JP2003507896A - 停止化合物を伴う研磨系及びその使用方法 - Google Patents
停止化合物を伴う研磨系及びその使用方法Info
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- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
Abstract
Description
研磨系、組成物及び方法に関する。
もの活性デバイスでできている。活性デバイスは化学的及び物理的に基体に接続
し、多層相互接続の使用によって相互接続されて機能回路を作っている。典型的
な多層相互接続は、第1の金属層、層間誘電体、並びに場合によっては第3及び
更なる金属層を有する。層間誘電体、例えばドープされている及びドープされて
いない二酸化ケイ素(SiO2)及び/又は低k誘電体を使用して、異なる金属
層を電気的に絶縁している。
ば米国特許第5,741,626号明細書は、TaN誘電体層の調製方法を説明
している。更に、米国特許第4,789,648号明細書は、複数の金属化層及
び絶縁体膜の金属化バイアを調製する方法を開示している。同様な様式で、金属
接触を使用して、相互接続層とウェルに作られたデバイスとの間の電気的接続を
作っている。金属バイア及び接触は、様々な金属及び合金、例えばチタン(Ti
)、窒化チタン(TiN)、アルミニウム銅(Al−Cu)、アルミニウムシリ
コン(Al−Si)、銅(Cu)、タングステン(W)及びそれらの組み合わせ
(以下では「バイア金属」として言及する)で満たすことができる。
i)、窒化チタン(TiN)、タンタル(Ta)、窒化タンタル(TaN)、タ
ングステン(W)、又は窒化タングステン(WN)のバリアーフィルムを使用し
て、バイア金属をSiO2基体に付着させている。接触層では、バリアーフィル
ムが拡散バリアーとして機能して、バイア金属がSiO2と反応するのを防いで
いる。
積とそれに続く化学機械研磨(CMP)工程によって作っている。典型的なプロ
セスでは、相互接続ライン又は半導体基体まで、層間誘電体(ILD)を通るバ
イアホールをエッチングする。続いて、ILD上にバリアーフィルムを形成し、
エッチングしたバイアホール内にまで入れる。その後バイア金属を、バリアーフ
ィルム上及びバイアホール内にブランケット堆積させる。バイアホールがブラン
ケット堆積金属によって満たされるまで、堆積を継続する。最後に、過剰な金属
を化学機械研磨(CMP)によって除去して、金属バイアを作る。バイアの製造
及び/又はCMP方法は、米国特許第4,671,851号及び同第4,944
,836号明細書で開示されている。
アルミナを含有している。例えば米国特許第5,244,534号明細書は、ア
ルミナ、過酸化水素、及び水酸化カリウム又はアンモニウム水酸化物のいずれか
を含有する系を報告している。この系は、下側の絶縁層の除去を少なくして、タ
ングステンを除去するのに有益である。米国特許第5,209,816号明細書
は、水性媒体中の過塩素酸、過酸化水素及び固体研磨材を含有する系を開示して
いる。これは、アルミニウムを研磨するのに有益である。米国特許第5,340
,370号明細書は、フェリシアン化カリウム、酢酸カリウム、酢酸及びシリカ
を含有するタングステン研磨系を開示している。米国特許第5,391,258
号及び同第5,476,606号明細書は、金属とシリカの組み合わせを研磨す
るための系を開示している。これは、水性媒体、砥粒、及びシリカ除去速度を制
御するアニオンを含有している。米国特許第5,770,095号明細書は、酸
化剤、化学剤、並びにアミノ酢酸及びアミド硫酸から選択されるエッチング剤を
含有する研磨系を開示している。CMPの用途で使用される他の研磨系は、米国
特許第4,956,313号、同第5,137,544号、同第5,157,8
76号、同第5,354,490号、及び同第5,527,423号明細書で説
明されている。
ムは、一般に化学的に活性である。従ってそのようなバリアーフィルムの性質は
、バイア金属の化学的性質と同様である。従って単一系を使用して、Ti/Ti
Nバリアーフィルムとバイア金属との両方を同じ速度で効果的に研磨することが
できる。しかしながらTa及びTaNバリアーフィルムは、Ti、TiN及び同
様なバリアーフィルムとは有意に異なっている。Ti及びTiNと比較すると、
Ta及びTaNは比較的化学的に不活性である。従ってタンタル層の研磨におい
ては、上述の系はチタン層を研磨する場合と比較してあまり効果的でない(例え
ばタンタル除去速度はチタン除去速度に比べて有意に小さい)。バイア金属及び
バリアー金属は同様に除去速度が大きかったので従来単一の系で研磨されていた
が、従来の研磨系を使用するバイア金属とタンタル及び同様な材料との組み合わ
せの研磨は、望ましくない影響、例えば酸化物エロージョン及びバイア金属ディ
ッシッングをもたらす。
2の層の平坦化を最少化し、それによって望ましくない効果、例えば第1の金属
層のディッシッング、表面不完全性、及び下側形状への損傷を最少化する様式で
、第1の金属層及び第2の層を有する基体を研磨する系、組成物及び/又は方法
がまだ必要とされている。本発明は、そのような系、組成物及び方法を提供する
。本発明のこれらの及び他の特徴は、本明細書の詳細な説明から明らかになる。
磨する系を提供する。この系は、(i)液体キャリア、(ii)少なくとも1種
の酸化剤、(iii)系が基体の少なくとも1つの層を研磨する速度を増加させ
る少なくとも1種の研磨添加剤、(iv)第1の金属層:第2の層の研磨選択性
が少なくとも約30:1の少なくとも1種の停止化合物、並びに(v)研磨パッ
ド及び/又は研磨材を含み、前記停止化合物は、アミン、イミン、アミド、イミ
ド及びそれらの混合を含む化合物から選択されるカチオン性の窒素含有化合物で
ある。
少なくとも一部を研磨することを含む、基体の研磨方法を提供する。更に本発明
は、第1の金属層及び第2の層を有する多層基体の1又は複数の層を研磨する方
法を提供する。この方法は、(a)第1の金属層に研磨系を接触させること、及
び(b)第1の金属層の少なくとも一部が基体から除去されるまで、前記系で第
1の金属層を研磨すること、を含む。
を研磨する組成物を提供する。この組成物は、(i)液体キャリア、(ii)少
なくとも1種の酸化剤、(iii)系が基体の少なくとも1つの層を研磨する速
