JP2019102916A - 固体撮像装置、撮像システム、および固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents

固体撮像装置、撮像システム、および固体撮像装置の駆動方法 Download PDF

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Abstract

【課題】高速かつ高精度のアナログデジタル変換を実現する。【解決手段】実施形態としての固体撮像装置において、アナログデジタル変換部は、第1の期間において第1の画素信号をデジタル信号に変換し、第1の期間の後の判定期間において第2の画素信号と所定の閾値に設定された参照信号との比較を行い、判定期間の後の第2の期間において前記第2の画素信号を判定期間における比較の結果に応じたゲインで第2の画素信号をデジタル信号に変換する。参照信号生成部は、第1の期間から参照信号が閾値に達するまで、時間に対する参照信号の変化の方向を変えずに参照信号を変化させる。【選択図】 図1

Description

本発明は、固体撮像装置、撮像システム、および固体撮像装置の駆動方法に関する。
近年、AD(アナログデジタル)変換回路を備えたCMOSイメージセンサが用いられている。特許文献1に記載の光電変換装置は、アナログ信号と閾値との比較に基づき、AD変換時におけるゲインを設定している。
特開2014−131147号公報
しかしながら、特許文献1に記載の光電変換装置は、ゲインを設定する際に参照信号を基準レベルから閾値まで変化させているため、閾値を生成するのに時間を要する。また、動作を高速にするために、参照信号の傾きを大きくすると、閾値の精度が不十分になってしまう。
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであって、高速かつ高精度のアナログデジタル変換を実現することを目的とする。
本発明の一実施形態における固体撮像装置は、光電変換部を備える画素と、時間とともに所定の変化率で変化する参照信号を生成する参照信号生成部と、前記画素から出力された画素信号と前記参照信号との比較に基づき、前記画素信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部とを有し、前記アナログデジタル変換部は、第1の期間において第1の画素信号を第1のデジタル信号に変換し、第1の期間の後の判定期間において第2の画素信号と所定の閾値に設定された前記参照信号との前記比較を行い、前記判定期間の後の第2の期間において前記第2の画素信号を前記判定期間における前記比較の結果に応じたゲインで前記第2の画素信号を第2のデジタル信号に変換し、前記参照信号生成部は、前記第1の期間から前記参照信号が前記閾値に達するまで、時間に対する前記参照信号の変化の方向を変えずに前記参照信号を変化させる。
本発明の他の実施形態における固体撮像装置の駆動方法は、光電変換部を備える画素と、時間とともに所定の変化率で変化する参照信号を生成する参照信号生成部と、前記画素から出力された画素信号と前記参照信号との比較に基づき、前記画素信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部とを有する固体撮像装置の駆動方法であって、前記光電変換部のリセット時における第1の画素信号を前記画素から読み出し、第1の期間において第1の画素信号を第1のデジタル信号に変換し、前記光電変換部に蓄積された電荷に基づく第2の画素信号を前記画素から読み出し、判定期間において前記第2の画素信号と所定の閾値に設定された前記参照信号との前記比較を行い、第2の期間において前記第2の画素信号を前記判定期間における前記比較の結果に応じたゲインで前記第2の画素信号を第2のデジタル信号に変換し、前記第1の期間から前記参照信号が前記閾値に達するまで、時間に対する前記参照信号の変化の方向を変えずに前記参照信号を変化させる。
本発明によれば、高速かつ高精度のアナログデジタル変換を実現することが可能となる。
第1実施形態における固体撮像装置のブロック図である。 第1実施形態における画素の構成例を示す図である。 第1実施形態における列増幅部の構成例を示す図である。 第1実施形態における列比較部の構成例を示す図である。 第1実施形態における差動増幅器の構成例を示す図である。 第1実施形態における固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。 第2実施形態における固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。 第3実施形態における固体撮像装置のブロック図である。 第3実施形態における列比較部の構成例を示す図である。 第3実施形態における固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。 第4実施形態における固体撮像装置のブロック図である。 第4実施形態における固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。 第5実施形態における撮像システムのブロック図である。 第6実施形態における撮像システムのブロック図である。
以下、本発明の実施形態を説明する。第1〜第4実施形態における固体撮像装置は、光電変換部を備える画素と、時間とともに所定の変化率で変化する参照信号を生成する参照信号生成部と、画素信号と参照信号との比較の結果に基づき、画素信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部とを有する。アナログデジタル変換部は、第1の期間において第1の画素信号を第1のデジタル信号に変換し、第2の期間において第2の画素信号を所定のゲインで第2のデジタル信号に変換する。また、アナログデジタル変換部は、第1の期間と第2の期間との間の判定期間において、第2の画素信号と所定の閾値に設定された参照信号との比較を行う。参照信号生成部は、第1の期間から参照信号が閾値に達するまで、時間に対する参照信号の変化の方向を変えずに参照信号を変化させる。
本実施形態においては、第1の期間から参照信号が閾値に達するまで、変化の方向を変えずに参照信号を閾値まで変化させている。このため、第1の期間後に参照信号を基準レベルから変化させる場合に比べて、閾値を設定するのに要する時間を短縮することができる。また、参照信号の傾きを大きくすることなく高速動作を実現できるため、閾値を高精度に設定することも可能となる。
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。本発明は、以下に説明される実施形態に限定されない。例えば、以下のいずれかの実施形態の一部の構成を、他の実施形態に追加し、あるいは他の実施形態の一部の構成と置換してもよい。
[第1実施形態]
図1は本実施形態における固体撮像装置のブロック図である。固体撮像装置は、例えばCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサであって、画素アレイ1、増幅部2、比較部3、メモリ部4、垂直走査回路5、参照信号生成部6、カウンタ7、水平走査回路8、タイミング発生回路9、信号処理部105を備える。
