JPH08229920A - スル−ホ−ルの検査・修正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 グリ−ンシ−トのスル−ホ−ル内に付着した
異物などの欠陥を検査するとともに、付着した異物の除
去、修正を同一装置内で行うことにある。 【構成】 光源４の光により検査対象のグリ−シ−ト
(以下、シート)の平面画像を撮影する撮像手段５と、撮
像結果に基づき検査視野内のスル−ホ−ル(以下、ホー
ル)の数、穴位置、穴面積を算出し、ホ−ル数の設計値
との不一致または穴位置、穴面積が許容範囲内にないこ
との何れかの条件で視野内のホ−ルの欠陥を判定し、穴
位置対応に判定結果を記憶する画像処理装置８を備える
検査部と、位置決めされたシ−トのホ−ルに対しノズル
からエアーを噴出してホ−ル内壁面の異物を除去する修
正部６と、テーブル上のシ−トを移動するＸ−Ｙテーブ
ルと、シ−トの検査部への位置決め及び前記判定結果に
基づく修正部への位置決めと検査部及び修正部を制御す
る制御部９と、除去された異物の回収部７を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、セラミック基板の製造
工程において、セラミックグリ−ンシ−トに明けたスル
−ホ−ルの欠陥検査及び欠陥部を修正する装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の方法は、例えば、特開平５−５２
７６５号に示されているように、セラミック基板を製造
するためのセラミックグリ−ンシ−トに明けたスル−ホ
−ルの検査方式は、多数のスル−ホ−ルが形成されたグ
リ−ンシ−トの一方平面側からの光源の照射によって、
前記光源の反対側で透過平面画像を撮像し、その画像を
画像処理装置により、その視野内のスル−ホ−ル内壁面
に付着した異物による穴面積少、穴数不足などの欠陥を
検査する方式である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、グ
リ−ンシ−トのスル−ホ−ル内壁面に付着した異物など
の欠陥を検査するのみであるため、付着した異物などの
欠陥を除去、修正し、救済する機能はなかった。本発明
の目的は、グリ−ンシ−トのスル−ホ−ルに付着した異
物などの欠陥を検査するとともに、付着した異物、抜き
カスなどの欠陥部を除去、修正し、救済する機能を有す
る、グリ−ンシ−トのスル−ホ−ルの検査・修正装置を
提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、多数のスル−ホ−ルが形成されたグリ−
シ−トのスル−ホ−ルの検査・修正装置であり、検査対
象の前記グリ−シ−トの平面画像を撮影する撮像手段
と、撮像したグリ−シ−ト平面画像に基づき検査視野内
のスル−ホ−ルの数、穴位置、穴面積を算出し、算出し
たスル−ホ−ルの数が設計値に一致しないこと、または
穴位置、穴面積が許容範囲内に収まっていないことの何
れかの条件で視野内のスル−ホ−ルに欠陥があることを
判定し、穴位置対応に判定結果を記憶する画像処理装置
を備える検査部と、ノズルを有し、位置決めされたグリ
−シ−トのスル−ホ−ルに対し該ノズルからエアーを噴
出してスル−ホ−ル内壁面に付着した異物を除去する修
正部と、テーブル上に載置されたグリ−シ−トを移動す
る移動機構と、移動機構によるグリ−シ−トの前記検査
部への位置決めおよび該検査部の判定結果に基づく修正
部への位置決めを制御し、かつ前記検査部および修正部
を制御する制御部を備えるようにしている。さらに、前
記修正部により除去された異物を回収する回収部を前記
修正部に対向して設けるようにしている。

【０００５】

【作用】上記手段によれば、多数のスル−ホ−ルが形成
されたグリ−ンシ−トの撮像画像と穴数、穴位置、穴面
積などの検査デ−タとを比較して判定結果を得る検査部
と、該判定結果に基づきスル−ホ−ル内壁面に付着した
異物を除去する修正部を同一装置内に設けた構造とした
ため、検査により明確になった欠陥スル−ホ−ルのみに
対し、検査に引き続き修正部において欠陥スル−ホ−ル
内の異物を除去修正することが可能であり、さらに、回
収部を設けているため除去した異物を回収することが可
能である。

