JP2020511788A - 電子試験器 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] この出願は、2017年3月3日に出願された米国仮特許出願第62/466,462号および2017年6月28日に提出された米国仮特許出願第62/526,089の優先権を主張し、これらの出願は、その全体が参照により本出願に組み込まれる。
[0002] 本発明は、超小型電子回路を試験するために使用する試験器に関する。
[0003] マイクロ電子回路は、通常、半導体ウェーハの内部および上面に組み立てられる。このようなウェーハは、その後、「単体化され」または「さいの目に切られて」個々のダイになる。そのようなダイは、一般的に、支持板に取り付けられて、支持板に剛性を与え、かつダイの集積回路またはマイクロ電子回路と電子的に通信する。最終的な包装は、ダイのカプセル化を含むことができ、結果として生じるパッケージは次いで顧客に出荷することができる。
少なくとも1つの電流検出器を用いて、第2クラスタの機器からの第1の試験電流を測定し、第2のクラスタの機器からの電流検出器によって測定する第1の試験電流は、第2クラスタの機器に同時に供給される合計電流であり、少なくとも1つの電流検出器を用いて、第2クラスタの機器からの第1の試験電流を測定し、第2のクラスタの機器からの電流検出器によって測定する第1の試験電流は、第2クラスタの機器に同時に供給される合計電流であり、電圧目標システムを用いて第1の比較を実行し、比較は、測定された第1のクラスタの機器からの第1の試験電流を目標電流と比較することによって行う段階と、第1の電圧調整器を用いて、第1の試験電圧を第1の比較に応じて第1のクラスタに関する第2の試験電圧に調整し、結果として第2のクラスタの機器からの第1の試験電流は、目標電流により近い第2の試験電流に調整される段階と、電圧目標システムを用いて第2の比較を実行し、比較は、測定された第2クラスタの機器からの第1の試験電流を目標電流と比較することによって行う段階と、第2の電圧調整器を用いて、第1の試験電圧を第2の比較に応じて第2のクラスタに関する第2の試験電圧に調整し、結果として第2のクラスタの機器からの第1の試験電流は、目標電流により近い第2の試験電流により近く調整される段階と、を含む。
[0055] スロット組立品18Aは、ヒンジ84によってスロット組立品本体32に接続されたドア82をさらに有する。ドア82が回転して開放位置になると、カートリッジ28Aは、ドア開口部86を通ってスロット組立品本体32に挿入することができる。次に、カートリッジ28Aは、熱チャック34上に降ろされ、ドア82を閉鎖される。熱チャック34は、スロット組立品本体32に取り付けられる。熱チャック34は、次いで、本質的にウェーハ用の試験ステーションを有するホルダーを形成する。
T2にて、第1のカートリッジに電力が供給され、第1のカートリッジ内の機器が試験される。T3にて、第2のカートリッジはフレーム14に挿入され、第2のカートリッジの加熱が開始する。T4にて、第1のカートリッジの試験が終了する。T4にて、第1のカートリッジの冷却も開始する。T5にて、第2のカートリッジが試験温度に達し、第2のカートリッジに電力が供給され、第2のカートリッジ内のウェーハが試験される。T6にて、第2のカートリッジは、室温に近い温度に達し、フレーム14から取り出される。次いで、第1のカートリッジの代わりに第3のカートリッジが挿入できる。T7にて、第2のカートリッジの試験が終了し、その冷却が開始する。T8にて、第2のカートリッジは室温または室温近くまで冷却されて、フレーム14から取り出される。
・VCSELウェーハでは、非常に小さな領域に非常に多くの機器がある。例えば、7.6cmの円内に50,000個の機器があるVCSELウェーハを仮定する。
・50,000個の定電流電源の費用により、費用対効果が高い焼付き試験は、システムの価格が高くなりすぎる。
・50,000本の電力線を7.6cmの円内に経路設定することは、不可能ではないにしても、非常に困難である。
・VCSELはダイオードであるため、接地短絡する電力はほとんどない。
・「開放」がはるかに高い頻度で発生する可能性があり、その原因は、VSCELSが「開放」であること、またはウェーハとの接触不良である。
・VCSELの内部抵抗が、大きく(10mAVCSELにつき約100オーム)、かつウェーハの全域で非常に一貫している(1%以内)。
・非常に正確な(1%以内)電圧源を構築する可能性が非常に高い。
・電圧源の電流をかなり正確に測定することができる。
・ほとんどのVCSELウェーハには、VCSELを直列に配置する能力を制限する共通カソードがある。
・説明のために、以下のことを仮定する。
・VCSEL焼付き試験には、約2.5ボルトおよび10mAが必要である。
・チャンネルごとに5ボルトおよび200mAまでの1024個の電力チャンネルを持つシステムを仮定する。
・システムは、チャネルごとに定電流または定電圧を供給できると仮定する。
・目標は、1/4ウェーハ(12,500VCSEL)を単独のステップで焼付き試験することであると仮定する。
(1)個々の定電流源。これにより、あらゆるVCSELに正確で測定可能な電流が供給されるが、以下の問題が発生する。
・ステップごとにウェーハの約2%が焼付き試験できるに過ぎない(1024個のチャネル対50,000個の機器)。
・VCSELごとの「費用」は1チャネルである。追加のチャネルが追加できたとしても、費用はVCSELにつき1チャネルのままである。
・システムが12,500個のチャネル(ウェーハの1/4における焼付き試験に必要な最小チャネル数)に拡張できても、12,500個の電力チャネルを7.6cmウェーハ領域内に経路設定することは不可能または費用がかかる。
(2)直列配線。これには、約13個のVCSELを直列に配置し、定電流源で駆動する必要があるが、以下の問題が発生する。
・VCSELは全て共通のカソードを有するので、VCSELのウェーハを直列に配線することはできない。
・これには、10mAおよび30ボルト以上の電流源が必要である。このような高電圧を過電流から保護することは非常に困難である。
(3)電流源との並列配線。定電流源と並列に約13個のVCSELを駆動する。これには、2.5ボルト、130mAの電流源が必要である。このシステムには以下の問題がある。
