JP3954744B2 - 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、不揮発性半導体記憶装置とその製造方法に関し、更に言えば、スプリットゲート型のフラッシュメモリの多値化及び微細化を可能にする不揮発性半導体記憶装置とその製造方法を提供するものである。
【0002】
【従来の技術】
メモリセルが単一のトランジスタからなる電気的に消去可能な不揮発性半導体記憶装置、特にプログラマブルROM(EEPROM:Electrically Eras able and Programmable ROM)においては、フローティングゲートとコントロールゲートとを有する2重ゲート構造のトランジスタによって各メモリセルが形成される。このような2重ゲート構造のメモリセルトランジスタの場合、フローティングゲートのドレイン領域側で発生したホットエレクトロンを加速してフローティングゲートに注入することでデータの書き込みが行われる。そして、F−N伝導(Fowler-Nordheim tunnelling)によってフローティングゲートからコントロールゲートへ電荷を引き抜くことでデータの消去が行われる。
【0003】
図6はフローティングゲートを有する不揮発性半導体記憶装置のメモリセル部分を示す断面図である。この図においては、コントロールゲートがフローティングゲートと並んで配置されるスプリットゲート構造を示している。
【0004】
P型のシリコン基板1の表面領域に、LOCOS(Local Oxidation Of Silicon)法により選択的に厚く形成されるLOCOS酸化膜よりなる複数の素子分離膜2(図7(a)参照)が短冊状に形成され、素子領域が区画される。シリコン基板1上に、酸化膜3Aを介し、隣り合う素子分離膜2の間に跨るようにしてフローティングゲート4が配置される。このフローティングゲート4は、1つのメモリセル毎に独立して配置される。また、フローティングゲート4上の選択酸化膜5は、選択酸化法によりフローティングゲート4の中央部で厚く形成され、フローティングゲート4の端部を鋭角にしている。これにより、データの消去動作時にフローティングゲート4の端部で電界集中が生じ易いようにしている。
【0005】
複数のフローティングゲート4が配置されたシリコン基板1上に、フローティングゲート4の各列毎に対応して前記酸化膜3Aと一体化されたトンネル酸化膜3を介してコントロールゲート6が配置される。このコントロールゲート6は、一部がフローティングゲート4上に重なり、残りの部分が酸化膜3Aを介してシリコン基板1に接するように配置される。また、これらのフローティングゲート4及びコントロールゲート6は、それぞれ隣り合う列が互いに面対称となるように配置される。
【0006】
隣り合うコントロールゲート6間の基板領域及び隣り合うフローティングゲート4間の基板領域には、N型のドレイン領域7及びソース領域8が形成される。ドレイン領域7は、コントロールゲート6の間で素子分離膜2に囲まれてそれぞれが独立し、ソース領域8は、コントロールゲート6の延在する方向に連続する。これらのフローティングゲート4、コントロールゲート6、ドレイン領域7及びソース領域8によりメモリセルトランジスタが構成される。
【0007】
そして、前記コントロールゲート6上に、酸化膜9を介して、金属配線10がコントロールゲート6と交差する方向に配置される。この金属配線10は、コンタクトホール11を通して、ドレイン領域7に接続される。そして、各コントロールゲート6は、ワード線となり、コントロールゲート6と平行に延在するソース領域8は、ソース線となる。また、ドレイン領域7に接続される金属配線10は、ビット線となる。
【0008】
このような2重ゲート構造のメモリセルトランジスタの場合、フローティングゲート4に注入される電荷の量によってソース、ドレイン間のオン抵抗値が変動する。そこで、フローティングゲート4に選択的に電荷を注入することにより、特定のメモリセルトランジスタのオン抵抗値を変動させ、これによって生じる各メモリセルトランジスタの動作特性の差を記憶するデータに対応づけるようにしている。
