JP2000165754A - 固体撮像装置および固体撮像装置の信号読出し方法 - Google Patents

固体撮像装置および固体撮像装置の信号読出し方法

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JP2000165754A
JP2000165754A JP10337611A JP33761198A JP2000165754A JP 2000165754 A JP2000165754 A JP 2000165754A JP 10337611 A JP10337611 A JP 10337611A JP 33761198 A JP33761198 A JP 33761198A JP 2000165754 A JP2000165754 A JP 2000165754A
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signal
signal charge
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克仁 櫻井
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Toshitake Ueno
勇武 上野
Toru Koizumi
徹 小泉
Tetsunobu Kouchi
哲伸 光地
Takumi Hiyama
拓己 樋山
Shigetoshi Sugawa
成利 須川
Hideyuki Arai
秀雪 新井
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    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/50Control of the SSIS exposure
    • H04N25/57Control of the dynamic range
    • H04N25/59Control of the dynamic range by controlling the amount of charge storable in the pixel, e.g. modification of the charge conversion ratio of the floating node capacitance

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 同じ蓄積期間の信号電荷を用いて、ダイナミ
ックレンジの異なる画像信号を得ることができない。 【解決手段】 光電変換部PDと、光電変換部から信号
電荷を転送する転送手段MTXと、転送された信号電荷を
保持する容量手段と、容量手段に保持された信号電荷に
対応して信号を出力する増幅手段MSFと、を有する固体
撮像装置であって、容量手段は、第1の容量値の容量部
CFDと、第1の容量値を増大させて第2の容量値とする
ために容量部に容量を付加する付加容量部Coxと、を有
し、増幅手段からの信号読出しは、信号電荷を容量部と
付加容量部とに保持して信号を読み出す第1の読出しモ
ードと、信号電荷を容量部に保持して信号を読み出す第
2の読出しモードと、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は固体撮像装置および
固体撮像装置の信号読出し方法に係わり、特に光電変換
部と、該光電変換部から信号電荷を転送する転送手段
と、転送された信号電荷を保持する容量手段と、該容量
手段に保持された信号電荷に対応して信号を出力する増
幅手段と、を有する固体撮像装置および固体撮像装置の
信号読出し方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、固体撮像装置において、ダイナミ
ックレンジを拡大させようとする場合には、例えば、同
一の画素から蓄積時間の異なる2種類の信号を読み出
し、この2種類の信号を組み合わせて、ダイナミックレ
ンジを拡大させる方法、すなわち、感度は高いがダイナ
ミックレンジの小さい信号と、感度が低いがダイナミッ
クレンジの大きい信号を組み合わせてダイナミックレン
ジを拡大させる方法がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法は、ある蓄積時間で信号電荷の蓄積を行なった後
に、再度、蓄積時間を変えて信号電荷の蓄積を行なう必
要があるので、得られる信号は異なる蓄積期間の画像信
号となる。
【0004】本発明の目的は、同じ蓄積期間の信号電荷
を用いて、ダイナミックレンジの異なる画像信号を得る
ことができる固体撮像装置および固体撮像装置の信号読
出し方法を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置
は、光電変換部と、該光電変換部から信号電荷を転送す
る転送手段と、転送された信号電荷を保持する容量手段
と、該容量手段に保持された信号電荷に対応して信号を
出力する増幅手段と、を有する固体撮像装置であって、
前記容量手段は、第1の容量値の容量部と、該第1の容
量値を増大させて第2の容量値とするために該容量部に
容量を付加する付加容量部と、を有し、前記増幅手段か
らの信号読出しは、前記信号電荷を前記容量部と前記付
加容量部とに保持して信号を読み出す第1の読出しモー
ドと、前記信号電荷を前記容量部に保持して信号を読み
出す第2の読出しモードと、を有する固体撮像装置であ
る。
【0006】また、本発明の固体撮像装置は、光電変換
部と、該光電変換部から転送された信号電荷を保持する
容量手段と、該光電変換部から信号電荷を転送するとと
もに、チャネルによって生ずる容量を前記容量手段に付
加して容量値を増大させる転送用電界効果型トランジス
タと、該容量手段に保持された信号電荷または該容量手
段と該転送用電界効果型トランジスタの容量とに保持さ
れた信号電荷に対応して信号を出力する増幅手段と、を
有する固体撮像装置であって、前記増幅手段からの信号
読出しは、前記信号電荷を前記容量手段と前記転送用電
界効果型トランジスタの容量とに保持して信号を読み出
す第1の読出しモードと、前記信号電荷を前記容量手段
に保持して信号を読み出す第2の読出しモードと、を有
する固体撮像装置である。
【0007】また、本発明の固体撮像装置は、光電変換
部と、該光電変換部から信号電荷を転送する第1及び第
2の転送手段と、該第1の転送手段と該第2の転送手段
との間に設けられた、転送された信号電荷を保持する第
1の容量手段と、該第2の転送手段の出力側に設けられ
た、転送された信号電荷を保持する第2の容量手段と、
該第1の容量手段と該第2の容量手段とに保持された信
号電荷または該第2の容量手段に保持された信号電荷に
対応して信号を出力する増幅手段と、を有する固体撮像
装置であって、前記増幅手段からの信号読出しは、前記
信号電荷を前記第1及び第2の容量手段に保持して信号
を読み出す第1の読出しモードと、前記信号電荷を前記
第2の容量手段に保持して信号を読み出す第2の読出し
モードとを有する固体撮像装置である。
