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Endfacettenschutz für eine lichtquelle und verfahren zur verwendung in metrologieanwendungen
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Tilstandsstyring af fotoniske krystalfiberbaserede bredbåndslyskilder
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Modensteuerung von photonischen kristallfaserbasierten breitbandigen lichtquellen
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确定图案的像差灵敏度的方法
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中空芯部光纤中的改进的宽带辐射生成
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感测对准标记的设备和方法
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Optische komponente auf basis von photonischen hohlkernkristallfasern zur breitbandigen strahlungserzeugung
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Hollow-core photonic crystal fiber based optical component for broadband radiation generation
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리소그래피 장치의 부분을 세정하기 위한 시스템
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(de)
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ASML Netherlands B.V. |
Verfahren zur herstellung einer kapillare für eine photonische hohlkernkristallfaser
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Asml荷兰有限公司 |
制造用于空芯光子晶体光纤的毛细管的方法
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Asml荷兰有限公司 |
用于光刻系统的校准方法
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Asml荷兰有限公司 |
对准方法和相关联的对准和光刻设备
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Asml Netherlands B.V. |
Alignment method and associated alignment and lithographic apparatuses
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Asml荷兰有限公司 |
量测方法和相关联的量测和光刻设备
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(ja)
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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. |
暗視野デジタルホログラフィ顕微鏡および関連する計測方法
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(de)
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2019-12-17 |
2021-06-23 |
ASML Netherlands B.V. |
Digitales holographisches dunkelfeldmikroskop und zugehöriges messverfahren
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(zh)
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2019-12-18 |
2022-08-12 |
Asml荷兰有限公司 |
用于校正集成电路和关联设备的制造中的测量值的方法
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(de)
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2020-01-14 |
2021-07-21 |
ASML Netherlands B.V. |
Verfahren zur korrektur von messungen bei der herstellung von integrierten schaltungen und zugehörige vorrichtungen
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(de)
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2019-12-19 |
2021-06-23 |
ASML Netherlands B.V. |
Bestimmung relativer positionen verschiedener schichten in einer struktur
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(zh)
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Asml荷兰有限公司 |
光学确定结构中不同层中金属特征之间的电接触
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Lithographic apparatus, metrology systems, illumination sources and methods thereof
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Asml荷兰有限公司 |
用于改善对宽带辐射生成的控制的方法、组件、和设备
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Verfahren, anordnung und vorrichtung zur verbesserten steuerung von breitbandiger strahlungserzeugung
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Substrate, patterning device and lithographic apparatuses
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Metrology method and associated metrology and lithographic apparatuses
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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. |
アライメントマークを感知するための装置
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Method for calibrating simulation process based on defect-based process window
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ASML Netherlands B.V. |
Schwingungsisolationssystem und zugehörige anwendungen in der lithographie
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上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
一种对准系统、对准方法及光刻机
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ASML Netherlands B.V. |
Anordnung mit einem nichtlinearen element und verfahren zu deren verwendung
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Asml Holding N.V. |
Systems and methods for forming structures on a surface
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Asml Holding N. V. |
Adjustable retardance compensator for self-referencing interferometer devices
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Superkontinuumstrahlungsquelle und zugehörige metrologievorrichtungen
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2020-05-19 |
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Asml Holding N.V. |
Generating an alignment signal based on local alignment mark distortions
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Asml Netherlands B.V. |
Lithographic apparatus, multi-wavelength phase-modulated scanning metrology system and method
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Asml Netherlands B.V. |
Alignment method and associated alignment and lithographic apparatuses
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2020-05-29 |
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Asml Netherlands B.V. |
Substrate, patterning device and metrology apparatuses
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荷蘭商Asml控股公司 |
用於清潔微影設備之一部分之清潔工具及方法
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(zh)
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Asml荷兰有限公司 |
光刻设备、量测系统及其方法
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(zh)
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2020-06-23 |
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Asml控股股份有限公司 |
光刻设备、量测系统、照射开关及其方法
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2020-06-24 |
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Asml Holding N.V. |
Self-referencing integrated alignment sensor
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(ko)
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2020-06-24 |
2023-02-27 |
에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. |
계측 방법 및 연관된 계측 및 리소그래피 장치들
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(en)
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2020-07-03 |
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Asml Netherlands B.V. |
Process window based on failure rate
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(ko)
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2020-07-06 |
2023-03-10 |
에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. |
조명 장치 및 연관된 계측 및 리소그래피 장치
|
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(ko)
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2020-07-08 |
2023-02-09 |
에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. |
연장된 섬유 수명을 갖는 중공-코어 섬유 기반 광대역 방사선 생성기
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(de)
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2020-07-08 |
