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Hintergrund der Erfindung
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein magnetisches Metallpulver und
sein Herstellungsverfahren.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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Das
Herstellungsverfahren von Metallpulver kann nach seinen Ausgangsrohmaterialien
klassifiziert werden. In anderen Worten, Metallpulver kann aus der
Gasphase, flüssigen
Phase und festen Phase hergestellt werden. Bestimmte bekannte Verfahren
zur Herstellung von Metallpulver aus der Gasphase sind das chemische
Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD), das Zerstäubungsverfahren und das Vakuumbedampfungsverfahren.
Als Verfahren zur Herstellung von Metallpulver aus der flüssigen Phase
sind das Mitfällungsverfahren,
das Gas- oder Wasseratomisierungsverfahren, das Sprühverfahren
und das Sprühpyrolyseverfahren
bekannt. Zur Herstellung von Metallpulver aus der festen Phase gibt
es das Pulverisierungsverfahren, das eine Zerreibmaschine zum Pulverisieren
von Metallklumpen zu Partikeln von geeigneter Größe verwendet, oder die Anwendung
eines vorgeschriebenen Verfahrens auf pulverisiertes Pulver.
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Verschiedene
auf dem Gebiet der Elektronik verwendete Teile werden immer öfter und
weit verbreitet im Hochfrequenzbereich verwendet. Dasselbe kann über Leiterplatten
gesagt werden. Substrate mit verschiedenen Eigenschaften werden
großen
Zulauf haben, wie z.B. solche mit hoher oder niedriger dielektrischer Konstante,
ausgezeichneten magnetischen Eigenschaften oder solche, die Radiowellen
absorbieren. Um diese Substrate zu erhalten, wird ein magnetisches
Pulver mit ausgezeichneten Hochfrequenzeigenschaften gemischt und
in Leiterplatten je nach Bedarf dispergiert. Einige der verwendeten
magnetischen Pulver sind Ferrittpulver und Carbonyleisenpulver zur
Hochfrequenzverwendung. Neben dem Bereich der Leiterplatten werden
auch in der Klasse der Verpackungen Radiowellen-absorbierende Pulver
gemischt und in einem Harz dispergiert. In dem Gebiet der Leitpasten
werden leitende Partikel gemischt und in dicken filmartigen Pasten
zur Herstellung von elektronischen Schaltungen, Widerständen, Kondensatoren
und Baugruppen für
integrierte Schaltkreise dispergiert. Darüber hinaus werden magnetische
Pulver in weichen magnetischen Materialien weit verbreitet zur Herstellung
von Spulenmaterialien für
Netzanschlussgeräte
wie Drosselspulen verwendet. Was magnetische Materialien betrifft,
gibt es Kernmaterialien für
Motoren. Magnetisches Pulver wird ebenso in magnetischen Widerständen und
magnetischen Sensoren verwendet.
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Eine
Technologie zur Erzeugung von Metallpulver für dicke filmartige Pasten unter
Verwendung des Sprühpyrolyseverfahrens
ist bekannt. Diese Technologie bedingt das Sprühen einer metallsalzhaltigen
Lösung zur
Erzeugung flüssiger
Tropfen und das Erwärmen
der Tropfen bei einer Temperatur, die höher ist als die Zersetzungstemperatur
des Metallsalzes und des Schmelzpunktes des Metalls, wenn aber das
Metall bei einer Temperatur, die unterhalb seines Schmelzpunktes
liegt und höher
als die Zersetzungstemperatur des Oxids ist, ein Oxid bildet, um
das Metallsalz thermisch zu lösen
und die so erzeugten Metallpartikel zu schmelzen.
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Gemäß dem Sprühpyrolyseverfahren
ist das so gebildete Metallpulver kugelförmig mit ausgezeichneten Kristallisationseigenschaften
und guten Dispergiermitteleigenschaften. Gemäß des Sprühpyrolyseverfahrens kann Ag-Pulver
beispielsweise mit einer maximalen Partikelgröße von 1,7 μm und einer minimalen Partikelgröße von 0,5 μm unter Verwendung
einer Lösung
gebildet werden, die AgNO3 enthält; Ag-Pd-Legierungspulver
wird mit Partikelgrößen im Bereich
von 2,5 μm
(max.) bis 1,5 μm
(min.) unter Verwendung einer Lösung gebildet,
die AgNO3 und Pd(NO3)2 enthält,
und Au-Pulver wird mit Partikelgrößen im Bereich von 1,0 μm (max.) bis
0,5 μm (min.)
unter Verwendung einer Lösung
gebildet, die HAuCl4 enthält. Auch
diesen Pulvern wird nachgesagt, ausgezeichnete Kristallisationseigenschaften
aufzuweisen.
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Auf
diese Weise kann Metallpulver mit Partikelgrößen im Bereich von 0,5 bis
2,5 μm und
ausgezeichneten Kristallisationseigenschaften erhalten werden. Metallpulver
mit diesen Eigenschaften ist als Leitpaste geeignet.
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Die
obigen Beispiele beziehen sich jedoch auf Ag, Ag-Pd-Legierung und Au
aber nicht auf Metallpulver, insbesondere Fe-Pulver, das zur Verwendung
von Mischungen und Dispersionen von magnetischen Pulvern geeignet
ist.
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Im
Stand der Technik werden Verfahren zur Herstellung von Metallpulver
unter Verwendung des Sprühpyrolyseverfahrens
gelehrt und die Möglichkeit
zur Herstellung von Fe-Pulver oder Fe-Legierungspulver vorgeschlagen.
Jedoch ist uns bis jetzt kein Beispiel für eine wirkliche Herstellung
von Fe-Pulver oder
Fe-Legierungspulver untergekommen. Mit anderen Worten kann festgehalten
werden, dass Metallpulver, das durch das Sprühpyrolyseverfahren hergestellt
werden kann, beträchtliche
Beschränkungen
bezüglich
des Typs des Metallpulvers auferlegt wurde.
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Es
ist zu beachten, dass Fe-Pulver oder Fe-Legierungspulver, wie oben
erklärt,
aus der Gasphase oder der festen Phase hergestellt werden kann.
Jedoch ist die Partikelgröße von Metallpartikeln,
die durch das Gasphaseherstellungsverfahren gebildet werden, sehr
klein und daher zum Vermischen mit einem Harz ungeeignet. Auch Metallpulver,
die durch Festphasenherstellungsverfahren gebildet werden, haben
eine schlechte Partikelverteilung, und die Form der Pulverpartikel
ist nicht kugelförmig,
weil Zerreibmaschinen verwendet werden.
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Daher
waren magnetische Metallpulver, insbesondere Fe- oder Fe-Legierungspulver,
die zum Mischen mit einem Harz geeignet sind, durch konventionelle
Metallpulverherstellungsverfahren nicht erhältlich. JP 102-80013 A offenbart
ein Verfahren gemäß der Präambel des
vorliegenden Anspruchs 1.
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US 36 07 451 offenbart ein
magnetisches Metallpulver gemäß der Präambel des
vorliegenden Anspruchs 14.
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EP-A-1
059 134 offenbart ein Verfahren zur Herstellung von Metallpulvern,
insbesondere Eisenpulver, durch thermische Reduktion von Übergangsmetall-
oder Seltenerdmetalloxalaten oder -oxiden, die aus der Zersetzung
von Übergangsmetall- oder Seltenerdmetalloxalaten,
beispielsweise Eisenoxalaten oder aus Eisenoxalaten resultierenden
Eisenoxiden, resultieren, wobei diese Oxalate oder Oxide aus Partikeln
mit nadelartiger Morphologie mit einem durchschnittlichen Nadelform-Verhältnis (Länge/Durchmesser)
zwischen 4 und 20 und einer Länge
von 5 bis 10 μm
bestehen. JP-A-05140620 offenbart ein Verfahren zur Herstellung
eines ferromagnetischen Metallpulvers. Goethit wird mit einem Wärmebeständigkeit-verleihenden
Mittel oberflächenbehandelt
und dann wird eine Fettsäure,
wie z.B. Caprylsäure,
auf der Oberfläche
adsorbiert. Das Goethit wird gebildet und getrocknet oder getrocknet,
gebröckelt
und gleichmäßig granuliert,
und das Korn wird in einer inerten Stickstoffatmosphäre kalziniert,
in der es in der Nähe
einer Magneteisensteinzusammensetzung durch Reduktion der gasförmigen Komponenten,
die aus der zersetzten Fettsäure
stammen, reduziert wird. Danach werden die Körner bei etwa 350-550°C erhitzt
und durch ein reduzierendes Gas, wie z.B. Wasserstoff, reduziert,
um ferromagnetische Metallkörner
zu erhalten. Yoshida et al., Übersetzung
des Japan Institute of Metals, Vol. 22, Nr. 6 (1981), 371-378, offenbart
eine Herstellung von ultrafeinen Eisenpartikeln unter Verwendung
eines Radiofrequenzplasmas (RF). Ultrafeine Eisenpartikel mit einer
statistischen mittleren Größe von etwa
10 nm wurden mittels Durchleiten von reinem Eisenpulver durch ein
RF-Plasma hergestellt.
Der Wachstumsprozess der Partikel fand in einem „Nebelzustand" statt, und ein Brownian
Kollisions-Koaleszenzmechanismus beherrschte
den Prozess. Die Partikel mit einer Größe von weniger als 60 nm konnten
in Einkristalle der α-Phase
transformiert werden, Einkristalle waren jedoch selten, wenn die
Partikelgröße größer als
100 nm betrug.
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Zusammenfassung der Erfindung:
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Die
vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung von magnetischem
Metallpulver gemäß Anspruch
1 und ein kugelförmiges
magnetisches Metallpulver gemäß Anspruch
14 bereit. Bevorzugte Ausführungsformen
sind in den unabhängigen
Ansprüchen
definiert.
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren zur Erzeugung
von magnetischem Metallpulver, das zur Mischung mit einem Harz geeignet
ist, und die Bereitstellung von neuem magnetischen Metallpulver,
das bisher nicht verfügbar
war.
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Zur
Lösung
der oben beschriebenen Probleme haben die hiesigen Erfinder die
Ursachen der Einschränkung
der Typen von Metallpulvern untersucht, welche durch das Sprühpyrolyseverfahren
hergestellt werden konnten. Das Sprühpyrolyseverfahren verwendet
flüssige
Lösungen
als Rohmaterial und verbraucht thermische Energie zur Pyrolyse von
dem gesuchten Zielmetall nicht-zugehörigem Wasser während eines Hochtemperaturverfahrensschrittes.