度を増加させる少なくとも1種の研磨添加剤、(iv)第1の金属層:第2の層
の研磨選択性が少なくとも約30:1の少なくとも1種の停止化合物を含有して
、(v)研磨パッド及び/又は研磨材と共に使用される。ここでこの停止化合物
は、アミン、イミン、アミド、イミド及びそれらの混合を含む化合物から選択さ
れるカチオン性の窒素含有化合物である。
磨する系、組成物及び方法を提供する。この系は、(i)液体キャリア、(ii
)少なくとも1種の酸化剤、(iii)系が基体の少なくとも1つの層を研磨す
る速度を増加させる少なくとも1種の研磨添加剤、(iv)第1の金属層:第2
の層の研磨選択性が少なくとも約30:1の少なくとも1種の停止化合物、並び
に(v)研磨パッド及び/又は研磨材を含み、この停止化合物は、アミン、イミ
ン、アミド、イミド及びそれらの混合を含む化合物から選択されるカチオン性の
窒素含有化合物である。本発明の系の成分(i)、(ii)、(iii)及び(
iv)は、成分(v)と共に使用することができる組成物を作る。これらの成分
(i)〜(iv)は、以下では、まとめて「系の液体部分」として言及する。研
磨材が存在して液体キャリアに懸濁されている場合、研磨材は系の液体部分の一
部を構成する。
研磨することができる。好ましくは本発明の系を使用して、第1の金属層、第2
の層、及び随意に1又は複数の追加の層を有する多層基体を研磨する。適当な第
1の金属層としては例えば、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、アルミニウム
銅(Al−Cu)、アルミニウムシリコン(Al−Si)、チタン(Ti)、窒
化チタン(TiN)、タングステン(W)、窒化タングステン(WN)、貴金属
(例えばイリジウム(Ir)、ルテニウム(Ru)、金(Au)、銀(Ag)、
及び白金(Pt))、及びそれらの組み合わせを挙げることができる。適当な第
2の層としては例えば、チタン(Ti)、窒化チタン(TiN)、タンタル(T
a)、窒化タンタル(TaN)、タングステン(W)、又は窒化タングステン(
WN)、酸化物(例えば二酸化ケイ素)、低k材料及び誘電体(例えば多孔質シ
リカ、フッ素ドープしたガラス、炭素ドープしたガラス及び有機ポリマー)、並
びにそれらの組み合わせを挙げることができる。本発明の系は、銅又は銅合金(
すなわち銅と1又は複数の金属との組み合わせ)の第1の金属層、Ta又はTa
Nの付着層、並びに1又は複数の酸化物層を有する基体を研磨するのに適当であ
る。
リアとしては例えば、水性キャリア(例えば水)及び非水性キャリアを挙げるこ
とができる。好ましくは液体キャリアは水である。
とも1つのペルオキシ基(−O−O−)を有する1又は複数の過酸化化合物を挙
げることができる。適当な過酸化化合物としては例えば、過酸化物(ペルオキシ
ド)、過硫酸塩(例えばモノ過硫酸塩及びジ過硫酸塩)、過炭酸塩、並びにそれ
らの酸及びそれらの塩、並びにそれらの混合を挙げることができる。他の適当な
酸化剤としては例えば、酸化ハロゲン化物(例えば塩素酸塩、臭素酸塩、ヨウ素
酸塩、過塩素酸塩、過臭素酸塩、過ヨウ素酸塩、並びにそれらの酸、及びそれら
の混合等)、過ホウ素酸、過ホウ素酸塩、過炭酸塩、ペルオキシ酸(過酢酸、過
安息香酸、m−クロロ過安息香酸、それらの塩、それらの混合物等)、過マンガ
ン酸塩、クロム酸塩、セリウム化合物、フェリシアン化物(例えばフェリシアン
化カリウム)、それらの混合等を挙げることができる。好ましい酸化剤としては
例えば、過酸化水素、尿素−過酸化水素、過酸化ナトリウム、過酸化ベンジル、
ジ−t−ブチルペルオキシド、過酢酸、一過硫酸、二過硫酸、ヨウ素酸、並びに
それらの塩及びそれらの混合を挙げることができる。
酸化剤は、約0.1〜約30.0wt%の量で系の液体部分に存在している。よ
り好ましくは酸化剤は、約0.3〜約17.0wt%の量で、系の液体部分に存
在する。最も好ましくは酸化剤は、約0.5〜約10.0wt%の量で、系の液
体部分に存在する。
意の適当な化合物でよい。適当な研磨添加剤としては例えば、銅に結合する化合
物を挙げることができる。好ましくは少なくとも1種の研磨添加剤は、有機研磨
添加剤である。研磨添加剤が、リン含有化合物、窒素含有化合物、硫黄含有化合
物、酸素含有化合物、及びそれらの混合からなる群より選択される少なくとも1
種の化合物であることも好ましい。
ては例えば、リン酸塩(例えばピロリン酸塩、トリ−リン酸塩、縮合リン酸塩)
、ホスホン酸(モノ−ホスホン酸、ジ−ホスホン酸、トリ−ホスホン酸、ポリ−
ホスホン酸)、及びホスホン酸の塩を挙げることができる。好ましいリン含有化
合物としては例えば、ピロリン酸塩、ホスホノ酢酸、エチレンジ−ホスホン酸、
1−ヒドロキシエチリデン−1,1−ジ−ホスホン酸、及びそれらの混合を挙げ
ることができる。また好ましいリン含有化合物としては例えば、Mn +1H3− n PO4及びMm +1H4−mP2O7を挙げることができる。ここでM+1は
カチオン性種(例えばNa、K、Cs、Rb、NH4 +)、nは1〜3、且つm
は0〜4である。更に、好ましいリン含有化合物はR−O−PO3であり、ここ
でRは、炭素原子が1〜18のアルキル、アリール、環及び芳香族からなる群よ
り選択される有機部分である。
化合物は例えば、アミン、アミド、アミノ酸、イミン、イミド、イミノ酸、ニト
リル、ニトロ(R−NO2)、及びそれらの混合から選択される1又は複数の基
を有する。従って適当な窒素含有化合物は例えば、第1アミン、第2アミン、第
3アミン、アミノアルコール、水酸化アミン、及びそれらの混合から選択される
1又は複数の基を有することができる。
キル基、環状基、ヘテロ原子含有環状基、芳香族基、ヘテロ原子含有芳香族基、
及びそれらの組み合わせからなる群より選択される。より好ましくは少なくとも
1種の研磨添加剤は、構造XY−NCR1R2CR3R4N−X’Y’を有し、
ここでX及びX’がH原子であり、Y、Y’、R1、R2、R3及びR4が水素
(H)原子、ヘテロ原子含有官能基、アルキル基、ヘテロ原子含有アルキル基、
環状基、ヘテロ原子含有環状基、芳香族基、ヘテロ原子含有芳香族基、及びそれ
らの組み合わせからなる群より選択される。更により好ましくは、少なくとも1
種の研磨添加剤は、構造XY−NCR1R2CR3R4N−X’Y’を有し、こ
こでX、Y、X’及びY’がH原子であり、R1、R2、R3及びR4が水素(
H)原子、ヘテロ原子含有官能基、アルキル基、ヘテロ原子含有アルキル基、環
