JP4082056B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、各画素の感度のバラツキ補正を行う固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
フォトダイオードなどの感光素子を有した固体撮像装置は、その出力信号線を介して、撮像動作を行った際の映像信号と、各画素の感度のバラツキを表すノイズ信号とを、それぞれ各画素毎に出力するとともに、映像信号からノイズ信号を差し引くことによって、各画素の感度のバラツキを補正することができる。従来の固体撮像装置においては、映像信号及びノイズ信号はそれぞれ異なるバッファを介して差動増幅回路の非反転入力端子及び反転入力端子に入力されることで、感度のバラツキが補正された映像信号が差動増幅回路より出力される。
【0003】
しかしながら、このように映像信号とノイズ信号が異なるバッファに入力されるため、この2つのバッファ内に構成される各素子の特性のバラツキを反映して、列毎に各画素から出力される映像信号の補正される度合いにバラツキが生じる。即ち、増幅度の異なる複数のバッファから送出されるノイズ信号でそれぞれの映像信号を補正したとき、その補正の度合いにバラツキが生じ、差動増幅回路より出力される映像信号が画像として再生されたとき、このような補正度合いのバラツキが起因して、縦すじとなって現れる。
【0004】
このような縦すじなどの固定パターンノイズを防ぐために、本出願人は、特開2001−223948号公報における固体撮像装置を提案した。当該公報の固体撮像装置によると、各行に、図11のような構成の選択回路100が設けられる。この選択回路100は、画素Gから出力信号線101に出力される電流信号が定電流源102によって電圧信号に変換されて入力される。このとき、映像信号が入力されるときは、スイッチSWaがONとされてキャパシタCaにサンプルホールドされ、又、ノイズ信号が入力されるときは、スイッチSWbがONとされてキャパシタCbにサンプルホールドされる。
【0005】
更に、図11のように、各行に設けられた選択回路100からの出力が1本の信号伝送路を介して、固体撮像装置1つに対して1つだけ備えられた補正回路103に入力される。このとき、選択回路100において、スイッチSWrがONとされてバッファBaの入力側がリセットされた後に、スイッチSW1aがONとされてキャパシタCaにサンプルホールドされた映像信号がバッファBaより出力される。このとき、補正回路103において、スイッチSW2aがONとされてキャパシタCcに映像信号がサンプルホールドされる。
【0006】
又、選択回路100において、スイッチSWrがONとされてバッファBaの入力側がリセットされた後に、スイッチSW1bがONとされてキャパシタCbにサンプルホールドされたノイズ信号がバッファBaより出力される。このとき、補正回路103において、スイッチSW2bがONとされてキャパシタCdにノイズ信号がサンプルホールドされる。
【0007】
このようにして補正回路103に映像信号及びノイズ信号がサンプルホールドされると、映像信号及びノイズ信号がそれぞれバッファBb,Bcを介して、差動増幅回路104の非反転入力端子及び反転入力端子に与えられることによって、差動増幅回路104よりノイズ成分が除去された映像信号が出力される。よって、映像信号及びノイズ信号は、それぞれ列毎に配された同一のバッファBaを介して補正回路103に与えられるため、補正回路103から出力される映像信号は、このバッファBaの特性によるバラツキが相殺された信号となり、固定パターンノイズを低減させることができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
特開2001−223948号公報の固体撮像装置によると、補正回路103に対して映像信号とノイズ信号とが異なるタイミングで出力されるため、ノイズ成分の除去を行うことなく映像信号のみを出力する固体撮像装置と同じ速度で信号の出力を行うには、補正回路103に映像信号とノイズ信号を出力する選択回路100の動作速度は、映像信号の読み出し速度の2倍の速度が必要であった。
【0009】
しかしながら、映像信号の読み出し速度には限界があり、読み出し速度を速くすると、十分な露光時間が得られずに、その出力が不十分となる。よって、映像信号の読み出し速度に応じて選択回路100の動作速度が遅くなってしまうため、結果的に固体撮像装置全体の駆動動作に時間がかかり、高速での動作に対応できない。
【0010】
このような問題を鑑みて、本発明は、各列毎にノイズが除去された映像信号が出力されるとともに高速で駆動することのできる固体撮像装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に記載の固体撮像装置は、入射光量に応じた映像信号及び感度バラツキを表すノイズ信号を発生する画素を複数備えた固体撮像装置において、前記画素から出力される映像信号及びノイズ信号を互いに逆の極性で保持し、逆の極性で保持した前記映像信号と前記ノイズ信号とを結合することによって、ノイズ除去された映像信号を生成して出力する出力回路を有し、該出力回路は、前記画素から映像信号又はノイズ信号が出力される信号線に一端が接続された第1スイッチ及び第2スイッチと、前記第1スイッチの他端に一端が接続されるとともに、映像信号をサンプルホールドする第1キャパシタと、前記第2スイッチの他端に一端が接続され、他端に基準電圧が印加されるとともに、ノイズ信号をサンプルホールドする第2キャパシタと、前記第1キャパシタの他端に一端が接続されるとともに、前記第2スイッチと前記第2キャパシタとの接続ノードに他端が接続された第3スイッチと、前記第1キャパシタと前記第1スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、他端に前記基準電圧が印加された第4スイッチと、前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、他端に前記基準電圧が印加された第5スイッチと、前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、ONとなることで前記ノイズ除去された映像信号を出力する第6スイッチと、を有することを特徴とする。
