスチック基板に
転写した例を図10を用いて説明する。
1003は演算部、1004は記憶部(メモリーとも呼ばれる)、1005は入力部、1
006は出力部(表示部など)である。
部1003は、加算、減算の算術演算やAND、OR、NOTなどの論理演算を行う算術
論理演算部(arithmetic logic unit,ALU)、演算のデータや結果を一時格納する種
々のレジスタ、入力される1の個数を数え上げるカウンタなどから成り立っている。演算
部1003を構成する回路、例えば、AND回路、OR回路、NOT回路、バッファ回路
、またはレジスタ回路などはTFTで構成することができ、高い電界効果移動度を得るた
め、連続発振型のレーザー光を用いて結晶化を行った半導体膜をTFTの活性層として作
製すればよい。
絶縁膜(酸化珪素膜、窒化珪素膜、または酸化窒化珪素膜)を形成し、その上にアモルフ
ァスシリコン膜を形成する。なお、タングステン膜と酸化シリコン膜の界面に形成された
酸化タングステン層を用いて後の工程で剥離を行う。
熱してポリシリコン膜を得た後にパルス発振型のレーザー光を照射したポリシリコン膜を
得る方法を用いてもよいし、アモルファスシリコン膜に連続発振型のレーザー光を照射し
てポリシリコン膜を得る方法を用いてもよいし、アモルファスシリコン膜を加熱してポリ
シリコン膜を得た後に連続発振型のレーザー光を照射してポリシリコン膜を得る方法を用
いてもよいし、アモルファスシリコン膜に触媒となる金属元素を添加した後、加熱してポ
リシリコン膜を得た後に連続発振型のレーザー光を照射してポリシリコン膜を得る方法を
用いてもよい。なお、連続発振型のレーザー光を用いる場合、演算部1003、制御部1
002、または記憶部1004を構成するTFTのチャネル長方向とレーザービームの走
査方向とを揃えることが好ましい。
御する役割を担っている。制御部1002はプログラムカウンタ、命令レジスタ、制御信
号生成部からなる。また、制御部1002もTFTで構成することができ、結晶化を行っ
た半導体膜をTFTの活性層として作製すればよい。
Uで頻繁に実行されるデータやプログラムが格納されている。記憶部1004は、主メモ
リ、アドレスレジスタ、データレジスタからなる。さらに主メモリに加えてキャッシュメ
モリを用いてもよい。これらのメモリは、SRAM、DRAM、フラッシュメモリなどで
形成すればよい。また、記憶部1004もTFTで構成する場合には、結晶化を行った半
導体膜をTFTの活性層として作製することができる。
力部1006は結果を表示するための装置、代表的には表示装置である。
剥離し、プラスチック基板に転写する。
とができ、例えば非接触型の薄膜集積回路を有するカードを作製することができる。
示部と、アンテナ31と、電流回路32と、CPU33やメモリ34等を含む集積回路部
35を有し、アンテナは電流回路を介してICに接続されている。電流回路32は、例え
ばダイオードと、容量とを有する構成であればよく、アンテナが受信する交流周波を直流
に変換する機能を有する。また、アンテナ31は、集積回路と同一工程で形成することも
できる。
導方式)、相互誘導作用(電磁結合方式)又は静電気による誘導作用(静電結合方式)に
より電力が供給される点である。このアンテナの巻き数を制御することにより、受信する
周波数の高さを選ぶことができる。
は4.91MHzが一般的に使用されているが、周波数を高め波長を短くすることにより
アンテナの巻き数を小さくできる。
せず、非接触で電源供給及び情報通信を行うため、破損せず、高い耐久性を有し、静電気
等によるエラーの心配がない。更にはリーダ/ライタ自体の構成は複雑にならならず、薄
膜集積回路をリーダ/ライタにかざせばよいので、取り扱いが容易である。
スを介してデータ交換を行っている。更にICはRF(無線)インタフェースと、非接触
インタフェースとを有している。そして、読み取り手段であるリーダ/ライタは、非接触
インタフェースと、インタフェース回路とを有し、ICをリーダ/ライタへかざし、各非
接触インタフェース間で通信や電波により情報伝達・交換が行われる。そしてリーダ/ラ
イタの、インタフェース回路によりホストコンピュータと情報伝達・交換をしている。も
ちろんホストコンピュータがリーダ/ライタ手段を有していても構わない。
る。図10(C)において、1010はプラスチックカード本体、1011は反射型液晶
の表示部、1012は記憶部、1013はCPUである。認証カードとした場合には、軽
量であり、フレキシブルなカードとすることができる。そして、認証カードが不用になっ
た場合には簡単に切断、細分化することが可能であり、記憶部にある情報を完全に読み取
り不能、または偽造複製防止することができる。
うなリーダ/ライタ本体70のセンサー部71に、薄膜集積回路を内蔵したカード72を
かざす。
0に、リーダ機能を搭載させ、本体の一部に設けられたセンサー部81に薄膜集積回路を
内蔵したカード82をかざし、表示部83に情報を表示させる。
1を薄膜集積回路を内蔵したカード92かざし、表示部93に情報を掲載させる。
に情報を表示させればよい。また非接触型又は接触型の薄膜集積回路を内蔵したカード自
体に表示部を設け、情報を表示させても構わない。
刺サイズとすることができる。プラスチック1020が本体となっているため、軽量であ
り、左側表示部1021と右側表示部1022を有している。また、プラスチック102
0にCPUなどの集積回路を設けてもよい。
自由に組み合わせることができる。
する。
は可撓性を有し、透光性を有するものであればよく、ポリエチレンテレフタレート(PE
T)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリ
カーボネート(PC)、ポリイミドなどから選択される。なお基板901の実用的な厚さ
は10〜200μmである。
パッタリング法で形成された水素を含まない窒化シリコンやその窒化シリコンと酸化シリ
コン膜との多層膜で形成するとよい。このバリア層902は外部環境から侵入する水蒸気
や有機物ガスのバリア層となり、有機半導体材料等が水蒸気や有機物ガスにより劣化する
のを防ぐことができる。
、導電性ペーストを用いて形成する。導電性ペーストとしては、導電性カーボンペースト
、導電性銀ペースト、導電性銅ペースト、導電性ニッケルなどを用い、スクリーン印刷法
、ロールコーター法又はインクジェット法で所定のパターンに形成する。導電性ペースト
で所定のパターンに形成した後は、レベリング、乾燥後、100〜200℃で硬化させる
。
機能する第1の絶縁膜を形成する。なお、第1の絶縁膜は、ロールコーター法やスプレー
法などを用いて、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、非
芳香族多官能性イソシアナート、メラミン樹脂を添加したもので形成する。また、ゲート
絶縁膜の膜厚は、ゲート電圧を考慮すると100〜200nm程度で形成することが好まし
い。
レイン電極905bとして機能する第2の導電膜を形成する。この第2の導電膜の材料と
しては、多くの有機半導体材料が電荷を輸送する材料がキャリアとして正孔を輸送するp
型半導体であることからその半導体層とオーミック接触を取るために仕事関数の大きい金
属を用いることが望ましい。具体的には、金や白金、クロム、パラジウム、アルミニウム
、インジウム、モリブデン、ニッケル等の金属又は合金材料を含む導電性ペーストを印刷