【0008】また、本発明の固体撮像装置は、光電変換
部と、該光電変換部から信号電荷を転送する転送手段
と、転送された信号電荷を保持する容量手段と、該容量
手段に信号電荷が保持されない状態で第1の信号を出力
するとともに、該容量手段に信号電荷が保持された状態
で該信号電荷に対応して第2の信号を出力する増幅手段
と、を有する固体撮像装置であって、前記容量手段は、
第1の容量値の容量部と、該第1の容量値を増大させて
第2の容量値とするために該容量部に容量を付加する付
加容量部と、を有し、前記増幅手段からの第1の信号の
読出しは、信号電荷が保持されない状態の前記容量部か
ら信号を読み出す第1の非保持読出しモードと、信号電
荷が保持されない状態の前記容量部と前記付加容量部と
から信号を読み出す第2の非保持読出しモードとを有
し、前記増幅手段からの第2の信号の読出しは、前記信
号電荷を前記容量部に保持した状態で信号を読み出す第
1の保持読出しモードと、前記信号電荷を前記容量部と
前記付加容量部とに保持した状態で信号を読み出す第2
の保持読出しモードとを有する固体撮像装置である。
【0009】また、本発明の固体撮像装置は、光電変換
部と、該光電変換部から転送された信号電荷を保持する
容量手段と、該光電変換部から信号電荷を転送するとと
もに、チャネルによって生ずる容量を前記容量手段に付
加して容量値を増大させる転送用電界効果型トランジス
タと、該容量手段に信号電荷が保持されない状態で第1
の信号を出力するとともに、該該容量手段に保持された
信号電荷または該容量手段と該転送用電界効果型トラン
ジスタの容量とに保持された信号電荷に対応して第2の
信号を出力する増幅手段と、を有する固体撮像装置であ
って、前記増幅手段からの第1の信号読出しは、信号電
荷が保持されない状態での前記容量手段から信号を読み
出す非保持読出しモードと、前記増幅手段からの第2の
信号読出しは、前記信号電荷を前記容量手段と前記転送
用電界効果型トランジスタの容量とに保持した状態で信
号を読み出す第1の保持読出しモードと、前記信号電荷
を前記容量手段に保持した状態で信号を読み出す第2の
保持読出しモードと、を有する固体撮像装置である。
【0010】また、本発明の固体撮像装置は、光電変換
部と、該光電変換部から信号電荷を転送する第1及び第
2の転送手段と、該第1の転送手段と該第2の転送手段
との間に設けられた、転送された信号電荷を保持する第
1の容量手段と、該第2の転送手段の出力側に設けられ
た、転送された信号電荷を保持する第2の容量手段と、
該第1の容量手段と該第2の容量手段または該第2の容
量手段に信号電荷が保持されない状態で第1の信号を出
力するとともに、該第1の容量手段と該第2の容量手段
とに信号電荷が保持された状態または該第2の容量手段
に信号電荷が保持された状態で該信号電荷に対応して第
2の信号を出力する増幅手段と、を有する固体撮像装置
であって、前記増幅手段からの第1の信号読出しは、信
号電荷が保持されない状態の該第1及び第2の容量手段
から信号を読み出す第1の非保持読出しモードと、信号
電荷が保持されない状態の該第2の容量手段から信号を
読み出す第2の非保持読出しモードとを有し、前記増幅
手段からの第2の信号読出しは、前記信号電荷を該第1
及び第2の容量手段に保持した状態で信号を読み出す第
1の保持読出しモードと、前記信号電荷を該第2の容量
手段に保持した状態で信号を読み出す第2の保持読出し
モードとを有する固体撮像装置である。
【0011】本発明の固体撮像装置の信号読出し方法
は、光電変換部で発生した信号電荷を容量手段に保持
し、該容量手段に保持された信号電荷に対応する信号を
増幅手段により出力する固体撮像装置の信号読出し方法
であって、前記光電変換部で発生した信号電荷を第1の
容量値に設定された前記容量手段に保持して前記増幅手
段により出力する第1の読出しモードと、前記第1の読
出しモード後に、前記容量手段の容量値を前記第1の容
量値から第2の容量値に変え、該第2の容量値に設定さ
れた前記容量手段に保持された信号電荷に対応する信号
を前記増幅手段により出力する第2の読出しモードと、
を有する固体撮像装置の信号読出し方法である。
【0012】また、本発明の固体撮像装置の信号読出し
方法は、光電変換部で発生した信号電荷を容量手段に保
持した状態で、該信号電荷に対応する信号を増幅手段に
より出力する保持読出しモードと、該信号電荷が前記容
量手段に保持されない状態で信号を前記増幅手段により
出力する非保持読出しモードとを有する固体撮像装置の
信号読出し方法であって、前記保持読出しモードは、第
1の容量値に設定された前記容量手段に前記信号電荷を
保持した状態で前記増幅手段により出力する第1の保持
読出しモードと、容量値が前記第1の容量値と異なる第
2の容量値に設定された前記容量手段に前記信号電荷を
保持した状態で前記増幅手段により出力する第2の保持
読出しモードとを有し、前記非保持読出しモードは、第
1の容量値に設定された前記容量手段に前記信号電荷を
保持しない状態で前記増幅手段により出力する第1の非
保持読出しモードと、容量値が前記第1の容量値と異な
る第2の容量値に設定された前記容量手段に前記信号電
荷を保持しない状態で前記増幅手段により出力する第2
の非保持読出しモードとを有する固体撮像装置の信号読
出し方法である。
【0013】また、本発明の固体撮像装置の信号読出し
方法は、光電変換部で発生した信号電荷を容量手段に保
持した状態で、該信号電荷に対応する信号を増幅手段に
より出力する保持読出しモードと、前記信号電荷が前記
容量手段に保持されない状態で信号を前記増幅手段によ
り出力する非保持読出しモードとを有する固体撮像装置
の信号読出し方法であって、前記保持読出しモードは、
第1の容量値に設定された前記容量手段に前記信号電荷
を保持した状態で前記増幅手段により出力する第1の保
持読出しモードと、容量値が前記第1の容量値と異なる
第2の容量値に設定された前記容量手段に前記信号電荷
を保持した状態で前記増幅手段により出力する第2の保
持読出しモードとを有し、前記非保持読出しモードは、
前記第2の容量値に設定された前記容量手段に前記信号
電荷を保持しない状態で前記増幅手段により出力する非
保持読出しモードを有する固体撮像装置の信号読出し方
法である。
【0014】また本発明の固体撮像装置は、光電変換部
と、該光電変換部からの信号電荷を転送する転送手段
と、転送された信号電荷を保持する容量手段と、該容量
手段に保持された信号電荷に対応して信号を出力する増
幅手段と、を有する固体撮像装置であって、前記容量手
段は、複数の異なる容量値に設定するための設定手段を
有し、前記信号電荷からの信号の読み出しは、各容量値
において前記容量手段に保持された信号電荷を読み出す
複数の読み出しモードを有する固体撮像装置である。
【0015】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
説明する。 (第1実施例)図1は本発明の固体撮像装置の第1実施
例を示す概略的構成図である。
【0016】同図において、PDはフォトダイオード、
MTXは転送スイッチ、MRESはリセットスイッチ、MSEL
