JP2006135178A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 不揮発性半導体記憶装置を含む半導体装置の製造方法において、その信頼性及び歩留まりの向上を図る。
【解決手段】 半導体基板1上に、ゲート絶縁膜2を介して第1のポリシリコン膜3を形成する。さらに、第1の開口部101を有した第2のシリコン窒化膜8を形成し、これをマスクとして第1のポリシリコン膜3をエッチングする。次に、第1の開口部に、第2の開口部103を有したスペーサー膜9Aを形成する。そして、アンモニアガス雰囲気中で第1のアニール処理を行い、第1の酸化防止層9Nを形成する。さらに、ソース領域11、ソース線12、ソース線キャップ膜13、フローティングゲート3A、トンネル絶縁膜14A、コントロールゲート15A、及びドレイン領域17等を形成する。
【選択図】 図20
【解決手段】 半導体基板1上に、ゲート絶縁膜2を介して第1のポリシリコン膜3を形成する。さらに、第1の開口部101を有した第2のシリコン窒化膜8を形成し、これをマスクとして第1のポリシリコン膜3をエッチングする。次に、第1の開口部に、第2の開口部103を有したスペーサー膜9Aを形成する。そして、アンモニアガス雰囲気中で第1のアニール処理を行い、第1の酸化防止層9Nを形成する。さらに、ソース領域11、ソース線12、ソース線キャップ膜13、フローティングゲート3A、トンネル絶縁膜14A、コントロールゲート15A、及びドレイン領域17等を形成する。
【選択図】 図20
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に不揮発性半導体記憶装置含む半導体装置の製造方法に関する。
近年、電気的にプログラム及び消去可能な読み出し専用メモリ装置(以下、EEPROMという)は、携帯電話やデジタルカメラなどの応用分野の拡大に伴い、広く普及している。
EEPROMは、フローティングゲート(浮遊ゲート)に所定の電荷量が蓄積されているか否かによって、2値又はそれ以上の多値のデジタルデータを記憶し、その電荷量に応じたチャネル領域の導通の変化を検知することで、デジタルデータを読み出すことができるものである。EEPROMは、スタックトゲート型(Stacked−Gate Type)とスプリットゲート型(Split−Gate Type)に分類される。
図30は、従来例に係るスプリットゲート型EEPROMのメモリセルを有した半導体装置を示す断面図であり、1つのメモリセルの構造を示している。P型半導体基板101の表面に所定間隔を隔ててn+型のドレイン領域102及びn+型のソース領域103が形成され、それらの間にチャネル領域104が配置されている。このチャネル領域104の一部上及びソース領域103の一部上には、ゲート絶縁膜105を介してフローティングゲート106が形成されている。フローティングゲート106上には、選択酸化法によって形成された厚いシリコン酸化膜107が形成されている。
また、フローティングゲート106の側面及び厚いシリコン酸化膜107の上面の一部を被覆するようにトンネル絶縁膜108が形成されている。トンネル絶縁膜108上及びチャネル領域104の一部上にはコントロールゲート109(制御ゲート)が形成されている。
上述した構成のメモリセルの動作を説明すると以下の通りである。まず、デジタルデータの書き込み時には、コントロールゲート109とソース領域103に所定の電位(例えば、P型半導体基板101に0V、コントロールゲート109に2V、ソース領域103に10V)を印加し、チャネル領域104に電流を流すことにより、ゲート絶縁膜105を通してフローティングゲート106にチャネルホットエレクトロン(Channel Hot Electron)CHEを注入する。フローティングゲート106に注入されたチャネルホットエレクトロンは電荷としてフローティングゲート106内に保持される。
フローティングゲート106とソース領域103の容量結合は、コントロールゲート109とフローティングゲート106との容量結合に比して相当大きいので、ソース領域103に与えた電位によってフローティングゲート106の電位が上昇し、チャネルホットエレクトロンのフローティングゲート106への注入効率を向上させている。