Auch weil Wasserdampf gebildet wird, wird die Umgebung zur Durchführung der
thermischen Pyrolyse oder typischerweise des Reduktionsverfahrens
zu einer gasförmigen
Atmosphäre.
Die Feuchtigkeit in der Wasserdampfatmosphäre schwächt den Produktionsverlauf.
Daher wird je nach dem konventionellen Sprühpyrolyseverfahren vermutet,
das Metallpulver, welches sich Ausgangsmaterial bedient, das eine
starke Reduktion erfordert, nicht erhalten werden konnte. Das oben
erwähnte
Ag und die Ag-Pd-Legierung von Au können ohne Notwendigkeit einer
starken Reduktionskraft erhalten werden.
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Die
Erfinder waren bei der Herstellung eines kugelförmigen Einkristalleisenpulvers,
das durch konventionelle Verfahren nicht erhältlich war, durch Durchführen einer
Wärmebehandlung
an trockenem Mischpulver mit bestimmten Partikelgrößen als
Ausgangsrohmaterial ohne Verwendung von feuchtem Startmaterial wie
im Falle des Sprühpyrolyseverfahrens
erfolgreich.
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Gemäß einer
erfindungsgemäßen Ausführungsform
schließt
ein Verfahren zur Herstellung von magnetischem Metallpulver ein
Rohmaterialeinspeisungsschritt zum Einspeisen von rohem Pulver zur
Bildung von magnetischem Metall durch Reduktion mit einem Trägergas in
einen vorbestimmten Wärmebehandlungsbereich,
einen Wärmebehandlungsschritt
zum Erwärmen
des rohen Pulvers bei einer Temperatur, die höher ist als die Reduktionstemperatur
des rohen Pulvers, und einen Kühlungsschritt,
in dem ein aus der Reduktion erhaltenes Produkt gekühlt wird,
zur Bereitstellung eines magnetischen Metallpulvers einschließlich des
magnetischen Metallelements ein.
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Zusätzlich zu
dem Vorzug, dass kugelförmige
Einkristall-Fe-Pulver,
die durch konventionelle Verfahren nicht erhältlich waren, durch die vorliegende
Erfindung erhalten werden können,
erfordert das Verfahren weniger Wärmeenergie als konventionelle
Sprühpyrolyseverfahren,
weil die Wärmebehandlung
an trockenem Mischpulver durchgeführt wird und es ergibt sich
der zusätzliche
Vorteil einer hohen Erholungsgeschwindigkeit. Das erfindungsgemäß erhaltene
magnetische Metallpulver ist nicht auf die Einkristallform von Fe
beschränkt,
sondern gestattet auch die Herstellung anderer magnetischen Metallpulver.
Was die magnetischen Eigenschaften betrifft, so kann die vorliegende
Erfindung sowohl weiche magnetische Materialen als auch harte Materialien
herstellen.
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Erfindungsgemäß schließt das Trägergas ein
reduzierendes Gas ein, und ein magnetisches Metallpulver kann durch
Reduzieren des Rohpulvers in dem Wärmebehandlungsschritt mit dem
reduzierenden Gas und durch Abkühlen
der reduzierten Substanz erhalten werden.
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Erfindungsgemäß ist es
möglich,
ein magnetisches Metallpulver zunächst durch Erzeugen einer Schmelze
aus der reduzierten Substanz in dem Wärmeverfahrensschritt und Rekristallisieren
der Schmelze im Kühlungsverfahrensschritt
zu erhalten.
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Darüber hinaus
ermöglicht
die vorliegende Erfindung das Reduzieren der erzeugten Schmelze
nach dem Schmelzen des Rohpulvers in dem Wärmeverfahrensschritt und das
Erhalten eines magnetischen Metallpulvers durch Umkristallisieren
der reduzierten Schmelze in dem Kühlungsverfahrensschritt. Mit
anderen Worten ermöglicht
die vorliegende Erfindung die Option zur Verwendung eines Verfahrens
zur Bildung einer Schmelze aus dem Rohpulver und Kühlen und
Verfestigen der Schmelze nach dem Reduzieren des Rohpulvers in fester
Form, oder ein Verfahren zum Schmelzen des Rohpulvers in fester
Form in einen geschmolzenen Zustand und Reduzieren der Schmelze,
während
diese in ihrem geschmolzenen Zustand gehalten wird und erst danach
abgekühlt
wird. Auf diese Weise, durch einmaliges Schmelzen des Rohpulvers,
kann das erhaltene magnetische Metallpulver sofort in die Einkristallform übergehen.
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In
der vorliegenden Erfindung kann ein magnetisches Pulver aus reinem
Eisen unter Verwendung eines Eisenoxidpulvers als Rohpulver erhalten
werden.
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Ebenso
ermöglicht
die vorliegende Erfindung in dem Herstellungsverfahren des magnetischen
Pulvers die Bildung einer Beschichtungsschicht auf der Oberfläche des
magnetischen Pulvers. Zur Bildung der Beschichtungsschicht kann
das Rohpulver und ein Pulver, das aus einer Verbindung gebildet
wird, die aus mindestens einem Element als Inhaltsstoff mit einer
Reduktionskraft besteht, die stärker
ist als die des in dem Rohpulver enthaltenen magnetischen Metalls,
in den Wärmebehandlungsbereich
eingespeist werden. In diesem Fall kann das Pulver, das aus einer
Verbindung gebildet wird, die aus mindestens einem Element als Inhaltsstoff
mit einer Reduktionskraft besteht, die stärker ist, als die des magnetischen
Materials, Partikelgrößen aufweisen,
die kleiner sind als die des Rohpulvers. Ferner kann das Rohpulver
eine Verbindung enthalten, die aus mindestens einem Element als
Inhaltsstoff mit einer stärkeren
Reduktionskraft als die des magnetischen Metalls besteht, mit dem
Ergebnis, dass eine Beschichtung auf der Oberfläche des Metallpulvers während des Herstellungsverfahrens
des magnetischen Metallpulvers gebildet werden kann. Verfahren zur
Bildung der Beschichtungsschicht sollen später erläutert werden.
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Wie
oben erläutert,
stellt die vorliegende Erfindung Fe-Pulver oder Fe-Legierungspulver mit
Eigenschaften bereit, die durch konventionelle Verfahren nicht erhältlich sind.
Und zwar betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren, umfassend
die Schritte des Einspeisens eines pulverförmigen Oxids aus mindestens einem
Vertreter, der aus den Fe-Gruppenelementen
ausgewählt
ist, mit einer durchschnittlichen Partikelgröße von etwa 0,1 bis 100 μm in eine
Wärmebehandlungsatmosphäre, das
Bilden einer Schmelze aus dem pulverförmigen Oxid in der Wärmebehandlungsatmosphäre und das Abkühlen und
Verfestigen der Schmelze zur Bildung eines magnetischen Metallpulvers,
das aus mindestens einem Vertreter der Fe-Gruppenelemente zusammengesetzt
ist. In dem Herstellungsverfahren kann ein Reduktionsschritt in
der Wärmebehandlungsatmosphäre durchgeführt werden,
bevor die Schmelze gebildet wird oder nachdem die Schmelze gebildet,
aber bevor sie abgekühlt
und verfestigt wird.
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Das
erfindungsgemäße magnetische
Metallpulver kann eine mittlere Partikelgröße im Bereich von etwa 0,1
bis 20 μm
aufweisen. Die mittlere Partikelgröße kann vorzugsweise etwa 0,5
bis 10 μm
oder besonders bevorzugt etwa 1 bis 5 μm betragen. Darüber hinaus
können
ausgezeichnete magnetische Eigenschaften und Hochfrequenzeigenschaften
erhalten werden, da das erfindungsgemäß erhaltene magnetische Metallpulver
in einer Einkristallform gebildet werden kann.
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In
dem oben beschriebenen Verfahren zur Herstellung von magnetischem
Metallpulver ist es möglich, eine
Beschichtungsschicht des Herstellungsverfahrens zu bilden.
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Das
durch das erfindungsgemäße Verfahren
erhaltene Pulver ist ein Einkristallpulver, das aus Fe als Hauptinhaltstoff
zusammengesetzt ist. Das durch das erfindungsgemäße Verfahren hergestellte Pulver
ist ein neues magnetisches Metallmaterial in einer kugelförmigen Form
mit einer mittleren Partikelgröße im Bereich von
0,1 bis 20 μm,
das durch konventionelle Verfahren nicht erhältlich war. Eine bevorzugte
mittlere Partikelgröße des erfindungsgemäß erhaltenen
magnetischen Metallpulvers kann im Bereich von etwa 0,5 bis 10 μm liegen,
und ist besonders bevorzugt etwa 1 bis 5 μm.
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Ferner
bietet das erfindungsgemäß erhaltene
magnetische Metallpulver ausgezeichnete magnetische Eigenschaften
von mehr als 2,0 T in gesättigter
magnetischer Flussdichte.
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Während das
erfindungsgemäße magnetische
Metallpulver ausschließlich
aus dem Metall gebildet werden kann, ist es ebenso möglich, eine
Beschichtungsschicht auf der Oberfläche des magnetischen Metallpulvers
zu bilden. Die Beschichtungsschicht kann gebildet werden, nachdem
das magnetische Metallpulver hergestellt wurde, sie kann jedoch
auch während
des Herstellungsverfahrens des magnetischen Metallpulvers gebildet
werden, wie oben erläutert
wurde. In diesem Fall kann die Beschichtungsschicht durch eine Verbindung
gebildet werden, die aus mindestens einem Element als Inhaltsstoff
mit einer größeren Affinität zu Sauerstoff
als die des Eisens hergestellt wird. Durch die Bildung einer Beschichtungsschicht
ist es möglich,
dem magnetischen Metallpulver Säurebeständigkeits-,
Isolierungs- und nicht-kohäsive Eigenschaften
zu verleihen.
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Andere
Merkmale und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden detaillierten
Beschreibung in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen ersichtlich,
die beispielhaft verschiedene Merkmale erfindungsgemäßer Ausführungsformen
illustrieren.
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Kurze Beschreibung der
Zeichnungen:
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1 zeigt
ein Beispiel für
ein Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Metallpulvers.
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2 ist
eine Darstellung zur Beschreibung eines Verfahrens zur Bildung eines
magnetischen Metallpulvers gemäß einer
erfindungsgemäßen Ausführungsform.
