JP2019516245A - 2つのポリシリコン堆積工程を使用して対の3ゲート不揮発性フラッシュメモリセルを形成する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2016年4月20日に出願された中国特許出願第201610247666.6号の利益を主張する。
本発明は、ワード線(WL)ゲートと、浮遊ゲートと、消去ゲートと、を有する不揮発性フラッシュメモリセルに関する。
Claims (28)
- 一対の不揮発性メモリセルを形成する方法であって、
半導体基板上に第1の絶縁層を形成することと、
第1のポリシリコン堆積プロセスにおいて前記第1の絶縁層上に第1のポリシリコン層を形成することと、
前記第1のポリシリコン層に一対の離間した絶縁ブロックを形成することであって、前記絶縁ブロックのそれぞれは互いに向き合う第1の側面と、互いに反対を向く第2の側面と、を有する、ことと、
前記一対の絶縁ブロックの下及び前記一対の絶縁ブロックの間に配置された前記第1のポリシリコン層の一部を維持しながら、前記第1のポリシリコン層の一部を除去することと、
前記一対の絶縁ブロックの間に配置された前記第1のポリシリコン層の一部の上に、前記第1の側面に隣接した一対の離間した絶縁スペーサを形成することと、
前記一対の絶縁ブロックのうちの1つ及び前記一対の絶縁スペーサのうちの1つの下にそれぞれ配置された前記第1のポリシリコン層の一対のポリシリコンブロックを維持しながら、前記絶縁スペーサ間に配置された前記第1のポリシリコン層の一部を除去することと、
前記基板内かつ前記一対の絶縁ブロックの間にソース領域を形成することと、
前記一対の絶縁スペーサを除去することと、
少なくとも前記一対のポリシリコンブロックのそれぞれの端部に沿って延在する、絶縁材料を形成することと、
第2のポリシリコン堆積プロセスにおいて前記基板及び前記一対の絶縁ブロックの上に第2のポリシリコン層を形成することと、
前記第2のポリシリコン層の第1のポリシリコンブロック、第2のポリシリコンブロック、及び第3のポリシリコンブロックを維持しながら、前記第2のポリシリコン層の一部を除去することであって、
前記第1のポリシリコンブロックは、前記一対の絶縁ブロックの間及び前記ソース領域上に配置され、
前記第2のポリシリコンブロックは、前記絶縁ブロックのうちの1つの前記第2の側面に隣接して配置され、
前記第3のポリシリコンブロックは、前記絶縁ブロックのうちの別の1つの前記第2の側面に隣接して配置される、ことと、
前記基板内に前記第2のポリシリコンブロックに隣接した第1のドレイン領域を形成することと、
前記基板内に前記第3のポリシリコンブロックに隣接した第2のドレイン領域を形成することと、を含む、方法。 - 前記第1、第2及び第3のポリシリコンブロックの上面上にサリサイドを形成すること、を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のポリシリコンブロックが、前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックに横方向に隣接した第1の部分と、前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロック上で上方に延在する第2の部分と、を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記一対の離間した絶縁スペーサを形成するために使用するものと同じ堆積及びエッチングプロセスにおいて、前記第2の側面に隣接した一対の第2の絶縁スペーサを形成すること、を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記離間した絶縁ブロックが窒化物、酸化物、又は酸化物と窒化物との両方を含む層の複合体で形成されている、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の絶縁層が、酸化物又は窒化処理された酸化物で形成されている、請求項1に記載の方法。
- 前記第2及び第3のポリシリコンブロックを除去することと、前記絶縁ブロックのうちの1つの前記第2の側面に隣接した第1の金属ブロックを形成することと、前記絶縁ブロックのうちの別の1つの前記第2の側面に隣接した第2の金属ブロックを形成することと、を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の金属ブロックと前記絶縁ブロックのうちの1つの前記第2の側面との間に、高K絶縁材料の層を形成することと、前記第2の金属ブロックと前記絶縁ブロックのうちの別の1つの前記第2の側面との間に高K絶縁材料の層を形成することと、を更に含む、請求項7に記載の方法。
- 一対の不揮発性メモリセルを形成する方法であって、
半導体基板上に第1の絶縁層を形成することと、
第1のポリシリコン堆積プロセスにおいて前記第1の絶縁層に第1のポリシリコン層を形成することと、
前記第1のポリシリコン層に一対の離間した絶縁ブロックを形成することであって、前記絶縁ブロックのそれぞれは、互いに向き合う第1の側面と互いに反対を向く第2の側面とを有する、ことと、
前記一対の絶縁ブロックのうちの1つの下にそれぞれ配置された前記第1のポリシリコン層の一対のポリシリコンブロックを維持しながら、前記第1のポリシリコン層の一部を除去することと、
前記第1及び第2の側面に隣接した絶縁スペーサを形成することと、
前記第1の側面に隣接した前記絶縁スペーサを除去することと、
前記基板内かつ前記一対の絶縁ブロック間に、ソース領域を形成することと、