一方、前記メモリセルに記憶されたデジタルデータを消去する時には、ドレイン領域102及びソース領域103を接地し、コントロールゲート109に所定の電位(例えば、13V)を印加することにより、トンネル絶縁膜108にファウラー・ノルドハイム・トンネル電流(Fowler−Nordheim Tunneling Current)FNを流し、フローティングゲート106に蓄積された電子をコントロールゲート109へ引き抜く。このとき、フローティングゲート106の端部には尖鋭部106aが形成されているため、この部分に電界集中が生じ、比較的低いコントロールゲート電位でファウラー・ノルドハイム・トンネル電流を流すことができ、効率的なデータ消去を行うことができる。
また、前記メモリセルに記憶されたデータを読み出す時は、コントロールゲート109及びドレイン領域102に所定の電位(例えば、2V)を印加する。すると、フローティングゲート106に蓄積された電子の電荷量に応じてチャネル電流が流れ、この電流を電流センスアンプで検知することによってデータの読み出しを行うことができる。
上述のスプリットゲート型EEPROMでは高効率のプログラミング及びデータ消去が可能である。しかしながら、製造プロセス上、コントロールゲート109とフローティングゲート106、コントロールゲート109と厚いシリコン酸化膜107との位置関係は、自己整合的ではないために、マスクずれを考慮してメモリセルの設計を行う必要があった。そのため、スプリットゲート型EEPROMのメモリセルの微細化には限界があった。
そこで、自己整合型のスプリットゲート型EEPROMが開発された。図31は、従来例に係る自己整合型のスプリットゲート型EEPROMのメモリセルを有した半導体装置を示す断面図である。図31に示すように、第1のメモリセルMC10,第20のメモリセルMC20が共通のソース領域203を中心にして、左右対称に配置されている。
第1のメモリセルMC10の構造を説明すると以下の通りである。なお、第2のメモリセルMC20についても全く同様である。P型半導体基板201の表面に、所定間隔を隔ててn+型のドレイン領域202及びn+型のソース領域203が形成され、それらの間にチャネル領域204が形成されている。チャネル領域204の一部上及びソース領域203の一部上にゲート絶縁膜205を介して、フローティングゲート206が形成されている。このフローティングゲート206上には酸化シリコンから成るスペーサー膜207が、フローティングゲート206に対して自己整合的に形成されている。
また、フローティングゲート206の側面及び上面の一部を被覆するようにトンネル絶縁膜208が形成されている。コントロールゲート209はスペーサー膜207の側壁に自己整合的に形成されている。即ち、コントロールゲート209は、スペーサー膜207の側壁及びチャネル領域204の一部上に配置されている。
第1のメモリセルMC10の動作は、図30のEEPROMのメモリセルと同様である。第1のメモリセルMC10及び第2のメモリセルMC20の特徴は、コントロールゲート209がフローティングゲート206及びスペーサー膜207に対して自己整合的に形成されており、しかも、ソース線210はソース領域203に自己整合的にコンタクトされている点である。このような自己整合型のスプリットゲート型EEPROMによれば、メモリセルを更に微細化することが可能である。
なお、上述した自己整合型のスプリットゲート型EEPROMのメモリセルに関連する技術文献としては、以下の特許文献が挙げられる。
特許第3481934号
特開2003−124361号
図32は、従来例に係るスプリットゲート型EEPROMのメモリセルを有した半導体装置の断面図である。図32に示すように、従来例に係るスプリットゲート型EEPROMのメモリセルでは、ソース線210に対して熱酸化処理を行うことにより当該ソース線21上にソース線キャップ膜211を形成していた。この熱酸化処理の際に、ゲート絶縁膜205とフローティングデート206との接合面、及びフローティングゲート206の端部に至るまで、酸化種が拡散して、フローティングゲート206の一部が酸化していた。