法又はロールコーター法を用いて形成する。
に土手906として設けられる第2の絶縁膜を形成する。なお、第2の絶縁膜は有機半導
体膜を注入するために、ゲート電極上方に開口部が形成されるようにスクリーン印刷法を
用いて、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、非芳香族多
官能性イソシアナート、メラミン樹脂を添加したもので形成する。また、土手を形成後に
ソース電極及びドレイン電極を形成しても構わない。
は、ディッピング法、キャスト法、バーコート法、スピンコート法、スプレー法、インク
ジェット法又は印刷法を適宜用いればよい。有機半導体材料としては、有機分子性結晶や
有機高分子化合物材料を用いればよい。具体的な有機分子結晶は、多環芳香族化合物、共
役二重結合系化合物、カロテン、マクロ環化合物又はその錯体、フタロシアニン、電気移
動型錯体、テトラチオフルバレン:TCNQ錯体、遊離基、ジフェニルピクリヒドラジル、色
素又はたんぱくが挙げられる。また具体的な有機高分子化合物材料は、π共役系高分子、
CT錯体、ポリビニルピリジン、よう素又はフタロシアニン金属錯体などの高分子が挙げら
れる。特に骨格が共役二重結合から構成されるπ共役系高分子である、ポリアセチレン
ポリアニリン、ポリピロール、ポリチエニレン、ポリチオフェン誘導体、ポリ(3ヘキシ
ルチオフェン)[P3HT;ポリチオフェンの3位置に柔軟なアルキル基を導入したポリチオ
フェン誘導体のアルキル基がヘキシル基である高分子]、ポリ(3アルキルチオフェン)
、ポリ(3ドコシルチオフェン)、ポリパラフェニレン誘導体又はポリパラフェニレンビ
ニレン誘導体を用いると好ましい。
法により、チオフェンオリゴマ膜(重合度6)やペンタセン膜を成膜すればよい。
を滴下する方法により有機半導体膜を形成することが好ましい。そして、図12(E)に
示すように、自然放置又はベークにより溶媒をとばし、有機半導体膜907を形成する。
ーション膜は、RFスパッタ法により窒化珪素膜、酸化窒化珪素膜といった珪素を含む絶
縁材料で形成すればよい。
は、素子基板とTFTとの間でコンタクトを取り接続して半導体素子を形成し、更に実施の
形態1または実施の形態2に従って液晶材料を滴下して、液晶表示装置(液晶表示モジュ
ール)を完成させればよい。
導体装置(具体的には液晶表示装置)を得ることが出来る。また、安価な有機材料を用い
て形成でき、更には破棄する材料が非常に少ないため、半導体装置のコストを削減するこ
とができる。
、各種情報を送受信する通信機能と、情報を記憶又は加工するコンピュータ機能など全て
を集積するシステム・オン・パネルに適応することが可能となる。
実施例4と自由に組み合わせることができる。
ことができる。電子機器としては、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプ
レイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオ
ーディオ、オーディオコンポ等)、ノート型パーソナルコンピュータ、ゲーム機器、携帯
情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機または電子書籍等)、記録
媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDigital Versatile Disc(DVD)等の記録媒体
を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを備えた装置)などが挙げられる。それら
の電子機器の具体例を図13に示す。
ーカー部2004、ビデオ入力端子2005等を含む。本発明は表示部2003に適用す
ることができる。なお、パソコン用、TV放送受信用、広告表示用などの全ての情報表示
用のテレビが含まれる。
3、操作キー2104、外部接続ポート2105、シャッター2106等を含む。本発明
は、表示部2102に適用することができる。
、表示部2203、キーボード2204、外部接続ポート2205、ポインティングマウ
ス2206等を含む。本発明は、表示部2203に適用することができる。
チ2303、操作キー2304、赤外線ポート2305等を含む。本発明は、表示部23
02に適用することができる。
であり、本体2401、筐体2402、表示部A2403、表示部B2404、記録媒体
(DVD等)読み込み部2405、操作キー2406、スピーカー部2407等を含む。
表示部A2403は主として画像情報を表示し、表示部B2404は主として文字情報を
表示するが、本発明は表示部A、B2403、2404に適用することができる。なお、
記録媒体を備えた画像再生装置には家庭用ゲーム機器なども含まれる。
04等を含む。
外部接続ポート2604、リモコン受信部2605、受像部2606、バッテリー260
7、音声入力部2608、操作キー2609等を含む。本発明は、表示部2602に適用
することができる。
入力部2704、音声出力部2705、操作キー2706、外部接続ポート2707、ア
ンテナ2708等を含む。本発明は、表示部2703に適用することができる。なお、表
示部2703は黒色の背景に白色の文字を表示することで携帯電話の消費電流を抑えるこ
とができる。
ても良い。なお、本実施例の電子機器には、実施の形態1、実施の形態2、または実施例
1乃至5のいずれか一の構成を用いて作製された液晶表示装置を用いても良い。
装置を大量生産することが可能となる。
114:液晶材料
115:柱状スペーサ
120:第2の基板
Claims (8)
- 第1の可撓性基板と、第2の可撓性基板と、前記第1の可撓性基板と前記第2の可撓性基板とからなる一対の基板間に保持された液晶と、を備えた液晶表示装置の作製方法であり、
前記第1の可撓性基板に第1の無機絶縁膜を形成するとともに、前記第2の可撓性基板に第2の無機絶縁膜を形成し、
前記第1の可撓性基板の前記第1の無機絶縁膜上に画素電極を形成するとともに、前記第2の可撓性基板の前記第2の無機絶縁膜上に対向電極を形成し、
前記第1の可撓性基板の前記第1の無機絶縁膜上に、前記一対の基板の間隔を一定に保つための柱状スペーサを形成し、
前記第2の可撓性基板の前記第2の無機絶縁膜上に減圧下でシール材を描画し、仮固定し、
前記対向電極上であって前記シール材に囲まれた領域に減圧下で液晶材料を滴下し、
滴下された前記液晶材料を減圧下で加熱脱気し、
前記加熱脱気後に前記液晶材料は前記シール材に接しており、
減圧下で前記第1の可撓性基板と前記第2の可撓性基板とを貼り合わせ、
前記シール材を固定することを特徴とする液晶表示装置の作製方法。 - 第1の可撓性基板と、第2の可撓性基板と、前記第1の可撓性基板と前記第2の可撓性基板とからなる一対の基板間に保持された液晶と、を備えた液晶表示装置の作製方法であり、
前記第1の可撓性基板に第1の無機絶縁膜を形成するとともに、前記第2の可撓性基板に第2の無機絶縁膜を形成し、
前記第1の可撓性基板の前記第1の無機絶縁膜上に画素電極を形成するとともに、前記第2の可撓性基板の前記第2の無機絶縁膜上に対向電極を形成し、
前記第1の可撓性基板の前記第1の無機絶縁膜上に、前記一対の基板の間隔を一定に保つための柱状スペーサを形成し、
前記第1の可撓性基板の前記第1の無機絶縁膜上に減圧下でシール材を描画し、仮固定し、