は選択スイッチ、MSFは増幅手段、CFDは容量、Coxは
MOSの反転容量であり、これらの部材により一画素セ
ルが構成される。容量CFDは信号電荷が転送されるフロ
ーティングディフュージョンの容量であり、MOSのソ
ースドレイン接合容量、配線容量等で生ずる寄生容量等
で構成される。MOS反転容量Coxはゲートに印加され
る電圧により生ずる容量であり、必要に応じて容量CFD
に付加される容量である。各スイッチ及び増幅手段はM
OSトランジスタで構成されている。なお、ここではエ
リアセンサに用いる画素を示しているため選択スイッチ
MSELを設けているが、ラインセンサの場合は選択スイ
ッチMSELは省かれる。
【0017】増幅手段MSFは切換スイッチMTN1,MTN
2,MTS1,MTS2を介して容量CTN1,CTN2,CTS1,C
TS2に接続され、容量CTN1,CTN2は共通出力手段MTH
1,MTH2を介して差動アンプAの反転入力端子(−)に
接続され、容量CTS1,CTS2は共通出力手段MTH3,MT
H4を介して差動アンプAの非反転入力端子(+)に接続
される。φTX,φRES,φSEL,φTN1,φTN2,φTS1,
φTS2は、それぞれ転送スイッチMTX、リセットスイッ
チMRES、選択スイッチMSEL、切換手段MTN1,MTN2,
MTS1,MTS2を制御する信号である。またφcapはMO
S反転容量Coxを形成するための制御信号、φTHは共通
出力手段MTH1,MTH2,MTH3,MTH4を制御する信号で
ある。
【0018】次に上記固体撮像装置の動作について、図
2のタイミングチャートを用いて説明する。
【0019】まず、φRESをハイレベルとしリセットス
イッチMRESをオンして、増幅手段MSFのゲートをリセ
ットする。φcapがロウレベルで容量Coxが付加され
ず、増幅手段のゲートに容量CFDが付いた状態で、φSE
L,φTN1をハイレベルとして選択スイッチMSEL、切換
スイッチMTN1をオンして、増幅手段MSFよりリセット
後のノイズ信号N1を読み出し、容量CTN1に蓄積する
(第1ノイズ読出し)。
【0020】次に、φcapをハイレベルとして容量CFD
に容量Coxを付加した状態で、φSEL,φTN2をハイレベ
ルとして選択スイッチMSEL、切換スイッチMTN2をオン
して、増幅手段MSFよりノイズ信号N2を読み出し、容
量CTN2に蓄積する(第2ノイズ読出し)。こうするこ
とで、同一リセット後の、増幅手段MSFのゲートにそれ
ぞれ異なる容量が付加された状態でのノイズ信号を読出
し、蓄積することができる。
【0021】その後、φTXをハイレベルとしてフォトダ
イオードPDから信号電荷を転送する。φcapをハイレ
ベルとしたまま、容量CFDに容量Coxを付加した状態
で、φSEL,φTS1をハイレベルとして選択スイッチMSE
L、切換スイッチMTS1をオンして、増幅手段MSFよりノ
イズ信号N2を含んだセンサ信号S1を読み出し、容量C
TS1に蓄積する(第1信号読出し)。次に、φcapをロウ
レベルとして容量Coxをなくし、増幅手段MSFのゲート
に容量CFDが付加された状態で、φSEL,φTS2をハイレ
ベルとして選択スイッチMSEL、切換スイッチMTS2をオ
ンして、増幅手段MSFよりノイズ信号N1を含んだセン
サ信号S2を読み出し、容量CTS2に蓄積する(第2信号
読出し)。こうすることで、同一蓄積期間に蓄積された
信号電荷に基づく、ダイナミックレンジの異なる二つの
センサ信号を得ることができる。
【0022】次に、φTHをハイレベルとして、容量CTN
1,CTN2からノイズ信号N1,N2を共通線で加算して読
み出し、容量CTS1,CTS2からそれぞれノイズ信号N
2,N1を含んだセンサ信号S1,S2を共通線で加算して
読み出し、差動アンプにより(S1+S2)−(N1+N
2)の減算処理を行なう。このようにして得られた信号
は、図3に示すような光電変換特性を示す。図3に示す
ように、(S1+S2)−(N1+N2)の出力は、(S1
−N2)の信号と(S2−N1)の信号とが加算された信
号となる。
【0023】以上説明した読出し動作を図4(a)〜
(d)のポテンシャル図に基づいて説明する。
【0024】図4(a)は第1ノイズ読出し時のポテン
シャル図であり、容量Coxが形成されず、容量CFDの状
態でノイズ(N1)が読み出される。転送スイッチはオ
フされていて障壁が高く、信号電荷はフォトダイオード
PDに蓄積された状態となっている。図4(b)は第2
ノイズ読出し時のポテンシャル図であり、容量Coxが形
成され、容量CFDに容量Coxが付加された状態でノイズ
(N2)が読み出される。図4(c)は第1信号読出し
時のポテンシャル図であり、転送スイッチがオンされ
て、信号電荷がフォトダイオードPDから容量CFD,C
oxに転送された後の状態を示している。容量CFD,Cox
に信号電荷が蓄積された状態でセンサ信号(S1)が読
み出される。図4(d)は第2信号読出し時のポテンシ
ャル図であり、容量Coxが消滅し、容量CFDに信号電荷
が移行して蓄積された状態であり、この状態でセンサ信
号(S2)が読み出される。以上のようにして、容量が
異なった状態で、第1および第2ノイズ信号、第1およ
び第2センサ信号が読み出される。
【0025】図5は、本発明の他の信号読出し方法を示
す図である。図5に示すように、ここではまず、φcap
をハイレベルとしたままリセットを行い、φcapがハイ
レベルで容量CFDに容量Coxを付加した状態で、増幅手
段MSFよりノイズ信号N11を読み出し、次に、φcapを
ロウレベルとして容量Coxをなくし、増幅手段MSFのゲ
ートに容量CFDに容量Coxを付加しない状態で、増幅手
段MSFよりノイズ信号N12を読み出す。
【0026】その後、φcapをハイレベルとし、容量CF
Dに容量Coxを付加した状態で、増幅手段MSFよりノイ
ズ信号N11を含んだセンサ信号S11を読み出し、次に、
φcapをロウレベルとして容量Coxをなくし、容量CFD
に容量Coxを付加しない状態で、増幅手段MSFよりノイ
ズ信号N12を含んだセンサ信号S12を読み出す。
【0027】図2に示した信号読出し方法と異なるの
は、容量Coxを付加してノイズ読出しを行なった後に、
容量Coxを付加せずにノイズ読出しを行なった点にあ
る。こううすることで、ノイズ読出し期間と信号読出し
期間における、φcapの振られ方がともにハイレベルか
らロウレベルとなり、φcapの振られによる特性の影響
を等しくすることができる。そして、(S1+S2)−
(N1+N2)の減算処理によりφcapの振られによる影
響をなくすことができる。 (第2実施例)上記第1実施例では付加容量部として、
MOSの反転容量を一つ設けた例を示したが、MOSの
反転容量を複数設けることも勿論可能である。
【0028】本実施例はMOSの反転容量を2つ設けた
場合を示す。図6は本発明の固体撮像装置の第2実施例
の一画素を示す概略的構成図、図7はその動作を示すタ
イミングチャート、図8は光電変換特性を示す図であ
る。
【0029】図6において、図1の画素構成と異なるの
は、MOSの反転容量Cox1,Cox2が並列に接続され、
