TWI815281B - 雙迴道檢測裝置及其檢測方法 - Google Patents

Abstract

一種雙迴道檢測裝置及其檢測方法，所述之裝置係至少包含一測試平臺、一承載盤與一檢測單元，該測試平臺於一側設置有一第一位移機構與一第三位移機構，另一側設置有一第二位移機構與一第四位移機構；其中，該第一位移機構與該第二位移機構帶動其中一側的該承載盤，該第三位移機構與該第四位移機構則帶動另一側的該承載盤，當各該承載盤於位移時交錯，該第三位移機構與該第四位移機構則能進行位移使得各該承載盤相互迴避，進而使各承載盤上的槽位依序通過該檢測單元的下方，並對每一個該槽位內的待測元件進行檢測。

Description

雙迴道檢測裝置及其檢測方法

本發明是有關一種雙迴道檢測裝置及其檢測方法，係用於半導體元件製程後端的外觀瑕疵檢測，尤指具有透過時間差來運行雙迴道的檢測路徑，以大幅縮短檢測時程。

一般完整的積體電路製造，主要包括初期的積體電路設計與晶圓製造，中期的晶圓電性測試，及後期的最終測試與產品出貨。其中，檢測與分類是在產品製造完成後相當重要的一環，在目前的受測環節中，係透過對外觀瑕疵進行檢測的自動化設備，以對封裝完成產品的背面與正面擷取其外觀影像進行判斷，以確保產品出廠後外觀上能符合所需的規格。

在測試產業時間成本是業主極為重視的一環，每一個待測物的測試成本是以秒作為時間單位計算，故無不盡全力的從縮短測試時間、設計更好的測試流程下功夫，最直接的方式就是採用更精簡且生產量高(Higher Throughput)的機台，倘若測試機台在測試過程不斷的被搬運及延遲等待，在龐大產量下每個元件所耗費的零碎時間一經累積，便形成無謂時間浪費，付出相當的時間成本。

現階段對於半導體元件市場需求仍持續擴大，精進檢測流程的問題具急迫性，本申請人以多年來熟稔於自動化測試的技術，在該技術領域中不斷改良測試，能夠大幅地節省待測物搬運所花費的時間並保留機台的彈性，適時的根據待測物的測試條件而更動測試流程，將能夠提高待測物的測試產能，目前類似的測試機台大多是採單一軌道/路徑進行測試，因此，本發明所揭示之雙迴道檢測方法係在同一測試機台上採雙軌道/路徑之設計，並採用時間差讓彼此之間可以互補搬運及延遲等待的時間，藉以提高UPH(Unit Per Hour)每單位小時的產量、能力、產能，本發明所揭示之雙迴道檢測裝置則配置了所述之雙迴道運作的結構，並用以實現其方法。

一種雙迴道檢測方法，包含：設置一取放裝置、一檢測單元、設置於該檢測單元兩側的一第一位移裝置與一第二位移裝置、設置於該第一位移裝置上與該第二位移裝置上的一第三位移裝置與一第四位移裝置以及設置於該第三位移裝置上與該第四位移裝置上的承載盤；設定有複數個第一控制點位，係分別位於該第一位移裝置與該第二位移裝置所移動的一X軸向上；設定有複數個第二控制點位，係分別位於該第三位移裝置上與該第四位移裝置所移動的一Y軸向上；該第一位移裝置透過各該第一控制點位而於該X軸向上位移，該第三位移裝置透過各該第二控制點位而於該Y軸向上位移，該第一位移裝置與該第三位移裝置所在的各該第一控制點位與各該第二控制點位構成一第一檢測迴道，該第三位移裝置上的該承載盤於該第一檢測迴道上依序完成置放待測元件、檢測作業與取下待測元件的動作；該第二位移裝置透過各該第一控制點位而於該X軸向上位移，該第四位移裝置透過各該第二控制點位而於該Y軸向上位移，該第二位移裝置與該第四位移裝置所在的各該第一控制點位與各該第二控制點位構成一第二檢測迴道；其中，在該第一檢測迴道上的該承載盤開始進行動作一預定時間後，該第四位移裝置上的該承載盤再於該第二檢測迴道上依序完成置放待測元件、檢測作業與取下待測元件的動作；以及在該第一檢測迴道上的該承載盤與該第二檢測迴道上的該承載盤連續交替的使用同一個該取放裝置與該檢測單元進行檢測。