状基、ヘテロ原子含有環状基、芳香族基、ヘテロ原子含有芳香族基、及びそれら
の組み合わせからなる群より選択される。これに関して、第1アミン基からなる
窒素含有化合物は、単独の又は第1アミン基と組み合わせた第2アミン基及び/
又は第3アミン基を含む窒素含有化合物よりも好ましい。更に、少なくとも1種
の研磨添加剤が上述のような構造を有して、この構造が、約4若しくはそれより
も多数(例えば約10若しくはそれよりも多数、約15若しくはそれよりも多数
、約20若しくはそれよりも多数、約30若しくはそれよりも多数、約40若し
くはそれよりも多数、又は約50若しくはそれよりも多数)の同様でない、同様
な又は同一の結合した構造を有するポリマーであることは適当である。最も好ま
しくは、窒素含有化合物は、ポリエチレンイミン、1,3−ジアミノ−2−プロ
パノール、イミノ−ジ−酢酸、2−アミノ−1−ブタノール、エチレンジアミン
、アミノエチルエタノールアミン、2,2’−アミノエトキシ−エタノールs、
及びそれらの混合物からなる群より選択される。
原子に言及している。適当なヘテロ原子含有官能基としては例えば、ヒドロキシ
ル基、カルボキシル酸基、エステル基、ケトン基、アミノ基(第1、第2、及び
第3アミノ基)、アミド基、イミド基、チオールエステル基、チオエーテル基、
ニトリル基、ニトロ基、ハロゲン基、及びそれらの組み合わせを挙げることがで
きる。「アルキル基」とは本明細書の記載において、任意の適当なアルキル基(
例えばC1〜C30のアルキル基、C1〜C24のアルキル基、C1〜C18の
アルキル基、C1〜C12のアルキル基、又はC1〜C6のアルキル基)、例え
ば直鎖の、枝分かれした、環状の、飽和又は不飽和の、芳香族又はヘテロ芳香族
のアルキル基を示している。「環状基」とは本明細書の記載において、任意の適
当な環状基(例えばC4〜C20の環状基のような4〜20員環の環状基)を示
している。
物としては例えば、チオール、チオエステル、チオエーテル、(R’C)(O)
(SR”)カルボチオール酸、(RC)(O)(SH)カルボチオン酸、(RC
S)(OH)チオカルボキシル酸、スルホン酸、チオサリチル酸、それらの塩、
及びそれらの混合を挙げることができ、ここでR,R’及びR”は、1〜18の
炭素原子を有するアルキル、アリール、環状及び芳香族基からなる群より選択さ
れる。好ましい硫黄含有化合物としては例えば、チオジ酢酸、チオサリチル酸及
びそれらの混合を挙げることができる。
しては例えば、ヒドロキシル酸塩、カルボニル酸塩、カルボキシル酸塩、及びそ
れらの酸を挙げることができる。適当なカルボキシル酸としては例えば、二カル
ボキシル酸、トリカルボキシル酸、及びポリカルボキシル酸を挙げることができ
る。好ましい酸素含有化合物としては例えば、マロン酸、シュウ酸、クエン酸、
酒石酸、コハク酸、リンゴ酸、アジピン酸、それらの塩及びそれらの混合を挙げ
ることができる。
、(ii)リン及び硫黄の両方を含有する化合物、(iii)窒素及び硫黄の両
方を含有する化合物、並びに(iv)リン、窒素及び硫黄を含有する化合物から
なる群より選択される1又は複数の化合物を挙げることができる。好ましい研磨
添加剤としては例えば、2−アミノエチルホスホン酸、アミノ(トリメチレンホ
スホン酸)、ジエチレントリアミンペンタ(メチレン−ホスホン酸)、ヘキサメ
チレンジアミン−テトラ(メチレンホスホン酸)、及びそれらの混合からなる群
より選択される化合物を挙げることができる。更に、好ましい研磨添加剤として
は例えば、第1、第2及び/又は第3アミンを含有するホスホン酸化合物、例え
ばN−(ホスホノメチル)イミノジ酢酸、2−アミノエチル二水素ホスフェート
、2−アミノエチルホスホン酸、2−アミノエチルホスホン酸、アミノトリ(メ
チレンホスホン酸)(すなわちDequest(商標)2000製品)、1−ヒ
ドロキシエチリデン−1,1−ジ−ホスホン酸(すなわちDequest(商標
)2010製品)、及びジエチレントリ−アミンペンタ(メチレンホスホン酸)
(すなわちDequest(商標)2060製品)を挙げることができる。
は研磨添加剤は、約0.05〜10.0wt%の量で系の液体部分に存在してい
る。より好ましくは、研磨添加剤は約0.3〜5.0wt%の量で系の液体部分
に存在している。
力を抑制する任意の適当な化合物でよい。適当な停止化合物は、上述のように、
第1の金属層、第2の層、及び/又は多層基体の1又は複数の追加の層に作用(
例えば付着)し、本発明の系による1又は複数の層の除去を少なくとも部分的に
抑制する。好ましくは停止化合物は、上述のように、多層基体の第2の層に作用
(例えば付着)し、系による第2の層の除去を少なくとも部分的に抑制する。「
少なくとも部分的に抑制」とは、本明細書の記載において、系による第1の金属
層:第2の層(例えばCu:Ta/TaN)の研磨選択性が、少なくとも約10
:1、好ましくは少なくとも約30:1、より好ましくは少なくとも約50:1
、最も好ましくは少なくとも約100:1であることを意味している。
れらの混合からなる化合物の群より選択される任意の適当なカチオン性の窒素含
有化合物でよい。また適当な停止化合物としては例えば、アミン、イミン、アミ
ド、イミド、それらのポリマー、及びそれらの混合を含む化合物の群より選択さ
れるカチオン性の窒素含有化合物であって、硫黄含有化合物又はアゾール化合物
でないものを挙げることができる。本明細書の記載において「カチオン性」とい
う用語は、系の液体部分中の停止化合物の一部(例えば約5.0%又はそれより
も多く、約10.0%又はそれよりも多く、約15.0%又はそれよりも多く、
又は約20.0%又はそれよりも多く)が、本発明の系を使用するpHにおいて
カチオンであることを意味している。好ましくは停止化合物のpKa値は、系の
液体部分の使用pHよりも1単位大きく、又はそれよりも大きい。例えばpHが
6.5の系では、好ましい停止化合物のpKa値は約7.5又はそれよりも大き
い。また好ましい停止化合物は、基体層の第2の層の表面と反対に帯電している
。適当な停止化合物としては例えば、第1アミン、第2アミン、第3アミン、第
4アミン(すなわち第4アンモニウム塩)、エーテルアミン、オリゴマーアミン
、オリゴマーイミン、オリゴマーアミド、オリゴマーイミド、、ポリマーアミン
、ポリマーイミン、ポリマーアミド、ポリマーイミド、又はそれらの混合を挙げ
