TW536698B - Semiconductor memory device - Google Patents

Description

)外698

〔發明背景〕 〔發明所屬的技術領域〕 本發明，係關於半導體記憶裴 率消耗下動作的半導體記憶裝置。 〔背景技術之說明〕 。

近年來’為了對應以電池 求’需要可以低功率消耗驅式機器搭栽 士應如此的需在半導體記口+ =己憶裝置。為 寫入的通常動作的一般模式之、置，除了在資料讀取和 =大部份設定在待機狀;了能將内部 ί核式。㉟句話說，依照來自外；ί 2:功率的低功率消 柄式和低功率消耗模式分 d的動=要求，而將—般 憶裝置的低功率消耗化。 、，即可藉以獲取半導體記 為使得低功率消耗㉟更有效 4所供應的外部雷、、β 用低電昼動作化，由休 ’二前，用 :多=:電源電壓，而對應㈣ 另一方面，隨 裝置整體的消 路的消耗功率反 動作造成内部電 應對象的内部電 相、對於半導體記 壓的内部電源電 不僅隨著低電壓 内部電源電壓供 功率，也削減内

著低功率消耗化的進步， 耗功率，產生内部電源電 而成比率的增加。此外， 源電路的電力效率降低， 路為待機狀態而削減消耗 536698 五、發明說明（2) 部電源電路本身的消耗功率，因此需要導入更強力的低功 率消耗模式。 _ 在此種低功率消耗模式中，該模式的輪入，也不需要使 用任何特殊的輸入方法’最好能夠使用既有的控制系統， :既有系統公用施行為優先。並丨，移轉為低功率消耗模 式、以及恢復為-般模式等動作’也以能順利進行為佳。 此外，#同上述各式各樣的外部電源電壓使用的情形 下，為使得半導體記憶裝置能夠廣泛被運用，需要且有能 對應不同位準的外部電源電壓的構造。例如，即使使用不 同位準的外部電源電壓’仍能將内部電源電壓的控制回應 性維持為同樣的構成，也要求内部電源電路能達到。， 並且，組裝該半導體兮P 音驻罢AA么 不卞守版°己u衷置的糸統内的介面式樣不 同，有％候也需要對應例如K8V*統的TTL(Transistor_

Transistor Logic)位準的 I/0 (Input/〇utput)信號的必 要，所以在信號輸入電路系統，也希望能有輸 I / 0信號的構成為佳。 、另-方面’各式各樣的動作條彳，例如外部電 準、I/O信號位準等不同條件都能夠對應的泛設' 硬體方面的固定的情形下，必須能夠從半導體記”】： 部，輕易檢測出該固定的動作條件。 〜衣置外 〔本發明之概要〕 本發明之目的為：提供能以低功率消耗動 憶裝置。 』干导肢吕己

C:\2D-CODE\91-04\90131820.ptd 第6頁 五、發明說明（3) 目Λ為.：提供能對應各式各樣的外部電源 本發明之另 電壓以及I/Oν ^ •提供能對應各式-此外，本發V之又動一作的半導體記憶裝置 各樣的動作條件的半導n J=在設計為能對應各式 測出所使用的動作 装置中，可以輕易從外部檢 如依照本發明之：：之f造。 式之半導體記憶裝置，=具有一般模式和低功率消耗模 取動作、資料寫 ^ :内部電&，藉以實行資料讀 配線，接受來自第—及貧料保存動作；第一外部電源 配線，接受來二:的供應；第二外部電源 電源電麼的供應、；内電!、電麼更低的第二外部 内部電源電壓；以；命a ^ 精以對該内部電路傳達 以及第二的外部電;:電：電⑬’藉以接受來自該第- -參考電壓產生部，藉以接受來自該第 的“4; Γ:電源電愚’產生對應於該内部電源電壓 哨杯：=的參考電壓；第-電流切斷開㈣，在該低功率 ΐΛ ί ΐ二，用來切斷該參考電壓產生部的動作電流；内 “ -壓產生部，在該—般模式時，基於該内部電源電 ，和ί參考電壓的比較結果，可將該内部電源電壓維持於 該目私位準，並且也能在該低功率消耗模式中停止動作； 以及連接開關，在該低功率消耗模式時，將該第一以及第 一的外部電源配線的其中之一，和該内部電源配線電氣性 結合。 較佳狀況為：連接開關包含在第一外部電源配線以及内 C:\2D-CQDE\91-04\90131820.ptd 第7頁 536698 五、發明說明（4) 部電源配線之 率消耗模式時 部電源電壓。 此外，其他 配線以及内部 體，在低功率 施加第二外部 在如此的半 可以在停止參 作的狀態下， 路本身的消耗 或者，較佳 第一指令由外 進行由 該模式 第二指 以此 是否可 尤其 ° 或者 呈行列 列而配 對應於 該一般 設定中 令而開 ，以一 轉變為 是，第 ，尤其 狀配置 置，可 該多個 較佳狀況為 電源配線之 消耗模式時 電源電壓。 導體記憶裝 考電壓產生 產生内部電 功率。 狀況為：又 部輸入的模 模式轉變為 ’若為指定 始該低功率 般模式暫存 低功率消耗 二指令為指 間電氣性結合的N通道場效電晶體，在低功 ，N通道場效電晶體的閘極上，施加第一外 :連接開關包含在第二外部電源 間電氣性結合的P通道場效電晶 ’ P通道場效電晶體的閘極上’ 置中，低功率消耗模式時，因為 部以及内部電源電壓產生部的動 源電壓，所以可削減内部電源電 具有：模式暫存器，用以保存隨 式設定。該模式設定’包含是否 該低功率消耗模式的指定，而在 為進行該轉變的情形，則呼應於 消耗模式。 器的模式設定，即可選擇性設定 模式。 示開始低功率消耗模式的專用指 在其中該内部電路，含有：多個記憶單元， ;多條字線，分別對應於該多個記憶單元的 被選擇性的活性化；以及多條位元線，分別 記憶單元的行而配置，分別和對應於被活性

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化的字線的記憶單元結合。而該 _ 一 資料保存動作的自行更新指♦，在；曰二宙，以指示該 後，各該字線在非活性 以二更新指令開始 模式。藉此，内部電路迴避不；：妝，該低功率消耗 模式轉變低消耗電力模式。 义狀悲之期間，可由一般 或者’尤其’在低功率消耗楔 的輸入前被設定第一位準之外部=由第二指令 或者，尤其，第一及第二=恢復之控制電路。 第-及第二的外部電源電；，接i;;f各自-方的對應 第一的。^源電式中動^’在 Ϊ: 電源電壓驅動接受外部控制錢； 計/ 一方接梵第一及第二緩衝部之中的動作之外部杵 信號都設定有内部電源電 復。"、1制電⑫，則呼應於内部控制信號指示恢 如此，在低功率消耗模式中也能 的位準變化，產生内部控制信號。 消耗模式恢復的一般模式。 正確反應外部控制信號 從而，可確實從低功率

其他較佳狀況為 於該參考電壓產生 來自該參考電壓產 :内部電源電路，又 部和内部電源電壓產 生部的該參考電壓， 包含·緩衝部，設 生部之間，藉以將 傳達給該内部電源

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以及第2電流切斷開關，藉以在 έέ . 電壓產生部 红抬斗' n士 — ％ %研闻關，系 緩衝部的動作電流切斷。 , 為經由緩衝部將參考電壓傳達給内部電源電壓 :生部，戶斤以可以抑制因干擾等影響造成參考電壓的變 或者，其他較佳愔彡 動作電流量的動作之電ί =緩衝部，又包含：藉以控制 將由該低功“ = 部，而該動作電流控制部， 動作電流量，言曼定得2'一般模式的轉換期間的該 、 里°又疋仵比该一般模式時更大。 紅ί f如此的構成中，參考電壓的產生冑，在低功率、、肖 „ ^ " 電為第二外部電源電壓，在轉換如 間，參考電壓相當於在所定位準3^的期間。 因此，在從低功率消耗模式恢復為一般模 快速將參照電壓拉起’所以内部電源電壓也可迅速=二 J J明的其他構成之半導體記憶裝i， 換 源、電壓之半導體記憶裝4，具備··内部電路，藉 枓：取ίΜ乍、資料寫入動作以及資料保存動作；；；； 配線，接受來自外部電源電壓的供應；内 =電f 以對該内部電路傳達内部電源電壓；以及内配線，錯 接受來自料部電源電Μ，藉以將該内部：：，原電路， 目標位準，對該内部電源電壓配線供應内部雷、=壓維持在 内部電源電路中的該内部電源電流的供應動/原電壓，該 部電源電壓的位準如何，為將該内部電源電^，無論該外 性皆維持相同，依照該外部電源電壓的=的控制回應 千而切換。

五、發明說明（7) 從而，因 的供應動作 電源電壓的 較佳的狀 部’接受該 電壓；電壓 較的結果， 部，配置在 該外部電源 該内部電源 流供應部， 的情形時， 流’同時在 部電源電壓 源配線作電 如此，即 來供應内部 不論外部電 制回應性。 此外，較 產生部，接 參考電壓； 壓比較的結 該外部電源 依照外部電源 ，所以無論外 控制回應性。 况為：内部電 外部電源電壓 比較部，依照 在内部節點產 该外部電源配 電壓位準如何 電流供應給該 在該外部電源 可依照該内部 該外部電源電 直接模式中， 氣性結合而供 使在將外部電 電源電壓的外 源電壓位準為 佳的狀況為： 受該外部電源 電壓比較部， 果，在内部節 電壓的位準相 電壓的位準來切換内部電源雷、、六 部電壓位準如何，都能維持 源電路 ，產生 該參考 生電壓 線和該 ，皆以 内部電 電壓的 節點的 壓的位 將該外 應該内 源配線 部電源 何，仍 ’包含 對應於 電壓和 ;以及 内部電 同樣的 源配線 位準比 電壓來 準相當 部電源 部電源 和内部 電壓直 能維持 :參考電 該目標位 該内部電 内部電源 源配線之 電流供應 。而該内 較該目標 供應該内 於該目標 配線以及 電流。 電源配線 接模式的 内部電源 壓產生 準之參考 源電壓比 電流供應 間，無論 能力，將 部電源電 位準更高 部電源電 位準的外 該内部電 直接連接 情形，也 電壓的控 内部電源電路，包含：參考電壓 電壓’產生對應於該目標位準之 依照4參考電壓和該内部電源電 點產生電壓；電流切斷開關，在 當於該目標位準的情形下，將該

C:\2D-CODE\91-04\90131820.ptd 第11頁 536698 五、發明說明（8) 電源比較部的 電源配線和該 壓之電流當作 及連接開關， 的外部電源電 導通的電壓和 如此，即可 率0 而且，其他 比較部，依照 電壓比較的結 源電流供應部 間，依照該第 給該内部電源 部電源電壓的 該内部電源電 其他較佳的 動電晶體，配 應該第一内部 内部電源配線 内部電源配線 内部電源電流 外部電源電壓 結合，以及連 動作電流切斷；驅動電晶體，配置在該外部 内部電源配線之間，將符合該内部節點的電 該内部電源電流，供應給内部電源配線；以 在遠外部電源電壓的位準相當於該目標位準 ，直接核式時導通，在用來將該驅動電晶體 邊内部節點之間作電氣性結合。 在外部電源電壓直接模式時，削減消耗功 較佳的狀況為：内部電源電路 將對應該目標位準的參考電壓 果，在第一内部節點產生電壓 ’配置在該外部電源配線和内 一内部節點的電壓，將該内部 配線。而該内部電源電流供應 位準如何，皆能以同樣電流供 流。 狀況為：内部電源電流供給部， 置在外部電源配線和内部電源 節點的電流’作為該内部電源 :第二驅動電晶體，配置在外 之間’將應該第二内部節點的 供應给該内部電源配線；閘極 :位準，冑第—及第二的内部 接開關，在與該閘極電路相輔 ，包含：電壓 和該内部電源 ;以及内部電 部電源配線之 電源電流供應 部，無論該外 應能力來供應 包含：第一驅 配線之間，將 電流供應給該 部電源配線和 電流’作為該 電路，對應該 閘極以電氣性 的導通，在用

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53669« 五 _發明說明（9) 電堡和該第二内部節點之間 來將該第二驅動電晶體導通的 作電氣性結合。 他較佳的狀況為··内部 比較部’依照將對應該目標位準的；；含：電麼 電壓比較的結$，在第一 ’ J考電屋和遠内部電源 體，配置在該外部電源配線和内部$電驅動電晶 第一内部節點的電、、☆，作A^電源配線之間，將應該 電源配線，·第一動:_ ^ °卩電源電流供應給該内部 位準，將供應於=:2::動：照該外部電源電麼的 在如此的半導體記憶梦 動作電流量切換。 位準’在比内部電源ϋ =使用的外部電源電壓的 再較佳的狀況，内部電源電壓的控制應答性。 的自行更新指令實 原電路，包含為了進行資料位— 流之第二動作電流控：部對：！比較部供給所定的動作= ;rr給動作電流二，乍’依第一動作ίϊ 而且，在内部電路^ ϋ動作電流的供給。守， 的時候，可以更將電壓:電流較小的自行更新指令振 削減消費功率。比較電路的動作電流減少，:汽行 此外，其他較佳的^、、 而可 電壓比該外部電源^況為：在一般模式時，該内 第一檢測部’ I活動ί更高’該内部電源電路，又°包：源 源電壓比該目樑位準待機時皆可動作’ #該内::

