JP2005118814A - レーザ加工方法およびレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 1個のfθレンズで同時に複数の穴加工が可能なレーザ加工機に対しても加工良否の判断が可能なレーザ加工方法およびレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】 レーザ光13、14が加工対象物19に照射されることにより、加工に伴って発生する副次光42、43を、集光レンズ18およびフィルタ25を介して、撮像手段27により撮像する。そして、撮像結果を画像処理することにより、今回の加工部の加工結果を評価する。
【選択図】 図1
【解決手段】 レーザ光13、14が加工対象物19に照射されることにより、加工に伴って発生する副次光42、43を、集光レンズ18およびフィルタ25を介して、撮像手段27により撮像する。そして、撮像結果を画像処理することにより、今回の加工部の加工結果を評価する。
【選択図】 図1
Description
本発明はレーザ光を用いて穴の加工や、切断等を行うレーザ加工方法およびレーザ加工装置に係り、特に、プリント配線基板にビアホールを加工するのに好適なレーザ加工方法およびレーザ加工装置に関する。
電子機器の小型化、高密度実装化に伴い、プリント配線基板は複数の基板を積層した多層配線基板が主流となっている。多層配線基板では、上下に積層された基板間の導電層を電気的に接続する必要がある。そこで、多層配線基板の絶縁層に下層の導電層に達するビアホール(穴)を形成し、ビアホールの内部に導電性メッキを施すことにより、上下に積層された基板間の導電層を電気的に接続している。
ビアホールの形成には、ビアホールの微細化に伴い、高出力のCO2レーザやYAGの高調波を利用したUVレーザが使用される。加工する穴の径は、マスクに形成されたアパーチャ(窓)の像を結像レンズ用いて基板上に転写することにより制御される。そして、ガルバノミラーとfθレンズを組み合せたビームスキャン光学系を用いてレーザ光を走査させることにより高速加工を実現している。また、1つのビアホールに対してレーザ光を複数回に分けて照射することにより、ビアホールの形状精度を向上させている。
プリント基板(以下、「基板」という。)の場合、不導通のビアホールが1つでもあると、その基板は不良となる。
そこで、レーザ加工装置に穴の加工状態を検出する手段を設け、早期に加工不良を検出することが試みられている(例えば、特許文献1)。このようにすると、
加工品質の向上に加えて不良穴を早期に発見できるため、加工スループットを向上させることができた。
加工品質の向上に加えて不良穴を早期に発見できるため、加工スループットを向上させることができた。
ところで、レーザ光による穴明け加工が行われる基板は、携帯電話用の基板からパッケージ用の基板へと適用範囲が広がっており、小径、小ピッチ、多穴の基板が多くなっている。小径の穴を加工する場合、加工に必要なエネルギーは少なくてよい。そこで、エネルギーの有効活用の点から、ひとつのレーザ光を分岐して多ビーム化し、一度に複数の穴を同時で明けることでスループットを向上させるものがある(例えば、特許文献2)。
特開2000−33488号公報(第4頁、図1)
特開2000−190087公報(第4頁、図1)
しかし、特許文献2に記載のレーザ加工機(すなわち、1個のfθレンズに複数のレーザ光を入射させることにより多数の穴を同時に加工する装置)に、特許文献1に記載の穴検査手段を適用しようとすると、複数ビーム全ての加工位置をカバーするため、加工部を拡大してチェックすることが困難である。このため、1穴当たりの空間分解能が低下し、加工良否の判断が困難になる。
本発明の目的は、上記した課題を解決し、1個のfθレンズで同時に複数の穴加工が可能なレーザ加工機に対しても加工良否の判断が可能なレーザ加工方法およびレーザ加工装置を提供するにある。
上記した課題を解決するために、本発明の第一の手段は、レーザ光を集光レンズを介して加工対象物に照射させ、加工に伴って発生する副次光を検出することにより加工状態をインプロセスで検出するようにしたレーザ加工方法において、前記集光レンズを透過した予め定める波長の前記副次光を撮像し、撮像結果を画像処理することにより、今回の加工部の加工結果を識別することを特徴とする。