前記画素電極上であって前記シール材に囲まれた領域に減圧下で液晶材料を滴下し、
滴下された前記液晶材料を減圧下で加熱脱気し、
前記加熱脱気後に前記液晶材料は前記シール材に接しており、
減圧下で前記第1の可撓性基板と前記第2の可撓性基板とを貼り合わせ、
前記シール材を固定することを特徴とする液晶表示装置の作製方法。 - 請求項1又は2において、
前記柱状スペーサは、アクリル、ポリイミド、ポリイミドアミド、エポキシの少なくとも1つを主成分とする有機樹脂材料、もしくは酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素のいずれか一種の材料、或いはこれらの積層膜からなる無機材料であることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記第1の無機絶縁膜及び前記第2の無機絶縁膜は、高周波スパッタリング法により形成されることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。 - 請求項1乃至4のいずれか一項において、
前記第1の無機絶縁膜及び前記第2の無機絶縁膜は、窒化珪素膜であることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記第1の無機絶縁膜及び前記第2の無機絶縁膜はシリコンをターゲットとした高周波スパッタリング法により作製される窒化珪素膜であることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。 - 請求項1乃至6のいずれか一項において、
前記第1の無機絶縁膜及び前記第2の無機絶縁膜はターボ分子ポンプもしくはクライオポンプを用いて背圧を1×10−3Pa以下とし、単結晶シリコンターゲットをN2ガスもしくはN2と希ガスとの混合ガスでスパッタして作製される窒化珪素膜であることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。 - 請求項1乃至7のいずれか一項において、
前記第1の無機絶縁膜及び前記第2の無機絶縁膜は、アルゴン濃度が1×1020〜1×1021cm−3の窒化珪素膜であることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
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JP4463493B2 (ja) | 2002-04-15 | 2010-05-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置及びその作製方法 |
TWI362644B (en) * | 2003-01-16 | 2012-04-21 | Semiconductor Energy Lab | Liquid crystal display device and manufacturing method therof |
JP4744090B2 (ja) * | 2004-03-11 | 2011-08-10 | 富士通株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP5008823B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2012-08-22 | シャープ株式会社 | 表示装置 |
CN101789378B (zh) | 2004-06-02 | 2012-07-04 | 株式会社半导体能源研究所 | 用于制造半导体器件的方法 |
US7591863B2 (en) * | 2004-07-16 | 2009-09-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laminating system, IC sheet, roll of IC sheet, and method for manufacturing IC chip |
CN100474629C (zh) | 2004-08-23 | 2009-04-01 | 株式会社半导体能源研究所 | 无线芯片及其制造方法 |
JP4944014B2 (ja) * | 2005-03-18 | 2012-05-30 | シャープ株式会社 | パネルおよびその製造方法 |
KR20070034280A (ko) | 2005-09-23 | 2007-03-28 | 삼성전자주식회사 | 가요성 표시 장치용 표시판의 제조 방법 |
KR101272336B1 (ko) * | 2005-10-20 | 2013-06-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 평판표시장치 |
KR20070054285A (ko) * | 2005-11-23 | 2007-05-29 | 삼성전자주식회사 | 디스플레이장치 및 그 제조방법 |
KR100922799B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2009-10-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 롤 인쇄 장비, 롤 인쇄 방법 및 그를 이용한액정표시소자의 제조방법 |
KR100879207B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2009-01-16 | 주식회사 엘지화학 | 플렉시블 디스플레이장치 및 이의 제조방법 |
TWI331885B (en) * | 2006-01-12 | 2010-10-11 | Ind Tech Res Inst | Fabricating method of organic electronic device |
WO2008007485A1 (fr) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Procédé de production d'un matériau de base d'écran à cristaux liquides et de panneau à cristaux liquides |
JP2008292997A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-12-04 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶表示装置の作製方法 |
US8049851B2 (en) * | 2007-06-26 | 2011-11-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a liquid crystal display device having a second orientation film surrounding a first orientation film |
US8203657B2 (en) * | 2008-07-11 | 2012-06-19 | Audiovox Corporation | Inductively powered mobile entertainment system |