・「開放」または不良なプローブ接触があるあらゆるVCSELについて、グループ内の残りのVCSEL間に余分な電流が分配される。したがって、各VCSELは、グループ内のあらゆる不良VCSELについて約8%の余分な電流(130mA/12個のVCSEL)を得る。
・開放VCSELに起因して電圧が大幅にシフトしない場合、他の12個のVCSELが誤った焼付き試験電流を受け取ったことが分からないため、不良機器が検出を逃れることがある。
(4)電圧源との並列配線。このようなシステムは、13個のVCSELを定電圧源と並列に駆動する。電圧源は、全13個のVCSELが10mAの電流を受け取るために必要な電圧になるように選択される。このシステムには以下の問題がある。
・VCSELが開放していれば、グループ内の合計電流は少し少なくなる。あらゆる開放VCSELについて、グループ電流は10mA低くなる(例えば、150mAに対してグループにつき140mA)。グループ内の残りのVCSELは、依然として10mAを得る。
・グループ内のVCSELごとの電流の安定性は非常に良好である。最悪の場合、それは、電圧供給の精度(<1%)、および良好なVCSELの内部抵抗の一貫性(ウェーハ全域で<1%)である。したがって、各VCSELを流れる電流は、並列な電圧源を用いてウェーハ全域で2%以内に一貫している。
・VCSELが短絡すれば(非常に低い)、電力チャネルの過電流保護が、その電力チャネルを終了させ、他のチャネルは依然として動作したままにする。
・回路1は理想的な回路であるが、費用および技術的な問題により除外される。
・回路2は、共通カソードVCSELウェーハでは不可能である。
・回路3は、最も一般的な故障モードである「開放」機器において、非常に悪い結果をもたらす。
・回路4は、ほとんど全ての場合に非常に良い結果をもたらし、費用対効果が非常に高い。
・VCSEL用の電圧源が適切な電流を受け取るように、適切な電圧を選択する必要がる。
・適切な電圧はいくつかの要因の関数である。
・VCSELの構築。VCSELのデザインにより、所望の電流における電圧が決まる。
・VCSEL組立プロセスはウェーハごとに異なる。プロセス変動に起因して所定電流における電圧は、ウェーハごとに異なり得る。
・ウェーハ全域でのVCSEL組立プロセスの変動。所定電流での電圧は、ウェーハ周縁付近の機器とウェーハ中央の機器とで異なり得る。
・特定電流での電圧は温度につれて変動する。焼付き試験のために加える熱だけでなく、機器自体の内部加熱も、所定電流での電圧を変化させ得る。
・VCSELが古くなるにつれて、その電圧/電流関係がシフトする。したがって、焼付き試験サイクルの開始時に電圧が正確な場合でも、終了時の適切な電圧は低くなる可能性がある。
勾配=(VB−VA)/(IB−IA)
VG+(IT−IG)*勾配
・ウェーハの周縁付近の機器は、特性がウェーハの中央付近の機器と異なることは珍しくない。
・クラスタは、周縁機器が他の周縁機器とともに分析され、中央機器が他の中央機器とともに分析されるように選択できる。
・例えば、初期電圧/電流の計算が不十分であり、結果として得られる勾配が20%ずれていたと仮定する。
・第1の目標変更ステップに関して、計算した電圧が50%間違っていた(つまり、電流が50%間違っていた)と仮定する。
・第1の目標変更は、誤差が20%である勾配を用いて50%の電流誤差を修正しようとする。正味の修正は、すると10%(50%*20%)間違っている。
・次の目標変更ステップは、次いでこの10%誤差を修正し、再び20%計算間違いする。この修正は2%(10%*20%)間違っているに過ぎない。
・このように、開始誤差が50%で、勾配誤差が20%の目標変更ステップが2つに過ぎない後であるから、結果として生じる電流はいまや2%以内である。
・これは、この目標変更アルゴリズムは急速に収束することを示す。より一般的には、勾配は約5%以内に計算され、初期電流は20%以内になる。すると、正確な電流の1%以内に収まるのに、ただ1つのステップが必要であるに過ぎない。
12 試験器
14 フレーム
18A スロット組立品
28A カートリッジ
40 スロット組立品接続部分
72 チャック
302 保持構造
304 水平移送装置
306 垂直移送装置
346 蓋
354 熱支柱
364 ソケット
366A、368A ピンセット
Claims (96)
- 試験装置であって、
フレームと、
前記フレーム上のスロット組立品と、
前記スロット組立品上のスロット組立品接続部分と、
複数のマイクロ電子機器を保持するカートリッジを設置する保持構造と、
前記カートリッジを水平方向で第1の位置から第2の位置に前記スロット組立品内へ移動させるように動作可能な水平移送装置と、
前記カートリッジおよび前記スロット組立品を第1の垂直方向で互いに対して移動させ、前記スロット組立品接続部分を前記カートリッジ上のカートリッジ接続部分と係合させるように動作可能な垂直移送装置と、
前記第1のスロット組立品接続部分および前記カートリッジ接続部分を介して接続され、各マイクロ電子機器に少なくとも電力を供給し、前記マイクロ電子機器の性能を測定する試験器と、を備え、
前記垂直移送装置は、前記カートリッジおよび前記スロット組立品を第2の垂直方向で互いに対して移動させるように動作可能であり、前記第2の垂直方向は、前記第1の垂直方向の反対であって前記スロット組立品接続部分を前記カートリッジ接続部分から切り離し、前記水平移送装置は、前記カートリッジを水平方向で前記第2の位置から前記第1の位置に前記スロット組立品外へ移動させるように動作可能である、試験装置。 - 前記水平移送装置はスライドである、請求項1に記載の試験装置。
- 前記水平移送装置が前記カートリッジを前記第2の位置に移動させるとき、前記垂直移送装置は、前記水平移送装置によって作動される、請求項1に記載の試験装置。
- 前記カートリッジと前記スロット組立体との間に接続されたばねであって、前記カートリッジおよび前記スロット組立体の垂直方向における互いに対する第1の移動により、そのばね力に反して変形するばねと、
前記カートリッジおよび前記スロット組立品を前記ばねが変形する位置にロックするために係合するロック機構と、をさらに備える、請求項1に記載の試験装置。 - 前記ロック機構は、
ピボット接続の周りに回転する制御レバーと、