【0009】
以上の不揮発性半導体記憶装置におけるデータの書き込み、消去及び読み出しの各動作は、例えば、以下のようにして行われる。書き込み動作においては、コントロールゲート6の電位を2V、ドレイン領域7の電位を0.5V、ソース領域8の高電位を12Vとする。これにより、ソース領域8に高電位を印加することで、ソース領域8とフローティングゲート4間のカップリング比によりフローティングゲート4の電位が9V程度に持ち上げられ、ドレイン領域7付近で発生するホットエレクトロンがフローティングゲート4側へ加速され、酸化膜3Aを通してフローティングゲート4に注入されてデータの書き込みが行われる。
【0010】
一方、消去動作においては、ドレイン領域7及びソース領域8の電位を0Vとし、コントロールゲート6を14Vとする。これにより、フローティングゲート4内に蓄積されている電荷(電子)が、フローティングゲート4の角部の鋭角部分からF−N(Fowler-Nordheim tunnelling)伝導によって前記トンネル酸化膜3を突き抜けてコントロールゲート6に放出されてデータが消去される。
【0011】
そして、読み出し動作においては、コントロールゲート6の電位を4Vとし、ドレイン領域7を2V、ソース領域8を0Vとする。このとき、フローティングゲート4に電荷(電子)が注入されていると、フローティングゲート4の電位が低くなるため、フローティングゲート4の下にはチャネルが形成されずドレイン電流は流れない。逆に、フローティングゲート4に電荷(電子)が注入されていなければ、フローティングゲート4の電位が高くなるため、フローティングゲート4の下にチャネルが形成されてドレイン電流が流れる。
【0012】
以下、このような不揮発性半導体記憶装置の製造方法について説明する。
【0013】
図7(a)において、シリコン基板1上にLOCOS法により素子分離膜2を形成する。即ち、図7(a)に示すように前記シリコン基板1上にパッド酸化膜21を形成し、不図示のホトレジスト膜を介して開口部22が形成されたシリコン窒化膜23を形成し、このシリコン窒化膜23をマスクにして選択酸化して素子分離膜2を形成する。尚、前記素子分離膜2の形成工程において、前記パッド酸化膜21上にパッドポリシリコン膜を積層させた状態で形成するものであっても良い。
【0014】
次に、前記シリコン窒化膜23及びパッド酸化膜21を除去した後に、図7(b)に示すようにシリコン基板1上を熱酸化してゲート酸化膜3Aを形成し、その上にポリシリコン膜24を形成する。
【0015】
次に、図7(c)に示すように不図示のホトレジスト膜を介して開口部25が形成されたシリコン窒化膜26を形成した後に、このシリコン窒化膜26をマスクにして前記ポリシリコン膜24を選択酸化して選択酸化膜5を形成する。尚、図7(c)と後述する図8(a),(b)は、特にメモリセル部の形成工程を説明するために用いたメモリセル部の形成領域を示す断面図である。
【0016】
続いて、図8(a)に示すように前記シリコン窒化膜26を除去した後に、選択酸化膜5をマスクにしてポリシリコン膜24及びシリコン酸化膜3Aをエッチングしてフローティングゲート4を形成する。
【0017】
そして、図8(b)に示すように全面にトンネル酸化膜3を形成した後に、全面にポリシリコン膜及びタングステンシリサイド(WSix)膜から成る導電膜を形成し、不図示のホトレジスト膜を介してパターニングしてコントロールゲート6を形成する。尚、前記コントロールゲート6は、ポリシリコン膜から成る単層膜であっても良い。図8(c)は、図8(b)のA−A断面部を示した断面図である。
【0018】
以下、説明は省略するが、図6に示すようにソース領域8及びドレイン領域7が形成され、前記ドレイン領域7にコンタクトされる金属配線10等が形成されて不揮発性半導体記憶装置のメモリセルが形成される。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したデバイス構造及び製造方法では、素子分離膜2とフローティングゲート4との間、フローティングゲート4とコントロールゲート6との間で、それぞれ高いマスク合せ精度が要求されるといった課題があり、更なる微細化を図ろうとした場合に支障があった。