C:\2D-roDE\9l-〇4\9013l82〇^^ ___更低洛時可藉以將其檢測出； 第13頁 五、發明說明（10) 測部，在該活 更低落時可藉 電路的自行更 檢測結果而動 時可將其檢測 檢測部的檢測 該内部電源電 部的檢測結果 部電源電流， 較，其單位時 而且’其他 盪部，回應於 動時動作， 1^將其檢測 新指令實行 〇 ’當該内 出 當該内 ώ ;第 時之外 部電源 第一昇壓單元 有一定 將第一 電晶體 以及閘 電壓設 有：第 點N i和 電壓的 點；以 點之間 尤其 號，強 頻率的 節點的 ’在該 極昇壓 定得比 一幫浦 該第一 位準而 及第二 〇5時脈 制性的 $果而動作 流；以及第 而動作，將 該第二昇壓 Fa1 0所能供 車父隹的狀況 該第二以及 ^浦時脈； 電1，設定 第一節點和 部’回應於 該外部電源 電容器，結 節點之間； 成為動作狀 幫浦電容器 傳達電路， 動作狀態。 ’將該 二昇壓 該外部 單元， 應的内 為：第 第三檢 幫浦動 為比該 内部電 該幫浦 電壓更 合在輸 時脈傳 態，將 ，結合 部電 ，回電壓 ，回 外部 單元 電溽 和該 部電 一昇 測部 作部 外部 源配 時脈 向 ， 入前 達電 該幫 於該 源電壓 測部， 應於該 比該目 應於該 電源電 ，回應 電壓昇 第一昇 源電流 壓單元 的檢測 ，回應 電源電 線之間 ，將該 而該幫 述幫浦 路，回 浦時脈 第一節 比該目 除了對 第一檢 標位準 第二以 壓昇壓 於該第 壓，供 壓單元 較大。 ’又具 結果， 該幫浦 壓更高 電氣性 电曰曰體 浦動作 時脈的 應該外 傳達給 點和讀 標位準 該内部 測部的 更低落 及第三 ’供應 一檢測 應該内 相比 備：震 產生具 時脈， ;傳達 結合· 的閘極 ¥ ^節部電溽 設定回應輸入測試模式時之信

536698 五、發明說明（11) 而且，其他較佳的狀況為：第一昇壓單元，具備：第一震 盪部，回應於該第二以及第三檢測部的檢測結果，產生具 有第一頻率的第一幫浦時脈；第一幫浦動作部，回應該第 一幫浦時脈，將第一節點的電壓，設定為比該外部電源電 壓更高；第一傳達電晶體，在該第一節點和内部電源配線 之間電氣性結合；以及第一閘極昇壓部，回應於該第一幫 浦時脈，將該第一傳達電晶體的閘極電壓設定得比該外部 電源電壓更高。第二昇壓單元，又具備：第二震盪部，回 應於該第一檢測部的檢測結果，產生具有較第一頻率為長 的第二頻率之第二幫浦時脈；第二幫浦動作部，回應該第 籲 二幫浦時脈，將第四節點的電壓，設定為比該外部電源電 壓更高；第二傳達電晶體，在該第四節點和内部電源配線 之間電氣性結合；以及第二閘極昇壓部，回應於該第二幫 浦時脈，將該第二傳達電晶體的閘極電壓設定得比該外部 電源電壓更高。第一以及第二閘極昇壓部，對應外部電源 電壓的位準，切換由外部電源電壓的昇壓量。 在如此的半導體記憶裝置中，在將外部電源昇壓來產生 内部電源電壓的情形下，依照外部電源電壓的位準，將來 自第一以及第二昇壓單元的電流供應能力切換，藉此，即 使外部電源電壓的位準切換，也仍能維持内部電源電壓的 ® 控制回應性。 而且，其他較佳的狀況為：第一昇壓單元，又具備：震 盪部，回應於該第二以及第三檢測部的檢測結果，產生具 有一定頻率的幫浦時脈；幫浦電路，藉由以該幫浦時脈產

C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 第 15 頁 五、發明說明（12) 生的充電幫浦動作 具有：呈循環狀、社人、應該内部電源電流’而該震盪部， 器之間的延遲元件-勺可數個反向器，以及結合於該反向 上之擴散電阻。。特別，延遲元件，形成於半導體基板 攸而，無論外部電 浦時脈的頻率，所r :電壓的位準如何，皆可安定維持幫 亂。 以可以抑制對内部電源電壓的控制的外 或者，較佳的是，勺八 式時，具有將外部電^含：内部電源電路在低功率消耗模 關；以及在低功^消=配線和内部電源配線結合的連接開 測部的動作電流切斷j式時，將第一、第二以及第三檢 耗模式時也能削減消費^ =切斷開關，如此，在低功率消 本發明另一構成之丰遂^ ' 多數動作條件的其中一體記憶裝置，係可選擇性適用於 作測試時，依照具有多之半導體記憶裝置，具備能在動 定測試啟動的動作測試位元的信號的特定組合，指示所 路，包含I第一測試進工制電路，而該動作測試控制電 將第一測試進入信號活$電路，藉以回應於該特定組合， 藉以在該多數動作條件咯以及測試進入無效化電路， 第一測試進入信號被強定特定動作條件時，使得該 路，回應於該第一測試進 ^活性化’而該動作測試電 啟動。 兑號的活性化而將該所定測試 從而，在動作測試時， ^ 、雖< 由 曰 可輕易檢測出是否已指定 ^否能啟動所定的測試，即 的動作條件。

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叫且 含 Γ,他較佳的狀況為 多 作 •第二測試進入電路，1、作測試控制電路，又包 數位元的其他組合，^ =回應不同於該特定組合的該 測試控制電路，回鹿於一 /則試進入信號活性化，該動 的活性化，而將該所定測試2者第二測試進入信號之一 如此，即使是指定。 定測試啟動。 、的動作條件的情形，也能將所 此外，較佳的情形H · 部電源電壓的位準。疋· 動作條件都對應於所供應的外

以適用的時候，即可::U τ同位準的外部電源電壓可 雷壓。 &易，則知疋否能適用特定的外部電源 或者’較佳的情 的"is號的振幅電壓 號可以適用的時候 電源電壓。 开> 是：各動作條件 ，藉此，在不同電 ’即可輕易測知是 ，都對應於輸入輸出 壓位準的輸入輸出信 否能適用特定的外部 〔發明之較佳實施例說明〕 以下’參照圖式詳細說明本發明的實施例。附帶說明， 圖中所用同樣元件編號，係表示同樣或者相當於同樣的部 份0

〈第一實施例〉 參照圖1，本發明實施例1的半導體記憶裝置1 ο ο 〇，具備 記憶陣列部1 〇。而記憶陣列部1 〇包含：記憶單元陣列2 0、 列選擇部30、行選擇部以及感測放大部40。 記憶單元陣列2 0，具有配置成行列狀的多個記憶單元

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五、發明說明（14) MC。記憶單元MC的構成並不特別限定，可以使用各種類的 DRAM (Dynamic Random Access Memory)單元在本發明 中 ο 對應於ό己憶早元MC的各列，配置有施行列選擇的字線 WL。對應於記憶單元MC的各行，配置位元線對BLp。位元 線對BLP具有互相互補的位元線^[和BL /。在各記憶單元 列中’各記憶單元MC分別和位元線BL和BL /其中之一結 合。在圖1中顯示，對於一個記憶單元，代表性的配置字 線以及位元線的線對。

列選擇部3 0依照位址信號，選擇出對應於選擇列的字滅 WL而將其活性化。對應於選擇列的記憶單元分別和位元續 BL或者BL /連接。行選擇部以及感測放大部4〇，在各位3 線對BLP中’ &含將位元線b"dBL/的電壓差異 來依照位址信號而選擇對應於選擇行的、 凡線對B L P的行選擇部。 H t :體記憶裝置1〇00，另外還具備：輸入初段電路50、 電ί80路控制部60、記憶陣列控制電路70、75、以及輸d 輸入初段電路5 〇接受來自外卹M , nr., 4匕人γ 又+曰外4的，將時脈（c lock、

才曰令（command )、位址以另皆 „ 硖^ . 位址以及寫入資料綜合表示的輸入作 號。周邊電路控制部β 〇妳由私 、 15 χ _ 0. 士 市J丨b U、、工由輸入初段電路5 0間接傳逵沾 入信號，產生可膏杆所千沾人 j牧1寻建的 P鱼别伙別+ *貝订所不的心令的控制信號，傳達到々 陣列控制電路70、75等之内部電路。 寻運到圮 攸外部輸入的指令中，句合 ^ T包3有：指示資料讀出的讀出

C:\2D-CODE\9l-04\90l31820.ptd 第18頁 536698 五、發明說明（15) =AD、指示資料寫入的寫入指令WRm、更新模式 :内所保有内容的模式暫存器設定指、不指定特 無動作指令、將特定的儲存位（bank)活 大舌性指令ACT、使得特定儲存位成為預先充電 =白儲存預充指令PRE、自動更新（Aut〇⑽㈣）指 以及自行（SelfRefresh)更新指令SREF等。 ^ f動更新指令AREF和自行更新指令⑽肫為，防止圮佾於 ==陣列20㈣資料消失的資料保存動作（Kefres[)、 應；字=;:;活："，由感測放大器對 者再寫入等加^=己隐早"的貧料讀出、放大、或 自動更新指令AREF，插入資料讀出和資料 隨機存取動作中加以指示。另一 白、^ f々間在 = = 機期間内’對記憶二部= 周邊電路控制部6 〇，又且古指斗& + 器65，對應於來自外部指；模；J器65。在模式暫存 分別保有構成輸入的位址暫存器設定指侧， 轿仅女从仏 的位址位疋。依照模式暫存器65 所保有的位址位元，實行等待時間（丨討⑶ 5 衝」burst )動作等相關動作的設定。 °又 脈 的列t::電路7 ° ’呼應於周邊電路控制部6 °所產生 的列糸動作控制信號SGr，孤七冰& 丨度王 作。記憶陣列控制電路75，V岸二 于應於周邊電路控制部6 0所產 第19頁 C:\2D-0QDE\91-04\90131820.ptd 536698 生的行系動作控制信號SGc，對記憶陣列部1 〇控制行系的 動作。 輸出電路8 0 ’在項出指令被輸入的情形下，從記憶 陣列部1 0將讀出資料對外部輸出。 半‘體圯憶裝置1 〇 〇 〇，又具有内部電源電路丨〇 〇，内部 電源電路1 00分別接受來自外部電源配線9〇以及接地配線 95的外部電源電壓Ext、Vdd以及接地電壓Vss，而產生内 部電源電壓。

内部電源電壓，包含：字線電壓Vpp、基板電壓νβΒ、單 元板電壓VCP、位元線電壓VBL、周邊電路電源電壓VDDp、 記憶陣列電源電壓VDDS。單元板電壓VCp以及位元線電壓 VBL，設定為記憶陣列電源電壓VDDS的1/2左右。 此外，内部電源電路1 〇〇，產生外部輸入信號用參考電 壓VREF I。輸入初段電路50基於外部輸入信號用參考電壓 VREFI而辨識輸入信號的Η位準/L位準。 字線電壓VPP、基板電壓VBB、單元板電壓vcp以及位元 線電壓VBL，都供應給記憶陣列部1〇。記憶陣列電源電壓 VDDS，則供應給記憶陣列控制電路7 〇、π。周邊電路電 電壓VDDP供應給周邊電路控制部6〇。 '’、 &於外邵輸入的所定指令

周邊電路控制部6 0 ......、…厂<日々、，將平 體€憶裝置1 0 0 0改為低功率消耗模式。在低功率消耗模 時’周邊電路控制部60將降低功率信號pcUTe活性化成' 位準。在内部電源電路1 00的消耗功率，因降低功率信 P C U T e的活性化而被削減。

536698 五 、發明說明（17) :帶說明’如以下所說明 功率消耗模式，因自行更新指例所示的低 部10將記憶資料保存為前提的1 卜起在記憶陣列 ^更此追求更低功率消耗動作化。⑼而 ' J ” ^己憶裝置1 0 00的低功率消耗 ：，將半導 率消^deep P0wer d〇wn)模式Λ」。特騎之為「更低功 ，著，說明更低功率消耗（dee^ ^ 内部電源電壓的設定。 a〇wn )杈式的 為2%ν圖2在般扠式中，周邊電路電源電壓VDDP設定 部電、、得而，外部動作電源電壓為2· ”系的情形下，外 :、電堅Ext、Vdd直接作為周邊電路電源電壓VDDp使 將1 ί此外的情形’例如外部電源電壓為2. 7V系的情形， 電源電壓Ext、Vdd降低電壓，產生周邊電路電源電 在更低功率消耗模式，外部電源電壓Ext、Vdd為2. 5V系 之情形下，周邊電路電源電壓VDDp和一般模式相同，直接 使用外„卩電源電壓Ext、Vdd。另一方面，外部電源電壓為 2· 7V系的情形下’將外部電源電壓Εχί、vdd降低電壓’產 生周邊電路電源電壓VDDP。在更低功率消耗模式的内部電 源電壓的產生’將詳述於後’其中，vtn相當於配置在内 部電源電路1 〇 〇内的N型電晶體的臨界值電壓。 s己憶陣列電源電壓VDDS在一般模式時將外部電源電壓 Ext、Vdd降低電壓而設定在2· 0V。另一方面，在更低功率 消耗模式時，和周邊電路電源電壓VDDp同樣設定為Ext、