また、本発明の第二の手段は、レーザ光を集光レンズを介して加工対象物に照射させ、加工に伴って発生する副次光を検出することにより加工状態をインプロセスで検出するようにしたレーザ加工装置において、フィルタと、撮像手段と、画像処理手段とを設け、前記フィルタおよび前記集光レンズを介して、前記撮像手段により加工部を撮像し、撮像結果を画像処理することにより、今回の加工部の加工結果を識別することを特徴とする。
本発明によれば、1つの加工レンズに対して同時に複数のレーザ光を入射させて穴を加工する場合でも、1個の検出手段により穴の加工状態をインプロセスで検出できるため、作業能率を向上させることができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図1は、本発明に係るレーザ加工装置のブロック図、図2は偏光方向変換器の構成図、図3は2軸スキャナの構成図である。
初めに、光学系について説明する。
レーザ源(レーザ発振器)4は、レーザ制御部2の指令に基づき、P偏光(振動方向が紙面に対して平行な光)のレーザ光5をパルス状に出力する。レーザ源4の光路上には、レーザ光5の外形を整形する1個の窓が形成されたマスク6と、第1のビームスプリッタ7とが配置されている。ビームスプリッタ7は、レーザ光5の光路に対して45度に配置され、レーザ光5の一部をモニタビーム8として反射し、残りの大部分を加工ビーム9として透過(直進)させる。
レーザ源(レーザ発振器)4は、レーザ制御部2の指令に基づき、P偏光(振動方向が紙面に対して平行な光)のレーザ光5をパルス状に出力する。レーザ源4の光路上には、レーザ光5の外形を整形する1個の窓が形成されたマスク6と、第1のビームスプリッタ7とが配置されている。ビームスプリッタ7は、レーザ光5の光路に対して45度に配置され、レーザ光5の一部をモニタビーム8として反射し、残りの大部分を加工ビーム9として透過(直進)させる。
モニタビーム8の光路上には、集光レンズ32とモニタビーム8の強度を検出するための光検出器10とが配置されている。加工ビーム9の光路上には、第2のビームスプリッタ12が配置されている。ビームスプリッタ12は、加工ビーム9の光路に対して45度に配置され、加工ビーム9の50%を第1の加工ビーム13として反射し、残りの50%を第2の加工ビーム14として透過させる。すなわち、加工ビーム13と加工ビーム14のエネルギは等しい。
加工ビーム13の光路上には、偏光方向変換器33とダイクロックミラー15と偏光ビームスプリッタ16とが配置されている。偏光方向変換器33は、図2に示すように、ミラー35、36、37を互いに直交させて配置したものであり、ミラー35に入射したP偏光の加工ビーム13は偏光方向を90度回転され、S偏光(振動方向が紙面に対して垂直な光)の加工ビーム13として偏光ビームスプリッタ16に入射する。
ダイクロックミラー15は、ある帯域の波長の光を透過させるが、その他は反射する機能を備えており、加工ビーム13はほとんどが反射される。偏光ビームスプリッタ16は、P偏光のレーザ光を透過させ、S偏光のレーザ光を反射する特性を備えている。したがって、偏光方向変換器33によりS偏光に変換された加工ビーム13は偏光ビームスプリッタ16により反射され、第1の2軸スキャナ17およびfθレンズ18を介して基板19に入射する。
加工ビーム14はベントミラー21、第2の2軸スキャナ22を経由して偏光ビームスプリッタ16を透過し、加工ビーム13と共に2軸スキャナ17、fθレンズ18を介して基板19に入射する。偏光ビームスプリッタ16により、加工ビーム13と加工ビーム14とを略同じ光路にロスなく一致させることができる。
図3に示すように、第1の2軸スキャナ17はガルバノミラー40とガルバノミラー41とから構成され、第2の2軸スキャナ22はガルバノミラー38とガルバノミラー39とから構成されている。そして、ガルバノミラー38、40は反射光を図3におけるX軸方向に、ガルバノミラー39、41は反射光を図3におけるY軸方向に走査させる。