このフローティングゲート206の酸化された部分206Aが容量絶縁膜として寄与するため、メモリセルのメモリ機能に悪影響を与えるようなカップリング特性の悪化、即ち、フローティングゲート206とソース領域203との容量化カップリングの減少を招いていた。これにより、メモリセルの信頼性及び歩留まりが劣化するという問題が生じていた。
そこで、本発明は、不揮発性半導体記憶装置含む半導体装置の製造方法において、その信頼性及び歩留まりの向上を図る。
本発明は、上記課題に鑑みて為されたものであり、以下に示すような特徴を有する。即ち、本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板の表面上に、第1の絶縁膜を介して、第1の半導体層、当該第1の半導体層を露出する開口部を有したマスク層を順次形成する工程と、マスク層をエッチングマスクとして、第1の半導体層の表面を等方性エッチングする工程と、開口部の側壁にスペーサーを形成する工程と、スペーサーをエッチングマスクとして第1の半導体層及び第1の絶縁膜をエッチングし、半導体基板の表面を露出する工程と、第1のアニール処理により、開口部で露出するスペーサー、及び第1の半導体層の側部に、窒素導入層から成る第1の酸化防止層を形成する工程と、開口部内に、ソース線を形成する工程と、ソース線の表面を酸化処理して、当該表面上にソース線キャップ膜を形成する工程と、マスク層、及び第1の半導体層の不要部分を除去して、当該第1の半導体層から成るフローティングゲートを形成する工程と、スペーサー上、ソース線キャップ膜上、及びフローティングゲート上を含む半導体基板の表面上に、トンネル絶縁膜を形成する工程と、トンネル絶縁膜上に第2の半導体層を形成してこれをエッチングすることにより、トンネル絶縁膜を介してフローティングゲートに隣接するコントロールゲートを形成する工程と、を有することを特徴とする。
ここで、上記工程において、第1及び第2の半導体層は、ポリシリコン膜から成る。また、スペーサーは、シリコン酸化膜から成り、アニール処理はアンモニアガス雰囲気中で行われる。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、上記工程に加えて、半導体基板の表面上に第1の半導体層を形成した後に、半導体基板の表面の一部に素子分離層を形成する工程を含み、開口部で露出する第1の半導体層の表面を等方性エッチングする工程の後に、開口部内及びマスク層の表面上に、第2の絶縁膜を形成する工程と、第2のアニール処理により、第2の絶縁膜に、窒素導入層から成る第2の酸化防止層を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
ここで、上記工程において、第2の絶縁膜はシリコン酸化膜から成り、アニール処理はアンモニアガス雰囲気中で行われる。
本発明によれば、スペーサー及びフローティングゲートの端部に、酸化種の拡散の進行を抑止する機能を有した窒素導入層から成る酸化防止層を形成した。この酸化防止層により、ソース線に対する熱酸化処理を行ってソース線キャップ膜を形成する際、従来例にみられたようにフローティングゲートに至るまで酸化種が拡散することを極力抑止することができる。そのため、フローティングゲート206の一部が酸化することが極力抑止され、当該フローティングゲートの酸化を極力抑止することができる。
また、さらに、フローティングゲートに隣接する素子分離層上にも酸化防止層を形成することで、より確実に酸化種の拡散が抑止され、フローティングゲートの酸化が抑止される。
従って、メモリセルのメモリ機能に悪影響を与えるようなカップリング特性の悪化を極力低く抑えることが可能となって、当該メモリセルの信頼性及び歩留まりが従来例に比して向上する。結果として、そのようなメモリセル、即ち、不揮発性半導体記憶装置含む半導体装置の製造方法において、その信頼性及び歩留まりを向上することが可能となる。
次に、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施形態に係る半導体装置の概略構成を示す平面図である。なお、図1は、半導体基板10を表面からみた場合の平面図であり、当該半導体基板10の表面上に形成された構成要素の一部(半導体基板1,STI層7A,スペーサー膜9A,ソース線12)を透過して示している。ここで、STI層7Aとは、いわゆるシャロウ・トレンチ・アイソレーション(Shallow Trench Isolation;以下、「STI」と略称する)構造として形成される素子分離層である。