WO2010025419A2 (en) | 2008-08-28 | 2010-03-04 | Raytheon Sarcos, Llc | Method of sizing actuators for a biomimetic mechanical joint |
US8516918B2 (en) | 2008-08-28 | 2013-08-27 | Raytheon Company | Biomimetic mechanical joint |
JP2010093172A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Fujifilm Corp | 封止デバイス |
JP2010197967A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Sony Corp | 液晶表示装置の製造方法およびこれにより作製された液晶表示装置 |
US20100253902A1 (en) * | 2009-04-07 | 2010-10-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
WO2010128614A1 (en) | 2009-05-02 | 2010-11-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
GB0909721D0 (en) * | 2009-06-05 | 2009-07-22 | Plastic Logic Ltd | Dielectric seed layer |
WO2011037050A1 (en) * | 2009-09-24 | 2011-03-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
KR101708525B1 (ko) * | 2009-09-25 | 2017-02-20 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 표시 장치의 제조 방법 및 표시 장치 |
KR20110048960A (ko) * | 2009-11-04 | 2011-05-12 | 삼성전자주식회사 | 액정층 형성 방법, 이를 이용한 액정표시패널의 제조 방법 및 이에 사용되는 액정 |
TW201120639A (en) * | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Chih-Ming Tsao | Input device for switching multiple computer devices. |
KR101663563B1 (ko) * | 2009-12-24 | 2016-10-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치의 제조방법 |
KR101155902B1 (ko) * | 2010-03-11 | 2012-06-20 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 그라인더, 상기 그라인더를 사용한 연마 방법, 상기 연마 방법을 사용한 표시 장치의 제조 방법 및 이를 사용하여 제조한 표시 장치 |
US20120044445A1 (en) | 2010-08-17 | 2012-02-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid Crystal Device and Manufacturing Method Thereof |
WO2012048263A1 (en) | 2010-10-08 | 2012-04-12 | Authentec, Inc. | Finger sensing device including differential measurement circuitry and related methods |
KR101182172B1 (ko) * | 2010-10-18 | 2012-09-12 | 에이피시스템 주식회사 | 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치 |
KR101376657B1 (ko) * | 2010-10-21 | 2014-03-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 러빙방법 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법 |
CN102078854A (zh) * | 2010-11-18 | 2011-06-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法 |
US20120140125A1 (en) * | 2010-12-03 | 2012-06-07 | Honeywell International Inc. | Aircraft cockpit visor display |
CN102152573A (zh) * | 2010-12-13 | 2011-08-17 | 苏州金海薄膜科技发展有限公司 | 一种带格子线屏幕保护膜及其制作方法 |
US9494829B2 (en) | 2011-01-28 | 2016-11-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and liquid crystal display device containing the same |
JP5621690B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2014-11-12 | 富士通株式会社 | 電子装置及びフレキシブル基板 |
WO2012141140A1 (ja) * | 2011-04-13 | 2012-10-18 | シャープ株式会社 | 液晶表示パネルおよびその製造方法 |
CN202487581U (zh) * | 2011-06-15 | 2012-10-10 | 广东中显科技有限公司 | 一种柔性igzo薄膜晶体管 |
JP6111398B2 (ja) * | 2011-12-20 | 2017-04-12 | 株式会社Joled | 表示装置および電子機器 |
JP6224931B2 (ja) * | 2012-07-27 | 2017-11-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
KR20140019699A (ko) | 2012-08-07 | 2014-02-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉시블 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법 |
JP6351947B2 (ja) * | 2012-10-12 | 2018-07-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の作製方法 |