ることができる。更に、適当な停止化合物としては例えば、アミノ酸、アミノア
ルコール、アミノエーテルアルコール、又はそれらの混合物を挙げることができ
る。また好ましい停止化合物としては例えば、ポリエーテルアミン、ポリエチレ
ンイミン、N4−アミン(N,N’−ビス−[3−アミノプロピル]エチレンジ
アミン)、4,7,10−トリオキサトリデカン−1,13−ジアミン、3,3
−ジメチル−4,4−ジアミノジシクロ−ヘキシルメタン、2−フェニルエチル
アミン、N,N−ジメチルジ−プロピレントリアミン、3−[2−メトキシエト
キシ]プロピルアミン、ジメチルアミノプロピル−アミン、1,4−ビス(3−
アミノプロピル)ピペラジン、及びそれらの混合を挙げることができる。更に好
ましい停止化合物としては例えば、イソホロンジアミン、ヘキサメチレンジアミ
ン、シクロヘキシル−1,3−プロパンジアミン、チオアミン(thiomic
amine)、(アミノプロピル)−1,3−プロパンジアミン、テトラエチレ
ン−ペンタアミン、テトラメチルブタンジアミン、プロピルアミン、ジアミノプ
ロパノール、アミノブタノール、(2−アミノエトキシ)エタノール、又はそれ
らの混合を挙げることができる。
任意の適当な組み合わせを含むことができる。例えば系は、ポリエチレンイミン
と、カルボキシル酸(好ましくはジ−、トリ−又はポリ−カルボキシル酸)、リ
ン酸塩(好ましくはピロリン酸塩、トリ−リン酸塩、又は縮合リン酸塩)、それ
らの酸、及びホスホン酸(好ましくはジ−、トリ−又はポリ−ホスホン酸)から
なる群より選択される少なくとも1種の研磨添加剤とを含むことができる。また
系は、カルボキシル酸(好ましくはジ−、トリ−又はポリ−カルボキシル酸)、
リン酸塩(好ましくはピロリン酸塩、トリ−リン酸塩、又は縮合リン酸塩)、そ
れらの酸、及びホスホン酸(好ましくはジ−、トリ−又はポリ−ホスホン酸)か
らなる群より選択される少なくとも1種の研磨添加剤と、2若しくはそれよりも
多数、3若しくはそれよりも多数、4若しくはそれよりも多数、5若しくはそれ
よりも多数、又は6若しくはそれよりも多数の窒素原子を有する少なくとも1種
の停止化合物(例えば2若しくはそれよりも多数のアミン基を有する少なくとも
1種の停止化合物、2若しくはそれよりも多数の第1アミン基を有する少なくと
も1種の停止化合物、2若しくはそれよりも多数のアミノ基及び4若しくはそれ
よりも多数の炭素原子を有する少なくとも1種の停止化合物、又は3若しくはそ
れよりも多数の炭素原子を有する2若しくはそれよりも多数の第1アミン基を有
する少なくとも1種の停止化合物)とを含むことができる。更に系は、カルボキ
シル酸(好ましくはジ−、トリ−又はポリ−カルボキシル酸)、リン酸塩(好ま
しくはピロリン酸塩、トリ−リン酸塩、又は縮合リン酸塩)、それらの酸、及び
ホスホン酸(好ましくはジ−、トリ−又はポリ−ホスホン酸)からなる群より選
択される少なくとも1種の研磨添加剤と、構造NR1R2R3R4を有する第4
アンモニウム塩を含むことができる。ここでR1及びR2はメチル基であり、且
つR3及びR4は水素(H)原子、ヘテロ原子含有官能基、アルキル基、ヘテロ
原子含有アルキル基、環状基、ヘテロ原子含有環状基、芳香族基、ヘテロ原子含
有芳香族基、及びそれらの組み合わせからなる群より選択される。更に系は、カ
ルボキシル酸(好ましくはジ−、トリ−又はポリ−カルボキシル酸)、リン酸塩
酸(好ましくはピロリン酸塩、トリ−リン酸塩、又は縮合リン酸塩)、それらの
酸、及びホスホン酸(好ましくはジ−、トリ−又はポリ−ホスホン酸)と、アミ
ノプロピル基を有する少なくとも1種の停止化合物及び/又は分子量(MW)が
約80又はそれよりも大きい(例えばMWが約100又はそれよりも大きい、M
Wが約250又はそれよりも大きい)少なくとも1種の停止化合物とを含むこと
ができる。更に系は、ペルオキシド、アミノトリ(メチレンホスホン酸)、及び
1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジン、並びに随意に1又は複数の5
〜6員ヘテロ窒素含有環を有する少なくとも1種の不動態フィルム形成剤を含む
ことができる。また系は、ペルオキシド、酒石酸、及びポリエチレンイミン、並
びに随意に1又は複数の5〜6員ヘテロ窒素含有環を有する少なくとも1種の不
動態フィルム形成剤を含むことができる。
止化合物は、系の液体部分に約5.0wt%又はそれ未満(例えば約0.001
〜5.0wt%)の濃度で存在することが適当である。好ましくは停止化合物は
、系の液体部分に、約3.0wt%又はそれ未満(例えば約0.05〜約3.0
wt%)の濃度で存在する。
ば本発明の系は研磨パッド(例えば研磨性のパッド又は非研磨性のパッド)及び
/又は系の液体キャリア(例えば水)中に懸濁されて系の液体部分の一部となっ
た研磨材を含むことが適当である。更に本発明の系が研磨パッド(例えば研磨性
のパッド又は非研磨性のパッド)を含み、系の液体キャリア中に研磨材が懸濁さ
れていないことが適当である。
磨パッドは例えば、米国特許第5,849,051号及び同第5,849,05
2号明細書で説明されている。適当な研磨パッドとしては例えば、織物の又は不
織の研磨パッドを挙げることができる。更に適当な研磨パッドは、様々な密度、
堅さ、厚さ、圧縮性、圧縮に対する戻り性、及び圧縮弾性の任意の適当なポリマ
ーを含むことができる。適当なポリマーとしては例えば、ポリ塩化ビニル、ポリ
フッ素化ビニル、ナイロン、フルオロカーボン、ポリカーボネート、ポリエステ
ル、ポリアクリレート、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリアミド、ポリウレタ
ン、ポリスチレン、ポリプロピレン、及びそれらの共生成物、並びにそれらの混
合を挙げることができる。系の研磨パッド上又はその中に完全に又は部分的に研
磨材を固定する(例えば埋め込む)場合、そのような研磨パッドへの固定は、任
意の適当な様式で行うことができる。
ルマニア、セリア、及びそれらの共生成物、並びにそれら混合のような金属酸化
物研磨材を挙げることができる。研磨材はフュームド生成物であってよい。好ま
しくは系の研磨材は、アルミナ(例えばフュームドアルミナ)及び/又はシリカ
(例えばフュームドシリカ)である。
定することができる。更に研磨材は、任意の適当な量で系の液体部分中に存在し
ていてよい。好ましくは研磨材は、系の液体部分に約0.1〜30.0wt%の