画素アレイ1は行列状に配列された複数の画素10を備え、それぞれの画素10は照射光に基づき信号電荷を生成および蓄積する光電変換部を備える。なお、本明細書において、行方向とは図面における水平方向を示し、列方向とは図面において垂直方向を示すものとする。画素10上にはマイクロレンズ、カラーフィルタが配置され得る。カラーフィルタは例えば赤、青、緑の原色フィルタであって、ベイヤー配列に従って各画素10に設けられている。一部の画素10はOB画素(オプティカル・ブラック画素)として遮光されている。複数の画素10には、焦点検出用の画素信号を出力する焦点検出画素が配された測距行と、画像を生成するための画素信号を出力する撮像画素が配された複数の撮像行とが設けられ得る。垂直走査回路5はシフトレジスタ、ゲート回路、バッファ回路などから構成され、垂直同期信号、水平同期信号、クロック信号などに基づき制御信号を画素10に出力し、行毎に画素10を駆動する。列信号線102は画素10の列毎に設けられ、同一列の画素10は共通の列信号線102に画素信号VLを出力する。
増幅部2は列毎の列増幅部20を備える。列増幅部20は演算増幅器を備え、演算増幅器はゲインを変更可能である。列増幅部20は、列信号線102に出力された画素信号VLをアナログ増幅し、信号Vampを出力する。
比較部3は列毎の列比較部30および判定回路35を備える。列比較部30は信号Vampを入力し、信号Vampおよび参照信号Vrを比較し、比較結果を表す比較信号Vcmpを出力する。判定回路35は、後述する判定期間における比較の結果を示す比較信号Vcmpに基づき判定信号ATTを出力する。判定信号ATTは列増幅部20にフィードバック入力され、列増幅部20は判定信号ATTに基づき増幅率(ゲイン)を変更可能である。参照信号生成部6はカウンタ、デジタル・アナログ変換回路などを備え、時間とともに変化するランプ信号である参照信号Vrを生成する。参照信号生成部6は、容量充放電方式、DAC方式、カレントステアリング方式など、様々な方式を用いてランプ信号を生成し得る。参照信号Vrは、時間とともにレベルが増大するアップスロープだけでなく、時間とともにレベルが低下するダウンスロープであってもよい。カウンタ7は参照信号Vrに同期してカウントアップまたはカウントダウンするカウンタ値を生成する。比較部3、参照信号生成部6、カウンタ7は参照信号Vrを比較信号として用いるスロープ型のAD変換部を構成している。
メモリ部4は列毎の列メモリ40を備え、列メモリ40はJメモリ401、Nメモリ402、Sメモリ403を備える。Jメモリ401は判定回路35から出力された判定信号ATTを格納する。Nメモリ402、Sメモリ403はカウンタ7からのカウント値および列比較部30からの比較信号Vcmpを入力する。Nメモリ402は、画素10のリセット時におけるカウント値を比較信号Vcmpの遷移のタイミングにおいて格納する。また、Sメモリ403は画素10の光電変換時におけるカウント値を比較信号Vcmpの遷移のタイミングにおいて格納する。
水平走査回路8はデコーダ、シフトレジスタを備え、メモリ部4に保持されたカウント値をデジタル信号として順に読み出し、信号処理部105に出力する。信号処理部105はデジタル・シグナル・プロセッサを備え、デジタルゲイン、デジタル相関二重サンプリング、デジタルオフセット、リニアリティ補正などのデジタル信号処理を行う。また、信号処理部105はLVDS(Low Voltage Differential Signaling)方式のシリアル出力回路を備え、信号処理されたデジタル信号を高速、低消費電力にて固体撮像装置の外部へと出力する。
タイミング発生回路9は、クロック、同期信号などに基づき様々な制御信号、駆動信号を生成し、比較部3、メモリ部4、垂直走査回路5、参照信号生成部6、カウンタ7、水平走査回路8を制御する。
図2は本実施形態における画素10の構成例を示す図である。画素10は、光電変換部11、転送トランジスタ12、浮遊拡散領域FD(Floating Diffusion)、リセットトランジスタ13、増幅トランジスタ14、選択トランジスタ15を含む。以下の説明は、画素10を構成するトランジスタがNチャネルMOSトランジスタである例を示している。光電変換部11は例えばフォトダイオードから構成されており、入射光による光電変換および電荷の蓄積を行なう。なお、光電変換部11はフォトダイオードに限定されず、光電効果を生じさせる材料であれば良い。画素10あたりの光電変換部11の数も限定されず、2個、4個またはそれ以上の光電変換部11が1つのマイクロレンズを共有するように設けられても良い。さらに、埋め込み型のフォトダイオードを構成することで、暗電流ノイズを低減できる。光電変換部11にはマイクロレンズが設けられており、マイクロレンズにより集光された光が光電変換部11に入射する。
転送トランジスタ12は光電変換部11に対応して設けられ、ゲートには垂直走査回路5から制御信号PTXが印加される。制御信号PTXがハイレベルとなると、転送トランジスタ12がオン状態(導通状態)となり、光電変換部11に蓄積された信号電荷が増幅トランジスタ14のゲートに形成された浮遊拡散領域FDに転送される。また、制御信号PTXがローレベルとなると、転送トランジスタ12はオフ状態(非導通状態)となる。転送トランジスタ12をオンまたはオフすることにより、光電変換部11の信号電荷を浮遊拡散領域FDに転送することができる。浮遊拡散領域FDは信号電荷を電圧に変換し、増幅トランジスタ14はゲート電圧に応じた信号電圧をソースから選択トランジスタ15を介して列信号線102へ出力する。増幅トランジスタ14のドレインは電源電圧VDDに接続されている。
リセットトランジスタ13のソースは浮遊拡散領域FDに接続され、ドレインは電源電圧VDDに接続され、ゲートには垂直走査回路5から制御信号PRESが印加される。制御信号PRESがハイレベルとなると、リセットトランジスタ13はオン状態となり、浮遊拡散領域FDに電源電圧VDDが供給される。選択トランジスタ15は増幅トランジスタ14と列信号線102との間に設けられており、選択トランジスタ15のゲートには垂直走査回路5から制御信号PSELが印加される。制御信号PSELがハイレベルとなると、増幅トランジスタ14と列信号線102とが電気的に導通する。列信号線102には電流源103が電気的に接続されており、電流源103は列信号線102を介して増幅トランジスタ14のソースに一定のバイアス電流を供給する。
図3は本実施形態における列増幅部20の構成例を示す図である。列増幅部20は、演算増幅器201、入力容量202、帰還容量203、204、スイッチ205、206、OR回路207を含み、スイッチトキャパシタ型増幅回路を構成している。演算増幅器201は差動増幅回路などから構成され、反転入力端子には入力容量202を介して画素信号VLが入力される。未図示の非反転入力端子には所定のバイアス電圧が印加され、出力端子からは信号Vampが出力される。演算増幅器201の出力端子と反転入力端子との間には帰還容量203、204が並列に接続されている。帰還容量204はゲイン切り替えのためのスイッチ206を介して反転入力端子に接続されている。帰還容量203の容量値を1Cとすると、帰還容量204の容量値は3C、入力容量202の容量値は4Cで表される。スイッチ206はMOSトランジスタから構成され、スイッチ206のゲートにはOR回路207の出力端子と接続されている。OR回路207には、判定回路35から判定信号ATT、タイミング発生回路9から制御信号PFB2が入力される。