【0020】
そして、フローティングゲート4の上部から側部にかけてコントロールゲート6を形成して成るスプリットゲート型のフラッシュメモリにおいて、コントロールゲート形成用マスクにマスクずれが発生すると、コントロールゲート6がずれて形成されてしまうことになる。
【0021】
このような場合、隣り合って対を成すコントロールゲート6のゲート長に差が生じ、セル電流がずれてしまう。そのため、対となるセルトランジスタを流れる電流値を同じにすることができず、多値化を図る上で大きな妨げとなっていた。
【0022】
従って、本発明は素子分離膜やフローティングゲートやコントロールゲートをセルフアラインで形成することで、微細化及び多値化を図る上で有利な不発性半導体記憶装置とその製造方法を提供することを目的とする。
【0023】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明の不揮発性半導体記憶装置の製造方法は、一導電型のシリコン基板上にシリコン酸化膜及びフローティングゲート形成用の第1の導電膜とを形成する工程と、前記第1の導電膜、前記シリコン酸化膜及び前記シリコン基板の一部をエッチング除去して凹部を形成した後に、この凹部を介して前記基板表層に一導電型の不純物をイオン注入してチャネルストッパ形成用のイオン注入領域を形成する工程と、前記凹部を含む基板上にシリコン酸化膜を形成した後に、このシリコン酸化膜をエッチバックして前記凹部内に残膜させて素子分離膜を形成する工程と、前記凹部内に形成された素子分離膜上を含む基板上に開口部を有する耐酸化性膜を形成した後に、この開口部を介して前記第1の導電膜の表層を選択酸化して当該第1の導電膜の上部に選択酸化膜を形成する工程と、前記耐酸化性膜の開口部を介して前記選択酸化膜上に埋設されたシリコン酸化膜から成る凸部を形成する工程と、前記耐酸化性膜を除去した後に、前記選択酸化膜を介して前記第1の導電膜をパターニングしてフローティングゲートを形成する工程と、前記凸部、前記選択酸化膜及び前記フローティングゲートを被覆するようにトンネル酸化膜を形成する工程と、前記トンネル酸化膜を介して前記フローティングゲートの一端部上に重なるように第2の導電膜から成るコントロールゲートを形成する工程と、前記フローティングゲート及び前記コントロールゲートに隣接するように前記基板表面に逆導電型の不純物をイオン注入して逆導電型の拡散領域を形成する工程とを備えたことを特徴とするものである。
【0024】
また、前記凹部を含む基板上にシリコン酸化膜を形成する工程は、当該シリコン酸化膜をLPCVD法により形成することを特徴とするものである。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の不揮発性半導体記憶装置とその製造方法に係る一実施形態について図面を参照しながら説明する。
【0026】
図1(a)において、シリコン基板51上を熱酸化しておよそ100Åの膜厚のシリコン酸化膜52を形成し、その上におよそ1000Åの膜厚のポリシリコン膜53を形成した後に、このポリシリコン膜53にリンドープを施して導電化を図る。
【0027】
次に、図1(b)に示すように開口部54を有するホトレジスト膜55を形成した後に、このホトレジスト膜55をマスクにして前記ポリシリコン膜53やシリコン酸化膜52やシリコン基板51の一部を異方性エッチング除去しておよそ5000Åの深さの凹部56を形成する。そして、前記ホトレジスト膜55をマスクにして、例えばボロンイオン(11B+)をイオン注入することで、前記凹部56底部のシリコン基板51表層にチャネルストッパ層形成用のイオン注入領域57を形成する。
【0028】
続いて、図2(a)に示すように前記凹部56を含む全面におよそ200Åの膜厚の熱酸化膜(不図示)を形成し、LPCVD法によりおよそ4000Åの膜厚のシリコン酸化膜58を形成した後に(図中の一点鎖線参照)、このシリコン酸化膜58をエッチバックして前記凹部56内にのみ残膜させて、シリコン酸化膜58から成る素子分離膜59を形成する。
