JP3670119B2 - 機能性粒子分散型薄膜とグラニュラー磁性薄膜およびそれらの製造方法 - Google Patents
機能性粒子分散型薄膜とグラニュラー磁性薄膜およびそれらの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3670119B2 JP3670119B2 JP25118497A JP25118497A JP3670119B2 JP 3670119 B2 JP3670119 B2 JP 3670119B2 JP 25118497 A JP25118497 A JP 25118497A JP 25118497 A JP25118497 A JP 25118497A JP 3670119 B2 JP3670119 B2 JP 3670119B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particles
- seed crystal
- thin film
- substrate
- particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 39
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 237
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 117
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 65
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 57
- 239000011246 composite particle Substances 0.000 claims description 31
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 25
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 claims description 13
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 7
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 6
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M potassium chloride Inorganic materials [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 23
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 10
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 3
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 3
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 3
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002003 electron diffraction Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910017390 Au—Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052774 Proactinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002772 conduction electron Substances 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000005430 electron energy loss spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001017 electron-beam sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000005307 ferromagnetism Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/653—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Fe or Ni
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/8408—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers protecting the magnetic layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/0036—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties showing low dimensional magnetism, i.e. spin rearrangements due to a restriction of dimensions, e.g. showing giant magnetoresistivity
- H01F1/009—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties showing low dimensional magnetism, i.e. spin rearrangements due to a restriction of dimensions, e.g. showing giant magnetoresistivity bidimensional, e.g. nanoscale period nanomagnet arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/007—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure ultrathin or granular films