判定信号ATTまたは制御信号PFB2の少なくとも一方がハイレベルとなると、スイッチ206がオンとなり、帰還容量204が演算増幅器201の反転入力端子に電気的に接続される。帰還容量値の合計は4Cとなるため、列増幅部20の増幅率は4C/4C=1となる。スイッチ206がオフとなると、帰還容量値は帰還容量203の1Cとなるため、列増幅部20の増幅率は4C/1C=4となる。スイッチ205はMOSトランジスタから構成され、スイッチ205のゲートにはタイミング発生回路9から制御信号PAMPRが入力される。スイッチ205がオンとなることで、演算増幅器201の反転入力端子、出力端子は導通する。これにより、帰還容量203、204がリセットされるとともに、画素信号VLは入力容量202においてクランプされる。
図4は本実施形態における列比較部30の構成例を示す図である。列比較部30は、差動増幅器301、入力容量302、303、リセットスイッチ304、305、NAND回路306を備える。差動増幅器301の非反転入力端子INPには入力容量302を介して信号Vampが入力され、反転入力端子INNには入力容量303を介して参照信号Vrが入力される。非反転入力端子INPと非反転出力端子FBPとの間にはMOSトランジスタから構成されるスイッチ304が接続され、反転入力端子INNと反転出力端子FBNとの間にはMOSトランジスタから構成されるスイッチ305が接続されている。スイッチ304、305のそれぞれのゲートにはタイミング発生回路9からの制御信号PCMPRが入力される。制御信号PCMPRがハイレベルとなると、スイッチ304、305がオンとなり、非反転入力端子INPは非反転出力端子FBPと導通し、反転入力端子INNは反転出力端子FBNと導通する。これにより、差動増幅器301のオフセットが入力容量302、303にフィードバックされ、オートゼロ動作が行われる。差動増幅器301は信号Vampと参照信号Vrとを比較し、ハイレベルまたはローレベルの信号を出力する。NAND回路306は差動増幅器301からの信号とタイミング発生回路9からの制御信号PCMPENを入力し、比較信号Vcmpを出力する。
図5は差動増幅器301の構成例を示す図である。差動増幅器301は、差動段とソース接地段からなる2段型演算増幅器とを備える。差動段はPチャネルMOSのトランジスタ311、312、NチャネルMOSトランジスタ313、314、定電流源315を備え、ソース接地段はNチャネルMOSのトランジスタ316、定電流源317を備える。差動段において、トランジスタ311、312は差動対をなし、トランジスタ311のゲートは反転入力端子INNを構成し、ソースは反転出力端子FBNを構成している。トランジスタ312のゲートは非反転入力端子INPを構成し、ソースは非反転出力端子FBPを構成している。トランジスタ313、314はカレントミラー回路を構成し、トランジスタ313はトランジスタ311に接続され、トランジスタ314はトランジスタ312に接続されている。定電流源315はトランジスタ311、312と電源電圧VDDとの間に接続されている。ソース接地段において、トランジスタ316のゲートは非反転出力端子FBPに接続されている。また、トランジスタ316のドレインは接地され、ソースは定電流源317を介して電源電圧VDDに接続されている。
続いて、本実施形態における固体撮像装置の動作を説明する。図6は本実施形態における固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。各制御信号がハイレベルである場合にトランジスタがオンになり、各制御信号がローレベルである場合にトランジスタがオフになる。
時刻t0において、制御信号PRES、PAMPR、PFB2、PCMPRがローレベルからハイレベルに遷移する。画素10において、制御信号PRESがハイレベルとなることで、リセットトランジスタ13がオンとなり、浮遊拡散領域FDが電源電圧VDDにリセットされる。このとき、選択トランジスタ15はオンであり、増幅トランジスタ14のソースは選択トランジスタ15を介して列信号線102に電気的に接続されている。制御信号PRESがハイレベルからローレベルに遷移し、リセット時の画素信号VLが出力される。リセットトランジスタ13がオフになった後、浮遊拡散領域FDの電圧にはリセットノイズが含まれる。したがって、画素信号VLは、このリセットノイズを含んでいる。列増幅部20において、制御信号PAMPRがハイレベルとなり、スイッチ205がオンとなり、帰還容量203、204がリセットされるとともに、画素信号VLは入力容量202においてクランプされる。この後、制御信号PFB2はハイレベルからローベルとなり、列増幅部20の増幅率は4C/1C=4となる。続いて、制御信号PAMPRがハイレベルからローベルとなり、列増幅部20におけるリセット動作が終了する。列比較部30においては、制御信号PCMPRがハイレベルとなり、スイッチ304、305がオンとなる。これにより、差動増幅器301のオフセットが入力容量302、303にフィードバックされ、オートゼロ動作が行われる。この時、参照信号生成部6は参照信号Vrを基準レベルに対してオフセットVr_ofsだけ増加させている。また、制御信号PCMPENはローレベルであり、列比較部30のNAND回路306からの比較信号Vcmpはハイレベルを維持している。
時刻t1において、制御信号PCMPRがハイレベルからローレベルになり、列比較部30におけるオートゼロ動作が終了する。この後、参照信号生成部6は参照信号Vrを基準レベルに戻す。これにより、差動増幅器301の反転入力端子INNの電位はオフセットVr_ofsだけ低下し、リセット時における信号Vampよりも低くなる。
時刻t2〜t4の期間は、画素10のリセット時における信号(第1の画素信号)VampのN_AD変換期間(第1の期間)である。N_AD変換期間において、制御信号PCMPENがローレベルからハイレベルとなり、列比較部30のNAND回路306から比較信号Vcmpが出力可能になる。また、N_AD変換期間において、カウンタ7からのカウンタ値が列メモリ40に供給され、参照信号Vrが列比較部30に入力される。
時刻t2において、参照信号生成部6は参照信号Vrを時間に対して一定の変化率で基準レベルから増加させる。本実施形態においては、参照信号Vrの変化率は、時間に対して一定の傾きαである。参照信号Vrが増加し始めると同時に、カウンタ7はカウント動作を開始させる。参照信号Vrが信号Vampよりも小さい場合、列比較部30はローレベルの比較信号Vcmpを出力する。
時刻t3において、参照信号Vrと信号Vampとの大小関係が反転すると、列比較部30は比較信号Vcmpをローレベルからハイレベルにする。列メモリ40は、比較信号Vcmpがローレベルからハイレベルに遷移した時点においてカウンタ値をラッチし、第1のデジタル信号としてNメモリ402に格納する。
時刻t4において、制御信号PCMPENがハイレベルからローレベルに遷移し、N_AD変換期間が終了する。時刻t4から時刻t5の期間、参照信号生成部6は参照信号Vrを時間に対して一定の傾き(変化率)αで変化させ続ける。