前記制御レバーに接続された第1のリンク、および前記ばねに接続された第の2リンクを有する圧力レバーと、を備え、前記制御レバーは、前記第1のリンクが前記ピボット接続と前記第2のリンクとを接続する線の第1の側にあるロック解除位置から、前記ばねが変形し、かつ前記第1のリンクが前記ピボット接続および第2のリンクと一直線になる圧縮位置を通って、前記第1のリンクが前記線に対して前記第1の側と反対の第2のロック位置に回転する、請求項4に記載の試験装置。 - 前記水平移送装置が前記カートリッジを前記第2の位置に移動させるとき、前記制御レバーの移動は、前記水平移送装置によって作動される、請求項5に記載の試験装置。
- 前記水平移送装置は、前記カートリッジを前記第2の位置から前記第1の位置に移動させるとき、前記制御レバーを前記ロック位置から前記ロック解除位置に回転させる、請求項6に記載の試験装置。
- 前記ばねはビームばねである、請求項4に記載の試験装置。
- 熱チャックであって、前記カートリッジおよび前記スロット組立品が前記第1の垂直方向において互いに対して相対的に移動することにより、前記熱チャックは前記カートリッジに係合し、前記カートリッジおよび前記スロット組立品が第2の垂直方向において互いに対して相対的に移動することにより、前記カートリッジから切り離される熱チャックと、
動作時に、前記熱チャックと前記カートリッジとの間で熱を伝導する少なくとも1つの温度修正機器と、をさらに備える、請求項1に記載の試験装置。 - 電子機器を試験する方法であって、
複数のマイクロ電子機器を保持するカートリッジを、フレーム上でスロット組立品の少なくとも部分的に外側の第1の位置に保持する段階と、
前記カートリッジを、水平方向に前記第1の位置から第2の位置にスロット組立品内へ移動させる段階と、
前記カートリッジおよび前記スロット組立品を第1の垂直方向で互いに対して移動させ、前記スロット組立品上のスロット組立品接続部分を前記カートリッジ上のカートリッジ接続部分と係合させる段階と、
前記第1のスロット組立品接続部分および前記カートリッジ接続部分を介してマイクロ電子機器を試験し、試験は、各マイクロ電子機器に少なくとも電力を供給して、前記マイクロ電子機器の性能を測定することによって行う段階と、
前記カートリッジおよび前記スロット組立品を第2の垂直方向において互いに対して移動させ、前記第2の垂直方向は、前記第1の垂直方向と反対であり、前記スロット組立品接続部分を前記カートリッジ接続部分から切り離す段階と、
前記カートリッジを、水平方向で前記第2の位置から前記第1の位置に前記スロット組立品外へ移動させる段階と、を備える方法。 - 前記カートリッジと前記スロット組立品との間に接続されたばねを変形させ、前記カートリッジおよび前記スロット組立品を前記第1の垂直方向で互いに対して移動させることにより、前記ばねをそのばね力に抗して変形させる段階と、
ロック機構を係合させて、前記カートリッジおよび前記スロット組立品をばねが変形した位置にロックする段階と、をさらに備える、請求項10に記載の方法。 - 制御レバーをピボット接続の周りに回転させて、前記制御レバーに接続された第1のリンクおよび前記ばねに接続された第2のリンクを有する圧力レバーを移動させる段階であって、前記制御レバーは、前記第1のリンクが前記ピボット接続と前記第2のリンクとを接続する線の第1の側にあるロック解除位置から、前記第1のリンクが前記ピボット接続および前記第2のリンクと一直線になる圧縮位置を通り、前記ばねが変形しかつ前記第1のリンクが前記線に対して前記第1の側と反対の第2の側にあるロック位置に回転する段階をさらに備える、請求項11に記載の方法。
- 熱チャックを前記カートリッジに係合させる段階であって、前記カートリッジおよび前記スロット組立品が前記第1の垂直方向において互いに対して相対運動することにより、前記熱チャックは前記カートリッジに係合し、前記カートリッジおよび前記スロット組立品が前記第2の垂直方向において互いに対して相対運動することにより、前記熱チャックは前記カートリッジから切り離される段階と、
前記熱チャックと前記カートリッジとの間で熱を伝導する段階とをさらに備える、請求項10に記載の方法。 - カートリッジであって、
絶縁材料で作られ、上側および下側を有するソケットであって、前記上側は、第1の電子機器を解放可能に保持するための第1の構成を有し、前記ソケットを下側から上側まで貫通して形成された第1のソケット熱開口部を有するソケットと、
前記ソケットに接続され、前記第1の機器を電気試験器に接続する接続部分と、
熱伝導性材料製のチャックと、
前記チャックに取り付けた第1の熱支柱であって、前記第1のソケット熱開口部に挿入され、前記第1の熱支柱の端部が前記第1の機器に熱的に接続され、結果として熱が、前記チャックと前記第1の電子機器との間の前記ソケットの前記絶縁材料とは対照的に、主に通って伝達する第1の熱支柱と、を備えるカートリッジ。 - 前記上側は、第2の電子機器を解放可能に保持するための第2の構成を有し、前記ソケットは、これを貫通して前記下側から前記上側に形成された第2のソケット熱開口部を有し、前記接続部分は、前記第2の機器を前記電気試験機に接続し、
前記チャックに取り付けた第2の熱支柱であって、前記第2ソケット熱開口部に挿入され、前記第2の熱支柱の端部が前記第2の機器に熱的に接続され、結果として熱が、前記チャックと前記第1の電子機器との間の前記ソケットの前記絶縁材料とは対照的に、主に通って伝導する第2の熱支柱と、をさらに備える、請求項14に記載のカートリッジ。 - 前記ソケットと前記チャックとの間に回路基板をさらに備え、前記接続部分は前記回路基板上に位置し、前記回路基板は、前記熱支柱が挿通される第1の回路基板熱開口部を有する、請求項14に記載のカートリッジ。
- 前記ソケットに保持され、前記第1の電子機器の端子を前記回路基板に接続する第1の接点セットをさらに備え、前記第1の接点セットは、弾性的に押し下げ可能であり、前記第1の電子機器を、前記第1の熱支柱の第1の熱表面を形成する前記端部に接触させる、請求項16に記載のカートリッジ。
- 前記ソケットに取り付けられ、前記ソケットを通って延びて、前記第1の電子機器を前記回路基板に接続する複数のピンをさらに備える、請求項17に記載のカートリッジ。
- 前記ソケットに対して移動可能であり、前記第1のピンを押し下げて前記第1の電子機器を前記第1の熱支柱の前記端部に接触させる蓋をさらに備える、請求項14に記載のカートリッジ。