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3 ist
eine Darstellung zur Beschreibung eines Verfahrens zur Bildung eines
magnetischen Metallpulvers gemäß einer
erfindungsgemäßen Ausführungsform.
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4 ist
eine Darstellung zur Beschreibung eines Verfahrens zur Bildung eines
magnetischen Metallpulvers gemäß einer
erfindungsgemäßen Ausführungsform.
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5 ist
eine Darstellung zur Beschreibung eines Verfahrens zur Bildung eines
magnetischen Metallpulvers gemäß einer
erfindungsgemäßen Ausführungsform.
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6 ist
eine Darstellung zur Beschreibung eines Verfahrens zur Bildung eines
magnetischen Metallpulvers gemäß einer
erfindungsgemäßen Ausführungsform.
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7 ist
eine Darstellung zur Beschreibung eines Verfahrens zur Bildung eines
magnetischen Metallpulvers gemäß einer
erfindungsgemäßen Ausführungsform.
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8 ist eine Fotografie einer SEM-Aufnahme
von magnetischem Metallpulver, das gemäß einem ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel
erhalten wurde.
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9 zeigt
eine Kurve aus Ergebnissen einer Röntgenbeugungsanalyse, die an
einem magnetischen Metallpulver durchgeführt wurde, das gemäß einem
dritten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel
erhalten wurde.
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10 zeigt eine Fotografie einer SEM-Aufnahme
eines magnetischen Metallpulvers, das gemäß einem dritten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel
erhalten wurde.
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11 zeigt
eine Fotografie einer TEM-Aufnahme eines magnetischen Metallpulvers,
das gemäß einem
dritten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel
erhalten wurde.
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Erfindungsgemäße Ausführungsformen:
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Erfindungsgemäße Ausführungsformen
werden im Folgenden beschrieben.
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Zunächst wird
der Aufbau des Herstellungsverfahrens für magnetisches Metallpulver
auf Grundlage der 1 erläutert. Wie in 1 gezeigt
wird, schließt
das Herstellungsverfahren einen Pulvereinspeisungsschritt zur Einspeisung
eines Rohpulvers, einen Wärmebehandlungsschritt,
in dem das Pulver zur Bildung eines Produkts bei einer vorbestimmten
Temperatur erhitzt wird, und einen Kühlungsschritt, in dem das in
dem Wärmebehandlungsschritt
erhaltene Pulver gekühlt
wird, ein. Zusätzlich
dazu kann ein Nachverarbeitungsschritt durchgeführt werden.
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1 zeigt
ein Beispiel zur Realisierung einer Pulvereinspeisungsstufe, in
der ein Trägergas
und Rohmaterialpulver getrennt hergestellt werden. Das Rohmaterialpulver
wird zusammen mit dem Trägergas
durch eine Düse
N in eine Wärmebehandlungsstufe
befördert.
In der Wärmebehandlungsstufe
kann Gas, das eine reduzierende Atmosphäre bilden kann, als Trägergas verwendet
werden. Beispielsweise können
bekannte Gase mit einer Reduktionsfähigkeit wie z.B. Wasserstoff,
Kohlenmonoxid und Ammoniakgas verwendet werden. Innerhalb dieser
Gruppe ist es wünschenswert,
Wasserstoffgas zu verwenden, das seine Reduktionskraft bei höheren Temperaturen
erhöht.
Ferner kann das reduzierende Gas in einer Mischung mit einem inerten
Gas eingespeist werden. Das beizumischende inerte Gas kann Stickstoffgas,
Ar-Gas und Ne-Gas sein. Unter Betrachtung der Emission von NOx in
der Wärmebehandlungsstufe
ist es bevorzugt, dass Ar-Gas oder Ne-Gas oder beide verwendet werden
können.
Darüber
hinaus kann ein inertes Gas als Trägergas verwendet werden, und
ein reduzierendes Gas kann in dem Bereich mit der reduzierenden
Atmosphäre
eingespeist werden. Dies kann für
den Reduktionsprozess für
eine Schmelze angewendet werden, wenn das Rohmaterialpulver geschmolzen
ist.
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Die
Reduktionswirksamkeit ist von der thermischen Pyrolysetemperatur
des Rohpulvers, seiner Größe, der
Menge des Rohpulvers pro Volumeneinheit, der Trägergasgeschwindigkeit (der
Zeitspanne, in der das Pulver die Reduktionstemperatur aufweist)
innerhalb der Pyrolyseumgebung und dem Druck abhängig. Was die Reduktionswirksamkeit
betrifft, so werden die Reduktionsbedingungen verbessert, je höher der
Druck ist. Im Hinblick auf das Sammeln des Pulvers ist es jedoch
bevorzugt, einen negativen Druck anzulegen, so dass das Pulver unter
Bedingungen gebildet wird, die näher
an dem Atmosphärendruck
liegen. Die Dichte des reduzierenden Gases in dem Trägergas kann
in geeigneter Weise durch die Affinität des Rohmaterialpulvers, seine
Form, Größe und der
Geschwindigkeit (Zeitspanne, in der das Pulver die Reduktionstemperatur
aufweist) innerhalb des Reduktionsbereichs, das Volumen des Pulvers
pro Einheitsvolumen gegen das Trägergas,
die Reduktionsreaktionskonstante des reduzierten Elements gegen
das Reduktionsmittel und den Druck eingestellt werden. Die Stärke (höher oder
niedriger) der Reduktionskraft zwischen den beiden Arten der Elemente
erscheint als Differenz der Stärke
der sog. Affinität
zu den Elementen, die der Reduktion ausgesetzt sind, und sie ist
eine Differenz der Veränderung
der freien Standard-Energie, die bei einer Reaktion zwischen einem
Reaktionsmittel und der Verbindung des Zielmetalls auftritt. Der
Betrag der Differenz bestimmt, ob eine Reduktion stattfindet oder
nicht.
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Das
Verfahren zur Einspeisung des Rohpulvers in die Wärmebehandlungsverfahrensstufe
ist nicht auf das in 1 beschriebene Verfahren beschränkt. Beispielsweise
ist es möglich,
ein Verfahren zur Einspeisung des Rohpulvers in die Wärmebehandlungsstufe
mit einem Trägergas
durch Einblasen des komprimierten Gases, das ein reduzierendes Gas
enthält,
in das Rohpulver anzuwenden. Es ist außerdem möglich, das Rohpulver unter
Verwendung einer Dispersionseinrichtung oder den Ausgang einer Siebeinrichtung
oder Zerreibmaschine einzuspeisen. Mit anderen Worten kann das Pulver
von der Ausspeiseseite der Siebmaschine oder der Zerreibmaschine
zu der Wärmebehandlungsstufe
befördert
werden.
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Das
Wärmebehandlungsverfahren
wird in einem Wärmeofen
durchgeführt.
Für das
Erwärmungsverfahren
können
verfügbare
bekannte Verfahren, wie z.B. Erwärmen
durch Elektrizität,
Verbrennungswärme
aus Gas oder Erwärmen
durch Hochfrequenzerwärmung,
verwendet werden. Das Rohpulver wird in einem suspendierten Zustand
oder Fließzustand
in dem Wärmeofen
zusammen mit dem Trägergas
thermisch zersetzt, in anderen Worten reduziert. Eine genauere Beschreibung
der Reduktion wird später
gegeben. Die Fließgeschwindigkeit
des Rohpulvers während
der Pyrolyse wird durch die Temperatur des reduzierenden Gases,
die Effizienz des Sammelns und die Temperatur der thermischen Pyrolyse
bestimmt. Die Fließgeschwindigkeit kann
in einem Bereich zwischen etwa 0,05 und 10 m/s, vorzugsweise im
Bereich zwischen 0,1 und 5 m/s und besonders bevorzugt zwischen
etwa 0,5 und 2 m/s, ausgewählt
werden. Die Fließgeschwindigkeit
des Pulvers kann durch Regulieren der Fließgeschwindigkeit des Trägergases
verändert
werden.
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Das
aus dem Wärmebehandlungsverfahren
erhaltene Produkt wird zu einem Kühlungsabschnitt befördert. Beispielsweise
kann eine Kühlzone
innerhalb des Wärmeofens
installiert sein, um das Produkt in der Kühlzone zu kühlen, oder das Produkt kann
durch Ausspeisen mit dem Trägergas
in die Atmosphäre
gekühlt werden.
Die Kühlung
kann durch Ausführen
des Pulvers an die Atmosphäre
oder vorgegebenes Kühlen
mit einem Kühlmedium
durchgeführt
werden. Das gewünschte
magnetische Metallpulver wird mittels Durchleiten des Pulvers durch
einen Kühlungsabschnitt
erhalten.
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Nach
dem Kühlungsverfahren
wird das Pulver unter Verwendung eines Zyklonschlauchfilters gesammelt.
Das Trägergas
wird abgetrennt, nachdem ein geeignetes Abgasverfahren durchgeführt wurde.
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Das
Rohpulver der vorliegenden Ausführungsform
beinhaltet Metallelemente, die magnetische Eigenschaften besitzen.
Obwohl seine Art nicht beschränkt
sind, sind dies Fe-haltige Übergangsmetalle,
die insbesondere hauptsächlich
Elemente der Fe-Gruppe (Fe, Ni, Co) umfassen und andere Halbmetallelemente
(Si, P usw.) sowie andere Übergangsmetallelemente
(Mn, Cu, Cr usw.) einschließen
können.
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Die
Form des Rohpulvers ist nicht beschränkt, solange sie geeignet ist,
das vorgeschriebene Metallpulver (einschließlich Legierungen) durch Pyrolyse
zu erzeugen. Beispielsweise kann es eine Verbindung sein, wie z.B.
Oxide, Nitride, Boride oder Sulfide eines magnetischen Metalls,
Metallsalze, körniges
Pulver, das in einem Sprühverfahren
hergestellt wurde, oder pulverisiertes Pulver, das in Zerreibmaschinen
hergestellt wurde. Andere Pulver, die verwendet werden können, sind
solche aus dem Lösungssprühverfahren
unter Verwendung einer wässrigen
Lösung,
die eine Mischung aus einem Salz in dem gewünschten Zusammensetzungsverhältnis erhält, oder
Pulver, die in Sprühpyrolyseverfahren
unter Verwendung piezoelektrischer Elemente und einer Düse für zwei Flüssigkeitstypen
verwendet werden. Das erfindungsgemäße rohe Pulver umfasst verschiedene
Konfigurationen, die aus Partikeln unabhängig von ihrer Form, wie z.B.