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/30—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE]
- H01F41/301—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE] for applying ultrathin or granular layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2982—Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2982—Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
- Y10T428/2991—Coated
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、結晶配向性を良好にした粒子を基材上に分散させた粒子分散型薄膜とそれを利用したグラニュラー磁性薄膜およびそれらの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年に至り、非磁性基材上に分散形成したnmオーダーの微細強磁性粒子を具備するグラニュラー強磁性薄膜に関する研究が報告されている。更に、最近の研究によれば、超高密度磁気記録媒体用の素材として、黒鉛状の炭素基材上に形成されたCoの微細結晶粒の薄膜が有望なものとして報告されている。
また、他にトンネルタイプの巨大磁気抵抗効果(GMR)を示すものとして、スパッタにより成膜されたCoをベースとした、CoAlOのグラニュラー薄膜が知られており、このグラニュラー薄膜は、高抵抗を有し、優れた軟磁気特性を発揮するものとして知られている。
【0003】
これらの磁気抵抗効果を示す材料は、一般に、強磁性体粒子が非磁性導電体のマトリクス中に分散形成されていて、外部磁界の変動に対して電気抵抗変化を有するものであり、マトリクスと分散粒子との界面における伝導電子のスピンに依存してMR効果を奏するとされており、分散粒子の径を微細に保持したままで分散粒子数を増加させることでMR比は向上するとされているので、非磁性導電体のマトリクス中に微細な強磁性体の粒子を高濃度に分散させる技術の開発が進められている。
【0004】
この種の粒子分散型磁気抵抗体を製造する方法の一例として、従来、基板上に非磁性導電体元素と、この非磁性導電体元素に対して相互溶解度が極めて小さい強磁性体元素との合金膜を形成し、成膜後に熱処理することによって強磁性体粒子を分散析出させる技術が知られている。また、基板上にスパッタにより強磁性体の不連続粒子を形成し、これらの上に非磁性薄膜を被着する方法も知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら前記の方法も、例えば、非磁性導電体元素と強磁性体との間に相互溶解性があれば適用できない問題がある。また、仮に、nmオーダーの微細粒子をマトリクス中に析出させることができても、マトリクス構成元素と粒子構成元素との間にわずかに相互溶解性があれば、一部の粒子はマトリクス中に吸収されてしまい、粒子濃度を向上させることはできない問題がある。更に、この粒子濃度の低下を補う意味で強磁性体の量を単に増加しても、成膜時に強磁性体相が巨大粒子を形成したり、連続相を形成する可能性が高く、高濃度の微粒子分散状態を得ることは不可能な問題があった。
【0006】
また、前記の粒子分散型磁気抵抗体を製造する場合、分散させた強磁性体粒子の個々の結晶配向性を所定の方向に制御できるならば、磁気異方性を付与できる可能性があり、優れた磁気抵抗効果薄膜を得ることができる可能性があるが、前述の如く高密度の微細強磁性体粒子を分散させること自体が困難な現状では、粒子個々の結晶配向性の制御は到底不可能な状況にあった。
【0007】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、基板上あるいは下地層上に結晶配向性を制御した状態でnmオーダーの微細粒子を分散形成できる技術の提供を目的とする。
また、本発明は、個々に結晶配向性を制御したnmオーダーの微細な強磁性体粒子を基板上に分散させる技術の提供と、それら粒子の分散状態を制御できる技術の提供を目的とする。
更に本発明は、基材上あるいは下地層上に、強磁性体粒子を結晶配向性の良好な状態で直にはエピタキシャル成膜できないものであっても、種結晶粒子を介してエピタキシャル成膜できる技術の提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記課題を解決するために、結晶配向性の良好な基材上または結晶配向性の良好な下地層上に、前記基材または下地層の結晶配向性に揃うように個々に基材または下地層に対してエピタキシャル成長された複数の種結晶粒子が分散形成され、これら複数の種結晶粒子の周囲に、これらの個々の種結晶粒子を囲むように個々の種結晶粒子に対してエピタキシャル成長されて形成された機能性粒子が形成され、前記種結晶粒子がAuからなり、前記機能性粒子がFeからなるAu/Fe複合粒子構造とされ、前記分散された複合粒子の粒子間隔が18nm〜27nmの範囲とされてなることを特徴とする機能性粒子分散型薄膜。
また、前記機能性粒子の周囲にこれらの機能性粒子を分離してこれらを覆う隔離層が形成されてなる構造でも良い。
【0009】
本発明において、前記種結晶粒子として、前記基材または下地層の構成原子に対してエピタキシャル成長可能なAuからなるものが選択され、前記機能性粒子として、前記種結晶粒子に対してエピタキシャル成長可能なFeからなるものが選択され、前記種結晶粒子に対して前記機能性粒子がエピタキシャル成長されて相互の結晶配向性が揃えられてなることを特徴とするものでも良い。
【0010】
