JP2012209275A5 - 自発光装置の作製方法 - Google Patents

自発光装置の作製方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2012209275A5
JP2012209275A5 JP2012171018A JP2012171018A JP2012209275A5 JP 2012209275 A5 JP2012209275 A5 JP 2012209275A5 JP 2012171018 A JP2012171018 A JP 2012171018A JP 2012171018 A JP2012171018 A JP 2012171018A JP 2012209275 A5 JP2012209275 A5 JP 2012209275A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic resin
film
resin film
light emitting
emitting device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012171018A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5552508B2 (ja
JP2012209275A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012171018A priority Critical patent/JP5552508B2/ja
Priority claimed from JP2012171018A external-priority patent/JP5552508B2/ja
Publication of JP2012209275A publication Critical patent/JP2012209275A/ja
Publication of JP2012209275A5 publication Critical patent/JP2012209275A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5552508B2 publication Critical patent/JP5552508B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Claims (1)

  1. 第１の導電膜が形成される第１の工程と、
    前記第１の導電膜の上方に、第１の有機樹脂膜が形成される第２の工程と、
    前記第１の有機樹脂膜の上方に、電極ホールを有する第２の導電膜が形成される第３の工程と、
    前記第１の有機樹脂膜及び前記第２の導電膜の上方に、膜が形成される第４の工程と、
    前記膜がエッチングされ、第２の有機樹脂膜及び第３の有機樹脂膜が形成される第５の工程と、を有し、
    前記第２の有機樹脂膜は、前記電極ホールに充填された部分を有し、
    前記第３の有機樹脂膜は、前記第１の有機樹脂膜と接する部分を有し、
    前記第５の工程において、画素部に位置する前記第１の有機絶縁膜は露出しないことを特徴とする自発光装置の作製方法。
JP2012171018A 2000-02-22 2012-08-01 自発光装置の作製方法 Expired - Lifetime JP5552508B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012171018A JP5552508B2 (ja) 2000-02-22 2012-08-01 自発光装置の作製方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000045256 2000-02-22
JP2000045256 2000-02-22
JP2012171018A JP5552508B2 (ja) 2000-02-22 2012-08-01 自発光装置の作製方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011223530A Division JP5121992B2 (ja) 2000-02-22 2011-10-10 自発光装置

Related Child Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013191240A Division JP5844326B2 (ja) 2000-02-22 2013-09-16 自発光装置
JP2013262304A Division JP5478771B1 (ja) 2000-02-22 2013-12-19 Ｅｌ表示装置及び電気器具
JP2014000078A Division JP5478786B1 (ja) 2000-02-22 2014-01-06 Ｅｌ表示装置及び電気器具

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012209275A JP2012209275A (ja) 2012-10-25
JP2012209275A5 true JP2012209275A5 (ja) 2013-10-10
JP5552508B2 JP5552508B2 (ja) 2014-07-16

Family

ID=18567870

Family Applications (13)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011101384A Expired - Fee Related JP4987140B2 (ja) 2000-02-22 2011-04-28 自発光装置の作製方法
JP2011223530A Expired - Fee Related JP5121992B2 (ja) 2000-02-22 2011-10-10 自発光装置
JP2012090940A Expired - Fee Related JP5122008B2 (ja) 2000-02-22 2012-04-12 自発光装置
JP2012106564A Expired - Lifetime JP5031123B2 (ja) 2000-02-22 2012-05-08 Ｅｌ表示装置
JP2012171018A Expired - Lifetime JP5552508B2 (ja) 2000-02-22 2012-08-01 自発光装置の作製方法
JP2012176645A Expired - Lifetime JP5272102B2 (ja) 2000-02-22 2012-08-09 自発光装置の作製方法
JP2013191240A Expired - Lifetime JP5844326B2 (ja) 2000-02-22 2013-09-16 自発光装置
JP2013262304A Expired - Fee Related JP5478771B1 (ja) 2000-02-22 2013-12-19 Ｅｌ表示装置及び電気器具
JP2014000078A Expired - Fee Related JP5478786B1 (ja) 2000-02-22 2014-01-06 Ｅｌ表示装置及び電気器具
JP2015039896A Expired - Lifetime JP5849165B2 (ja) 2000-02-22 2015-03-02 自発光装置
JP2015192973A Withdrawn JP2016021413A (ja) 2000-02-22 2015-09-30 自発光装置
JP2017163645A Expired - Lifetime JP6592048B2 (ja) 2000-02-22 2017-08-28 自発光装置
JP2019132602A Withdrawn JP2019175874A (ja) 2000-02-22 2019-07-18 自発光装置