量で存在する。より好ましくは研磨材は、系の液体部分に約0.5〜6.0wt
%の量で存在する。
含有することができる。適当な追加の添加剤としは例えば、不動態フィルム形成
添加剤、基体の少なくとも1つの層の研磨速度を低下させるポリマー化合物、分
散剤、界面活性剤、安定化剤、pH調節剤、調節剤、緩衝剤、及び/又は金属及
び酸化物の研磨を促進及び/又は制御する他の添加剤を挙げることができる。そ
のような追加の添加剤は、当業者に既知である。
において不動態フィルム(すなわち溶解抑制層)の形成を促進することができる
任意の化合物又は化合物の混合を挙げることができる。適当な不動態フィルム形
成剤としては例えば、窒素含有ヘテロ環化合物を挙げることができる。好ましく
は、不動態フィルム形成剤は、1又は複数の5〜6員ヘテロ窒素含有環を含む。
より好ましくは、不動態フィルム形成剤は、1,2,3−トリアゾール、1,2
,4−トリアゾール、ベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール、ベンゾチアゾ
ール及びそれらの誘導体、例えばそれらのヒドロキシ−、アミノ−、イミノ−、
カルボキシ−、メルカプト−、ニトロ−及び尿素−、チオ尿素−、又はアルキル
−置換誘導体からなる群より選択される。最も好ましくは不動態フィルム形成剤
は、ベンゾトリアゾール(BTA)、1,2,3−トリアゾール、1,2,4−
トリアゾール、及びそれらの混合からなる群より選択される。
。好ましくは不動態フィルム形成剤は、本発明の系の液体部分に、約0.005
〜1.0wt%の量で存在している。好ましくは不動態フィルム形成剤は、系の
液体部分に、約0.01〜0.2wt%の量で存在している。
含有することができる。アンモニア及び/又はアンモニウム塩は、系の1又は複
数の成分(例えば研磨添加剤)と作用することによって、系の除去速度及び/又
は除去選択性(例えばCu:Taの除去選択性)を促進する。好ましくは本発明
の系は、アンモニア及び/又はアンモニウム塩と、1又は複数の研磨添加剤を含
有する。好ましくは系は、アンモニア源と、カルボキシル酸(好ましくはジ−、
トリ−又はポリ−カルボキシル酸)、リン酸塩(好ましくはピロリン酸塩、トリ
−リン酸塩、又は縮合リン酸塩)、それらの酸、及びホスホン酸(好ましくはジ
−、トリ−又はポリ−ホスホン酸)からなる群より選択される少なくとも1種の
研磨添加剤を含有する。例えば系は、アミノトリ(メチレン−ホスホン酸)と、
アンモニア源(例えばアンモニア及び/又はアンモニウム塩)を含有することが
できる。
研磨速度を減少させる任意の適当なポリマー化合物を挙げることができる。好ま
しくは系は、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオ
キシド、スルホン酸ポリマー、スルホン酸塩ポリマー、又はそれらの混合を含む
少なくとも1種のポリマー化合物を含有する。
性剤、非イオン性界面活性剤、両性界面活性剤、フッ素化界面活性剤、それらの
混合等を挙げることができる。適当なpH調整剤、調節剤又は緩衝剤としては例
えば、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、硫酸、塩酸、硝酸、ホスホン酸、ク
エン酸、リン酸カリウム、それらの混合等を挙げることができる。
本発明は、系で上述のような多層基体を研磨する方法を提供する。本発明の系は
、比較的大きい速度で基体(例えば多層基体)を研磨すること、例えば比較的大
きい速度で基体の第1の金属層、第2の層、及び/又は1又は複数の追加の層を
除去することができる。
処理することができる。好ましくは系を基体表面に適用し、基体の1又は複数の
層の少なくとも一部が除去されるようにして研磨する。より好ましくは、第1の
金属層及び第2の層を有する多層基体の第1の金属層に系を適用し、そして第1
の金属層の少なくとも一部が基体から除去されるまで、系で第1の金属層を研磨
する。第2の研磨系、組成物及び/又はスラリーを続く研磨工程で使用して、多
層基体の第2の層、誘電体層、及び/又は1又は複数の追加の層の少なくとも一
部を除去する。好ましくは第2の研磨系は、多層基体の第2の層(例えばTa又
はTaN)に対する研磨選択性が、基体の第1の金属層(例えばCu)に対する
研磨選択性よりも大きい。更に、一連の研磨工程の一部又は全ての後で清浄化組
成物を使用して、研磨された基体の断片、及び/又は研磨系、組成物及び/又は
スラリーの断片を除去することができる。
面に供給する前に配合することは適当である。また2又はそれよりも多くの別個
の供給源から系の液体部分の複数の成分を供給し、これらの成分が研磨パッドの
表面又は基体の表面において出合うようにすることによって、研磨パッドの表面
又は基体の表面で、系の液体部分を配合(例えば混合)することも適当である。
これに関して、系の液体部分の成分を研磨パッド又は基体の表面に供給する流量
(すなわち系の特定の成分の供給量)を、研磨プロセスの前に及び/又は研磨プ
ロセスの間に変化させ、それによって系の研磨選択性及び/又は粘度を変化させ
ることができる。更に、系の液体部分の特定の成分を別個の供給源から供給して
、研磨パッドの表面又は基体の表面への供給の前に、異なるpH値、実質的に同
じpH値又は等しいpH値を有するようにすることが適当である。また、特定の
成分を2又はそれよりも多くの別個の供給源から供給して、研磨パッドの表面又
は基体の表面に達する前に、それぞれ独立にろ過し又は組み合わせてろ過するこ
とも適当である。
も限定するものではないことを理解すべきである。
の1つ(すなわち例4)を除いて言及されている銅ウェハーは、それぞれタンタ
ルブランケットフィルム及び銅ブランケットフィルムであった。以下の全ての例
において言及されている二酸化ケイ素ウェハーは、厚さ約9,000Åのブラン
ケットフィルムであった。全てのブランケットフィルムは、シリコン基体に体積
させたものである。
「試験ウェハー」として言及する)は、それぞれIPEC472研磨装置で研磨
した。以下の例のうちの1つ(すなわち例4)を除く全ての例で使用されている
研磨パッドは、Rodel(商標)SUBA IVパッドに重ねられたRode
l(商標)IC1000研磨パッドであった。例4で使用した研磨パッドは、R
odel(商標)IC1000研磨パッドであり、Rodel(商標)SUBA
IVパッドに重ねられていないものであった。以下の例のうちの1つ(すなわ