- 前記第1の熱支柱が延び、前記チャックに接触する表面を有する第1の熱留め具をさらに備える、請求項14に記載のカートリッジ。
- 前記第1の熱留め具は、前記第1の熱支柱に至る軸線と平行なそれぞれの各平面において前記第1の熱支柱よりも断面が大きく、それにより前記第1の熱留め具と前記チャックとの間の熱伝導性が向上する、請求項19に記載のカートリッジ。
- 前記第1の熱留め具は、前記チャックの上面の開口部に挿入されている、請求項20に記載のカートリッジ。
- 前記第1の熱留め具は、前記チャックの前記上面にある前記開口部に、選択された深さまで圧入されている、請求項19に記載のカートリッジ。
- 前記熱支柱は、前記第1のソケット熱開口部にゆるく嵌っている、請求項23に記載のカートリッジ。
- 試験片であって、
絶縁材料で作られ、上側および下側を有するソケットであって、前記上側は、第1の電子機器を解放可能に保持するための第1の構成を有し、前記ソケットは、これを貫通して前記下側から前記上側に形成された第1のソケット熱開口部を有し、前記下側から前記第1のソケット熱開口部に第1の熱伝導性支柱が挿入可能であるソケットと、
前記ソケットに保持され、前記第1の機器を前記回路基板に接続し、弾性的に押し下げ可能である第1のピンセットと、
前記ソケットに対して移動可能であり、前記第1のピンセットを押し下げて、前記第1の電子機器を第1の熱支柱の前記端部に接触させる蓋と、を備える試験片。 - 試験片であって、
熱伝導性材料製のチャックと、
前記チャックに取り付けた第1の熱支柱であって、その端部が第1の装置に熱的に接続された状態で第1のソケット熱開口部に挿入可能であり、結果として熱が、前記チャックと前記第1の電子機器との間の前記ソケットの絶縁材料とは対照的に、主に通って伝達する第1の熱支柱と、を備える試験片。 - 1つまたは複数の電子機器を試験する方法であって、
絶縁材料製のソケットの上側の第1の構成に第1の機器を解放可能に保持する段階と、
前記第1の機器を、前記ソケットに接続された接続部分を介して電気試験器に接続する段階と、
熱伝導性材料製のチャックに取り付けた第1の熱支柱を、前記ソケットを貫通して下側から上側に形成された第1のソケット熱開口部に挿入し、前記第1の熱支柱の端部が前記第1の機器に熱的に接続される段階と、
前記チャックと前記第1の電子機器との間で熱を伝導させ、熱は、前記ソケットの絶縁材料とは対照的に、主に前記第1の熱支柱を介して伝導する段階と、を備える方法。 - カートリッジであって、
絶縁材料で作られかつ上側および下側を有し、前記上側にあり第1の電子機器を保持するための第1の構成と、前記上側にあり第2の電子機器を保持するための第2の構成とを有するソケットと、
蓋と、
前記蓋に回転可能に取り付けた第1の押板と、
前記蓋に回転可能に取り付けた第2の押板であって、前記蓋は、前記ソケットにわたって配置可能でありかつ前記ソケットに向かって移動可能であり、前記第1の押板を回転可能に取り付けることにより、前記第1の電子機器は、前記第1の押板を前記蓋に対して回転させることができ、前記第2の押板を回転可能に取り付けることにより、前記第2の電子機器は、前記第2の押板を前記蓋に対して前記第1の押板から独立して回転させることができる第2の押板と、
前記ソケットに保持され、前記第1の電子機器に接続された第1の接点セットと、
前記第1の接点セットに接続された第1の端子セットと、
前記ソケットに保持され前記第2の電子機器に接続された第2の接点セットと、
第2の接点セットに接続された第2の端子セットと、を備えるカートリッジ。 - 前記第1の押板は、前記蓋に対して第1のおよび第2の直交する軸線の周りに回転可能であり、前記第2の押板は、前記蓋に対して、第1のおよび第2の直交する軸線の周りに回転可能である、請求項28に記載のカートリッジ。
- 前記第1の構成内の第1の熱表面であって、前記蓋に対する前記第1の押板の回転により、前記第1の電子機器の下面が前記第1の熱表面に載ることが可能である第1の熱表面と、
前記第2の構成内の第2の熱表面であって、前記蓋に対する前記第2の押板の回転により、前記第2の電子機器の下面が前記第2の熱表面に載ることが可能である第2の熱表面と、をさらに備える、請求項28に記載のカートリッジ。 - 前記第1の接点セットは、弾性的に押し下げ可能であり、前記第1の電子機器を前記第1の熱表面に接触させ、前記第2の接点セットは、弾性的に押し下げ可能であり、前記第2の電子機器を前記第2の熱表面に接触させる、請求項30に記載のカートリッジ。
- 前記蓋と前記第1の押板との間に接続された第1のばねであって、前記第1の押板は、前記第1のばねを変形させるように前記第1の電子機器によって前記蓋に対して直線的に移動可能である第1のばねと、
前記蓋と前記第2の押板との間に接続された第2のばねであって、前記第2の押板は、前記第2のばねを変形させるように前記第2の電子機器によって前記蓋に対して直線的に移動可能である第2のばねと、をさらに備える、請求項28に記載のカートリッジ。 - 前記第1の押板は第1の押板口縁を有し、前記蓋は第1の蓋棚状突起を有し、前記第1の押板口縁は、前記第1の蓋棚状突起に載って前記第1のばねが前記第1の押板を前記蓋の外に移動させるのを防止し、前記第2の押板は第2の押板口縁を有し、前記蓋は第2の蓋棚状突起を有し、前記第2の押板口縁は、前記第2の蓋棚状突起上に載って前記第2のばねが前記第2の押板を前記蓋の外に移動させるのを防止する、請求項32に記載のカートリッジ。
- 前記蓋上の固定構造と、
前記ソケット上の固定構造と、をさらに備え、前記両固定構造は、互いに係合して、前記蓋を前記ソケットに向かって移動させた後前記蓋を前記ソケットに固定する、請求項28に記載のカートリッジ。 - 前記ソケットは、第3の機器を保持するために前記上側上に第3の構成を有し、
前記蓋上に回転可能に取り付けた第3の押板であって、前記第3の押板の回転可能な取付けにより、前記第3の機器が、前記第2の押板とは独立して、前記蓋に対して回転させることが可能である第3の押板と、
前記ソケットに保持され、前記第3の機器に接続する第3の端子セットと、
前記第3の端子セットに接続された第3の接点セットと、をさらに備える、請求項28に記載のカートリッジ。 - 1つまたは複数の電子機器を試験する方法であって、