Family Applications Before (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011101384A Expired - Fee Related JP4987140B2 (ja) 2000-02-22 2011-04-28 自発光装置の作製方法
JP2011223530A Expired - Fee Related JP5121992B2 (ja) 2000-02-22 2011-10-10 自発光装置
JP2012090940A Expired - Fee Related JP5122008B2 (ja) 2000-02-22 2012-04-12 自発光装置
JP2012106564A Expired - Lifetime JP5031123B2 (ja) 2000-02-22 2012-05-08 Ｅｌ表示装置

Family Applications After (8)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012176645A Expired - Lifetime JP5272102B2 (ja) 2000-02-22 2012-08-09 自発光装置の作製方法
JP2013191240A Expired - Lifetime JP5844326B2 (ja) 2000-02-22 2013-09-16 自発光装置
JP2013262304A Expired - Fee Related JP5478771B1 (ja) 2000-02-22 2013-12-19 Ｅｌ表示装置及び電気器具
JP2014000078A Expired - Fee Related JP5478786B1 (ja) 2000-02-22 2014-01-06 Ｅｌ表示装置及び電気器具
JP2015039896A Expired - Lifetime JP5849165B2 (ja) 2000-02-22 2015-03-02 自発光装置
JP2015192973A Withdrawn JP2016021413A (ja) 2000-02-22 2015-09-30 自発光装置
JP2017163645A Expired - Lifetime JP6592048B2 (ja) 2000-02-22 2017-08-28 自発光装置
JP2019132602A Withdrawn JP2019175874A (ja) 2000-02-22 2019-07-18 自発光装置

Country Status (7)

Country Link
US (7) US6833560B2 (ja)
EP (2) EP1376713B1 (ja)
JP (13) JP4987140B2 (ja)
KR (1) KR100793043B1 (ja)
CN (3) CN1722922B (ja)
DE (2) DE60100816T2 (ja)
TW (1) TW525305B (ja)