C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 第21頁 536698 五、發明說明（18) ----

Vdd — Vtη ° 位元線電壓VBL和單元板電壓Cp，在一般模式中，設定 為記憶陣列電源電壓VDDS的1/2，也就是設定為L 〇v。在 更低功率消耗模式時，位元線電壓VBL以及單元板電壓VCp 的供應停止，所對應的内部電源配線成為開放（叩⑶）狀 態。 。基板電壓VBB在一般模式中設定為一1· 0V，而在更低功 率消耗（deep p〇wer down)模式則設定為〇ν，也就是設 定為接地電壓Vss。 / =線電壓vpp在一般模式時，將外部電源電壓Εχΐ、vdd 升而電壓設定為3· 7V。而在更低功率消耗模式時，字線電 壓vpp和周邊電路電源電壓VDDp同樣，設定為“七、vdd或 者為Ext、Vdd-Vtn。 < 附帶次明，如圖2所示，在一般模式的内部電源電壓設 定位準僅為其中一例，該等内部電源電壓設定為其他電麼 位準的It形中，也一樣可使用本發明的更低功率消耗模 接者’說明更低功車消紅「d _ 刀手/沟耗（deep power down )模式的 輸入方式。 構

在圖3所示，係為模式暫存器組件所用的位址位元的結 A /A ^ L以模式暫存器設定指令M R S所輸入的位址位元 二六BA1都被保存在模式暫存器65内。 依…保存在模式暫存器65内的該等位址位元，設定一部

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分的半導體記憶裝置1 00 0的動作狀態。例如，模式暫存哭 65所保存的位址位元Α〇~Α2，表示脈衝（burst )的長度; 定。此外，位址位元A3表示脈衝模式（序列sequence/交 錯⑺忟!*〗“”）設定，而位址位元^〜^表示等待時間嗖 定也就是相當於CAS等待時間的時脈循環數。此外，位址 位兀A9則表示寫入模式（丨位元寫入/脈衝寫入）的設定。 在半導體6己憶裝置1 〇 〇 0，是否使用更低功率消耗模式， 係以在一般的模式暫存器組件用未使用的位址位元而實 行。例如，使用以上所述的在模式暫存器組件未使用的位 ，位兀A7以及位址位元A8，在具備適用更低功率消耗模式 也就是符合所定條件的情形下，將設定 模式的模式暫存器組件加以實行。 尺h刀午均耗 在圖4中，表示在半導體記憶裝置丨〇 〇 〇進入更低功率消 耗（deep power down)模式的一例。 參照圖4 ’對於半導體記憶裝置1〇〇〇的指令⑽輸入，和 外部時脈EXTCLK同步進行。在時刻t 〇，從外部發出自行更 新指令SREF的指#。自行更新指令5_輸人時，將外 脈致能信號EXTCKE設定為l位準。 呼應於此，在半導體記憶裝置丨〇〇 〇内部，發出更新動 的實行指示，為了將更新對象的字線活性化，冑内部控制 k號INTRAS活性化為Η位準，對於對應活性化的字線的記 憶^元，實行資料讀出、放大以及再輸入等。 貝行一次伤的列系動作，内部控制信號⑺以…位準 變化為L位準’呼應於此，控制信號_就在所定的期間被

^36698 五、發明說明（20) 活性化為Η位準。暫時被活性化的控制信號s〇D，在非活性 化的時期，於記憶陣列部10中，所有的字線WL都成非活性 狀態，各位元線BL以及BL /就被預先充電。 主依…、模式暫存為組件，當可適用於更低功率消耗模式的 情形下，呼應於控制信號S0D的非活性化（從Η位準成為匕 位準），在時刻tl，降低功率信號PCUTe被活性化為η位 準。於此同時，在内部電源電路丨〇 〇切換内部動作。其妗 果，内部電源電壓，設定為能對應更低功率消耗模式、的'圖 2所示的電壓位準。 、換句話說，從一般模式轉為更低功率消耗模式，係以模 式暫存器設定指令MRS，在設定為適用更低功率消耗模式、 的情形，當自行更新指令SREF被要求時，至少在一次列系 動作以及位元線預充動作結束之後進行。 ’、 從而，避開字線活性化而從記憶單元將資料讀出的期 間二在記憶陣列部10安定的狀態下，即可轉為更低功率消 耗模式。 從更低功率消耗模式恢復為一般模式的時候，則為 於外部時脈致能信號EXTCKE的活性化（從L位準成 ς )而實行。換句話言兒，回應外部時脈致能信號= 性化，降低功率信號PCUTe在時刻t2而被非活性化成 $。其結果，使得更低功率消耗模式結束，内部電源電路 100的内部動作再度切換。其結果，内部電源電壓，設 為如圖2所示的對應於一般模式的電壓位準。 附帶說明，降低功率信號PCUTe的非活性狀態（L位準

C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 五、發明說明（21) 以及活性狀態（H位準） 以及外部電源電壓Ext、Vdd刀別設定為接地電壓Vss 另一方面，依照模式暫 率消耗模式的情形時，原來;當不能適用於更低功 行，而更新動作也依序進行。仃更新指令SREF即可實 圖5係為表示進入更低功率 圖。 月耗核式的其他例子的時序 參照圖5，依照模式暫存哭 消耗模式的情形時，轉為更牛，备可適用於更低功率 用自行更新指耗模式的方式，也可 丄式;定義作為該專用指令… 功率信號PCUTe被活性;;融位回準應於此’在時刻士1 ’ ’降低 功：Ϊ耗模式恢復到一般模式的時候，和圖4的 :二二“乎應於外部時脈致能信號ΕΧΚΚΕ的活性化而實 二TCM二t 2 在日可刻t 2，呼應於外部時脈致能信號 :二在同日令’更低功率消耗模式結I，内部電源電壓， 权疋，對應於一般模式的圖2所示的電壓位準。 接著，說明圖1所示的内部電源電路丨〇〇之結構。 首先，說明内部電源電路1〇()當中，對應於一般模式的 部份的結構。 —參=圖6，内部電源電路1〇〇包含定電流產生電路1〇2。 定電流產生電路102，則將定電流IC〇NST供應給定電流供

C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 第25頁 536698 五、發明說明（22) 應線1 0 4以及1 0 6。 内部電源電路1 0 0又包含：為產生周邊電路電源電壓 VDDP而設的參考電壓產生電路11〇、緩衝電路H2以及内部 電源電壓產生電路116。 參考電壓產生電路110，接受來自106的定電流ICONST的 供應，產生能對應於周邊電路電源電壓VDDP的目標位準的 參考電壓VREFP0。緩衝電路112，基於來自參考電壓產生 電路11 0的參考電壓VREFP0，而在參考電壓配線11 4產生參 考電壓VREFP。 内部電源電壓產生電路11 6，將外部電源電壓Ext、Vdd · 降低電壓，輸出周邊電路電源電壓VDDP給内部電源配線 11 8。在一般模式時，内部電源電壓產生電路丨丨6，基於對 周邊電路電源電壓VDDP和參考電壓VREFP的比較，將周邊 電路電源電壓VDDP維持在目標的位準。 内部電源電路1 0 〇，又包含：用來產生記憶陣列電源電 壓VDDS的參考電壓產生電路120、緩衝電路122、以及内部 電源電壓產生電路126。 參考電壓產生電路1 2 0接受來自定電流供應線丨〇 6的定電 流I CONST的供應，產生能對應記憶陣列電源電壓VDDS目標 位準的參考電壓VREFS0。緩衝電路1 22則基於來自參考電鲁 壓產生電路120的參考電壓VREFS〇，在參考電壓配線124產 生參考電壓VREFS 〇 内部電源電壓產生電路126將外部電源電壓£}(1：、vdd降 低電壓’輸出s己憶陣列電源電壓給内部電源配線1

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。在一般模式中，内部電源電壓產生電路126將記憶陣列 電源電壓VDDS和參考電壓VREFS比較，基於比較結果將記 憶陣列電源電壓VDDS維持在目標位準。 内部電源電路100又包含：用來產生字線電壓vpp的參考 電壓產生電路130、緩衝電路132、以及電壓昇壓電路 13 6。 參考電壓產生電路130，接受來自定電流供應線丨〇6的定 電流ICONST的供應，產生能對應字線電壓vpp的目標位準 的參考電壓VREFPD0。緩衝電路132基於來自參考電壓產生 電路130的參考電壓VREFD〇，在參照電壓配線134產生來考 電壓VREFD。 " 電壓昇壓電路136，將外部電源電壓£)^、Vdd昇壓，輸 ^子線電壓¥?卩給内部電源配線138。在一般模式，電壓昇 壓電路1 36，將字線電壓vpp和參考電壓VREFD作比較，基 於比較結果而將字線電壓VPP維持在目標位準。 參考電壓VREFP0、參考電壓vreFP、參考電壓VREFS0、 參考電壓VREFS、參考電壓VREFD0、參考電壓VREFD，分別 對應於圖2所示的一般模式中的周邊電路電源電壓vDDp、 吕己憶陣列電源電壓V D D S、字線電壓v p p的設定位準而定。 將外部電源電壓Ext、Vdd降壓的内部電源電壓產生電路 11 6以及1 2 6，可以使用一般構成的電壓降低電路（: Voltage Down Converter ) 〇 内部電源電路1 0 0另外又包含··接受記憶陣列電源電壓 VDDS而產生單元板電壓VCP的VCP產生電路140、以及產生

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位元線電壓VBL的VBL產生電路145 °VCP產生電路140以及 VBL產生電路1 45，例如：以附加整形功能的分壓電路所構 成’接文來自内部電源配線1 2 8所供應的記憶陣列電源電 壓VDDS ’產生單元板電壓VCP以及位元線電壓化[。 内部電源電路100另外還包含基板電壓產生電路16〇。基 板電壓產生電路160，接受外部電源電壓Ext、Vdd而動作 ，在内部電源配線16 8產生負電壓的基板電壓VBB。基板 壓產生電路1 60為由例如電荷幫浦（充電泵charge 電路所構成。 ； 經由如此的構造，在一般模式中的内部電源電壓，設 為如圖2所示的電壓位準。 ^ 接著，說明内部電源電路100當中對應於更低功 模式的部份之構造。 ^ ^ /巧口P電源電路1 〇 〇 ’ X包含：在更低功率消耗模式降緩 ^電路112的動作電流截％的削3電晶體21〇、在更低功 消耗模式中，將參考電壓配線114和接地電壓Vss之間電_ 性結合的nmos 部電源配線1 18和外部電诉ί 率4耗拉式中’將内 的画電晶體214。卩^'電壓EXt、_之間電氣性結合 P Μ 0 S電晶體2 1 〇，以電翕祕έ士人々

Vdd和緩衝電路i 12之門pf、°合在外部電源電壓Ext、 ΝΜ〇ς φ B 9 ’閘極接受降低功率信號PCUTe。 NMOS電日日體212 ’將參考電壓配 電：性結合，0S電晶體2“則以電氣性結合二 配細和内部電源配線118之間，間極接受降低功率信=

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五、發明說明（25) PCUTe 。 附帶說明，在本實施例中，使用MOS電晶體為當作連接 開關的電场效電晶體的代表例之一。 内部電源電路1 0 0另外又含有··對記憶陣列電源電壓 VDDS產生系而配置的PMOS電晶體220、以及NMOS電晶^ 222、224、對應於字線電壓VPP產生系而配置的pm⑽電曰 體230、以及NMOS電晶體232、23 4。 日曰 NMOS電晶體222以及232 ’和NMOS電晶體212同樣配置。 籠03電晶體224和2 34，和關03電晶體214同樣配置。黯〇3 電晶體214、224以及234的臨界值電壓，相當於圖2中所桿 記的Vtn。此外，若配置以閘極接受降低功率信號的反轉不 信號/PCUTe的PMOS電晶體來代替NMOS電晶體23 4的話，在 更低功率消耗模式的字線電壓VPP即可設定為外部電源^ 壓Ext、Vdd。 “、 經由如此的構成，在更低功率消耗模式中，將内部電源 電壓產生電路116、126以及電壓昇壓電路136的動作停 止’而將周邊電路電源電壓VDDP、記憶陣列電源電壓TVDDS 以及字線電壓VPP設定為Ext、Vdd — Vtn。其結果，在更低 功率消耗模式中，就不需要產生分別輸入給内部電源電壓 產生電路116、126以及電壓昇壓電路136的參考電壓、 VREFP、VREFS、VREFD 了。從而，在更低功率消耗模式 中’參考電壓VREFP、VREFS、VREFD，分別經由隨〇/電晶 體212、222以及23 2而分別固定於接地電壓Vss。 阳 於此同時，配置於前段的參考電壓產生電路11〇、12〇、

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，VSS =直線串聯結合的N個（N為自 253。N删卯電晶體253的閘極分別^^體

從而，N個PMOS電晶體253皆分別你达 1 笔 、、口己C 能。 电曰日白刀別作為阻抗元件而發揮功 性狀能、π付進^ 降低功率信號PCUTe設定為非活 使用:外部堂）的一般模式時’參考電壓產生電路110， 2仉外4電源電壓^、Vdd到接地電Mvss之間 的動作電流，產生參考電壓VREFP0。 n η知妓从φ颅v ΟΒ 、、工田遇田的5周整即黑 NO和接地電壓Vss之間的電阻抗值’ 考電壓VREFP0。 X于尸汀而要的芩