時刻t5において、参照信号生成部6は参照信号Vrの増加を停止し、参照信号VrをオフセットVr_ofsに対して電位Vjだけ高い判定レベル(閾値)Vjとする。
時刻t6において、制御信号PTXはローレベルからハイレベルになり、画素10の転送トランジスタ12がオンとなる。光電変換部11に蓄積された電荷が浮遊拡散領域FDに転送され、電荷に応じて浮遊拡散領域FDの電位が低くなる。増幅トランジスタ14は浮遊拡散領域FDの電位に応じた画素信号VLを転送トランジスタ12を介して列信号線102に出力する。この後、制御信号PTXがハイレベルからローレベルに遷移し、転送トランジスタ12がオフになる。
時刻t7〜t8は、光電変換時の信号(第2の画素信号)Vampと判定レベルVjとを比較する判定期間である。判定期間において、制御信号PCMPENがハイレベルとなり、列比較部30は比較信号Vcmpを出力可能となる。列比較部30は光電変換時における信号(第2の画素信号)Vampと判定レベルVjとを比較し、比較信号Vcmpを出力する。ここで、画素信号VLの電位の変化をΔV1とすると、列増幅部20から出力される信号Vampは(ΔV1×4)となる。信号Vampが判定レベルVjよりも大きい場合、すなわち、(ΔV1×4>Vj)の関係式が成り立つ場合、列比較部30はローレベルの比較信号Vcmpを出力する。一方、画素信号VLの電位変化をΔV2とすると、列増幅部20から出力される信号Vampは(ΔV2×4)となる。信号Vampが判定レベルVjよりも小さい場合、すなわち、(ΔV2×4<Vj)の関係式が成り立つ場合、列比較部30はハイレベルの比較信号Vcmpを出力する。
時刻t8〜t9において、判定回路35は比較信号Vcmpに基づき判定信号ATTのレベルを決定する。比較信号Vcmpがローレベルである場合、すなわち、信号Vampが判定レベルVjよりも大きい場合には、判定回路35は判定信号ATTをハイレベルとする。一方、比較信号Vcmpがハイレベルである場合、すなわち、信号Vampが判定レベルVjよりも小さい場合には、判定回路35は判定信号ATTをローレベルのままとする。判定回路35は判定信号ATTを列増幅部20にフィードバックし、列増幅部20は判定信号ATTに基づき、ゲインを設定する。判定信号ATTがハイレベルである場合には、スイッチ206がオンとなり、帰還容量値は4Cとなることから、列増幅部20のゲインは4倍から1倍となる。判定信号ATTがローレベルである場合には、スイッチ206がオフとなり、帰還容量値は1Cとなることから、列増幅部20のゲインは4倍に維持される。また、判定信号ATTは列メモリ40のJメモリ401に格納される。時刻t8から所定時間経過後、参照信号生成部6は参照信号Vrを判定レベルVjから基準レベルに戻す。
時刻t9〜t11の期間は、光電変換時における信号(第2の画素信号)VampのS_AD変換期間(第2の期間)である。S_AD変換期間において、制御信号PCMPENがローレベルからハイレベルとなり、列比較部30のNAND回路306から比較信号Vcmpが出力可能になる。また、S_AD変換期間において、カウンタ7からのカウンタ値が列メモリ40に供給され、参照信号Vrが列比較部30に入力される。
時刻t9において、参照信号生成部6は参照信号Vrを時間に対して一定の変化率、すなわち時間に対して一定の傾きαで変化させ始める。参照信号Vrが増加し始めると同時に、カウンタ7はカウント動作を開始する。参照信号Vrが信号Vampよりも小さい場合、列比較部30はローレベルの比較信号Vcmpを出力する。ここで、画素信号VLは振幅に応じて最適なゲインで列増幅部20によって増幅されている。すなわち、信号Vampは(ΔV1×1)または(ΔV2×4)となっている。列比較部30は、信号Vampと参照信号Vrの大小関係に基づいて、比較信号Vcmpを出力する。
時刻t10において、信号Vampと参照信号Vrとの大小関係が逆転すると、列比較部30は比較信号Vcmpをローレベルからハイレベルに遷移させる。列メモリ40は、比較信号Vcmpがローレベルからハイレベルに遷移した時点においてカウンタ値をラッチし、第2のデジタル信号としてSメモリ403に格納する。
時刻t11以後において、水平走査回路8は各列のJメモリ401、Nメモリ402、Sメモリ403に格納されたデータを走査し、信号処理部105に転送する。信号処理部105は、Jメモリ401から転送されたデータに基づいて、同列のSメモリ403から転送された第2のデジタル信号に対してデジタルゲイン処理、相関二重サンプリング処理を行うことも可能である。
以上、説明したように本実施形態において、参照信号生成部6は、リセット時のN_AD変換期間から参照信号Vrが判定レベルVjに達するまで、参照信号Vrを増加させる方向にのみ変化させている。すなわち、参照信号VrはN_AD変換期間終了時のレベルから低下することなく、変化の方向を変えずに判定レベルVjまで増加している。このため、時間ロスを生じさせることなく、参照信号Vrを判定レベルVjに設定することができ、これにより、高速なAD変換を実現することが可能となる。また、固体撮像装置においてフレームレートを向上させることも可能となる。
また、本実施形態においては、N_AD変換期間終了後における参照信号Vrの時間に対する変化率(傾きα)は、N_AD変換期間における参照信号Vrの変化率に等しい。ここで、タイミング発生回路9における駆動周波数をfmclkとすると、参照信号Vrの精度は(α/fmclk)となる。従って、N_AD変換期間における参照信号Vrの精度(α/fmclk)と同じ精度で、判定レベルVjを生成することが可能となる。
さらに、参照信号生成部6は、判定レベルVjを生成するために、参照信号Vrを基準レベルから開始する必要がないため、基準レベルにリセットする際に生じ得る貫通電流、回路間のクロストークを低減することが可能である。
[第2実施形態]
続いて、第2実施形態における固体撮像装置について、第1実施形態と異なる構成を中心に説明する。図7は本実施形態における固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。
時刻t0〜t1において、画素10、列増幅部20、列比較部30におけるリセットがなされ、時刻t2〜t4のN_AD変換期間において、参照信号Vrが基準レベルから傾きαで増加し、N_AD変換が行なわれる。時刻t4〜t4aにおいて、参照信号生成部6は傾きαで参照信号Vrを増加させる。時刻t4aにおいて、参照信号生成部6は参照信号Vrの傾きを、傾きαよりも大きな傾きβに変更する。時刻t5’において、参照信号生成部6は参照信号Vrの増加を停止し、参照信号VrをオフセットVr_ofsに対して電位Vjだけ高い判定レベルVjとする。時刻t6においては、第1実施形態と同様に、信号Vampのレベル判定、光電変換時の信号VampのS_AD変換が行なわれる。また、時刻t9〜t11のS_AD変換期間において、光電変換における信号Vampと参照信号Vrとの比較の結果に基づき、信号Vampが判定信号ATTに基づくゲインにてデジタル信号に変換される。