また、図20は、本実施形態に係る半導体装置及びその製造方法を示す断面図であり、図1のX−X線に沿った断面、及びY−Y線に沿った断面を示している。図20において、左側の部分がX−X線に沿った断面図であり、右側の部分がY−Y線に沿った断面図である。
図1及び図20に示すように、ゲート絶縁膜2が形成された半導体基板1の表面に、所定の深さ及び間隔を有して、素子分離層であるSTI層7Aが形成されている。異なるSTI層7Aの間には、不揮発性半導体記憶装置である複数のメモリセルが規則的に配置されている。ここで、図1では、複数のメモリセルのうち、メモリセルMC1,MC2,MC3,MC4のみを示し、図20では、メモリセルMC1,MC2のみを示している。メモリセルMC3,MC4は、メモリセルMC1,MC2と同様の構成を有している。
メモリセルMC1,MC2,MC3,MC4は、それぞれスプリットゲート型(Split−Gate Type)EEPROMのメモリセルであり、次のような構成を有している。即ち、半導体基板1上に、ゲート絶縁膜2Aを介してフローティングゲート3Aが形成されている。フローティングゲート3A上にはスペーサー膜9Aが形成されている。このスペーサー膜9A及びフローティングゲート3Aの側部には、酸化防止層9Nが形成されている。
また、フローティングゲート3Aに隣接して、トンネル絶縁膜14Aを介してコントロールゲート15Aが形成されている。フローティングゲート3Aの間に位置する半導体基板1にはソース領域11が形成されており、コントロールゲート15Aに隣接した半導体基板1の領域にはドレイン領域17が形成されている。ソース領域11上には、ソース線12が形成されている。ソース線12上には、ソース線キャップ膜13が形成されている。
次に、上述したようなスプリットゲート型EEPROMのメモリセルを半導体基板上に自己整合的に形成するための製造方法について説明する。
図2乃至図19は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図であり、図1のX−X線に沿った断面図及びY−Y線に沿った断面図を示している。なお、図2乃至図19において、左側の部分がX−X線に沿った断面図であり、右側の部分がY−Y線に沿った断面図である。また、図11では、X−X線に沿った断面図のみを示している。
図2に示すように、P型シリコン基板である半導体基板1の表面に約10nmのシリコン酸化膜(SiO2膜)から成るゲート絶縁膜2を熱酸化により形成する。これに続いて、ゲート絶縁膜2上に、CVD法により約50nmの膜厚を有する第1のポリシリコン膜3(Polysilicon Film)、120nmの膜厚を有する第1のシリコン窒化膜4(Silicon Nitride Film)を形成する。
次に、図3に示すように、第1のシリコン窒化膜4上に、開口部5Hを有するホトレジスト層5を形成する。そして、開口部5Hを有するホトレジスト層5をマスクとして、第1のシリコン窒化膜4、第1のポリシリコン膜3、ゲート絶縁膜2を順にエッチングし、さらに、半導体基板1の表面をエッチングして、トレンチ溝6を形成する。トレンチ溝6の深さは約1μm以下であることが好ましい。
次に、図4に示すように、CVD法によりシリコン酸化膜(例えば、TEOS膜)を、トレンチ溝6内を含めて全面に堆積した後、CMP法(Chemical Mechanical Polishing Method)を用いて、そのシリコン酸化膜の表面をポリッシングする。このとき、シリコン窒化膜4はCMPの終点検出膜として働き、第1のシリコン窒化膜4が露出したことを光学的手法により検出した時点でCMPを停止する。このようにして、トレンチ溝6に選択的に埋め込まれた素子分離層であるSTI層7Aが形成される。その後、図5に示すように、第1のシリコン窒化膜4はホット燐酸などの薬品を用いて除去される。なお、STI層7Aの形成は、上述したもの以外の形成方法により行われてもよい。