ち例4)を除く全ての例の試験ウェハーは、約20kPa(3psi)の押しつ
け力、0kPa(0psi)の背圧、50rpmの定盤速度、及び30rpmの
ウェハーホルダー速度を使用して研磨した。例4の試験ウェハーは、約20kP
a(3psi)の押しつけ力、約14kPa(2psi)の背圧、55rpmの
定盤速度、及び30rpmのウェハーホルダー速度を使用して研磨した。
装置及びTencorRS−75を使用して、研磨の前後でそれぞれの試験ウェ
ハーの厚さを直接に測定することによってを決定した。
場合は水酸化アンモニウム(NH4OH)で目標pHに調節した。
添加剤及び停止化合物の種類及び存在によって影響を受けることを示している。
下の成分を含有する8つの異なる研磨系(系1A〜1Gとする)でそれぞれ研磨
した:3wt%のアルミナ(具体的にはCabot社のSemi−Sperse
(商標)W−A355製品)、2.5wt%の酸化剤(具体的にはH2O2)、
様々な濃度の研磨添加剤(具体的には1.25wt%の酒石酸、0.5wt%の
1−ジ−ホスホン酸(すなわちDequest(商標)2010製品)、0.7
5wt%のアミノトリ(メチレンホスホン酸)(すなわちDequest(商標
)2000製品)、0.8wt%のDequest(商標)2010製品、又は
2.5wt%のDequest(商標)2000製品)、並びに様々な濃度の停
止化合物(具体的には0.25wt%の、25%のエチレンイミンポリマーを含
有するLupasol(商標)SKA(すなわち0.06wt%のポリエチレン
イミン)、0.1wt%のジシアノイミダゾール、0.5wt%のLupaso
l SKA(すなわち0.12wt%のポリエチレンイミン)、0.5wt%の
ポリアクリルアミド、又は0.5wt%の1,4−ビス(3−アミノプロピル)
ピペラジン、又は0.5wt%の、セチルトリメチル塩化アンモニウムを含有す
るVarisoft(商標)300)。ここで、それぞれの系は、pHが5(系
1E)又はpHが7.7(系1A〜D、1F〜1G)であった。更に系1Cは、
0.005wt%の界面活性剤(具体的にはTriton DF−16)を含有
していた。
照」)でも研磨した:3wt%のアルミナ(具体的にはCabot社のSemi
−Sperse(商標)W−A355製品)及び2.5wt%の酸化剤(具体的
にはH2O2)。ここでこの標準対照系のpHは7.7であった。更に、比較の
ために、以下の(i)及び(ii)の比較系でも試験ウェハーを研磨した:(i
)3wt%のアルミナ(具体的にはCabot社のSemi−Sperse(商
標)W−A355製品)、2.5wt%の酸化剤(具体的にはH2O2)及び1
.25wt%の研磨添加剤(具体的には酒石酸)を伴う比較研磨系(「比較1」
)、並びに(ii)3wt%のアルミナ(具体的にはCabot社のSemi−
Sperse(商標)W−A355製品)、2.5wt%の酸化剤(具体的には
H2O2)及び1wt%の研磨添加剤(具体的にはDequest(商標)20
10製品)を伴う比較研磨系(「比較2」)。ここでそれぞれの比較系のpHは
7.7であった。
RR)、並びに銅のタンタルに対する相対的な除去速度(「Cu:Ta」)を測
定した。試験結果のデータは表1に示している。
る系(系1A〜1G)によって示される銅の除去とタンタルの除去との比(すな
わちCu:Ta除去選択性)は、標準対照研磨系と比較2の研磨系の両方のCu
:Ta除去選択性よりも大きく、また比較1の系のCu:Ta除去選択性と同様
又はそれよりも大きかった。更に、研磨添加剤及び停止化合物を含有す研磨系(
系1A〜1G)によって示されるSiO2除去速度は、比較1の研磨系によって
示されるSiO2の除去速度と同様又はそれよりも小さかった。
せの重要性、並びに特定の停止化合物と組み合わせた特定の研磨添加剤の、本発
明の系及び方法によって達成可能な研磨速度及び選択性への影響を示している。
磨添加剤及び停止化合物の存在及び種類に依存していることを示す。
以下の成分を含む3つの異なる研磨系(系2A〜2Cとする)でそれぞれ研磨し
た:5wt%のシリカ(具体的にはCabot社のCab−O−Sperse(
商標)SC−E製品)、2.5wt%の酸化剤(具体的にはH2O2)、様々な
濃度の研磨添加剤(具体的には0.8wt%の1−ジ−ホスホン酸(すなわちD
equest(商標)2010製品)、0.75wt%のアミノトリ(メチレン
ホスホン酸)(すなわちDequest(商標)2000製品)、又は0.75
wt%のジエチレントリアミンペンタ(メチレンホスホン酸)(すなわちDeq
uest(商標)2060製品))、並びに0.5wt%の停止化合物(具体的
には0.5wt%の、25%のエチレンイミンポリマーを含有するLupaso
l(商標)SKA(すなわち0.12wt%のポリエチレンイミン))。ここで
、それぞれの系は、pHが7.7であった。比較のために、試験ウェハーを、以
下の成分を含有する標準対照系(「標準対照」)でも研磨した:5wt%のシリ
カ(具体的にはCabot社のCab−O−Sperse(商標)SC−E製品
)及び2.5wt%の酸化剤(具体的にはH2O2)。ここでこの標準対照系の
pHは8であった。系の使用の後で、それぞれの系による銅、タンタル及びSi
O2の除去速度(RR)、並びに銅のタンタルに対する相対的な除去速度(「C
u:Ta」)を測定した。試験結果のデータは表2に示している。
る系(系2A〜2C)によって示される銅の除去とタンタルの除去との比(すな
わちCu:Ta除去選択性)は、研磨添加剤及び停止化合物を含有していない標
準対照系のCu:Ta除去選択性よりも大きかった。更に、停止化合物及びDe
quest(商標)2060製品を含有する系(系2C)の銅除去速度及びCu
:Ta除去選択性は、停止化合物及びDequest(商標)2000製品を含
有する系(系2B)の銅除去速度及びCu:Ta除去選択性よりも大きかった。
またこの系2Bの銅除去速度及びCu:Ta除去選択性は、停止化合物及びDe
quest(商標)2010製品を含有する系(系2A)の銅除去速度及びCu
:Ta除去選択性よりも大きかった。更に研磨添加剤及び停止化合物を含有する
系(系2A〜2C)によって示されるSiO2除去速度は、研磨添加剤及び停止
化合物を含有しない標準対照系のSiO2の除去速度よりも大きかった。
せの重要性、並びに停止化合物と組み合わせた特定の研磨添加剤の、本発明の方