Families Citing this family (103)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6524877B1 (en) * 1999-10-26 2003-02-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, and method of fabricating the same
TW525305B (en) * 2000-02-22 2003-03-21 Semiconductor Energy Lab Self-light-emitting device and method of manufacturing the same
JP2001318627A (ja) 2000-02-29 2001-11-16 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置
US6753654B2 (en) 2001-02-21 2004-06-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and electronic appliance
US6706163B2 (en) * 2001-03-21 2004-03-16 Michael Seul On-chip analysis of particles and fractionation of particle mixtures using light-controlled electrokinetic assembly of particles near surfaces
US7294517B2 (en) * 2001-06-18 2007-11-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and method of fabricating the same
US7211828B2 (en) 2001-06-20 2007-05-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and electronic apparatus
TW548860B (en) 2001-06-20 2003-08-21 Semiconductor Energy Lab Light emitting device and method of manufacturing the same
US6952023B2 (en) * 2001-07-17 2005-10-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device
US6656611B2 (en) * 2001-07-20 2003-12-02 Osram Opto Semiconductors Gmbh Structure-defining material for OLEDs
US6852997B2 (en) * 2001-10-30 2005-02-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device
US7042024B2 (en) * 2001-11-09 2006-05-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting apparatus and method for manufacturing the same
KR100940342B1 (ko) 2001-11-13 2010-02-04 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시장치 및 그 구동방법
US7483001B2 (en) 2001-11-21 2009-01-27 Seiko Epson Corporation Active matrix substrate, electro-optical device, and electronic device
KR100491143B1 (ko) * 2001-12-26 2005-05-24 삼성에스디아이 주식회사 블랙매트릭스를 구비한 평판표시장치 및 그 제조방법
US6815723B2 (en) * 2001-12-28 2004-11-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device, method of manufacturing the same, and manufacturing apparatus therefor
KR100796491B1 (ko) * 2001-12-29 2008-01-21 엘지.필립스 엘시디 주식회사 커넥터 고정부를 구비한 액정모듈
US7098069B2 (en) 2002-01-24 2006-08-29 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device, method of preparing the same and device for fabricating the same
KR100508296B1 (ko) * 2002-02-01 2005-08-17 세이코 엡슨 가부시키가이샤 회로 기판, 전기 광학 장치 및 전자 기기
US7045861B2 (en) 2002-03-26 2006-05-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device, liquid-crystal display device and method for manufacturing same
US7038239B2 (en) 2002-04-09 2006-05-02 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor element and display device using the same
JP3989761B2 (ja) 2002-04-09 2007-10-10 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体表示装置
JP3989763B2 (ja) 2002-04-15 2007-10-10 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体表示装置
US7411215B2 (en) 2002-04-15 2008-08-12 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and method of fabricating the same
TWI272556B (en) 2002-05-13 2007-02-01 Semiconductor Energy Lab Display device
US7256421B2 (en) 2002-05-17 2007-08-14 Semiconductor Energy Laboratory, Co., Ltd. Display device having a structure for preventing the deterioration of a light emitting device
TWI288443B (en) 2002-05-17 2007-10-11 Semiconductor Energy Lab SiN film, semiconductor device, and the manufacturing method thereof
US7109650B2 (en) * 2002-07-08 2006-09-19 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Active matrix organic electroluminescent display device and method of fabricating the same
JP4179866B2 (ja) 2002-12-24 2008-11-12 株式会社沖データ 半導体複合装置及びｌｅｄヘッド
KR100904523B1 (ko) * 2002-12-26 2009-06-25 엘지디스플레이 주식회사 액티브 매트릭스형 유기전계발광 소자용 박막트랜지스터
SG142140A1 (en) 2003-06-27 2008-05-28 Semiconductor Energy Lab Display device and method of manufacturing thereof
US20050104072A1 (en) * 2003-08-14 2005-05-19 Slater David B.Jr. Localized annealing of metal-silicon carbide ohmic contacts and devices so formed