次に、図6に示すように、STI層7A上を含む第1のポリシリコン膜3の全面上に、マスク層として、約400nmの膜厚を有する厚い第2のシリコン窒化膜8をCVD法により形成する。次に、図7に示すように、後にフローティングゲート3Aが形成される領域上のシリコン窒化膜8を選択的にエッチングして第1の開口部101を形成する。そして、この第1の開口部101が形成されたシリコン窒化膜8をマスクとして、第1のポリシリコン膜3の表面を等方性エッチングする。これにより、第1のポリシリコン膜3の表面に浅い凹部102が形成される。また、この等方性エッチングにより、第2のシリコン窒化膜8のエッジ下にはアンダーカット部が生じる。また、STI層7Aの上面の一部がエッチングされる。
その後、図8に示すように、第1の開口部101内、凹部102内、及びSTI層7A上を含む第2のシリコン窒化膜8の全面に、CVD法により、第1のシリコン酸化膜9を堆積し、これを異方性エッチングによりエッチバックする。このエッチバックは第2のシリコン窒化膜8の表面が露出するまで行われる。その結果、第2のシリコン窒化膜8の側壁にシリコン酸化膜から成るスペーサー膜9Aが形成される。その後、図9に示すように、スペーサー膜9Aをマスクとして、第1のポリシリコン膜3及びゲート絶縁膜2をエッチングし、半導体基板1の表面を露出する第2の開口部103を形成する。
次に、図10に示すように、所定の第1のアニール処理を行うことにより、スペーサー膜9A、第2の開口部103内の第1のポリシリコン膜3の端部、及び当該第2の開口部103で露出する半導体基板1の表面上に、後述する酸化種の拡散を抑止する機能を有した窒素導入層から成る第1の酸化防止層9Nを形成する。上記第1のアニール処理は、好ましくはアンモニア(NH3)ガス雰囲気中において、RTA(ランプサーマルアニール)法を用いて、約900℃の温度により約30秒にわたって行われる。
ここで仮に、第1のアニール処理が、アンモニア(NH3)ガス以外の雰囲気中、例えば一酸化窒素(NO)ガス雰囲気中で行われた場合、窒素導入層から成る酸化防止層は形成されるものの、スペーサー膜9Aの表面上に形成されてしまう。即ち、後述するスペーサー膜9Aに対するエッチングの際、当該表面の一部が除去されるとともに、当該酸化防止層も除去されてしまう。
これに対して本実施形態の第1アニール処理は、他のガスに比して窒素導入率の高いアンモニア(NH3)ガス雰囲気中で行われる。そのため、アンモニア(NH3)ガス中の窒素がスペーサー膜9Aの内部に導入され易くなって、第1の酸化防止層9Nは、スペーサー膜9Aの表面よりも内側に形成される。そのため、図11に示すように、後述するスペーサー膜9Aに対するエッチングの際、当該表面の一部が除去されたとしても、第1の酸化防止層9Nの一部をスペーサー膜9Aに残存させることが可能となる。また、第1の開口部103の底部のゲート絶縁膜2の端部の表面においても、第1の酸化防止層9Nが形成される。
この第1の酸化防止層9Aにより、後述する熱酸化処理の際の酸化種が第1のポリシリコン膜3(後のフローティングゲート3A)に至るまで拡散することが、極力抑止される。
次に、図12に示すように、第2のシリコン窒化膜8上、スペーサー膜9A上、第2の開口部103内の第1の酸化防止層9N(第1のポリシリコン膜3の端部上、及び半導体基板1の表面上に形成されている)上に、CVD法により、第2のシリコン酸化膜10を約30nmの膜厚で堆積する。そして、図13に示すように、第2のシリコン酸化膜10を異方性エッチングによりエッチバックすることで、サイドキャップ10Aを形成する。このエッチバックは、スペーサー膜9Aの上部及びSTI層7Aの上方に形成されている第1の酸化防止層9Nにも及ぶため、当該箇所の第1の酸化防止層9Nは除去される。
次に、図14に示すように、スペーサー膜9A及び第2のシリコン窒化膜8をマスクにして、n型不純物(例えば、砒素)をイオン注入することで、半導体基板1の表面にn+型のソース領域11を自己整合的に形成する。
次に、図15に示すように、スペーサー膜9A及びサイドキャップ膜10Aで囲まれた第2の開口部103内に、ソース領域11とコンタクトするソース線12を形成する。ソース線12は、例えば、CVD法により全面にポリシリコン膜を堆積し、第2の開口部103内以外のこのポリシリコン膜をエッチングして除去することで形成される。
次に、図16に示すように、熱酸化処理を行うことにより、ソース線12の上面に、シリコン酸化膜から成り、ソース線12の上面を被覆するソース線キャップ膜13を形成する。
