JP2005109102A - モノリシック半導体レーザおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 発光波長の異なる複数の半導体レーザを含むモノリシック半導体レーザが、半導体基板と、半導体基板上の第1領域に形成され、第1活性層を上下から第1クラッド層で挟んだ第1ダブルヘテロ構造と、半導体基板上の第2領域に形成され、第2活性層を上下から第2クラッド層で挟んだ第2ダブルヘテロ構造とを含む。第1及び第2活性層は互いに異なる半導体材料からなる。更に、第1活性層の上下の第1クラッド層が略同一の半導体材料からなり、かつ第2活性層の上下の第2クラッド層が略同一の半導体材料からなる。
【選択図】図2
Description
K. Nemoto and K. Miura:"A Laser Coupler for DVD/CD Playback Using a Monolithic-integrated Two-wavelength Laser Diode", JSAP International, No.3, pp.9-14 (January 2001)
しかしながら、従来の製造方法で作製したモノリシック半導体レーザでは、2つの半導体レーザの発光点の間の距離は上述のように位置合わせの精度に依存する。このため、例えば製造ロット毎に、発光点の距離、即ちストライプ構造の相対的な位置が異なり、レンズの位置等を微調整する必要があった。
このような微調整は、組立て工程を複雑にするとともに、製造コストの増加につながっていた。
なお、同一の半導体材料とは、材料及び組成が同一の半導体材料をいう。また、異なる半導体材料とは、材料及び/又は組成が異なる半導体材料をいう。
図1、2に、全体が100で表される、本実施の形態にかかるモノリシック半導体レーザの製造工程の断面図を示す。モノリシック半導体レーザ100は、発光波長が780nmの第1半導体レーザと、発光波長が650nmの第2半導体レーザとを含む(図2(g)参照)。
ここで、AlGaAs活性層3は、発光波長が780nmとなるような組成とする。
各半導体層2〜6の形成は、例えばMOCVD法を用いて行なわれる。
なお、フォトレジスト層7の代りに、他の耐エッチング性を有するパターン膜を用いても構わない。
硫酸系エッチャントは、AlGaInP層(上部クラッド層)と、GaInP層(エッチングストッパ層)、GaAs層(キャップ層)との間でエッチング選択比を大きくできる。このため、GaAsキャップ層6をマスクとして、AlGaInP上部クラッド層4をエッチングし、GaInPストッパ層5が露出した時点でエッチングをほぼ停止させることができる。
このように、GaInPストッパ層5を挿入することにより、リッジ型ストライプ形状の深さ方向の制御を行うことができる。
以上の工程1〜7で、発光波長の異なる第1半導体レーザ101と第2半導体レーザ102を有するモノリシック半導体レーザ100が作製できる。
なお、GaAs基板1の裏面上、及びGaAsキャップ層6の表面上には、それぞれ金属電極が形成されるが、ここでは省略する。
しかしながら、本実施の形態にかかる製造方法で作製したモノリシック半導体レーザ100では、2つの発光点の相対的距離が一定に形成できるため、このような光学系の微調整が不要となる。
図4に、全体が200で表される、本実施の形態にかかるモノリシック半導体レーザの製造工程の断面図を示す。モノリシック半導体レーザ200は、発光波長の異なる2つの半導体レーザ201、202(例えば、発光波長が780nmと650nm)を含む(図4(c)参照)。
本実施の形態2にかかるモノリシック半導体レーザ200では、2つの半導体レーザ105、106の間で活性層以外の層の組成等も異なっている。かかる構造においても、ストッパ層を用いることにより高精度のエッチングが可能となる。
第1半導体レーザとして、n−GaAs基板1上に、n−AlGaInP下部クラッド層21、AlGaAs活性層22、GaInPエッチングストッパ層23、p−AlGaInP上部クラッド層(第1上クラッド層)24、p−GaAsキャップ層25が積層されている。
一方、第2半導体レーザとして、n−GaAs基板1上に、n−AlGaInP下部クラッド層31、AlGaInP活性層32、GaInPエッチングストッパ層23、p−AlGaInP上部クラッド層(第2上クラッド層)24、p−AlGaAs上部クラッド層33、34、p−GaAsキャップ層25が積層されている。ここで、符号の異なる層(例えば33と34)は、その組成が異なるものとする。また、各半導体層の形成は、例えばMOCVD法を用いて行なわれる。