US7291967B2 (en) * 2003-08-29 2007-11-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting element including a barrier layer and a manufacturing method thereof
US8040059B2 (en) * 2003-08-29 2011-10-18 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device comprising a conductive barrier body in direct contact with a sealing material
JP4741177B2 (ja) * 2003-08-29 2011-08-03 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置の作製方法
JP4355796B2 (ja) * 2003-08-29 2009-11-04 国立大学法人京都大学 有機半導体装置およびその製造方法
US7928654B2 (en) * 2003-08-29 2011-04-19 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and method for manufacturing the same
US7816863B2 (en) * 2003-09-12 2010-10-19 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light emitting device and method for manufacturing the same
KR100552975B1 (ko) * 2003-11-22 2006-02-15 삼성에스디아이 주식회사 능동 매트릭스 유기전계발광표시장치 및 그의 제조방법
US7893438B2 (en) * 2003-10-16 2011-02-22 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device including a planarization pattern and method for manufacturing the same
US7205716B2 (en) * 2003-10-20 2007-04-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device
US7902747B2 (en) * 2003-10-21 2011-03-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device having a thin insulating film made of nitrogen and silicon and an electrode made of conductive transparent oxide and silicon dioxide
NL1025136C2 (nl) * 2003-12-24 2005-09-12 Lg Philips Lcd Co Elektroluminescerende beeldweergevende inrichting met actieve organische matrix en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
US7619258B2 (en) * 2004-03-16 2009-11-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device
US20050238816A1 (en) * 2004-04-23 2005-10-27 Li Hou Method and apparatus of depositing low temperature inorganic films on plastic substrates
JP2006004907A (ja) * 2004-05-18 2006-01-05 Seiko Epson Corp エレクトロルミネッセンス装置及び電子機器
KR100600873B1 (ko) * 2004-05-28 2006-07-14 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시 소자 및 그 제조방법
US8217396B2 (en) 2004-07-30 2012-07-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device comprising electrode layer contacting wiring in the connection region and extending to pixel region
US8350466B2 (en) 2004-09-17 2013-01-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof
KR100699997B1 (ko) * 2004-09-21 2007-03-26 삼성에스디아이 주식회사 다수개의 구동 트랜지스터와 다수개의 애노드 또는캐소드전극을 갖는 유기 전계 발광 표시장치
TWI279159B (en) * 2004-09-27 2007-04-11 Toshiba Matsushita Display Tec Organic EL display
US7439111B2 (en) * 2004-09-29 2008-10-21 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
US7875506B2 (en) * 2004-10-13 2011-01-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Etching method and manufacturing method of semiconductor device
US20060125385A1 (en) * 2004-12-14 2006-06-15 Chun-Chung Lu Active matrix organic electro-luminescence device array and fabricating process thereof
US7888859B2 (en) * 2005-03-02 2011-02-15 Konica Minolta Holdings Inc. Organic electroluminescence element, display device and lighting device
KR100683766B1 (ko) * 2005-03-30 2007-02-15 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치 및 그의 제조방법
KR101369864B1 (ko) * 2005-08-12 2014-03-05 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체장치 및 그 제조방법
KR100774950B1 (ko) * 2006-01-19 2007-11-09 엘지전자 주식회사 전계발광소자
KR100747491B1 (ko) * 2006-02-20 2007-08-08 삼성전자주식회사 디스플레이장치
KR101230308B1 (ko) 2006-02-22 2013-02-06 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR100782458B1 (ko) * 2006-03-27 2007-12-05 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
KR100839750B1 (ko) * 2007-01-15 2008-06-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시 장치
US8283724B2 (en) * 2007-02-26 2012-10-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Memory element and semiconductor device, and method for manufacturing the same
KR100846984B1 (ko) * 2007-02-27 2008-07-17 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그의 제조방법