【0013】
このとき、前記第1及び第5スイッチのみをONとして前記映像信号を前記第1キャパシタでサンプルホールドし、前記第2スイッチのみをONとして前記ノイズ信号を前記第2キャパシタでサンプルホールドし、前記第3及び第4スイッチのみをONとして前記ノイズ除去した映像信号を生成した後に、更に前記第6スイッチをONとして前記ノイズ除去した映像信号を出力する。
【0014】
また上記目的を達成するために、請求項2に記載の固体撮像装置は、入射光量に応じた映像信号及び感度バラツキを表すノイズ信号を発生する画素を複数備えた固体撮像装置において、前記画素から出力される映像信号及びノイズ信号を互いに逆の極性で保持し、逆の極性で保持した前記映像信号と前記ノイズ信号とを結合することによって、ノイズ除去された映像信号を生成して出力する出力回路を有し、該出力回路は、前記画素から映像信号又はノイズ信号が出力される信号線に一端が接続された第1スイッチ及び第2スイッチと、前記第1スイッチの他端に一端が接続されるとともに、映像信号をサンプルホールドする第1キャパシタと、前記第2スイッチの他端に一端が接続され、他端に基準電圧が印加されるとともに、ノイズ信号をサンプルホールドする第2キャパシタと、前記第1キャパシタの他端に一端が接続されるとともに、前記第2スイッチと前記第2キャパシタとの接続ノードに他端が接続された第3スイッチと、前記第1キャパシタと前記第1スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、他端に前記基準電圧が印加された第4スイッチと、前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、他端に前記基準電圧が印加された第5スイッチと、前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに入力側が接続されるとともに、ONとなることで前記ノイズ除去された映像信号を出力するバッファと、を有することを特徴とする。
【0015】
このとき、前記第1及び第5スイッチのみをONとして前記映像信号を前記第1キャパシタでサンプルホールドし、前記第2スイッチのみをONとして前記ノイズ信号を前記第2キャパシタでサンプルホールドし、前記第3及び第4スイッチのみをONとして前記ノイズ除去した映像信号を生成した後に、更に前記バッファをONとして前記ノイズ除去した映像信号を出力する。
【0016】
更に、このとき、請求項3に記載するように、前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、前記バッファの入力側に他端が接続された第6スイッチを有するようにしても構わない。よって、このとき、前記第3及び第4スイッチのみをONとして前記ノイズ除去した映像信号を生成した後に、更に前記第6スイッチをONとして前記バッファに前記ノイズ除去した映像信号を入力し、最終的に前記バッファをONとして前記ノイズ除去した映像信号を出力する。又、前記バッファの入力側をリセットするために、一端が前記バッファの入力側に接続されるとともに他端に前記基準電圧が印加された第7スイッチを有するようにしても構わない。
【0017】
このような固体撮像装置において、前記画素がマトリクス状に配置されるとき、前記出力回路が列毎に配置され、1行毎に前記画素から前記映像信号及び前記ノイズ信号が前記出力回路に出力された後、前記出力回路毎に、ノイズ除去された映像信号が生成されて出力される。又、映像信号のノイズ除去が、水平ブランク期間に行われる。
【0018】
請求項4に記載の固体撮像装置は、請求項1〜請求項3のいずれかに記載の固体撮像装置において、入射光量に関係なく同一の映像信号及びノイズ信号が出力される補正画素と、該補正画素から出力される前記映像信号及び前記ノイズ信号に基づいて前記出力回路により生成されて出力される補正用映像信号を格納するラインメモリと、該ラインメモリに格納された前記補正用映像信号に基づいて、前記出力回路より出力される前記画素の前記ノイズ除去された映像信号に含まれるオフセットを除去する補正回路と、を有することを特徴とする。
【0019】
このような固体撮像装置において、前記補正用画素が、前記画素の一部となる出力側の構成によって構成されるものとしても構わない。又、該補正用画素から出力される映像信号及びノイズ信号は、同一の電圧信号である。
【0020】
【発明の実施の形態】
<第1の実施形態>
本発明の第1の実施形態について、以下に、図面を参照して説明する。
【0021】
1.固体撮像装置の構成
まず、本実施形態の固体撮像装置について、図1を参照して説明する。図1は、本実施形態の固体撮像装置の構成を示すブロック図である。
【0022】
