JP2010509780A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 被加工物の熱処理の間、前記被加工物を支持するための装置であって、
   非平面上面を有する支持板と、
   前記被加工物の熱処理中、前記被加工物の初期形状の下面が前記支持板の非平面上面の上に不均一な間隔を置いて支持されるように、前記支持板の上に前記被加工物を支持し、前記不均一な間隔が、前記被加工物の外周の下にある縁部隙間と、前記被加工物の中心軸にある中央部隙間とを含むように構成されている支持システムとを備え、
   前記縁部隙間と中央部隙間が等しくない装置。
2. 前記縁部隙間が、約３×１０^−４ｍから１．２×１０^−３ｍの範囲である、請求項１に記載の装置。
3. 前記縁部隙間が、約０．５ミリメートルである、請求項２に記載の装置。
4. 前記中央部隙間が、約１．２×１０^−３ｍから２．５×１０^−３ｍの範囲にある、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の装置。
5. 前記支持システムが、複数の可撓性支持部材を備え、前記複数の可撓性支持部材が、複数の石英ファイバを備える、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の装置。
6. 前記支持システムが、複数の支持ピンを備える、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の装置。
7. 前記縁部隙間が、前記中央部隙間より大きい、請求項１に記載の装置。
8. 前記不均一な間隔が、一般に半径距離の非減少関数として変化する、請求項７に記載の装置。
9. 前記中央部隙間が、約１ミリメートル以下であり、前記縁部隙間が、約２ミリメートルより大きい、請求項７または請求項８に記載の装置。
10. 前記支持板の前記非平面上面が、前記被加工物の予想される熱変形形状を補足する形状である、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の装置。
11. 前記支持板の前記上面の少なくとも一部が、全体的にドーム状になっている、請求項１０に記載の装置。
12. 前記支持板の前記上面の少なくとも一部が、全体的にソーサー状になっている、請求項１０に記載の装置。
13. 前記支持板の前記上面の内側領域が、全体的に凹状になっており、前記支持板の上面の外側領域が全体的に凸状になっている、請求項１０に記載の装置。
14. 前記支持板の前記上面が、前記被加工物の熱処理中に前記被加工物の外周がぶつかるように構成されている接触部を備える、請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の装置。
15. 前記接触部が、前記上面の隣接する内側部分に対して角度がついている、請求項１４に記載の装置。
16. 前記被加工物が前記支持板の上に支持されている場合、前記支持板が、前記上面と前記被加工物との間にできる隙間のガス流に抵抗するように構成されているガス流障壁を備える、請求項１から請求項１５のいずれか１項に記載の装置。
17. 前記支持板が、前記支持板の前記上面の少なくとも一部を含む着脱可能部分を備える、請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載の装置。
18. 前記支持板が、下部および上部を備え、前記着脱可能部分が前記上部を備え、前記装置が、異なる形状の上面を有する第２の上部をさらに備え、前記支持板の前記上面の形状を変えるために前記第２の上部を前記上部と交換可能である、請求項１７に記載の装置。
19. 前記着脱可能部分が、着脱可能端部と、着脱可能中央部とを備える、請求項１７に記載の装置。
20. 前記縁部隙間と前記中央部隙間が、調整可能である、請求項１から請求項１９のいずれか１項に記載の装置。
21. 前記支持板が、前記支持板を通って前記被加工物に伝達される電磁放射に対して、所望のレンズ効果を提供するように構成されているレンズ部を備える、請求項１から請求項２０のいずれか１項に記載の装置。
22. 被加工物の熱処理中、前記被加工物の初期形状の下面が支持板の非平面上面の上に不均一な間隔を置いて支持されるように、前記支持板の前記非平面上面の上に前記被加工物を支持することを含み、前記不均一な間隔が、前記被加工物の外周の下にある縁部隙間と、前記被加工物の中心軸にある中央部隙間とを含む方法であって、前記縁部隙間と中央部隙間が等しくない方法。