法によって達成可能な研磨速度及び選択性への影響を示している。
止化合物の種類に依存していることを示す。
以下の成分を含む14の異なる研磨組成物でそれぞれ研磨した:3wt%のアル
ミナ(具体的にはCabot社のSemi−Sperse(商標)W−A355
製品)、2.5wt%の酸化剤(具体的にはH2O2)、1wt%研磨添加剤(
具体的にはシュウ酸アンモニウム((NH4)2C2O4))、及び様々な濃度
の停止化合物(具体的には0.2wt%のイソホロンジアミン、0.2wt%の
ヘキサメチレンジアミン、0.2wt%のN−シクロヘキシル−1,3−プロパ
ンジアミン、0.2wt%のN−(3−アミノプロピル)−1,3−プロパンジ
アミン、0.2wt%のテトラエチレンペンタアミン、0.2wt%のN,N,
N’,N’−テトラメチル−1,4−ブタンジアミン、0.5wt%のプロピル
アミン、0.2wt%の2−(2−アミノエトキシ)エタノール、2.0wt%
の1,3−ジアミノ−2−プロパノール、1.0wt%のチオアミン、3.0w
t%の2−アミノ−1−ブタノール、0.2wt%の4,7,10−トリオキサ
−1,13−トリデカンジアミン、0.2wt%のリシン、0.2wt%のポリ
[ビス(2−クロロエーテル)−アルト−1,3−ビス(3−ジメチルアミノ)
プロピル])。ここで、それぞれの系はpHが7.6であった。比較のために、
試験ウェハーを、以下の成分を含有する標準対照系(「標準対照」)によっても
研磨した:3wt%のアルミナ(具体的にはCabot社のSemi−Sper
se(商標)W−A355製品)、2.5wt%の酸化剤(具体的にはH2O2 )、及び1wt%の研磨添加剤(具体的にはシュウ酸アンモニウム(NH4)2 C2O4)。ここでこの標準対照系のpHは7.6であった。研磨組成物の使用
の後で、それぞれの系による相対的なタンタル(Ta)除去速度及び相対的な二
酸化ケイ素(SiO2)除去速度を、標準対照系の除去速度と比較して決定した
。試験結果のデータは表3に示している。
る評価した研磨系によって示される相対的なタンタル除去速度は、研磨添加剤及
び停止化合物の両方を含有していない標準対照系の相対的なタンタル除去速度よ
りも望ましく小さい。更に、研磨添加剤及び停止化合物を含有する評価した研磨
系のうちの1つを除く全てによって示される相対的SiO2除去速度は、研磨添
加剤及び停止化合物の両方を含有しない標準対照系の相対的SiO2の除去速度
よりも望ましく小さかった。
明の方法によって達成可能な除去速度及び選択性へ特定の停止化合物の影響を示
している。
陥の最少化が、系の停止化合物の種類に依存していることを示す。
以下の成分を含む2つの異なる研磨系(系4A及び4Bとする)でそれぞれ研磨
した:3wt%のアルミナ(具体的にはCabot社のSemi−Sperse
(商標)W−A355製品)、2.5wt%の酸化剤(具体的にはH2O2)、
1.25wt%研磨添加剤(具体的には酒石酸)、及びそれぞれ0wt%又は0
.06wt%の停止化合物(具体的にはエチレンイミンポリマー(すなわちLu
pasol SKA))。ここで、それぞれの系はpHが7.7であった。系の
使用の後で、銅のタンタルに対する相対的な除去(「Cu:Ta」)、銅のディ
ッシッング、及びSiO2のエロージョンを測定した。この結果のデータは下記
の表4に示している。銅ラインのウェハーディッシッング(すなわち銅ディッシ
ッング)及びSiO2のエロージョンは、Tencor P−20 Long
Scan Profilerを使用して測定した。銅ディッシッングは、10μ
m構造寸法及び50μm構造寸法(「10μm/50μm」)で測定した。Si
O2エロージョンは、2μmライン及び4μmピッチのアレー(「2μm/4μ
mアレー」)に関して測定した。
る研磨系(系4B)によって示される銅除去とタンタル除去との比(すなわちC
u:Ta除去選択性)は、研磨添加剤のみを含有する系(系4A)によって示さ
れるCu:Ta除去選択性よりも大きかった。更に、研磨添加剤及び停止化合物
を含有する系(系4B)によって示されるCuディッシッング及びSiO2エロ
ージョンは、研磨添加剤のみを含有する系(系4A)によって示されるCuディ
ッシッング及びSiO2エロージョンよりも小さかった。
によって研磨される基体の表面欠陥の最少化に関して、本発明の系における停止
化合物の存在の重要性を示している。
ての参考文献は、ここで参照してその記載の全てを本明細書の記載に含める。
が使用できること、及び本明細書で特定した以外でも本発明を実施できることは
当業者に明らかである。従って本発明は、特許請求の範囲に示される範囲及び本
質内の全ての変形を包含している。
Claims (32)
- 【請求項1】 (i)液体キャリア、(ii)少なくとも1種の酸化剤、(
iii)系が基体の少なくとも1つの層を研磨する速度を増加させる少なくとも
1種の研磨添加剤、(iv)第1の金属層:第2の層の研磨選択性が少なくとも
約30:1の少なくとも1種の停止化合物、並びに(v)研磨パッド及び/又は
研磨材を含み、前記停止化合物が、アミン、イミン、アミド、イミド及びそれら
の混合を含む化合物から選択されるカチオン性の窒素含有化合物である、第1の
金属層及び第2の層を有する多層基体の1又は複数の層を研磨する系。 - 【請求項2】 (i)液体キャリア、(ii)少なくとも1種の酸化剤、(
iii)系が基体の少なくとも1つの層を研磨する速度を増加させる少なくとも
1種の研磨添加剤、並びに(iv)第1の金属層:第2の層の研磨選択性が少な
くとも約30:1の少なくとも1種の停止化合物を含有し、前記停止化合物が、
アミン、イミン、アミド、イミド及びそれらの混合を含む化合物から選択される
カチオン性の窒素含有化合物であり、(v)研磨パッド及び/又は研磨材と共に
使用される、第1の金属層及び第2の層を有する多層基体の1又は複数の層を研
磨する組成物。 - 【請求項3】 前記液体キャリアが非水性溶媒である、請求項1又は2に記
載の系。 - 【請求項4】 前記液体キャリアが水である、請求項1又は2に記載の系。
- 【請求項5】 前記系が前記液体キャリアに懸濁される研磨材を含有してい
る、請求項1〜4のいずれかに記載の系。 - 【請求項6】 前記研磨材が前記研磨パッドに固定されている、請求項1〜
4のいずれかに記載の系。 - 【請求項7】 研磨材が存在せず、且つ前記研磨パッドが非研磨性のパッド