図1の固体撮像装置は、画素G11〜Gmnと、画素G11〜Gmnの各列毎にその出力側に接続された信号線1−1〜1−mと、信号線1−1〜1−mのそれぞれに接続された定電流源2−1〜2−mと、信号線1−1〜1−mのそれぞれを介して与えられる画素G11〜Gmnから与えられる映像信号とノイズ信号をサンプルホールドするとともにノイズ除去を行う出力回路3−1〜3−mと、出力回路3−1〜3−mから送出される映像信号を外部に出力する出力信号線4とを有する。尚、定電流源2−1〜2−mの一端に直流電圧VPSが印加される。
【0023】
このような固体撮像装置において、画素Gab(a:1≦a≦mの自然数、b:1≦b≦nの自然数)からの出力となる映像信号及びノイズ信号が、それぞれ、信号線1−aを介して出力されるとともに、この信号線1−aに接続された定電流源2−aによって増幅される。そして、画素Gabから出力された映像信号及びノイズ信号が順番に出力回路3−aに送出されるとともに、この出力回路3−aにおいて、送出された映像信号及びノイズ信号がサンプルホールドされる。その後、出力回路3−aにおいて、映像信号がノイズ信号に基づいて補正処理されて、出力信号線4を介して、ノイズ除去された映像信号が外部に出力される。
【0024】
2.画素の構成例
図1の固体撮像装置内に設けられる画素G11〜Gmnの構成の1例を、以下に図2を参照して説明する。図2の画素において、カソードに直流電圧VPDが印加されたフォトダイオードPDのアノードにMOSトランジスタT1のドレインが接続され、MOSトランジスタT1のソースにMOSトランジスタT2のゲート及びドレインとMOSトランジスタT3のゲートが接続される。
【0025】
又、MOSトランジスタT3のソースにMOSトランジスタT4のゲート及びMOSトランジスタT5のドレインが接続され、MOSトランジスタT4のソースにMOSトランジスタT6のドレインが接続される。そして、MOSトランジスタT6のドレインが信号線1(図1の信号線1−1〜1−mに相当する)に接続される。尚、MOSトランジスタT1〜T6は、PチャネルのMOSトランジスタである。
【0026】
MOSトランジスタT2のソースには信号φVPSが入力され、MOSトランジスタT3,T4のドレインに直流電圧VPDが印加される。又、MOSトランジスタT3のソースには、その一端に直流電圧VPSが印加されたキャパシタCの他端が接続される。又、MOSトランジスタT5のソースには直流電圧VRGが入力され、そのゲートに信号φRSが入力される。更に、MOSトランジスタT1,T6のゲートにはそれぞれ、信号φS,φVが入力される。
【0027】
このように構成された画素において、MOSトランジスタT6及び信号線1を介して、一端に直流電圧VPSが印加された定電流源2(図1の定電流源2−1〜2−mに相当する)が、MOSトランジスタT4のソースに接続される。よって、MOSトランジスタT6がONのとき、MOSトランジスタT4はソースフォロワのMOSトランジスタとして動作し、定電流源2によって増幅された信号を信号線1に出力する。
【0028】
このような構成の画素による撮像動作及び感度バラツキ検出動作について、以下に説明する。尚、信号φVPSは2値の電圧信号で、MOSトランジスタT2をサブスレッショルド領域で動作させるための電圧をローとし、この電圧よりも高くMOSトランジスタT2にローの信号φVPSを与えた時よりも大きい電流が流れうるようにする電圧をハイとする。
【0029】
(1)撮像動作(映像信号出力時)
まず、図2のような画素が撮像を行うときの動作を説明する。尚、信号φSは撮像動作の間、常にローであり、MOSトランジスタT1がONの状態である。又、信号φRSをハイとして、MOSトランジスタT5をOFFとする。そして、MOSトランジスタT2がサブスレッショルド領域で動作するように、MOSトランジスタT2のソースに与える信号φVPSをローとする。このとき、フォトダイオードPDに光が入射されると、光電流が発生し、MOSトランジスタのサブスレッショルド特性により、MOSトランジスタT2,T3のゲートに光電流を自然対数的に変換した値の電圧が発生する。
【0030】
この入射光量に対して自然対数的に比例した電圧がMOSトランジスタT3で電流増幅されたドレイン電流がキャパシタCから流れて、キャパシタCが放電される。よって、MOSトランジスタT4のゲート電圧が、入射光量の積分値に対して自然対数的に比例した電圧となる。そして、MOSトランジスタT6にパルス信号φVを与えることによって、MOSトランジスタT4は、そのゲート電圧に応じてソース電流が、MOSトランジスタT6を介して信号線1から流れる。
【0031】
このとき、MOSトランジスタT4がソースフォロワ型のMOSトランジスタとして動作するため、信号線1には映像信号が電圧信号として現れる。その後、信号φVをハイにしてMOSトランジスタT6をOFFにする。このように、MOSトランジスタT4,T6を介して出力される映像信号は、MOSトランジスタT4のゲート電圧に比例した値となるため、フォトダイオードPDへの入射光量の積分値が自然対数的に変換された信号となる。
【0032】
(2)感度バラツキ検出動作(ノイズ信号出力時)
次に、画素の感度バラツキを検出するときの動作について、図3のタイミングチャートを参照して説明する。まず、パルス信号φVが与えられて映像信号が出力された後、信号φSをハイにしてMOSトランジスタT1をOFFにして、リセット動作が始まる。このとき、MOSトランジスタT2のソース側より正の電荷が流れ込み、MOSトランジスタT2のゲート及びドレイン、そしてMOSトランジスタT3のゲートに蓄積された負の電荷が再結合され、ある程度まで、MOSトランジスタT2のゲート及びドレインのポテンシャルが上がる。
