JP7143526B2 - 並列アライメントマークを同時に獲得するための装置及びその方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2018年12月20日出願の米国仮特許出願第62/782,715号の優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
1.アライメントパターンの複数の並列アライメントマークを同時に検出するための装置であって、
複数の光ビームを同時に生成するための光源であって、複数の光ビームはアライメントマークのそれぞれ1つを照明するためのそれぞれ空間的にコヒーレントな光ビームを含む、光源と、
光ビームがそれぞれのアライメントマークと相互作用した後、複数の光ビームの各光ビームを同時に収集するように配置された集光光学系と、
各々が複数の光ビームのうちの1つを受け取るようにそれぞれに配置された複数のディテクタと、
を備える、装置。
2.光源は複数の単一モードファイバを備える、条項1に記載の装置。
3.単一モードファイバは移動可能であり、単一モードファイバからの光は、単一モードファイバを移動することで、単一モードファイバからの光にアライメントマークのセグメントをスキャンさせるようにアライメントマークにリレーされる、条項2に記載の装置。
4.単一モードファイバの各々は、単一モードファイバを移動するためにデバイスに機械的に結合される、条項3に記載の装置。
5.光源は集積光デバイスを備える、条項1に記載の装置。
6.集積光デバイスはマルチモード干渉デバイスを備える、条項5に記載の装置。
7.集積光デバイスは1XN指向性カップラを備える、条項5に記載の装置。
8.光源はオンアクシス照明を提供する、条項1から7のいずれか一項に記載の装置。
9.光源はオンアクシス照明を提供する、条項1から7のいずれか一項に記載の装置。
10.集光光学系はオフナーリレーを備える、条項1から7のいずれか一項に記載の装置。
11.集光光学系は複数の円柱レンズを備える、条項1から10のいずれか一項に記載の装置。
12.複数のディテクタは、並列アライメントマークに近接し並列な線形アレイに配置された複数のディテクタ要素を備え、また、集光光学系は複数の対物レンズを備え、複数のディテクタ要素の各々は複数の対物レンズのうちのそれぞれ1つを有する、条項1から11のいずれか一項に記載の装置。
13.複数の回転ミラーを更に備え、回転ミラーの各々は入来する照明光ビームを受け取るように配置され、回転ミラーは、入来する照明光ビームをアライメントマークのそれぞれ1つに誘導するように調節可能である、条項12に記載の装置。
14.アライメントパターンの複数の並列アライメントマークを同時に照明するための装置であって、
空間的にコヒーレントな放射の放射源と、
空間的にコヒーレントな放射を受け取るように及び複数の光ビームを同時に生成するように配置された光学要素であって、複数の光ビームは、アライメントマークの各々についてそれぞれ空間的にコヒーレントな光ビームを含む、光学要素と、
を備える、装置。
15.光学要素は複数の単一モードファイバを備える、条項14に記載の装置。
16.放射源は集積光デバイスを備える、条項14に記載の装置。
17.集積光デバイスはマルチモード干渉デバイスを備える、条項16に記載の装置。
18.集積光デバイスは1XN指向性カップラを備える、条項16に記載の装置。
19.光源はオンアクシス照明を提供する、条項14から18のいずれか一項に記載の装置。
20.光源はオンアクシス照明を提供する、条項14から18のいずれか一項に記載の装置。
21.アライメントパターンの複数の並列アライメントマークを同時に検出する方法であって、
複数の光ビームを同時に生成するステップであって、複数の光ビームは、アライメントマークの各々についてそれぞれ空間的にコヒーレントな光ビームを含む、同時に生成するステップと、
光ビームがそれぞれのアライメントマークと相互作用した後、複数の光ビームの各光ビームを並列に収集するステップと、
各収集した光ビームを複数のディテクタのうちのそれぞれ1つに並列に伝達するステップと、
を含む、方法。
22.複数の光ビームを同時に生成するステップは、複数の単一モードファイバを使用するステップを含む、条項21に記載の方法。
23.複数の光ビームを同時に生成するステップは、単一モードファイバからの光にアライメントマークのセグメントをスキャンさせるために、単一モードファイバを移動するステップを含む、条項22に記載の方法。
24.複数の光ビームを同時に生成するステップは、集積光デバイスを使用するステップを含む、条項21に記載の方法。
25.複数の光ビームを同時に生成するステップは、マルチモード干渉デバイスを使用するステップを含む、条項24に記載の方法。
26.複数の光ビームを同時に生成するステップは、NX1指向性カップラを使用するステップを含む、条項24に記載の方法。
27.複数の光ビームを同時に生成するステップは、複数の光ビームをオンアクシスで生成するステップを含む、条項21から26のいずれか一項に記載の方法。
28.複数の光ビームを同時に生成するステップは、複数の光ビームをオフアクシスで生成するステップを含む、条項21から26のいずれか一項に記載の方法。
29.光ビームがそれぞれのアライメントマークと相互作用した後、複数の光ビームの各光ビームを並列に収集するステップは、オフナーリレーの使用を含む、条項21から28のいずれか一項に記載の方法。