【０００６】

【実施例】以下、本発明を実施例に基ずいて詳細に説明
する。図１は、本発明のスル−ホ−ル検査・修正装置の
一実施例を示す斜視図である。図１において、１は検査
装置本体であり、正面から見て左側には検査対象のグリ
−ンシ−ト２を図示のＸ，Ｙ方向に移動可能なＸ−Ｙテ
−ブル３に順次供給し、また検査を終えたグリ−ンシ−
ト２を収納するグリ−ンシ−ト供給／収納装置１０が設
けられている。なお、グリ−ンシ−トの供給／収納の機
構は本発明の主題ではないので、詳細な図示、説明は省
略する。検査対象のグリ−ンシ−ト２を載置するＸ−Ｙ
テ−ブル３は、薄くて可撓性のあるグリ−ンシ−ト２を
平坦に置くために透明なガラス板を置いた構造であり、
その下方には、グリ−ンシ−ト２の下面に向けて照明光
を照射する光源４が配置されている。また、Ｘ−Ｙテ−
ブル３はガラス板のみが下降し、ガラス板とグリ−ンシ
−ト２の間に空間を作りだせる構造である。５は、Ｘ−
Ｙテ−ブル３の上方に位置し、グリ−ンシ−ト２の平面
画像を撮影する撮像カメラであり、８は撮像カメラ５で
撮像したグリ−ンシ−ト平面画像に基ずいて視野内のス
ル−ホ−ルの数、位置および各穴面積を算出し、算出し
たスル−ホ−ルの数が規定数に一致しないこと、または
穴位置および穴面積が許容範囲内に収まっていないこと
のいずれかの条件で視野内のスル−ホ−ルに欠陥がある
ことを判定し、穴位置対応に判定結果を記憶する画像処
理装置であり、撮像カメラ５と画像処理装置８により検
査部を構成している。９はＸ−Ｙテ−ブル３を移動し、
グリ−ンシ−ト２の検査部位を撮像カメラ５の視野内に
位置決めし、また画像処理装置に記憶された穴位置対応
の判定結果に基づき修正部位を後述の修正部６に位置決
めする等の制御を行う制御装置である。６は、前記グリ
−ンシ−ト２を修正するための修正部であり、グリ−ン
シ−ト２はスル−ホ−ル検査で抜きカス残り等の不良箇
所が発見されたとき、Ｘ−Ｙテ−ブル３により移動さ
れ、修正部６に位置決めされる。さらに、７は前記修正
により発生した抜きカス等の異物を回収するための回収
部である。

【０００７】図２は、Ｘ−Ｙテ−ブルのガラス板３ａ上
に載置した検査対象のグリ−ンシ−ト２と撮像カメラ５
および光源４との関係を示す図であり、多数のスル−ホ
−ル１１が明けられたグリ−ンシ−ト２の鉛直上方にお
いてグリ−ンシ−ト２の平面画像を撮像カメラ５で撮像
するようになっている。図中、１２はスル−ホ−ル１１
内壁に付着した抜きカスを示す。図３は、図２の撮像カ
メラ５で撮像した視野２０の平面画像１９を示す。グリ
−ンシ−ト２のスル−ホ−ル１１の数及び、抜きカス１
２がスル−ホ−ル１１内に残存していることが、この画
像により容易に分かる。

【０００８】図４は、グリ−ンシ−ト２のスル−ホ−ル
１１内に残存している抜きカス１２を除去修正するため
の修正部６、及び前記抜きカス１２がグリ−ンシ−ト２
に再付着することを防止するための、抜きカス１２の回
収部７を示す。前記画像処理装置等による検査により抜
きカス１２の残存が明確になったグリ−ンシ−ト２のス
ル−ホ−ル１１上に、前記記憶された判定結果に基づき
Ｘ−Ｙテ−ブルを移動し、修正用のノズル１５を位置決
めする。ノズル１５は、ホルダ−１４により把持されて
いるとともに、圧縮エア−１６をスル−ホ−ル１１に向
かって噴射できる。また、グリ−ンシ−ト２の下方には
回収部７が位置し、回収部７はその上部に回収管１８を
有し、回収口１８ａから吸引１７により抜きカス１２を
回収できる構造である。回収した抜きカス１２は、回収
管１８を経て集塵機（図示せず）に回収する。なお、グ
リ−ンシ−ト２の修正部への移動前には、回収部７は、
Ｘ−Ｙテ−ブル３の移動の邪魔にならないように、図１
における後方に引き込まれている。そして、Ｘ−Ｙテ−
ブル３が修正部６に移動して位置決めされると、Ｘ−Ｙ
テ−ブルのガラス板３ａは図４の下部に示す位置に下降
し、その後、回収部７が図１における前方に移動して出
され、グリ−ンシ−ト２を支えるように多少上方に移動
するように制御が行われる。