このとき、上記熱酸化処理により、酸化種が、スペーサー膜9Aを介して、第2の開口部103内の第1のポリシリコン膜3の端部に至まで拡散しようとする。しかしながら、スペーサー膜9A、第2の開口部103内の第1のポリシリコン膜3の端部、及びゲート絶縁膜2の端部は、これより以前の工程で形成した第1の酸化防止層9Nにより覆われている。この第1の酸化防止層9Nにより、当該第1のポリシリコン膜3に至るまで酸化種が拡散することが極力抑止される。従って当該第1のポリシリコン膜3の端部の酸化を極力抑止することができる。
次に、図17に示すように、第2のシリコン窒化膜8をホット燐酸などの薬品を用いて除去し、スペーサー膜9Aをマスクとして、第1のポリシリコン膜3及びゲート絶縁膜2を異方性エッチングし、一対のフローティングゲート3A,3Aを形成する。フローティングゲート3A,3Aはスペーサー膜9Aに対して自己整合的に形成される。このとき、一対のフローティングゲート3A,3Aのサイドキャップ10Aが形成されていない方の端部には、先鋭部3Apが形成される。これは、前述した浅い凹部102の形成時の等方性エッチングにより、凹部102の端部が上方へカーブしているためである。
さらに、スペーサー膜9A上、ソース線キャップ膜13上、及びフローティングゲート3A上を含む半導体基板1の全面上に、CVD法により、約20nmの膜厚を有するシリコン酸化膜14を堆積してトンネル絶縁膜14Aを形成する。ここで、トンネル絶縁膜14は、フローティングゲート3Aの側面及び上面の一部を覆うようにして形成される。
次に、図18に示すように、トンネル絶縁膜14の全面上に、CVD法により、約200nmの膜厚を有する第2のポリシリコン膜15を堆積する。そして、図19に示すように、第2のポリシリコン膜15を異方性エッチングによりエッチバックし、コントロールゲート15Aを形成する。コントロールゲート15Aはスペーサー膜9Aの側壁、及び半導体基板1のチャネル領域上に、トンネル絶縁膜14Aを介して、自己整合的に形成される。
次に、図20に示すように、コントロールゲート15Aの下部の側壁に、ミニスペーサー膜16Aを形成する。このミニスペーサー膜16Aは、CVD法によりシリコン酸化膜を堆積し、そのシリコン酸化膜をエッチバックすることで形成することができる。そして、トンネル絶縁膜14A及びコントロールゲート15Aをマスクとして、半導体基板1に、例えば砒素(As)等のn型不純物をイオン注入することにより、コントロールゲート15Aに対して自己整合的に、n+型のドレイン領域17,17を形成する。ここで、ソース領域11とドレイン領域17との間の半導体基板1の表面がチャネル領域となる。
こうして、半導体基板1上に、ソース領域11に対して左右対称の一対メモリセルMC1,MC2が形成される。また、図1に示したメモリセルMC3,MC4及びその他の不図示のメモリセルについても、メモリセルMC1,MC2と同様に形成される。
上述したように、本実施形態によれば、スペーサー膜9A及びフローティングゲート3Aの端部に、酸化種の拡散の進行を抑止する機能を有した窒素導入層から成る第1の酸化防止層9Nを形成することができる。この第1の酸化防止層9Nにより、ソース線12に対する熱酸化処理を行ってソース線キャップ膜13を形成する際、従来例にみられたようにフローティングゲート3Aに至るまで酸化種が拡散することを極力抑止することができる。そのため、フローティングゲート3Aの一部の酸化を極力抑止することができる。
従って、メモリセルのメモリ機能に悪影響を与えるようなカップリング特性の悪化を極力低く抑えることが可能となって、当該メモリセルの信頼性及び歩留まりが従来例に比して向上する。
なお、上述した第1の実施形態では、第1の酸化防止層9Nは、STI層7Aの上方に一旦形成されるものの、後に続く第2のシリコン酸化膜10のエッチングの際に除去されてしまう。そのため、熱酸化処理の際の酸化種がSTI層7Aと第1のポリシリコン膜3との境界近傍に至るまで拡散する場合があった。その結果、図示しないが、STI層7Aの近傍において、第1のポリシリコン膜3が酸化する場合があった。そこで、本発明の発明者らは、上記したようなSTI層近傍における酸化種の拡散の問題を解決するべく、さらに以下に示すような第2の実施形態を想到するに至った。