Pulver, körniges
Pulver und pulverisiertes Pulver, bestehen. Wenn Fe-Pulver beispielsweise
letztendlich erhalten werden soll, ist es kostengünstig, Eisenoxidpulver
zu verwenden. Die Partikelgröße des Rohpulvers
kann im Bereich von etwa 0,1 bis 100 μm liegen. Es ist jedoch bevorzugt,
dass das Pulver in einer Partikelgröße von etwa 0,5 bis 50 μm oder besonders
bevorzugt zwischen etwa 1 und 20 μm
gebildet wird. Wenn die Partikel des Pulvers zu klein sind, neigen
sie dazu, sich an die Oberfläche
der größeren Partikel
anzulagern und sind zum Vermischen mit einem Harz ungeeignet. Wenn
die Partikelgröße zu groß ist, werden
die Reduktionsbedingungen und die Bedingungen zur Herstellung von
Einkristallpartikeln andererseits zunehmend stringent. Pyrolyse
gemäß der vorliegenden
Erfindung bezeichnet eine chemische Reaktion, in der zwei oder mehrere
Verbindungen zu einer einfachen Substanz umgesetzt werden, wenn
Wärme zugeführt wird.
Natürlich
schließt
dieses Pyrolysekonzept auch eine durch Zuführung von Wärme implementierte Reduktion
ein.
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Eine
Eigenschaft, die sich von dem Metallpulverherstellungsverfahren
durch das konventionelle Sprühpyrolyseverfahren
unterscheidet, liegt in der Tatsache, dass das Rohpulver in der
vorliegenden Erfindung im trockenen Zustand verwendet wird. Dies
geschieht, weil eine große
Menge an Wasserdampf, die unweigerlich im Sprühpyrolyseverfahren generiert
wird, die Reduktionsdichte verringert, was es unmöglich macht,
Metallelemente mit einer stärkeren
Affinität
in das reduzierte Subjekt zu überführen. Der
hierin verwendete trockene Zustand erfordert kein spezielles Trocknungsverfahren
für das
Rohpulver. Dies bedeutet, dass Pulver in einem trockenen Zustand,
wie z.B. in Form einer Aufschlämmung
oder einer Lösung
des Ausgangsrohmaterials wie im Falle des konventionellen Sprühpyrolyseverfahrens
nicht eingeschlossen ist.
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Als
nächstes
wird die Überführung des
Rohpulvers in den Wärmebehandlungsschritt
und Kühlungsschritt
anhand der 2 und 3 erläutert. Zur
Vereinfachung der Erläuterung
wird das magnetische Metalloxidpulver als Rohpulver bezeichnet.
Ferner zeigt 2 ein Beispiel, in dem das magnetische
Metalloxid geschmolzen wird, nachdem es reduziert wurde und dann
durch Kühlung
verfestigt wird. 3 zeigt ein Beispiel, in dem
magnetisches Metalloxid reduziert wird, nachdem es geschmolzen wurde
und dann zur Verfestigung des Pulvers gekühlt wird.
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In 2 wird
das magnetische Metalloxidpulver zu dem Wärmebehandlungsschritt mit einem
Trägergas
befördert,
das aus einem reduzierenden Gas besteht. Zu diesem Zeitpunkt besteht
die Beziehung T > Tm > Tr, wobei die Erwärmungstemperatur
in dem Wärmebehandlungsschritt
als T, die Reduktionstemperatur des magnetischen Metalloxids als
Tr und der Schmelzpunkt des magnetischen Metalls als Tm bezeichnet
wird. Wenn das magnetische Metalloxidpulver in den Wärmebehandlungsschritt,
dessen Erwärmungstemperatur bei
T reguliert wird, eingespeist wird, wird das magnetische Metalloxidpulver
seinen Reduktionsprozess beendet haben, wenn die Temperatur Tr erreicht,
und sich von einem Oxid mit einem hohen Schmelzpunkt in magnetische
Metallpartikel mit einem niedrigen Schmelzpunkt umwandeln. Nachfolgend
werden die magnetischen Metallpartikel schmelzen, da thermische
Energie zugeführt
wird, die höher
ist als der Schmelzpunkt Tm. Mehrere geschmolzene Partikel werden
sich zur Bildung eines neuen geschmolzenen Partikels vereinen. Dieses neue
geschmolzene Partikel wird in einem Kühlungsschritt rekristallisieren,
um ein magnetisches Metallpulver in Einkristallform zu bilden.
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Ferner
zeigt 3, wie das magnetische Metalloxidpulver in den
Wärmebehandlungsschritt
mit einem Trägergas überführt wird,
das aus einem inerten Gas besteht. Das magnetische Metalloxid schmilzt
in dem Wärmebehandlungsschritt.
Nachdem es geschmolzen ist, wird eine Reduktionsreaktion durch Einspeisen
eines reduzierenden Gases in das Wärmebehandlungsverfahren herbeigeführt. Die
zu diesem Zeitpunkt erhaltene geschmolzene Substanz ist eine Schmelze
aus dem magnetischen Metall. Diese Schmelze beginnt zu rekristallisieren,
wenn sie während
des Kühlungsverfahrens
den Schmelzpunkt erreicht hat, und in der Stufe, in der sie sich
verfestigt, wird sie im Wesentlichen aus magnetischem Metallpulver
in Einkristallform zusammengesetzt sein. In dem Beispiel gemäß 3 beginnt
das magnetische Metalloxidpulver zu schmelzen, wenn das Trägergas,
das kein reduzierendes Gas enthält,
verwendet wird. Als nächstes
wird das reduzierende Gas eingespeist, so dass eine Reduktionsreaktion
der geschmolzenen Substanz herbeigeführt wird.
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Wie
in den 2 und 3 gezeigt wird, können zwei
Arten des Verfestigungsverfahrens in der vorliegenden Erfindung
verwendet werden: Eines von diesen beinhaltet, die Substanz zu kühlen und
zu verfestigen, nachdem sie reduziert und dann geschmolzen wurde,
und das andere beinhaltet, die Substanz zu kühlen und zu verfestigen, nachdem
sie geschmolzen und dann reduziert wurde. In Abhängigkeit der Temperatur der Wärmebehandlung
und anderen Bedingungen gibt es jedoch Fälle, in denen sich das Reduzieren
und Schmelzen überschneiden,
was es schwierig macht, die beiden voneinander zu unterscheiden.
Die vorliegende Erfindung umfasst auch derartige Gegebenheiten.
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Eine
der Eigenschaften dieser Erfindung ist es, dass die Partikel, die
ein durch das Reduktionsverfahren erzeugtes Produkt bilden, auf
Temperaturen erwärmt
werden, die höher
sind als der Schmelzpunkt der Partikel und bei denen die Kristalle
des Rohpulvers zerstören.
Selbst wenn das Rohpulver eine Masse von unregelmäßig geformtem
zerriebenem Pulver oder körnigem
Pulver in Form von aneinanderhängenden
feinen Partikeln ist, werden diese zu flüssigen Tropfen, sobald sie
geschmolzen werden. Die zur Schmelze gewordenen flüssigen Tropfen
bilden auf Grund der Oberflächenspannung
kugelförmige
Formen. Rekristallisiertes kugelförmiges magnetisches Metallpulver
wird erhalten, indem die Tropfen durch ein Kühlverfahren geleitet werden. Dieses
Metallpulver liegt in Einkristallform vor, und seine durchschnittliche
Partikelgröße kann
innerhalb eines Bereichs von etwa 0,1 bis 20 μm liegen.
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Das
obige war eine Erläuterung
des erwünschten
erfindungsgemäßen Verfahrens
zum Erhalten von Einkristallen durch Schmelzen des Rohpulvers. Es
ist möglich,
magnetisches Metallpulver ohne Schmelzen des Rohpulvers zu erhalten.
In diesem Fall besteht aber die Möglichkeit, dass das magnetische
Metallpulver seine unregelmäßige Form
beibehält,
wenn das Rohpulver unregelmäßig geformt
ist, und es wird nicht möglich sein,
Pulver in Form von Einkristallen zu erhalten. Darüber hinaus
findet die Reduktion in dem Reduktionsverfahren zunächst an
der Oberfläche
des Pulvers statt, wodurch es möglich
ist, dass das Reduktionsverfahren beendet ist, während die Partikel in einem
hohlen Zustand hinterlassen werden, was zur Erzeugung vieler defekter
Partikel führt.
Das Gleiche kann gesagt werden, wenn das Ausgangsrohmaterial körniges Pulver
ist. Es wird daher empfohlen, das Rohpulver zuerst zu schmelzen,
um ein magnetisches Metallpulver mit ausgezeichneten Eigenschaften
zu erhalten. D.h., indem das Rohmaterial zunächst geschmolzen wird, ist
es möglich,
die Verunreinigungen des Rohpulvers an die Oberfläche der
flüssigen
Tropfen zu treiben, wodurch die Herstellung von kugelförmigen Einkristallmetallpartikeln
mit einem Reinheitsgrad, der höher
ist als der des Rohpulvers, ermöglicht
wird. Außerdem
macht das Schmelzen des Rohmaterials es möglich, eine Legierung herzustellen, wenn
das Rohpulver mehr als eine Art von Elementen enthält. In diesem
Fall besteht allerdings die Möglichkeit, dass
das magnetische Metallpulver seine unregelmäßige Form beibehält, wenn
das Rohpulver unregelmäßig geformt
ist, und es besteht die Möglichkeit,
dass viele defekte Pulverpartikel entstehen und dass es unmöglich ist,
ein Pulver in Form von Einkristallen zu erhalten. Darüber hinaus
findet das Schmelzen und Reduzieren zunächst auf der Oberfläche des
Pulvers statt, weil die Oberfläche
eine höhere
Temperatur aufweist als das Innere, was es möglich macht, dass das Reduktionsverfahren
beendet ist, während
Partikel in hohlem Zustand hinterlassen werden. Auch im Falle von
körnigem
Pulver wird es schwer sein, Partikel mit einem höheren Prozentanteil an Legierungsgehalt
(d.h. hochlegierte Partikel) eines magnetischen Metallpulvers zu
erhalten. Bei geringem Fortschreiten des Legierens werden gemischte
Metallpartikel mit einem hohen Prozentanteil der entsprechenden
Metallpartikel resultieren. Da dies ebenso zur Folge hat, dass das
Reduzieren und Schmelzen während
des Reduktionsverfahrens eher vom Äußeren der pulverförmigen Substanz
als vom Inneren ausgehend beginnt, kann das Reduktionsverfahren
mit vielen hohlen und defekten Partikeln enden.