本発明において、前記基材または下地層が、Si、Ge、GaAs、MgO、NaCl、KCl、Al2O3、サファイア、石英の中から選択される1種であることが好ましい。
【0011】
次に本発明は、結晶配向性の良好な基材上または結晶配向性の良好な下地層上に、前記基材または下地層の結晶配向性に揃うように個々に基材または下地層に対してエピタキシャル成長された複数の種結晶粒子が分散形成され、これら複数の種結晶粒子の周囲に、これらの個々の種結晶粒子を囲むように個々の種結晶粒子に対してエピタキシャル成長されて形成された強磁性粒子が形成され、前記強磁性粒子の周囲にこれらの強磁性粒子を分離してしてこれらを覆う隔離層が形成され、前記種結晶粒子がAuからなり、前記強磁性粒子がFeからなるAu/Fe複合粒子構造とされ、前記分散された複合粒子の粒子間隔が18nm〜27nmの範囲とされてなることを特徴とする。
【0012】
本発明において、前記種結晶粒子として、前記基材または下地層の構成原子に対してエピタキシャル成長可能なAuからなるものが選択され、前記強磁性粒子として、前記種結晶粒子に対してエピタキシャル成長可能なFeからなるものが選択され、前記種結晶粒子に対して前記強磁性粒子がエピタキシャル成長されて相互の結晶配向性が揃えられてなることが好ましい。
【0013】
本発明において、前記強磁性粒子が、前記種結晶粒子よりも大きくされてなることが好ましい。
本発明において、前記強磁性粒子が、1000Å(100nm)以下に形成されてなることが好ましい。
本発明において、前記基材あるいは下地層がSi、Ge、GaAs、MgO、NaCl、KCl、Al2O3、サファイア、石英の中から選択される1種からなることが好ましい。
【0014】
本発明において、前記隔離層が、非晶質の非導電性の絶縁体からなることが好ましい。
本発明において、前記種結晶の結晶粒径が、200Å(20nm)以下にされてなることが好ましい。
本発明において、前記複数の強磁性粒子間の距離が、50Å(5nm)以下に設定されてなることが好ましい。
本発明において、前記分散された各強磁性粒子の磁化容易軸が、一方向に揃えられてなることが好ましい。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明の一形態について説明するが、本願発明がこの形態に限定されるものではないのは勿論である。
図1は本発明に係るグラニュラー磁性薄膜(機能性粒子分散型薄膜)1を基材(基板)2上に備えた一形態を示すもので、この形態のグラニュラー磁性薄膜1は、基材2上に分散形成された多数の種結晶粒子3と、これら種結晶粒子3を個々に覆って種結晶粒子3まわりに形成された多数の強磁性粒子(機能性粒子)4と、該多数の強磁性粒子4を覆って形成された隔離層5から構成されている。 また、図2は本発明に係るグラニュラー磁性薄膜(機能性粒子分散型薄膜)1を基材(基板)2上の下地層6上に備えた一形態を示すものであり、グラニュラー磁性薄膜1は図1の構造と同等とされている。
【0018】
図1と図2に示す構造において、基材2または下地層6は、Si、Ge、GaAs、MgO、NaCl、KCl、Al2O3、a-Al2O3、サファイア、石英の中から選択される1種から構成されている。
次に、前記種結晶粒子3は、Au、Ni、Ag、Si、Cu、Pd、Pt、Geの中から選択される1種または2種以上からなる。ここで用いる種結晶粒子3を構成する元素は、前記基材2または下地層6に対してエピタキシャル成長し易いものが選択される。
更に前記強磁性粒子4は、Fe、Co、Ni、希土類元素から選択される1種または2種以上からなる。なおここで選択される希土類元素は、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Luの中から選択される1種または2種以上を示す。
【0019】
図1と図2に示す構造において基材2あるいは下地層6は、結晶配向性に優れたものが用いられる。具体的には、結晶の粒界傾角が5度程度以下として知られる単結晶基板あるいはこの単結晶基板と同程度に結晶配向性を整えられた下地層が用いられる。なお、基材2はこの形態では基板状に形成されているが、基材2は基板状以外のどのような形状でも差し支えなく、フィルム状、テープ状あるいは線状などのいずれの形状でも良い。
【0020】
前記種結晶粒子3は、基材2あるいは下地層6の結晶に対してエピタキシャル成長された結晶の集合体からなるもので、種結晶粒子3を構成する結晶は基板2あるいは下地層6の結晶配向性に従って配向されている。そして更に、強磁性粒子4は種結晶粒子3に対してエピタキシャル成長されたもので、強磁性粒子4を構成する結晶は種結晶粒子3の結晶配向性に従って配向されている。従って基材2上あるいは下地層6上の各強磁性粒子4の結晶はそれぞれ基材2あるいは下地層6の結晶配向性に揃うように結晶配向されている。
【0021】
次に、前記隔離層5は、必要とする特性に応じて適宜なものが選択されるが、この形態ではAl2O3、SiO2などの高抵抗の非磁性の絶縁体が用いられる。なお、高周波用軟磁性体あるいは高GMRを得るためには、隔離層5として比較的高抵抗で磁性を持つものでも良いので、Al2O3にFeやCoをドープしたもの、あるいは、FeO、Fe3O4などでも良い。
【0022】
図1または図2に示す構造を得るためには、単結晶の基材2あるいは結晶配向性の良好な下地層6上に電子ビーム蒸着あるいはスパッタ等の成膜手段で種結晶粒子3を形成する。ここで基材2の温度は200〜500℃の範囲とすることが好ましく、成膜室の圧力は減圧雰囲気とする。
また、種結晶粒子3を形成する場合の蒸着レートは、0.05〜0.3nm/分程度が好ましい。このような蒸着レートは通常の成膜レートよりも一桁以上遅いものであり、このような遅い蒸着レートで原子の堆積を行うことで生成粒子のエピタキシャル成長を行わせることができ、膜ではない分散粒子を得ることができる。
【0023】
より具体的には、基材2として例えば(100)NaCl基板を用いることができ、この基板上に、基板を構成するNaClに対して低い表面エネルギーを有するAuの種結晶粒子3を成膜法で分散形成する。ここで、AuはNaClに対して低い表面エネルギーを有するので、基材2の温度制御、あるいは、種結晶粒子形成時の成膜レートを調整することで種結晶粒子間の距離を調整することができる。
【0024】
