JP2007081173A - モノリシック2波長半導体レーザ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】赤外半導体レーザの第4クラッド層110の水素濃度(1.5e18cm−3)が、第1半導体レーザ赤色半導体レーザの第2クラッド層105の水素濃度(1e18cm−3)よりも高いことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
まず、図4(a)に示すように第1導電型(n)GaAs基板1の上に、赤外半導体レーザ8のダブルへテロ構造121を形成する。具体的には、第1導電型(n)GaAs基板1の上に、第1導電型(n)GaAsバッファ層2、第1導電型(n)AlGaInPクラッド層3、GaAsウェル層とAlGaAsバリア層からなる多重量子井戸構造の活性層4、第2導電型(p)AlGaInPクラッド層5、第2導電型(p)GaInP中間層6、第2導電型(p)GaAsコンタクト層7、第2導電型(p)AlGaAs層(図示せず)を堆積して形成する。
図3は本発明のモノリシック2波長半導体レーザを示す。
前記GaAsウェル層とAlGaAsバリア層からなる発振波長780nmの多重量子井戸構造の活性層109の上に、Znが1e18cm−3程度添加されたp−AlGaInPクラッド層(第4クラッド層)110、p−GaInP中間層111、p−GaAsコンタクト層112が形成されている。
赤色半導体レーザ15のダブルへテロ構造のp−AlGaInPクラッド層105は、その水素濃度が1e18cm−3であり、赤外半導体レーザ8のダブルへテロ構造のp−AlGaInPクラッド層110の水素濃度は1.5e18cm−3であり、第4クラッド層110の水素濃度が第2クラッド層105の水素濃度より高く、Znが拡散しやすい状態である。
有機金属気相成長法(MOCVD)のエピタキシャル成長法により、図1(a)に示すように、10度オフのn−GaAs基板101の上に、Siを不純物として添加したn−GaAsバッファ層102、n−AlGaInPクラッド層103を形成する。前記n−GaAsバッファ層102、n−AlGaInPクラッド層103の不純物濃度は1e18cm−3程度である。
活性層104の上に、Znが不純物として添加されたp−AlGaInPクラッド層105、p−GaInP中間層106、p−GaAsコンタクト層107を順次エピタキシャル成長させ、赤色半導体レーザ15のダブルへテロ構造を構成する積層構造を形成する。p−AlGaInPクラッド層105、p−GaInP中間層106、p−GaAsコンタクト層107のZn不純物濃度は1e18cm−3程度である。
次に図1(b)のように、Siを不純物として添加したn−AlGaInPクラッド層108の形成を行い、不純物濃度は1e18cm−3程度である。n−AlGaInPクラッド層108の上に、GaAsウェル層とAlGaAs層からなる発振波長780nmの多重量子井戸構造の活性層109を形成する。さらに、この活性層109上に、Znを不純物として添加したp−AlGaInPクラッド層110、p−GaInP中間層111、p−GaAsコンタクト層112を、順次エピタキシャル成長させて、赤外半導体レーザ素子8を構成する積層構造を形成する。不純物濃度は1e18cm−3程度である。
次に、p−AlGaInPクラッド層110の水素濃度を高くするため、水素化物としてのアルシン雰囲気中で500℃以上の温度でアニールを行う。
図3(a)では、発光端面の近傍の窓領域118を除く部分にマスク113を形成し、その上に114で示すようにZnO膜を堆積して、さらにキャップ層117としてSiO2膜を形成する。図中の括弧外の符号は赤色半導体レーザ15に対応し、括弧内の符号は赤外半導体レーザ8に対応する。この状態で600℃でアニールを行い、図3(b)に示すように不純物としてのZnを選択的に拡散させる。詳しくは、ZnO膜114が直上に形成された窓領域118において、ZnO膜114からのZnが下層のZnを押し出す、もしくはそのまま活性層104(または109)まで拡散して、端面全体に高濃度Zn拡散領域119が形成され、活性層104(または109)の内でZnが拡散された領域はMQW構造が無秩序化された領域となる。