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Mit
der vorliegenden Erfindung ist es möglich, auf effektive Art und
Weise die Reduktionskapazität
des reduzierenden Gases auszunutzen, da die Wirkungen des Wasserdampfes
während
des Reduktionsverfahrens zurückgehalten
werden können,
weil das Rohpulver wenig Feuchtigkeit enthält. Im Vergleich zu dem konventionellen
Sprühpyrolyseverfahren
des thermischen Zersetzen des Rohpulvers als wässrige Lösung macht es die vorliegende
Erfindung daher möglich,
das Volumen des Reduktionsverfahrens des Pulvers als Einheitsvolumen
bei einer geringeren Temperatur zu erhöhen.
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Erfindungsgemäß ist es
möglich,
eine Beschichtungsschicht um das magnetische Metallpulver zu bilden,
um verschiedene Eigenschaften zu stärken oder dem Pulver hinzuzufügen. Während diese
Beschichtungsschicht durch ein spezielles Verfahren vor Bildung
der Schicht nach Erhalt des magnetischen Metallpulvers erhalten
werden kann, schlägt
diese Erfindung ein Verfahren zur Bildung der Beschichtung während des Herstellungsverfahrens
des magnetischen Metallpulvers vor. Diese Beschichtungsschicht kann
beispielsweise aus einer Verbindung gebildet werden, die aus Elementen
mit einer starken Affinität
zu Sauerstoff besteht, weil Sauerstoff ein Zielelement der Reduktion
im Falle von Oxiden sein wird. Daher werden die Reduktionsbedingungen,
unter denen die Elemente der entsprechenden Beschichtung gebildet
werden, durch die Affinität
bezüglich
der zur Reduktion ausgewählten
Elemente bestimmt. Verschiedene Verfahren können verwendet werden, um die Beschichtungsschicht
aus den Verbindungen zu bilden. Diese Verfahren können durch
die Art und Weise unterschieden werden, in der die Verbindungen,
welche die Beschichtungsschicht bilden, eingespeist werden.
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Das
erste Verfahren umfasst das Einspeisen einer Verbindung, das die
Beschichtungsschicht als eine Mischung mit dem Rohpulver für das magnetische
Metallpulver umfasst. Dieses Verfahren kann in zwei Typen unterteilt
werden, wobei das erste das Einspeisen des Rohpulvers als eine Mischung
mit dem Rohpulver der Verbindung umfassend die Beschichtungsschicht
bedingt, und das zweite das Einspeisen des Rohpulvers mit der Verbindung
einbezieht, die die in dem Rohmaterial dispergierte Beschichtungsschicht
umfasst. Ersteres enthält
eine körnige
Pulverform, die zwei Arten von Pulvern umfasst. Das zweite Verfahren
ist ein Verfahren zur Einspeisung einer Mischverbindung, wie z.B.
ein Mischoxid einschließlich
eines magnetischen Metalls und eines Elements, das eine Reduktionskraft
aufweist, die stärker
als die des magnetischen Metalls ist. 4–6 werden
als Referenz zur Erläuterung
der entsprechenden Verfahren verwendet. Zwar erläutern 4–6 die
Art und Weise des Schmelzens des Rohpulvers nach der Reduktion,
es gibt natürlich
auch andere Wege, die Reduktion durchzuführen, nachdem das Material
geschmolzen wurde.
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Zunächst wird
sich 4 bedient, um die Art und Weise des ersten Verfahrens
zur Einspeisung einer Mischung des Pulvers, das das Rohmaterial
und das Mischpulver, das die Beschichtungsschicht bildet, umfasst.
In diesem Fall werden zwei magnetische Metalloxidpulver als Beispiele
für das
Rohpulver verwendet.
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Was
als magnetisches Metalloxid eingespeist wird, ist ein Mischpulver
(Beschichtungsmaterial), das aus mindestens einem Element mit einer
stärkeren
Affinität
zu dem ausgetauschten Element in dem Reduktionsverfahren für das magnetische Metallpulver
aufweist. Diese Verbindung ist selbst in dem Temperaturbereich,
in dem das magnetische Metalloxid reduziert wird, schwer zu reduzieren.
Während
es keine bestimmten Anforderungen an die Arten der Verbindung gibt,
sind einige, die aufgeführt
werden können,
Oxide von Si, Ti, Cr, Mn, Al, Nb, Ta, Ba, Ca, Mg und Sr, die eine
stärkere
Affinität
zu Sauerstoff aufweisen als die des letztendlich zu erhaltenden
magnetischen Metalls, wie z.B. Fe. Zu diesem Zeitpunkt wird die
Bedingung Tr2 > Tm2 > Tm1 > Tr1 erfüllt, wobei
die Erwärmungstemperatur
in dem Wärmebehandlungsverfahren
als T, die Reduktionstemperatur des magnetischen Metalloxids als
Tr1, die Reduktionstemperatur des Beschichtungsmaterials als Tr2, der
Schmelzpunkt des magnetischen Materials als Tm1 und der Schmelzpunkt
des Beschichtungsmaterials als Tm2 bezeichnet wird. Diese Beziehung
ist jedoch nur ein Beispiel, was nicht bedeutet, dass die vorliegende Erfindung
andere Beziehungen ausschließt.
Beispielsweise kann die vorliegende Erfindung in einer Ausführungsform
enthalten sein, selbst wenn die Beziehung Tr2 > Tm2 > T > Tm1 > Tr1 gilt, oder selbst
wenn die Schmelztemperatur und die Reduktionstemperatur der Verbindung,
die das Beschichtungsmaterial ausbilden wird, oder des Metalls vertauscht
sind. Wenn die Beziehung T > Tr2 > Tm2 > Tm1 > Tr2 gilt, und T in
der Nähe von
Tr2 liegt, werden ferner einige der Substanzen als Metall oder Schmelze
in dem magnetischen Metall vorliegen, und die nicht reduzierten
Verbindungen werden das Beschichtungsmaterial bilden, wenn die Reduktionsreaktion
auf Grund der Bildungsbedingungen oder der Reduktionsbedingungen
nicht vollständig
fortschreitet.
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Wenn
beispielsweise zwei Elemente innerhalb eines Partikels existieren
und der Schmelzpunkt und die Reduktionstemperatur jedes dieser Elemente
Tm1, Tr1, Tm2 und Tr2 sind und die Bedingung T > Tr2 > Tm2 > Tr1 gilt, dann ist
T größer als
Tr2. Wenn zwei Elemente reduziert werden, kann ein Legierungspartikel gebildet
werden, weil die Elemente miteinander verschmelzen. Wenn Wärmeenergie
angewendet wird, die die beiden Elemente vollständig reduziert, ist es möglich, kugelförmige Legierungspartikel
zu bilden. Der Legierungs- und Kristallisationsgrad wird abhängig von
der Kühlgeschwindigkeit
sein.
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Selbst
wenn das Beschichtungsmaterial reduziert wird und die Elemente,
die die Beschichtung enthalten, nicht zu den entsprechenden Elementeinheiten
reduziert werden, können
diese Beschichtungsmaterial werden.
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Wenn
eine Mischung aus oxidiertem magnetischen Metallpulver und Beschichtungsmaterial
in das Wärmebehandlungsverfahren
bei einer bei T einregulierten Temperatur eingespeist werden, wird
das magnetische Metalloxid bei Tr1 reduziert. Da das Beschichtungsmaterial
bei dieser Temperatur nicht reduziert wird, wird der anfängliche
Zustand des Oxids beibehalten. Nachfolgend schmilzt es, da das von
der Reduktion herrührende
magnetische Metall auf eine Temperatur T erhitzt wird, die höher ist
als Tm1, also dem Schmelzpunkt des magnetischen Metalls. Jedoch
wird das Beschichtungsmaterial schmelzen, weil sein Schmelzpunkt
Tm2 niedriger ist als die Temperatur der Wärmebehandlung T. Da die Wärmebehandlungstemperatur
T niedriger ist als die Reduktionstemperatur des Beschichtungsmaterials
Tr2, wird auch das Beschichtungsmaterial nicht reduziert. Ein Partikel
aus einem flüssigen
Tropfen wird so gebildet, dass das magnetische Metall mit einer
höheren
spezifischen Dichte, das ein Großteil des Volumens einnimmt,
schmilzt und sich im Mittelteil versammelt und währenddessen das Beschichtungsmaterial
mit einer geringeren spezifischen Dichte in die äußere Umgebung gedrängt wird.
Es wird vermutet, dass der Grund dafür, dass das ungeschmolzene
Beschichtungsmaterial an die Oberfläche des Tropfens gedrängt wird,
der ist, dass das magnetische Metall im Zustand des flüssigen Tropfens
durch externe Faktoren so beeinflusst wird, dass eine langsame Rotation
seiner Achse herbeigeführt wird
und auf diese Weise durch seine Zentrifugalkraft beeinflusst wird.
Nachfolgend findet eine Rekristallisation statt, sobald die Partikel
in dem Kühlschritt
beginnen, sich abzukühlen,
wobei das Beschichtungsmaterial an die Oberfläche gedrängt wird und mit fallender
Temperatur ein Kern von Kristallen in dem magnetischen Metall gebildet
wird. Das nicht reduzierte Beschichtungsmaterial wird getrennt von
dem magnetischen Metall abgekühlt.
Danach nimmt das so erhaltene Pulver die Form von Einkristallen
und kugelförmigen
magnetischen Metallpartikeln ein, die jeweils ringsherum mit einem
Oxid beschichtet sind. Durch Regulierung der Dicke des Beschichtungsmaterials,
das zusammen mit dem Rohpulver hinzugefügt wird, kann die Beschichtungsschicht
in gleichmäßiger Dicke
gebildet werden. Für
die erhaltene Beschichtungsschicht ist es wichtig, das Einspeisungsvolumen
und die Dicke des Beschichtungsmaterials innerhalb der vorgeschriebenen
Bereiche zu halten. Wenn das Volumen des Beschichtungsmaterials
steigt, existiert die Möglichkeit,
dass keine Rotation des magnetischen Materials in der Schmelzphase
auftritt. Hierdurch wird es auch für das magnetische Metall schwierig
sein, sich in der Mitte zu sammeln.
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Als
nächstes
wird sich 5 bedient, um die Art und Weise
des Einspeisens des Rohpulvers mit einer Verbindung, die die in
dem Rohmaterial dispergierte Beschichtungsschicht bildet, in dem
ersten Verfahren erläutert.