次に、電子ビーム蒸着等の成膜法によって種結晶粒子3上にFeを蒸着し、種結晶粒子3を覆うようにFeの強磁性粒子4を形成する。ここでAuの種結晶粒子3に対してFeの微粒子はなじみが良く、エピタキシャル成長できるので、蒸着原子は種結晶粒子3の結晶配向性に揃うように堆積しつつエピタキシャル成長して結晶配向する。強磁性粒子4をエピタキシャル成長させる場合の温度は200〜500℃の範囲で300〜400℃が好ましく、Feの場合により好ましくは300℃前後とする。これにより強磁性粒子4が種結晶粒子3を覆うが、蒸着時間は隣接する強磁性粒子4どうしが蒸着により成長して接合しない程度の蒸着レートとする。例えば、0.3〜0.6nm/分程度の蒸着レートとする。
【0025】
強磁性粒子4・・・の生成が終了したならば、これらを覆うように前述の成膜手段と同等の手段を用いて通常の蒸着レートで強磁性粒子4・・・を覆うように隔離層5を成膜することで図1に示す断面構造のグラニュラー磁性薄膜1が得られる。 図1と図2に示す構造において強磁性粒子4を構成する元素が基材2または下地層6を構成する元素に対してぬれ性に劣り、エピタキシャル成長できない元素であっても、種結晶粒子3を構成する元素に対して強磁性粒子4を構成する元素がエピタキシャル成長可能な元素の組み合わせであれば良い。
例えば、(100)NaClの基材2上にFeの粒子を直接形成すると、NaClの(100)面に対してFe粒子は通常の成膜条件ではエピタキシャル成長しないが、Auの粒子ならばNaClの(100)面に対して容易にエピタキシャル成長する。
そして、Auの粒子に対してFeの粒子をエピタキシャル成長させることができるので、結果的に基材2に対してFeの粒子をエピタキシャル成長させた場合と同じようにFeの粒子の結晶配向性を基材2または下地層6に対して優れた状態とすることができる。このことから、基材2上または下地層6上にFeの粒子を結晶配向性の良好な状態で形成することができる。
【0026】
次に、基材2または下地層6上にAuの粒子を形成する際に、基材2または下地層6の温度と蒸着速度(成膜レート)を調節することでAu粒子の分散状態を容易に制御することができる。例えば、基材2の温度を高くすると、Au粒子を疎に分散させることができ、蒸着温度を低くするとAu粒子の分散状態を密にすることができる。
更にこのことから、Au粒子の周囲にFeの粒子を被覆形成することで強磁性粒子4を形成するので、Au粒子の分散状態の疎密状態を変えることで多数の強磁性粒子4・・・間の距離を自由に制御することができる。
これは、基材温度を高温とした方がAuクラスタ形成の核サイト(基材表面の原子ステップ等)が少なくなることに起因しているものと思われる。
【0027】
以上のように製造されたグラニュラー磁性薄膜1は1000Å(100nm)以下の大きさの強磁性粒子4が多数分散され、しかも強磁性粒子4・・・が間隔を有して分散されているので、強磁性を示す。また、結晶配向性が整った強磁性粒子4・・・が間隔を有して分散されているので、粒子間の距離をトンネル効果を奏する程度に調整することでトンネル効果を奏する巨大磁気抵抗効果を得ることができる可能性がある。
また、種結晶粒子2の粒径は、200Å(20nm)以下が好ましく、強磁性粒子間の距離を50Å(5nm)以下とすることでトンネル効果を発揮させることができる。
【0028】
前記の形態においては、強磁性粒子4を用いたグラニュラー磁性薄膜1を得たが、機能性粒子としては強磁性粒子4の他に、超電導粒子を分散させた構造、半導体粒子を分散させた構造、導電性粒子を分散させた構造、熱伝導性の粒子を分散させ、例えば、熱交換素子として使用するもの、更には、弾性材料を分散させて例えば、防振材料として使用するものなどが可能である。その場合に各機能性粒子が近接効果を発揮して高い特性のものが得られる。
更に、使用の目的に応じて隔離層5を省略し、機能性粒子4を露出させた状態で使用しても良い。例えば、基材2と機能性粒子4として反射特性に優れたものを用い、反射体として使用する場合も考えられるが、前記構造により、結晶配向性を整えた反射性の機能性粒子5をナノ結晶粒子として均一分散させた反射体構造を提供することができる。
【0029】
【実施例】
以下、実施例により本発明を更に詳しく説明する。
(実施例1)
電子ビーム蒸着装置を用い、蒸着チャンバの内部を3×10-7Paに減圧し、NaCl(100)基板上にAuの粒子を分散形成した。また、基板温度を300℃に設定し、成膜レートは0.1nm/分とし、Auの粒子が互いに接合して膜を形成する前にAu粒子の分散状態で蒸着させるために、Au粒子膜平均厚さを2〜5nm程度に調整した。
Au粒子の蒸着後、基板を300℃に加熱保持し、0.5nm/分の成膜レートでFeの蒸着を行ってAu粒子の周囲にFeの粒子を成長させた。ここではFe粒子の成長によりFeの連続膜が形成されてしまわないように、Fe粒子膜平均厚さを2〜5nm程度に調整した。
その後に厚さ4nmの非晶質のAl2O3膜(a-Al2O3と略記する)を成膜して以下の表1に示す構造の各試料1〜3Aを得た。以下の表1においてDAu(nm)は、膜厚モニターで測定したAu粒子の直径を示し、DFe(nm)は同じく膜厚モニターで測定したFe粒子の直径を示し、TAu(℃)はAu粒子を蒸着した際の基材温度を示す。
【0030】
「表1」
試料No. DAu(nm) DFe(nm) TAu (℃)
1 1.4 3.0 400
1A 1.4 − 400
2 1.2 3.3 350
3 0.7 4.8 300
3A 0.7 − 300
【0031】
表1に示す結果から、種結晶粒子となるAu粒子の粒径を3〜8nmの範囲の超微細粒径(ナノ結晶粒径)とすることができ、更にこのAu粒子の周囲に強磁性粒子となるFe粒子をエピタキシャル成長させて10〜20nmの超微細粒径(ナノ結晶粒径)のFe粒子を分散状態で得ることができた。
図3は表1の試料1のAu/Fe複合粒子の分散状態を電子顕微鏡で撮影した粒子分散状態を示し、図4(A)は試料1におけるSAD(selected area electron differaction;制限視野電子線回折)パターンを示し、図4(B)は同パターンの解析図であるが、これらの図の解析結果から、後述する如く試料1の粒子構造は、コア部分のAuの粒子をFeの粒子が包み込んだナノ結晶の複合粒子構造とされていることが判明した。