US7851343B2 (en) * 2007-06-14 2010-12-14 Cree, Inc. Methods of forming ohmic layers through ablation capping layers
JP4501987B2 (ja) * 2007-10-30 2010-07-14 セイコーエプソン株式会社 膜形成方法
US8575602B2 (en) * 2009-10-20 2013-11-05 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate and organic EL display device
CN102116981B (zh) * 2009-12-30 2014-08-06 乐金显示有限公司 薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
KR101777863B1 (ko) * 2009-12-30 2017-09-14 엘지디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 이의 제조방법
JP5839819B2 (ja) * 2010-04-16 2016-01-06 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置、表示モジュール及び電子機器
KR101643011B1 (ko) * 2010-05-07 2016-07-27 가부시키가이샤 제이올레드 유기 ｅｌ 표시 패널 및 그 제조 방법
KR101156444B1 (ko) * 2010-05-11 2012-06-18 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101889748B1 (ko) * 2011-01-10 2018-08-21 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
WO2012160609A1 (ja) 2011-05-26 2012-11-29 パナソニック株式会社 表示パネルおよびその製造方法
KR20140014406A (ko) * 2011-05-26 2014-02-06 파나소닉 주식회사 표시 패널 및 그 제조 방법
US9934836B2 (en) * 2011-06-27 2018-04-03 Thin Film Electronics Asa Short circuit reduction in an electronic component comprising a stack of layers arranged on a flexible substrate
KR20130007006A (ko) * 2011-06-28 2013-01-18 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101810048B1 (ko) * 2011-09-22 2017-12-19 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
JPWO2013076948A1 (ja) * 2011-11-24 2015-04-27 パナソニック株式会社 Ｅｌ表示装置およびその製造方法
KR101924078B1 (ko) * 2012-03-30 2018-12-03 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 리페어 방법
US9299956B2 (en) * 2012-06-13 2016-03-29 Aixtron, Inc. Method for deposition of high-performance coatings and encapsulated electronic devices
KR101975000B1 (ko) * 2012-09-13 2019-05-07 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
TWI612689B (zh) 2013-04-15 2018-01-21 半導體能源研究所股份有限公司 發光裝置
KR102059167B1 (ko) * 2013-07-30 2020-02-07 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 유기전계 발광소자 및 그 제조 방법
JP6104099B2 (ja) 2013-08-21 2017-03-29 株式会社ジャパンディスプレイ 有機ｅｌ表示装置
JP6160499B2 (ja) * 2014-02-06 2017-07-12 ソニー株式会社 表示装置および表示装置の製造方法、並びに電子機器
KR20160046072A (ko) * 2014-10-17 2016-04-28 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
JP2016100314A (ja) * 2014-11-26 2016-05-30 パイオニア株式会社 発光装置
CN104485428A (zh) * 2014-12-29 2015-04-01 信利半导体有限公司 一种oled及其制作方法
WO2016167354A1 (ja) 2015-04-16 2016-10-20 シャープ株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置
JP6560530B2 (ja) 2015-04-30 2019-08-14 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
US10411223B2 (en) 2015-09-08 2019-09-10 Sharp Kabushiki Kaisha Organic electroluminescence device and illumination device
KR102525124B1 (ko) * 2016-04-05 2023-04-26 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
JP6560452B2 (ja) * 2016-06-30 2019-08-14 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司Ｈｏｎ Ｈａｉ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 有機ｅｌ表示装置およびその製造方法
CN106057825A (zh) * 2016-08-03 2016-10-26 深圳市华星光电技术有限公司 Oled显示装置的阵列基板及其制造方法
DE102016120350A1 (de) 2016-10-25 2018-04-26 Carl Zeiss Vision International Gmbh System zur Bestimmung der Refraktion des Auges
KR102248875B1 (ko) * 2017-06-30 2021-05-06 엘지디스플레이 주식회사 전계발광표시장치
US20200106735A1 (en) * 2018-09-27 2020-04-02 Salvatore Guerrieri Systems and Methods for Communications & Commerce Between System Users and Non-System Users
US10991778B2 (en) * 2018-03-28 2021-04-27 Sakai Display Products Corporation Organic EL display apparatus and manufacturing method therefor
KR20200046196A (ko) * 2018-10-23 2020-05-07 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
CN109638049B (zh) * 2018-12-13 2021-06-01 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板
US11670588B2 (en) * 2019-01-09 2023-06-06 Intel Corporation Selectable vias for back end of line interconnects
CN114203750A (zh) * 2021-12-07 2022-03-18 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法