更具體的說，於該X軸向上的各該第一控制點位分別設定有一起始點、一迴轉點、一檢測起始點與一檢測完成點，於該Y軸向上的各該第二控制點位則分別設定有一取放點、一迴避點與一檢測點，該起始點對應該取放點係用於進行該置放待測元件與該取下待測元件的動作，該檢測單元係位在該檢測起始點對應該檢測點上方，以用於進行該檢測作業。

更具體的說，當完成該置放待測元件之動作欲進行該檢測作業之過程中，各該承載盤係經由該X軸向上經該起始點、該迴轉點再進入該檢測起始點，在該起始點至該迴轉點時，各該承載盤係對應於該迴避點。

更具體的說，當完成該檢測作業之動作欲進行該取下待測元件之過程中，各該承載盤係經由該檢測完成點回到該起始點，在該檢測完成點回到該起始點時，各該承載盤係對應於該迴避點。

更具體的說，該第二檢測迴道上的該承載盤係在該第一檢測迴道上的該承載盤完成該置放待測元件的動作後，再於該迴轉點開始該第二檢測迴道的各個動作。

更具體的說，分別於該第一檢測迴道與該第二檢測迴道上設置的一測距儀，在進行該檢測作業之前係預先以該測距儀檢測與待測元件之間的直線距離，用以控制該檢測單元調整檢測距離。

更具體的說，該待測元件係為影像感測器。

一種雙迴道檢測裝置，係至少包含：一測試平臺，於兩側設置有一第一位移機構與一第二位移機構，該第一位移機構與該第二位移機構係於該測試平臺上做X軸向位移；一第三位移機構，係設置在該第一位移機構上，該第三位移機構係於該第一位移機構上做Y軸向位移；一第四位移機構，係設置在該第二位移機構上，該第四位移機構則係於該第二位移機構上做Y軸向位移；一承載盤，係分別的設置在該第三位移機構與該第四位移機構上，各該承載盤上具有一用於置入至少一待測元件的槽位；一取放機構，係配置在該測試平臺旁，用於攜行或放置該待測元件至該槽位；以及一檢測單元，係位於該測試平臺上方，用以檢測位於該承載盤上每個通過下方的該待測元件；其中，該第一位移機構與該第二位移機構帶動各該承載盤於該測試平臺相對的兩側錯時進行該X軸向的往返位移，當各該承載盤於該X軸向位移時交錯，該第三位移機構與該第四位移機構則能進行該Y軸向的位移使得各該承載盤相互迴避，進而使各承載盤上的槽位依序通過該檢測單元的下方，並對每一個待測元件進行檢測。

於一較佳實施例中，該槽位於該承載盤上的數量係具有一個或一個以上。

於一較佳實施例中，位於該第一位移機構及第二位移機構的X軸向位移方向上方分別設置一測距儀。

於一較佳實施例中，各測距儀上分別設置有一限位位移機構用於帶動該測距儀做該Y軸向位移，係帶動各該測距儀配合位移至相對於各該槽位上方，確保各該槽位依序通過各該測距儀下方檢測各該待測元件Z軸向的直線距離。

於一較佳實施例中，該第一位移機構具有一裝設在該測試平臺一側的第一軌道、一裝設在該第一軌道上的第一滑塊與一用於驅動該第一滑塊的第一驅動器，該第二位移機構具有一裝設在該測試平臺另一側的第二軌道、一裝設在該第二軌道上的第二滑塊與一用於驅動該第二滑塊的第二驅動器，該第一軌道與該第二軌道皆係平行於該X軸向。

於一較佳實施例中，該第三位移機構具有一裝設在該第一滑塊上的第三軌道、一裝設在該第三軌道上的第三滑塊與一用於驅動該第三滑塊的第三驅動器，該第四位移機構具有一裝設在該第二滑塊上的第四軌道、一裝設在該第四軌道上的第四滑塊與一用於驅動該第四滑塊的第四驅動器，該第三軌道與該第四軌道皆係平行於該Y軸向，各該承載盤係分別裝設在該第三滑塊與該第四滑塊上。

有關於本發明其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。

本發明之檢測方法說明如下，請參閱第1~2圖：

設置一取放裝置3、一檢測單元4、對稱的設置於該檢測單元4兩側的一第一位移裝置11與一第二位移裝置12、對稱的設置於該第一位移裝置11上與該第二位移裝置12上的一第三位移裝置13與一第四位移裝置14以及設置於該第三位移裝置13上與該第四位移裝置14上的承載盤2；