図3のAu/Fe複合粒子構造から見て、Au/Fe複合粒子の平均粒径は約13nm、平均粒子間隔は18nmであった。
【0032】
次に、試料1Aは基板上に試料1と同等の条件でAu粒子のみを形成した試料であるが、この試料1Aにおいて前記と同様に電子顕微鏡写真解析とSADパターンをとったところ、Auのナノ結晶粒子が<001>方向に配向していることを確認できた。また、この試料1AのAu粒子間隔が、前記試料1の複合粒子のコア間隔と同じであるので、このデータから見ても複合粒子の中心にAu粒子が存在すると推定できる。また、図4(B)のAuとα-Feの回折スポットから見ても、Au粒子の<100>方向とα-Fe粒子の<100>方向が結晶学的に平行であり、Au粒子の{010}面とFeの{011}面とが平行であることも理解できる。更に、ナノビーム照射による電子線回折(NBD)によりAuとFeの複合粒子部分を分析したが、約10nmの検査領域においてAuとα-Feの回折スポットを確認したが、Au-Fe合金相あるいはFe-O混合物の回折スポットは確認できなかったので、Au粒子とFe粒子は合金化しておらず、Au粒子の周りにFe粒子が分離した状態で存在しているものと思われる。
【0033】
図5(A)、(B)は表1の試料2、3のAu/Fe複合粒子の分散状態を電子顕微鏡で撮影した粒子分散状態を示すが、試料2、3はAu粒子を形成する際の基板温度が異なる試料である。両試料のAu/Fe複合粒子の粒子径はほぼ同じとみれるが、粒子間の距離は試料2の方が、換言すると基板温度を高くしてAu粒子を形成した試料の方が大きい。このことから、Au粒子を基板上に形成する場合に基板温度を高くした方がAu/Fe複合粒子間の距離を大きくできることが判明した。これは、基板温度を高くした方がNaCl基板表面でのAuのナノ結晶核生成割合が減少するためと思われる。
【0034】
次に以下の表2に示すようなFe粒子径とAu粒子形成時の基板温度とAu粒子蒸着レートとFe粒子蒸着レートとFe粒子径とAu/Fe複合粒子間隔と保磁力(Hc)と4πMsを示す試料3a、3b、3cを先の例の場合と同様にして製造した。なお、これらの試料においてはAu/Fe粒子を非晶質のAl2O3で覆ったものを検査に供した。
「表2」
試料No. 3a 3b 3c
Fe粒子径(nm) 4.8 2.7 2
Au Ts (℃) 300 350 400
Au粒子蒸着レート(nm/s) 0.005 0.005 0.005
Fe粒子径 (nm) 13 10 10
Au/Fe複合粒子間隔(nm) 18 18 27
保磁力Hc(kA/m) − − 3.07
4πMs(T) 1.52 1.04 0.65
【0035】
図6(A)、(B)は試料No.3a、3bのエネルギー分散型分光法(energy dispersive spectroscopy;EDS)による測定結果を示し、図6(C)は試料3cの電子線エネルギー損失分光法(electron energy loss spectroscopy;EELS)による測定結果を示す。
図6(A)、(B)のスペクトルは、AlとFeとCuとAuを含むX線を示したが、これらの中でCuのX線は電子顕微鏡の試料測定の際に用いられるマイクロ格子のものである。
【0036】
次にEELSのプロファイルを示す図6(C)では、エネルギーロス708eV近傍にL2とL3の2つのピークが見られるが、これは、Au/Fe複合粒子については、コアのAu粒子周りが純粋にFe粒子であり、Au-Fe合金やFe酸化物にはなっていないことを示す。即ち、FeのL-edge(Feの内殻L殻の電子励起によるスペクトル)が見えており、このデータから得られるwhile-line-ratio(ホワイトライン比:L2、L3遷移スペクトルの比)が約3.3となっており、これにより純粋なFeに近いスペクトルであることがわかる。
以上の種々の試験結果から、Auの種結晶粒子に対してFeの粒子は完全に結晶学的に配向していることが明かであり、基板に対してAuの種結晶を配向させることができ、種結晶に対してFeの強磁性粒子を配向させることができることが明らかになった。
【0037】
次に図7に先の試料3aの粒子分散状態を示す電子顕微鏡写真を示し、図8に先の試料3bの粒子分散状態を示す電子顕微鏡写真を示し、図9に先の試料3cの粒子分散状態を示す電子顕微鏡写真を示す。
図7から図9を見ると、Au/Fe複合粒子が分散され、各Au/Fe複合粒子においてコア部分を構成するAu粒子とAu粒子を包むFe粒子の存在を確認することができる。
また、図7と図8と図9から明らかなようにAu/Fe複合粒子の分散状態は図7の試料3aが最も密であり、図8の試料3bが中間密度、図9の試料3cが疎にされているが、これはAuの粒子を形成する際の基板の温度を試料3aが低く(300℃)、試料3bが中間温度(350℃)で、試料3cが高い温度(400℃)で行ったためと思われる。図7、図8、図9の比較からもAu粒子形成の際の基板温度を調整することでAu/Fe複合粒子の分散状態を疎密に制御できることがわかる。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の機能性粒子分散型薄膜では、Auの種結晶粒子の周囲をFeの機能性粒子で覆った機能性粒子を18〜27nmという非常に微細な状態で分散させたものであるので、分散させた機能性粒子の間で近接効果あるいはトンネル効果を生じさせることで、機能性粒子の特性を著しく向上させた薄膜を得ることができる。
更に本発明のグラニュラー磁性薄膜において、Auの種結晶粒子の周囲をFeの機能性粒子で覆った機能性粒子を18〜27nmという非常に微細な状態で分散させたものであるので、高い磁気特性を有し、強磁性粒子のトンネル効果を応用して巨大磁気抵抗効果を示すものが得られる。
【0039】
基材または下地層として、具体的には、Si、Ge、GaAs、MgO、NaCl、KCl、Al2O3、サファイア、石英の中から選択される1種を用いることができる。
【0040】
そして、前記の構造を製造する場合、基板温度を調整することで生成させる種結晶粒子の疎密状態を制御することができ、これにより種結晶粒子まわりに成長させる機能性粒子の疎密状態を制御できるので、微細なnmオーダーの機能性粒子を所望の分散間隔で基材または下地層上に得ることができる。先の種結晶粒子をAuとすることができ、先の機能性粒子をFeの強磁性体粒子とすることで優れた硬磁性を発揮するグラニュラー磁性膜を得ることができる。