絶縁材料製のソケットの上側上に第1の電子機器を第1の構成で解放可能に保持する段階と、
前記ソケットの上側上に第2の電子機器を第2の構成で解放可能に保持する段階と、
前記ソケットにわたって蓋を配置し、前記蓋は、前記蓋に回転可能に取り付けた第1の押板と、前記蓋に回転可能に取り付けた第2の押板とを有する段階と、
前記蓋を前記ソケットに向かって移動させる段階であって、前記第1の押板を回転可能に取り付けることにより、前記第1の電子機器は、前記第1の押板を前記蓋に対して回転させることが可能になり、前記第2の押板を回転可能に取り付けることにより、前記第2の電子機器は、前記第1の押板とは独立して前記第2の押板を前記蓋に対して回転させることが可能になる段階と、
前記第1のおよび第2の電子機器を、前記ソケットに接続された接続部分を介して電気試験器に接続する段階と、を備える方法。 - カートリッジであって、
入力接点および発光体を有する電子機器を取外し可能に保持するための構造を有する電子機器ホルダーと、
前記電子機器ホルダー上にあり、前記電子機器上の前記入力接点に接続する入力接点であって、前記電子機器ホルダーの前記入力接点を介して入力電力を前記電子機器の前記入力接点に供給し、前記入力電力により前記発光体が光を伝達する入力接点と、
前記電子機器ホルダーに取り付けられ、前記光を検出しかつ前記光の大きさに応じて出力電力を発生させる光検出器と、
前記光検出器に接続され、前記出力電力を測定する出力接点と、を備えるカートリッジ。 - 前記電子機器ホルダーは、前記光が向けられ、かつ前記発光体から前記光が通って前記光検出器に伝達する空洞を定める、請求項37に記載のカートリッジ。
- 前記空洞の表面上の光吸収被膜をさらに備える、請求項38に記載のカートリッジ
- 前記電子機器を保持するための構成を有するソケットと、
蓋であって、前記ソケットおよび前記蓋が一緒に前記電子機器ホルダーを形成する蓋と、
前記蓋に対して移動するように取り付けた押板であって、前記蓋はソケットにわたって配置可能でありかつ前記ソケットに向かって移動可能であり、前記押板の移動可能な取付けにより、前記電子機器は、前記押板を前記蓋に対して移動させることが可能であり、前記光が前記発光体から前記光検出器に伝達する開口部を有する押板と、をさらに備える、請求項37に記載のカートリッジ。 - 前記蓋と前記押板との間に接続されたばねであって、前記押板は、前記ばねを変形させるために、前記蓋に対して前記第1の機器によって直線的に移動可能であり、前記光が通って伝播するコイルばねであるばねをさらに備える、請求項40に記載のカートリッジ。
- 前記機器ホルダーの第1の側上にある温度修正機器であって、動作時に温度を変化させて、前記温度修正機器と前記電子機器との間の温度差と、前記温度修正機器と前記電子機器との間の熱伝導とを生じさせて前記電子機器の温度を修正する温度修正機器をさらに備える、請求項37に記載のカートリッジ。
- 前記装置ホルダーのうち前記温度修正機器の反対側にあり、前記光を吸収するための表面を有し、前記光の吸収により内部に熱を生成するヒートシンクと、
前記ヒートシンクに熱的に接続され、前記ヒートシンクから熱を除去する放熱装置と、をさらに備える、請求項42に記載のカートリッジ。 - 前記電子機器ホルダーに取り付けられ、前記光を検出し前記光の大きさに応じて出力電力を発生させるように位置決めされた光検出器と、
前記光検出器に接続され、前記出力電力を測定する出力接点と、をさらに備える、請求項43に記載のカートリッジ。 - 1つまたは複数の電子機器を試験する方法であって、
入力接点および発光体を有する電子機器を機器ホルダーに挿入する段階と、
前記電子機器ホルダー上の入力接点を前記電子機器上の入力接点に接続する段階と、
前記電子機器ホルダー上の前記入力接点を介して、前記電子機器上の前記入力接点に入力電力を供給し、前記入力電力により前記発光体が光を伝達する段階と、
前記光を検出する段階と、
検出された前記光を前記出力電力に変換する段階と、
前記出力電力を出力接点を介して測定する段階と、
前記電子機器を前記電子機器ホルダーから取り外す段階と、を備える方法。 - 試験装置であって、
入力端子および発光体を有する電子機器を取外し可能に保持するための構成を有するソケットと、
前記ソケット上の入力接点であって、前記電子機器上の前記入力端子に接続され、前記ソケット上の前記入力接点を介して入力電力を前記電子機器上の前記入力端子に供給し、前記入力電力により前記発光体が光を伝達する入力接点と、
前記ソケットの第1の側にある温度修正機器であって、動作時に温度を変化させて、前記温度修正機器と前記電子機器との間の温度差と、前記温度修正機器と前記電子機器との間の熱伝導とを生じさせ、前記電子機器の温度を修正する温度修正機器と、
前記ソケットのうち前記温度修正装置とは反対の側にあり、前記光を吸収するための表面を有し、前記光の吸収により内部に熱を生成するヒートシンクと、
前記ヒートシンクに熱的に接続され、前記ヒートシンクから前記熱を除去する放熱装置と、を備える試験装置。 - 前記ソケット、前記ヒートシンクおよび前記放熱装置と一緒にカートリッジを形成する薄型チャックと、
熱チャックであって、前記カートリッジは、前記薄型チャックを前記熱チャックと係合させるために移動可能であり、前記温度修正機器が内部に配置された熱チャックと、を備える、請求項46に記載のカートリッジ。 - 前記温度修正機器は加熱器である、請求項46に記載のカートリッジ。
- 前記加熱器は抵抗加熱器である、請求項48に記載のカートリッジ。
- 前記温度修正機器は冷却器である、請求項47に記載のカートリッジ。
- 前記冷却器は、流体が通って循環する流体通路である、請求項50に記載のカートリッジ。
- 前記ヒートシンクの表面上の光吸収被膜をさらに備える、請求項46に記載のカートリッジ。
- 前記ヒートシンクは、前記光が内部に向けられ、前記発光体から前記光が通って前記光吸収面に伝達する空洞を定める、請求項46に記載のカートリッジ。
- 前記放熱装置は複数のフィンを含み、熱が前記ヒートシンクから前記フィンに伝導して前記フィンから対流する、請求項46に記載のカートリッジ。
- 1つまたは複数の電子機器を試験する方法であって、
入力接点および発光体を有する電子機器をソケットに挿入する段階と、
前記ソケット上の入力接点を前記電子機器上の入力端子に接続する段階と、