接續上個步驟，設定有複數個第一控制點位(X1~X4)，係分別位於該第一位移裝置11與該第二位移裝置12所移動的一X軸向上；

接續上個步驟，設定有複數個第二控制點位(Y1~Y3)，係分別對稱的位於該第三位移裝置13上與該第四位移裝置14所移動的一Y軸向上；

接續上個步驟，該第一位移裝置11透過各該第一控制點位(X1~X4)而於該X軸向位移，該第三位移裝置13透過各該第二控制點位(Y1~Y3)而於該Y軸向位移，該第一位移裝置11與該第三位移裝置13所在的各該第一控制點位(X1~X4)與各該第二控制點位(Y1~Y3)相互搭配而構成一第一檢測迴道W1，該第三位移裝置13上的該承載盤2於該第一檢測迴道W1上依序完成置放待測元件（如圖中承載盤2上的方格塗層）、檢測作業與取下待測元件的各個動作；

接續上個步驟，該第二位移裝置12透過各該第一控制點位(X1~X4)而於該X軸向位移，該第四位移裝置14透過各該第二控制點位(Y1~Y3)而於該Y軸向位移，該第二位移裝置12與該第四位移裝置14所在的各該第一控制點位(X1~X4)與各該第二控制點位(Y1~Y3)相互搭配而構成一第二檢測迴道W2，在該第一檢測迴道W1上的該承載盤2開始進行動作一預定時間後，該第四位移裝置14上的該承載盤2再於該第二檢測迴道W2上依序完成置放待測元件、檢測作業與取下待測元件的各個動作；

在該第一檢測迴道W1上的該承載盤與該第二檢測迴道W2上的該承載盤連續交替的使用同一個該取放裝置3與該檢測單元4進行檢測的各個動作。

在上述之方法中，請參閱第1~2圖，於X軸向上的各該第一控制點位(X1~X4)分別設定有一起始點X1、一迴轉點X2、一檢測起始點X3與一檢測完成點X4，於Y軸向上的各該第二控制點位(Y1~Y3)則分別設定有一取放點Y1、一迴避點Y2與一檢測點Y3，各點位之用途為： A、      該起始點X1對應該取放點Y1係用於進行該置放待測元件與該取下待測元件的動作； B、       該檢測單元4係位在該檢測起始點X3對應該檢測點Y3上方，以用於進行該檢測作業； C、       當完成該置放待測元件之動作欲進行該檢測作業之過程中，各該承載盤係經由該X軸向上經該起始點X1、該迴轉點X2再進入該檢測起始點X3，在該起始點X1至該迴轉點X2時，各該承載盤係對應於該迴避點Y2； D、      當完成該檢測作業之動作欲進行該取下待測元件之過程中，各該承載盤係經由該檢測完成點X4回到該起始點X1，在該檢測完成點X4回到該起始點X1時，各該承載盤係對應於該迴避點Y2； E、       該第二檢測迴道W2上的該承載盤係在該第一檢測迴道W1上的該承載盤完成該置放待測元件的動作後，再於該迴轉點X2開始該第二檢測迴道W2的各個動作。

在上述之方法中，分別於該第一檢測迴道W1與該第二檢測迴道W2上設置對稱的一測距儀5，在進行該檢測作業之前係預先以該測距儀5檢測與待測元件之間的直線距離，用以控制該檢測單元4調整檢測距離。

本發明之檢測裝置說明如下：

如本文所用，冠詞「一」、「一個」以及「任何」是指一個或多於一個（即至少一個）物品的文法。例如，「一元件」意指一個元件或多於一個元件。

如本文所用，描述結構組合關係的「設置」之用語，泛指多個結構在組合後不會輕易的分離或掉落，可以是固定連接，也可以是可拆式的連接、一體成型地連接、機械連接、電連接，或是直接的物理相連，亦也可以通過中間媒介間接相連，例如：使用螺紋、卡榫、扣具、釘子、黏著劑或高週波任一方式結合者。

如本文所用，描述結構組合關係的「凸設」、「凹設」、「形成」或「延伸」之用語，泛指其中一個結構或多個結構在製造時結合成同一個本體，或是同一個本體上由於不同位置、形狀與功能所產生的對應結構者。

如本文所用，描述結構位置的「內側」、「內部」之用語，係指靠近結構本體的中心位置，或使用上非外露的位置；「向內」之用語，係指朝向靠近結構本體的中心位置，或朝向使用上非外露的位置；「外側」、「外部」之用語，係指遠離結構本體的中心位置，或使用上外露的位置；「向外」之用語，係指朝向遠離結構本體的中心位置，或朝向使用上外露的位置。

