JP2013138172A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FS層2をリンFS層2aとプロトンFS層2bにより構成する。これにより、FS層2をプロトンのみによって構成する場合と比較してプロトンFS層2bの不純物濃度を低下させることが可能となる。このため、プロトンを単に注入することでFS層2を構成する場合と比較して、生産性を向上させることが可能となり、製品コストの悪化を防止することが可能となる。また、リンFS層2aよりもn-型ドリフト層1の裏面から深い位置において、プロトンFS層2bのn型不純物濃度が連続的に徐々に低下した濃度分布となるようにする。これにより、プロトンFS層2bとn-型ドリフト層1との境界位置でのn型不純物濃度の差が緩やかとなる。よって、電界集中を緩和でき、より耐圧を確保できると共にスイッチングサージを抑えることが可能となる。
【選択図】図1
Description
(数1) y≧19.061×10-0.00965x
を満たしていることを特徴としている。
本発明の第1実施形態について説明する。図1は、縦型半導体素子としてIGBTが備えられた半導体装置を示した図であり、図1(a)は上面レイアウト図、図1(b)は図1(a)中のA−A’断面図である。また、図2は、図1(b)中のB−B’断面での不純物濃度を示したグラフであり、図2(a)は、各部の設計上の濃度プロファイル、図2(b)は出来上がりの濃度プロファイルを示してある。以下、これらの図を参照して、本実施形態の半導体装置について説明する。
(数2) y=25.939×10-0.0892x
したがって、プロトンFS層2bの深さXjと原石濃度に対するプロトンFS層2bの濃度比について、上記数式1で示されるy以上の値となるように設定されるようにすることで耐圧歩留改善を有効に行うことができる。そして、その濃度比について、上記数式2で示されるy以上の値となるように設定されるようにすれば、更に耐圧歩留改善を有効に行うことができる。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して同じ半導体基板上にIGBTだけでなくダイオード(フリーホイールダイオード)を形成するようにしたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、縦型半導体素子としてダイオードを形成するようにしたものであり、基本的には第2実施形態のダイオード形成領域の構成と同様であるため、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
上記実施形態では、縦型半導体素子が形成される半導体装置として、IGBT100やダイオード200が形成されるものを例に挙げて説明したが、他の縦型半導体素子、例えばLDMOSなどが形成される半導体装置についても本発明を適用することができる。
2 p+型不純物領域
2a リンFS層
2b プロトンFS層
3 n+型不純物領域
4 p型領域
4a チャネルp型領域
4c ボディp型領域
4d アノードp型領域
5 n+型不純物領域
6 トレンチ
7 ゲート絶縁膜
8 ゲート電極
9 層間絶縁膜
10 上部電極
11 下部電極
20 n+型不純物領域
100 IGBT
200 ダイオード
Claims (13)
- 半導体基板にて構成される原石濃度とされたn型のドリフト層(1)と、
前記ドリフト層(1)の裏面側に形成されたn型もしくはp型の半導体領域(3、20)と、
前記半導体領域(3、20)よりも前記半導体基板の裏面から深い位置まで形成され、前記ドリフト層(1)よりも高不純物濃度とされたn型のフィールドストップ層(2)と、
前記ドリフト層(1)の表面側に形成されたp型領域(4)と、
前記ドリフト層(2)の表面側に形成され、前記p型領域(4)に接触させられた上部電極(10)と、
前記ドリフト層(2)の裏面側に形成され、前記半導体領域(3、20)と接触させられた下部電極(11)とを有し、
前記上部電極(10)と前記下部電極(11)との間において電流を流すように構成された縦型半導体素子(100、200)が備えられた半導体装置であって、
前記フィールドストップ層(2)は、リンまたはヒ素がドープされたリン/ヒ素層(2a)と、プロトンがドープされたプロトン層(2b)とを有して構成され、前記リン/ヒ素層(2a)が前記半導体基板の裏面から所定深さの位置まで形成されていると共に、前記プロトン層(2b)が前記リン/ヒ素層(2a)内において濃度ピークを有していて、前記リン/ヒ素層(2a)よりも深くまで形成され、かつ、前記リン/ヒ素層(2a)から深い位置において徐々に不純物濃度が低下した濃度分布で形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記プロトン層(2b)の深さと原石濃度に対する前記プロトン層(2b)の濃度比との関係が、前記プロトン層(2b)の深さをx、前記濃度比をyとして、
(数1) y≧19.061×10-0.00965x