Family Cites Families (77)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6353892A (ja) * 1986-08-22 1988-03-08 クラリオン株式会社 電場発光素子
DE3730499A1 (de) * 1987-02-10 1988-08-18 Bayer Ag Aminomethyltetrahydrofurane
EP0327336B1 (en) 1988-02-01 1997-12-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electronic devices incorporating carbon films
GB8909011D0 (en) 1989-04-20 1989-06-07 Friend Richard H Electroluminescent devices
JP2799875B2 (ja) 1989-05-20 1998-09-21 株式会社リコー 液晶表示装置
JP2757207B2 (ja) 1989-05-24 1998-05-25 株式会社リコー 液晶表示装置
US5240801A (en) 1989-11-20 1993-08-31 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Image-forming member for electrophotography and manufacturing method for the same
US5849601A (en) 1990-12-25 1998-12-15 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electro-optical device and method for manufacturing the same
US5946561A (en) 1991-03-18 1999-08-31 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and method for forming the same
KR970010652B1 (ko) 1992-07-06 1997-06-30 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 겐큐쇼 박막형 반도체 장치 및 그 제작방법
US5412493A (en) 1992-09-25 1995-05-02 Sony Corporation Liquid crystal display device having LDD structure type thin film transistors connected in series
JP2812851B2 (ja) 1993-03-24 1998-10-22 シャープ株式会社 反射型液晶表示装置
JP2860226B2 (ja) 1993-06-07 1999-02-24 シャープ株式会社 液晶表示装置およびその製造方法
KR970010685B1 (ko) 1993-10-30 1997-06-30 삼성전자 주식회사 누설전류가 감소된 박막 트랜지스터 및 그 제조방법
JP3543351B2 (ja) 1994-02-14 2004-07-14 株式会社日立製作所 アクティブマトリクス型液晶表示装置
JP3810100B2 (ja) 1994-03-18 2006-08-16 宇部興産株式会社 ポリイミドシロキサン
WO1996000758A1 (fr) 1994-06-30 1996-01-11 Hitachi Chemical Company, Ltd. Matiere pour la formation d'une couche mince isolante revetue a base de silice, son procede de fabrication, couche isolante a base de silice, dispositif a semi-conducteurs, et procede de fabrication de ce dispositif
JP2795191B2 (ja) * 1994-10-04 1998-09-10 株式会社デンソー Ｅｌ表示装置の駆動装置
DE69535970D1 (de) 1994-12-14 2009-08-06 Eastman Kodak Co Elektrolumineszente Vorrichtung mit einer organischen elektrolumineszenten Schicht
US5550066A (en) * 1994-12-14 1996-08-27 Eastman Kodak Company Method of fabricating a TFT-EL pixel
US5684365A (en) * 1994-12-14 1997-11-04 Eastman Kodak Company TFT-el display panel using organic electroluminescent media
JP2864464B2 (ja) 1994-12-22 1999-03-03 日本ビクター株式会社 反射型アクティブ・マトリクス・ディスプレイ・パネル及びその製造方法
JP2694126B2 (ja) 1995-02-06 1997-12-24 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 液晶表示装置及びその製造方法
US5706064A (en) 1995-03-31 1998-01-06 Kabushiki Kaisha Toshiba LCD having an organic-inorganic hybrid glass functional layer
JP3349332B2 (ja) 1995-04-28 2002-11-25 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 反射式空間光変調素子配列及びその形成方法
JP3108861B2 (ja) 1995-06-30 2000-11-13 キヤノン株式会社 アクティブマトリクス基板、該基板を用いた表示装置、及びこれらの製造方法
JP3368726B2 (ja) * 1995-08-07 2003-01-20 ヤマハ株式会社 半導体記憶装置とその製造方法
JPH09191111A (ja) 1995-11-07 1997-07-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
JP3332773B2 (ja) 1996-03-15 2002-10-07 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板およびアクティブマトリクス基板の製造方法
JP3297591B2 (ja) 1996-04-17 2002-07-02 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板の製造方法並びに液晶表示装置
JP3317387B2 (ja) 1996-06-03 2002-08-26 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板およびその製造方法
US5710097A (en) * 1996-06-27 1998-01-20 Minnesota Mining And Manufacturing Company Process and materials for imagewise placement of uniform spacers in flat panel displays
US6049132A (en) 1996-07-12 2000-04-11 Kawasaki Steel Corporation Multiple metallization structure for a reflection type liquid crystal display
US6057038A (en) * 1996-08-02 2000-05-02 Sharp Kabushiki Kaisha Substrate for use in display element, method of manufacturing the same, and apparatus for manufacturing the same
US20020075422A1 (en) * 1996-09-19 2002-06-20 Seiko Epson Corporation Matrix type display device and manufacturing method thereof
KR100477153B1 (ko) 1996-09-19 2005-08-01 세이코 엡슨 가부시키가이샤 El장치,el장치의제조방법,매트릭스형el장치,매트릭스형el장치의제조방법
US5895228A (en) 1996-11-14 1999-04-20 International Business Machines Corporation Encapsulation of organic light emitting devices using Siloxane or Siloxane derivatives
EP0845812B1 (en) 1996-11-28 2009-10-28 Casio Computer Co., Ltd. Display apparatus
JP3457819B2 (ja) 1996-11-28 2003-10-20 カシオ計算機株式会社 表示装置