如本文所用，描述結構位置的「上」之用語，係指結構的任一表面位置，並非俗稱具有方向性的「上方」或「上面」。用於描述結構位置的「上方」、「下方」之用語，係指常規使用下結構位置的方向性。

本發明之裝置係可用於實現上述之方法，以下為關於裝置的結構配置之說明：

請參閱第3圖，如圖中所示，在本實施例中，係至少包含一測試平臺1、一組承載盤2、一取放機構3、一檢測單元4與一組測距儀5；

其中，該測試平臺1係設計為長矩形，該測試平臺1的長邊是設為X軸向，短邊是設為Y軸向，係於兩側長邊對稱設置有一第一位移機構11與一第二位移機構12，該第一位移機構11具有一裝設在該測試平臺一側的第一軌道111、一裝設在該第一軌道111上的第一滑塊112與一用於驅動該第一滑塊112的第一驅動器113，該第二位移機構12具有一裝設在該測試平臺另一側的第二軌道121、一裝設在該第二軌道121上的第二滑塊122與一用於驅動該第二滑塊122的第二驅動器123，該第一軌道111與該第二軌道121皆係平行於該X軸向，使得該第一位移機構11與該第二位移機構12係於該測試平臺1上做X軸向位移；

請參閱第4~6圖，該第一位移機構11上設置有一第三位移機構13，該第三位移機構13具有一裝設在該第一滑塊112上的第三軌道131、一裝設在該第三軌道131上的第三滑塊132與一用於驅動該第三滑塊132的第三驅動器133，該第三軌道131係平行於該Y軸向，使得該第三位移機構13係於該第一位移機構11上做Y軸向位移，利用X軸搭配Y軸的位移動作設計出一第一檢測迴道W1，以作為該第一位移機構11與該第三位移機構13實施檢測時的路徑；

亦即，該第二位移機構12上設置有一第四位移機構14，該第四位移機構14具有一裝設在該第二滑塊122上的第四軌道141、一裝設在該第四軌道141上的第四滑塊142與一用於驅動該第四滑塊142的第四驅動器143，該第四軌道141係平行於該Y軸向，使得該第四位移機構14則係於該第二位移機構12上做Y軸向位移，利用X軸搭配Y軸的位移動作設計出一第二檢測迴道W2，以作為該第二位移機構12與第四位移機構14實施檢測時的路徑；

請參閱第6~7圖，該測試平臺1上以X軸為中心對半分成兩個區塊以作為該第一檢測迴道W1與該第二檢測迴道W2之路徑範圍，在每一區塊相對稱的分劃有一起始區域A1、一迴避位移區域A2、一迴轉區域A3與一檢測區域A4，而該第一檢測迴道W1與該第二檢測迴道W2皆會依序通過該起始區域A1、該迴避位移區域A2、該迴轉區域A3以及該檢測區域A4，進入該檢測區域A4完成檢測後再次進入該迴避位移區域A2，最後回到該起始區域A1。

該起始區域A1係用於供該取放機構3執行置放或取回待測物的範圍；該迴避位移區域A2係供該第一位移機構11與該第二位移機構12在位移動作時可有效地迴避撞擊的安全範圍；該迴轉區域A3係供該第一位移機構11與該第二位移機構12在位移動作時迴轉的安全範圍；該檢測區域A4係用於供該檢測單元4對待測物執行取像檢測的範圍，其中該迴避位移區域A2亦是供該測距儀5對待測物執行對焦距離偵測的範圍。在本實施例中，該起始區域A1係設定在該測試平臺1靠近其中一個短邊同時相鄰於該測試平臺1中心處；該迴轉區域A3係設定在該測試平臺1靠近另一個短邊(遠離該起始區域A1另一端)處；該檢測區域A4係設定在該起始區域A1與該迴轉區域A3之間同時相鄰於該測試平臺1中心處；該迴避位移區域A2則係設定在該起始區域A1與該檢測區域A4外側。