前記強磁性粒子を基材または下地層上の種結晶まわりに形成する場合に、磁場中で行えば、強磁性粒子の結晶学的な配向性を揃えた上で磁気異方性も制御することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る機能性粒子分散型薄膜の一形態を示す断面図。
【図2】 本発明に係る機能性粒子分散型薄膜の他の形態を示す断面図。
【図3】 本発明に係る試料1のAu/Fe複合粒子の粒子分散状態を示す電子顕微鏡写真。
【図4】 図4(A)は図3に示す試料1におけるSAD(制限視野電子線回折)パターンを示す図、図4(B)は同パターンの解析図。
【図5】 図5(A)は本発明に係る試料2のAu/Fe複合粒子の分散状態を示す電子顕微鏡写真、図5(B)は本発明に係る試料3のAu/Fe複合粒子の分散状態を示す電子顕微鏡写真。
【図6】 図6(A)は本発明に係る試料3aのエネルギー分散型分光法(EDS)による測定結果を示す図、図6(B)は本発明に係る試料3bのエネルギー分散型分光法(EDS)による測定結果を示す図、図6(C)は同試料3cの電子線エネルギー損失分光法(EELS)による測定結果を示す図である。
【図7】 本発明に係る試料3aのAu/Fe複合粒子の分散状態を示す電子顕微鏡写真。
【図8】 本発明に係る試料3bのAu/Fe複合粒子の分散状態を示す電子顕微鏡写真。
【図9】 本発明に係る試料3cのAu/Fe複合粒子の分散状態を示す電子顕微鏡写真。
【符号の説明】
1・・・機能性粒子分散型薄膜(グラニュラー磁性薄膜)、2・・・基板(基材)、3・・・種結晶粒子、4・・・機能性粒子(強磁性粒子)、5・・・隔離層。
Claims (13)
- 結晶配向性の良好な基材上または結晶配向性の良好な下地層上に、前記基材または下地層の結晶配向性に揃うように個々に基材または下地層に対してエピタキシャル成長された複数の種結晶粒子が分散形成され、これら複数の種結晶粒子の周囲に、これらの個々の種結晶粒子を囲むように個々の種結晶粒子に対してエピタキシャル成長されて形成された機能性粒子が形成され、前記種結晶粒子がAuからなり、前記機能性粒子がFeからなるAu/Fe複合粒子構造とされ、前記分散された複合粒子の粒子間隔が18nm〜27nmの範囲とされてなることを特徴とする機能性粒子分散型薄膜。
- 前記機能性粒子の周囲にこれらの機能性粒子を分離してこれらを覆う隔離層が形成されてなることを特徴とする請求項1記載の機能性粒子分散型薄膜。
- 前記種結晶粒子として、前記基材または下地層の構成原子に対してエピタキシャル成長可能なAuからなるものが選択され、前記機能性粒子として、前記種結晶粒子に対してエピタキシャル成長可能なFeからなるものが選択され、前記種結晶粒子に対して前記機能性粒子がエピタキシャル成長されて相互の結晶配向性が揃えられてなることを特徴とする請求項1または2記載の機能性粒子分散型薄膜。
- 前記基材または下地層が、Si、Ge、GaAs、MgO、NaCl、KCl、Al2O3、サファイアの中から選択される1種であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の機能性粒子分散型薄膜。
- 結晶配向性の良好な基材上または結晶配向性の良好な下地層上に、前記基材または下地層の結晶配向性に揃うように個々に基材または下地層に対してエピタキシャル成長された複数の種結晶粒子が分散形成され、これら複数の種結晶粒子の周囲に、これらの個々の種結晶粒子を囲むように個々の種結晶粒子に対してエピタキシャル成長されて形成された強磁性粒子が形成され、前記強磁性粒子の周囲にこれらの強磁性粒子を分離してしてこれらを覆う隔離層が形成され、前記種結晶粒子がAuからなり、前記強磁性粒子がFeからなるAu/Fe複合粒子構造とされ、前記分散された複合粒子の粒子間隔が18nm〜27nmの範囲とされてなることを特徴とするグラニュラー磁性薄膜。
- 前記種結晶粒子として、前記基材または下地層の構成原子に対してエピタキシャル成長可能なAuからなるものが選択され、前記強磁性粒子として、前記種結晶粒子に対してエピタキシャル成長可能なFeからなるものが選択され、前記種結晶粒子に対して前記強磁性粒子がエピタキシャル成長されて相互の結晶配向性が揃えられてなることを特徴とする請求項5記載のグラニュラー磁性薄膜。
- 前記強磁性粒子が、前記種結晶粒子よりも大きくされてなることを特徴とする請求項5または6記載のグラニュラー磁性薄膜。
- 前記強磁性粒子が、1000Å以下に形成されてなることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載のグラニュラー磁性薄膜。
- 前記基材あるいは下地層が、Si、Ge、GaAs、MgO、NaCl、KCl、Al2O3、サファイア、石英の中から選択される1種からなることを特徴とする請求項5〜8のいずれかに記載のグラニュラー磁性薄膜。
- 前記隔離層が、非晶質の非導電性の絶縁体からなることを特徴とする請求項5〜9のいずれかに記載のグラニュラー磁性薄膜。
- 前記種結晶の結晶粒径が、200Å以下にされてなることを特徴とする請求項5〜10のいずれかに記載のグラニュラー磁性薄膜。
- 前記複数の強磁性粒子間の距離が、50Å以下に設定されてなることを特徴とする請求項5〜11のいずれかに記載のグラニュラー磁性薄膜。
- 前記分散された各強磁性粒子の磁化容易軸が、一方向に揃えられてなることを特徴とする請求項5〜12のいずれかに記載のグラニュラー磁性薄膜。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25118497A JP3670119B2 (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 機能性粒子分散型薄膜とグラニュラー磁性薄膜およびそれらの製造方法 |
US09/154,552 US6146761A (en) | 1997-09-16 | 1998-09-16 | Functional particle-dispersed thin film, granular magnetic thin film and production processes thereof |