信号φcap1,φcap2により容量CFDに容量Cox1又は/
及び容量Cox2が付加できるようになっていることであ
る。その他の構成は図1の画素構成と同じである。
【0030】上記固体撮像装置の動作は、図7のタイミ
ングチャートに示されるように、まず、φRESをハイレ
ベルとしリセットスイッチMRESをオンして、増幅手段
MSFのゲートをリセットする。φcap1,φcap2がロウレ
ベルで容量Cox1,Cox2が付加されず、増幅手段MSFの
ゲートに容量CFDが付いた状態で、φSELをハイレベル
として選択スイッチMSELをオンして、増幅手段MSFよ
りノイズ信号N1を読み出す(第1ノイズ読出し)。
【0031】次に、φcap1をハイレベルとして容量CFD
に容量Cox1を付加した状態で、φSELをハイレベルとし
て選択スイッチMSELをオンして、増幅手段MSFよりノ
イズ信号N2を読み出す(第2ノイズ読出し)。なお、
φcap2をハイレベルとして容量CFDに容量Cox2を付加
してもよいことは勿論である。
【0032】その後、φcap1をハイレベルにしたまま、
φcap2をハイレベルとして容量CFDに容量Cox1及び容
量Cox2を付加した状態で、φSELをハイレベルとして選
択スイッチMSELをオンして、増幅手段MSFよりノイズ
信号N3を読み出す(第3ノイズ読出し)。
【0033】その後、φTXをハイレベルとしてフォトダ
イオードPDから信号電荷を転送する。φcap1及びφca
p2をハイレベルとしたまま、容量CFDに容量Cox1,Co
x2を付加した状態で、φSELをハイレベルとして選択ス
イッチMSELをオンして、増幅手段MSFよりノイズ信号
N3を含んだセンサ信号S1を読み出す(第1信号読出
し)。
【0034】次に、φcap2をロウレベルとして容量Cox
2をなくし、増幅手段MSFのゲートに容量CFDおよび容
量Cox1が付加された状態で、φSELをハイレベルとして
選択スイッチMSELをオンして、増幅手段MSFよりノイ
ズ信号N2を含んだセンサ信号S2を読み出す(第2信号
読出し)。
【0035】次に、φcap2をロウレベルとしたままφca
p1をロウレベルとして容量Cox1,Cox2をなくし、増幅
手段MSFのゲートに容量CFDが付加された状態で、φSE
Lをハイレベルとして選択スイッチMSELをオンして、増
幅手段MSFよりノイズ信号N1を含んだセンサ信号S3を
読み出す(第3信号読出し)。
【0036】読み出されたノイズ信号N1〜N3、センサ
信号S1〜S3はそれぞれの容量に蓄積され、ノイズ信号
N1〜N3は加算されて差動アンプの反転入力端子(−)
に入力され、センサ信号S1〜S3は加算されて差動アン
プの非反転入力端子(+)に入力される。そして、差動
アンプにより(S1+S2+S3)−(N1+N2+N3)の
減算処理が行なわれる。このようにして得られた信号
は、図8に示すような光電変換特性を示す。図8に示す
ように、(S1+S2+S3)−(N1+N2+N3)の出力
は、(S1−N3)の信号、(S2−N2)の信号、(S3
−N1)の信号が加算された信号となる。
【0037】本実施例によれば、同一蓄積期間に蓄積さ
れた信号電荷に基づく、より広いダイナミックレンジの
センサ信号を得ることができる。
【0038】なお、第1実施例において図5を用いて説
明した信号読み出し方法と同様な信号読み出し方法を、
本実施例においても用いることができる。図22はその
信号読み出し方法を示すタイミングチャートである。図
22に示すように、ノイズ読出し期間と信号読出し期間
における、φcap1,φcap2の振られ方を同じにして(ロ
ウレベルからハイレベル)、φcap1,φcap2の振られに
よる特性の影響を等しくすることができる。そして、
(S1+S2+S3)−(N1+N2+N3)の減算処理によ
りφcap1,φcap2の振られによる影響をなくすことがで
きる。 (第3実施例)上記第1,2実施例ではMOSの反転容
量を設けて、容量CFDに容量を付加した例を示したが、
容量を付加するための素子を別に設けることなく、容量
CFDに付加する容量を構成することができる。
【0039】本実施例は転送スイッチのMOSトランジ
スタのチャネルを容量として用いた場合を示す。図9は
本発明の固体撮像装置の第3実施例を示す概略的構成
図、図10はその動作を示すタイミングチャート、図1
1はその動作を説明するためのポテンシャル図である。
【0040】図9において、図1の画素構成と異なるの
は、MOSの反転容量Coxが設けられていないことであ
る。本実施例においては転送スイッチのMOSトランジ
スタMTXのチャネルを容量として用いる。
【0041】その動作について、図10、図11(a)
〜(d)を用いて説明する。
【0042】まず、φRESをハイレベルとしリセットス
イッチMRESをオンして、増幅手段MSFのゲートをリセ
ットする。その後、φSEL,φTNをハイレベルとして選
択スイッチMSEL、切換スイッチMTN1,MTN2をオンし
て、増幅手段MSFよりノイズ信号Nを読み出し、容量C
TN1,CTN2に蓄積する(ノイズ読出し)。このときのポ
テンシャル図が図11(a)である。
【0043】その後、φTXをハイレベルとしてフォトダ
イオードPDから信号電荷を転送する。そして、φTXを
ハイレベルとしたまま、φSEL,φTS1をハイレベルとし
て選択スイッチMSEL、切換スイッチMTS1をオンして、
増幅手段MSFよりノイズ信号を含んだセンサ信号S1を
読み出し、容量CTS1に蓄積する。ここで、φTXがハイ
レベルとなっていると、転送スイッチのMOSトランジ
スタMTXのチャネルが容量(反転容量)として機能し、
この容量をCTXとすると、図11(b)のポテンシャル
図に示されるように、容量CFDに容量CTXが付加され、
両方の容量に信号電荷が蓄積された状態でセンサ信号S
1が読み出される。
【0044】次に、容量CTXを消滅させるように、φTX
をハイレベルから立ち下げるが、一旦φTXをミドルレベ
ルとする。これは、信号電荷がフォトダイオードPD側
に流入するのを防ぎ、全電荷を容量CFD側に移行させる
ためである。図11(c)のポテンシャル図は、φTXが
ミドルレベルとされ、全電荷が容量CFD側に移行した状
態を示している。
【0045】次にφTXをミドルレベルからロウレベルに
立ち下げ、容量CFDの状態でφSEL,φTS2をハイレベル
として選択スイッチMSEL、切換スイッチMTS2をオンし
て、増幅手段MSFよりノイズ信号を含んだセンサ信号S
2を読み出し、容量CTS2に蓄積する。図11(d)のポ
テンシャル図は、φTXがロウレベルとされ、全電荷が容
量CFD側にある状態を示している。
【0046】次に、φTHをハイレベルとして、容量CTN
1,CTN2からノイズ信号Nを共通線で加算して読み出
し、容量CTS1,CTS2からそれぞれセンサ信号S1,S2
を共通線で加算して読み出し、差動アンプにより(S1
+S2)−(2N)の減算処理が行なわれる。
【0047】本実施例によれば、より簡易な構成の画素
を構成することができる。 (第4実施例)第1,2実施例ではMOSの反転容量を