次に、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
図21乃至図29は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。なお、本実施形態に係る半導体装置の平面図は、第1の実施形態における図1の平面図と同様である。また、図21乃至図29において、左側の部分が図1のX−X線に沿った断面図であり、右側の部分がY−Y線に沿った断面図である。また、第1の実施形態と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を行うものとする。
本実施形態に係る半導体装置の製造方法では、半導体基板1上の第2のシリコン窒化膜8に第1の開口部101及び凹部102を形成する工程までは、第1の実施形態の図2乃至図7に示した工程と同様である。以下に示す工程は、図7の工程に続いて行われる。
即ち、図7に示した工程に続き、図21に示すように、第1の開口部101内及び凹部102内を含む第2のシリコン窒化膜8上に、第4のシリコン酸化膜20を、例えばCVD法により、例えば約35nmの膜厚を有して堆積する。そして、図22に示すように、所定の第2のアニール処理を行うことにより、第4のシリコン酸化膜20に、酸化種の拡散を抑止する機能を有した窒素導入層から成る第2の酸化防止層20Nを形成する。
上記第2のアニール処理は、第1の実施形態の第1のアニール処理と同様に、好ましくはアンモニア(NH3)ガス雰囲気中において、RTA(ランプサーマルアニール)法を用いて、約900℃の温度により約30秒にわたって行われる。
次に、図23に示すように、第1の開口部101内及びSTI層7A上を含む第4のシリコン酸化膜20上に、CVD法により、第5のシリコン酸化膜29を堆積し、これを異方性エッチングによりエッチバックする。このエッチバックは第2のシリコン窒化膜8の表面が露出するまで行われる。その結果、第2のシリコン窒化膜8の側壁に第5のシリコン酸化膜29から成るスペーサー膜29Aが形成される。その後、スペーサー膜29Aをマスクとして、第1のポリシリコン膜3及びゲート絶縁膜2をエッチングし、半導体基板1の表面を露出する第2の開口部203を形成する。
次に、図24に示すように、第1の実施形態の第1のアニール処理と同じ条件による第3のアニール処理を行う。これにより、スペーサー膜29A、第2の開口部203内の第1のポリシリコン膜3の端部、及び当該第2の開口部203で露出する半導体基板1の表面上に、第1の実施形態の第1の酸化防止層9Nと同様の第3の酸化防止層29Nが形成される。
その後、図25に示すように、第2のシリコン窒化膜8上、スペーサー膜9A上、第2の開口部103内の第3の酸化防止層29N(第1のポリシリコン膜3の端部上、及び半導体基板1の表面上に形成されている)上に、第1の実施形態の第2のシリコン酸化膜10と同様に、第6のシリコン酸化膜30を堆積する。そして、図26に示すように、第6のシリコン酸化膜30を異方性エッチングによりエッチバックすることで、サイドキャップ30Aを形成する。
このとき、第1の実施形態の第2のシリコン酸化膜10のエッチバック(図13参照)とは異なり、STI層7A上及びそれに隣接する第1のポリシリコン膜3上に形成されている第3の酸化防止層29Nはエッチバックされずに、当該箇所に残存する。
次に、図27に示すように、第2の開口部203内の半導体基板1の表面にn+型のソース領域31を自己整合的に形成し、スペーサー膜29A及びサイドキャップ膜30Aで囲まれた第2の開口部203内に、ソース領域31とコンタクトするソース線32を形成する。ソース線32は、第1の実施形態のソース線12と同様に形成される。次に、熱酸化処理を行うことにより、ソース線32の上面に、シリコン酸化膜から成りソース線32の上面を被覆するソース線キャップ膜33を形成する。
このとき、第2の酸化防止層20N及び第3の酸化防止層29Nが、第1のポリシリコン膜3のみならずSTI層7A上を覆っている。そのため、STI層7Aの近傍を通して、当該第1のポリシリコン膜3に酸化種が拡散することを極力抑止することできる。