少なくとも前記第1の側面に沿って、かつ前記第2の側面に隣接した前記絶縁スペーサに沿って延在する、絶縁材料の層を形成することと、
第2のポリシリコン堆積プロセスにおいて前記基板及び前記一対の絶縁ブロック上に第2のポリシリコン層を形成することと、
前記第2のポリシリコン層の第1のポリシリコンブロック、第2のポリシリコンブロック、及び第3のポリシリコンブロックを維持しながら、前記第2のポリシリコン層の一部を除去することであって、
前記第1のポリシリコンブロックは、前記一対の絶縁ブロック間かつソース領域上に配置され、
前記第2のポリシリコンブロックは、前記絶縁ブロックのうちの1つの前記第2の側面に隣接して配置され、
前記第3のポリシリコンブロックは、前記絶縁ブロックのうちの別の1つの前記第2の側面に隣接して配置される、ことと、
前記基板内に前記第2のポリシリコンブロックに隣接した第1のドレイン領域を形成することと、
前記基板内に前記第3のポリシリコンブロックに隣接した第2のドレイン領域を形成することと、を含む、方法。 - 前記第1のポリシリコンブロックが、
前記絶縁材料の層によって前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックから絶縁され、
前記第2のポリシリコンブロックが、前記絶縁材料の層と絶縁スペーサのうちの1つとによって前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのうちの1つから絶縁され、
前記第3のポリシリコンブロックが、前記絶縁材料の層と前記絶縁スペーサのうちの1つとによって前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのうちの1つから絶縁されている、請求項9に記載の方法。 - 前記離間した絶縁ブロックが、窒化物、酸化物、又は酸化物と窒化物との両方を含む層の複合体で形成されている、請求項9に記載の方法。
- 前記第1の絶縁層が、酸化物又は窒化処理された酸化物で形成されている、請求項9に記載の方法。
- 前記第2及び第3のポリシリコンブロックを除去することと、
前記絶縁ブロックのうちの1つの前記第2の側面に隣接した第1の金属ブロックを形成することと、
前記絶縁ブロックのうちの別の1つの前記第2の側面に隣接した第2の金属ブロックを形成することと、を更に含む、請求項9に記載の方法。 - 前記第1の金属ブロックと前記絶縁ブロックのうちの1つの前記第2の側面との間に、高K絶縁材料の層を形成することと、
前記第2の金属ブロックと前記絶縁ブロックのうちの別の1つの前記第2の側面との間に高K絶縁材料の層を形成することと、を更に含む、請求項13に記載の方法。 - 一対の不揮発性メモリセルを形成する方法であって、
半導体基板上に第1の絶縁層を形成することと、
第1のポリシリコン堆積プロセスにおいて前記第1の絶縁層に第1のポリシリコン層を形成することと、
前記第1のポリシリコン層に一対の離間した絶縁ブロックを形成することであって、前記絶縁ブロックのそれぞれは、互いに向き合う第1の側面と互いに反対を向く第2の側面とを有する、ことと、
前記第1及び第2の側面に隣接した絶縁スペーサを形成することと、
前記第1の側面に隣接した前記絶縁スペーサの幅を縮小させることと、
前記一対の絶縁ブロックのうちの1つ及び前記1つの絶縁ブロックの前記第1及び第2の側面に隣接した前記絶縁スペーサの下にそれぞれ配置された、前記第1のポリシリコン層の一対のポリシリコンブロックを維持しながら、前記第1のポリシリコン層の一部を除去することと、
前記基板内かつ前記一対の絶縁ブロック間にソース領域を形成することと、
前記絶縁スペーサを除去して前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのそれぞれの端部を露出させることと、
少なくとも前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのそれぞれの前記露出した端部に沿って延在する、絶縁材料の層を形成することと、
第2のポリシリコン堆積プロセスにおいて前記基板及び前記一対の絶縁ブロック上に第2のポリシリコン層を形成することと、
前記第2のポリシリコン層の第1のポリシリコンブロック、第2のポリシリコンブロック、及び第3のポリシリコンブロックを維持しながら、前記第2のポリシリコン層の一部を除去することであって、
前記第1のポリシリコンブロックは、前記一対の絶縁ブロック間かつ前記ソース領域上に配置され、
前記第2のポリシリコンブロックは、前記絶縁ブロックのうちの1つの前記第2の側面に隣接して配置され、
前記第3のポリシリコンブロックは、前記絶縁ブロックのうちの別の1つの前記第2の側面に隣接して配置される、ことと、
前記基板内に前記第2のポリシリコンブロックに隣接した第1のドレイン領域を形成することと、
前記基板内に前記第3のポリシリコンブロックに隣接した第2のドレイン領域を形成することと、を含む、方法。 - 前記第1のポリシリコンブロックが、前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックに横方向に隣接した第1の部分と、前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロック上で上方に延在する第2の部分と、を含み、
前記第2のポリシリコンブロックが、前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのうちの1つに横方向に隣接した第1の部分と、前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのうちの前記1つの上で上方に延在する第2の部分と、を含み、