【０００９】図５は、本発明のスル−ホ−ル検査・修正
装置の一実施例における検査と修正の動作の概要を示す
フロ−チャ−トである。次に、以上の構成に係わる動作
を図１および図５により説明する。まず、制御装置９
は、Ｘ−Ｙテ−ブル３をグリ−ンシ−ト供給／収納装置
１０側に移動し、検査対象のグリ−ンシ−ト２をＸ−Ｙ
テ−ブル３の上に供給させる。Ｘ−Ｙテ−ブル３の上面
にグリ−ンシ−ト２が載置されたならば、Ｘ−Ｙテ−ブ
ル３を撮像カメラ５側へ移動させる。次に、制御装置９
は、Ｘ−Ｙテ−ブル３をＸ方向およびＹ方向に移動し、
グリ−ンシ−ト２の上面を所定面積単位で区分けした複
数の検査領域のうち最初の検査領域が撮像カメラ５の真
下に位置するように、グリ−ンシ−ト２を位置決めす
る。この状態で、制御装置９は光源４を駆動し、グリ−
ンシ−ト２の下面側に照明光を照射させる。同時に、撮
像カメラ５に撮像開始を指示する。すると、図３に示す
ように、撮像カメラ５の視野２０内で最初の検査領域の
グリ−ンシ−ト２の平面画像１９が撮像される。この撮
像したグリ−ンシ−ト２の平面画像１９は画像処理装置
８に入力される。画像処理装置８、入力されたグリ−ン
シ−ト２の平面画像１９に基づき、検査領域内のスル−
ホ−ル１１の数、および各穴面積を算出し、算出したス
ル−ホ−ル１１の数、および各穴面積が許容範囲内に収
まっていないときは、スル−ホ−ル１１に欠陥があるこ
とを判定し、その判定結果を穴位置対応に記憶する。こ
こで、抜きカス１２あるいは異物等がスル−ホ−ル１１
に残存した場合は、穴面積が正常時より小さくなるので
欠陥を発見できる。次に、制御装置９は検査結果が合格
の場合はＸ−Ｙテ−ブル３を駆動し、次の検査視野へ移
動し、同様の検査方法で検査を続行する。しかし、欠陥
が発見された時は、Ｘ−Ｙテ−ブル３の駆動により、グ
リ−ンシ−ト２を修正部まで移動、位置決めし、修正部
６に修正作業を行わせる。修正作業が終了したならば、
Ｘ−Ｙテ−ブル３を駆動しグリ−ンシ−ト２をもとの検
査位置まで移動し、修正を行った視野のみを再検査す
る。これにより、検査合格となれば次の検査視野へと移
動し同様の検査方法で検査を続行する。しかし、一度の
修正作業で欠陥を除去、修正できない場合は、再度同様
の検査、修正を実施する。グリ−ンシ−ト２の検査すべ
き領域が全てが検査、修正を終了したならばＸ−Ｙテ−
ブル３を駆動し、グリ−ンシ−ト２をグリ−ンシ−ト供
給／収納装置１０側に移動し収納することで終了する。

【００１０】

【発明の効果】以上、本発明によれば、多数のスル−ホ
−ルが形成されたグリ−ンシ−トの穴面積不足、穴数不
足などの欠陥を検査する検査部に加えて、検査により明
確になった前記欠陥部のあるスル−ホ−ルのみを、噴射
エア−により抜きカス及び異物等を除去、修正できる修
正部、抜きカスを回収する回収部を検査部と同一装置内
に設けた構造としているため、スル−ホ−ルの検査作業
と欠陥部の修正作業が同一装置内でしかも短時間で実施
でき、検査修正工数の低減、異物回収による救済による
歩留まり向上、コスト低減、および異物回収による再付
着防止での製品信頼性の向上がはかれるといった優れた
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成を示す斜視図である。

【図２】撮像カメラ、光源および検査対象のグリ−ンシ
−トとの関係を示す図である。

【図３】検査一視野内での拡大した倍率のスル−ホ−ル
平面画像を示す図である。

【図４】修正部、回収部および修正対象のグリ−ンシ−
トとの関係と、修正動作を説明するための図である。

【図５】実施例における検査と修正の動作の概要を示す
フロ−チャ−トである。

【符号の説明】

１ 検査・修正装置本体 ２ グリ−ンシ−ト ３ Ｘ−Ｙテ−ブル ３ａ ガラス板 ４ 光源 ５ 撮像カメラ ６ 修正部 ７ 回収部 ８ 画像処理装置 ９ 制御装置 １１ スル−ホ−ル １２ 抜きカス １５ ノズル １６ 圧縮エア− １７ 吸引 １８ 吸引管 １８ａ 回収口 １９ 平面画像 ２０ 視野

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数のスル−ホ−ルが形成されたグリ−
   シ−トのスル−ホ−ルの検査・修正装置であって、 検査対象の前記グリ−シ−トの平面画像を撮影する撮像
   手段と、撮像したグリ−シ−ト平面画像に基づき検査視
   野内のスル−ホ−ルの数、穴位置、穴面積を算出し、算
   出したスル−ホ−ルの数が設計値に一致しないこと、ま
   たは穴位置、穴面積が許容範囲内に収まっていないこと
   の何れかの条件で視野内のスル−ホ−ルに欠陥があるこ
   とを判定し、穴位置対応に判定結果を記憶する画像処理
   装置を備える検査部と、 ノズルを有し、位置決めされたグリ−シ−トのスル−ホ
   −ルに対し該ノズルからエアーを噴出してスル−ホ−ル
   内壁面に付着した異物を除去する修正部と、 テーブル上に載置されたグリ−シ−トを移動する移動機
   構と、 該移動機構によるグリ−シ−トの前記検査部への位置決
   めおよび該検査部の判定結果に基づく修正部への位置決
   めを制御し、かつ前記検査部および修正部を制御する制
   御部を備えることを特徴とするスル−ホ−ルの検査・修
   正装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のスル−ホ−ルの検査・修
   正装置において、 前記修正部により除去された異物を回収する回収部を前
   記修正部に対向して設けることを特徴とするスル−ホ−
   ルの検査・修正装置。