TW201404258A - 鑽孔用輔助板 - Google Patents

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Yousuke Matsuyama
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Abstract

本發明提供比起習知的鑽孔用輔助板，孔位置精度更優異之鑽孔用輔助板。如此的鑽孔用輔助板，係具備金屬支持箔、及在此金屬支持箔之至少單面上形成的由樹脂組成物構成的層，前述樹脂組成物含有樹脂、及相對於此樹脂100質量份為70質量份~130質量份之二硫化鉬，且前述由樹脂組成物構成之層的厚度為0.02~0.3mm之範圍。

Description

鑽孔用輔助板
本發明係關於鑽孔用輔助板。
作為印刷電路板材料使用之疊層板或多層板之鑽孔加工方法，一般係採用重疊1片或多片疊層板或多層板，在其最上部配置作為抵接板的鋁等金屬箔單體或於金屬箔表面形成有樹脂組成物層之板片(以下在本說明書中通常將此板片稱為「鑽孔用輔助板」，也簡單稱為「輔助板」)並進行開孔加工之方法。又，作為疊層板，一般多使用「覆銅疊層板」，但也可使用外層無銅箔的「疊層板」。
近年來，對於係印刷電路板材料的疊層板或多層板要求高密度化的進展、生產性提高及成本減低、及可靠性提高，並尋求孔位置精度提高等高品質的開孔加工。為了因應該等要求，已有人提出使用了聚乙二醇等水溶性樹脂構成之板片的開孔加工法(例如參照專利文獻1)。又，有人提出於金屬箔形成了水溶性樹脂層的開孔用滑劑板片(例如參照專利文獻2)。再者，有人提出在已形成熱硬化性樹脂薄膜之鋁箔形成水溶性樹脂層而得之開孔用輔助板(例如參照專利文獻3)。
又，也有人提出為由潤滑層/複合材料層/支持材構成之3層結構之輔助材料且係於複合材料層摻合奈米結構粉而得之輔助材料(例如參照專利文獻4、專利文獻5)，且作為奈米結構粉也有人提及二硫化鉬。
【先前技術文獻】
【專利文獻】
【專利文獻1】日本特開平4-92494號公報
【專利文獻2】日本特開平5-169400號公報
【專利文獻3】日本特開2003-136485號公報
【專利文獻4】日本特開2007-281404號公報
【專利文獻5】日本實用新案註冊第3134128號公報
但是相較於半導體技術之進展，印刷電路板技術的進展較慢，與半導體技術不一致。因而，對於印刷電路板之高密度化與可靠性提高的要求日益提高。例如：量產最小鑽頭徑從0.2mmφ經過0.18mmφ、0.15mmφ逐步往0.105mmφ進行。又，與雷射開孔技術相抗衡，有極少數人嘗試0.08mmφ、0.075mmφ、0.05mmφ的鑽孔。再者，為了全球化的競爭及納入新興國的需求，對該生產性提高及成本減低的要求係永無止境。所以，熱切需求開發能因應該等要求的新的鑽孔用輔助板。
但是專利文獻1~3提出的技術，尚未能充分因應上述需求。又，專利文獻4及5提案的技術中，奈米結構粉對於潤滑性及鑽頭之耐摩損性等是如何作用尚不明瞭，奈米結構材是如何涉及孔位置精度也不明瞭。所以，熱切需求開發孔位置精度優異之鑽孔用輔助板。如此之鑽孔用輔助板可期待有助於高密度化、高可靠性、生產性提高、成本減低。
本發明之目的在於有鑑於如此的現狀，提供比起習知鑽孔用輔助板，孔位置精度更優異之鑽孔用輔助板。
本案發明人等為了解決上述課題而進行了各種探討，結果發現：對於鑽孔用輔助板使用之樹脂組成物摻合作為固體潤滑劑之二硫化鉬，並將其摻合量最佳化於特定範圍。藉此，鑽頭容易進入輔助板，鑽頭之向芯性提高，藉此孔位置精度提高。再者，發現：藉由二硫化鉬之固體潤滑作用，輔助板之潤滑性提高，切屑之排出變得順利。藉此，可防止切屑凝集(成塊體)並掉落，可防止在開孔(切削)時成為凝集狀的切屑被夾入鑽頭前端與形成之孔之底部之間所致之鑽頭折損的問題。
本說明書中，「向芯性」代表切削時之切削方向之直進性。例如：鑽頭在相接於鑽孔用輔助板具備之由樹脂組成物構成之層(以下稱為「樹脂組成物層」)之點，旋轉中的鑽頭前端的刀刃邊滑動邊往樹脂組成物層表面鑽入。此時，僅是簡單地提高潤滑性的輔助板，鑽頭前端的刀刃容易橫向滑動，所以會損及向芯性，使孔位置精度惡化。又，本說明書中，「向芯力」係指使鑽頭之向芯性提高的外部應力。向芯力，例如：鑽頭旋轉時對於旋轉中心作用的應力。
本發明係基於前述知識見解而生，其要旨如下。
(1)一種鑽孔用輔助板，其係具備：金屬支持箔、及在此金屬支持箔之至少單面上形成之由樹脂組成物構成的層；該樹脂組成物含有：樹脂、及相對於此樹脂100質量份為70質量份~130質量份之作為固體潤滑劑之二硫化鉬，該由樹脂組成物構成之層之厚度為0.02~0.3mm之範圍。