^圖7所示’另行配置分別和PM〇s電晶體⑸並列的並聯 用熔絲7L件255，可藉熔絲熔斷將節點N〇和接地電壓Vss 間的電阻抗值作微調整。 另一方面，在降低功率信號PCUTe設定為活性狀態（ 汗位準）的更低功率消耗模式，因為pM〇s電晶體252被截 止，貫通外部電源電壓Ext、Vdd和接地電壓Vss之間的貫 通電流，也就是參考電壓產生電路n〇的動作電流被切、 斷。

如此一來，在更低功率消耗模式時，因為切斷動作電 流’即可停止產生已經不需要的參考電壓VREFp〇，故能削 減參考電壓產生電路11 〇的功率消耗。 因圖6所示得緩衝電路112、122以及132的結構相同，故 以圖8代表性說明緩衝電路11 2的結構。 參照圖8，緩衝電路112具有：電氣性結合於節點N2和經

536698 五、發明說明（28) 由PMOS電晶體21 0而和外部電源電壓Ext、vdd作電氣性連 接的卸點N1之間的P Μ 0 S電晶體2 6 0、電氣性結合於節點n 1 和節點Ν3之間的PMOS電晶體262、電氣性結合於節點Ν2和 節點Ν4之間的NMOS電晶體264、電氣性結合於節點Ν3和節 點Ν4之間的NMOS電晶體2 66。 PMOS電晶體2 6 0和262的閘極，和節點Ν2結合。NMOS電晶 體264的閘極，則由來自11/的參考電壓VREFp〇輸入。節點 N3以及NMOS電晶體26 6的閘極，和傳達參考電壓的參 考電壓配線1 14結合。 / 緩衝電路1 1 2並且具有在節點n 4和接地電壓v s s之間作電 _ 氣性結合的NMOS電晶體2 67。在NMOS電晶體267的閘極，輸 入控制電壓0 1。 依照如此的結構，在PMOS電晶體21〇成為0N的一般模式 時，將呼應於控制電壓0 1的動作電流，供應給緩衝電路 112。緩衝電路112以依照動作電流量的回應速度，將傳達 給内部電源電壓產生電路11 6的參考電壓VREFp，設定為和 來自參考電壓產生電路110的參考電壓VREFp〇相同位準。 如此經由緩衝電路11 2來傳達參考電壓，藉此即可防止灸 考電壓VREFP因為干擾而發生變化。 〆

另一方面，在更低功率消耗模式中，呼應於降低功率信 號PCUTe的活性化（H位準），PM〇s電晶體21〇被導通，所 以緩衝電路1 1 2的動作電流被切斷。如此，即可停止產 =經不需要的參考電壓VREFP，而可削減緩衝電路112的功

536698 五、發明說明（29) 再次參照圖6，内部電源電路1 0 0又包含：在更低功率消 耗模式中’將基板電壓產生電路丨6 〇和外部電源電壓Εχ t、 V^id切斷的PM OS電晶體24 0、將内部電源配線168和接地電 壓\^3作電氣性結合的？|^〇3電晶體244。在？1^〇3電晶體24〇 的問極上’有降低功率信號PCUTe輸入。而在pM〇s電晶體 2 44上’有反轉的降低功率信號/pcUTe輸入。 從而’在更低功率消耗模式中，在pM〇s電晶體24〇被導 ，的同時，PM0S電晶體2 44也被導通。其結果，將基板電 壓VBB没定為如圖2所示的接地電壓v ss。換句話說，在更 低功率消耗模式中，因為已經不需要基板電壓產生電路 160動作，所以回應於PM〇s電晶體24〇的截止，將基板電壓 產生電路160的動作電流切斷，即可藉以削減基板電壓產 生電路160的消耗功率。 内部電源電路1〇〇又包含：用來產生外部輸入信號甩參 考電壓VREF I的外部輸入信號用參考電壓產生電路2 。外 部輸入信號用參考電壓VREFI傳達給輸入初段電路5〇，用 來辨識輸入信號為Η位準還是L位準。 參照圖9，外部輸入信號用參考電壓產生電路27〇具有·· 在外部電源電壓Ext、Vdd和節點Ν5之間呈串聯結合的阻抗 271、PM0S電晶體2 72、2 73。在節點N5上，產生外部輸入 信號用參考電壓VREFI。 外部輸入信號用參考電壓產生電路27〇，又具有··在節 點N5接地電壓Vss之間直線串聯結合的M (M: /然數）p]^s 電晶體274。Μ個PM0S電晶體274的閘極分別和接地電壓Vss

536698 五、發明說明（30) -- 結合。從而，Μ個PMOS電晶體274皆分別發揮作為阻抗元件 的功能。 選擇參考電壓VREFS或者VREFP其中之一輸入於㈣⑽電晶 體272的閘極。對PM0S電晶體272的閘極，則輸入降低 信號PCUTe。 _ 依照如此的結構，在一般模式時，可以切換外部輸入俨 號用參考電壓VREFI的位準。例如，參考電壓VREFp (2 5σν )輸入於PMOS電晶體272的閘極之情形，外部輸入 參考電壓VREFI設定為h4V。另一方面，對pM〇s電^體\72 的閘極輸入參考電壓VREFS (2.〇v)的時候，外部 號用參考電壓VREFI設定為0.9^依照如此的構成 ^ 1/0/言號位準的輸入信號，可以切換外部輸入信 電壓VREFI來對應。 "^ 如圖9所示，配置分別和PM〇s電晶體m並列的並聯用熔 件275，可藉熔絲熔斷來對外部輸入信 VREFI作微調整。 ^可电& 從：：：面，纟更低功率消耗模式中，因為沒有輸入信號

。從而别2 ::::要外部輸入信號用參考電壓VREFI ΡηΓ/ 更低功率消耗模式中，對應於降低功率信號 生電㈣〇的功率消耗;減外。㈣人信號用參考電壓產 上所說明’在内部電源電路100 耗模式時可大幅削減消耗功率。 刀手4

536698 五、發明說明（31) 而且，降低功率信號PCUTe，因A聛从*

_，輸人於用來切斷的腦s電晶源電' 極，所以其L位準和以立準，必須分體別以及⑼等開 和外部電源電壓Ext、Vdd。 刀別§又疋為接地電MVSS 接著，說明能從更低功率消耗模式順利

如上所說明，從更低功率消耗模式恢復為1妒模式日L ，暫時存放外部時脈致能信號extcke，而基於= 2 H，#bINTCKE來控制此類模式的復原 模式中，或者再將周邊電路電源電議ρίί 為Ext、Vdd—Vtn的情形中，都能正確反 致 信號EXTCKE的位準變化，而需要盡斗免加士 / T 双月b 丽〇的構成。 而要產生内部時脈致能信號 圖10所示之内部時脈致能信號產生電路28〇，例如配 輸入初段電路5 0。 圖10所示之内部時脈致能信號產生電路28〇 ’且有：以 外部電源電壓Ext、Vdd驅動的邏輯閘281、以周邊電路電 源電壓V D D P驅動的邏輯閘2 8 2〜2 8 5。 邏輯閘281，輸出外部時脈致能信號ΕχιχκΕ和降低功率 信號PCUTe的NAND演算結果。邏輯閘282則輸出外部時脈致 能信號EXTCKE和降低功率信號的反轉信號的“⑽演算結 果。 從而，在降低功率信號PCUTe設定為η位準的更低功率消 耗模式中，邏輯閘281係做為外部時脈致能信號EXTCKE的 m C:\2D-00DE\91-04\90131820.ptd 第35頁 536698

:爰衝器而動作。另一方面，在降低功率信號 就EXTCKE的緩衝器而動作。 設定為L 致能信 的反向器）283以及284，分別將邏輯閘281和282 、輪出反轉❺邏輯閘285則將反向器2 OR洁瞀έ士里火& 夂乙d的勒出的 次#、、Ό果虽作内部時脈致能信號I NTCKE而輸出。 :照如此的構成，在一般模式中，經由被周邊電路電源 電壓VDDP所驅動的緩衝器（邏輯閘282)來產生 ’、

:能信號⑽託。另一方面，在更低功率消耗模式。二 由被外部電源電壓Ext、Vdd所驅動的緩衝器（邏輯閘Mi 來產生内部時脈致能信號INTCKE。 其結果，無論在一般模式或者更低功率消耗模式，都能 正確反應出外部時脈致能信號EXTCKE的位準變換，而可^ 生内部時脈致能信號INTCKE。 内部時脈致能信號INTCKE傳達到包含在周邊電路控制部 6 0内的產生降低功率信號的電路3 〇 〇。 產生降低功率信號的電路3 00包含：反向器3〇 2、正反器 (fl ip-flop ) 3 04、和位準變換電路3〇6。反向器3〇2和正 反器（fl ip-flop ) 3 04以周邊電路電源電壓vDDp驅動。 反向器302將内部時脈致能信號INTCKE反轉後輸出。反 向器30 2的輸出，則對正反器（flip一π〇ρ ) 3 〇4給予重設 (reset)的輸出。另一方面，正反器（fiip-fl〇p)3〇4 的組件輸入上則有控制信號/DPD供應。控制信號/dpd為 當更低功率消耗模式的進入條件符合時設定為L位準的信

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號。例如，若依照圖4所示的進入方式，控制信號 應於控制化號S 0 D上的非活性化而被活性化為L位準。而。 且、，如圖5所示的進入方式的情形，依照更低功率消 式進入指令DPE的輸入，活性化為控制信號/DPD。 、 伙而，正反器（f i ip—f 1〇p ) 3〇4的輸出信號，呼應 化號/DPD變換為L位準的活性化，設定為H位準，而又呼 應内部時脈致能信號INTCKE變換為Η位準，而被重設為匕位 準。 .

位準變換電路30 6將正反器（；？14一〇〇1))3〇4的輸出信 號，變換成接地電壓Vss〜外部電源電壓Ext 1 準，而產生降低功率信號PCUTe。 ^的位 如此一來’依照圖4以及圖5所示的模式進入方式，即可 δ史定降低功率信號pcuTe。而且，也可確實從更低功率消 耗模式回歸到一般模式。 在從更低功率消耗模式回歸到一般模式時，必須讓内部 電源電壓產生電路116、126以電壓昇壓電路136儘快動 作，+再度切換内部電壓電源。從而，必須將在更低功率消 耗模式中固定於接地電壓Vss的參考電壓VREFp、VREFS、

VREFD，快速回歸於所定的電壓位準。尤其，需要更快速 產生對應於將外部電源電壓Ε χ t、V d d升高電壓的字線電壓 VPP的參考電壓VREFD。 其次’說明在回歸一般模式時的回應性高的緩衝電路的 構成。 如圖11所示，以對應於字線電壓Vpp的緩衝電路〗32為代

536698 五、發明說明（34) 表表示其結構。 f照圖11，緩衝電路132不同之處在於：除了和圖8所示 的級衝電路同樣配置的PM〇s電晶體26〇、262以及隨〇§電晶 體264、266、26 7以外，還加上和NM〇s電晶體26 7並聯連接 的NMOS電晶體26 8。 NMOS電晶體26 8，以電氣性連接於節點N4和接地電壓Vss 之間，應電源導通重設（power 〇n reset)信號/^〇1^的 活性化（L位準）而導通。 電源導通重設信號/P0Rr，通常在啟動時以一定時期被 活性化，而在本實施例中，除此以外，還有從更低功率消 耗模式回歸於一般模式時，也在所定期間被活性化為L位 準。 依照如此的構成，圖1 1所示的緩衝電路丨3 2，和具有圖8 所示構成的緩衝器電路比較，更能增加電源導通重設信號 /PORr的活性化期間的動作電流，在回歸一般模式時，可 更快速將參考電壓VREFD從接地電壓Vss拉起。 參照圖1 2，產生電源導通重設信號的電路3丨〇，具有： 在外部電源電壓Ex t、Vdd和節點N1 6之間電氣性結合的 PM0S電晶體31、在節點N6和N7之間電氣性結合的PM0S電晶 體312、在節點N7以及接地電壓Vss電氣性結合的NMOS電晶 體31 3、將節點N 7的電壓位準反轉而產生電源導通重設信 號/PORr的反向器315。 將被反轉的降低功率信號/PCUTe輸入給PM0S電晶體的閘 極。而來自參考電壓產生電路130的參考電壓VREF DO施加

C:\2D-CQDE\91-04\90131820.ptd 第38頁 536698 五、發明說明（35) 於節點_。？^105電晶體312以及關03電晶體313，具有和參 考電壓配線1 1 4結合的閘極，構成反向器。 在更低功率消耗模式中，在PMOS電晶體311被導通的同 時，參考電壓VREFD固定於接地電壓Vss。其結果，PMOS電 晶體31 2被導通，NMOS電晶體31 3成為OFF。從而，電源導 通重設信號/ PORr為準備回歸一般模式，而活性化為l位 準〇

從更低功率消耗模式切換為一般模式的話，來自參考電 壓產生電路1 30的參考電壓VREFD0以及VREFD，開始變化為 對應一般模式中的字線電壓VPP目標位準的電壓。從而， 參考電壓VREFD到超過相當於NM0S電晶體313的臨界值電壓 的所定電壓之間的所定期間，NM0S電晶體313都一直維持 在OFF狀態，所以也可維持電源導通重設信號/p〇Rr的活 性狀態（L·位準）。 其後，因為一旦參考電壓VREFD超過該所定電壓，NM0S 電晶體3 1 3就會導通，所以電源導通重設信號/p〇Rr即被 活性化為Η位準。