【0033】
しかし、MOSトランジスタT2のゲート及びドレインのポテンシャルがある値まで上がると、そのリセット速度が遅くなる。特に、明るい被写体が急に暗くなった場合にこの傾向が顕著となる。よって、次に、MOSトランジスタT2のソースに与える信号φVPSをハイにする。このように、MOSトランジスタT2のソース電圧を高くすることで、MOSトランジスタT2のソース側から流入する正の電荷の量が増加し、MOSトランジスタT2のゲート及びドレイン、そしてMOSトランジスタT3のゲートに蓄積された負の電荷が速やかに再結合される。
【0034】
よって、MOSトランジスタT2のゲート及びドレインのポテンシャルが、更に高くなる。そして、MOSトランジスタT2のソースに与える信号φVPSをローにすることによって、MOSトランジスタT2のポテンシャル状態を基の状態に戻す。このように、MOSトランジスタT2のポテンシャルの状態を基の状態にリセットした後、まず、パルス信号φRSをMOSトランジスタT5に与えてMOSトランジスタT5をONにして、キャパシタCとMOSトランジスタT4のゲートとの接続ノードの電圧を初期化する。
【0035】
そして、キャパシタCとMOSトランジスタT4のゲートとの接続ノードの電圧が、リセットされたMOSトランジスタT2のゲート電圧に応じたものとなると、パルス信号φVをMOSトランジスタT6のゲートに与えてMOSトランジスタT6をONにすることによって、MOSトランジスタT2,T3の特性のバラツキに起因する各画素の感度のバラツキを表す出力電流が信号線1から流れる。
【0036】
このとき、MOSトランジスタT4がソースフォロワ型のMOSトランジスタとして動作するため、信号線1にはノイズ信号が電圧信号として現れる。その後、再び、パルス信号φRSをMOSトランジスタT5に与えて、キャパシタCとMOSトランジスタT4のゲートとの接続ノードの電圧をリセットした後、信号φSをローにしてMOSトランジスタT1を導通させて撮像動作が行える状態にする。
【0037】
3.出力回路の構成及び動作
図4は、図1の固体撮像装置内に設けられた出力回路の内部構成を示す回路ブロック図である。図5は、本発明の固体撮像装置内の各部の動作を示すタイミングチャートである。
【0038】
図4に示す出力回路3(図1の出力回路3−1〜3−mに相当する)は、信号線1(図1の信号線1−1〜1−mに相当する)から与えられる映像信号をサンプルホールドするキャパシタCsと、信号線1から与えられるノイズ信号をサンプルホールドするキャパシタCnと、信号線1とキャパシタCsの一端との間に接続されたスイッチSHSと、信号線1とキャパシタCnの一端との間に接続されたスイッチSHNと、キャパシタCsの他端とキャパシタCnの一端との間に接続されたスイッチMIXと、キャパシタCsの一端に一端が接続されたスイッチRSPと、キャパシタCsの他端に一端が接続されたスイッチRSM,Sxとから構成される。
【0039】
又、スイッチRSP,RSMの他端及びキャパシタCnの他端には、直流電圧Vrが印加されるとともに、スイッチSxの他端に最終的な出力信号線4が接続される。更に、スイッチSHS及びスイッチSHNは、信号線1を介して定電流源2と接続される。よって、スイッチSHSと信号線1との接続ノードに映像信号が現れるとともに、スイッチSHNと信号線1との接続ノードにノイズ信号が現れる。
【0040】
このような構成の出力回路3の動作について、以下に説明する。画素Gabに与えられる信号φSがローとされてMOSトランジスタT1がONとされた状態で撮像動作が行われているとき、まず、スイッチRSPがONの状態でスイッチRSMがONとなって、キャパシタCsの両端に直流電圧Vrが印加されるため、キャパシタCsがリセットされる。このとき、スイッチSHS,SHN,MIX,SxはOFFである。その後、スイッチRSPをOFFとした後、スイッチSHSをONとする。
【0041】
このとき、信号φVがローとされてMOSトランジスタT6がONとされ、映像信号が信号線1に現れると、スイッチSHSがONであるため、キャパシタCsに映像信号の電圧信号がサンプルホールドされる。よって、映像信号による電圧信号の値をVsとすると、キャパシタCsには、電荷Cs×(Vs−Vr)が蓄電される。そして、スイッチSHSがOFFされるとともに信号φVがハイとされた後、スイッチRSMがOFFとされる。
【0042】
このように、スイッチRSMがOFFとされると、キャパシタCsの負の電極側には、電荷−Cs×(Vs−Vr)が保持された状態となる。この状態で、スイッチRSPをONとする。又、画素Gabでは、信号φSがハイとされてMOSトランジスタT1がOFFとされてリセット動作が行われる。そして、信号φVがローとされてMOSトランジスタT6がONとされるとともにスイッチSHNがONとされて、信号線1に現れるノイズ信号がキャパシタCnにサンプルホールドされる。よって、ノイズ信号による電圧信号の値をVnとすると、キャパシタCnには、電荷Cn×(Vn−Vr)が蓄電される。
【0043】
そして、スイッチSHNがOFFされるとともに信号φVがハイとされる。よって、キャパシタCnの正の電極には、電荷Cn×(Vn−Vr)が保持されている。即ち、ノイズ信号はキャパシタCnによって、キャパシタCsに保持される映像信号とは逆極性の信号として保持される。その後、スイッチMIXがONとされることによって、キャパシタCs,Cnの接続ノードに電荷Cn×(Vn−Vr)−Cs×(Vs−Vr)が保持された状態となる。ここで、キャパシタCs,Cnの容量がともにCxであるとすると、電荷Cx×(Vn−Vs)がキャパシタCs,Cnの接続ノードに保持されることとなる。