第1半導体レーザ201と第2半導体レーザ202では、上述のように、エッチングストッパ層23より上方の半導体層では、各層の組成や膜厚が異なっている。
これに対して、本実施の形態にかかる製造方法では、組成の異なる半導体層でも、略同一のエッチング速度が得られるエッチング方法を用いて半導体層をエッチングする。
具体的には、塩素ガスと酸素ガスの混合ガスをエッチングガスに用いたECRエッチングを用いることにより、AlGaAs系半導体層、AlGaInP系半導体層に対するエッチング速度を略同一にできる。
このように、例えばECRエッチングを用いて、図4(b)に示すように、p−AlGaAs上部クラッド層24の途中までエッチングする。
上述のように、硫酸系エッチャントを用いたエッチングでは、GaInPストッパ層23が露出した時点でエッチングがほぼ停止する。
図5に、全体が300で表される、本実施の形態にかかるモノリシック半導体レーザの製造工程の断面図を示す。モノリシック半導体レーザ300は、発光波長の異なる2つの半導体レーザ301、302(例えば、発光波長が780nmと650nm)を含む(図5(c)参照)。
モノリシック半導体レーザ300では、2つの半導体レーザ301、302の間でリッジ型ストライプの深さを異なるように形成し、それぞれの屈折率を調整する。
第1半導体レーザとして、n−GaAs基板1上に、n−AlGaInP下部クラッド層41、AlGaAs活性層42、GaInPエッチングストッパ層43、p−AlGaInP上部クラッド層(第1上クラッド層)44、p−GaAsキャップ層45が積層されている。
一方、第2半導体レーザとして、n−GaAs基板1上に、n−AlGaInP下部クラッド層51、AlGaInP活性層52、p−AlGaAs上部クラッド層53、GaInPエッチングストッパ層43、p−AlGaInP上部クラッド層(第2上クラッド層)44、p−AlGaAs上部クラッド層54、55、p−GaAsキャップ層45が積層されている。ここで、符号の異なる層(例えば54と55)は、その組成が異なるものとする。また、各半導体層の形成は、例えばMOCVD法を用いて行なわれる。
図6に、全体が400で表される、本実施の形態にかかるモノリシック半導体レーザの製造工程の断面図を示す。モノリシック半導体レーザ400は、発光波長の異なる2つの半導体レーザ401、402(例えば、発光波長が780nmと650nm)を含む(図6(c)参照)。
モノリシック半導体レーザ400では、2つの半導体レーザ401、402の高さ(GaAs基板1の表面からGaAsキャップ層50の表面までの高さ)が異なっている。
第1半導体レーザ401として、n−GaAs基板1上に、n−AlGaInP下部クラッド層61、AlGaAs活性層62、GaInPエッチングストッパ層63、p−AlGaInP上部クラッド層(第1上クラッド層)64、p−GaAsキャップ層65が積層されている。
一方、第2半導体レーザ402として、n−GaAs基板1上に、n−AlGaInP下部クラッド層71、AlGaInP活性層72、p−AlGaAs上部クラッド層73、GaInPエッチングストッパ層63、p−AlGaInP上部クラッド層(第2上クラッド層)64、p−AlGaAs上部クラッド層74、75、p−GaAsキャップ層65が積層されている。ここで、符号の異なる層(例えば54と55)は、その組成が異なるものとする。また、各半導体層の形成は、例えばMOCVD法を用いて行なわれる。
Claims (14)
- 発光波長の異なる複数の半導体レーザを含むモノリシック半導体レーザであって、
半導体基板と、
該半導体基板上の第1領域に形成され、第1活性層を上下から第1クラッド層で挟んだ第1ダブルヘテロ構造と、
該半導体基板上の第2領域に形成され、第2活性層を上下から第2クラッド層で挟んだ第2ダブルヘテロ構造とを含み、
該第1及び該第2活性層が互いに異なる半導体材料からなるとともに、
該第1活性層の上下の該第1クラッド層が略同一の半導体材料からなり、かつ該第2活性層の上下の該第2クラッド層が略同一の半導体材料からなることを特徴とするモノリシック半導体レーザ。 - 上記第1ダブルへテロ構造が、Alx1Ga1−x1As(0≦x1≦1)からなる単層または複数層の上記第1活性層の上下を、(Alx2Ga1−x2)y2In1−y2P(0≦x2≦1、0≦y2≦1)からなる上記第1クラッド層で挟んだ構造であり、
上記第2ダブルへテロ構造が、(Alx3Ga1−x3)y3In1−y3P(0≦x3≦1、0≦y3≦1)からなる単層または複数層の上記第2活性層の上下を、(Alx4Ga1−x4)y4In1−y4P(0≦x4≦1、0≦y4≦1)からなる上記第2クラッド層で挟んだ構造であることを特徴とする請求項1に記載のモノリシック半導体レーザ。 - 更に、上記第1クラッド層と上記第2クラッド層が、略同一の半導体材料からなることを特徴とする請求項1に記載のモノリシック半導体レーザ。