In 5 weist das Rohpulver eine Matrix aus magnetischem
Metalloxidpulver auf und liegt in einer Form vor, in der das Beschichtungsmaterial
in dem Pulver dispergiert ist. Ein typisches Beispiel für diesen
Modus ist Eisenoxid (Fe2O3),
das SiO2 als Verunreinigung enthält.
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Das
Rohpulver wird unter Verwendung eines reduzierenden Gases als Trägergas in
den Wärmebehandlungsschritt
eingespeist. Im Wärmebehandlungsschritt
wird das magnetische Metalloxid, das das Muttermaterial umfasst,
als erstes reduziert. An dieser Stelle wird das Beschichtungsmaterial,
das in dem magnetischen Metalloxid dispergiert ist, nicht reduziert
und behält
seinen anfänglichen
Zustand bei. Daher werden in dem Reduktionsverfahren magnetische
Metallpartikel mit dispergiertem Beschichtungsmaterial gebildet.
Als nächstes
schmilzt der Anteil des magnetischen Metalls aus den magnetischen
Metallpartikeln mit den darin dispergierten Beschichtungsmaterialien.
Da das magnetische Metall schmilzt, wird das Beschichtungsmaterial zu
der äußeren Peripherie
des geschmolzenen Metalls gedrängt,
genauso wie im Fall des oben geschilderten Beispiels. Nachfolgend
findet Rekristallisation statt, sobald die Partikel mit Eintritt
in den Kühlungsschritt
beginnen sich abzukühlen,
wobei das Beschichtungsmaterial an die Oberfläche gedrängt ist und sich mit sinkender
Temperatur der Kern aus Kristallen in dem magnetischen Metall bildet.
Das nicht reduzierte Beschichtungsmaterial wird getrennt von dem
magnetischen Metall abgekühlt.
Danach nimmt das so erhaltene Pulver die Form von Einkristallen
und kugelförmigen
magnetischen Metallpartikeln ein, die jeweils ringsherum mit einer Oxidschicht
beschichtet sind.
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Als
nächstes
wird das oben erwähnte
zweite Verfahren unter Bezugnahme auf 6 erläutert. Das zweite
Verfahren umfasst das Einspeisen einer zusammengesetzten Verbindung,
die magnetisches Metall und ein Element mit einer Reduktionskraft
einschließt,
die stärker
ist als die des magnetischen Metalls, z.B. ein Mischoxid. Dieses
Oxid wird als ein magnetisches Mischmetalloxid bezeichnet, und ein
bestimmtes Beispiel ist FeAl2O4.
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6 zeigt
ein magnetisches Mischmetalloxid, wobei das Rohpulver unter Verwendung
eines reduzierenden Gases als Trägergas
in den Wärmebehandlungsschritt
eingespeist wird. In dem Wärmebehandlungsschritt
wird das Mischmetalloxid reduziert und in magnetisches Metall und
Oxid zersetzt. Im Falle von FeAl2O4 als ein Beispiel wird das Mischoxid in
Fe und Al2O3 zersetzt.
Al2O3 wird das Beschichtungsmaterial.
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Nachfolgend
steigt die Temperatur des magnetischen Materials über seinen
Schmelzpunkt und bringt es zum Schmelzen. Dann wird das Beschichtungsmaterial
Al2O3 an die äußere Peripherie
abgestoßen.
Im Kühlungsschritt
bildet sich dann der kristalline Kern in dem magnetischen Metall,
sobald die Temperatur abfällt und
die Partikel mit dem Rekristallisationsprozess beginnen, wobei die
Beschichtungsschicht an die Oberfläche gedrängt ist. Das so erhaltene Pulver
wird zu einem kugelförmigen
und einkristallartigen magnetischen Metallpartikel, das mit Al2O3 beschichtet ist.
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Wenn
die Bedingungen so eingestellt werden, dass die Reduktionskraft
geschwächt
wird, bildet ein Teil des Fe, des magnetischen Metalls, eine Verbindung
(FeAl2O4) mit Al,
und die Verbindung wird zum Beschichtungsmaterial.
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Der
oben beschriebene Modus zeigt ein Beispiel, in dem das Beschichtungsmaterial
seinen festen Zustand beibehält.
In dem Verfahren zur Bildung der Beschichtungsschicht ist es auch
möglich,
das Beschichtungsmaterial zu schmelzen und Keramiken und Glasmaterialien
mit einem niedrigeren Schmelzpunkt als der des magnetischen Metalls
als Beschichtungsmaterial zu verwenden. Diese Keramiken können entweder
Bariumtitanat, Strontiumtitanat oder magnetisches Material vom Ferrittyp
sein. Ein Beispiel für
ein Glasmaterial wird unter Bezugnahme auf 7 erläutert. Darüber hinaus
besteht das Glasmaterial, wie oben beschrieben, aus einer Verbindung,
die ein Element mit einer stärkeren
Reduktionskraft als die des magnetischen Metalls enthält.
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Das
Beschichtungsmaterial bestehend aus dem magnetischen Metalloxid
und dem Glasmaterial wird unter Verwendung eines reduzierenden Gases
als Trägergas
eingespeist. Zu diesem Zeitpunkt wird die Bedingung T > Tm1 > Tr1 > Tm3 erfüllt, wobei
die Erwärmungstemperatur
in dem Wärmebehandlungsverfahren
als T, die Reduktionstemperatur des magnetischen Metalloxids als
Tr, der Schmelzpunkt des magnetischen Materials als Tm1 und der
Schmelzpunkt des Beschichtungsmaterials als Tm3 bezeichnet wird.
Dies ist jedoch nur ein Beispiel für die Beziehung, was nicht
bedeutet, dass die vorliegende Erfindung andere Beziehungen ausschließt.
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In
dem Wärmebehandlungsschritt
wird das Glasmaterial mit dem niedrigen Schmelzpunkt als erstes bei
Tm3 geschmolzen. Als nächstes
wird das magnetische Metalloxid bei Tr1 reduziert. Als nächstes wird
das aus dem Reduktionsverfahren erhaltene magnetische Metall geschmolzen,
wenn die Temperatur Tm1 erreicht. An dieser Stelle sind sowohl das
magnetische Metall als auch das Glasmaterial geschmolzen. Zu diesem
Zeitpunkt behält
das Glasmaterial, d.h. das Beschichtungsmaterial, seinen geschmolzenen
Zustand bei, es wird jedoch spontan an die Peripherie abgestoßen, weil
seine spezifische Dichte geringer ist als die des magnetischen Metalls.
In dem nachfolgenden Kühlungsschritt
beginnt der Rekristallisationsprozess des magnetischen Metalls mit
dem Temperaturabfall innerhalb der geschmolzenen Partikel, und das
magnetische Metall mit einem höheren
Schmelzpunkt bildet zuerst den kristallinen Kern. Sobald das geschmolzene
Glasmaterial sich in einem Zustand der Rotation befindet, weil die
Partikel durch externe Faktoren beeinflusst werden, beschichtet es
mittels Zentrifugalkraft einheitlich die Oberfläche. Selbst wenn das Beschichtungsmaterial
vollständig schmilzt,
wird vermutet, dass das Metall und die Beschichtungsverbindung auf
Grund ihrer physikalischen Eigenschaften nicht zu einer festen Lösung werden,
sondern ihre gegensätzlichen
Zustände
getrennt voneinander beibehalten. Es wird vermutet, dass mehrere
Arten von chemischer Bindung an der Grenzfläche zwischen dem magnetischen
Metall und dem Glasmaterial vorliegen. Sobald die Temperatur sinkt,
haftet das Glasmaterial nachfolgend an der Oberfläche des
Einkristalls des magnetischen Metalls an, wobei eine gleichmäßige Beschichtungsschicht
auf dem magnetischen Metallpulver entsteht.
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In
dem obigen Verfahren zur Bildung einer Beschichtungsschicht mit
Glasmaterial wird dem magnetischen Metall thermische Energie zugeführt, die
höher als
der Schmelzpunkt ist. Es ist jedoch möglich, magnetisches Metallpulver
mit einer Glasbeschichtungsschicht herzustellen, ohne diese Art
von Wärmeenergie
zuzuführen.
Ein solches magnetisches Metallpulver ist jedoch ein polykristallines
Pulver und in einigen Fällen nicht
kugelförmig.
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In
diesem Verfahren kann das Verfahren durchgeführt werden, wenn die Bedingungen
Tm1 > T > Tr1 > Tm3 erfüllt ist,
wobei die Erwärmungstemperatur
in dem Wärmebehandlungsverfahren
als T, die Reduktionstemperatur des magnetischen Metalloxids als
Tr, der Schmelzpunkt des magnetischen Materials als Tm1 und der
Schmelzpunkt des Beschichtungsmaterials (Glasmaterial) als Tm3 bezeichnet
wird. In diesem Fall schmilzt das Glasmaterial mit einem geringen
Schmelzpunkt bei Tm3 während
des Wärmebehandlungsverfahrens.
An dieser Stelle besetzt das magnetische Metalloxidpulver einen
großen
Teil des gesamten Volumens, und daher findet eine Reaktion auf der
Oberfläche
der entsprechenden Partikel statt. Aus diesem Grund sammelt sich das
Pulver und konzentriert sich in der Mitte des Pulvers. Andererseits
sammelt sich das geschmolzene Glasmaterial nicht im Inneren sondern
an der Oberfläche
des kohäsiven
Pulvers. Nachfolgend beendet das magnetische Metalloxid seine Reduktionsreaktion
bei Tr1, um eine kohäsive
Einheit aus polykristallinem Metall zu bilden. In dem Kühlungsverfahren
bildet diese kohäsive
Einheit ein polykristallines magnetisches Metallpulver, wobei die
Beschichtungsschicht aus dem Glasmaterial auf der Oberfläche koaguliert.
Wenn das Glasmaterial, das bei einer geringeren Temperatur als das
magnetische Metalloxid schmilzt, als Beschichtungselement ausgewählt wird,
ist es auf diese Weise möglich,
polykristallines magnetisches Metall mit einer Beschichtungsschicht,
die um das Pulver herum gebildet wird, zu erhalten.
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Indem
eine Beschichtungsschicht gebildet wird, können die Isolierungseigenschaft,
die Säurebeständigkeit
und das Nicht-Anhaften
des magnetischen Metallpulvers erhöht werden. Die Beschichtungsschicht
verleiht dem Pulver außerdem
den Effekt, die Oxidation durch Wärme zu hemmen. Darüber hinaus
ist es durch Zugabe von Erdalkalimetallen möglich, den Effekt der Hemmung
der Oxidation durch Wärme
weiter zu erhöhen.