【0029】
次に、図2(b)に示すように前記素子分離膜59上を含む全面にLPCVD法によりおよそ3000Åの膜厚のシリコン窒化膜61を形成する。
【0030】
続いて、図3(a)に示すように不図示のホトレジスト膜をマスクにして前記シリコン窒化膜61に開口部60を形成した後に、このシリコン窒化膜61をマスクにして前記ポリシリコン膜53を選択酸化して、このポリシリコン膜53の上部におよそ1000Åの膜厚の選択酸化膜62を形成する。尚、図3(a)から後述する図5(a)までは、特にメモリセル部の形成工程を説明するために用いたメモリセル部の形成領域を示す断面図である。
【0031】
次に、図3(b)に示すように前記ホトレジスト膜を除去した後に、前記開口部61を介して前記選択酸化膜62上を含む全面にLPCVD法によりおよそ4000Åの膜厚のシリコン酸化膜63を形成した後に(図中の一点鎖線参照)、このシリコン酸化膜63をエッチバックして前記開口部61内にのみ残膜させて、シリコン酸化膜63から成る凸部64(後述するコントロールゲートをセルフアラインで形成する際の壁の役割を果たす。)を形成する。
続いて、図4(a)に示すように前記シリコン窒化膜61を除去した後に、選択酸化膜62をマスクにして前記ポリシリコン膜53及びシリコン酸化膜52をエッチングしてフローティングゲート65を形成する。
【0032】
そして、図4(b)に示すように前記フローティングゲート65や選択酸化膜62や凸部64を含む全面におよそ300Åの膜厚のトンネル酸化膜66を形成した後に、全面にポリシリコン膜及びタングステンシリサイド(WSix)膜から成るおよそ4000Åの膜厚の導電膜67を形成した後に(図中の点線参照)、この導電膜67を異方性エッチングして前記凸部64を中心に前記フローティングゲート65の両側にトンネル酸化膜66を介してコントロールゲートとなる導電膜68A,68Bを形成する。このとき、前記凸部64が、コントロールゲートとなる導電膜68A,68Bを形成する際の壁の役割を果たし、この凸部64を中心にして導電膜67が残膜することになり、結果としてセルフアラインでコントロールゲートとなる導電膜68A,68Bが形成される。尚、前記トンネル酸化膜66は、例えば、先ず前記基板51上を熱酸化して基板51上のシリコン層とフローティングゲート65の側壁部のポリシリコン層におよそ100Åの膜厚のシリコン酸化膜を形成した後に、全面にLPCVD法によりおよそ150Åの膜厚のCVD酸化膜であるTEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate)膜やHTO(High Temperature Oxide)膜を形成し、更に熱酸化しておよそ300Åの膜厚のトンネル酸化膜66を形成している。
【0033】
そして、不図示のホトレジスト膜をマスクにして片側の前記コントロールゲートとなる導電膜68Bを除去してコントロールゲート68Aを形成する。尚、前記コントロールゲート68Aは、ポリシリコン膜から成る単層膜であっても良い。また、図5(b)は、図5(a)のA−A断面部を示した断面図である。
以下、図5(a)に示すように前記コントロールゲート68Aやフローティングゲート65や選択酸化膜62や凸部64をマスクにして前記基板表層に、例えばリンイオン(31P+)やヒ素イオン(75As+)をイオン注入してソース領域69及びドレイン領域70を形成し、前記ドレイン領域70にコンタクトされる不図示の金属配線等を形成して不揮発性半導体記憶装置のメモリセルを形成する。
【0034】
このように本発明の不揮発性半導体記憶装置のデバイス構造及び製造方法では、素子分離膜59とフローティングゲート65とコントロールゲート68Aとが、それぞれセルフアラインで形成できる。
【0035】
このため、従来のようにフローティングゲートとコントロールゲートとのマスクずれによる、隣り合って対を成すコントロールゲートのゲート長に差が生じ、対となるセル電流がずれてしまうという問題を抑止できる。従って、各セル毎に扱う電流値を同程度にすることができ、多値化を図る上で有利であると共に、ずれ分を考慮して設計する必要がなくなり、微細化を図る上で有利な不発性半導体記憶装置とその製造方法を提供することができる。