本実施形態においては、参照信号生成部6は、N_AD変換期間における傾きαで参照信号Vrを増加させ、さらに傾きαよりも急峻な傾きβで参照信号Vrを判定レベルVjまで増加させている。このため、参照信号Vrをさらに高速に判定レベルVjに到達させることが可能となる。
また、傾きαにおける精度(α/fmclk)と傾きβにおける精度(β/fmclk)とを組み合わせて判定レベルVjの精度を調整することが可能である。なお、本実施形態においては、傾きαよりも大きな傾きβを用いることにより、第1実施形態よりも高速な動作を実現しているが、傾きβを傾きαよりも小さくすることで、判定レベルVjの精度を高めても良い。
[第3実施形態]
続いて、第3実施形態における固体撮像装置について、第1実施形態と異なる構成を中心に説明する。図8は本実施形態における固体撮像装置のブロック図である。本実施形態において、参照信号生成部61は、2つのランプ信号生成回路を備え、変化率の異なる参照信号Vr1、Vr2を生成可能である。例えば、参照信号Vr1は傾きαを有し、参照信号Vr2は傾きαよりも急峻な傾きβを有し得る。列比較部31には参照信号生成部61から参照信号Vr1、Vr2が入力される。本実施形態においては、判定回路35からの判定信号ATTは列比較部31にフィードバック入力される。列増幅部21においては、判定信号ATTはハイレベルに固定され、増幅率は1倍に設定される(図3参照)。
図9は本実施形態における列比較部31の構成例を示す図である。本実施形態における列比較部31はさらにセレクタ307を備える。セレクタ307には参照信号Vr1、Vr2、判定信号ATTが入力されている。判定信号ATTがローレベルである場合にはセレクタ307は参照信号Vr1を出力し、判定信号ATTがハイレベルである場合にはセレクタ307は参照信号Vr2を出力する。列比較部31は、信号Vampのレベルに応じて参照信号Vr1、Vr2のいずれかを参照信号Vrとして用い、信号Vampと参照信号Vrとの比較を行う。
図10は本実施形態における固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。第1実施形態と同様に、時刻t0〜t1において、画素10、列増幅部21、列比較部31におけるリセットがなされる。時刻t2〜t4のN_AD変換期間において、参照信号生成部61は参照信号Vrを基準レベルから増加させる。このとき、判定信号ATTはローレベルであるため、列比較部31において参照信号Vr1がセレクタ307によって選択されている。時刻t3において、参照信号Vrと信号Vampとの大小関係が反転すると、列メモリ40はカウンタ値を第1のデジタル信号としてNメモリ402に格納する。時刻t4において、制御信号PCMPENがハイレベルからローレベルに遷移し、N_AD変換期間が終了する。
時刻t4〜t5において、参照信号生成部61は傾きαで参照信号Vrを増加させる。時刻t5において、参照信号生成部61は参照信号Vrの増加を停止し、参照信号VrをオフセットVr_ofsに対して電位Vjだけ高い判定レベルVjとする。
時刻t6において、制御信号PTXはローレベルからハイレベルに遷移し、画素10の転送トランジスタ12がオンとなる。光電変換部11に蓄積された電荷が浮遊拡散領域FDに転送され、浮遊拡散領域FDの電位に応じた画素信号VLが列信号線102に出力される。この後、制御信号PTXがハイレベルからローレベルに遷移し、転送トランジスタ12がオフになる。列増幅部21は列信号線102から画素信号VLを読み出し、増幅率1倍にて信号Vampを出力する。
時刻t7〜t8の判定期間において、列比較部31は光電変換時における信号Vampのレベルの判定を行う。すなわち、列比較部31は信号Vampと判定レベルVjとを比較し、比較信号Vcmpを出力する。ここで、画素信号VLの電位の変化をΔV3とすると、列増幅部21から出力される信号Vampは(ΔV3×1)となる。信号Vampが判定レベルVjよりも大きい場合、すなわち、(ΔV3>Vj)の関係式が成り立つ場合、列比較部31はローレベルの比較信号Vcmpを出力する。一方、画素信号VLの電位変化をΔV4とすると、列増幅部21から出力される信号Vampは(ΔV4×1)となる。信号Vampが判定レベルVjよりも小さい場合、すなわち、(ΔV4<Vj)の関係式が成り立つ場合、列比較部31はハイレベルの比較信号Vcmpを出力する。
時刻t8〜t9において、判定回路35は比較信号Vcmpに基づき判定信号ATTのレベルを決定する。比較信号Vcmpがローレベルである場合、すなわち、信号Vampが判定レベルVjよりも大きい場合には、判定回路35は判定信号ATTをハイレベルとする。一方、比較信号Vcmpがハイレベルである場合、すなわち、信号Vampが判定レベルVjよりも小さい場合には、判定回路35は判定信号ATTをローレベルのままとする。判定回路35は判定信号ATTを列比較部31にフィードバックし、列比較部31は判定信号ATTに基づき、参照信号Vr1、Vr2のいずれかを選択する。判定信号ATTがローレベルである場合には、セレクタ307は参照信号Vr2を選択し、判定信号ATTがハイレベルである場合には、セレクタ307は参照信号Vr1を選択する。また、判定信号ATTは列メモリ40のJメモリ401に格納される。
時刻t9〜t11のS_AD変換期間において、列比較部31、カウンタ7は光電変換時における信号VampのS_AD変換を行う。参照信号生成部61は参照信号Vr1、Vr2を基準レベルから増加させる。信号Vampが判定レベルVjよりも小さい場合には、列比較部31は傾きαの参照信号Vr1と信号Vampとの比較を行う。信号Vampが判定レベルVjよりも大きい場合には、列比較部31は傾きβの参照信号Vr2と信号Vampとの比較を行う。傾きβを傾きαより大きくすることでランプゲインを下げることが可能となる。時刻t10において、信号Vampと参照信号Vr1、Vr2との大小関係が逆転すると、列比較部31は比較信号Vcmpをローレベルからハイレベルに遷移させる。列メモリ40は、比較信号Vcmpがローレベルからハイレベルに遷移した時点においてカウンタ値をラッチし、第2のデジタル信号としてSメモリ403に格納する。
時刻t11以後において、水平走査回路8は各列のJメモリ401、Nメモリ402、Sメモリ403に格納されたデータを走査し、信号処理部105に転送する。信号処理部105は、Jメモリ401から転送されたデータに基づいて、同列のSメモリ403から転送された第2のデジタル信号に対してデジタルゲイン処理、相関二重サンプリング処理を行うことも可能である。
本実施形態においても、参照信号生成部6は、N_AD変換期間から参照信号Vrを増加する方向にのみ変化させることにより、参照信号Vrを判定レベルVjに設定している。このため、時間ロスを生じさせることなく、参照信号Vrを判定レベルVjに到達させることができ、高速なAD変換を実現することが可能となる。
また、本実施形態においては、列増幅部21における増幅率を一定にしたまま、異なる傾きの参照信号Vr1、Vr2を用いることでランプゲインを変更している。列増幅部21からの信号Vampを列比較部31に入力せずに、画素信号VLを列比較部31に入力してもよい。
[第4実施形態]
続いて、第4実施形態における固体撮像装置について、第3実施形態と異なる構成を中心に説明する。図11は本実施形態における固体撮像装置のブロック図である。本実施形態において、列メモリ41は、2つのNメモリ421、422を備える。Nメモリ421は第1のN1_AD変換におけるカウント値を格納し、Nメモリ422は第2のN2_AD変換におけるカウント値を格納する。