を満たしていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記プロトン層(2b)の深さが20μm以下で、原石濃度に対する前記プロトン層(2b)の濃度比が3倍以上とされていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記プロトン層(2b)の深さが20μm以下で、原石濃度に対する前記プロトン層(2b)の濃度比が4倍以上とされていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記プロトン層(2b)の深さが15μm以下で、原石濃度に対する前記プロトン層(2b)の濃度比が4倍以上とされていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記プロトン層(2b)の深さが15μm以下で、原石濃度に対する前記プロトン層(2b)の濃度比が7倍以上とされていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記プロトン層(2b)の深さが10μm以下で、原石濃度に対する前記プロトン層(2b)の濃度比が7倍以上とされていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記プロトン層(2b)の深さが10μm以下で、原石濃度に対する前記プロトン層(2b)の濃度比が10倍以上とされていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記プロトン層(2b)の深さが7μm以下で、原石濃度に対する前記プロトン層(2b)の濃度比が10倍以上とされていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記プロトン層(2b)の深さが7μm以下で、原石濃度に対する前記プロトン層(2b)の濃度比が14倍以上とされていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記縦型半導体素子はIGBT(100)であり、
前記半導体領域をp型のコレクタ領域(3)とし、
前記セル領域において、所定ピッチで複数本並べられ、前記p型領域(4)よりも深く形成されることで前記p型領域(4)を複数に分け、前記p型領域(4)の少なくとも一部によってチャネルp型領域(4a)を構成するトレンチ(6)と、
前記チャネルp型領域(4a)の表層部に前記トレンチ(6)の側面に沿って形成されたn型のエミッタ領域(5)と、
前記トレンチ(6)の表面に形成されたゲート絶縁膜(7)と、
前記ゲート絶縁膜(7)の表面に形成されたゲート電極(8)とを有し、
前記上部電極(10)が前記チャネルp型領域(4a)および前記エミッタ領域(5)に接触させられていると共に、前記下部電極(11)が前記コレクタ領域(3)に接触させられていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記縦型半導体素子はIGBT(100)およびフリーホイールダイオード(200)であり、
前記p型領域(4)は、前記セル領域のうち前記IGBT(100)が形成されたIGBT形成領域と前記フリーホイールダイオード(200)が形成されたダイオード形成領域の双方に形成され、
前記IGBT形成領域には、前記半導体領域として少なくともp型のコレクタ領域(3)が形成されていると共に、所定ピッチで複数本並べられ、前記p型領域(4)よりも深く形成されることで前記p型領域(4)を複数に分け、前記p型領域(4)の少なくとも一部によってチャネルp型領域(4a)を構成するトレンチ(6)と、前記チャネルp型領域(4a)の表層部に前記トレンチ(6)の側面に沿って形成されたn型のエミッタ領域(5)と、前記トレンチ(6)の表面に形成されたゲート絶縁膜(7)と、前記ゲート絶縁膜(7)の表面に形成されたゲート電極(8)とが形成されており、
前記ダイオード形成領域には、前記半導体領域としてn型のカソード領域(20)が形成されていると共に、前記p型領域(4)によってアノードp型領域(4d)が構成されており、
前記上部電極(10)が前記チャネルp型領域(4a)および前記エミッタ領域(5)に接触させられていると共に前記アノードp型領域(4d)に接触させられ、前記下部電極(11)が前記コレクタ領域(3)に接触させられていると共に前記カソード領域(20)に接触させられていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記縦型半導体素子はダイオード(200)であり、
前記半導体領域をn型のカソード領域(20)とし、
前記p型領域(4)をアノードp型領域とし、
前記上部電極(10)が前記アノードp型領域となる前記p型領域(4)に接触させられ、前記下部電極(11)が前記カソード領域(20)に接触させられていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1つに記載の半導体装置。
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