依照如此的構成，呼應於回歸一般模式時的pM〇s電晶體 210的導通動作，緩衝電路丨32的動作電流通路獲得確保， 以NM0S電晶體26 7以及26 8兩者，即可供應緩衝電路132的 動作電流。其結果，在從更低功率消耗模式恢復為一般模 式時，從參考電壓VREFP的接地電壓Vss可以快速提昇，遑 速使得字線電壓νρρ恢復。 、 附帶說明，圖11所示的緩衝電路的構成，也可以分別使

C:\2D-00DE\91-04\90l3l820.ptd 第39頁 536698 五、發明說明（36) 用於和周邊電路電源電壓VDDp以及記憶陣列電源電壓”⑽ 相對應的圖6所不的緩衝電路112以及122。在此情形，緩 衝電路112、122以及132可以共用圖12所示的產生電源導 通重設信號的電路。 <第二實施例> 在第二實施例中^ ··對應不同位準的外部電源電壓，能 將内部電源電壓的㈣回應性維持一致的内部電源電路的 構成。 首先，以圖1 3說明對應於不同外部電源電壓的不同内部 電源電壓的設定。 爹照圖1 3，在第二實施例中，考慮使用2· 5V系和較高的 2. 7 V系兩種做為外部電源電壓。 在適用2· 7V系外部電源電壓時，記憶陣列電源電壓VDDS 以及周邊電路電源電壓VDDP，將外部電源電壓Ext、Vdd (2.7V)降低，分別設定為2·〇ν以及2.5V。字線電壓vpp 則將外部電源電壓Ext、Vdd (2. 7V )升高，設定為3. 7V。 此外，基板電壓VBB設定為負電壓-IV。 在適用2· 5 V系外部電源電壓時，記憶陣列電源電壓vdds 、字線電壓VPP以及基板電壓VBB，和2· 7V系外部電源電壓 的情形同樣，分別設定為2 · Ο V、3. 7 V以及_ 1 V。 但是，在外部電源電壓Ext、Vdd較低的2· 5V系中，因驅 動能力降低而可能又妨害内部電源電壓的控制回應性之 虞，所以，在記憶陣列電源電壓產生系中，需要使比較器 和驅動器的反應性更提南。也由於同樣的理由，在字線電

第40頁 ^36698 五、發明說明（37) 壓VPP的產生系统中，； 太$ 士 Λ 4日曰、 也品要以汲取電容器的容量接古莖 方法，加快提昇電壓動作的速产。 J今里钕同4 在適用2 · 5 V系外部電源電壓，

(2. 5V )，可以直接#田L中門邊電路電源電壓VDDP 接使用外部電源電壓Ext 下，將此種適用外部電诉 Vdd。在以 雪颅古拉π』 电碌電壓的％合’稱為：「外部雷、、原 雷=φ塔果工」。在外部電源電壓直接模式，將供岸月邊 t ^ t ^ t ^ VDDP ^ ^ g& 18 ^ f 接連接，^寺，也可將其 卜/電源配線直 供應能力。 、騙動為的大小提向’以提昇電流 接者，依知、第一貫施例，今明闲、套雷攸φ 生系統的構成。在第二實施;=2路：源電細ρ產 電壓VDDP產生系統’配置η原 路4 1 2以及產4內邬雷、、码兩r、 ιυ 、楚衝電 -,,^ ^ 6、電壓的電路416，來代替圖6中所 不、多 堅產生電路11 〇、緩衝電路11 2以及内部電沔電 壓產生電路1 16。 乂次円口Ρ電源電 所參=14二第二實施例的參考電壓產生電路410，和圖7 =不的苐一貫施例的參考電壓產生電路相比較，不同之處 在於另外具有邏輯閘41 5。 f4」5 ’輸出降低功率信號PCUTe和控制信號VD1的 OR次异釔果。邏輯閘415的輪出，係輸出給pM〇s電晶體M2 的閘極。 %，制信號VD1依照外部電源電壓Ext、Vdd的電壓位準而 設定、。具體而言，在適用對應外部電源電壓直接模式的外 部電源電壓時，也就是圖i 3的例中使用2 · 5V系外部電源電

536698 五、發明說明（38) --- 壓的情形，控制信號VD1設定為Η位準。如同以上說明，2 5V系外部電源電壓適用時，因為係將外部電源電壓Εχΐ / Vdd和内部電源配線11 8直接連接而產生周邊電路電源電壓 VDDP，所以不需要產生參考電壓VREFp〇。 “、 在適用比外部電源電壓直接模式更高的外部電源電壓之 情形，也就是圖1 3的例中使用2· 7V系外部電源電壓的情 形，將控制信號VD 1設定為L位準。

依照如此的構成，PMOS電晶體252除了在更低功率消耗 模式之外，更加上，即使在一般模式中，也能依照適用的 外部電源電壓的位準而被截止。於此同時，在已因' 而不需 產生參考電壓VREFPO的外部電源電壓直接模式中，可將參 考電壓產生電路41 0的動作電流切斷，而削減消耗功率/ 參知、圖1 5 ’第一貫施例的緩衝電路41 2的構成，和圖8所 不的緩衝電路11 2同樣’不過第二實施例中的動作電流的 供應型態不同。 在外部電源電壓Ext、Vdd和緩衝電路41 2之間作電氣性 結合的P Μ 0 S電晶體2 1 0上，接受和圖1 4同樣來自邏輯閘4 1 5 的輸出。從而，和參考電壓產生電路410同樣的，在已因 而不需產生參考電壓VREFP的外部電源電壓直接模式中， 可將緩衝電路41 2的動作電流切斷，而削減消耗功率。 參照圖1 6，第二實施例的產生内部電源電壓的電路 416，具有··比較器430、PMOS電晶體432、NMOS電晶體 4 3 4、邏輯閘4 3 6、4 3 7、反向器4 3 8、内部電源電流供應部 4 4 0。内部電源電流供應部4 4 0又具有驅動電晶體4 4 2、

C:\2D-OODE\91-04\90131820.ptd 第42頁 536698 五、發明說明（39) 445。 比較器4 3 0將對應於周邊電路電源電壓ddp的參考電壓 VREFP和周邊電路電源電壓VDDP之間的電壓差異放大而輸 出於節點N8。具體而言’節點N8的電壓，在vddp>vrefP 的情形下，設定為Η位準（外部電源電壓)側， 而在VDDP CVREFP的情形時設定在L位準（接地電壓Vss ) 側。 PMOS電晶體432，在外部電源電MExt、Vdd和比較器43〇 之間電氣性結合。NMOS電晶體434則在節點N8和接地電壓 Vss之間電氣性結合。 邏輯閘436，將控制信號仰丨和測試模式信號m 算結果，給予PMOS電晶體43 2。測試模式信號“叭在動作貝 測試時，在實驗性的實行對應於外部電源電壓直 電路動作時，活性化為Η位準。 俱式的 j輯=437，和邏輯閘436同樣，輸出控制信號v])i和 试杈式信號TMDV的OR演算結果。邏輯閘437的輸出，给二 NMOS電晶體4 34的閘極。 、、’°予 驅動電晶體44 2，具有和節點Ν 8結合的閘極，外 配線90和内部電源配線! 18之間電氣性結合。驅動雷, 445 ’和驅動電晶體442並聯，電氣性結合於外部電I體令 90和内部電源配線！ 18之間。驅動電晶體442和^纴，、-、、、 PM0S電晶體構成。驅動電晶體445 向器438反轉的邏輯閘43 7的輸出。 輸入有以反 依照如此的構成，在-般模式中因為測試模式信號 第43頁 C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 536698 五、發明說明（40) 設定為L位準，所以在適用比外部電式

t曰7的輸出，設定為L位準。從而，PM0S 電曰曰體432為ON ’而NM0S電晶體434為〇FF。此外 晶？七5也強迫性的截止。從而，依照節點N8的電麼，即 比幸乂态430的電壓比較的結果，驅動電晶體442對於來自外 部電源配_的内部電源配線118，供應内部電源電麼。 相對於此，在使用對應於外部電源^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ :以及43 7的輸出，設定制位準。從而，pM〇s電晶體 432為OFF、而NM0S電晶體434為〇N。 器430的動作電流被切斷，同時節點㈣也 /u、&堅VSS、。其結果，並聯的驅動電晶體442以及 線1 1 8姓2 ^ f迫導通’將外部電源配線90和内部電源配 線1 1 8、、、σ & ，糟以供應内部電源電流。 供=也： = 壓較低、驅動電晶體的電流 曰 -勺外4電源電壓直接模式中，驅動電 :曰體442以及445的電流供應能力之總合也得以維持。其結 保。α電路電源電壓VDE)P的控制回應性也同樣得以確 :在動作測試時，將測試模式信號TMDV設定為Η位 =情：下丄邏f閑436、437的Η位準因為被強迫變化為η 壓直接模式同樣的電路】作可貫驗性的實行和外部電源電 第44頁 C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 536698 五、發明說明（41) 參照圖1 7 ’第二實施例的發生内部電源電壓的電路 4 2 6 ’具有：比較器4 5 〇、控制比較器4 5 0的動作電流量的 NMOS電晶體4 52、4 54、4 56、轉換閘45 9、内部電流供應部 460、邏輯閘457、466、反向器467、PMOS電晶體468。内 部電流供應部46 0又具有：驅動電晶體462和465。 比較裔450將對應於記憶陣列電源電壓VDDS的參考電壓 VREFS和記憶陣列電源電壓VDDS之間的電壓差異放大而輸 出於節點N9。具體而言，節點N9的電壓，在VDDS >VREFS 的情形下，言史定為Η位，（外部電源電壓2、VdSd)V = S 而在VDDSCVREFS的情形時設定在l位準（接地電壓yss) 侧0 NMOS電晶體452、454以及456，在比較器450和接地電壓

Vss之間並聯連接。NM0S電晶體452的閘極上則有從邏輯閘 457輸出的輸入。邏輯閘457，具有：將控制信號vdi和測 試模式信號TMDV的OR演算結果輸出的〇R閘、將該〇R閘的輸 出和控制信號SREF的反轉信號之間的AND演算結果輸出的 AND閘。㈣信號SREF，在自行更新指令實行時設定 準’在此外的期間則設定為L位準。 依照如此的構成，NMOS電晶體452的閘極電壓，在自 更新指令實行時強迫性的設定為L位準（接地電壓Vss 。 而在形式自行更新指令實行之外的情形，若控制信_ 或者測試模式信號TMDV設定為H位準時，即對應於外 源電壓直接模式的2. 5V系外部電源電壓適用的時候 動作測試時指示所定的動作測試之時候中，NM〇s電晶體

C:\2D-GODE\91-04\90l31820.ptd 第45頁 536698 發明說明（42) 452的閘極電壓設定為Η位準（外部電源電壓Ext、vdd )。 在NMOS電晶體454的閘極上，輸入有控制信號SREF的反 轉信號。其結果，NM0S電晶體454，在自行更新指令實行 時截止，而在此外的期間則被導通。NM〇s電晶體45 6的閘 極，輸入有控制電壓^。藉此，NM〇s電晶體45 6，可以隨 時對於比較器4 5 0供應微小電流。 從而’比較器4 5 0的動作電流，在自行更新指令實行的 日守候’僅對N Μ 0 S電晶體4 5 6供應。而在實行自行更新指令 之外的情形，若為適用比外部電源電壓直接模式更高的外 部電源電壓的時候，藉由NM〇s電晶體454、456供應比較器 450的動作電流，而在使用對應外部電源電壓直接模式的 時候，以NM0S電晶體452、4 54以及4 56供應比較器4 50的動 作電流。 依照如此的構成，在外部電源電壓直接模式的比較器 450的回應速度，適用比外部電源電壓直接模式高的外部 電源電壓的時候更提昇。而且，在實行自行更新指令時， 可僅僅針對比較器4 5 0的動作電流，削減其消耗電流。因 為在實行自行更新指令時，記憶陣列部丨〇的消耗電流較 少，對記憶陣列電源電壓VDDS所要求的控制呼應性比# 嚴格。 〜 又不 驅動電晶體46 2、465，分別由在外部電源配線9〇和内 電源配線128之間並聯連接的PM0S電晶體所構成。驅動電" 晶體4 6 2的閘極和節點N 9結合。驅動電晶體4 6 5的閉極Γ 由轉換閘4 5 9而和節點Ν 9結合。此外，驅動電晶體4 6 5的=

C:\2D-CODE\91-04\90131820.ptd 536698 五、發明說明（43) 極，經由？％08電晶體468而和外部電源電壓£}^、'^(1電氣 性結合。 轉換閘459，依照邏輯閘4 66的輸出而導通或者截止。具 體而言，控制信號VD1或者測試模式信號TMDV設定為η位準 的情形下，轉換閘45 9為ON。另一方面，若控制信號VM和 測試模式信號TM DV雙方都設定為l位準，轉換閘4 5 9則為 OFF 。 、’ PM0S電晶體468，在外部電源電壓£^、vdd和驅動電晶 體465的閘極之間電氣性結合，以閘極接受邏輯閘466的輸 出0

經由如此的構成，適用比外部電源電壓直接模式高的外 部電源電壓的時候，PM0S電晶體468導通，另一方面°，轉 換閘45 9則被截止。從而，因為驅動電晶體465為強迫性截 止’所以驅動電晶體4 6 2依照節點N 9的電壓，從外部電源 配線90對内部電源配線1 28供應内部電源電流。 '’、