図12は本実施形態における固体撮像装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。第3実施形態と同様に、時刻t20〜t21において、画素10、列増幅部21、列比較部31におけるリセットがなされる。時刻t22において、制御信号PCMPENがローレベルからハイレベルになり、N1_AD変換期間が開始する。時刻t22〜t24のN1_AD変換期間(第3の期間)において、参照信号生成部61は参照信号Vrを基準レベルから増加させる。このとき、タイミング発生回路9は判定信号ATTをハイレベルまたはローレベルのうちの任意のレベルに設定する。ここでは、第3実施形態とは異なり、判定信号ATTがハイレベルのときに参照信号Vr2が選択されるものとする。参照信号Vr2は基準レベルから一定の傾きβで増加するランプ信号である。時刻t23において、信号Vampと参照信号Vr2との大小関係が反転すると、列メモリ41はカウント値を第3のデジタル信号としてNメモリ421に格納する。時刻t24において、制御信号PCMPENがハイレベルからローレベルに遷移し、N1_AD変換期間が終了する。
時刻t25において、タイミング発生回路9は判定信号ATTを反転させる。ここでは、判定信号ATTがハイレベルからローレベルに遷移し、列比較部31においてセレクタ307は参照信号Vr1を選択する。時刻t26〜t28のN2_AD変換期間(第1の期間)において、制御信号PCMPENがハイレベルになる。参照信号Vr1は基準レベルから一定の傾きαで増加するランプ信号であって、傾きαは参照信号Vr2の傾きβよりも小さい。時刻t27において、信号Vampと参照信号Vr1との大小関係が反転すると、列メモリ41はカウント値を第1のデジタル信号としてNメモリ422に格納する。時刻t28において、制御信号PCMPENがハイレベルからローレベルに遷移し、N2_AD変換期間が終了する。
時刻t28以後の処理は第3実施形態と略同様である。時刻t28〜t30において、参照信号生成部61は引き続き参照信号Vrを一定の傾きαで増加方向に変化させる。時刻t29において、光電変換時における画素信号VLが列信号線102に出力され、列増幅部21は列信号線102から画素信号VLを読み出し、1倍の増幅率にて信号Vampを出力する。時刻t30において、参照信号生成部61は参照信号Vrの増加を停止し、参照信号VrをオフセットVr_ofsに対して電位Vjだけ高い判定レベルVjとする。
時刻t30〜t31において、判定回路35は比較信号Vcmpに基づき判定信号ATTのレベルを決定する。判定回路35は判定信号ATTを列比較部31にフィードバックし、列比較部31は判定信号ATTに基づき、参照信号Vr1、Vr2のいずれかを選択する。判定信号ATTがローレベルである場合には、セレクタ307は参照信号Vr1を選択し、判定信号ATTがハイレベルである場合には、セレクタ307は参照信号Vr2を選択する。また、判定信号ATTは列メモリ40のJメモリ401に格納される。
時刻t32〜t34のS_AD変換期間(第2の期間)において、列比較部31、カウンタ7は光電変換時における信号VampのS_AD変換を行う。列比較部31は、判定信号ATTに基づき選択された参照信号Vr1、Vr2のいずれかを用いて、信号Vampとの比較を行う。すなわち、判定信号ATTがローレベルである場合には、列比較部31は傾きαを有する参照信号Vr1を選択する。判定信号ATTがハイレベルである場合には、列比較部31は傾きβを有する参照信号Vr2を選択する。
時刻t34以後において、水平走査回路8は各列のJメモリ401、Nメモリ421、422、Sメモリ403に格納されたデータを走査し、信号処理部105に転送する。信号処理部105は、Jメモリ401から転送されたデータに基づいて、同列のSメモリ403から転送された第2のデジタル信号に対してデジタルゲイン処理、相関二重サンプリング処理を行う。信号処理部105は、Jメモリ401から転送されたデータに基づいて、同列のNメモリ421、422のいずれかのデジタル信号を選択し、同列のSメモリ403から転送されたデジタル信号とデジタル相関二重サンプリングを行うことができる。すなわち、S_AD変換が参照信号Vr1を用いて行われた場合には、信号処理部105は参照信号Vr1を用いてN_AD変換された第3のデジタル信号を用いて相関二重サンプリングを行う。また、S_AD変換が参照信号Vr2を用いて行われた場合には、信号処理部105は参照信号Vr2を用いてN_AD変換された第3のデジタル信号を用いて相関二重サンプリングを行う。このように、ランプゲインが等しい2つのデジタル信号を用いることで、相関二重サンプリングの精度を高めることが可能となる。
本実施形態においても、参照信号生成部6は、N_AD変換期間から参照信号Vrを増加する方向にのみ変化させることにより、参照信号Vrを判定レベルVjに設定している。このため、時間ロスを生じさせることなく、参照信号Vrを判定レベルVjに到達させることができ、高速なAD変換を実現することが可能となる。
[第5実施形態]
上述の実施形態における固体撮像装置は種々の撮像システムに適用可能である。撮像システムとして、デジタルスチルカメラ、デジタルカムコーダ、カメラヘッド、複写機、ファックス、携帯電話、車載カメラ、観測衛星、監視カメラなどがあげられる。図13に、撮像システムの例としてデジタルスチルカメラのブロック図を示す。
図13に示す撮像システムは、バリア1001、レンズ1002、絞り1003、撮像装置1004、信号処理装置1007、タイミング発生部1008、全体制御・演算部1009、メモリ部1010、記録媒体制御I/F部1011、記録媒体1012、外部I/F部1013を含む。バリア1001はレンズ1002を保護し、レンズ1002は被写体の光学像を撮像装置1004に結像させる。絞り1003はレンズ1002を通った光量を可変する。撮像装置1004は上述の実施形態の固体撮像装置を含み、レンズ1002により結像された光学像を画像データに変換する。信号処理装置1007は撮像装置1004より出力された画像データに各種の補正、データ圧縮を行う。タイミング発生部1008は撮像装置1004および信号処理装置1007に、各種タイミング信号を出力する。全体制御・演算部1009はデジタルスチルカメラ全体を制御し、メモリ部1010は画像データを一時的に記憶する。記録媒体制御I/F部1011は記録媒体1012に画像データの記録または読み出しを行うためのインターフェースであり、記録媒体1012は撮像データの記録または読み出しを行うための半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体である。外部I/F部1013は外部コンピュータ等と通信するためのインターフェースである。タイミング信号などは撮像システムの外部から入力されてもよく、撮像システムは少なくとも撮像装置1004と、撮像装置1004から出力された画像信号を処理する信号処理装置1007とを有すればよい。