其中，請參閱第3~5圖，該承載盤2係以二個為一組，且分別設置在該第三位移機構13的該第三滑塊132上與該第四位移機構14的該第四滑塊142上，每個該承載盤2上以2X4的配置凹設有八個槽位21，各該槽位21可供一個待測元件6置入。而該取放機構3係相對各該槽位21的單側位置(1X4的配置)而設置有四個吸嘴31，吸嘴31可同時吸取四個待測元件6的正面並移載至其中一側的各該槽位21上方後，再平放至各該槽位21內。各該槽位21與吸嘴31的數量係相互配合，而每個該承載盤2上能移載的待測元件6數量的多寡係依據各該待測元件6的面積大小而定，譬如：若待測元件6的規格為10mm x 10mm，該取放機構3即可一次攜行四顆待測元件6；倘若待測元件6的規格為較大的20mm x 20mm，那該取放機構3僅一次攜行二顆待測元件6(圖未揭示)，以此類推。

其中，該取放機構3係配置在該測試平臺1的週邊運行，本實施態樣中，該取放機構3係透過一自動手臂32的控制，該自動手臂32攜行的方式將採用機器手臂或設置軌道的取放手臂(Pick & Place Handler)，而不論是機械手臂還是取放手臂，該自動手臂32的前端部位都包括一組可透過正負壓力調整取或放的吸嘴31。

其中，請參閱第3~4圖，該檢測單元4係位於該測試平臺1上方用於檢測位於該承載盤2上每個通過下方的該待測元件6，該檢測單元4為自動光學檢查（Automated Optical Inspection，簡稱AOI），為高速高精度光學影像檢測系統，係利用光學儀器取得成品的表面狀態，再以電腦影像處理技術來檢出異物或圖案異常等瑕疵。

其中，請參閱第3~4圖，該測距儀5係成對的設置在該測試平臺1上方相對的兩側，且各該測距儀5係位於該第一檢測迴道W1與該第二檢測迴道W2上方，當各該承載盤2移載各該待測元件6各別往返通過各該測距儀5下方時，各該測距儀5可藉由紅外線依序檢測與各該待測元件6的高度距離，所述之高度距離係為各該測距儀5至各該待測元件6的中心位置之間的距離；

在本實施例中，該承載盤2上以2X4的配置凹設有八個槽位21，其中朝Y軸方向排有二列，該測距儀5若要測得各該槽位21內的待測元件6，必須可朝Y軸方向進行位移，因此各該測距儀5上又分別設置有一第三位移機構51，該限位位移機構51係用於驅動該測距儀5進行Y軸向水平位移，使得各該測距儀5可位移至各該待測元件6中心的正上方位置進行測距。

以下為關於實施檢測之作動說明：

請參閱第3圖(為更清楚呈現檢測之作動，下列說明之示意圖將簡化呈現第一位移機構11與第二位移機構12)，該第一位移機構11係優先於該第二位移機構12啟動，該第二位移機構12則在該第一位移機構11啟動一預定時間或完成特定程序(條件可自行訂定)之後再啟動，進而利用時間差各別於該第一檢測迴道W1與該第二檢測迴道W2上順序的運送各該待測元件6於該測試平臺1相對的兩側進行檢測。