相對於此’在外部電源電壓直接模式中，轉換閑459導 通’另一方面’PM0S電晶體468 則截止β其結果，節點N9 和驅動電晶體462以及465結合。從而，並聯配置的驅動電 晶體462和46 5 ’因為能以同樣的電流供應能力來供應内 電源電流’故即使在驅動電晶體的電流驅動能力相^ 的外部電源電壓直接模式中’也能維持記憶陣列電 VDDS的控制對應性。 i 此外’在動作測試時，將測試模式信號TMDV設定 準’藉此’即可將邏輯閘457和466的輪出設定為η位準，

C:\2D-CODE\91-04\90131820.ptd 第47頁 536698 五、發明說明（44) =以可以貫驗性的實行外部電源電壓直接模式的電路動 而且，在第二實施例的構成中，配置電壓昇壓電路4 7 〇 來代替圖6所示的電壓昇壓電路136。 μ參照圖18，電壓昇壓電路47〇包含：異常時用檢測部 、動作時用檢測部5 1 0、待機時用檢測部5 2 〇、動作檢 卩控制電路53 0、昇壓單元控制電路545、活動昇壓單元 55〇、待機昇壓單元57〇。 雍用檢測部500在動作之際，若比字線電壓VPP所對 Ζ ^電壓VREFD更低落的時候，將檢測信號LOWE活性 =為H，準。動作時用檢測部51()以及待機時用檢測部 士比子線電壓VPP對應的參考電avREFD更低落的咭 應的檢測信號_、L0WS個別活性化為H位準。刀 時’都隨時維持動作。異常時用檢測=者 新”的實行期間之外，都依照待機時用檢測部自2 測仏號LOWS的活性化而動作。動作時用檢部’欢 檢測部活性化信號ACTe的活性化而動作。“ 13則依照 動作檢測部控制電路5 30，在内部车 的Η位準期間、或者自行更新指令的實夺 # FACTOR或者檢測信號L〇WN的活性化 又妝控制 檢測部活性化信號ACTe設定為活性狀態（H 位^準），將 昇壓單元控制電路545，分別基於來\ 。 木目異吊時用檢測部 第48頁 C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 536698

50 0的檢測信號LOWE、來自動作R主田从、日丨Λ T nw,T 切作時用檢測部510的檢測信號 L0WN、以及控制信號ACT0R，產生使活動昇壓單元55〇動 白致能信號/PMe。活動昇壓單元55〇，在致能信號 的活性化期間内動作。

昇壓單元控制電路545在檢測信號L〇WE的活性化期間， 將致能信號/PMe活性化。而且，昇壓單元控制電路54 5， 測信號L0WN活性化為Η位準的情形，在控制信號act〇r 或者檢測信號LOWE活性化為η位準的條件下’將致能信號 /PMe活性化。在此情形中，—旦被活性化的致能信號/ PMe，在檢測信號L0WN被非活性化u位準）之 維持在活性狀態。 活動昇壓單元55 0，又具有：環震盪器555、分頻電路 560、並聯配置的幫浦電路6〇〇a、6〇〇b。 環震盪器5 55，依照致能信號/pMe的活性化而動作，產 生震動信號PCLK0。而分頻電路56〇則將震動信號pCLK0分 頻’產生頻率為Tc2的幫浦時脈pclk。 =浦電路6 00a以及6〇〇b，隨幫浦時脈PCLK而將外部電源 電壓Ext、Vdd以充電幫浦動作昇壓，將字線電壓vpp輸出 給内部電源配線138。

成待機昇壓單元57 0，具有環震盪器575和幫浦電路61()。 環震盈器575 ’隨待機時用檢測部52〇的檢測信號L〇ws而設 定動作狀態’產生具有頻率Tcl ( >Tc2 )頻率的幫浦時 脈。幫浦電路61 0，隨環震盪器5 75所產生的幫浦時脈而將 外部電源電壓Ex t、Vdd昇壓，在内部電源配線1 3 8產生字

536698 五、發明說明（46) 線電壓VPP。 設定為比 而且，活 也設計的 令ί ” ί壓單元550適用的幫浦時脈的頻率 動昇壓單内時脈的頻率更短 比待機昇壓單元二：以=電容量，也設 二、、工本曰η 兄電幫浦電容器的電容詈大。你 以更：堅早70550的相對消耗功率也比較大，同時能 ，，二义壓^作較慢^二，二昇壓單元 參照圖，i】Ur55W路470各部份的電路構成。 :，J ”反向器556供應外部電源電壓：：活： :成::r=向—，設置例如以擴散二 依照如此的構成’可以抑制對555的震 率的電壓倚賴性。即使在不同位準的外部電==的頻 對内部電源電壓的控制即可抑制外部I亂。 接者，說明異常時用檢測部5 0 0、動作時用檢測〇、 以及待機時用檢測部520的構成。因 相：，故在圖2。中以異常時用檢測部皆 ，照圖20 ’異常時用檢測部5〇〇，具有咖電晶 5(Π 〜50 3、NMOS 電晶體 50 4^5 06。 _電晶體5(H，電氣性結合在外部電源電壓Μ、_ C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 第50頁 536698 五、發明說明（47) 和節點N10之間’其閘極接受降低功率信號pcuTe。pM〇s電 晶體5 0 2以及5 0 3，在節點N丨〇和節點N丨}以及節點N丨3之 間’分別作電氣性結合。pM〇s電晶體5〇2和5〇3和節點N1} 結合。 隨〇S電晶體50 4和50 5，分別在節點Nil、節點N13、節點 N1 2之間作電氣性結合。對應於字線電壓的參考電壓VReFD 輸入於NM0S電晶體504。字線電壓VPP輸入於NM0S電晶體 5 0 5的閘極。NM0S電晶體506在節點N12和接地電壓Vss之間 作電氣性結合。動作狀態控制信號輸入於NM〇s電晶體5 〇 6 的閘極。 動作狀態控制信號，在異常時用檢測部5 〇 〇，依照控制 信號SREF的反轉信號/SREF和檢測信號LOWS之AND演算結 果而產生。因此，控制信號/SREF設定L位準期間，換句話 說’除了自行更新指令實行期間之外，在輪測信號L〇ws的 活性化期間（H位準）内，使NM0S電晶體506導通，即可供 應異常時用檢測部5 0 0的動作電流。 此外，如上所說明，在更低功率消耗模式中，因為沒有 產生字線電壓vpp的必要，故回應降低功率信號PCUTe而將 PM0S電晶體5 0 1降低，停止異常時用檢測部5 〇 〇的動作，即 可削減消耗功率。 在動作電流的供應之際，異常時用檢測部5〇()，將字線 電壓VPP以及對應於此的參照電壓VREFD的電壓差異放大， 做為檢測信號LOWE而輸出於節點N1 3。換句話說，在字線 電壓VPP比相對應的參照電壓VREFD更低的情形，檢測^丨:號

C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd · ^ 51 頁 ' 五、發明說明（48) LOWE活性化為1}位準 ，動作時用檢測部510，輸入於 的檢測部活性化信號ACTe。同樣：作制電路530 動作狀態控制信號，二= 部：部5二及Λ機時用檢測部52°以及其他的 功ί構成常時用檢測部500同樣，在更低 i j，椟式，將動作電流切斷，藉以削減消耗功率。 二：照圖18 ’幫浦電路6〇〇a以及6_，具有同樣的構 動作。1舨外部電源電壓Ext、Vdd的位準，即可切換其昇壓 路=0帶說明，以下，將幫浦電路600 a*600b總稱為幫浦電 參照圖21 ’幫浦電路600，具有：接受幫浦時脈pCLK (振幅外部Ext、Vdd )而在節點NbO產生昇壓電壓的昇壓 動作部62 0、在節點肠0和内部電源配線138之間電氣性結 合的傳達電晶體6 3 0 '將傳達電晶體6 3 0的閘極電壓昇壓的 閘極昇壓部6 4 0。 昇壓動作部62 0具有：邏輯閘6 22、624、PM0S電晶體626 和NM0S電晶體62 8、幫浦電容器Cl、C2。 邏輯閘622 ’輸出控制信號PDB和幫浦時脈PCLK的NAND演 算結果。邏輯閘624則輸出控制信號PDB和幫浦時脈PCLK的 AND演算結果。控制信號pDB在需要將昇壓動作加快速度時 (以下簡稱「雙重昇壓時」），活性化為Η位準，在其外

C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 第52頁 536698 五、發明說明（49) 的情形（以下簡稱「單純昇壓時」），則設定為L位準。 PMOS電晶體62 6在外部電源電壓£^、vdd和節點Npc之間 電氣性結合。NMOS電晶體62 8，在節點Npc和接地電壓Vss 之間電氣性結合。邏輯閘62 2的輸出，輸入於pm〇S電晶體 626的閘極，邏輯閘624的輸出，則輸入於NM〇s電晶體628 的閘極。 幫浦電容器ci ，結合於輸入幫浦時脈PCLK的節點Ni和節 點NbO之間。幫浦電容器C2結合於節點Nlpc和節點Nb〇之 間。 在雙重昇壓時，邏輯閘62 2以及62 4，輸出幫浦時脈代^ 的反轉時脈。其結果，做為傳達幫浦時脈pCLK的反向器而 ，作的？》108電晶體626以及隨08電晶體628，設定為動作狀 怨二將和幫〉f時脈PCLK同相位的時脈信號輸出於節點NPC k而—在歼壓動作部6 2 〇，用並聯連接的幫浦電容器c ^ 貝2 = C動作。其結果，因為在一次幫浦動作所能 積蓄的電荷量增大，故能增加供應於内部電源配線1 38的 内部電源電流，相對提高昇壓動作的速度。 另方面’在單純昇壓時，邏輯閘622和624的輸出，分 別固定於Η位準和l位準。從而，pM〇s電晶體62 晶？628雙方都被戴止，節點_成為高阻抗。從而二電單 純昇壓時，僅以幫浦電容器C1實行昇壓動作。 π如此的構成，在雙重昇壓時，α充電幫浦動作幫浦 電路6 0 0所供應的内部電源電流比單純昇壓時相對更多。 傳達電晶體63 0，依照節點Nb2的電壓、即依照間電壓，

536698

將節點NbO和内部電源配線138電氣性結合。節點Nb〇 昇壓動作部6 20所供應的電荷傳逵认内 ’、 為將 曰广 17 1寻運給内部電源配線1 38，佶 昇壓動作部6 20的充電幫浦動竹π丰 〜 κ 广 吊固動作同步，必須將節點Nb2昇 壓0 ，極昇壓部640具有：昇壓單元㈣、將副時脈 :壓單元650的副時脈產生部655、供應副時脈pd的副；： 產生部660、電氣性結合於副時脈產生部_和節點Nb 間的電容器670、反向器675、結合於反向器m的輸出節 點和節點Nb2之間的電容器680、以及對節點肋2設置 壓電源6 9 0。

昇壓單元6 50具有：在外部電源電壓£^1：1(1(1和節點肋1 之間電氣性結合的NM0S電晶體65 2、結合於副時脈產生部 655和NM0S電晶體6 52之間的電容器6 54、在外部電源電壓 Ext、Vdd和NM0S電晶體6 52的閘極之間電氣性結合的關〇s 電晶體656。外部電源電壓Ext、Vdd輸入於NM0S電晶體656 的閘極。 副時脈產生部65 5依照以於幫浦時脈PCLK產生的副時脈 P a以及控制彳s號p j) b ’產生副時脈p c。副時脈產生部6 6 〇也 同樣的，依照副時脈pa和控制信號PDB，產生副時脈pd。

反向器675回應於副時脈Pa，而將節點Nbl或者接地電壓 Vss的其中之一，和節點N12電氣性結合。昇壓電源69〇回 應於副時脈Pb而實行昇壓動作，將外部電源電壓Εχ1;、vdd 昇壓而傳達給節點Nb2。副時脈Pb相當於幫浦時脈PCLK的 反轉時脈。

536698 五、發明說明（51) 昇壓電源6 90具有：在外部電源電壓仏1:、^(1和節點仙2 之間電氣性結合的腳08電晶體69 2、和關03電晶體6 92的閘 極結合而接受副時脈Pb供應的電容器694、在外部電源電 壓Ext、Vdd和節點NbO之間電氣性結合的nm〇s電晶體69 5、 外部電源電壓Ext、Vdd和NM0S電晶體6 92之間電氣性結合 的題03電晶體69 6。龍03電晶體6 92的閘極和關03電晶體 695的閘極相連接。外部電源電壓]^^、Vdd輸入於NM〇s電 晶體6 9 6的閘極。 昇壓電源6 90又具有：在外部電源電壓5：)^、¥(1(1和題〇3 電晶體692的閘極之間串聯連接的關⑽電晶體697和698。 關03電晶體6 97和6 98分別以二極體連接。經由肫的電晶體 695、6 9 7和6 98，即可防止NM0S電晶體692的閘極電壓過度 升高。 接著’以圖22A和圖22B說明幫浦電路6〇〇的動作。 圖22A表示控制信號PDB為[位準時，即單純昇壓時的動 作。 參照圖22A，副時脈Pb相當於幫浦時脈pcLK的反轉時 脈。副時脈Pa，和副時脈Pb比較起來，其下降邊緣較為延 遲，而上，。升邊緣則同步。副時脈以經由副時脈產生部 6 5 5，在單純汁壓時，產生極性和副時脈相反的時脈。 此外，副時脈Pd，在單純昇壓時，固定為L位準（接地電 壓Vss ) 〇 從而，在單純昇壓時，節點Nbl的電壓VNbl，固定為 Ext、Vdd。從而，節點Nb2的電壓VNb2，回應於副時脈

