JP4993995B2 - 電気回路検査装置及び方法 - Google Patents
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Description
110 検査ステーション
120 自動欠陥照合ステーション
130 反射画像
134 画像取得手段
136 照合画像
150 欠陥アナライザ
154 コンピュータファイル参照部
160 欠陥候補表示
162 照合コントローラ
170 カメラ
172 ポジショナ
200 修復システム
240 欠陥修復ステーション
240 電気回路修復ステーション
242 レーザ
260 欠陥通知
262 修復コントローラ
270 修復ヘッド
270 レーザ修復装置
272 ポジショナ
280 レーザ修復装置
282 レーザ発振器
286 集光用光学系
288 倍対物レンズ
290 集光レンズ
291 部分透過ミラー
292 ステアリングミラー
294 集光用光学系
296 レンズ
296 集光用光学系
298 対物レンズ
300 修復システム
320 修復ステーション
362 修復コントローラ
370 修復ヘッド
372 カメラ
373 光軸
374 軸上イルミネータ
375 照射レーザ
391 偏光キューブビームスプリッタ
400 修復システム
420 修復ステーション
630 外部導体セグメント
Claims (9)
- プリント回路基板を自動的に検査するとともに、前記プリント回路基板の修復を必要とする領域の機械読み取り可能な表示部を提供する検査機能部と、
前記機械読み取り可能な表示部を用いて、前記プリント回路基板の前記修復を必要とする領域の少なくとも一部の前記プリント回路基板を修復する自動修復機能部と、
最初の自動修復作業の後に前記プリント回路基板を自動的に再検査するとともに、前記プリント回路基板の前記修復を必要とする領域の再指示された機械読み取り可能な表示を前記自動修復機能部に提供する自動修復再指示機能部と
を備え、
前記自動修復機能部は、前記領域の前記少なくとも一部内のスプリアス導体堆積部を除去する掃引レーザアセンブリを用い、
前記掃引レーザアセンブリは、ファーストステアリングミラーと、前記ファーストステアリングミラーに衝当するレーザビームを出力するように構成されるレーザとを備えることを特徴とする電気回路検査装置。 - 前記レーザは、導体の少なくとも一部を除去するとともに前記プリント回路基板に関連する基板の部分に損傷を与えない強度を有するレーザビームを出力するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の電気回路検査装置。
- 前記検査機能部及び前記自動修復機能部はどちらも、少なくとも1つの共通の照合/修復光学素子を用いることを特徴とする請求項1記載の電気回路検査装置。
- 前記検査機能部は、欠陥候補特定作業及び欠陥照合作業を含むことを特徴とする請求項1記載の電気回路検査装置。
- 前記自動修復機能部は、修復を必要とする領域の再指示された機械読み取り可能な表示に応答してさらなる修復作業を行うように動作可能であることを特徴とする請求項1に記載の電気回路検査装置。
- プリント回路基板を自動的に検査するとともに、前記プリント回路基板の修復を必要とする領域の機械読み取り可能な表示を提供し、
前記プリント回路基板の前記修復を必要とする領域の少なくとも一部に対して、前記機械読み取り可能な表示に応答し、前記プリント回路基板の修復作業を行い、
最初の修復作業の後に、修復を必要とする領域を再検査し、前記修復を必要とする領域のさらなる機械読み取り可能な表示を提供し、
修復を必要とする領域の前記機械読み取り可能な表示を再指示し、
修復を必要とする領域の前記再指示された機械読み取り可能な表示に応答して、さらなる修復作業を行い、
前記修復作業を行う工程は、修復すべき領域の上にレーザビームを掃引することにより前記修復を必要とする領域の少なくとも一部内にあるスプリアス導体堆積部を除去する工程を含み、
前記レーザビームを掃引する工程は、レーザビームを出力する工程と、ファーストステアリングミラーに衝当するように前記レーザビームを導く工程を含むことを特徴とするプリント回路基板を自動的に検査及び修復する方法。 - 前記自動検査作業及び前記修復作業はどちらも、照合及び修復の双方について少なくとも1つの共通した光学素子を用いることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記出力されたレーザビームは、前記プリント回路基板に関連する基板部分に損傷を与えずに導体の少なくとも一部を除去するのに十分に高い強度を有することを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記自動的に検査する工程は、欠陥候補を特定する工程と、次いで行う欠陥候補を実際の修復可能な欠陥として照合する工程を含むことを特徴とする請求項6記載の方法。
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