JP2014160603A (ja) | 2013-02-20 | 2014-09-04 | Japan Display Inc | シートディスプレイ |
TWI611582B (zh) | 2013-04-10 | 2018-01-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置及其製造方法 |
CN104485344B (zh) * | 2014-12-08 | 2017-12-05 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | 一种柔性显示器制备方法 |
JP6416093B2 (ja) * | 2015-02-16 | 2018-10-31 | 日本メクトロン株式会社 | フレキシブルプリント配線板の製造方法 |
US20170026553A1 (en) * | 2015-07-24 | 2017-01-26 | Apple Inc. | Displays With Camera Window Openings |
KR102556849B1 (ko) * | 2016-04-12 | 2023-07-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법 |
CN107866721A (zh) * | 2016-09-26 | 2018-04-03 | 合肥江丰电子材料有限公司 | 靶材组件的加工方法 |
US11228097B2 (en) * | 2017-06-13 | 2022-01-18 | Kymeta Corporation | LC reservoir |
US10651549B2 (en) | 2017-07-06 | 2020-05-12 | Innolux Corporation | Microwave device |
CN113013609B (zh) * | 2017-07-06 | 2023-08-15 | 群创光电股份有限公司 | 微波装置 |
CN107390415A (zh) * | 2017-09-01 | 2017-11-24 | 四川粤鸿显示技术有限公司 | Tft‑lcd液晶显示屏制作工艺 |
CN110091524B (zh) * | 2018-01-31 | 2024-08-23 | 北京金风科创风电设备有限公司 | 用于磁极防护覆层固化成型的工艺装备 |
US10663819B2 (en) * | 2018-08-07 | 2020-05-26 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Opposite substrate and preparation method thereof, and display device |
CN110534547A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-12-03 | 武汉天马微电子有限公司 | 显示装置及其制作方法 |
CN110854136B (zh) * | 2019-10-31 | 2022-04-12 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 柔性显示装置基板及其制备方法 |
US11521846B2 (en) * | 2019-12-16 | 2022-12-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Methods for patterning a silicon oxide-silicon nitride-silicon oxide stack and structures formed by the same |
Family Cites Families (104)
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JPS5165656A (ja) | 1974-12-04 | 1976-06-07 | Shinshu Seiki Kk | |
JPS5391763A (en) | 1977-01-21 | 1978-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Compression bonding device |
US4211921A (en) * | 1978-02-03 | 1980-07-08 | Iseki Agricultural Machinery Mfg. Co. Ltd. | Sensor for use in controlling operation of mobile farming machine |
DE3069581D1 (en) | 1979-02-01 | 1984-12-13 | Ricoh Kk | Method of sealing plastic liquid crystal display panel |
WO1980002079A1 (en) | 1979-03-19 | 1980-10-02 | Ricoh Watch | Liquid crystal display panel and process for producing same |
DE3153620C2 (ja) | 1980-04-01 | 1992-01-23 | Canon K.K., Tokio/Tokyo, Jp | |
JPS57124827A (en) | 1981-01-27 | 1982-08-03 | Nec Corp | Brazing method for radiating vanes of electron tube |
JPS5957221A (ja) | 1982-09-28 | 1984-04-02 | Asahi Glass Co Ltd | 表示素子の製造方法及び製造装置 |
US4482213A (en) | 1982-11-23 | 1984-11-13 | Texas Instruments Incorporated | Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs |
JPS59171925A (ja) | 1983-03-22 | 1984-09-28 | Nippon Denso Co Ltd | 液晶充填方法および装置 |
JPS59195222A (ja) | 1983-04-19 | 1984-11-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造法 |
JPS6021028A (ja) | 1983-07-15 | 1985-02-02 | Canon Inc | 光学変調素子およびその製法 |
JPS6075817A (ja) | 1983-09-30 | 1985-04-30 | Sharp Corp | 液晶表示素子の製造方法 |
JPS60111221A (ja) | 1983-11-19 | 1985-06-17 | Nippon Denso Co Ltd | 液晶充填方法および装置 |
JPS60126624A (ja) | 1983-12-14 | 1985-07-06 | Seiko Epson Corp | 液晶電気光学装置 |
JPS61143787A (ja) | 1984-12-17 | 1986-07-01 | キヤノン株式会社 | カラ−表示パネル |