30.光ビームがそれぞれのアライメントマークと相互作用した後、複数の光ビームの各光ビームを並列に収集するステップは、複数の円柱レンズの使用を含む、条項21から28のいずれか一項に記載の方法。
31.複数の光ビームを同時に生成するステップは、光ビームの各々を複数の調節可能ミラーのうちのそれぞれ1つに向かわせるステップを含む、条項21から30のいずれか一項に記載の方法。
32.各収集した光ビームを複数のディテクタのうちのそれぞれ1つに並列に伝達するステップは、並列アライメントマークに近接する並列な線形アレイ内のディテクタに、光を伝達するステップを含む、条項21から31のいずれか一項に記載の方法。
Claims (8)
- アライメントパターンの複数の並列アライメントマークを同時に検出するための装置であって、
複数の光ビームを同時に生成するための光源であって、前記複数の光ビームは前記アライメントマークのそれぞれ1つを照明するためのそれぞれ空間的にコヒーレントな光ビームを含む、光源と、
前記光ビームがそれぞれのアライメントマークと相互作用した後、前記複数の光ビームの各光ビームを同時に収集するように配置された集光光学系と、
各々が前記複数の光ビームのうちの1つを受け取るようにそれぞれに配置された複数のディテクタと、を備え、
前記光源は、複数の単一モードファイバを備え、
前記単一モードファイバの各々は、前記単一モードファイバを移動させるためのデバイスに機械的に結合されて並進可能であり、
前記単一モードファイバからの光は、前記単一モードファイバを移動することで、前記単一モードファイバからの光に前記アライメントマークのセグメントをスキャンさせるように前記アライメントマークにリレーされ、
前記セグメント内のビームは、前記単一モードファイバが並進移動することによって、前記セグメント内の任意の位置にステアリング可能である、装置。 - アライメントパターンの複数の並列アライメントマークを同時に検出するための装置であって、
複数の光ビームを同時に生成するための光源であって、前記複数の光ビームは前記アライメントマークのそれぞれ1つを照明するためのそれぞれ空間的にコヒーレントな光ビームを含む、光源と、
前記光ビームがそれぞれのアライメントマークと相互作用した後、前記複数の光ビームの各光ビームを同時に収集するように配置された集光光学系と、
各々が前記複数の光ビームのうちの1つを受け取るようにそれぞれに配置された複数のディテクタを有するディテクタアレイと、を備え、
前記集光光学系は、オフナーリレーを有し、
前記ディテクタアレイは、前記オフナーリレーのオフナー左ミラーとオフナー右ミラーとの間の共役面内に置かれ、
前記ディテクタアレイは、各々の中央にフォトダイオードを有するレンズの線形アレイを含む、装置。 - 前記光源は、オンアクシス照明を提供する、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記光源は、オフアクシス照明を提供する、請求項1又は2に記載の装置。
- アライメントパターンの複数の並列アライメントマークを同時に照明するための装置であって、
空間的にコヒーレントな放射の放射源と、
前記空間的にコヒーレントな放射を受け取るように及び複数の光ビームを同時に生成するように配置された光学要素であって、前記複数の光ビームは、前記アライメントマークの各々についてそれぞれ空間的にコヒーレントな光ビームを含む、光学要素と、を備え、
前記光学要素は、複数の単一モードファイバを備え、
前記単一モードファイバの各々は、前記単一モードファイバを移動させるためのデバイスに機械的に結合されて並進可能であり、
前記単一モードファイバからの光は、前記単一モードファイバを移動することで、前記単一モードファイバからの光に前記アライメントマークのセグメントをスキャンさせるように前記アライメントマークにリレーされ、
前記セグメント内のビームは、前記単一モードファイバが並進移動することによって、前記セグメント内の任意の位置にステアリング可能である、装置。 - アライメントパターンの複数の並列アライメントマークを同時に照明するための装置であって、
空間的にコヒーレントな放射の放射源と、
前記空間的にコヒーレントな放射を受け取るように及び複数の光ビームを同時に生成するように配置された光学要素であって、前記複数の光ビームは、前記アライメントマークの各々についてそれぞれ空間的にコヒーレントな光ビームを含む、光学要素と、
前記光ビームがそれぞれのアライメントマークと相互作用した後、前記複数の光ビームの各光ビームを同時に収集するように配置された集光光学系と、
各々が前記複数の光ビームのうちの1つを受け取るようにそれぞれに配置された複数のディテクタを有するディテクタアレイと、を備え、
前記集光光学系は、オフナーリレーを有し、
前記ディテクタアレイは、前記オフナーリレーのオフナー左ミラーとオフナー右ミラーとの間の共役面内に置かれ、
前記ディテクタアレイは、各々の中央にフォトダイオードを有するレンズの線形アレイを含む、装置。 - 前記放射源は、オンアクシス照明を提供する、請求項5又は6に記載の装置。
- 前記放射源は、オフアクシス照明を提供する、請求項5又は6に記載の装置。
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