前記ソケット上の前記入力接点を介して入力電力を前記電子機器上の前記入力端子に供給し、前記入力電力により前記発光体が光を伝達する段階と、
前記ソケットの第1の側にある温度修正機器の温度を変化させて、前記温度修正機器と前記電子機器との間の温度差と、前記温度修正機器と前記電子機器との間の熱伝導とを生じさせて、前記電子機器の温度を修正する段階と、
前記ソケットのうち前記温度修正機器の反対の側にあるヒートシンクの表面で前記光を吸収し、前記光の前記吸収により前記ヒートシンクが熱を発生する段階と、
前記ヒートシンクに熱的に接続された放熱装置を用いて前記ヒートシンクから前記熱を除去する段階と、
前記ソケットから前記電子機器を取り外す段階と、を備える方法。 - カートリッジであって、
絶縁材料で作られ、上側および下側と、前記上側上の構成とを有し、電子機器を保持するソケットと、
前記ソケットに保持され、前記電子機器に接続する接点セットと、
前記ソケットによって保持された前記接点セットに接続された端子セットと、
回路基板であって、前記接点セットに接続された前記端子セットは、上面の接点セットに接続されている回路基板と、
蓋と、
前記蓋に取り付けた検出器であって、前記ソケットによって保持された端子セットの少なくとも1つを介して電力が前記電子機器に供給されるとき、前記蓋は移動可能であり、所定位置に位置する前記検出器とともに前記ソケットにわたって位置決めされ、前記電子機器の機能を検出する検出器と、
前記検出器を前記回路基板上の接続部分に接続する測定チャネルと、を備えるカートリッジ。 - 前記検出器は光検出器である、請求項56記載のカートリッジ。
- 前記光検出器は光パワーを電力に変換し、前記測定チャネルは導電体であり、前記回路基板上の前記接続部分は電気接点である、請求項57に記載のカートリッジ。
- ソケットによって保持された第1のピンセットであって、その各1つの反対の端部が、前記ソケットによって保持された前記接点の1つと、前記それぞれの端子に接続された前記端子の1つとを形成する第1のピンセットと、
前記ソケットによって保持され、前記測定チャネルの一部を形成する検出器測定ピンと、をさらに備える、請求項56に記載のカートリッジ。 - 前記蓋上の端子をさらに備え、前記検出器測定ピンは、前記蓋上の前記端子と係合する接点を有する、請求項59に記載のカートリッジ。
- 前記第1のピンセットの前記接点は第1の平面にあり、前記検出器測定ピン上の前記接点は、前記第1の平面と平行でかつこれから離間した第2の平面にある、請求項60に記載のカートリッジ。
- 前記測定ピンは、前記接点の反対にあるその端部に端子を有し、前記第1のピンセット上の端子と前記測定ピン上の端子とは同一平面にある、請求項61に記載のカートリッジ。
- 前記第1のピンセットおよび前記測定ピンは、前記蓋を前記ソケットに向かって移動させることによって同時に押し下げ可能である、請求項62に記載のカートリッジ。
- 前記ソケットによって保持され、前記検出器に電力を供給する検出器電力ピンをさらに備える、請求項63に記載のカートリッジ。
- 1つまたは複数の電子機器を試験する方法であって、
電子機器をソケットに解放可能に保持し、前記ソケットは絶縁材料から作られ、上側および下側と、電子機器を保持する前記上側上の構成とを有する段階と、
前記ソケットに保持された接点セットを前記電子機器に接続する段階と、
前記接点セットに接続された端子セットを前記回路基板上の接点セットに接続する段階と、
検出器が取り付けられた蓋を前記ソケットにわたって移動させる段階と、
前記検出器を測定チャンネルを介して前記回路基板上の接続部分に接続する段階と、
前記ソケットによって保持された前記接点の少なくとも1つを介して電力を前記電子機器に供給する段階と、
前記ソケットによって保持された前記接点の少なくとも1つを介して電力が前記電子機器に供給されるとき、前記電子機器の機能を検出する段階と、
前記接続部分を介して前記機能を測定する段階と、を備える方法。 - カートリッジであって、
貫通する支柱開口部を有する支持板と、
前記支持板の第1の側にあり、接点を有する回路基板を少なくとも含む裏当て構造と、
導体であって、前記支持板のうち前記第1の側の反対にある第2の側に位置決めされた電子機器上の端子と接触する接点と、前記支持板によって保持された部分と、前記回路基板上の前記接点に接続された端子と、を有する導体と、
ばねと、
前記電子機器のうち前記支持板の反対側にある力発生装置であって、前記力発生装置および前記支持板は互いに相対的に移動可能であり、前記電子機器が前記支持板に近づくようにばねを変形させる力発生装置と、
支柱であって、前記支持板の表面の平面から離間した平面内の表面にあり、前記電子機器が前記支持板に近づくように移動することを防止するスタンドオフと、前記スタンドオフから少なくとも前記支柱開口部を部分的に貫通して延びる力伝達部分と、前記力伝達部分から延びる力引渡部分とを含み、前記力引渡部分は前記裏当て構造によって保持される支柱と、を備えるカートリッジ。 - ピンであって、前記ばねと、前記ばねの反対にある第1のおよび第2の先端と、を含み、前記第1のおよび第2の先端が互いに向かって移動することにより前記ばねが縮むピンをさらに備える、請求項66に記載のカートリッジ。
- 前記導体の接点は前記第1の先端の端部である、請求項67に記載のカートリッジ。
- 前記導体の前記端子は前記第2の先端の端部である、請求項67に記載のカートリッジ。
- 前記力引渡部分は前記力伝達部分よりも広い、請求項66に記載のカートリッジ。
- 前記支柱は、前記力引渡部分が前記力伝達部分よりも広いことに起因して、前記開口部から抜け出すことが防止される、請求項70に記載のカートリッジ。
- 前記支柱開口部は、第1の区域と、前記第1の区域よりも広い第2の区域とを有し、結果として前記第1の区域と前記第2の区域との間に踊り場が定まり、前記力引渡部分が前記踊り場に当接している、請求項71に記載のカートリッジ。
- 前記支柱は、前記力引渡部分上の表面と、前記支柱のうち前記スタンドオフの表面の反対の表面とを有し、前記力引渡部分上の前記表面は、前記裏当て構造に当接して前記力を伝達する、請求項66に記載のカートリッジ。
- 前記ばねはそのばね力に抗して変形する、請求項66に記載のカートリッジ。