536698 五、發明說明（52)

Pa，在Ext、Vdd和2 · Ext、Vdd之間搖晃般的昇壓。如 此，以昇壓動作部62 0而在節點NbO產生的昇壓電壓VNb〇， 經由傳達電晶體63 0而傳達於内部電源配線丨38。 在圖22B，表示雙重昇壓時的幫浦電路6〇〇的動作。 參照圖22B，在雙重昇壓時，副時脈卜經由副時脈產生 部6 55而設定為和副時脈pa同相的時脈。此外，副時脈產 生部66 0，在雙重昇壓時，將副時脈pd設定為副時脈卜 反轉時脈。 依照如此的構成，節點Nbl的電壓VNbl，在Ext、Vdd和 2 *Ext、Vdd之間搖晃般的昇壓。回應於此，節點肋2的°電 ，VNb2，也在Ext、Vdd和3 .Ext、Vdd之間搖晃般的昇 壓。換句活說，傳達電晶體6 3 〇的閘電壓的昇壓量， 單純昇壓時更大。 雙重昇壓時，以昇壓動作部620將供應給節點 NbO的電何，以傳達電晶體63〇傳達給内部電源配線， 即可將字線電壓VPP的昇壓速度相對提昇。 依照如此的構成，在將外部電源電壓設定為相對低位 (例如：2. 5V系外部電源電麼適用時）情形時，^幫浦 路600雙重昇壓’在外部電源電壓相對高位的時候（例 二上7νΛ外部電源電壓適用時）情形時，使幫浦電路 600早純幵壓’即可對應不同位準的外部電源電 用，而維持字線電壓VPP的控制回應性。具體而言，依昭 適用的外部電源電壓的位準，設定控制信號pDB即可。.”、、 此外，將控制信號PDB和動作測試時設定為H位準的

5366^ 五、發明說明（53) 控制信號的OR演算結果輸入， 構，即可實驗性 9代$裎制信號PDB的結 再度參照圖18 的電路動作。 伙圖21所不的幫浦電路6〇〇的 /屬馮 輯閘62 2、624、雷曰#成’在幵壓動作部6 20，邏 省略的構成也可適用。+ A 8以及幫浦電容器C2的配置 的比幫浦電路60 0更j、。/ #’、幫浦電容器C1的容量，設定 的回應性，所以構此 幫浦電路61 0，因為不要求快速 切換充電幫浦電客哭二=具備依照外部電源電壓的位準來 依照上述所示，第二每铽月b 同位準的外部電源電^列的構成中，依照所適用的不 電流的供應動作的切=藉由内部電源電路中的内部電源 適用的情形中，仍^ 即使在相對較低的外部電源電歷 <第三實施例 > 保内部電源電壓的控制回應性。 在本發明的實施例中的 以及外部電源電髮，且牛¥體兄憶裝置，I /0信號位準 構。其結果，所使/、有可適用於多種不同電壓位準的結 準不同的半導體記$ 1 /0化號位準以及外部電源電壓位 如上所說明，在衣置之设計’即可成為通用形式。 的I /0信號位準以 如^此通用的設計之情形，依照所適用 切換内部電源電路的^部電源電壓的位準等動作條件，町 定。在第三實施例中動1乍狀悲的控制信號的位準設定為固 檢測所使用的動你 6兒明可輕易從半導體記憶裝置外部 參照23，第三^條件的構成。 ^例的測試模式控制電路7 〇 〇，具有依 C:\2D-00DE\91-04\90131820.ptd 第57頁 536698 五、發明說明（54) 照構成位址信號的位址位元A 〇〜A m ( m係自然數）的組合， 檢測特定的動作測試的指示之測試模式進入電路7 〇 2、 704 、 706 。 測試模式進入電路702、704、706分別為進入共同的動 作測試的電路。但是測試模式進入電路7〇2、7〇4\ 7〇6個 別的動作測试指示所檢測的位址位元的組合不同。測試模 式進入電路7 02、704、706分別依照位址位元A〇〜Am的不同 特定組合，而檢測動作測試指示的時候，輪出H位準信 號。測試模式進入電路702則輸出測試進入信號TEa。σ 測試模式控制電路700又具有：邏輯開7ι〇Ί2〇、73〇以 及740。邏輯閘710，將測試模式進入電路7〇4的輸出斧穿 和控制信號LVVD的NAND演算結果，做為測試進入信號 而輸出。例如外部電源電壓設定為特定的位準時， 號LVVD設定為“立準，而其外的情形則設定制位準二。 邏輯閘720，將測試模式進入電路7 * 信號LVI〇 _MD演算結*，做為洌：=2 #和控制 出。例如！/〇信號位準設定為寺為定號TEc而輸 LVIO- ^ 為特疋的位準時，控制信號 LVI〇 =疋為L位準，而其外的情形則設定為丑位 邏輯閘7 3 0 ’將測試進入作辦τ p h $、a 1 μ ^ nand演算結果輸出。邏輯上1TE二入信號❿的 和測試進入信號TEa的OR演算結果傲^ f上〇的輸出#號 應控制信號TMS的Η位準的活性化，，、、二制“號1^輸出。 電路m、704、的動啟而動將對應於測試模式進入 控制信號LVVD設定為L位準的情形，無論㈣模式以 第58頁 C:\2D-OODE\9l.04\90131820.ptd 536698

五、發明說明（55) 電路704的輸出信號如何，測試進入信號TEb都固定為η值 準。其結果，即使在給予了對應於測試模式進入電路7 〇 ^ 的位址位元A0〜Am的特定組合的時候，所對應的特定動作 測試的進入，都被邏輯閘73 0無效化。換句話說，該動作 測試無法啟動。 相反的，在控制信號LVVD設定在Η位準的情形下，輪入 對應於測試模式進入電路70 4的位址位元A0〜Am的特定組合 的時候，測試進入信號TEb變化為L位準。從而，即可脾二 制信號TMS活性化為Η位準。 將控

從而，給予對應於測試模式進入電路7〇4的位址位元 Α0〜Am的特定組合的時候，控制信號TMS是否會活性化為η 位準，係經由檢查特定動作測試是否啟動，而可辨識所、商 用的外部電源電壓，是否為特定的位準。 、 同樣的，給予對應於測試模式進入電路7〇6的位址仇元 Α0〜Am的特定組合的時候，控制信號TMS是否會活性化為η 位準，即係經由檢查特定動作測試是否啟動，而可辨識 適用的I / 0信號位準，是否為特定的位準。

此外，即使在控制信號LVVD以及LVIO雙方都設定在匕位 準的情形下，對應於將測試進入信號TEa活性化的測試 式進入電路7 02的位址位元a 〇〜Am的特定組合，即可藉、 動對應於控制信號TMS的特定的動作測試。 曰 <第三實施例的變形例> β第，實施例的變形例中，說明可輕易辨識外部電源電壓 疋否旎適用第二實施例所說明的外部電源電壓直接模式的

C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 第59頁 536698

五、發明說明（56) 構成。 參照圖2 4，第三實施例的變形例的外部電源電壓位準檢 測電路7 6 0，具有：在動作測試時，用來將外部墊片7 5 〇和 節點Np之間作電氣性連接的電晶體開關765、在節點Np和 接地電Μ V s s之間電氣性結合的電晶體開關7 6 7。 電晶體開關76 5 ’以閘極接受測試控制信號/ η的pm〇s 電晶體所構成。測試控制信號/ T E為確認内部電源電壓產 生電路116的動作’以外部塾片750將參考電壓VREFP直接 輸入的動作測試實行時，活性化為L位準。

產生内部電源電壓的電路41 6，為圖1 6所示構成當中的 一部分選出而表示’接受外部電源電壓Ext、Vdd而產生周 邊電路電源電壓VDDP。如同上述，在外部電源電壓直接模 式，因為控制信號LVVD設定為Η位準，故以驅動電晶體445 將外部電源電壓Ext、Vdd和内部電源配線丨18直接連接。 換句話說，不進行比較器43 0中的電壓比較動作，周邊電 路電源電壓VDDP即可設定為和外部電源電壓Εχΐ、Vdd同樣 的電壓位準。

產生VREFP的電路770，分別如圖14和圖15所示，將對應 於周邊電路電源電壓VDDP的參考電壓產生電路41〇和緩衝 =路41 2练合性的表示。換句話說，在控制信號LVVD設定 位準的外部電源電壓直接模式中，產生…以卩的電路的 作電机被切斷，對節點心所產生的參考電壓的產 生即被中止。 在測試控制信號/TE活性化為[位準的情形下，控制信 536698 五、發明說明（57) 號LVVD設定為Η位準的話，也就是使用外部電源電震直接 模式的情形下，對外部墊片750發生漏電流。從而，將外 部墊片7 5 0所發生的漏電流檢測出，可藉以輕易辨別所使 用的外部電源電壓的位準，是否 & ^ ^ ^ ^ ^ 模式。 疋古對應於外部電源電壓直接 〔元件編號之說明〕 10 記憶陣列部 2 0 記憶單元陣列 30 列選擇部 40行選擇部以及感測放大部 5 0 輸入初段電路 6 0 周邊電路控制部 6 5 模式暫存器 70 記憶陣列控制電路 7 5 記憶陣列控制電路 80 輸出電路 9 0 外部電源配線 95 接地配線 100 内部電源電路 10 2 定電流產生電路 104 定電流供應線 10 6 定電流供應線 110 參考電壓產生電路 114 參考電壓配線

536698 五、發明說明（58) 116 内部電源電壓產生電路 120 參考電壓產生電路 124 參考電壓配線 126 内部電源電壓產生電路 128 内部電源配線 1 30 參考電壓產生電路 1 32 緩衝電路 134 參照電壓配線 136 電壓昇壓電路 138 内部電源配線 140 VCP產生電路 145 VBL產生電路 160 基板電壓產生電路 168 内部電源配線 20 0 NMOS電晶體 202 PMOS電晶體 210 PMOS電晶體 212 NMOS電晶體 214 NMOS電晶體 220 PMOS電晶體 222 NMOS電晶體 224 NMOS電晶體 240 PMOS電晶體 25 0 阻抗

C:\2D-mDE\91-04\90131820.ptd 第62頁 536698 五、發明說明（59) 251 PMOS電晶體 2 52 PMOS電晶體 2 53 PMOS電晶體 255 並聯用熔絲元件 2 6 0 PMOS電晶體 2 62 PMOS電晶體 264 NM0S電晶體 26 6 NM0S電晶體 267 NM0S電晶體 268 NM0S電晶體 270 外部輸入信號用參考電壓產生電路 2 7 1 阻抗 272 PMOS電晶體 280 内部時脈致能信號產生電路 281 邏輯閘 282 邏輯閘 283 反向器 30 0 產生降低功率信號的電路 302 反向器 304 正反器（flip-flop ) 30 6 位準變換電路 3 1 0 產生電源導通重設信號的電路 311 PMOS電晶體 312 PMOS電晶體

第63頁 C:\2D-CODE\91-04\90131820.ptd 536698 五、發明說明（60) 313 NMOS電晶體 315 反向器 410 參考電壓產生電路 412 緩衝電路 41 5 邏輯閘 416 產生内部電源電壓的電路 426 產生内部電源電壓的電路 430 比較器 432 PMOS電晶體 434 NMOS電晶體 436 邏輯閘 437 邏輯閘 438 反向器 440 内部電源電流供應部 44 2 驅動電晶體 44 5 驅動電晶體 450 比較器 452 NMOS電晶體 456 NMOS電晶體 457 邏輯閘 460 内部電流供應部 4 6 2 驅動電晶體 468 PM0S電晶體 470 電壓昇壓電路

C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 第64頁 536698 五、發明說明（61) 50 0 異常時用檢測部 501 PMOS電晶體 504 NMOS電晶體 52 0 待機時用檢測部 53 0 動作檢測部控制電路 545 昇壓單元控制電路 5 5 0 活動昇壓單元 5 5 5 環震盈器 5 5 6 反向器 558 延遲元件 560 分頻電路 570 待機昇壓單元 575 環震盪器 60 0 幫浦電路 610 幫浦電路 620 昇壓動作部 622 邏輯閘 626 PMOS電晶體 628 NMOS電晶體 630 傳達電晶體 640 閘極昇壓部 650 昇壓單元 652 NMOS電晶體 6 5 5 副時脈產生部

C:\2D-OODE\91-04\90131820.ptd 第65頁 536698 五、發明說明（62) 65 6 NMOS電晶體 6 6 0 副時脈產生部 670 電容器 6 7 5 反向器 6 8 0 電容器 69 0 昇壓電源 70 0 測試模式控制電路 70 2 測試模式進入電路 750 外部墊片 76 0 外部電源電壓位準檢測電路 765 電晶體開關 767 電晶體開關 770 產生VREFP的電路

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圖式簡單說明 圖1為表示本發明第一實施例的半導體記憶裝置整體結 構的概念方塊圖。 圖2為說明一般模式以及更低功率消耗模式（deep power down )的内部電源電壓設定的說明圖。 圖3為模式暫存器組件所用的位址位元之構成的說明 圖。 模式輪入 圖4為說明更低功率消耗（deep power down 方式之一例的時序圖。