【0044】
このとき、キャパシタCsの正の電極にスイッチRSPを介して直流電圧Vrが印加されるとともに、キャパシタCnの負の電極に直流電圧Vrが印加されるため、キャパシタCs,Cnには、Cx×(Vn−Vs)/2Cx=(Vn−Vs)/2の電圧がかかった状態となる。よって、キャパシタCs,Cnの接続ノードに現れる電圧値が、(Vn−Vs)/2+Vrとなる。このように、ノイズ信号と映像信号との差分値となる電圧値がキャパシタCs,Cnの接続ノードに現れると、スイッチSxをONとすることで、この電圧信号を出力する。即ち、ノイズ除去された映像信号が出力信号線4に出力されることとなる。
【0045】
このようにして出力回路3が動作しているとき、画素Gabにおいては、ノイズ信号を出力した後、信号φSをローとしてMOSトランジスタT1をONとして、次回の撮像動作に備える。又、出力回路3は、ノイズ除去した映像信号を出力すると、スイッチSxをOFFとする。そして、1行分の画素から映像信号が出力信号線4に出力されると、スイッチMIXがOFFとされ、次の映像信号のサンプルホールド動作に備える。
【0046】
このように、出力回路3が動作するとき、まず、画素G1k〜Gmk(k:1≦k≦nの自然数)が撮像動作を行い、映像信号が同時に出力されると、出力回路3−1〜3−mのキャパシタCnにサンプルホールドされる。次に、画素G1k〜Gmkがリセット動作を行い、ノイズ信号が同時に出力されると、出力回路3−1〜3−mのキャパシタCsにサンプルホールドされる。そして、スイッチMIXがONされて、ノイズ除去された映像信号となる電圧信号がキャパシタCs,Cnの接続ノードに現れる。
【0047】
このようにノイズ除去された映像信号が出力回路3−1〜3−mで生成されると、まず、出力回路3−1のスイッチSxがONとされて、画素G1kのノイズ除去された映像信号が出力信号線4に出力される。その後、出力回路3−2,3−3,…,3−mの順に、その内部に設けられたスイッチSxがONとされることで、画素G2k,G3k,…,Gmkの順に、ノイズ除去された映像信号が出力信号線4に出力される。
【0048】
このように、ノイズ除去された画素G1k〜Gmkの映像信号が出力回路3−1〜3−mから出力信号線4に順次出力されると、次に、画素G1(k+1)〜Gm(k+1)の映像信号及びノイズ信号が、それぞれ、出力回路3−1〜3−m内にサンプルホールドされる。そして、出力信号線4に、ノイズ除去された画素G1(k+1)〜Gm(k+1)の映像信号が順次出力される。このようにして、画素G11〜Gmnからの映像信号がそれぞれ、画素G11〜Gmnからのノイズ信号によって、感度のバラツキ補正が施されて、ノイズ除去された映像信号として出力される。
【0049】
このように、本実施形態の固体撮像装置では、画素から映像信号が読み出されて出力される水平ブランク期間に、各列に配された出力回路において、ノイズ信号を用いて映像信号よりノイズ除去を行うことができる。こうして、十分な露光時間を確保しつつ固体撮像装置の駆動速度の低下を防止でき、高速な動作が可能な固体撮像装置とすることができる。又、水平ブランク期間中にノイズ除去を行うため、クロックノイズの影響を低減することができる。
【0050】
尚、本実施形態において、出力回路内に設けられた各スイッチがMOSトランジスタで構成されるとき、出力回路より出力信号線に対して映像信号を出力する際、出力動作を行っていない出力回路内に備えられるスイッチSxと出力信号線を介して並列接続され、その寄生容量の影響を受ける。よって、このスイッチSxの寄生容量の影響を防ぐように、キャパシタCs,Cnの容量値を十分に大きなものとする必要がある。
【0051】
<第2の実施形態>
本発明の第2の実施形態について、以下に、図面を参照して説明する。図6は、本実施形態の固体撮像装置に備えられた出力回路の構成を示すブロック回路図である。尚、本実施形態において、固体撮像装置の構成及び画素の構成は、第1の実施形態と同様、図1及び図2のような構成となるので、第1の実施形態を参照するものとして、説明を省略する。又、図6において、図4と同一の目的で使用する素子及び部品については、同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【0052】
本実施形態の出力回路3a(図1の出力回路3−1〜3−mに相当する)は、図6のように、図4の出力回路3におけるスイッチSxの代わりに、バッファ10が備えられる。即ち、キャパシタCsとスイッチMIXとの接続ノードにバッファ10の入力側が接続されるとともに、バッファ10の出力側に出力信号線4が接続される。よって、バッファ10がONとされるとき、バッファ10の入力側に現れるノイズ除去された映像信号に基づく電圧信号がバッファ10の出力側に現れて、映像信号として出力信号線4に出力される。
【0053】
このように構成される出力回路3aの動作は、第1の実施形態の出力回路3と同様、図5のようなタイミングチャートに従って動作する。尚、このとき、スイッチSxがONとなるタイミングにおいて、バッファ10がONとなる。よって、この出力回路3aの動作も第1の実施形態と同様となるため、その説明を省略する。
【0054】