- 使用時に、前記スタンドオフは前記電子機器からの力を受け取り、前記力伝達部分は前記スタンドオフからの力を少なくとも部分的に開口部を通って伝達し、前記力引渡部分は、前記力伝達部分からの力を受け取りかつ前記力を前記裏当て構造に引き渡す、請求項66記載のカートリッジ。
- 前記力発生機器は、複数の電子機器を有するウェーハの下方に位置するチャックであり、前記支持板は接触器であり、前記回路基板は複数の接点を有し、前記カートリッジは、
複数の導体であって、各導体は、前記電子機器の一つ上のそれぞれの端子と接触するそれぞれの接点と、前記接触器によって保持されるそれぞれの部分と、前記回路基板上の前記接点のそれぞれ1つに接続されたそれぞれの端子と、を有する導体を備える、請求項66に記載のカートリッジ。 - 前記支持板は前記電子機器を保持するための構成を有するソケットであり、前記力発生機器は前記電子機器の上方に位置する蓋であり、前記裏当て構造は熱伝導性材料製のチャックを含み、前記回路基板は前記チャックによって支持されている、請求項66に記載のカートリッジ。
- 前記支柱は、前記回路基板内の開口部を通過し、前記チャックによって支持された熱支柱である、請求項77に記載のカートリッジ。
- 前記チャックによって保持された熱留め具をさらに備え、前記熱支柱は前記熱留め具から延びている、請求項78に記載のカートリッジ。
- 前記支柱は、前記力引渡部分上と、前記支柱のうち前記スタンドオフの反対の側上とに表面を有し、前記力引渡部分上の前記表面は、前記裏当て構造に当接して前記力を伝達する、請求項77に記載のカートリッジ。
- カートリッジであって、
接点を有する少なくとも回路基板を含む裏当て構造を、支持板の第1の側に配置する段階と、
導体の接点を、前記支持板のうち第2の側の反対の第1の側に位置する電子機器上の端子に接続し、前記導体は、前記支持板によって保持される部分と、前記回路基板上の前記接点に接続される端子とを有する段階と、
前記電子機器のうち前記支持板の反対側に力発生機器を位置決めする段階と、
前記力発生装置および前記支持板を互いに相対的に移動させ、前記電子機器を前記支持板に近づけて、ばねをそのばね力に抗して変形させる段階と、
前記電子機器が前記支持板に近づく移動を、前記支持板の表面の平面から離間した平面内の表面を持つスタンドオフを備える支柱で防止する段階と、
前記電子機器からの力を支柱の前記スタンドオフで受け取る段階と、
前記力を前記スタンドオフから少なくとも部分的に前記開口部を通って前記支柱の力伝達部分で伝導し、前記支柱は、前記スタンドオフから少なくとも部分的に前記支持板を貫通して形成された支柱開口部を通って延びている段階と、
前記力を前記支柱の前記力伝達部分から延びる力引渡部分で受け、前記力引渡部分は裏当て構造によって保持されている段階と、
前記力を前記裏当て構造に引き渡す段階と、を備える方法。 - 試験器装置であって、
電圧目標システムと、
複数の電子機器を少なくとも第1のおよび第2のクラスタに保持するためのホルダーと、
前記第1のクラスタの前記電子機器に接続可能な少なくとも1つの電圧源であって、第1の試験電圧を前記第1のクラスタの前記電子機器に同時に供給し、前記第2のクラスタの前記電子機器に接続可能であり、第1の試験電圧を前記第2のクラスタの前記電子機器に同時に供給する電圧源と、
少なくとも1つの電流検出器であって、前記第1のクラスタの前記機器からの第1の試験電流を測定するために前記第1のクラスタの前記機器に接続可能であり、前記電流検出器によって測定された前記第1のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電流は、前記第1のクラスタの前記機器に同時に供給される合計電流であり、また前記第2のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電流を測定するために前記第2のクラスタの前記機器に接続可能であり、前記電流検出器によって測定された前記第2のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電流は、前記第2のクラスタの前記機器に同時に供給される合計電流である電流検出器と、
前記電圧目標システムは、測定された前記第1のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電流を目標電流と比較することによって第1の比較を実行することと、
第1の電圧調整器であって、前記第1の試験電圧を前記第1の比較に応じて前記第1のクラスタに関する第2の試験電圧に調整し、結果として前記第1のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電流は、前記目標電流により近い第2の試験電流により近く調整される第1の電圧調整器と、
前記電圧目標システムは、測定された前記第2のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電流を目標電流と比較することによって第2の比較を実行することと、
第2の電圧調整器であって、前記第1の試験電圧を前記第2の比較に応答して前記第2のクラスタに関する第2の試験電圧に調整し、結果として前記第2のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電流は、前記目標電流により近い第2の試験電流により近く調整される第2の電圧調整器と、を備える試験器装置。 - 設定された制限を上回るおよび下回るそれぞれのクラスタに関する、第1の試験電流読取値を除去する静的フィルタをさらに備える、請求項82に記載の試験器。
- それぞれのクラスタに関して前記クラスタのグループに関する中央値を極端に上回りまたは下回る、第1の試験電流測定値を除去する外れ値フィルタをさらに備える、請求項82に記載の試験器。
- 前記第1のクラスタの電子機器の数が少なすぎる場合、周囲のクラスタの前記第1の試験電流読取値の平均を計算することを停止するサンプルサイズフィルタをさらに備える、請求項82に記載の試験器。
- 前記電圧目標システムは、
電圧と電流との間の関係を表す前記第1のクラスタに関する勾配を保存し、
前記第1のクラスタに関する第1の電流差を決定し、前記決定は、前記第1のクラスタの前記機器に関する前記第1の試験電流から前記目標電流を減ずることによって行い、