設けて、容量CFDに容量を付加した例を示したが、転送
スイッチを二つ設け、第1の転送スイッチと第2の転送
スイッチとの間に容量を形成して付加容量とすることが
できる。
【0048】本実施例は転送スイッチを二つ設け、その
間に付加容量を形成した場合を示す。なお、転送スイッ
チは二つに限定されず、三つ以上(それに対応して、付
加容量を二つ以上)設けてもよいことは勿論である。図
12は本発明の固体撮像装置の第4実施例を示す概略的
構成図、図13はその動作を示すタイミングチャートで
ある。
【0049】図12において、図1の画素構成と異なる
のは、MOSトランジスタMTX1、MOSトランジスタ
MTX2の二つの転送スイッチが設けられ、MOSトラン
ジスタMTX1とMOSトランジスタMTX2との間に容量C
FD1が設けられ、信号φTX1,φTX2の制御により、増幅
手段MSFのゲートに付く容量が、容量CFD2と容量(CF
D1+CFD2)とに切換えられるようになっていることで
ある。その他の構成は図1の画素構成と同じである。
【0050】次に上記固体撮像装置の動作について、図
13のタイミングチャートを用いて説明する。
【0051】まず、φRESをハイレベルとしトランジス
タMRESをオンして、増幅手段MSFのゲートをリセット
する。φTX2がハイレベルで、容量CFD2に容量CFD1が
付加された状態で、φSEL,φTN1をハイレベルとして選
択スイッチMSEL、切換スイッチMTN1をオンして、増幅
手段MSFよりノイズ信号N1を読み出し、容量CTN1に蓄
積する(第1ノイズ読出し)。
【0052】次に、φTX2がロウレベルで、増幅手段MS
Fのゲートに(容量CFD1が付加されず)容量CFD2がつ
いた状態で、φSEL,φTN2をハイレベルとして選択スイ
ッチMSEL、切換スイッチMTN2をオンして、増幅手段M
TN2よりノイズ信号N2を読み出し、容量CTN2に蓄積す
る(第2ノイズ読出し)。こうすることで、同一リセッ
ト後の、増幅手段のゲートにそれぞれ異なる容量が付加
された状態でのノイズ信号を読出し、蓄積することがで
きる。
【0053】その後、φTX2、φTX1をハイレベルとして
フォトダイオードPDから信号電荷を容量CFD1,CFD2
に転送する。φTX1をロウレベルとし、φTX2をハイレベ
ルとしたまま、容量CFD2に容量CFD1を付加した状態
で、φSEL,φTS1をハイレベルとして選択スイッチMSE
L、切換スイッチMTS1をオンして、増幅手段MSFよりノ
イズ信号N1を含んだセンサ信号S1を読み出し、容量C
TS1に蓄積する(第1信号読出し)。
【0054】次に、φTX2をロウレベルとして容量CFD1
を切り離し(容量CFD1に蓄積されていた信号電荷は容
量CFD2側に移行させる)、増幅手段MSFのゲートに容
量CFD2が付加された状態で、φSEL,φTS2をハイレベ
ルとして選択スイッチMSEL、切換スイッチMTS2をオン
して、増幅手段MSFよりノイズ信号N2を含んだセンサ
信号S2を読み出し、容量CTS2に蓄積する(第2信号読
出し)。
【0055】次に、φTHをハイレベルとして、容量CTN
1,CTN2からノイズ信号N1,N2を共通線で加算して読
み出し、容量CTS1,CTS2からそれぞれノイズ信号N
1,N2を含んだセンサ信号S1,S2を共通線で加算して
読み出し、差動アンプAにより(S1+S2)−(N1+
N2)の減算処理が行なわれる。
【0056】なお、二つの転送スイッチを有する固体撮
像装置としては、特公平7−105915号公報に開示
された固体撮像装置がある。図14は上記特公平7−1
05915号公報の第3図に開示された固体撮像素子の
一画素の構成を示す説明図、図15は同公報の第4図に
開示されたタイミングチャートである。
【0057】図14に示されるように、特公平7−10
5915号公報に開示された固体撮像装置においても、
フォトダイオード14から信号電荷をトランジスタ30
のゲートに転送するトランジスタ26,28が設けられ
ている。
【0058】しかしながら、特公平7−105915号
公報に開示された固体撮像装置は、図15のタイミング
チャートに示されるように、信号φ-1,φ-2を同時にハ
イレベルとして、トランジスタ26,28を同時にオン
して、信号電荷を転送しており、本実施例の図13に示
されるように、信号φTX2、φTX1を適宜切り換えて、ト
ランジスタMTX1,MTX2をオン・オフし、増幅手段MSF
に付く容量を可変してダイナミックレンジの異なる信号
を出力するものでない。 (第5実施例)以上説明した第1〜4実施例では一画素
セルの場合について説明したが、本発明をエリアセンサ
に用いた場合の実施例について説明する。ここでは、図
1に示した画素セルを用いた場合のエリアセンサについ
て説明するが、第2〜4実施例の画素を用いることがで
きることは勿論である。画素の構成および読出し系の回
路構成は図1に示した構成と同じなので、ここでは詳細
な説明は略する。
【0059】図16はエリアセンサの構成を示す概略的
構成図である。同図に示すように、マトリクス状に配さ
れた画素セルの行方向の走査は垂直走査回路100によ
り行なわれ、行ごとに信号φRES,φTX,φSEL,φcap
が送られて、行ごとにノイズ信号、センサ信号が垂直出
力線に出力され各容量に蓄積される。各容量に蓄積され
た第1及び第2ノイズ信号、第1及び第2センサ信号は
水平走査回路101により列ごとに走査され、加算され
たノイズ信号(N1+N2)と加算されたセンサ信号(S
1+S2)とが順次列ごとに水平出力線を介して、差動ア
ンプAの反転入力端子(−)と非反転入力端子(+)に
送られ、減算処理が行なわれて、各画素ごとに信号(S
1+S2)−(N1+N2)を得ることができる。なお、M
CHR1,MCHR2は信号φCHRによって制御される、水平出
力線を所定の電位にリセットするMOSトランジスタで
ある。
【0060】図17は上記エリアセンサのタイミングチ
ャートを示す図である。この動作は図5に示した動作と
同様なので、ここでは説明を省略する。 (第6実施例)第1実施例では、ノイズ信号、センサ信
号をそれぞれ加算処理した後に、加算したセンサ信号か
ら加算したノイズ信号を減算処理して出力したが、本実
施例では加算処理を行なわずにノイズ除去のための減算
処理のみを行ない、システム側からの出力選択信号によ
ってダイナミックレンジの異なる(ノイズが除去され
た)センサ信号を選択して得る場合について説明する。
【0061】図18は本発明の固体撮像装置の第6実施
例を示す概略的構成図である。図1に示した固体撮像装
置と異なるのは、本実施例では、容量CTN1から読み出
したノイズ信号N1、容量CTS2から読み出したノイズ信
号N1を含んだセンサ信号S2を差動アンプA1に入力し
て、S2−N1の減算処理を行なって出力し、容量CTN2
から読み出したノイズ信号N2、容量CTS1から読み出し
たノイズ信号N2を含んだセンサ信号S1を差動アンプA
2に入力して、S1−N2の減算処理を行なって出力し、
二つのアナログスイッチとインバータとからなる選択手
段を出力選択信号に基づいて切換え、信号(S2−N1)