このように、本実施形態において、出力回路3aにおいて、スイッチSxの代わりにバッファ10を設けることによって、バッファ10の入力側に現れるノイズ除去された映像信号に対して、他の出力回路3aの素子による影響が与えられることがない。よって、第1の実施形態のようなスイッチSxの寄生容量による影響を防ぐことができるため、キャパシタCs,Cnの容量を第1の実施形態のように、大きくする必要がない。
【0055】
尚、本実施形態において、キャパシタCs,Cnの接続ノードが直接バッファ10の入力側に接続されるため、キャパシタCs,Cnに対して、バッファ10の入力側の静電容量が影響を与える。特に、キャパシタCsに映像信号がサンプルホールドされるときに、このバッファ10の静電容量による影響を大きく受ける。よって、このバッファ10の静電容量が十分に小さくなるように、バッファ10を設計する必要がある。
【0056】
<第3の実施形態>
本発明の第3の実施形態について、以下に、図面を参照して説明する。図7は、本実施形態の固体撮像装置に備えられた出力回路の構成を示すブロック回路図である。尚、本実施形態において、固体撮像装置の構成及び画素の構成は、第1の実施形態と同様、図1及び図2のような構成となるので、第1の実施形態を参照するものとして、説明を省略する。又、図7において、図6と同一の目的で使用する素子及び部品については、同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【0057】
本実施形態の出力回路3b(図1の出力回路3−1〜3−mに相当する)は、図7のように、図6の出力回路3aに、バッファ10の入力側とキャパシタCsとスイッチMIXとの接続ノードとの間に接続されたスイッチSSWと、バッファ10の入力側に一端が接続されるとともに他端に直流電圧Vrが印加されたスイッチRSDとが加えられた構成となる。
【0058】
この出力回路3bは、図8のようなタイミングチャートに従って動作する。以下に、この出力回路3bの動作について説明する。まず、画素Gabに与えられる信号φSをローとして撮像動作が行われているとき、スイッチMIXがOFFとされるとともにスイッチRSDがONとされる。このとき、スイッチRSP,SSWがON、スイッチSHS,SHN,RSMがOFFである。よって、キャパシタCsは、その一端がスイッチRSPを介して、又、その他端がスイッチSSW,RSDを介して、それぞれ、直流電圧Vrが印加された状態となり、リセットされる。
【0059】
その後、スイッチSSWがOFFとされて、キャパシタCsとバッファ10との間の電気的な接続が切断された後、スイッチRSPをOFFとするとともにスイッチRSMをONとする。この状態で、スイッチSHSをONとするとともに画素Gabにおいて信号φVがローとされると、信号線1に現れる映像信号の電圧信号がキャパシタCsにサンプルホールドされる。そして、信号φVがハイとされるとともにスイッチSHSがOFFとされる。
【0060】
その後、信号φSがハイとされてリセット動作が開始されると、スイッチRSMがOFFとされた後、スイッチRSPがONとされる。次に、信号φVがローとされてノイズ信号が信号線1に現れるとき、スイッチSHNがONとされて、キャパシタCnにノイズ信号がサンプルホールドされる。そして、スイッチSHNがOFFされるとともに信号φVがハイとされた後、スイッチMIXがONとされる。
【0061】
このとき、キャパシタCnの負の電極に保持された電荷とキャパシタCsの正の電極に保持された電荷が混合されることで、ノイズ信号と映像信号との差分値となる電圧値(Vn−Vs)/2+VrがキャパシタCs,Cnの接続ノードに現れる。その後、スイッチRSDがOFFとされる。尚、スイッチRSDがONとされていたことにより、バッファ10の入力側がリセットされる。そして、スイッチSSWがONとされることによって、ノイズ信号と映像信号の差分値となる電圧信号が、バッファ10に入力される。
【0062】
このような動作を各列に配された出力回路3−1〜3−mが行うことで、1行分の画素G1k〜Gmkからの映像信号及びノイズ信号がそれぞれ、出力回路3−1〜3−mに保持された後、ノイズ信号と映像信号の差分値となる電圧信号が生成されて、出力回路3−1〜3−mそれぞれに備えられたバッファ10に入力される。このように、各列の出力回路3−1〜3−m内のバッファ10にノイズ信号と映像信号の差分値となる電圧信号が入力されると、出力回路3−1,3−2,…,3−mの順に、バッファ10がONとされることによって、画素G1k,G2k,…,Gmkの順に、ノイズ除去された映像信号が出力信号線4に出力される。
【0063】
このように、本実施形態によると、出力回路3bにおいて、映像信号及びノイズ信号をキャパシタCs,Cnにサンプルホールドした後に、その差分値となる電圧信号を生成するまで、スイッチSSWをOFFとするため、バッファ10の入力側の静電容量の影響を受けることなく、ノイズ除去された映像信号を生成することができる。
【0064】
<第4の実施形態>
本発明の第4の実施形態について、図9は、本実施形態における固体撮像装置の構成を示すブロック図である。尚、図9において、図1と同一の目的で使用する部分については、同一の符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【0065】
図9の固体撮像装置は、図1の固体撮像装置において、画素G11〜Gm1の下の行に、画素G11〜Gmnから出力される映像信号を補正するためのダミーとなる補正画素G10〜Gm0が付加された構成となる。又、出力信号線4を通じて出力される映像信号が出力切換回路5に与えられて、この出力切換回路5によって、ラインメモリ6又は差動増幅回路7の非反転入力端子のいずれに映像信号が入力されるか決定される。更に、ラインメモリ6の出力側が差動増幅回路7の反転入力端子に接続されるとともに、ラインメモリ6の入力側と出力側の間にスイッチSyが接続される。