【0036】
また、前記素子分離膜59が基板51の一部を削って形成した凹部56内にLPCVD法によるシリコン酸化膜58を埋め込み形成しているため、従来のLOCOS法による素子分離膜に比して、より短い素子分離領域内に厚い素子分離膜59を形成できるため、素子分離能力が向上する。
【0037】
【発明の効果】
本発明によれば、素子分離膜とフローティングゲートとコントロールゲートとが、それぞれセルフアラインで形成できるため、従来のようにフローティングゲートとコントロールゲートとのマスクずれによる、隣り合って対を成すコントロールゲートのゲート長に差が生じ、対となるセル電流がずれてしまうという問題を抑止できる。従って、各セル毎に扱う電流値を同程度にすることができ、多値化を図る上で有利であると共に、ずれ分を考慮して設計する必要がなくなり、微細化を図る上で有利な不発性半導体記憶装置とその製造方法を提供できる。
【0038】
また、前記素子分離膜が基板の一部を削って形成した凹部内にLPCVD法によるシリコン酸化膜を埋め込み形成しているため、従来のLOCOS法による素子分離膜に比して、より短い素子分離領域内に厚い素子分離膜を形成できるため、素子分離能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の不発性半導体記憶装置の製造方法を示す断面図である。
【図2】本発明の一実施形態の不発性半導体記憶装置の製造方法を示す断面図である。
【図3】本発明の一実施形態の不発性半導体記憶装置の製造方法を示す断面図である。
【図4】本発明の一実施形態の不発性半導体記憶装置の製造方法を示す断面図である。
【図5】本発明の一実施形態の不発性半導体記憶装置の製造方法を示す断面図である。
【図6】従来の不発性半導体記憶装置の製造方法を示す断面図である。
【図7】従来の不発性半導体記憶装置の製造方法を示す断面図である。
【図8】従来の不発性半導体記憶装置の製造方法を示す断面図である。
Claims (2)
- 一導電型のシリコン基板上にシリコン酸化膜及びフローティングゲート形成用の第1の導電膜とを形成する工程と、
前記第1の導電膜、前記シリコン酸化膜及び前記シリコン基板の一部をエッチング除去して凹部を形成した後に、この凹部を介して前記基板表層に一導電型の不純物をイオン注入してチャネルストッパ形成用のイオン注入領域を形成する工程と、
前記凹部を含む基板上にシリコン酸化膜を形成した後に、このシリコン酸化膜をエッチバックして前記凹部内に残膜させて素子分離膜を形成する工程と、
前記凹部内に形成された素子分離膜上を含む基板上に開口部を有する耐酸化性膜を形成した後に、この開口部を介して前記第1の導電膜の表層を選択酸化して当該第1の導電膜の上部に選択酸化膜を形成する工程と、
前記耐酸化性膜の開口部を介して前記選択酸化膜上に埋設されたシリコン酸化膜から成る凸部を形成する工程と、
前記耐酸化性膜を除去した後に、前記選択酸化膜を介して前記第1の導電膜をパターニングしてフローティングゲートを形成する工程と、
前記凸部、前記選択酸化膜及び前記フローティングゲートを被覆するようにトンネル酸化膜を形成する工程と、
前記トンネル酸化膜を介して前記フローティングゲートの一端部上に重なるように第2の導電膜から成るコントロールゲートを形成する工程と、
前記フローティングゲート及び前記コントロールゲートに隣接するように前記基板表面に逆導電型の不純物をイオン注入して逆導電型の拡散領域を形成する工程とを備えたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記凹部を含む基板上にシリコン酸化膜を形成する工程は、当該シリコン酸化膜をLPCVD法により形成することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
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