次に、図28に示すように、第1の実施形態と同様に、第2のシリコン窒化膜8をホット燐酸などの薬品を用いて除去し、スペーサー膜29Aをマスクとして、第1のポリシリコン膜3及びゲート絶縁膜2を異方性エッチングし、一対のフローティングゲート3A,3Aを形成する。さらに、スペーサー膜29A上、ソース線キャップ膜33上、及びフローティングゲート3A上を含む半導体基板1の全面上にシリコン酸化膜を堆積して、トンネル絶縁膜34Aを形成する。
次に、図29に示すように、第1の実施形態のコントロールゲート15Aと同様に、トンネル絶縁膜34Aの全面上にポリシリコン膜を堆積して、これを異方性エッチングによりエッチバックし、コントロールゲート35Aを形成する。さらに、コントロールゲート35Aの下部の側壁に、ミニスペーサー膜36Aを形成する。そして、トンネル絶縁膜34A及びコントロールゲート35Aをマスクとして、半導体基板1に、例えば砒素(As)等のn型不純物をイオン注入することにより、コントロールゲート35Aに対して自己整合的に、n+型のドレイン領域37,37を形成する。ここで、ソース領域31とドレイン領域37との間の半導体基板1の表面がチャネル領域となる。
こうして、半導体基板1上に、ソース領域31に対して左右対称の一対メモリセルMC5,MC6が形成される。また、その他の不図示のメモリセルについても、メモリセルMC5,MC6と同様に形成される。
上述したように、本実施形態によれば、第2の酸化防止層20N及び第3の酸化防止層29Nが、フローティングゲート3Aの端部及びSTI層7A上を覆っている。そのため、第1の実施形態に比してさらに確実に酸化種の拡散が抑止され、フローティングゲート3Aの酸化が抑止される。
Claims (5)
- 半導体基板の表面上に、第1の絶縁膜を介して、第1の半導体層、当該第1の半導体層を露出する開口部を有したマスク層を順次形成する工程と、
前記マスク層をエッチングマスクとして、第1の半導体層の表面を等方性エッチングする工程と、
前記開口部の側壁にスペーサーを形成する工程と、
前記スペーサーをエッチングマスクとして第1の半導体層及び第1の絶縁膜をエッチングし、前記半導体基板の表面を露出する工程と、
第1のアニール処理により、前記開口部で露出する前記スペーサー、及び前記第1の半導体層の側部に、窒素導入層から成る第1の酸化防止層を形成する工程と、
前記開口部内に、ソース線を形成する工程と、
前記ソース線の表面を酸化処理して、当該表面上にソース線キャップ膜を形成する工程と、
前記マスク層、及び前記第1の半導体層の不要部分を除去して、当該第1の半導体層から成るフローティングゲートを形成する工程と、
前記スペーサー上、前記ソース線キャップ膜上、及び前記フローティングゲート上を含む前記半導体基板の表面上に、トンネル絶縁膜を形成する工程と、
前記トンネル絶縁膜上に第2の半導体層を形成してこれをエッチングすることにより、前記トンネル絶縁膜を介して前記フローティングゲートに隣接するコントロールゲートを形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1及び第2の半導体層は、ポリシリコン膜から成ることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記スペーサーは、シリコン酸化膜から成り、前記アニール処理はアンモニアガス雰囲気中で行われることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板の表面上に前記第1の半導体層を形成した後に、前記半導体基板の表面の一部に素子分離層を形成する工程を含み、
前記開口部で露出する第1の半導体層の表面を等方性エッチングする工程の後に、前記開口部内及び前記マスク層の表面上に、第2の絶縁膜を形成する工程と、第2のアニール処理により、前記第2の絶縁膜に、窒素導入層から成る第2の酸化防止層を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の絶縁膜はシリコン酸化膜から成り、前記アニール処理はアンモニアガス雰囲気中で行われることを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。
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