【0066】
このような構成の固体撮像装置において、画素G11〜Gmnを、第1〜第3の実施形態と同様、図2のような構成の画素とし、出力回路3−1〜3−mを、第3の実施形態と同様、図7のような構成の出力回路3bとする。又、このとき、補正画素G10〜Gm0が、図10のような構成、即ち、ドレインに直流電圧VPDが印加されたMOSトランジスタT4とゲートに信号φVが与えられるMOSトランジスタT6によって構成される。このとき、MOSトランジスタT4のゲートには、直流電圧Vrが印加される。
【0067】
補正画素G10〜Gm0が図10のように構成されるため、補正画素G10〜Gm0において、画素G11〜Gmnと同一のタイミングで各信号が与えられると、パルス信号φVが与えられるときに、同一の電圧信号となる映像信号及びノイズ信号が出力される。よって、出力回路3−1〜3−mにおいて、スイッチMIXがONとされるとき、キャパシタCs,Cnの接続ノードに現れる電圧値がVrとなる。
【0068】
そして、出力回路3−1〜3−m内のバッファ10が順にONとなって、補正画素G10,G20,…,Gm0の順に、補正用映像信号が出力信号線4を介して出力切換回路5に出力される。このとき、出力切換回路5は入力された信号をラインメモリ6に出力するように、その出力切換が成される。よって、入力されたm個の補正用映像信号が、補正画素G10,G20,…,Gm0の順に、ラインメモリ6に入力される。
【0069】
その後、画素G11〜Gmnの映像信号が、画素G11から順に出力信号線4を通じて出力切換回路5に出力される。このとき、画素G1k〜Gmkの映像信号及びノイズ信号それぞれが、出力回路3−1〜3−mに同時にサンプルホールドされて、ノイズ除去された映像信号が生成されると、出力回路3−1,3−2,…,3−mの順に、バッファ10がONされて、画素G1k,G2k,…,Gmkの順に、映像信号が出力切換回路5に出力される。
【0070】
今、出力切換回路5によって出力信号線4と差動増幅回路7の非反転入力端子とが接続されるとともに、スイッチSyがONとされる。よって、画素G1k,G2k,…,Gmkの順に映像信号が差動増幅回路7の非反転入力端子に入力される。このとき、補正画素G10,G20,…,Gm0の順にラインメモリ6に格納された補正用映像信号が差動増幅回路7の反転入力端子に入力される。又、このラインメモリ6より出力される補正画素G10〜Gm0の補正用映像信号は、スイッチSyを介して再び補正画素G10,G20,…,Gm0の順にラインメモリ6に入力される。
【0071】
尚、出力回路3bに備えられたバッファ10は、入力側の電圧値Vinに対して、出力側の電圧値が、A×Vin+Vのようにオフセット電圧を有する。よって、画素Gabより映像信号Vs及びノイズ信号Vnが出力回路3bに入力されると、出力回路3bからは、A×((Vn−Vs)/2+Vr)+Vの映像信号が出力される。この画素Gabの映像信号が差動増幅回路7の非反転入力端子に入力されるとき、補正画素Ga0のA×Vr+Vとなる補正用映像信号が差動増幅回路7の反転入力端子に入力されるため、差動増幅回路7からB×(Vn−Vs)となるオフセット電圧が除去された映像信号が出力される。
【0072】
このように差動増幅回路7が動作することで、画素G1k,G2k,…,Gmkの順に入力された映像信号が、補正画素G10,G20,…,Gm0の順に入力される補正用映像信号によってオフセット電圧が除去される。そして、オフセット電圧が除去された画素G1k〜Gmkの映像信号が差動増幅回路7から出力されると、画素G1k+1〜Gmk+1に対して同一の動作が繰り返し行われることで、オフセット電圧が除去された画素G11〜Gmnの映像信号が差動増幅回路7から出力される。こうして、列毎の出力回路3bに配置されたバッファ10に起因する固定パターンノイズの発生が防止される。
【0073】
尚、本実施形態において、出力回路を、第3の実施形態と同様の構成となる図7のような構成の出力回路としたが、その条件を満たすのであれば、第1又は第2の実施形態と同様の構成となる図4又は図6のような構成の出力回路としても構わない。
【0074】
又、ダミーとなる補正画素の構成を図10のような構成としたが、それ以外の構成でも良く、図2の光電変換を行う部分を有するような構成としても構わない。但し、このとき、図10と同様、MOSトランジスタT4のゲートには一定の電圧が常に印加された状態とされる。又、1行分を補正画素としたが複数行分とし、各列毎に平均化した映像信号を補正用映像信号としても構わない。更に、補正画素の映像信号を複数フレーム毎に読み出してラインメモリに格納するようにしても構わない。
【0075】
又、上述の第1〜第4の各実施形態において、固体撮像装置内の各画素の構成を、図2のような構成としたが、それ以外の構成でも良く、例えば、線形変換動作を行うような構成の画素や、NチャネルのMOSトランジスタによる構成の画素としても構わない。
【0076】
【発明の効果】