と信号(S1−N2)を選択的に出力できるようにしたと
ころにある。
【0062】図19は本実施例の固体撮像装置を用いた
ビデオカメラ装置を示すブロック図である。
【0063】図19において、1はレンズ系であり、2
は絞り、3,5,7はモータ、4はモータ3を制御する
変倍レンズ駆動手段、6はモータ5を制御して絞り2を
駆動する絞り機構駆動手段、8はモータ7を制御するフ
ォーカスコンペレンズ駆動手段である。また、9はレン
ズ系1から入射した光信号を光電変換するための固体撮
像素子であり、図18に示す本実施例の固体撮像装置が
用いられ、マイクロコンピューター15からの出力選択
信号により、信号(S2−N1)か信号(S1−N2)かを
出力する。10はCDS/AGC(相関2重サンプリン
グ/オートゲインコントロール)、11はAD変換器で
ある。また、12はカメラ信号処理回路であり、12a
はY/C分離回路、12bは輝度信号処理回路、12c
は色信号処理回路、12dは色抑圧回路、12eはデジ
タル出力変換回路、12fは飽和画素判定測定回路であ
る。飽和画素判定測定回路12fの飽和画素の判定は輝
度信号および色信号に基づいて行なわれる。飽和画素の
判定結果はマイクロコンピューター15に入力され、こ
の判定結果に基づいて出力選択信号が出力される。ま
た、マイクロコンピューター15はカメラ信号処理回路
12からの信号に基づいて、変倍レンズ駆動手段4、絞
り機構駆動手段6、フォーカスコンペレンズ駆動手段8
を制御する。
【0064】カメラ信号処理回路12からの出力はデジ
タルデコーダ、DA変換器13を通してモニター手段1
4に送られ画像表示され、またVTRに送られる。
【0065】なお図20は従来のビデオカメラ装置を示
すブロック図であり、本実施例のように飽和画素判定測
定回路12fが設けられておらず、出力選択信号が出力
されない点が異なる。 (第7実施例)本発明はエリアセンサに限定されず、ラ
インセンサにも用いることができる。ラインセンサの場
合は、画素において選択スイッチが省かれることを除い
て画素構成は同じである。図21は本発明をラインセン
サに適用した場合の概略的構成図である。ラインセンサ
の基本的な構成は図16のエリアセンサと同様である。
【0066】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイナミックレンジの拡大した信号を得ることができ
る。
【0067】また、感度は高いがダイナミックレンジの
小さい信号と、感度は低いがダイナミックレンジの大き
い信号を得ることができる。この場合に、必要に応じ
て、感度は高いがダイナミックレンジの小さい信号と、
感度は低いがダイナミックレンジの大きい信号とを選択
して出力することができる。例えば輝度信号のレベルに
よって信号を切り換えることができる。
【0068】本発明は例えば逆光補正に用いることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の固体撮像装置の第1実施例を示す概略
的構成図である。
【図2】図1の固体撮像装置の動作を示すタイミングチ
ャートを示す図である。
【図3】図1に示した固体撮像装置の光電変換特性を示
す図である。
【図4】図1に示した固体撮像装置の読出し動作を示す
図である。
【図5】本発明の他の信号読出し方法を示す図である。
【図6】本発明の固体撮像装置の第2実施例の一画素を
示す概略的構成図である。
【図7】図6に示した固体撮像装置の動作を示すタイミ
ングチャートである。
【図8】図6に示した固体撮像装置の光電変換特性を示
す図である。
【図9】本発明の固体撮像装置の第3実施例を示す概略
的構成図である。
【図10】図9の固体撮像装置の動作を示すタイミング
チャートである。
【図11】図9の固体撮像装置の動作を説明するための
ポテンシャル図である。
【図12】本発明の固体撮像装置の第4実施例を示す概
略的構成図である。
【図13】図12の固体撮像装置の動作を示すタイミン
グチャートである。
【図14】特公平7−105915号公報に開示された
固体撮像素子の一画素の構成を示す説明図である。
【図15】特公平7−105915号公報に開示された
タイミングチャートである。
【図16】エリアセンサの構成を示す概略的構成図であ
る。
【図17】上記エリアセンサのタイミングチャートを示
す図である。
【図18】本発明の固体撮像装置の第6実施例を示す概
略的構成図である。
【図19】本実施例の固体撮像装置を用いたビデオカメ
ラ装置を示すブロック図である。
【図20】従来のビデオカメラ装置を示すブロック図で
ある。
【図21】本発明をラインセンサに適用した場合の概略
的構成図である。
【図22】本発明の固体撮像装置の第2実施例の他の信
号読み出し方法を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
PD フォトダイオード MTX 転送スイッチ MRES リセットスイッチ MSEL 選択スイッチ MSF 増幅手段 CFD 容量 Cox MOSの反転容量 MTN1,MTN2,MTS1,MTS2 切換スイッチ CTN1,CTN2,CTS1,CTS2 容量 MTH1,MTH2,MTH3,MTH4 共通出力手段 A 差動アンプ φTX,φRES,φSEL,φTN1,φTN2,φTS1,φTS2 信
号 φcap 制御信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上野 勇武 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小泉 徹 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 光地 哲伸 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 樋山 拓己 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 須川 成利 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 新井 秀雪 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 Fターム(参考) 5C024 AA01 CA15 FA01 FA11 GA01 GA31 GA48

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光電変換部と、該光電変換部から信号電
    荷を転送する転送手段と、転送された信号電荷を保持す
    る容量手段と、該容量手段に保持された信号電荷に対応
    して信号を出力する増幅手段と、を有する固体撮像装置
    であって、 前記容量手段は、第1の容量値の容量部と、該第1の容
    量値を増大させて第2の容量値とするために該容量部に
    容量を付加する付加容量部と、を有し、 前記増幅手段からの信号読出しは、前記信号電荷を前記
    容量部と前記付加容量部とに保持して信号を読み出す第
    1の読出しモードと、前記信号電荷を前記容量部に保持