JPS61190313A (ja) | 1985-02-20 | 1986-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法 |
GB2173336B (en) | 1985-04-03 | 1988-04-27 | Stc Plc | Addressing liquid crystal cells |
US4691995A (en) | 1985-07-15 | 1987-09-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal filling device |
JPS6215520A (ja) | 1985-07-15 | 1987-01-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶充填装置 |
JPS62251723A (ja) | 1986-04-25 | 1987-11-02 | Seiko Epson Corp | ドライバ−内蔵液晶パネル |
US5109425A (en) * | 1988-09-30 | 1992-04-28 | The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration | Method and apparatus for predicting the direction of movement in machine vision |
US5073819A (en) * | 1990-04-05 | 1991-12-17 | Computer Scaled Video Surveys, Inc. | Computer assisted video surveying and method thereof |
JPH04218027A (ja) | 1990-06-14 | 1992-08-07 | Hoechst Japan Ltd | 液晶セルの製造法 |
JP2775354B2 (ja) | 1991-02-12 | 1998-07-16 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶電気光学装置 |
ES2090497T3 (es) * | 1991-03-08 | 1996-10-16 | Nat Starch Chem Invest | Dispositivo visualizador de cristal liquido. |
JP3077778B2 (ja) | 1992-05-15 | 2000-08-14 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置用電極基板およびそれを用いた液晶表示装置 |
US5331413A (en) * | 1992-09-28 | 1994-07-19 | The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration | Adjustable control station with movable monitors and cameras for viewing systems in robotics and teleoperations |
TW384515B (en) * | 1993-07-14 | 2000-03-11 | Frontec Inc | Electronic device and its manufacturing method |
JP3522317B2 (ja) * | 1993-12-27 | 2004-04-26 | 富士重工業株式会社 | 車輌用走行案内装置 |
JP2989744B2 (ja) * | 1994-06-13 | 1999-12-13 | 株式会社東芝 | 測定面抽出装置及びその方法 |
JPH08248401A (ja) | 1994-09-29 | 1996-09-27 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶表示素子 |
JP3698749B2 (ja) | 1995-01-11 | 2005-09-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶セルの作製方法およびその作製装置、液晶セルの生産システム |
JPH08271932A (ja) | 1995-03-30 | 1996-10-18 | Toshiba Corp | 液晶表示装置 |
JP3978241B2 (ja) | 1995-07-10 | 2007-09-19 | シャープ株式会社 | 液晶表示パネル及びその製造方法 |
KR0154817B1 (ko) | 1995-08-25 | 1998-10-15 | 김광호 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법 |
US5623244A (en) * | 1996-05-10 | 1997-04-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Pilot vehicle which is useful for monitoring hazardous conditions on railroad tracks |
JP3234496B2 (ja) | 1996-05-21 | 2001-12-04 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
US5638420A (en) * | 1996-07-03 | 1997-06-10 | Advanced Research And Applications Corporation | Straddle inspection system |
US5831669A (en) * | 1996-07-09 | 1998-11-03 | Ericsson Inc | Facility monitoring system with image memory and correlation |
JPH10288773A (ja) | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Seiko Epson Corp | 液晶素子およびそれを用いた携帯用電子機器 |
US6366330B1 (en) | 1997-05-23 | 2002-04-02 | Kent Displays Incorporated | Cholesteric liquid crystal display that prevents image sticking |
US6172720B1 (en) * | 1997-05-23 | 2001-01-09 | Kent Displays Incorporated | Low viscosity liquid crystal material |
US6205242B1 (en) * | 1997-09-29 | 2001-03-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image monitor apparatus and a method |