KR1019980038245A KR100280901B1 (ko) | 1997-09-16 | 1998-09-16 | 기능성입자분산형 박막, 그래뉼형 자성박막 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25118497A JP3670119B2 (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 機能性粒子分散型薄膜とグラニュラー磁性薄膜およびそれらの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1197240A JPH1197240A (ja) | 1999-04-09 |
JP3670119B2 true JP3670119B2 (ja) | 2005-07-13 |
Family
ID=17218939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25118497A Expired - Fee Related JP3670119B2 (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 機能性粒子分散型薄膜とグラニュラー磁性薄膜およびそれらの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6146761A (ja) |
JP (1) | JP3670119B2 (ja) |
KR (1) | KR100280901B1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001273622A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | ナノグラニュラー薄膜および磁気記録媒体 |
EP1361586A4 (en) * | 2001-01-18 | 2008-06-11 | Taiyo Yuden Kk | GRANULAR END MAGNETIC FILM AND METHOD FOR PRODUCING THE FILM, LAMINATED MAGNETIC FILM, MAGNETIC PIECE AND ELECTRONIC DEVICE |
JP3772967B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2006-05-10 | Tdk株式会社 | 磁性金属粉末の製造方法 |
DE10297743B4 (de) * | 2002-05-24 | 2010-01-07 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Vorrichtung mit Magnetwiderstandseffekt |
US6838195B2 (en) * | 2002-06-28 | 2005-01-04 | Seagate Technology Llc | Increased packing density in self-organized magnetic tray |
US20060249705A1 (en) * | 2003-04-08 | 2006-11-09 | Xingwu Wang | Novel composition |
WO2006007909A1 (en) * | 2004-07-22 | 2006-01-26 | Universität Konstanz | Information storage media |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54147009A (en) * | 1978-05-11 | 1979-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
US5789088A (en) * | 1994-04-28 | 1998-08-04 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Magnetic recording medium having a metal underlayer and a CoCr alloy magnetic thin film |
JPH0963036A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-03-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁気記録媒体 |
JPH103638A (ja) * | 1996-06-18 | 1998-01-06 | Sony Corp | 磁気記録媒体 |
JPH1092637A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-10 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及び装置 |
DE19746387B4 (de) * | 1996-10-25 | 2004-06-24 | Honda Giken Kogyo K.K. | Airbagvorrichtung |
US5878798A (en) * | 1997-02-28 | 1999-03-09 | Eastman Kodak Company | Valve system |
-
1997
- 1997-09-16 JP JP25118497A patent/JP3670119B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-09-16 KR KR1019980038245A patent/KR100280901B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-09-16 US US09/154,552 patent/US6146761A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100280901B1 (ko) | 2001-03-02 |
JPH1197240A (ja) | 1999-04-09 |