位置決め制御部3からの指示により、ガルバノミラー40、41は反射光を基板19上でそれぞれ50mm程度移動(スキャン)させる。また、ガルバノミラー38、39は、反射光を基板19上でそれぞれ1mm程度移動させる。
なお、加工ビーム14のスキャン範囲が狭いのは、加工ビーム14が2軸スキャナ22だけでなく2軸スキャナ17によっても走査されるためであり、加工ビーム14がfθレンズ18から外れることを防止するためである。
ここで、シャッター23は、同図に実線で示すように、通常は加工ビーム14の光路上から外れている。しかし、同図に点線で示すように、位置決め制御部2の動作指令により加工ビーム14の光路上に位置決めされると、加工ビーム14を反射し、加工ビーム14を遮蔽板34に入射させる。遮蔽板34に入射した加工ビーム14は熱に変換されるので、シャッター23により反射された加工ビーム14が迷光になることはない。
ダイクロックミラー15の背面側には、レンズ26と干渉フィルタ25とカメラ27とが配置されている。干渉フィルタ25は、波長λ3の後述するプルーム42とプルーム43だけを透過させる。カメラ27の光軸は、加工ビーム13の中心軸と一致するようにして配置されている。基板19が載置されたXYステージ20は、XY方向に移動自在である。
次に、制御系について説明する。
加工機制御部1の出力側はレーザ制御部2、位置決め制御部3、記憶装置30および表示装置31の入力側に接続され、入力側は加工状態診断部29の出力側に接続されている。レーザ制御部2の出力側はレーザ源4と同期装置24の入力側に接続され、同期装置24の出力側は光検出器10とカメラ27の入力側に接続されている。そして、光検出器10の検出タイミングとカメラ27の画像取込タイミングはレーザ源4がレーザ光5を照射するタイミングに合わせられる。光検出器10の出力側は信号処理装置11を介して加工状態診断部29の入力側に接続されている。そして、光検出器10により検出されたモニタビーム8の強度は、信号処理装置11により予め設定された強度とを比較され、その結果が加工状態診断部29に出力される。カメラ27の出力側は画像処理装置28を介して加工状態診断部29の入力側に接続されている。そして、画像処理装置28は、カメラ27から出力された撮像データに基づき、後述する波長λ3のプルームの位置と数とを確認する。位置決め制御部3の出力側はシャッタ23、2軸スキャナ17、22、XYテーブル20および加工状態診断部29の入力側に接続され、これらを制御する。
加工機制御部1の出力側はレーザ制御部2、位置決め制御部3、記憶装置30および表示装置31の入力側に接続され、入力側は加工状態診断部29の出力側に接続されている。レーザ制御部2の出力側はレーザ源4と同期装置24の入力側に接続され、同期装置24の出力側は光検出器10とカメラ27の入力側に接続されている。そして、光検出器10の検出タイミングとカメラ27の画像取込タイミングはレーザ源4がレーザ光5を照射するタイミングに合わせられる。光検出器10の出力側は信号処理装置11を介して加工状態診断部29の入力側に接続されている。そして、光検出器10により検出されたモニタビーム8の強度は、信号処理装置11により予め設定された強度とを比較され、その結果が加工状態診断部29に出力される。カメラ27の出力側は画像処理装置28を介して加工状態診断部29の入力側に接続されている。そして、画像処理装置28は、カメラ27から出力された撮像データに基づき、後述する波長λ3のプルームの位置と数とを確認する。位置決め制御部3の出力側はシャッタ23、2軸スキャナ17、22、XYテーブル20および加工状態診断部29の入力側に接続され、これらを制御する。
次に、加工ビーム13が基板19に照射された場合の加工部の状態について説明する。
図4は、代表的な基板19の断面図である。同図に示すように、基板19は樹脂44とガラス繊維45と内層銅箔46とから構成されている。