圖5為說明更低功率消耗（deep power down )模式輪入 方式之另外一例的時序圖。 圖6為表示圖1所示内部電源電路結構的方塊圖。 圖7為表示圖6所示參考電壓產生電路的結構的電路圖。 圖8為表示圖6所示緩衝電路的結構的電路圖。 圖9為表示圖6所示外部輸入信號用參考電壓產生電路的 結構的電路圖。 、 圖10為表示内部時脈致能（Clock Enable )信號產生電 路的結構的電路圖。 圖11為表示恢復一般模式時的高呼應性緩衝電路的纟士構

圖12為表示電源重置（powe]r on reset)信號產生電路 的結構的電路圖。 圖1 3為依照外部電源電壓的位準說明内部電源電壓設定 的位準不同的說明圖。 圖1 4為依照第二實施例，表示對應於周邊電路電源電壓

536698 圖式簡單說明 的參考電壓產生電路的結構的電路圖。 圖1 5為依照第二實施例，說 說明電路目。 供應給緩衝電路的 路的 圖1 6為依照第二實施例，表示内部電源 結構的電路圖。 t產生電 圖1 7為依照第二實施例，表示内部電源 結構的電路圖。 1產生電路的 壓電路的結構的方 圖1 8為依照第二實施例，表示電壓昇 塊圖。 圖 圖1 9為表示圖i 8所示環狀震盪器的結構的電路 圖2 0為表示圖1 8所示非常狀態用檢測部的辞 圖。 、、、°穉的電路 圖21為表示圖1 8所示幫浦電路的結構的電路圖 圖22A以及圖22B為說明圖21所示幫浦電路的叙。 圖。 场作的時序 圖2 3為依照第三實施例表示測試模式控制電 電路圖。 &的結構的 圖24為依照第三實施例的變形例表示外部電游 β 準的檢測電路的結構的電路圖。 /、電壓的位

C:\2D-C0DE\9卜04\90131820.ptd 第68頁

Claims (1)

1. 536698

   乂：ΐίϊ體記憶裝置，係具有一般模式和低功率消耗 板式之半ν肢記憶裝置，其特徵為具備： 内告Ρ 電路（l〇、5〇、60、7il、7R on、 ^ t 士 v AU DU DU iU ' U、80 )，藉以實行資料 續取動作、資料寫入動作以及資料保存動作； 第外σ卩電源配線（9 0 )，接受來自第一外部電源電壓 (Ext、Vdd )的供應； ’、 弟一 ϋ卩電源配線（9 5 )，接受來自比較前述第一外部 電源電壓更低的第二外部電源電壓（Vss )的供應；

   内部電源配線（U8、128、138、168)，藉以^前述内 up電路傳達内部電源電壓（vj)DP、VDDS、vpp、vbB、VCP 、VBL );以及 内部電源電路（100)，藉以接受來自前述第一以及第 一的外部電源電壓，產生前述内部電源電壓； 而前述内部電源電路，包含： 參考電壓產生部（110、120、130)，藉以接受來自前 述第一以及第二的外部電源電壓，產生對應於前述内部電 源電壓的目標位準的參考電壓；

   第一電流切斷開關（2 5 2 )’在前述低功率消耗模式 時’用來切斷刖述參考電壓產生部的動作電流； 内部電源電壓產生部（116、126、136、160)，在前述 一般模式時，基於前述内部電源電壓和前述參考電壓的比 較結果，可將前述内部電源電壓維持於前述目標位準，並 且也能在前述低功率消耗模式中停止動作；以及 連接開關（214、224、23 4、2 44 )，在前述低功率消耗

   C:\2D-CODE\91-04\90131820.ptd 第69頁 536698 六、申請專利範圍 模式時，將 一，和前述 2. 如申請 具有· 模式暫存 部輸入的模 前述模式 述低功率消 而在前述 形，則呼應 消耗模式。 3. 如申請 前述内部 多個記憶 多條字線 配置，可被 多條位元 元的行而配 結合， 而前述第 作的自行更 在前述自 狀態下，即 4. 如申請 前述第一以及第二的外部電源配線的其中之 内部電源配線電氣性結合。 專利範圍第1項之半導體記憶裝置，其中，又 器（65 )，用以保存隨第一指令（MRS )由外 式設定， 設定，包含是否進行由前述一般模式轉變為前 耗模式的指定， 模式設定中，若為指定為進行前述轉變的情 於第二指令（SREF、DPE )而開始前述低功率 專利範圍第2項之半導體記憶裝置，其中， 電路，含有： 單元（MC )，呈行列狀配置； (WL )，分別對應於前述多個記憶單元的列而 選擇性的活性化；以及 線（BL、/BL )，分別對應於前述多個記憶單 置，分別和對應於被活性化的字線的記憶單元 二指令（SREF )，為藉以指示前述資料保存動 新指令， 行更新指令開始後，各前述字線在非活性化的 開始前述低功率消耗模式。 專利範圍第1項之半導體記憶裝置，其中，

   C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 第70頁 536698 六 申μ專利範圍 前述内部電源電路，又包含： 緩衝部（1 12、122、132 )，設於前述參考電壓產生部 (110、120、130 )和内部電源電壓產生部（116、126、 1 3 6,）之間，藉以將來自前述參考電壓產生部的前述參考 （VREFPO、VREFS0、VREFD0 )，傳達給前述内部電源 電壓產生部；以及 =2電严切斷開關（210、220、23〇)，藉以在前述低功 ' 毛模式時’將前述緩衝部的動作電流切斷。 ^如申請專利範圍第4項之半導體記憶裝置，其中， ^述緩衝部（112、122、132 )，又包含：八 义藉以控制動作電流量的動作電流控制部（267、268)，而 m流控制部，*由前述低功率消耗模式轉換為前 a > ^核式的轉換期間的前述動作電流量，設定得比前述 一般模式時更大。 · 4 骑t ^ ^半導體記憶裝置，係可切換外部電源電壓之半導 體圮憶扁置，其特徵為具備： 讀：g路:】1:京5°、6°、7〇、75、8〇) ’藉以實行資料 、貝枓寫入動作以及資料保存動作； 鲁 夕4 7源配線（9 〇 )，接受來自前述外部電源電壓 (Ext、Vdd )的供應； = ί (118、128、138、168)，藉以對前述内 η傳達内部電源電壓（vddp、vdds、vpp、vbb、 VCP、VBL );以及 内部電源電路（100)，接受來自前述外部電源電壓，

   536698 六、申請專利範圍 藉以將前述内 源電壓配線供 前述内部電 無論前述外部 壓的控制回應 準而切換。 7 ·如申請專 前述内部電 參考電壓產 (Ext、Vdd ) (VREFP )； 電壓比較部 源電壓比較的 内部電源電流 (9 0 )和前述 電源電壓位準 部電源電流供 而前述内部 準比較前述目 的電壓來供應 壓的位準相當 中，將前述外 結合而供應前 8 ·如申請專 ，依照前述參考電壓和前述内部電 在内部節點（N 8 )產生電壓；以及 (440 )，配置在前述外部電源配線 源配線（1 1 8 )之間’無論前述外部 皆以同樣的電流供應能力，將前述内 述内部電源配線（1 1 8 )， 流供應部，在前述外部電源電壓的位 更高的情形時’可依照前述内部節點 部電源電流’同時在前述外部電源電 目標位準的外部電源電壓直接模式 配線以及前述内部電源配線作電氣性 電源電流° 第6項之半導體記憶裝置’其中， 部電源電壓維持在目標位 應内部電源電壓， ‘ ’對前述内部電 源電路中的前述内部電源 電源電壓的位準如何，為：的供應動作， 性皆維持相同，依照前述外:^内部電源電 卜°卩電源電壓的位 利範圍第6項之半導體記憶 源電路（100 )，包含：、直，其中， 生部（1 1 0、1 1 2 )，接受前、十、从 ，產處a >、十、曰挪 迷外部電源電壓 產生對應於刖述目標位準之參考電壓 ( 43 0〕 結果， 供應部 内部電 如何， 應給前 電源電 標位準 前述内 於前述 部電源 述内部 利範園

   C:\2D-CODE\91-04\9013l820.ptd 536698 六、申請專利範圍 前述内部電源電路（1 〇 〇 )，包含： 參考電壓產生部（110、112 )，接受前述却 (Ext、Vdd )，產生對應於前述目標位準 D卩電源電壓 (VREFP ); ’、 參考電壓 電壓比較部（43 0 )，依照前述參考電壓和^、、 源電壓比較的結果，在内部節點（N 8 )產生則β述内部電 電流切斷開關（ 432 )，在前述外部電電壓壓; =述目標位準的情形下’將前述電源比電二％ 和源配線(… 的電壓之電流當作前述内部f / W述内部節點 源配線·，以及 冤抓供應給前述内部電 义：f =關（434 )，在前述外部電源電壓的、 SI:位準的外部電源電壓直接模式時導通在用當* 刖述驅動電晶體導通的電壓（ 在用來將 作電氣性結合。 ；7月J 4円4即點之間 十口 I請專利範圍第6項之半導體記憶裝置，复中 則述内部電源電路（100 )，包含： /、中， 電壓比較部（45 0 )，侬昭脸似處>、+、β， 電壓（VREFS )和前过肉夺對應則述^位準的參考 ..^ )矛則述内部電源電壓（VDDS )比較的考 果，在第—内部節點（N9)產 及t的結 内部電源電流供應部（46 0'生，m 線（90 )和内部電 _ H 部電溽配 电原配線（1 28 )之間，依照前述第呢

   C:\2D-OODE\91-04\9013l820.ptd 第73頁 536698 六、申請專利範圍 部節點的電壓，將前述内部電源電流供應給前述内部電源 配線， 而前述内部電源電流供應部，無論前述外部電源電壓的 位準如何，皆能以同樣電流供應能力來供應前述内部電源 電流。 1 0.如申請專利範圍第6項之半導體記憶裝置，其中， 前述内部電源電路（1 0 0 )，包含： 電壓比較部（4 5 0 )，依照將對應前述目標位準的參考 電壓（VREFS)和前述内部電源電壓（VDDS)比較的結 果，在第一内部節點（N 9 )產生電壓； 驅動電晶體（4 6 2、4 6 5 )，配置在前述外部電源配線 (9 0 )和内部電源配線（1 2 8 )之間，將應前述第一内部 節點的電流，作為前述内部電源電流供應給前述内部電源 配線；以及 第一動作電流控制部（45 2、4 54 )，依照前述外部電源 電壓的位準，將供應於前述電壓比較部的動作電流量切 換。 11.如申請專利範圍第6項之半導體記憶裝置，其中， 在一般模式時，前述内部電源電壓（V P P )比前述外部 電源電壓（Ext、Vdd)更高， 前述内部電源電路（1 0 0 )，又包含： 第一檢測部（5 2 0 )，在活動時以及待機時皆可動作， 當前述内部電源電壓比前述目標位準更低落時可藉以將其 檢測出；

   C:\2D-C0DE\91-04\90131820.ptd 第74頁 536698 六、申請專利範圍 第二檢硎部（5丨〇 )，在前 雪雷壓t卜此i 4活動日守動作，當前述内部 電源電奚比別述目標位準更低匕内4 第-檢列部（ 50 0 )，除了對前述二 指令實行時之外，回應於前述第内/電路的自仃更新 作，當前述内部電源電壓比前結果而動 檢測出； j逑目私位準更低落時可將其 第一昇壓單元（550 )’回應於前 述内部電源電流；以及 Ρ電源電麼…供應前 第二昇壓單元（57〇)，回應於命 > 心；刖返第一檢測部的檢測 結果而動作，將前述外部電源電壓昇 、J 源電流， 冤&汁壓，供應前述内部電 前述第二昇壓單元，和前述第一昇壓直 位時間内所能供應的内部電源電流__、大 乂八 曰專利範圍第11項之半導體記憶裝置，其中， 前述第一昇壓單元（550)，又具備. 震遠部（555、5 60 )，回岸、於箭、、+、雄· , ,λλ , 應於刖述第二以及第三檢測部 (510 '500 )的檢測結果，產生且古 , τ7、 · i生具有一定頻率的幫浦時脈 (PCLK ); ❿ 幫浦動^部（ 62 0 )，回應前述幫浦時脈，將第一節點 (NbO)的電壓，設定為比前述外部電源電壓（Εχΐ、vd〇 更南， 傳達電晶體（630 )’在前述第—節點和内部電源配線 (138 )之間電氣性結合；以及

   C:\2D-CODE\91-04\90131820.ptd 第75頁

   536698 申請專利範圍 (700 而前述動作測試控制電路，包含： 第一測試進入電路（7 04、706 )，藉以回應於前述特定 組合二將第一測試進入信號（TEb、TEc)活性化；以及 多：ϊίίί效化電路（710、720、730 )，藉以在前述 試進人_ β ί疋特疋作條件時，使得前述第一測 、逆=L就被強制性非活性化， 而前述動作測試電路， 活性化而將前述所定測試=〜第-測試進入信號的 15·如申請專利範圍 前述動作測試控制電弟二員二t體記憶裝置’其中’ 第二測試進入電路（又包含· 組合的前述多數位元的甘）精从回應不同於前述特定 (TEa)活性化'的其他組合，將第二測試進入信號 前述動作測試控制電 信號之一的活性化 Μ ;第一或者第二測試進入 化’而將前述所定夠試啟動。

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