接著逐一說明分解動作，以利於理解其時間差之設定： A、      請一併參閱第8A圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13進入該起始區域A1，並讓較靠近該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為置放待測元件6的目標位置，該取放機構3一次吸取四個待測元件6並同時放入目標位置，以完成第一批待測元件6置放的動作；此時，該第二位移機構12與該第四位移機構14係位於該迴轉區域A3待命； B、       請一併參閱第8B圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13移出該起始區域A1並進入該迴避位移區域A2，朝向該迴轉區域A3移動，同側的該測距儀5朝該測試平臺1內側移動，並讓第一批各該待測元件6陸續通過同側的該測距儀5下方進行測距；該第二位移機構12與該第四位移機構14移出該迴轉區域A3並進入該迴避位移區域A2，朝向該起始區域A1移動； C、       請一併參閱第8C、8D圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13進入該迴轉區域A3迴轉，朝向該檢測區域A4移動，在第一批的各該待測元件6陸續通過該檢測單元4下方時，該檢測單元4則逐一取像檢測，以完成第一批檢測；該第二位移機構12與該第四位移機構14進入該起始區域A1，並讓較靠近該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為置放待測元件6的目標位置，該取放機構3一次吸取四個待測元件6並同時放入目標位置，以完成第二批待測元件6置放的動作，接著進入該迴避位移區域A2待命； D、      請一併參閱第8E圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13完成第一批檢測後移出該檢測區域A4並進入該迴避位移區域A2，朝向該起始區域A1移動；待該第一位移機構11與該第三位移機構13進入該迴避位移區域A2後，該第二位移機構12與該第四位移機構14朝向該迴轉區域A3移動，同側的該測距儀5朝該測試平臺1內側移動，並讓第二批各該待測元件6陸續通過同側的該測距儀5下方進行測距； E、       請一併參閱第8F、8G圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13進入該起始區域A1，並讓較遠離該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為置放待測元件6的目標位置，該取放機構3一次吸取四個待測元件6並同時放入目標位置，以完成第三批待測元件6置放的動作，接著該第一位移機構11與該第三位移機構13做Y軸向位移讓較靠近該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為取出待測元件6的目標位置，該取放機構3進入目標位置一次吸取第一批的四個待測元件6，以完成第一批待測元件6取件動作，接著進入該迴避位移區域A2待命；該第二位移機構12與該第四位移機構14進入該迴轉區域A3迴轉，朝向該檢測區域A4移動，在第二批的各該待測元件6陸續通過該檢測單元4下方時，該檢測單元4則逐一取像檢測，以完成第二批檢測； F、       請一併參閱第8H圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13朝向該迴轉區域A3移動，同側的該測距儀5朝該測試平臺1外側移動，並讓第三批各該待測元件6陸續通過同側的該測距儀5下方進行測距；該第二位移機構12與該第四位移機構14完成第二批檢測後移出該檢測區域A4並進入該迴避位移區域A2，朝向該起始區域A1移動； G、      請一併參閱第8I、8J圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13進入該迴轉區域A3迴轉，朝向該檢測區域A4移動，在第三批的各該待測元件6陸續通過該檢測單元4下方時，該檢測單元4則逐一取像檢測，以完成第三批檢測；該第二位移機構12與該第四位移機構14進入該起始區域A1，並讓較遠離該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為置放待測元件6的目標位置，該取放機構3一次吸取四個待測元件6並同時放入目標位置，以完成第四批待測元件6置放的動作，接著該第一位移機構11與該第三位移機構13做Y軸向位移讓較靠近該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為取出待測元件6的目標位置，該取放機構3進入目標位置一次吸取第二批的四個待測元件6，以完成第二批待測元件6取件動作，接著進入該迴避位移區域A2待命； H、      請一併參閱第8K圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13完成第三批檢測後移出該檢測區域A4並進入該迴避位移區域A2，朝向該起始區域A1移動；待該第一位移機構11與該第三位移機構13進入該迴避位移區域A2後，該第二位移機構12與該第四位移機構14朝向該迴轉區域A3移動，同側的該測距儀5朝該測試平臺1外側移動，並讓第四批各該待測元件6陸續通過同側的該測距儀5下方進行測距； I、         請一併參閱第8L、8M圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13進入該起始區域A1，並讓較靠近該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為置放待測元件6的目標位置，該取放機構3一次吸取四個待測元件6並同時放入目標位置，以完成第五批待測元件6置放的動作，接著該第一位移機構11與該第三位移機構13做Y軸向位移讓較遠離該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為取出待測元件6的目標位置，該取放機構3進入目標位置一次吸取第三批的四個待測元件6，以完成第三批待測元件6取件動作，接著進入該迴避位移區域A2待命；該第二位移機構12與該第四位移機構14進入該迴轉區域A3迴轉，朝向該檢測區域A4移動，在第四批的各該待測元件6陸續通過該檢測單元4下方時，該檢測單元4則逐一取像檢測，以完成第四批檢測； J、         請一併參閱第8N圖，該第一位移機構11與該第三位移機構13朝向該迴轉區域A3移動，同側的該測距儀5朝該測試平臺1外側移動，並讓第五批各該待測元件6陸續通過同側的該測距儀5下方進行測距；該第二位移機構12與該第四位移機構14完成第四批檢測後移出該檢測區域A4並進入該迴避位移區域A2，朝向該起始區域A1移動，請一併參閱第8O、8P圖，在進入該起始區域A1後並讓較靠近該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為置放待測元件6的目標位置，該取放機構3一次吸取四個待測元件6並同時放入目標位置，以完成第六批待測元件6置放的動作，接著該第一位移機構11與該第三位移機構13做Y軸向位移讓較遠離該測試平臺1內側的各該槽位21對準於該測試平臺1的中心位置，以作為取出待測元件6的目標位置，該取放機構3進入目標位置一次吸取第四批的四個待測元件6，以完成第四批待測元件6取件動作。後續動作第五批係重複第一批之動作，第六批係重複第二批之動作，以此類推而不斷的循環。