加工ビーム13が基板19に照射されると、照射された材料に応じて、特定の波長のプルーム42(plume。被照射物から発生される電子、原子、分子、イオンやクラスタ等の粒子群等による副次光である。)が発生する。すなわち、加工ビーム13が樹脂44を加工した場合は波長λ1のプルーム42が、ガラス繊維45を加工した場合は波長λ2のプルーム42が、また、内層銅箔46を加工した場合は波長λ3のプルーム42が、それぞれ発生する。
発生したプルーム42は、fθレンズ18、2軸スキャナ17、偏光ビームスプリッタ16を介してダイクロックミラー15に入射する。そして、予め定められた周波数帯域のプルーム42がダイクロックミラー15を透過し、レンズ26を介して干渉フィルタ25に入射する。そして、干渉フィルタ25により、波長λ3のプルーム42だけが干渉フィルタ25を通過してカメラ27に入射する。したがって、波長λ3のプルーム42をカメラ27で観察することができるのは、加工レーザ13が内層銅箔46に到達した場合に限られる。加工ビーム14の場合も加工ビーム13の場合と同様に、波長λ3のプルーム43をカメラ27で観察することができるのは、加工レーザ14が内層銅箔46に到達した場合に限られる。
そして、上記したように、カメラ27の光軸は加工ビーム13の中心軸に一致しているので、プルーム42の像はカメラ27の中心に結像される。また、プルーム43の像はカメラ27の中心から予め定められた位置に結像される。
したがって、カメラ27から出力される画像データを参照(必要に応じて、画像の中心を求める処理等を行う。)することにより、プルーム42、43の発光状態に基づいて、発生したプルームの数とその位置とを容易に確認することができる。
次に、この実施形態の動作を説明する。
図5は、本発明により1個の穴を加工する場合の手順を示すフローチャートである。加工に先立ち、加工機制御部1に加工条件を入力しておく。加工条件としては、基板19の種類、加工する穴径、レーザ光5のパルス幅とパルス間隔およびピークエネルギ、照射回数等を入力する。
図5は、本発明により1個の穴を加工する場合の手順を示すフローチャートである。加工に先立ち、加工機制御部1に加工条件を入力しておく。加工条件としては、基板19の種類、加工する穴径、レーザ光5のパルス幅とパルス間隔およびピークエネルギ、照射回数等を入力する。
図示を省略する加工開始釦がオンされると、加工機制御部1は照射回数n1を0にした後(S10)、照射回数n1をn1+1として(S20)から、n1回目の照射を行い(S30)、ビームスプリッタ7により、レーザ光5の一部をモニタービーム8として取り出す。モニタビーム8の強度はレーザ光3の強度に比例するので、モニタビーム8の強度を加工状態診断部29により評価する(S40)。そして、モニタビーム8の強度が予め設定された評価基準を満足した場合にはS50の処理を行い、その他の場合はS70の処理を行う。
一方、ビームスプリッタ7を透過した加工ビーム9は、ビームスプリッタ12により、加工ビーム13と加工ビーム14とに分割される。そして、加工ビーム13は2軸スキャナ17により、また、加工ビーム14は2軸スキャナ22および2軸スキャナ17により、それぞれ位置決めされ、fθレンズ18を介して基板19の指定された位置に入射し、基板19に穴を加工する。
S50では、照射回数n1とnとを比較し、n1<nの場合はn1=nになるまでS20〜S30の処理を繰り返す。そして、n1=nになるとS60の処理を行う。
S60では、画像処理結果と穴位置情報とを比較し、画像処理結果と穴位置情報とが一致した場合はこの穴の加工を終了し、その他の場合はS70の処理を行う。なお、加工機制御部1は、加工状態診断部29から出力された結果を記憶部23に貯えると共に、表示部24に表示する。
S70では、当該加工位置を加工不良個所として記憶した後、加工エラーを表示して(S80)、処理を終了する。
以下、この領域の加工が終了するまで上記の動作を繰り返し、この領域すなわちfθレンズの大きさで定まる加工領域での加工が終了すると、XYステージ20を動作させ、次の加工領域をfθレンズに対して位置決めする。
なお、例えば加工しようとする2つの穴の間隔が広い場合、位置決め制御部2の指令によりシャッター23を動作させ、加工ビーム14を遮蔽して、加工ビーム13だけで加工をする。
また、記憶部23に貯えられたデータは、以降の加工や検査等のプロセスに活用される。