本実施形態では、撮像装置1004とAD変換部とが同一の半導体基板に設けられた構成を説明した。しかし、撮像装置1004とAD変換部とが別の半導体基板に形成されていてもよい。また、撮像装置1004と信号処理装置1007とが同一の半導体基板に形成されていてもよい。
また、それぞれの画素が第1の光電変換部と、第2の光電変換部を含んでもよい。信号処理装置1007は、第1の光電変換部で生じた電荷に基づく画素信号と、第2の光電変換部で生じた電荷に基づく画素信号とを処理し、撮像装置1004から被写体までの距離情報を取得するように構成されてもよい。
[第6実施形態]
図14(a)、図14(b)は、本発明の第6実施形態における車載カメラに関する撮像システムの一例を示したものである。撮像システム2000は、上述した実施形態の撮像装置1004を有する。撮像システム2000は、撮像装置1004により取得された複数の画像データに対し、画像処理を行う画像処理部2030と、撮像システム2000より取得された複数の画像データから視差(視差画像の位相差)の算出を行う視差算出部2040を有する。また、撮像システム2000は、算出された視差に基づいて対象物までの距離を算出する距離計測部2050と、算出された距離に基づいて衝突可能性があるか否かを判定する衝突判定部2060とを有する。ここで、視差算出部2040、距離計測部2050は、対象物までの距離情報を取得する距離情報取得手段の一例である。すなわち、距離情報とは、視差、デフォーカス量、対象物までの距離等に関する情報である。衝突判定部2060はこれらの距離情報のいずれかを用いて、衝突可能性を判定してもよい。距離情報取得手段は、専用に設計されたハードウェアによって実現されてもよいし、ソフトウェアモジュールによって実現されてもよい。また、FPGA(Field Programmable Gate Array)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)によって実現されてもよいし、これらの組合せによって実現されてもよい。
撮像システム2000は車両情報取得装置2310と接続されており、車速、ヨーレート、舵角などの車両情報を取得することができる。また、撮像システム2000には、衝突判定部2060での判定結果に基づいて、車両に対して制動力を発生させる制御信号を出力する制御装置である制御ECU2410が接続されている。また、撮像システム2000は、衝突判定部2060での判定結果に基づいて、ドライバーへ警報を発する警報装置2420とも接続されている。例えば、衝突判定部2060の判定結果として衝突可能性が高い場合、制御ECU2410はブレーキをかける、アクセルを戻す、エンジン出力を抑制するなどして衝突を回避、被害を軽減する車両制御を行う。警報装置2420は音等の警報を鳴らす、カーナビゲーションシステムなどの画面に警報情報を表示する、シートベルトやステアリングに振動を与えるなどしてユーザに警告を行う。撮像システム2000は上述のように車両を制御する動作の制御を行う制御手段として機能する。
本実施形態では車両の周囲、例えば前方または後方を撮像システム2000で撮像する。図14(b)に、車両前方(撮像範囲2510)を撮像する場合の撮像システムを示した。撮像制御手段としての車両情報取得装置2310が、上述の第1乃至第5の実施形態に記載した動作を行うように撮像システム2000ないしは撮像装置1004に指示を送る。撮像装置1004の動作は、第1乃至第4の実施形態と同じなので、ここでは説明を省略する。このような構成により、測距の精度をより向上させることができる。
上述では、他の車両と衝突しないように制御する例を説明したが、他の車両に追従して自動運転する制御、車線からはみ出さないように自動運転する制御などにも適用可能である。さらに、撮像システムは、自車両等の車両に限らず、例えば、船舶、航空機あるいは産業用ロボットなどの移動体(移動装置)に適用することができる。加えて、移動体に限らず、高度道路交通システム(ITS)等、広く物体認識を利用する機器に適用することができる。
[他の実施形態]
本発明は、上述の実施形態に限らず種々の変形が可能である。例えば、いずれかの実施形態の一部の構成を他の実施形態に追加した例、他の実施形態の一部の構成と置換した例も、本発明の実施形態である。
上述の実施形態においては、参照信号Vrが時間とともに増加する構成を例示したが、参照信号Vrが時間とともに低下する構成を採用しても良い。N_AD変換期間から参照信号Vrが判定レベルVjに達するまで、参照信号Vrは時間に対する参照信号の変化の方向を変えずに変化している。この例においても、参照信号Vrを高速かつ高精度に判定レベルVjに設定することができる。従って、参照信号の変化の方向が逆転しない限り、増加または低下のいずれかの方向が維持される限り、いずれの方向であっても良い。また、N_AD変換期間から参照信号Vrが判定レベルVjに達するまでに、参照信号Vrが一定となる期間が含まれても良い。この例においても、参照信号Vrの変化の方向は逆転しないため、変化の方向は変わらず、本発明の効果を奏することが可能である。
また、S_AD変換における信号VampのAD変換におけるゲインは増幅器だけでなく、減衰器によって変更されることも可能である。すなわち、判定信号ATTに基づき、1倍以下のゲインを実現しても良い。また、ゲインはアナログ増幅器によるアナログゲイン、デジタル増幅器によるデジタルゲインを問わない。
なお、上述の実施形態は、いずれも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならない。すなわち、本発明はその技術思想、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
1 画素部
2 増幅部
3 比較部
4 メモリ部
5 垂直走査回路
6、61 参照信号生成部
7 カウンタ
9 タイミング発生回路
10 画素
11 光電変換部
35 判定回路
105 信号処理部
本発明の一実施形態における固体撮像装置は、光電変換部を備え、入射光に対応した画素信号を出力する画素と、時間とともに所定の変化率で変化する参照信号を生成する参照信号生成部と、前画素信号を所定のゲインで増幅した信号を前記画素信号に基づく信号として出力する増幅部と、前記増幅部が出力する、前記画素信号に基づく信号と前記参照信号との比較に基づき、前記画素信号に基づく信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部とを有し、前記アナログデジタル変換部は、リセットが解除された前記増幅部が出力する信号、第1の期間に第1のデジタル信号に変換し、第1の期間の後の判定期間において前記画素信号に基づく信号と所定の閾値に設定された前記参照信号との前記比較を行い、前記判定期間の後の第2の期間において、前記増幅部は、画素信号に基づく信号を前記判定期間における前記比較の結果に応じたゲインで増幅し、前記参照信号生成部は、前記第1の期間から前記参照信号が前記閾値に達するまで、時間に対する前記参照信号の変化の方向を変えずに前記参照信号を変化させる。