KR19990029850A (ko) | 1999-04-26 |
US6146761A (en) | 2000-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Farrow et al. | Epitaxial growth of Pt on basal-plane sapphire: a seed film for artificially layered magnetic metal structures | |
Bian et al. | Ordering of island-like FePt crystallites with orientations | |
Shiratsuchi et al. | Magnetism and surface structure of atomically controlled ultrathin metal films | |
JP2009502036A (ja) | 磁性素子を有する無線周波数デバイス、および磁性素子の製造方法 | |
JP2005217422A (ja) | 磁気抵抗素子 | |
Kumar et al. | Self-assembled epitaxial and polycrystalline magnetic nickel nanocrystallites | |
JP3670119B2 (ja) | 機能性粒子分散型薄膜とグラニュラー磁性薄膜およびそれらの製造方法 | |
Kodama et al. | Synthesis and characterization of magnetic nanocomposite films | |
KR100272980B1 (ko) | 자성체 박막 및 그것을 사용한 자기 헤드 | |
JPH0818119A (ja) | 磁気抵抗効果素子薄膜及びそれを用いた磁気抵抗効果素子 | |
Takahashi et al. | Fabrication and magnetoresistive effect of current perpendicular to plane devices using half-metallic Fe3O4 thin films on metallic films | |
Sun et al. | Microstructure of columnar crystallites in Ni80Fe20/Cu magnetic multilayers | |
JP3989799B2 (ja) | 電磁雑音吸収体 | |
Egelhoff Jr et al. | Low‐temperature growth of giant magnetoresistance spin valves | |
KR20030095218A (ko) | 수직 자기 기록 매체, 그 제조 방법 및 자기 기억 장치 | |
JP4405485B2 (ja) | 磁性体膜および磁性体膜の製造方法 | |
JP2022082452A (ja) | スピン軌道トルクベースの磁気トンネル接合及びその製造方法 | |
JP2001044025A (ja) | グラニュラー硬磁性薄膜及びグラニュラー硬磁性薄膜の製造方法 | |
Cao et al. | Enhanced magnetic properties of amorphous FeGaN film growth by plasma assisted pulsed laser deposition | |
Xu et al. | FeCo nanoparticles assembled film | |
Spasova et al. | Structure and magnetism of Co and CoAg nanocrystals | |
Xu et al. | Cluster-assembled nanocomposites | |
Bian et al. | Synthesis and structure of isolated L1/sub 0/FePt particles | |
Frost et al. | Perpendicular Anisotropy Controlled by Seed and Capping Layers of Heusler-Alloy Films | |
Urse et al. | Magnetic, electrical and structural properties of granular [FeCoB/(SiO~ 2)] xn thin films |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040809 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041018 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050106 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20050218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050413 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100422 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100422 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110422 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110422 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120422 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120422 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130422 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |