JP2015014786A5 - 半導体装置 - Google Patents

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  1. 画素部と、駆動回路と、を有し、
    前記画素部は、第1のトランジスタと、液晶素子と、容量素子と、を有し、
    前記駆動回路は、第2のトランジスタと、を有し、
    前記第2のトランジスタの第1のゲート及び第2のゲートは、前記第2のトランジスタの半導体膜を介して重なる領域を有し、かつ、互いに電気的に接続されており、
    前記液晶素子は、透光性を有する第1の導電膜と、第2の導電膜と、前記第1の導電膜及び前記第2の導電膜間に生じる電界が与えられる液晶層と、を有し、
    前記第1の導電膜は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続されており、
    前記容量素子は、前記第1の導電膜と、透光性を有する第3の導電膜と、前記第1の導電膜と前記第3の導電膜との間の領域を有する窒化物絶縁膜と、を有し、
    前記窒化物絶縁膜は、前記半導体膜と前記第2のゲートとの間の領域を有する半導体装置。
  2. 画素部と、駆動回路と、を有し、
    前記画素部は、第1のトランジスタと、液晶素子と、容量素子と、を有し、
    前記駆動回路は、第2のトランジスタと、第3のトランジスタと、を有し、
    前記第2のトランジスタの第1のゲート及び第2のゲートは、前記第2のトランジスタの半導体膜を介して重なる領域を有し、かつ、互いに電気的に接続されており、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続されており、
    前記液晶素子は、透光性を有する第1の導電膜と、第2の導電膜と、前記第1の導電膜及び前記第2の導電膜間に生じる電界が与えられる液晶層と、を有し、
    前記第1の導電膜は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方に電気的に接続されており、
    前記容量素子は、前記第1の導電膜と、透光性を有する第3の導電膜と、前記第1の導電膜と前記第3の導電膜との間の領域を有する窒化物絶縁膜と、を有し、
    前記窒化物絶縁膜は、前記半導体膜と前記第2のゲートとの間の領域を有する半導体装置。
  3. 請求項1又は請求項2において、
    前記第2のトランジスタの前記第2のゲートと、前記第1の導電膜とは、同一の層上に位置する半導体装置。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、
    前記第1のトランジスタ又は前記第2のトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を含む半導体装置。
  5. 請求項4において、
    前記酸化物半導体は、In、Ga、及びZnを含む半導体装置。
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