- 上記第1ダブルへテロ構造が、Alx1Ga1−x1As(0≦x1≦1)からなる単層または複数層の上記第1活性層の上下を、(Alx2Ga1−x2)y2In1−y2P(0≦x2≦1、0≦y2≦1)からなる上記第1クラッド層で挟んだ構造であり、
上記第2ダブルへテロ構造が、(Alx3Ga1−x3)y3In1−y3P(0≦x3≦1、0≦y3≦1)からなる単層または複数層の上記第2活性層の上下を、該第1クラッド層と略同一の、(Alx2Ga1−x2)y2In1−y2P(0≦x2≦1、0≦y2≦1)からなる上記第2クラッド層で挟んだ構造であることを特徴とする請求項3に記載のモノリシック半導体レーザ。 - 発光波長の異なる複数の半導体レーザを含むモノリシック半導体レーザであって、
半導体基板と、
該半導体基板上の第1領域に形成され、第1活性層を上下から第1クラッド層で挟んだ第1ダブルヘテロ構造と、
該半導体基板上の第2領域に形成され、第2活性層を上下から第2クラッド層で挟んだ第2ダブルヘテロ構造とを含み、
該第1及び該第2活性層が互いに異なる半導体材料からなるとともに、
該第1クラッド層のうち該第1活性層上に設けられた第1上クラッド層と、該第2クラッド層のうち該第2活性層上に設けられた第2上クラッド層とが略同一の半導体材料からなることを特徴とするモノリシック半導体レーザ。 - 上記第1ダブルへテロ構造は、Alx1Ga1−x1As(0≦x1≦1)からなる単層または複数層の上記第1活性層の上に、(Alx2Ga1−x2)y2In1−y2P(0≦x2≦1、0≦y2≦1)からなる上記第1上クラッド層を有し、
上記第2ダブルへテロ構造は、(Alx3Ga1−x3)y3In1−y3P(0≦x3≦1、0≦y3≦1)からなる単層または複数層の上記第2活性層の上に、該第1上クラッド層と略同一の、(Alx2Ga1−x2)y2In1−y2P(0≦x2≦1、0≦y2≦1)からなる上記第2上クラッド層を有することを特徴とする請求項5に記載のモノリシック半導体レーザ。 - 上記第1活性層及び上記第2活性層の上に、それぞれエッチングストッパ層を含むことを特徴とする請求項1または5に記載のモノリシック半導体レーザ。
- 上記複数の半導体レーザを構成する半導体層の厚みが、互いに略同一であることを特徴とする請求項1または5に記載のモノリシック半導体レーザ。
- 発光波長の異なる半導体レーザを含むモノリシック半導体レーザの製造方法であって、
半導体基板を準備する工程と、
該半導体基板上の第1領域に、活性層を上下クラッド層で挟んだ第1ダブルヘテロ構造を含む第1半導体層を積層する工程と、
該半導体基板上の第2領域に、活性層を上下クラッド層で挟んだ第2ダブルヘテロ構造を含む第2半導体層を積層する工程と、
該第1領域に形成された該第1ダブルへテロ構造と、該第2領域に形成された該第2ダブルへテロ構造の上に、耐エッチング性を有するパターン膜を形成するパターニング工程と、
該パターン膜を用いて、該第1ダブルヘテロ構造の該第1半導体層と該第2ダブルヘテロ構造の該第2半導体層とに、同時にストライプ構造を形成するストライプ形成工程とを含むことを特徴とするモノリシック半導体レーザの製造方法。 - 上記パターニング工程が、上記第1半導体層と上記第2半導体層の上に形成されたレジスト層を、フォトマスクを用いて同時に露光する工程を含むことを特徴とする請求項9に記載の製造方法。
- 更に、上記第1ダブルヘテロ構造及び上記第2ダブルヘテロ構造の上部に、それぞれエッチングストッパ層を形成する工程を含み、
上記ストライプ形成工程が、上記パターン膜をエッチングマスクに用いて、上記第1半導体層と上記第2半導体層を同時にエッチングして、該エッチングストッパ層を露出させるエッチング工程を含むことを特徴とする請求項9に記載の製造方法。 - 上記エッチング工程が、ウエットエッチング工程からなることを特徴とする請求項11に記載の製造方法。
- 上記エッチング工程が、ドライエッチング工程を行った後に、ウエットエッチングを行ない上記エッチングストッパ層を露出させる工程であることを特徴とする請求項11に記載の製造方法。
- 上記ストライプ形成工程が、上記パターン膜をイオン注入マスクに用いて、上記第1半導体層と上記第2半導体層とにプロトンを同時に注入し、高抵抗層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項9に記載の製造方法。
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