15 赤色半導体レーザ(第1半導体レーザ)
101 n−GaAs基板
102 n−GaAsバッファ層
103 n−AlGaInPクラッド層
104 発振波長650nmの多重量子井戸構造の活性層(第1活性層)
105 p−AlGaInPクラッド層(第2クラッド層)
106 p−GaInP中間層
107 p−GaAsコンタクト層
108 n−AlGaInPクラッド層(第3クラッド層)
109 発振波長780nmの多重量子井戸構造の活性層(第2活性層)
110 p−AlGaInPクラッド層(第4クラッド層)
111 p−GaInP中間層
112 p−GaAsコンタクト層
113 マスク
114 ZnO膜
117 キャップ層
118 発光端面の近傍の窓領域
119 Zn拡散領域
121 赤外半導体レーザ8のダブルへテロ構造
122 赤色半導体レーザ15のダブルへテロ構造
Claims (8)
- 第1導電型の基板の上に発振波長が異なる第1,第2半導体レーザを形成したモノリシック2波長半導体レーザであって、
端面窓構造を有し、第1導電型の基板の上に、
第1導電型の第1クラッド層、多重量子井戸構造の第1活性層、第2導電型の第2クラッド層を有する第1半導体レーザのダブルへテロ構造と、
第1導電型の第3クラッド層、多重量子井戸構造の第2活性層、第2導電型の第4クラッド層を有する第2半導体レーザのダブルへテロ構造を有し、
第2半導体レーザの第4クラッド層の水素濃度が、第1半導体レーザの第2クラッド層の水素濃度よりも高いことを特徴とする
モノリシック2波長半導体レーザ。 - 第1半導体レーザの第1導電型の第1クラッド層の水素濃度に対して、第2導電型の第2クラッド層の水素濃度が高く、第2半導体レーザの第1導電型の第3クラッド層の水素濃度に対して、第2導電型の第4クラッド層の水素濃度が高いことを特徴とする
請求項1記載のモノリシック2波長半導体レーザ。 - 第1導電型の基板上に、第1導電型の第1クラッド層、多重量子井戸構造の第1活性層、第2導電型の第2クラッド層、第2導電型の第1コンタクト層を有する第1半導体レーザのダブルへテロ構造を形成する工程と、
第1半導体レーザのダブルへテロ構造の一部をエッチング除去する工程と、
第1導電型の第3クラッド層、多重量子井戸構造の第2活性層、第2導電型の第4クラッド層、第2導電型の第2コンタクト層を有する第2半導体レーザのダブルへテロ構造を形成する工程と、
第1半導体レーザのダブルへテロ構造上に形成された第2半導体レーザのダブルへテロ構造をエッチング除去する工程と、
水素化物の雰囲気中でアニールする工程と、
前記積層構造の端面部に不純物膜を形成し熱処理して不純物を前記第1活性層と第2活性層に同時に拡散させ端面窓構造を形成する工程と
を備えたモノリシック2波長半導体レーザの製造方法。 - 第1半導体レーザのダブルへテロ構造が赤色半導体レーザ、第2半導体レーザのダブルへテロ構造が赤外半導体レーザであることを特徴とする
請求項1記載のモノリシック2波長半導体レーザ。 - 第1半導体レーザのダブルへテロ構造が赤色半導体レーザ、第2半導体レーザのダブルへテロ構造が赤外半導体レーザであることを特徴とする
請求項3記載のモノリシック2波長半導体レーザの製造方法。 - 第1半導体レーザのダブルへテロ構造を第2半導体レーザのダブルへテロ構造よりも先に形成することを特徴とする
請求項3記載のモノリシック2波長半導体レーザの製造方法。 - 第1半導体レーザの第1導電型の第1クラッド層及び第2導電型の第2クラッド層と、第2半導体レーザの第1導電型の第3クラッド層及び第2導電型の第4クラッド層がリンを含んだ材料であることを特徴とする
請求項1記載のモノリシック2波長半導体レーザ。 - 第1半導体レーザ、第2半導体レーザともにリンをV族元素とすることを特徴とする
請求項3記載のモノリシック2波長半導体レーザの製造方法。
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