Des Weiteren kann die Beschichtungsschicht gebildet werden, nachdem
das magnetische Metallpulver erhalten wird, wie bereits erläutert wurde.
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Ausführungsbeispiele
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Die
vorliegende Erfindung wird im Folgenden anhand von bestimmten Ausführungsbeispielen
beschrieben.
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Ausführungsbeispiel 1
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Rohpulver,
ein Eisenoxid-(Fe2O3)-Pulver
mit einer mittleren Partikelgröße von 3 μm unter Verwendung einer
Mischung aus 68% Wasserstoff und Stickstoff, die als reduzierendes
Gas wirkt, wird als Trägergas
in den Wärmeofen
eingespeist. Der Reinheitsgrad des Eisenoxid-(Fe2O3)-Pulvers beträgt 99,9%. Das Durchflussvolumen
des Trägergases
betrug 3 l/min. Die Temperatur im Inneren des Ofens (Wärmebehandlungstemperatur) betrug
1650°C.
Ferner betrug der Schmelzpunkt des Eisenoxids (Fe2O3) 1550°C
und der Schmelzpunkt des Fe 1536°C.
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Das
so erhaltene Pulver wurde mit einem Rasterelektronenmikroskop (SEM)
beobachtet. Die Ergebnisse werden in 8 dargestellt
und es wurde nachgewiesen, dass das Pulver in kugelförmiger Form
vorlag. Indem die Partikelgröße des Pulvers
durch ein Partikelgrößenmessverteilungsgerät (LA-920,
hergestellt durch Horiba Seisakusho) gemessen wurde, wurde ferner
nachgewiesen, dass die Partikelgrößenverteilung 0,5 μm bis 6 μm betrug
und die mittlere Partikelgröße 2,2 μm betrug.
Das Pulver wurde einer Röntgenbeugung
unterzogen. Die in 9 dargestellten Ergebnisse wiesen
lediglich den Peak für
Fe nach. Indem eine Elektronenbeugung durchgeführt wurde, wurde ferner nachgewiesen,
dass das erhaltene Pulver aus Fe-Einkristallen bestand.
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Die
magnetischen Eigenschaften der verschiedenen Typen der durch ähnliche
Verfahren erhaltenen Pulver wurden gemessen. Die Ergebnisse sind
in Tabelle 1 dargestellt. Es wurde nachgewiesen, dass eine gesättigte magnetische
Flussdichte (BS) von mehr als 2,0 T erhalten werden konnte.
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Ausführungsbeispiel 2
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Rohpulver,
Eisenoxid (Fe2O3,
Reinheit 99,7%)-Pulver mit einer mittleren Partikelgröße von 0,2 μm wurden
unter Verwendung einer Mischung von 4% Wasserstoff + Ar, die als
reduzierendes Gas wirkt, als Trägergas
in den Wärmeofen
eingespeist. Das Durchflussvolumen des Trägergases betrug 2 l/min. Die Temperatur im
Inneren des Ofens (Wärmebehandlungstemperatur)
betrug 1600°C.
Das so erhaltene Pulver wurde mit einem Rasterelektronenmikroskop
(SEM) untersucht, und es wurde nachgewiesen, dass die Pulverpartikel
in einer kugelförmigen
Form vorlagen. Indem die Partikelgröße des Pulvers durch ein Partikelgrößenverteilungsmessgerät gemessen
wurden, wurde außerdem
nachgewiesen, dass die Partikelgrößenverteilung etwa 0,1 μm bis 1 μm betrug.
Es wird vermutet, dass der Grund dafür, dass Partikel mit einer
Partikelgröße von 1 μm aus einem
Rohpulver von 0,2 μm
erhalten wurden, weil ein Teil des Rohpulvers geschmolzen wurde,
wobei das Pulver zusammenhing und sich die Schmelze während des
Kühlungsverfahrens
verfestigte.
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Das
Pulver wurde einer Röntgenbeugung
unterzogen und lediglich der Peak für Fe wurde nachgewiesen. Indem
eine Elektronenbeugung durchgeführt
wurde, wurde ferner nachgewiesen, dass das erhaltene Pulver aus
Fe-Einkristallen bestand.
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Ausführungsbeispiel 3
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Es
wurde eine Aufschlämmung
mit 90 Gew.-Anteilen Eisenoxid (Fe2O3, Reinheit 99,9%) mit einer mittleren Partikelgröße von 0,1 μm als Rohpulver
und 10 Gew.-Anteilen SiO2 mit einer mittleren
Partikelgröße von 0,3 μm mit 6%-igem
verdünntem
Bindemittel (PVA) hergestellt. Danach wurde ein Sprühtrockner
verwendet, um körniges
Pulver mit einer Partikelgrößenverteilung
im Bereich von 0,5 bis 20 μm
zu erzeugen. Das Pulver wurde durch Einspeisen des körnigen Pulvers
in den Wärmeofen
mit einem Trägergas,
das 52% Wasserstoff + Ar enthielt, erzeugt. Das Durchflussvolumen
des Trägergases
betrug 2 l/min, und die Ofentemperatur (Wärmebehandlungsmittel) betrug
1650°C.
Der Schmelzpunkt des SiO2 betrug 1713°C.
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Das
so erhaltene Pulver wurde mit einem Rasterelektronenmikroskop (SEM)
untersucht. Die in 10 dargestellten
Ergebnisse bestätigen,
dass das Pulver in einer kugelförmigen
Form vorlag. Indem die Partikelgröße des Pulvers mit einem Partikelgrößenverteilungsmessgerät gemessen
wurde, wurde außerdem
nachgewiesen, dass die Partikelgrößenverteilung im Bereich zwischen
1 und 8 μm
lag, und die mittlere Partikelgröße 2,57 μm betrug.
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Das
Pulver wurde außerdem
mit einem Transmissionselektronenmikroskop (TEM) untersucht. Die
in 11 dargestellt TEM-Aufnahme bestätigt, dass
eine Beschichtungsschicht auf der Oberfläche gebildet wurde. Darüber hinaus
bestätigen
die Ergebnisse einer Elektronenbeugung, dass der Mittelteil des
Pulverpartikels aus einem Einkristall-Fe-Partikel bestand und sich
eine Beschichtungsschicht aus amorpher Substanz zusammensetzte.
Da eine beträchtliche
Menge von Si-Elementen in der Beschichtungsschicht detektiert wurde,
wurde angenommen, dass sich die Beschichtungsschicht aus amorphem
SiO2 zusammensetzte.
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Indem
die magnetischen Eigenschaften des so erhaltenen Pulvers gemessen
wurden, wurde nachgewiesen, dass die gesättigte magnetische Flussdichte
(Bs) 1,85 T betrug. Auf diese Weise wies das Pulver dieses Ausführungsbeispiels
selbst mit einer Beschichtungsschicht ausgezeichnete Kenngrößen von
mehr als 1,8 T auf.
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Ausführungsbeispiel 4
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Eine
Rohpulveraufschlämmung
wurde mit 90 Mol-% Fe in Form von Eisenoxid (Fe2O3, Reinheit 99,9%) mit einer mittleren Partikelgröße von 0,1 μm und 20
Mol-% Si in Form eines Aerosols aus Silica mit einem auf 5% verdünnten Bindungsmittel
(PVA) hergestellt. Dann wurde ein Sprühtrockner verwendet, um körniges Pulver
mit einer Partikelgrößenverteilung
von etwa 0,5 bis 20 μm
zu erzeugen. Das Pulver wurde durch Einspeisen des körnigen Pulvers
in den Wärmeofen
mit einem Trägergas,
das eine Mischung aus 50% Wasserstoff + 50% Stickstoff enthielt,
erzeugt. Das Durchflussvolumen des Trägergases betrug 2 l/min, und
die Ofentemperatur (Wärmebehandlungstemperatur)
betrug 1650°C.
Aus den Ergebnissen der SEM-Untersuchung wurde nachgewiesen, dass
das so erhaltene Pulver in einer kugelförmigen Form vorlag. Das Partikelgrößenverteilungsmessgerät wies nach,
dass die Partikelgrößenverteilung
etwa 0,9 bis 8 μm
betrug. Ferner zeigte eine TEM-Untersuchung, dass eine Beschichtungsschicht
auf der Oberfläche
der kugelförmigen
Partikel gebildet wurde, und die Ergebnisse einer Elektronenbeugung
zeigten, dass der Mittelteil der Pulverpartikel ein Einkristall-Fe-Partikel
war und dass die Beschichtungsschicht aus amorpher Substanz bestand.
Da eine beträchtliche Menge
von Si-Elementen in der Beschichtungsschicht detektiert wurde, wurde
angenommen, dass sich die Beschichtungsschicht aus amorphem SiO2 zusammensetzte.
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Das
Volumenverhältnis
von Fe-Einkristallen, dem metallischen magnetischen Material, zu
SiO2, dem Beschichtungsmaterial, ist annähernd 1:1,
wenn vermutet wird, dass das Beschichtungsmaterial gänzlich aus SiO2 besteht, wobei keines der Si-Elemente reduziert
wurde.
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Die
magnetischen Eigenschaften des so erhaltenen Pulvers wurden gemessen,
als Ergebnis wurde festgestellt, dass die gesättigte magnetische Flussdichte
1,77 T betrug. Auf diese Weise wies das Pulver in diesem Ausführungsbeispiel
ausgezeichnete Kenngrößen von
mehr als 1,7 T auf, selbst wenn eine Beschichtungsschicht gebildet
wurde.
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Ausführungsbeispiel 5
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Eine
Rohpulveraufschlämmung
wurde mit 90 Mol-% Fe in Form von Eisenoxid (Fe2O3, Reinheit 99,9%) mit einer mittleren Partikelgröße von 0,1 μm und 10
Mol-% Al in Form von einem Aluminiumoxid-(Al2O3)-Aerosol und einem auf 5% verdünntem Bindemittel
(PVA) hergestellt. Danach wurde ein Sprühtrockner verwendet, um körniges Pulver
mit einer Partikelgrößenverteilung
von etwa 0,5 bis 20 μm
zu erzeugen. Das Pulver wurde durch Einspeisen des körnigen Pulvers
in den Wärmeofen
mit einem Trägergas,
das eine Mischung auf 50% Wasserstoff + 50% Stickstoff enthielt,
erzeugt. Das Durchflussvolumen des Trägergases betrug 2 l/min, und die
Ofentemperatur (Wärmebehandlungstemperatur)
betrug 1650°C.
