JP2004253795A - 加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被加熱基板(10)を輻射加熱するホットプレート(2)と、ホットプレートに形成された貫通孔(6)に昇降可能に配置され被加熱基板を昇降させるリフトピン(5)と、ホットプレートに固定され被加熱基板が加熱される間に被加熱基板をホットプレートから間隔を有するように保持するプロキシミティピン(11)とを有する加熱装置(101)において、ホットプレートにおけるプロキシミティピンの周囲、又は貫通孔の周囲に輻射熱を低減させる減熱部(13、7)を備えさせる。
【選択図】 図1
Description
3 トッププレート部
4 発熱部
5 リフトピン
5 基板支持ピン
6 貫通孔
7 温度調節部材
8 膜原料溶液
9 昇降駆動装置
10 被加熱基板
10a 印刷パターン
11 プロキシミティピン
13 温度調節部材
15 爪支持部材
16 リフト爪
17 ロボットハンド
23 凹部
27 凹部
101 加熱装置
Claims (13)
- 輻射熱を付加することで被加熱基板(10)を加熱するホットプレート(2)と、上記ホットプレートに備えられ、上記被加熱基板が加熱されている間に、上記被加熱基板を上記ホットプレートから間隔を有するように保持する基板支持ピン(5、11)とを有する加熱装置(101)において、
上記ホットプレートにおける上記基板支持ピンの周囲に、当該周囲より上記被加熱基板に輻射される熱量を低減させる減熱部(7、13、23、27)を備え、
上記基板支持ピンを通した接触伝熱による上記ホットプレートから上記被加熱基板への熱量付加に伴う当該被加熱基板の温度上昇を抑制するように、上記周囲から上記被加熱基板に付加される輻射熱量を、上記減熱部により低減させることを特徴とする加熱装置。 - 上記基板支持ピンは、上記ホットプレートに固定され、上記被加熱基板が加熱されている間に、当該被加熱基板を上記ホットプレートから間隔を有するように保持するプロキシミティピン(11)である請求項1に記載の加熱装置。
- 上記基板支持ピンは、上記ホットプレートに形成された貫通孔に沿って上下動可能に配置され、上記被加熱基板が加熱されている間に、当該被加熱基板を上記ホットプレートから間隔を有するように突き上げて保持するリフトピン(5)である請求項1に記載の加熱装置。
- 上記減熱部は、上記ホットプレートとは別部材として形成された減熱部材(7、13)であり、少なくとも上記ホットプレートと上記減熱部材との接触面における接触抵抗を用いて、上記輻射熱量を低減させる請求項1から3のいずれか1つに記載の加熱装置。
- 上記減熱部(13C、13D、13E、13F、13G、13H)は、上記基板支持ピンの周囲に配置された複数の上記減熱部材(14C、14D、14E、14F、14G、14H)にてなる請求項4に記載の加熱装置。
- 上記減熱部材は、複数の部材(7a、7b)による積層構造を有し、夫々の層間の接触面における接触抵抗を用いて、上記輻射熱量を低減させる請求項4に記載の加熱装置。
- 上記被加熱基板と上記減熱部材との間の間隔寸法が、上記被加熱基板と上記ホットプレートとの間の上記間隔寸法よりも大きくなるように、当該減熱部材が上記ホットプレートに配置されている請求項4に記載の加熱装置。
- 上記減熱部は、上記基板支持ピンの周囲に形成された凹部(23、27)であり、
上記被加熱基板と上記凹部の内底表面との間の間隔寸法が、上記被加熱基板と上記ホットプレートとの間の上記間隔寸法よりも大きくなるように、上記凹部が形成されることで、上記輻射熱量の低減を行なう請求項1から3のいずれか1つに記載の加熱装置。 - 上記凹部は、上記内底表面に上記基板支持ピンの中心に向けた深さ勾配を有する請求項8に記載の加熱装置。
- 上記減熱部は、上記ホットプレートの表面沿いにおいて、上記基板支持ピンの中心と略合致するようにその中心が配置された略円形または略多角形状の外周端部を有する請求項1に記載の加熱装置。
- 上記貫通孔は、その孔径が上記ホットプレートの内部よりも上面近傍において拡大されるように形成されている請求項3に記載の加熱装置。
- 上記リフトピンの周囲に、上記貫通孔より上記被加熱基板に向けて生じる上昇気流を遮るように配置された遮蔽板(9)を備える請求項3に記載の加熱装置。
- 上記加熱装置は、上記被加熱基板の表面に供給された膜原料溶液(8)を、当該被加熱基板を加熱することで乾燥させて、上記表面に薄膜を形成する薄膜形成用加熱装置である請求項1から3のいずれか1つに記載の加熱装置。
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