である、請求項1〜4のいずれかに記載の系。 - 【請求項8】 前記少なくとも1種の停止化合物が、第1アミン、第2アミ
ン、第3アミン、第4アミン、エーテルアミン、オリゴマーアミン、オリゴマー
イミン、オリゴマーアミド、オリゴマーイミド、ポリマーアミン、ポリマーイミ
ン、ポリマーアミド、ポリマーイミド、及びそれらの混合を含む化合物から選択
される、請求項1〜7のいずれかに記載の系。 - 【請求項9】 前記少なくとも1種の停止化合物が、アミノ酸、アミノアル
コール、アミノエーテルアルコール、及びそれらの混合からなる群より選択され
る、請求項1〜7のいずれかに記載の系。 - 【請求項10】 前記少なくとも1種の停止化合物が、ポリエーテルアミン
、ポリエチレンイミン、N4−アミン(N,N’−ビス−[3−アミノプロピル
]エチレンジアミン)、4,7,10−トリオキサトリデカン−1,13−ジア
ミン、3,3−ジメチル−4,4−ジアミノジシクロヘキシルメタン、2−フェ
ニルエチルアミン、N,N−ジメチルジプロピレントリアミン、3−[2−メト
キシエトキシ]プロピルアミン、ジメチルアミノプロピルアミン、1,4−ビス
(3−アミノプロピル)ピペラジン、及びそれらの混合からなる群より選択され
る、請求項1〜8のいずれかに記載の系。 - 【請求項11】 前記停止化合物が、イソホロンジアミン、ヘキサメチレン
ジアミン、シクロヘキシル−1,3−プロパンジアミン、チオアミン、(アミノ
プロピル)−1,3−プロパンジアミン、テトラエチレン−ペンタアミン、テト
ラメチルブタンジアミン、プロピルアミン、ジアミノプロパノール、アミノブタ
ノール、(2−アミノエトキシ)エタノール、又はそれらの混合からなる群より
選択される、請求項1〜9のいずれかに記載の系。 - 【請求項12】 前記少なくとも1種の停止化合物が、約5wt%又はそれ
未満の濃度で前記液体キャリア中に存在する、請求項1〜11のいずれかに記載
の系。 - 【請求項13】 前記少なくとも1種の停止化合物が、約3wt%又はそれ
未満の濃度で前記液体キャリア中に存在する、請求項12に記載の系。 - 【請求項14】 前記少なくとも1種の研磨添加剤が、リン含有化合物、窒
素含有化合物、硫黄含有化合物、カルボキシル酸、およびそれらの混合からなる
群より選択される、請求項1〜13のいずれかに記載の系。 - 【請求項15】 ポリエチレンイミンを含む少なくとも1種の停止化合物と
、ジ−カルボキシル酸、トリ−カルボキシル酸、ポリ−カルボキシル酸、ピロリ
ン酸塩、トリ−リン酸塩、縮合リン酸塩、ジ−ホスホン酸、トリ−ホスホン酸、
ポリ−ホスホン酸、及びそれらの混合からなる群より選択される少なくとも1種
の研磨添加剤を含有する、請求項1〜14のいずれかに記載の系。 - 【請求項16】 2又はそれよりも多くのアミン基を有する少なくとも1種
の停止化合物と、ジ−カルボキシル酸、トリ−カルボキシル酸、ポリ−カルボキ
シル酸、ピロリン酸塩、トリ−リン酸塩、縮合リン酸塩、ジ−ホスホン酸、トリ
−ホスホン酸、ポリ−ホスホン酸、及びそれらの混合からなる群より選択される
少なくとも1種の研磨添加剤を含有する、請求項1〜15のいずれかに記載の系
。 - 【請求項17】 2又はそれよりも多くの第1アミン基を有する少なくとも
1種の停止化合物と、ジ−カルボキシル酸、トリ−カルボキシル酸、ポリ−カル
ボキシル酸、ピロリン酸塩、トリ−リン酸塩、縮合リン酸塩、ジ−ホスホン酸、
トリ−ホスホン酸、ポリ−ホスホン酸、及びそれらの混合からなる群より選択さ
れる少なくとも1種の研磨添加剤を含有する、請求項1〜16のいずれかに記載
の系。 - 【請求項18】 前記少なくとも1種の停止化合物が2又はそれよりも多く
の第1アミン基を有し、且つ前記少なくとも1種の研磨添加剤が、ジ−カルボキ
シル酸、トリ−カルボキシル酸、ポリ−カルボキシル酸、及びそれらの混合から
なる群より選択される、請求項1〜17のいずれかに記載の系。 - 【請求項19】 前記少なくとも1種の停止化合物が2又はそれよりも多く
の第1アミン基を有し、且つ前記少なくとも1種の研磨添加剤が、ジ−ホスホン
酸、トリ−ホスホン酸、ポリ−ホスホン酸、及びそれらの混合からなる群より選
択される、請求項1〜18のいずれかに記載の系。 - 【請求項20】 前記少なくとも1種の停止化合物の分子量が約100超で
ある、請求項1〜19のいずれかに記載の系。 - 【請求項21】 前記少なくとも1種の停止化合物がアミノプロピル基を有
する、請求項1〜20のいずれかに記載の系。 - 【請求項22】 前記少なくとも1種の停止化合物が3又はそれよりも多く
の炭素原子を有する、請求項1〜21のいずれかに記載の系。 - 【請求項23】 前記少なくとも1種の酸化剤がペルオキシドである、請求
項1〜22のいずれかに記載の系。 - 【請求項24】 ペルオキシド、アミノトリ(メチレンホスホン酸)、及び
1,4−ビス(3−アミノプロピル)ピペラジンを含有している、請求項1〜2
3のいずれかに記載の系。 - 【請求項25】 ペルオキシド、酒石酸、及びポリエチレンイミンを含有し
ている、請求項1〜23のいずれかに記載の系。 - 【請求項26】 前記基体に結合した少なくとも1つの層の研磨速度を低下
させる少なくとも1種のポリマー化合物を更に含有している、請求項1〜25の
いずれかに記載の系。 - 【請求項27】 少なくとも1種の不動態フィルム形成剤を更に含有してい
る、請求項1〜26のいずれかに記載の系。 - 【請求項28】 前記研磨材が金属酸化物研磨材である、請求項1〜27の
いずれかに記載の系。 - 【請求項29】 前記研磨材が、アルミナ、セリア、ゲルマニア、シリカ、
チタニア、ジルコニア、及びそれらの共生成物、並びにそれらの混合からなる群
より選択される、請求項28に記載の系。 - 【請求項30】 前記研磨材がアルミナである、請求項29に記載の系。
- 【請求項31】 請求項1〜30のいずれかに記載の系を基体の表面に接触
させること、及びこの系によって前記基体の少なくとも一部を研磨することを含
む、基体の研磨方法。 - 【請求項32】 (a)請求項1〜30のいずれかに記載の系を、第1の金
属層に接触させること、及び (b)前記基体から第1の金属層の少なくとも一部が除去れるまで、前記第1
の金属層を前記系で研磨すること、 を含む、第1の金属層及び第2の層を有する多層基体の1又は複数の層を研磨す
る方法。
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