上述之實施例揭露，僅是本發明部分較佳的實施例選擇，然其並非用以限定本發明，任何熟悉此一技術領域具有通常知識者，在瞭解本發明前述的技術特徵及實施例，並在不脫離本發明之精神和範圍內所做的均等變化(移載數量、位移路徑、排列組態皆可能因為待測物尺寸差異而有適當之調配)或潤飾，仍屬本發明涵蓋之範圍，而本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之請求項所界定者為準。

1:測試平臺 11:第一位移機構 111:第一軌道 112:第一滑塊 113:第一軌道 12:第二位移機構 121:第二軌道 122:第二滑塊 123:第二軌道 13:第三位移機構 131:第三軌道 132:第三滑塊 133:第三軌道 14:第四位移機構 141:第四軌道 142:第四滑塊 143:第四軌道 2:承載盤 21:槽位 3:取放機構 31:吸嘴 32:自動手臂 4:檢測單元 5:測距儀 51:限位位移機構 6:待測元件 A1:起始區域 A2:迴避位移區域 A3:迴轉區域 4A:檢測區域 W1:第一檢測迴道 W2:第二檢測迴道 X1:起始點 X2:迴轉點 X3:檢測起始點 X4:檢測完成點 Y1:取放點 Y2:迴避點 Y3:檢測點

[第1圖]係本發明雙迴道檢測方法之配置示意圖。 [第2圖]係本發明雙迴道檢測方法之各點位示意圖。 [第3圖]係本發明雙迴道檢測裝置之局部立體示意圖。 [第4圖]係本發明雙迴道檢測裝置之局部平面示意圖。 [第5圖]係本發明雙迴道檢測裝置之局部剖面示意圖。 [第6圖]係本發明雙迴道檢測裝置之位移迴道示意圖。 [第7圖]係本發明雙迴道檢測裝置之位移迴道及區域分布示意圖。 [第8A圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第一步示意圖。 [第8B圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第二步示意圖。 [第8C圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第三步示意圖。 [第8D圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第四步示意圖。 [第8E圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第五步示意圖。 [第8F圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第六步示意圖。 [第8G圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第七步示意圖。 [第8H圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第八步示意圖。 [第8I圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第九步示意圖。 [第8J圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第十步示意圖。 [第8K圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第十一步示意圖。 [第8L圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第十二步示意圖。 [第8M圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第十三步示意圖。 [第8N圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第十四步示意圖。 [第8O圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第十五步示意圖。 [第8P圖]係本發明雙迴道檢測裝置之實施檢測第十六步示意圖。

11:第一位移機構 12:第二位移機構 13:第三位移機構 14:第四位移機構 2:承載盤 3:取放機構 4:檢測單元 5:測距儀

Claims (13)