    して信号を読み出す第2の読出しモードと、を有する固
    体撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記容量部及び前記付加容量部に容量を
    さらに付加する少なくとも一つの他の付加容量部を有
    し、 前記容量部と前記付加容量部に該他の付加容量部を一つ
    ずつ付加して構成される各容量値での、前記容量手段に
    信号電荷を保持して前記増幅手段から信号を出力する読
    出しモードを、該他の付加容量部の数に対応して設けた
    ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
  3. 【請求項3】 光電変換部と、該光電変換部から転送さ
    れた信号電荷を保持する容量手段と、該光電変換部から
    信号電荷を転送するとともに、チャネルによって生ずる
    容量を前記容量手段に付加して容量値を増大させる転送
    用電界効果型トランジスタと、該容量手段に保持された
    信号電荷または該容量手段と該転送用電界効果型トラン
    ジスタの容量とに保持された信号電荷に対応して信号を
    出力する増幅手段と、を有する固体撮像装置であって、 前記増幅手段からの信号読出しは、前記信号電荷を前記
    容量手段と前記転送用電界効果型トランジスタの容量と
    に保持して信号を読み出す第1の読出しモードと、前記
    信号電荷を前記容量手段に保持して信号を読み出す第2
    の読出しモードと、を有する固体撮像装置。
  4. 【請求項4】 光電変換部と、該光電変換部から信号電
    荷を転送する第1及び第2の転送手段と、該第1の転送
    手段と該第2の転送手段との間に設けられた、転送され
    た信号電荷を保持する第1の容量手段と、該第2の転送
    手段の出力側に設けられた、転送された信号電荷を保持
    する第2の容量手段と、該第1の容量手段と該第2の容
    量手段とに保持された信号電荷または該第2の容量手段
    に保持された信号電荷に対応して信号を出力する増幅手
    段と、を有する固体撮像装置であって、 前記増幅手段からの信号読出しは、前記信号電荷を前記
    第1及び第2の容量手段に保持して信号を読み出す第1
    の読出しモードと、前記信号電荷を前記第2の容量手段
    に保持して信号を読み出す第2の読出しモードとを有す
    る固体撮像装置。
  5. 【請求項5】 各読出しモードでの出力信号を加算処理
    する手段を有することを特徴とする請求項1〜4のいず
    れかの請求項に記載の固体撮像装置。
  6. 【請求項6】 光電変換部と、該光電変換部から信号電
    荷を転送する転送手段と、転送された信号電荷を保持す
    る容量手段と、該容量手段に信号電荷が保持されない状
    態で第1の信号を出力するとともに、該容量手段に信号
    電荷が保持された状態で該信号電荷に対応して第2の信
    号を出力する増幅手段と、を有する固体撮像装置であっ
    て、 前記容量手段は、第1の容量値の容量部と、該第1の容
    量値を増大させて第2の容量値とするために該容量部に
    容量を付加する付加容量部と、を有し、 前記増幅手段からの第1の信号の読出しは、信号電荷が
    保持されない状態の前記容量部から信号を読み出す第1
    の非保持読出しモードと、信号電荷が保持されない状態
    の前記容量部と前記付加容量部とから信号を読み出す第
    2の非保持読出しモードとを有し、 前記増幅手段からの第2の信号の読出しは、前記信号電
    荷を前記容量部に保持した状態で信号を読み出す第1の
    保持読出しモードと、前記信号電荷を前記容量部と前記
    付加容量部とに保持した状態で信号を読み出す第2の保
    持読出しモードとを有する固体撮像装置。
  7. 【請求項7】 前記容量部及び前記付加容量部に容量を
    さらに付加する少なくとも一つの他の付加容量部を有
    し、 前記容量部と前記付加容量部に該他の付加容量部を一つ
    ずつ付加して構成される各容量値での、前記容量手段に
    信号電荷が保持されない状態で前記増幅手段から信号を
    読み出す非保持読出しモードと、前記容量部と前記付加
    容量部に該他の付加容量部を一つずつ付加して構成され
    る各容量値での、前記容量手段に信号電荷が保持された
    状態で前記増幅手段から信号を読み出す保持読出しモー
    ドとを、該他の付加容量部の数に対応して設けたことを
    特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置。
  8. 【請求項8】 光電変換部と、該光電変換部から転送さ
    れた信号電荷を保持する容量手段と、該光電変換部から
    信号電荷を転送するとともに、チャネルによって生ずる
    容量を前記容量手段に付加して容量値を増大させる転送
    用電界効果型トランジスタと、該容量手段に信号電荷が
    保持されない状態で第1の信号を出力するとともに、該
    該容量手段に保持された信号電荷または該容量手段と該
    転送用電界効果型トランジスタの容量とに保持された信
    号電荷に対応して第2の信号を出力する増幅手段と、を
    有する固体撮像装置であって、 前記増幅手段からの第1の信号読出しは、信号電荷が保
    持されない状態での前記容量手段から信号を読み出す非
    保持読出しモードと、 前記増幅手段からの第2の信号読出しは、前記信号電荷
    を前記容量手段と前記転送用電界効果型トランジスタの
    容量とに保持した状態で信号を読み出す第1の保持読出
    しモードと、前記信号電荷を前記容量手段に保持した状
    態で信号を読み出す第2の保持読出しモードと、を有す
    る固体撮像装置。
  9. 【請求項9】 光電変換部と、該光電変換部から信号電
    荷を転送する第1及び第2の転送手段と、該第1の転送
    手段と該第2の転送手段との間に設けられた、転送され
    た信号電荷を保持する第1の容量手段と、該第2の転送
    手段の出力側に設けられた、転送された信号電荷を保持
    する第2の容量手段と、該第1の容量手段と該第2の容
    量手段または該第2の容量手段に信号電荷が保持されな
    い状態で第1の信号を出力するとともに、該第1の容量
    手段と該第2の容量手段とに信号電荷が保持された状態
    または該第2の容量手段に信号電荷が保持された状態で
    該信号電荷に対応して第2の信号を出力する増幅手段
    と、を有する固体撮像装置であって、 前記増幅手段からの第1の信号読出しは、信号電荷が保
    持されない状態の該第1及び第2の容量手段から信号を
    読み出す第1の非保持読出しモードと、信号電荷が保持
    されない状態の該第2の容量手段から信号を読み出す第
    2の非保持読出しモードとを有し、 前記増幅手段からの第2の信号読出しは、前記信号電荷
    を該第1及び第2の容量手段に保持した状態で信号を読