前記第3のポリシリコンブロックが、前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのうちの他の1つに横方向に隣接した第1の部分と、前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのうちの前記他の1つの上で上方に延在する第2の部分と、を含む、請求項15に記載の方法。 - 前記第1のポリシリコンブロックと前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのうちのいずれかとの間で垂直に重なる量が、前記第2のポリシリコンブロックと前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのうちの前記1つとの間で垂直に重なる量よりも少なく、前記第3のポリシリコンブロックと前記第1のポリシリコン層の前記一対のポリシリコンブロックのうちの前記他の1つとの間で垂直に重なる量よりも少ない、請求項16に記載の方法。
- 前記離間した絶縁ブロックが、窒化物、酸化物、又は酸化物と窒化物との両方を含む層の複合体で形成されている、請求項15に記載の方法。
- 前記第1の絶縁層が、酸化物又は窒化処理された酸化物で形成されている、請求項15に記載の方法。
- 前記第2及び第3のポリシリコンブロックを除去することと、前記絶縁ブロックのうちの1つの前記第2の側面に隣接した第1の金属ブロックを形成することと、前記絶縁ブロックのうちの別の1つの前記第2の側面に隣接した第2の金属ブロックを形成することと、を更に含む、請求項15に記載の方法。
- 前記第1の金属ブロックと前記絶縁ブロックのうちの1つの前記第2の側面との間に、高K絶縁材料の層を形成することと、
前記第2の金属ブロックと前記絶縁ブロックのうちの別の1つの前記第2の側面との間に高K絶縁材料の層を形成することと、を更に含む、請求項20に記載の方法。 - 一対の不揮発性メモリセルを形成する方法であって、
半導体基板上に第1の絶縁層を形成することと、
第1のポリシリコン堆積プロセスにおいて前記第1の絶縁層に第1のポリシリコン層を形成することと、
前記第1のポリシリコン層に、対向する第1及び第2の側面を有する絶縁ブロックを形成することと、
前記第1のポリシリコン層上に前記第1の側面に隣接した第1の絶縁スペーサと、前記第1のポリシリコン層上に前記第2の側面に隣接した第2の絶縁スペーサと、を形成することと、
前記絶縁ブロック並びに第1及び第2の絶縁スペーサの下に配置された前記第1のポリシリコン層のポリシリコンブロックを維持しながら、前記第1のポリシリコン層の一部を除去することと、
前記絶縁ブロックを除去することと、
前記第1及び第2の絶縁スペーサ間に配置された前記第1のポリシリコン層の一部を除去して、前記第1の絶縁スペーサの下に配置された前記第1のポリシリコン層の第1のポリシリコンブロックと、前記第2の絶縁スペーサの下に配置された前記第1のポリシリコン層の第2のポリシリコンブロックと、を形成することと、
前記基板内かつ前記第1及び第2の絶縁スペーサ間にソース領域を形成することと、
少なくとも前記第1のポリシリコン層の前記第1及び第2のポリシリコンブロックのそれぞれの端部に沿って延在する、絶縁材料を形成することと、
第2のポリシリコン堆積プロセスにおいて前記基板及び前記一対の絶縁スペーサ上に第2のポリシリコン層を形成することと、
前記第2のポリシリコン層の第3のポリシリコンブロック、第4のポリシリコンブロック、及び第5のポリシリコンブロックを維持しながら、前記第2のポリシリコン層の一部を除去することであって、
前記第3のポリシリコンブロックは、前記一対の絶縁スペーサ間かつ前記ソース領域上に配置され、
前記第4のポリシリコンブロックは、前記第1の絶縁スペーサに隣接して配置され、
前記第5のポリシリコンブロックは、前記第2の絶縁スペーサに隣接して配置される、ことと、
前記基板内に前記第4のポリシリコンブロックに隣接した第1のドレイン領域を形成することと、
前記基板内に前記第5のポリシリコンブロックに隣接した第2のドレイン領域を形成することと、を含む、方法。 - 前記絶縁ブロックの前記除去前に、前記第1のポリシリコン層の上面に対してポリ傾斜エッチングを行い、前記上面が前記絶縁ブロックから離れて延在するにつれ、前記上面が下方に傾斜するようにすること、を更に含む、請求項22に記載の方法。
- 前記第3のポリシリコンブロックが、前記第1のポリシリコン層の前記第1及び第2のポリシリコンブロックに横方向に隣接した第1の部分と、前記第1のポリシリコン層の前記第1及び第2のポリシリコンブロック上で上方に延在する第2の部分と、を含む、請求項22に記載の方法。
- 前記絶縁ブロックが、窒化物、酸化物、又は酸化物と窒化物との両方を含む層の複合体で形成されている、請求項22に記載の方法。
- 前記第1の絶縁層が、酸化物又は窒化処理された酸化物で形成されている、請求項22に記載の方法。
- 前記第4及び第5のポリシリコンブロックを除去することと、前記第1の絶縁スペーサに隣接した第1の金属ブロックを形成することと、前記第2の絶縁スペーサに隣接した第2の金属ブロックを形成することと、を更に含む、請求項22に記載の方法。
- 前記第1の金属ブロックと前記第1の絶縁スペーサとの間に、高K絶縁材料の層を形成することと、前記第2の金属ブロックと前記第2の絶縁スペーサとの間に高K絶縁材料の層を形成することと、を更に含む、請求項27に記載の方法。
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