1. 一種雙迴道檢測方法，包含： 設置一取放裝置、一檢測單元、設置於該檢測單元兩側的一第一位移裝置與一第二位移裝置、設置於該第一位移裝置上與該第二位移裝置上的一第三位移裝置與一第四位移裝置以及設置於該第三位移裝置上與該第四位移裝置上的承載盤； 設定有複數個第一控制點位，係分別位於該第一位移裝置與該第二位移裝置所移動的一X軸向上； 設定有複數個第二控制點位，係分別位於該第三位移裝置與該第四位移裝置所移動的一Y軸向上； 該第一位移裝置透過各該第一控制點位而於該X軸向上位移，該第三位移裝置透過各該第二控制點位而於該Y軸向上位移，該第一位移裝置與該第三位移裝置所在的各該第一控制點位與各該第二控制點位構成一第一檢測迴道，該第三位移裝置上的該承載盤於該第一檢測迴道上依序完成置放待測元件、檢測作業與取下待測元件的動作； 該第二位移裝置透過各該第一控制點位而於該X軸向上位移，該第四位移裝置透過各該第二控制點位而於該Y軸向上位移，該第二位移裝置與該第四位移裝置所在的各該第一控制點位與各該第二控制點位構成一第二檢測迴道； 其中，在該第一檢測迴道上的該承載盤開始進行動作一預定時間後，該第四位移裝置上的該承載盤再於該第二檢測迴道上依序完成置放待測元件、檢測作業與取下待測元件的動作；以及 在該第一檢測迴道上的該承載盤與該第二檢測迴道上的該承載盤連續交替的使用同一個該取放裝置與該檢測單元進行檢測。
2. 如請求項1之雙迴道檢測方法，其中於該X軸向上的各該第一控制點位分別設有一起始點、一迴轉點、一檢測起始點與一檢測完成點，於該Y軸向上的各該第二控制點位則分別設定有一取放點、一迴避點與一檢測點，該起始點對應該取放點係用於進行該置放待測元件與該取下待測元件的動作，該檢測單元係位在該檢測起始點對應該檢測點上方，以用於進行該檢測作業。
3. 如請求項2之雙迴道檢測方法，其中當完成該置放待測元件之動作欲進行該檢測作業之過程中，各該承載盤係經由該X軸向上經該起始點、該迴轉點再進入該檢測起始點，在該起始點至該迴轉點時，各該承載盤係對應於該迴避點。
4. 如請求項2之雙迴道檢測方法，其中當完成該檢測作業之動作欲進行該取下待測元件之過程中，各該承載盤係經由該檢測完成點回到該起始點，在該檢測完成點回到該起始點時，各該承載盤係對應於該迴避點。
5. 如請求項2之雙迴道檢測方法，該第二檢測迴道上的該承載盤係在該第一檢測迴道上的該承載盤完成該置放待測元件的動作後，再於該迴轉點開始該第二檢測迴道的各個動作。
6. 如請求項2之雙迴道檢測方法，其中分別於該第一檢測迴道與該第二檢測迴道上設置的一測距儀，在進行該檢測作業之前係預先以該測距儀檢測與待測元件之間的直線距離，用以控制該檢測單元調整檢測距離。
7. 如請求項1之雙迴道檢測方法，其中該待測元件係為影像感測器。
8. 一種雙迴道檢測裝置，係至少包含： 一測試平臺，於兩側設置有一第一位移機構與一第二位移機構，該第一位移機構與該第二位移機構係於該測試平臺上做X軸向位移； 一第三位移機構，係設置在該第一位移機構上，該第三位移機構係於該第一位移機構上做Y軸向位移； 一第四位移機構，係設置在該第二位移機構上，該第四位移機構則係於該第二位移機構上做Y軸向位移； 一承載盤，係分別的設置在該第三位移機構與該第四位移機構上，各該承載盤上具有一用於置入至少一待測元件的槽位； 一取放機構，係配置在該測試平臺旁，用於攜行取放該待測元件至該槽位；以及 一檢測單元，係位於該測試平臺上方，用以檢測位於該承載盤上每個通過下方的該待測元件； 其中，該第一位移機構與該第二位移機構帶動各該承載盤於該測試平臺相對的兩側錯時進行該X軸向的往返位移，當各該承載盤於該X軸向位移時交錯，該第三位移機構與該第四位移機構則能進行該Y軸向的位移使得各該承載盤相互迴避，進而使各承載盤上的槽位依序通過該檢測單元的下方，並對每一個待測元件進行檢測。
9. 如請求項8之雙迴道檢測裝置，其中該第一位移機構具有一裝設在該測試平臺一側的第一軌道、一裝設在該第一軌道上的第一滑塊與一用於驅動該第一滑塊的第一驅動器，該第二位移機構具有一裝設在該測試平臺另一側的第二軌道、一裝設在該第二軌道上的第二滑塊與一用於驅動該第二滑塊的第二驅動器，該第一軌道與該第二軌道皆係平行於該X軸向。
10. 如請求項8之雙迴道檢測裝置，其中該第三位移機構具有一裝設在該第一滑塊上的第三軌道、一裝設在該第三軌道上的第三滑塊與一用於驅動該第三滑塊的第三驅動器，該第四位移機構具有一裝設在該第二滑塊上的第四軌道、一裝設在該第四軌道上的第四滑塊與一用於驅動該第四滑塊的第四驅動器，該第三軌道與該第四軌道皆係平行於該Y軸向，各該承載盤係分別裝設在該第三滑塊與該第四滑塊上。
11. 如請求項8之雙迴道檢測裝置，其中該槽位於該承載盤上的數量係具有一個或一個以上。
12. 如請求項8之雙迴道檢測裝置，其中位於該第一位移機構及第二位移機構的X軸向位移方向上方分別設置一測距儀。
13. 如請求項12之雙迴道檢測裝置，其中各測距儀上分別設置有一限位位移機構用於帶動該測距儀做該Y軸向位移，係帶動各該測距儀配合位移至相對於各該槽位上方，確保各該槽位依序通過各該測距儀下方檢測各該待測元件Z軸向的直線距離。

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