前記第1のクラスタに関する電圧差を決定し、前記決定は、第1のクラスタに関する第1の電流差に前記第1のクラスタに関する勾配を乗ずることによって行い、前記電圧調整器は、前記第1のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電圧を、前記第1のクラスタに関する電圧差によって前記第1のクラスタの前記機器に関する前記第2の試験電圧に調整する、請求項82に記載の試験器。 - 前記電圧目標システムは、前記第1のクラスタの機器に関する第1の初期電圧を推測し、
前記少なくとも1つの電流検出器は、前記第1のクラスタの前記機器に関する第1の初期電圧推測の結果として、前記第1のクラスタの前記機器に関する第1の初期電流を測定し、
前記電圧目標システムは、前記第1のクラスタの前記機器に関する第2の初期電圧を推測し、
前記少なくとも1つの電流検出器は、前記第1のクラスタの前記機器に関する前記第1の初期電圧推測の結果として、前記第1のクラスタの前記機器に関する第2初期電流を測定し、
前記電圧目標システムは、前記第1のクラスタの前記勾配を計算し、前記計算は、前記第1のクラスタの前記機器に関する前記第2および第1の初期電圧間の差を、前記第1のクラスタの前記機器に関する前記第2および第1の初期電流間の差で除することによって行う、請求項86に記載の試験器。 - 前記電圧目標システムは、
電圧と電流との間の関係を表す前記第2のクラスタに関する勾配を保存し、
前記第2クラスタの前記機器に関する前記第1の試験電流から前記目標電流を減ずることによって、前記第2クラスタに関する第1の電流差を決定し、
前記第2のクラスタに関する前記第1の電流差に前記第2のクラスタに関する勾配を乗ずることによって、前記第2クラスタに関する電圧差を決定し、前記電圧調整器は、前記第2クラスタの前記機器からの第1の試験電圧を、前記第2クラスタに関する前記電圧差によって前記第2のクラスタの前記機器に関する前記第2の試験電圧に調整する、請求項87に記載の試験器。 - 前記電圧目標システムは、前記第2のクラスタの前記機器に関する第1の初期電圧を推測し、
前記少なくとも1つの電流検出器は、前記第2のクラスタの前記機器に関する前記第1の初期電圧推測の結果として、前記第2のクラスタの前記機器に関する第1の初期電流を測定し、
前記電圧目標システムは、前記第2のクラスタの前記機器に関する第2の初期電圧を推測し、
前記少なくとも1つの電流検出器は、前記第2のクラスタの前記機器の前記第1の初期電圧推測の結果として、前記第2のクラスタの前記機器に関する第2の初期電流を測定し、
前記電圧目標システムは、前記第2クラスタに関する前記勾配を計算し、前記計算は、前記第2のクラスタの前記機器に関する前記第2および第1の初期電圧間の差を、前記第2のクラスタの前記機器の前記第2および第1の初期電流間の差で除することによって行う、請求項88に記載の試験器。 - 設定された制限を上回りおよび下回るそれぞれのクラスタに関する、第1の初期電流測定値を除去する静的フィルタをさらに備える、請求項89に記載の試験器。
- 前記クラスタのグループに関する中央値を極端に上回りまたは下回るそれぞれのクラスタに関する、第1の初期電流測定値を除去する外れ値フィルタをさらに備える、請求項89に記載の試験器。
- 前記第1のクラスタの電子機器の数が少なすぎる場合、周囲のクラスタの前記第1の初期電流測定値の平均を計算することを停止するサンプルサイズフィルタをさらに備える、請求項89に記載の試験器。
- 設定された限度を上回りおよび下回るそれぞれのクラスタに関する、第2の初期電流読取値を除去する静的フィルタをさらに備える、請求項89に記載の試験器。
- 前記クラスタのグループに関する中央値を極端に上回りまたは下回るそれぞれのクラスタに関する、第2の初期電流測定値を除去する外れ値フィルタをさらに備える、請求項89に記載の試験器。
- 前記第1のクラスタの電子機器の数が少なすぎる場合、周囲のクラスタの前記第2の初期電流測定値の平均を計算することを停止するサンプルサイズフィルタをさらに備える、請求項89に記載の試験器。
- 複数の電子機器を試験する方法であって、
前記複数の電子機器を少なくとも第1のおよび第2のクラスタに保持する段階と、
前記少なくとも1つの電圧源を前記第1のクラスタの前記電子機器に接続して、第1の試験電圧を前記第1のクラスタの前記電子機器に同時に供給し、また前記第2クラスタの前記電子機器に接続可能であり、第1の試験電圧を前記第2クラスタの前記電子機器に同時に供給する段階と、
前記少なくとも1つの電圧源を前記第2のクラスタの前記電子機器に接続して、第1の試験電圧を前記第2のクラスタの前記電子機器に同時に供給する段階と、
少なくとも1つの電流検出器を用いて、前記第2クラスタの前記機器からの第1の試験電流を測定し、前記第2のクラスタの前記機器からの電流検出器によって測定する前記第1の試験電流は、前記第2クラスタの前記機器に同時に供給される合計電流であり、
前記少なくとも1つの電流検出器を用いて、前記第2クラスタの前記機器からの第1の試験電流を測定し、前記第2のクラスタの前記機器からの前記電流検出器によって測定する前記第1の試験電流は、前記第2クラスタの前記機器に同時に供給される合計電流であり、
電圧目標システムを用いて第1の比較を実行し、前記比較は、測定された前記第1のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電流を目標電流と比較することによって行う段階と、
第1の電圧調整器を用いて、前記第1の試験電圧を前記第1の比較に応じて前記第1のクラスタに関する第2の試験電圧に調整し、結果として前記第2のクラスタの前記機器からの前記第1の試験電流は、前記目標電流により近い第2の試験電流に調整される段階と、
前記電圧目標システムを用いて第2の比較を実行し、前記比較は、測定された前記第2クラスタの前記機器からの前記第1の試験電流を目標電流と比較することによって行う段階と、
第2の電圧調整器を用いて、前記第1の試験電圧を前記第2の比較に応じて前記第2のクラスタに関する前記第2の試験電圧に調整し、結果として前記第2のクラスタの前記機器からの第1の試験電流は、前記目標電流により近い第2の試験電流により近く調整される段階と、を備える方法。
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