    み出す第1の保持読出しモードと、前記信号電荷を該第
    2の容量手段に保持した状態で信号を読み出す第2の保
    持読出しモードとを有する固体撮像装置。
  10. 【請求項10】 各非保持読出しモードでの出力信号を
    加算処理する第1加算手段と、各保持読出しモードでの
    出力信号を加算処理する第2加算手段と、第1加算手段
    の出力と第2加算手段の出力とを減算処理する減算手段
    と、を有することを特徴とする請求項6〜9のいずれか
    の請求項に記載の固体撮像装置。
  11. 【請求項11】 容量値が同じ又は略同じときの、非保
    持読出しモードでの出力信号と保持読出しモードでの出
    力信号とを減算処理する減算手段を、変動する容量値の
    数に応じて設けたことを特徴とする請求項6〜9のいず
    れかの請求項に記載の固体撮像装置。
  12. 【請求項12】 前記付加容量部、または前記付加容量
    部と他の付加容量部とは、前記容量部に並列に電気的に
    接続された可変容量素子であることを特徴とする請求項
    1、2、6、7のいずれかの請求項に記載の固体撮像装
    置。
  13. 【請求項13】 前記第1の非保持読出しモードと第2
    の非保持読出しモードとの順序が、前記第1の保持読出
    しモードと第2の保持読出しモードとの順序と同じであ
    ることを特徴とする請求項6、7、9、10、11のい
    ずれかの請求項に記載の固体撮像装置。
  14. 【請求項14】 請求項1〜13のいずれかに記載の固
    体撮像装置をエリアセンサとして用いたことを特徴とす
    る固体撮像装置。
  15. 【請求項15】 請求項1〜13のいずれかに記載の固
    体撮像装置をラインセンサとして用いたことを特徴とす
    る固体撮像装置。
  16. 【請求項16】 光電変換部で発生した信号電荷を容量
    手段に保持し、該容量手段に保持された信号電荷に対応
    する信号を増幅手段により出力する固体撮像装置の信号
    読出し方法であって、 前記光電変換部で発生した信号電荷を第1の容量値に設
    定された前記容量手段に保持して前記増幅手段により出
    力する第1の読出しモードと、 前記第1の読出しモード後に、前記容量手段の容量値を
    前記第1の容量値から第2の容量値に変え、該第2の容
    量値に設定された前記容量手段に保持された信号電荷に
    対応する信号を前記増幅手段により出力する第2の読出
    しモードと、を有する固体撮像装置の信号読出し方法。
  17. 【請求項17】 前記第2の読出しモード後に、前記容
    量手段の容量値を前記第2の容量値から任意の容量値に
    変え、該任意の容量値に設定された前記容量手段に保持
    された信号電荷に対応する信号を前記増幅手段により出
    力する少なくとも一つの読出しモードを有する請求項1
    6に記載の固体撮像装置の信号読出し方法。
  18. 【請求項18】 光電変換部で発生した信号電荷を容量
    手段に保持した状態で、該信号電荷に対応する信号を増
    幅手段により出力する保持読出しモードと、該信号電荷
    が前記容量手段に保持されない状態で信号を前記増幅手
    段により出力する非保持読出しモードとを有する固体撮
    像装置の信号読出し方法であって、 前記保持読出しモードは、第1の容量値に設定された前
    記容量手段に前記信号電荷を保持した状態で前記増幅手
    段により出力する第1の保持読出しモードと、容量値が
    前記第1の容量値と異なる第2の容量値に設定された前
    記容量手段に前記信号電荷を保持した状態で前記増幅手
    段により出力する第2の保持読出しモードとを有し、 前記非保持読出しモードは、第1の容量値に設定された
    前記容量手段に前記信号電荷を保持しない状態で前記増
    幅手段により出力する第1の非保持読出しモードと、容
    量値が前記第1の容量値と異なる第2の容量値に設定さ
    れた前記容量手段に前記信号電荷を保持しない状態で前
    記増幅手段により出力する第2の非保持読出しモードと
    を有する固体撮像装置の信号読出し方法。
  19. 【請求項19】 前記容量手段の容量値を前記第2の容
    量値から任意の容量値に変え、該任意の容量値に設定さ
    れた前記容量手段に前記信号電荷を保持した状態で前記
    増幅手段により出力する少なくとも一つの保持読出しモ
    ードと、前記容量手段の容量値を前記第2の容量値から
    任意の容量値に変え、該任意の容量値に設定された前記
    容量手段に前記信号電荷を保持しない状態で前記増幅手
    段により出力する少なくとも一つの非保持読出しモード
    と、を有する請求項18に記載の固体撮像装置の信号読
    出し方法。
  20. 【請求項20】 光電変換部で発生した信号電荷を容量
    手段に保持した状態で、該信号電荷に対応する信号を増
    幅手段により出力する保持読出しモードと、前記信号電
    荷が前記容量手段に保持されない状態で信号を前記増幅
    手段により出力する非保持読出しモードとを有する固体
    撮像装置の信号読出し方法であって、 前記保持読出しモードは、第1の容量値に設定された前
    記容量手段に前記信号電荷を保持した状態で前記増幅手
    段により出力する第1の保持読出しモードと、容量値が
    前記第1の容量値と異なる第2の容量値に設定された前
    記容量手段に前記信号電荷を保持した状態で前記増幅手
    段により出力する第2の保持読出しモードとを有し、 前記非保持読出しモードは、前記第2の容量値に設定さ
    れた前記容量手段に前記信号電荷を保持しない状態で前
    記増幅手段により出力する非保持読出しモードを有する
    固体撮像装置の信号読出し方法。
  21. 【請求項21】 光電変換部と、該光電変換部からの信
    号電荷を転送する転送手段と、転送された信号電荷を保
    持する容量手段と、該容量手段に保持された信号電荷に
    対応して信号を出力する増幅手段と、を有する固体撮像
    装置であって、 前記容量手段は、複数の異なる容量値に設定するための
    設定手段を有し、 前記信号電荷からの信号の読み出しは、各容量値におい
    て前記容量手段に保持された信号電荷を読み出す複数の
    読み出しモードを有する固体撮像装置。
  22. 【請求項22】 各読出しモードでの出力信号を加算処
    理する手段を有することを特徴とする請求項21に記載
    の固体撮像装置。
  23. 【請求項23】 請求項21又は請求項22に記載の固
    体撮像装置をエリアセンサとして用いたことを特徴とす
    る固体撮像装置。
  24. 【請求項24】 請求項21又は請求項22に記載の固
    体撮像装置をラインセンサとして用いたことを特徴とす
    る固体撮像装置。
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