本実施形態によると、映像信号及びノイズ信号を互いに逆極性の信号として保持するため、映像信号及びノイズ信号を結合することによって容易にノイズ除去された映像信号が生成される。よって、従来のように、サンプルホールドした映像信号とノイズ信号を別々に出力した後にノイズ除去を行うという動作を施すことなく、出力回路で生成されたノイズ除去された映像信号を出力するのみで構わないため、その駆動速度を速くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の固体撮像装置の内部構成の一例を示すブロック図。
【図2】画素の構成を示す回路図。
【図3】図2の画素の感度バラツキ検出時の各信号の動作を示すタイミングチャート。
【図4】第1の実施形態の固体撮像装置内に設けられた出力回路の内部構成を示すブロック回路図。
【図5】図4の出力回路内の各素子の動作を示すタイミングチャート。
【図6】第2の実施形態の固体撮像装置内に設けられた出力回路の内部構成を示すブロック回路図。
【図7】第3の実施形態の固体撮像装置内に設けられた出力回路の内部構成を示すブロック回路図。
【図8】図7の出力回路内の各素子の動作を示すタイミングチャート。
【図9】本発明の固体撮像装置の内部構成の別例を示すブロック図。
【図10】補正画素の構成を示す回路図。
【図11】従来の固体撮像装置の要部を示すブロック図。
【符号の説明】
G11〜Gmn 画素
G10〜Gm0 補正画素
1−1〜1−m 信号線
2−1〜2−m 定電流源
3 出力回路
4 出力信号線
5 出力切換回路
6 ラインメモリ
7 差動増幅回路
10 バッファ
Claims (4)
- 入射光量に応じた映像信号及び感度バラツキを表すノイズ信号を発生する画素を複数備えた固体撮像装置において、
前記画素から出力される映像信号及びノイズ信号を互いに逆の極性で保持し、逆の極性で保持した前記映像信号と前記ノイズ信号とを結合することによって、ノイズ除去された映像信号を生成して出力する出力回路を有し、
該出力回路は、
前記画素から映像信号又はノイズ信号が出力される信号線に一端が接続された第1スイッチ及び第2スイッチと、
前記第1スイッチの他端に一端が接続されるとともに、映像信号をサンプルホールドする第1キャパシタと、
前記第2スイッチの他端に一端が接続され、他端に基準電圧が印加されるとともに、ノイズ信号をサンプルホールドする第2キャパシタと、
前記第1キャパシタの他端に一端が接続されるとともに、前記第2スイッチと前記第2キャパシタとの接続ノードに他端が接続された第3スイッチと、
前記第1キャパシタと前記第1スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、他端に前記基準電圧が印加された第4スイッチと、
前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、他端に前記基準電圧が印加された第5スイッチと、
前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、ONとなることで前記ノイズ除去された映像信号を出力する第6スイッチと、
を有することを特徴とする固体撮像装置。 - 入射光量に応じた映像信号及び感度バラツキを表すノイズ信号を発生する画素を複数備えた固体撮像装置において、
前記画素から出力される映像信号及びノイズ信号を互いに逆の極性で保持し、逆の極性で保持した前記映像信号と前記ノイズ信号とを結合することによって、ノイズ除去された映像信号を生成して出力する出力回路を有し、
該出力回路は、
前記画素から映像信号又はノイズ信号が出力される信号線に一端が接続された第1スイッチ及び第2スイッチと、
前記第1スイッチの他端に一端が接続されるとともに、映像信号をサンプルホールドする第1キャパシタと、
前記第2スイッチの他端に一端が接続され、他端に基準電圧が印加されるとともに、ノイズ信号をサンプルホールドする第2キャパシタと、
前記第1キャパシタの他端に一端が接続されるとともに、前記第2スイッチと前記第2キャパシタとの接続ノードに他端が接続された第3スイッチと、
前記第1キャパシタと前記第1スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、他端に前記基準電圧が印加された第4スイッチと、
前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、他端に前記基準電圧が印加された第5スイッチと、
前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに入力側が接続されるとともに、ONとなることで前記ノイズ除去された映像信号を出力するバッファと、
を有することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第1キャパシタと前記第3スイッチとの接続ノードに一端が接続されるとともに、前記バッファの入力側に他端が接続された第6スイッチを有することを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
- 入射光量に関係なく同一の映像信号及びノイズ信号が出力される補正画素と、
該補正画素から出力される前記映像信号及び前記ノイズ信号に基づいて前記出力回路により生成されて出力される補正用映像信号を格納するラインメモリと、
該ラインメモリに格納された前記補正用映像信号に基づいて、前記出力回路より出力される前記画素の前記ノイズ除去された映像信号に含まれるオフセットを除去する補正回路と、
を有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の固体撮像装置。
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