Ferner betrug der Schmelzpunkt des Al2O3 2050°C.
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Anhand
der Ergebnisse der SEM-Untersuchung wurde nachgewiesen, dass das
so erhaltene Pulver in kugelförmiger
Form vorlag. Das Partikelgrößenverteilungsmessgerät bestätigte, dass
die Partikelgrößenverteilung
etwa 0,8 bis 8 μm
und die mittlere Partikelgröße etwa
2,6 μm betrug.
Ferner zeigten die Ergebnisse der Elektronenbeugung, dass der Mittelteil
des Pulverpartikels ein Fe-Einkristallpartikel war und dass die
Beschichtungsschicht aus einer amorphen Substanz bestand. Da eine
beträchtliche
Menge der Al-Elemente in der Beschichtungsschicht detektiert wurde,
wurde angenommen, dass sich die Beschichtungsschicht aus amorphem
Al2O3 zusammensetzte.
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Ausführungsbeispiel 6
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Eine
Aufschlämmung
wurde hergestellt, nachdem Eisenoxid (Fe2O3, Reinheit 99,7%) mit einer mittleren Partikelgröße von etwa
0,6 μm und
Nickeloxid (NiO) mit einer mittleren Partikelgröße von 0,7 μm eingewogen wurden, so dass
das Molverhältnis
1:1 betrug, und diese mit reinem Wasser und einer kleinen Menge
eines Dispergiermittels gemischt wurden.
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Diese
Aufschlämmung
wurde für
12 Stunden in einer Kugelmühle
gemischt. Die Mischung wurde getrocknet und für zwei Stunden bei 1000°C kalziniert,
um eine gemischte Masse von Nickeleisenoxid (NiF2O4) und Nickeloxid (NiO) zu erzeugen. Das
Grobpulver aus dieser gemischten Masse wurde durch Pulverisieren zu
Partikeln mit einem mittleren Durchmesser von etwa 2 μm (einer
Partikelgrößenverteilung
von etwa 0,2 bis 5 μm)
hergestellt. Das Rohpulver wurde unter Verwendung eines Trägergases,
das aus einer Mischung von 50% Wasserstoff und 50% Argon bestand,
in den Wärmeofen
eingespeist. Das Durchflussvolumen des Trägergases betrug 2 l/min und
die Ofentemperatur (Erwärmungstemperatur)
betrug 1650°C.
Der Schmelzpunkt der Legierung aus Ni und Fe, die bei einem Molverhältnis von
1:1 gebildet wurde, betrug 1450°C.
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Es
wurde mittels SEM-Untersuchung nachgewiesen, dass das so erhaltene
Pulver in einer kugelförmigen
Form vorlag. Dieses Pulver nimmt die Form einer Mischung eines Aggregats
aus Feinpartikeln mit einer Partikelgröße von etwa 0,1 μm und relativ
großen
Partikeln von etwa 5 μm
an. Es wurde ferner beobachtet, dass einige der Feinpartikel sich
an der Oberfläche
der größeren Partikel
anlagerten. Es wurde nachgewiesen, dass die Partikelgröße zwischen
etwa 0,2 und 5 μm
betrug, wie unter Verwendung eines Partikelgrößenverteilungsmessgeräts gemessen
wurde. Ferner wurde durch Röntgenbeugung
nachgewiesen, dass ein Peak für eine
Ni- und eine Fe-Legierung bei einem Molverhältnis von 1:1 vorhanden war.
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Ausführungsbeispiel 7
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Eine
Rohpulveraufschlämmung
wurde mit 90 Gew.-% Eisenoxid (Fe2O3, Reinheit 99,9%) mit einer mittleren Partikelgröße von etwa
0,1 μm und
10 Gew.-% Glasmaterial (GA-47, hergestellt durch Nippon Denshi Glass
K.K.), das aus SiO2, B2O3 und Al2O3 besteht, und einem auf 5% verdünnten Bindemittel
(PVA) hergestellt. Dann wurde ein Sprühtrockner verwendet, um Rohpulver
bestehend aus körnigem
Pulver mit einer Partikelgröße von etwa
1 bis 10 μm
zu erzeugen. Das körnige
Pulver wurde in den Wärmeofen
mit einem Trägergas,
das eine Mischung aus 50% Wasserstoff + 50% Argon enthielt, eingespeist.
Das Durchflussvolumen des Trägergases
betrug 2 l/min, und die Ofentemperatur (Wärmebehandlungstemperatur) betrug
1600°C.
Ferner betrug der Schmelzpunkt des Glasmaterials weniger als 1500°C. Es wurde
anhand der Ergebnisse der SEM-Untersuchung nachgewiesen, dass das
so erhaltene Pulver eine kugelförmige
Form aufwies. Das Partikelgrößenverteilungsmessgerät bestätigte, dass
die Partikelgrößenverteilung
etwa 0,8 bis 10 μm
betrug. Ferner wurde durch TEM-Untersuchung nachgewiesen, dass eine
Beschichtungsschicht auf der Oberfläche der kugelförmigen Partikel
gebildet wurde. Die Ergebnisse einer Elektronenbeugung zeigten,
dass der Mittelteil des Pulverpartikels ein Fe-Einkristallpartikel
war und dass die Beschichtungsschicht aus einer amorphen Substanz
bestand. Da Mengen von Al-, Si- und B-Elementen in der Beschichtungsschicht
detektiert wurden, wurde angenommen, dass sich die Beschichtungsschicht
aus dem Glasmaterial zusammensetzt.
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Ausführungsbeispiel 8
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Eisenoxid-(Fe2O3)-Pulver mit einer
mittleren Partikelgröße von etwa
3 μm, das
3,7 Gew.-% Silica (SiO2) enthielt, wurde
in den Wärmeofen
mit einem Trägergas
aus einer Mischung von 50% Wasserstoff + 50% Stickstoff, das das
reduzierende Gas darstellte, eingespeist. Das Durchflussvolumen
des Trägergases
betrug 3 l/min und die Ofentemperatur (Wärmebehandlungstemperatur) betrug
1650°C.
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Bei
einer Untersuchung des so erhaltenen Pulvers mit einem Rasterelektronenmikroskop
(SEM) wurde nachgewiesen, dass das Pulver in kugelförmiger Form
vorlag. Indem die Partikelgröße des Pulvers
mit einem Partikelgrößenverteilungsmessgerät gemessen
wurde, wurde ferner nachgewiesen, dass die mittlere Partikelgröße etwa
1,7 μm betrug.
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Eine
Röntgenbeugung
und eine Elektronenbeugung an dem so erhaltenen Pulver bestätigten,
dass das Pulverpartikel ein Fe-Einkristallpartikel mit auf der Oberfläche gebildetem
SiO2 war.
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In
dem Ausführungsbeispiel
8 waren SiO2 in dem Fe2O3 als Verunreinigung enthalten. Es ist jedoch auf
diese Weise möglich,
Fe-Einkristallpulver herzustellen, selbst wenn Rohmaterial von geringer
Reinheit verwendet wird. Darüber
hinaus bringt die Tatsache, dass eine Beschichtungsschicht während der
Herstellungsstufe gebildet werden kann, die hervorragenden Wirkungen
dieser Erfindung hervor.
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Vergleichsbeispiel 9
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Eisenoxid-(Fe2O3)-Pulver mit einer
mittleren Partikelgröße von etwa
0,1 μm wurde
in den Wärmeofen mit
einem Trägergas
aus einer Mischung von 68% Wasserstoff + Ar, welche zum Reduktionsgas
wird, eingespeist. Das Durchflussvolumen des Trägergases betrug 3 l/min, und
die Ofentemperatur (Wärmebehandlungstemperatur)
betrug 1500°C.
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Indem
die Partikelgröße des so
erhaltenen Pulvers mit einem Partikelgrößenverteilungsmessgerät (LA-920,
hergestellt durch Horiba Seisakusho Co.) gemessen wurde, wurde nachgewiesen,
dass die Partikelgrößenverteilung
etwa 0,2 bis 5 μm
betrug. Ferner wurde durch Durchführung einer Röntgenbeugung
an dem Pulver lediglich der Peak für Fe nachgewiesen. Es konnte
daher festgestellt werden, dass das Eisenoxid-(Fe2O3)-Pulver in dem Wärmeofen reduziert wurde.
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Da
die Ofentemperatur in Vergleichsbeispiel 9 1500°C betrug, was unterhalb des
Schmelzpunktes (1536°C)
des Fe lag, schmolz das durch die Reduktion erhaltene Produkt (Fe)
nicht. Es hat daher den Anschein, dass große Mengen Fe-Pulver, magnetisches
Metall, unter Verwendung eines einfachen Verfahrens des Einspeisens
von Eisenoxid (Fe2O3)
in dem Wärmeofen
hergestellt werden kann, jedoch kein einkristallhaltiges und kugelförmiges Pulver
erhalten werden konnte.
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Wie
oben erläutert,
macht die Erfindung es möglich,
kugelförmiges
und einkristallhaltiges magnetisches Metallpulver mit einer Partikelgröße von etwa
0,1 bis 20 μm
zu erhalten. Darüber
hinaus ist es möglich, große Mengen
an magnetischem Metallpulver unter Verwendung eines einfachen Verfahrens
zur Einspeisung von Rohpulver mit einem Trägergas in die vorgeschriebene
Wärmebehandlungsstufe
herzustellen. Ferner ist es möglich,
dem magnetischen Metallpulver verschiedene Arten von Eigenschaften
durch Bildung einer Beschichtungsschicht auf der Oberfläche des
magnetischen Metallpulvers zu verleihen. Darüber hinaus können Beschichtungsschichten
erfindungsgemäß ohne ein
zusätzliches
spezielles Verfahren gebildet werden. Während sich die obige Beschreibung
auf besondere Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung bezieht, ist es selbstverständlich,
dass viele Modifikationen durchgeführt werden können, ohne
aus ihrem Bereich zu fallen. Die beigefügten Patentansprüche sollen
solche Modifikationen abdecken, die in den wahren erfindungsgemäßen Bereich
fallen.
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Die
hierin offenbarten Ausführungsformen
sind daher in jeglicher Hinsicht als erläuternd und nicht beschränkend anzusehen,
wobei der Bereich der Erfindung eher durch die beigefügten Patentansprüche denn durch
die vorangegangene Beschreibung angegeben wird, und alle Änderungen,
die in den Bereich der Äquivalenz
der Patentansprüche
fallen, sollen daher hierin enthalten sein.