KR100793154B1 - 고주파 플라즈마를 이용한 은나노 분말 제조방법 - Google Patents
고주파 플라즈마를 이용한 은나노 분말 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
구 분 | 공 정 조 건 | |
플라즈마 파워 | 20∼60 kW | |
가 스 | 캐리어가스 | Ar: 5∼40 slpm |
센트럴가스 | Ar: 5∼40 slpm | |
실드가스 | Ar: 10∼120 slpm H2: 10∼50 slpm | |
냉각가스 | Ar: 50∼400 slpm |
Claims (4)
- 고주파 플라즈마를 이용하여 100 마이크론 이하의 마이크로 은분말로부터 고순도의 은나노 분말을 제조하는 방법으로서,플라즈마 화염에 의해 마이크로 은분말 중 적어도 일부가 기화될 수 있도록 인덕션 코일(12)이 매설된 플라즈마 토치(10)의 하우징(11) 상부에 설치된 노즐(13)을 통하여 불활성의 캐리어가스와 함께 마이크로 은분말을 분사하며, 노즐(13)을 감싸듯이 설치되어 노즐(13)과 하우징(11)을 공간적으로 분리하는 튜브(14)의 내측과 외측에 각각 불활성가스를 주성분으로 하는 센트럴가스와 실드가스를 공급하고, 적어도 어느 일측에는 사이클론(30)이 설치된 유동라인을 따라 플라즈마 처리된 은나노 입자를 흡입하여 필터에 흡착시키되, 플라즈마 처리된 은나노 입자가 필터에 흡착되기 전 은나노 입자가 불활성의 냉각가스와 접촉되어 나노 분말화되도록 하는 과정으로 구성되며;이를 위해 고주파 플라즈마 파워는 15∼150kW이며, 상기 캐리어가스로 불활성가스 50∼40slpm, 상기 센트럴가스로 불활성가스 5∼40slpm, 상기 실드가스로 불활성가스 10∼120slpm과 수소 10∼50slpm, 상기 냉각가스로 불활성가스 5∼40slpm를 공급하고,상기 노즐(13) 선단의 노즐팁(13a)은 인덕션 코일 매설구간(D)의 중앙 높이로부터 그 하측 3cm 까지의 범위에 배치하는 것을 특징으로 하는 은나노 분말 제조방법.
- 제1항에 있어서,실드가스는 불활성 가스와 수소가 혼합된 기체인 것을 특징으로 하는 은나노 분말 제조방법.
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