JP4028043B2 (ja) | 1997-10-03 | 2007-12-26 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 液晶光変調素子および液晶光変調素子の製造方法 |
JPH11109388A (ja) | 1997-10-03 | 1999-04-23 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置の製造方法 |
FR2770317B1 (fr) * | 1997-10-24 | 2000-12-08 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'etalonnage de la position et de l'orientation d'origine d'une ou plusieurs cameras mobiles et son application a la mesure de position tridimentionnelle d'objets fixes |
US5963289A (en) * | 1997-10-27 | 1999-10-05 | S Vision | Asymmetrical scribe and separation method of manufacturing liquid crystal devices on silicon wafers |
JPH11153800A (ja) | 1997-11-20 | 1999-06-08 | Ricoh Co Ltd | 液晶表示素子用シール剤および該シール剤を用いた液晶表示素子 |
US6055035A (en) | 1998-05-11 | 2000-04-25 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for filling liquid crystal display (LCD) panels |
JP3919356B2 (ja) | 1998-09-09 | 2007-05-23 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタの製造装置、および液晶素子の製造方法 |
JP4114292B2 (ja) * | 1998-12-03 | 2008-07-09 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | 運転支援装置 |
JP3189955B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2001-07-16 | 日本電気株式会社 | 液晶表示素子及びその製造方法 |
JP3410983B2 (ja) | 1999-03-30 | 2003-05-26 | 株式会社 日立インダストリイズ | 基板の組立方法およびその装置 |
US6583846B1 (en) * | 1999-04-14 | 2003-06-24 | Hitachi, Ltd. | Liquid crystal display device with spacer covered with an electrode |
JP2000321580A (ja) | 1999-04-28 | 2000-11-24 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 液晶表示装置 |
CN1263159C (zh) * | 1999-06-02 | 2006-07-05 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
TW459275B (en) | 1999-07-06 | 2001-10-11 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and method of fabricating the same |
US6952020B1 (en) | 1999-07-06 | 2005-10-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP2001042340A (ja) | 1999-08-03 | 2001-02-16 | Minolta Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JP2001235760A (ja) | 1999-12-14 | 2001-08-31 | Sharp Corp | 液晶表示素子の製造方法およびその製造装置 |
JP3358606B2 (ja) | 1999-12-14 | 2002-12-24 | 日本電気株式会社 | 液晶表示パネルの製造方法 |
JP2001183640A (ja) | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Casio Comput Co Ltd | 高分子分散液晶表示素子の製造方法 |
US6739929B2 (en) | 2000-03-31 | 2004-05-25 | Minolta Co., Ltd. | Method and apparatus for producing a display panel, method for adhering an adhesive sheet and method for adhering plates |
JP2001290161A (ja) | 2000-04-04 | 2001-10-19 | Advanced Display Inc | 液晶表示装置およびその製法 |
JP2001312214A (ja) | 2000-04-27 | 2001-11-09 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法、シール材圧着硬化装置、電気光学装置及び電子機器 |
JP2002040446A (ja) | 2000-05-19 | 2002-02-06 | Minolta Co Ltd | 液晶表示パネルの製造方法及び積層型液晶表示パネルの製造方法 |
JP2002014360A (ja) | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法および装置 |
JP2002148644A (ja) | 2000-09-01 | 2002-05-22 | Seiko Epson Corp | 液晶装置の製造方法 |
JP4304852B2 (ja) | 2000-09-04 | 2009-07-29 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 非平面液晶表示素子及びその製造方法 |
JP2002090761A (ja) | 2000-09-12 | 2002-03-27 | Ran Technical Service Kk | 液晶表示素子の製造方法、液晶注入器具及び液晶散布用容器 |
JP2002107746A (ja) | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Minolta Co Ltd | 表示パネル及びその製造方法 |