本発明の他の実施形態における固体撮像装置の駆動方法は、光電変換部を備え、入射光に対応した画素信号を出力する画素と、時間とともに所定の変化率で変化する参照信号を生成する参照信号生成部と、前記画素信号を所定のゲインで増幅した信号を前記画素信号に基づく信号として出力する増幅部と、前記増幅部が出力する、前記画素信号に基づく信号と前記参照信号との比較に基づき、前記画素信号に基づく信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部とを有する固体撮像装置の駆動方法であって、リセットが解除された前記増幅部が出力する信号を、第1の期間に第1のデジタル信号に変換し、判定期間において前記画素信号に基づく信号と所定の閾値に設定された前記参照信号との前記比較を行い、前記判定期間の後の第2の期間において、前記増幅部は、前記画素信号に基づく信号を前記判定期間における前記比較の結果に応じたゲインで増幅し、前記第1の期間の後から前記参照信号が前記閾値に達するまで、時間に対する前記参照信号の変化の方向を変えずに前記参照信号を変化させる。

Claims (14)

  1. 光電変換部を備える画素と、
    時間とともに所定の変化率で変化する参照信号を生成する参照信号生成部と、
    前記画素から出力された画素信号と前記参照信号との比較に基づき、前記画素信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部とを有し、
    前記アナログデジタル変換部は、第1の期間において第1の画素信号を第1のデジタル信号に変換し、第1の期間の後の判定期間において第2の画素信号と所定の閾値に設定された前記参照信号との前記比較を行い、前記判定期間の後の第2の期間において前記第2の画素信号を前記判定期間における前記比較の結果に応じたゲインで前記第2の画素信号を第2のデジタル信号に変換し、
    前記参照信号生成部は、前記第1の期間から前記参照信号が前記閾値に達するまで、時間に対する前記参照信号の変化の方向を変えずに前記参照信号を変化させることを特徴とする固体撮像装置。
  2. 前記参照信号生成部は、前記第1の期間から前記参照信号が前記閾値に達するまで、前記変化率が一定となるように前記参照信号を変化させることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
  3. 前記参照信号生成部は、前記第1の期間の経過後から前記参照信号が前記閾値に達するまで、前記第1の期間における前記変化率よりも大きな前記変化率で前記参照信号を変化させることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
  4. 前記第1の画素信号および前記第2の画素信号をアナログ増幅する増幅部をさらに備え、前記ゲインは前記増幅部におけるアナログゲインであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  5. 前記第1のデジタル信号および前記第2のデジタル信号をデジタル増幅する信号処理部をさらに備え。前記ゲインは前記信号処理部におけるデジタルゲインであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  6. 前記ゲインは前記参照信号の前記変化率によって定まることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  7. 前記参照信号生成部は、前記変化率が異なる複数の前記参照信号を生成可能であり、
    前記アナログデジタル変換部は、前記判定期間における前記比較の結果に応じて複数の前記参照信号のいずれかを用い、前記第2の画素信号を前記第2のデジタル信号に変換することを特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置。
  8. 前記参照信号生成部は、前記参照信号の前記変化率を変更可能であり、
    前記アナログデジタル変換部は、前記判定期間における前記比較の結果に応じた前記変化率を有する前記参照信号を用い、前記第2の画素信号を前記第2のデジタル信号に変換することを特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置。
  9. 前記第1の画素信号は前記光電変換部のリセット時における前記画素信号であり、前記第2の画素信号は前記光電変換部の光電変換時における前記画素信号であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  10. 前記アナログデジタル変換部は、前記第1の期間の前の第3の期間において、前記第1の期間における前記変化率とは異なる前記変化率の前記参照信号を用いて前記第1の画素信号を第3のデジタル信号に変換し、
    前記アナログデジタル変換部は、前記第2の期間において、前記判定期間における前記比較の結果に応じて前記第1の期間における前記参照信号または前記第3の期間における前記参照信号のいずれかを用い、前記第2の画素信号を前記第2のデジタル信号に変換することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  11. 前記第1のデジタル信号または前記第3のデジタル信号のうち、前記第2の期間における前記変化率を有する前記参照信号を用いて変換された前記デジタル信号を選択し、選択された前記デジタル信号と前記第2のデジタル信号とを用いて相関二重サンプリングを行うことを特徴とする請求項10に記載の固体撮像装置。
  12. 光電変換部を備える画素と、時間とともに所定の変化率で変化する参照信号を生成する参照信号生成部と、前記画素から出力された画素信号と前記参照信号との比較に基づき、前記画素信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部とを有する固体撮像装置の駆動方法であって、
    前記光電変換部のリセット時における第1の画素信号を前記画素から読み出し、
    第1の期間において第1の画素信号を第1のデジタル信号に変換し、
    前記光電変換部に蓄積された電荷に基づく第2の画素信号を前記画素から読み出し、
    判定期間において前記第2の画素信号と所定の閾値に設定された前記参照信号との前記比較を行い、
    第2の期間において前記第2の画素信号を前記判定期間における前記比較の結果に応じたゲインで前記第2の画素信号を第2のデジタル信号に変換し、
    前記第1の期間から前記参照信号が前記閾値に達するまで、時間に対する前記参照信号の変化の方向を変えずに前記参照信号を変化させることを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
  13. 請求項1〜11のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
    前記固体撮像装置から出力された画像信号を処理する信号処理装置と
    を有することを特徴とする撮像システム。
  14. 前記画素が複数の前記光電変換部を含み、
    前記信号処理装置は、前記複数の光電変換部にて生成された前記画像信号をそれぞれ処理し、前記固体撮像装置から被写体までの距離情報を取得することを特徴とする請求項13に記載の撮像システム。
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