さらに、モニタビーム8の測定結果を、記憶部23に記憶させるようにしてもよい。
また、この実施形態では、レーザ源4から出射されるレーザ光5をP偏光としたが、S偏光としてもよい。
また、この実施形態では、3個のミラーにより偏光方向を変えるようにしたので、1/2波長板やファラデー素子、旋光子等の高価な装置を用いる必要がないし、レーザ光の波長の影響を受けることもない。
さらに、この実施形態では、加工状態と加工位置を求めるようにしたが、加工状態だけを確認するようにしてもよい。
以上、説明したように内層銅箔で発光する特定の波長を選択して測定することにより、加工エリア内にすでに加工が終了した穴が混在しても、リアルタイムで加工している穴だけを抽出して検査できる。したがって、信頼性の高い穴を加工することができる。
ところで、上記では、予め定める回数だけレーザ光を照射してから、加工状態を評価するようにしたが、図6に示すように、図5における手順S50と手順S60を入替え、レーザ光を照射する毎に加工状態を評価し、加工が完了したと評価された場合(すなわち、加工状態がnショット時の加工状態に到達した場合)には、照射回数が設定回数未満であっても、加工を終了するようにしても良い。このようにすると、上記の加工方法に比べ加工能率をさらに向上させることができる。
図7は、本発明の第2の実施形態に係るレーザ加工装置の構成図であり、図1と同じものまたは同一機能のものは同一符号を付して重複する説明を省略する。
この実施形態は上記第1の実施形態がビームスプリッタによりレーザ光を2分割したことに代えて、マスクによりレーザ光を多分割するようにしたものである。
多穴マスク50には、例えば図8に示すように、9個の窓が形成されており、多穴マスク50に入射するレーザ光は9個の加工ビームに分割されて、基板19上に9個の穴を同時に加工することができる。
なお、この実施形態の動作は、上記第1の実施形態から容易に理解できるので、重複する説明を省略する。
このように、多数の穴を同時に加工する場合、同時に加工される複数の穴の加工状態を検査するためには観察カメラの観察エリアを大きくする必要があるが、観察エリアを広げると、すでに加工された穴も一緒に観察されるため、加工済みの穴と加工中の穴との区別が困難になる可能性がある。
これに対して、本発明では、fθレンズおよびフィルタを介して内層銅箔を加工する時に発生するプルームを観察するようにしたので測定分解能を向上させることができる。
13,14 レーザ光
18 集光レンズ(fθレンズ)
19 加工対象物
25 フィルタ
27 撮像手段(カメラ)
28 画像処理手段
42,43 副次光
18 集光レンズ(fθレンズ)
19 加工対象物
25 フィルタ
27 撮像手段(カメラ)
28 画像処理手段
42,43 副次光
Claims (4)
- レーザ光を集光レンズを介して加工対象物に照射させ、加工に伴って発生する副次光を検出することにより加工状態をインプロセスで検出するようにしたレーザ加工方法において、
前記集光レンズを透過した予め定める波長の前記副次光を撮像し、撮像結果を画像処理することにより、今回の加工部の加工結果を識別することを特徴とするレーザ加工方法。 - 加工結果に加えて加工位置を識別することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工方法。
- レーザ光を集光レンズを介して加工対象物に照射させ、加工に伴って発生する副次光を検出することにより加工状態をインプロセスで検出するようにしたレーザ加工装置において、
フィルタと、撮像手段と、画像処理手段と、を設け、
前記フィルタおよび前記集光レンズを介して、前記撮像手段により加工部を撮像し、撮像結果を画像処理することにより、今回の加工部の加工結果を識別することを特徴とするレーザ加工装置。 - 加工結果に加えて加工位置を識別することを特徴とする請求項3に記載のレーザ加工装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2003
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