2022-01-12 |
ASML Netherlands B.V. |
Auf photonischer hohlkernkristallfaser basierender breitbandstrahlungsgenerator mit verlängerter faserlebensdauer
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Asml Holding N.V. |
Spectrometric metrology systems based on multimode interference and lithographic apparatus
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(zh)
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Asml荷兰有限公司 |
用于产生宽带辐射的方法以及相关联的宽带源和量测装置
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(de)
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2022-03-30 |
ASML Netherlands B.V. |
Verfahren zur erzeugung von breitbandstrahlung und zugehörige breitbandquelle und metrologievorrichtung
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(zh)
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2023-05-12 |
Asml荷兰有限公司 |
中空芯部光纤光源和用于制造中空芯部光纤的方法
|
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(de)
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2020-11-13 |
2022-05-25 |
ASML Netherlands B.V. |
Hohlkernfaserlichtquelle und verfahren zur herstellung einer hohlkernfaser
|
KR20230054384A
(ko)
|
2020-08-26 |
2023-04-24 |
에이에스엠엘 홀딩 엔.브이. |
리소그래피 장치, 계측 시스템, 및 오차 정정을 위한 세기 불균형 측정
|
EP3964809A1
(de)
|
2020-09-02 |
2022-03-09 |
Stichting VU |
Wellenfrontmetrologiesensor und maske dafür, verfahren zur optimierung einer maske und zugehörige vorrichtungen
|
EP3964892A1
(de)
|
2020-09-02 |
2022-03-09 |
Stichting VU |
Beleuchtungsanordnung und zugehöriges digitales holographisches dunkelfeld-mikroskop
|
EP3988996A1
(de)
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ASML Netherlands B.V. |
Breitbandstrahlungsgenerator mit hohlkern auf der basis von photonischen kristallfasern
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(de)
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2020-09-11 |
2022-03-16 |
ASML Netherlands B.V. |
Strahlungsquellenanordnung und metrologiegerät
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(ja)
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2020-09-03 |
2023-09-22 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. |
中空コアフォトニック結晶ファイバベースの広帯域放射ジェネレータ
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(de)
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2020-10-01 |
2022-04-06 |
ASML Netherlands B.V. |
Achromatische optische relaisanordnung
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2023-12-14 |
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Polarization selection metrology system, lithographic apparatus, and methods thereof
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(zh)
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2020-11-24 |
2023-07-21 |
Asml控股股份有限公司 |
多物镜量测系统、光刻设备及其方法
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(ja)
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2023-12-06 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. |
メトロロジ方法並びに関連付けられたメトロロジ及びリソグラフィ装置
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2020-12-01 |
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Verfahren und vorrichtung zur abbildung eines nichtstationären objekts
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Metrology system and coherence adjusters
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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. |
メトロロジの方法及び関連装置
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Breitbandstrahlungsgenerator mit hohlkern auf der basis von photonischen kristallfasern
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(ja)
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2020-12-10 |
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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. |
中空コアフォトニック結晶ファイバに基づく広帯域放射生成器
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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. |
リソグラフィ装置、メトロロジシステム、及びそれらの方法
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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. |
リソグラフィアライメント装置における強度を測定するためのシステム及び方法
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Photonische kristallfaser mit hohlkern
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Hollow-core photonic crystal fiber
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Methods and apparatuses for spatially filtering optical pulses
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(de)
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2021-03-29 |
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Verfahren und vorrichtungen zur räumlichen filterung optischer impulse
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Ausrichtungsverfahren
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Alignment method and associated alignment and lithographic apparatuses
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EP4060403A1
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ASML Netherlands B.V. |
Auf photonischer hohlkernkristallfaser-basierte mehrwellenlängen-lichtquellenvorrichtung
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EP4086698A1
(de)
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2021-05-06 |
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Hohlkernglasfaserbasierte strahlungsquelle
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Hollow-core optical fiber based radiation source
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Asymmetry extended grid model for wafer alignment
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2021-04-23 |
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ASML Netherlands B.V. |
Steuerung der aberration in einem optischen system, metrologiesystem, lithografische vorrichtung und verfahren dafür
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EP4334766A1
(de)
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Optisches element zur erzeugung von breitbandstrahlung
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Optisches element zur erzeugung von breitbandiger strahlung
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集成光学对准传感器
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Metrology systems, temporal and spatial coherence scrambler and methods thereof
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Asml荷兰有限公司 |
过填充双向标记的强度不平衡校准
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2021-06-28 |
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ASML Netherlands B.V. |
Verfahren zur herstellung von photonischen kristallfasern
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Metrology systems with phased arrays for contaminant detection and microscopy
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저차원 데이터 분석을 위한 데이터 매핑 방법 및 프로그램
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Verfahren zur datenabbildung für analyse von niedrigdimensionalen daten
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Intensity measurements using off-axis illumination
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一种掩模板、曝光设备及掩模板对准方法
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