JP2010067774A - 光電変換装置及び撮像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光電変換素子と、転送用トランジスタと、フローティングディフュージョン部と、を有する基本セルを複数有する光電変換装置において、フローティングディフュージョン部の上部に配置された遮光部を有する。各遮光部は互いに分離して設けられ、フローティングディフュージョン部と電気的に導通していなく、またフローティングである。
【選択図】 図1
Description
本実施形態の光電変換装置を、図1及び図2を用いて説明する。まず、図2を用いて光電変換装置の画素回路の一例を説明する。
本実施形態について、図3を用いて説明する。図3(A)は光電変換装置の2画素分の平面模式図であり、図3(B)は図3(A)のCD線に対応した断面模式図である。図3(A)は図1(A)と、図3(B)は図1(B)と対応している。図3において図1と同様の構成については、同一の符号を付し説明を省略する。また、図3においても図1と同様に着目部分以外の構成については省略している。
本実施形態について、図4を用いて説明する。図4は光電変換装置の4画素分の平面模式図であり、図1(A)と対応している。図4において図1(A)と同様の構成については、同一の符号を付し説明を省略する。また、図4においても図1と同様に着目部分以外の構成については省略している。
本実施形態では、第1の実施形態及び第3の実施形態にて説明してきた光電変換装置を撮像システムに適用した場合について、図5を用いて説明する。撮像システムとは、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラや携帯電話用デジタルカメラ等である。
2 転送用トランジスタのゲート電極
3 コンタクト
4 FD部
5 配線
6 遮光部
7 配線
8 トランジスタ等
9 マイクロレンズ
10 素子分離
11 P型半導体領域
12 カラーフィルタ
Claims (9)
- 光電変換素子と、
前記光電変換素子にて生じた電荷を転送する転送用トランジスタと、
前記転送用トランジスタによって前記電荷が転送される半導体領域を含むフローティングディフュージョン部と、を有する基本セルが複数配された光電変換装置において、
前記複数の基本セルは、それぞれ前記フローティングディフュージョン部の上部に配置された遮光部を有し、
前記複数の基本セルの遮光部は、互いに分離して設けられ、前記フローティングディフュージョン部と導通しておらず、フローティングであることを特徴とした光電変換装置。 - 複数の配線を有し、
前記遮光部は前記複数の配線と同一材料によって形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記基本セルは、複数の光電変換素子を有することを特徴とする請求項1あるいは2に記載の光電変換装置。
- 前記フローティングディフュージョン部を構成する半導体領域は複数あり、前記複数の半導体領域は互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記基本セルは、増幅用トランジスタを有し、
前記増幅用トランジスタのゲート電極が前記半導体領域と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光電変換装置。 - 前記フローティングディフュージョン部は、前記半導体領域と前記増幅用トランジスタのゲート電極とを含むことを特徴とする請求項5に記載の光電変換装置。
- 前記複数の光電変換素子のそれぞれに対応して、前記複数の光電変換素子の上部に配されたカラーフィルタを有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記フローティングディフュージョン部の1つに対応して前記遮光部が複数配されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換装置から出力される信号を処理する信号処理回路とを有する撮像システム。
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