JP3392672B2 (ja) * 1996-11-29 2003-03-31 三洋電機株式会社 表示装置
JP3530362B2 (ja) * 1996-12-19 2004-05-24 三洋電機株式会社 自発光型画像表示装置
JP3463971B2 (ja) 1996-12-26 2003-11-05 出光興産株式会社 有機アクティブｅｌ発光装置
US5757541A (en) * 1997-01-15 1998-05-26 Litton Systems, Inc. Method and apparatus for an optical fiber amplifier
JPH10319909A (ja) * 1997-05-22 1998-12-04 Casio Comput Co Ltd 表示装置及びその駆動方法
TW441136B (en) 1997-01-28 2001-06-16 Casio Computer Co Ltd An electroluminescent display device and a driving method thereof
JP3496431B2 (ja) 1997-02-03 2004-02-09 カシオ計算機株式会社 表示装置及びその駆動方法
EP0860462A3 (en) * 1997-02-24 1999-04-21 Dow Corning Toray Silicone Company Limited Composition and method for the formation of silica thin films
JP3711683B2 (ja) * 1997-03-12 2005-11-02 セイコーエプソン株式会社 発光ディスプレイ
EP0881668A3 (en) 1997-05-28 2000-11-15 Dow Corning Toray Silicone Company, Ltd. Deposition of an electrically insulating thin film with a low dielectric constant
JP3520396B2 (ja) 1997-07-02 2004-04-19 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス基板と表示装置
JP3390633B2 (ja) 1997-07-14 2003-03-24 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
TW558561B (en) 1997-07-22 2003-10-21 Sumitomo Chemical Co Hole transporting polymer and organic electroluminescence device using the same
JP3580092B2 (ja) 1997-08-21 2004-10-20 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス型表示装置
JP3830238B2 (ja) 1997-08-29 2006-10-04 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス型装置
US6268071B1 (en) 1997-08-29 2001-07-31 Tdk Corporation Organic electroluminescent device
JP3429440B2 (ja) 1997-10-24 2003-07-22 シャープ株式会社 半導体装置およびその製造方法
US7202497B2 (en) 1997-11-27 2007-04-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device
US5998805A (en) * 1997-12-11 1999-12-07 Motorola, Inc. Active matrix OED array with improved OED cathode
JPH11212115A (ja) * 1998-01-26 1999-08-06 Sharp Corp アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法
JPH11212118A (ja) * 1998-01-27 1999-08-06 Sharp Corp アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法
JPH11251059A (ja) 1998-02-27 1999-09-17 Sanyo Electric Co Ltd カラー表示装置
JP3980159B2 (ja) 1998-03-05 2007-09-26 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
JP3230664B2 (ja) * 1998-04-23 2001-11-19 日本電気株式会社 液晶表示装置とその製造方法
JP2000111945A (ja) * 1998-10-01 2000-04-21 Sony Corp 電気光学装置、電気光学装置用の駆動基板、及びこれらの製造方法
TW439387B (en) 1998-12-01 2001-06-07 Sanyo Electric Co Display device
US6008876A (en) 1998-12-03 1999-12-28 National Semiconductor Corporation Polished self-aligned pixel for a liquid crystal silicon light valve
US7288420B1 (en) 1999-06-04 2007-10-30 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing an electro-optical device
TW527735B (en) 1999-06-04 2003-04-11 Semiconductor Energy Lab Electro-optical device
JP5210473B2 (ja) 1999-06-21 2013-06-12 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置
TW459275B (en) 1999-07-06 2001-10-11 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and method of fabricating the same
CN1195243C (zh) * 1999-09-30 2005-03-30 三星电子株式会社 用于液晶显示器的薄膜晶体管阵列屏板及其制造方法
EP1096568A3 (en) * 1999-10-28 2007-10-24 Sony Corporation Display apparatus and method for fabricating the same
JP2001160486A (ja) 1999-12-03 2001-06-12 Sony Corp 有機ｅｌディスプレイの製造方法及び有機ｅｌディスプレイ
TWM244584U (en) 2000-01-17 2004-09-21 Semiconductor Energy Lab Display system and electrical appliance
TW525305B (en) 2000-02-22 2003-03-21 Semiconductor Energy Lab Self-light-emitting device and method of manufacturing the same
JP4831873B2 (ja) * 2000-02-22 2011-12-07 株式会社半導体エネルギー研究所 自発光装置及びその作製方法
US6460279B1 (en) 2000-06-30 2002-10-08 Kay L. Stanley Custom display and storage system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012209275A5 (ja) 自発光装置の作製方法
JP2013251255A5 (ja)
JP2015015232A5 (ja) 発光装置の作製方法
JP2012238610A5 (ja)
JP2013042154A5 (ja)
JP2011077512A5 (ja) 発光装置の作製方法
JP2012253013A5 (ja) 発光素子
JP2012160477A5 (ja)
JP2013179097A5 (ja) 表示装置
JP2011238908A5 (ja) 発光装置、表示モジュール及び電子機器
JP2014063749A5 (ja)
JP2012124175A5 (ja)
JP2012209251A5 (ja) 発光素子および発光装置
JP2013083993A5 (ja)
JP2012216853A5 (ja)
JP2014056815A5 (ja)
JP2012078847A5 (ja) 半導体装置、表示装置、電子機器、半導体装置の作製方法
JP2012118545A5 (ja)
JP2013175718A5 (ja)
JP2012068629A5 (ja) 発光表示装置、及び発光表示装置の作製方法
JP2012164976A5 (ja) 半導体装置の作製方法
JP2013033998A5 (ja)
JP2013016816A5 (ja)
JP2012230913A5 (ja) 発光装置及び電子機器
JP2012150479A5 (ja) 表示装置及び電子機器