JP4570233B2 (ja) | 2000-10-25 | 2010-10-27 | 株式会社アルバック | 薄膜形成方法及びその形成装置 |
US6842211B2 (en) * | 2000-11-02 | 2005-01-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device, and method of manufacturing the same |
JP3853636B2 (ja) | 2000-11-02 | 2006-12-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置 |
JP2002202512A (ja) | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Toshiba Corp | 液晶表示装置及びその製造方法 |
KR100690005B1 (ko) * | 2000-12-30 | 2007-03-08 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 강유전성 액정주입장치의 제조 방법 |
US7019763B2 (en) * | 2001-01-09 | 2006-03-28 | Seiko Epson Corporation | Display device, driving method therefor, electro-optical device, driving method therefor, and electronic apparatus |
TW554221B (en) | 2001-01-09 | 2003-09-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
JP2002214626A (ja) | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Toshiba Corp | 液晶表示装置の製造方法及びシール材 |
ATE540437T1 (de) | 2001-03-02 | 2012-01-15 | Fujifilm Corp | Herstellungsverfahren einer organischen dünnschicht-vorrichtung |
JP2002333639A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-11-22 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
JP4639495B2 (ja) | 2001-03-13 | 2011-02-23 | 住友ベークライト株式会社 | 表示用プラスチック基板 |
JP2002296600A (ja) | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Minolta Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JP2002372920A (ja) | 2001-04-05 | 2002-12-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学用樹脂基板の製造方法及びその製造装置、それを用いた液晶表示素子の製造方法及びその製造装置、並びにそれを用いた液晶表示装置 |
KR20020077661A (ko) * | 2001-04-05 | 2002-10-12 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 광학용 수지 기판의 제조 방법 및 제조 장치, 이 기판을사용한 액정 표시 소자의 제조 방법 및 제조 장치, 및 이액정 표시 소자를 사용한 액정 표시 장치 |
TWI259308B (en) * | 2001-04-17 | 2006-08-01 | Nec Lcd Technologies Ltd | Liquid-crystal display device and method of fabricating same |
JP2003043462A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Nec Corp | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP2002318378A (ja) * | 2001-04-22 | 2002-10-31 | Mikuni Denshi Kk | 液晶表示装置の組み立て方法とその装置 |
JP2002350873A (ja) | 2001-05-23 | 2002-12-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子 |
JP2002350816A (ja) | 2001-05-28 | 2002-12-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP4081643B2 (ja) * | 2001-08-01 | 2008-04-30 | 株式会社日立製作所 | 液晶表示装置 |
JP3950987B2 (ja) | 2001-08-27 | 2007-08-01 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
TW507095B (en) | 2001-09-03 | 2002-10-21 | Hannstar Display Corp | Manufacturing method of ODF liquid crystal panel |
US7295280B2 (en) * | 2001-09-03 | 2007-11-13 | Hannstar Display Corp. | Method of manufacturing one drop fill liquid crystal display panel |
KR100652045B1 (ko) | 2001-12-21 | 2006-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
JP2003216059A (ja) | 2002-01-24 | 2003-07-30 | Sharp Corp | 表示素子およびその製造方法 |
JP2003241208A (ja) | 2002-02-19 | 2003-08-27 | Shibaura Mechatronics Corp | 液晶滴下装置及び方法並びに液晶表示パネル製造装置 |
TWI362644B (en) | 2003-01-16 | 2012-04-21 | Semiconductor Energy Lab | Liquid crystal display device and manufacturing method therof |
US7110083B2 (en) * | 2003-11-19 | 2006-09-19 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
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