(2)如(1)之鑽孔用輔助板，其中，該二硫化鉬之平均粒徑為1~20μm。
(3)如(1)或(2)之鑽孔用輔助板，其中，該二硫化鉬之純度為85質量%以上。
(4)如申(1)至(3)項中任一項之鑽孔用輔助板，其中，該樹脂組成物含有水溶性樹脂(A)。
(5)如(4)之鑽孔用輔助板，其中，該水溶性樹脂(A)含有選自於由聚環氧乙烷、聚環氧丙烷、聚丙烯酸鈉、聚丙烯醯胺、聚乙烯基吡咯烷酮、纖維素衍生物、聚四亞甲基二醇及聚伸烷基二醇(polyalkylene glycol)之聚酯、 聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧乙烯之單醚類、聚氧乙烯單硬脂酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐單硬脂酸酯、聚甘油單硬脂酸酯類、及聚氧乙烯丙烯共聚物構成的群組中之1種或2種以上之水溶性樹脂。
(6)如(1)至(5)中任一項之鑽孔用輔助板，其中，該樹脂組成物含有熱塑性之非水溶性樹脂。
(7)如(6)之鑽孔用輔助板，其中，該熱塑性之非水溶性樹脂包含選自於由醯胺系彈性體、丁二烯系彈性體、酯系彈性體、烯烴系彈性體、胺甲酸酯系彈性體、苯乙烯系彈性體、聚丁烯、低密度聚乙烯、氯化聚乙烯、二茂金屬(metallocene)系聚烯烴樹脂、乙烯‧丙烯酸酯‧馬來酸酐共聚物、乙烯‧(甲基)丙烯酸環氧丙酯共聚物、乙烯‧乙酸乙烯酯共聚合樹脂、改性乙烯‧乙酸乙烯酯共聚合樹脂、乙烯‧(甲基)丙烯酸共聚合樹脂、離子聚合物樹脂、及乙烯‧(甲基)丙烯酸酯共聚合樹脂構成的群組中之1種或2種以上之非水溶性樹脂。
(8)如(1)至(7)中任一項之鑽孔用輔助板，其中，該樹脂組成物含有不是固體潤滑劑的非水溶性潤滑劑。
(9)如(8)之鑽孔用輔助板，其中，該不是固體潤滑劑之非水溶性潤滑劑，包含選自於由醯胺系化合物、脂肪酸系化合物、脂肪酸酯系化合物、脂肪族烴系化合物、及高級脂肪族醇構成的群組中之1種或2種以上之化合物。
(10)如(1)至(9)中任一項之鑽孔用輔助板，其中，該金屬支持箔之厚度為0.05~0.5mm之範圍。
(11)如(1)至(10)中任一項之鑽孔用輔助板，其中，在該金屬支持箔與該由樹脂組成物構成之層之間，更具備係樹脂皮膜之底塗層，該底塗層之厚度為0.002~0.02mm之範圍。
(12)如(11)之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層含有含二硫化鉬之固體潤滑劑。
(13)如(12)之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層中，相對於構成底塗層之組成物100質量份，含有1質量份~50質量份之該二硫化鉬。
(14)如(11)至(13)中任一項之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層包含之該樹脂，含有選自於由環氧系樹脂及氰酸酯系樹脂構成之群組中之1種或2種 以上之熱硬化性樹脂。
(15)如(11)至(13)中任一項之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層包含之該樹脂，含有選自於由胺甲酸酯系聚合物、乙酸乙烯酯系聚合物、氯乙烯系聚合物、聚酯系聚合物、及丙烯酸系聚合物及此等之共聚物構成的群組中之1種或2種以上之熱塑性樹脂。
(16)如(11)至(13)中任一項之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層包含之該樹脂，含有選自於由三聚氰胺樹脂、尿素樹脂、苯酚樹脂、氯丁二烯橡膠、腈橡膠、苯乙烯丁二烯橡膠、及矽酮橡膠構成之群組中之1種或2種以上之黏著性樹脂。
(17)如(1)至(16)中任一項之鑽孔用輔助板，其中，該由樹脂組成物構成之層，係在該金屬支持箔之該至少單面上以塗覆法形成者，且該由樹脂組成物構成之層，係將該樹脂組成物溶解或分散於水與沸點比水低之溶劑的混合溶劑而得獲得液體，並將該塗佈在該金屬支持箔之該至少單面上而得者，該沸點比水低的溶劑包含選自於由醇、甲乙酮、丙酮、四氫呋喃、及乙腈構成的群組中之1種或2種以上之溶劑。
(18)如(17)之鑽孔用輔助板，其中，該混合溶劑所含之該水與該沸點比水低之溶劑的摻合比，以質量基準計，係90/10~50/50之範圍。
(19)如(1)至(18)中任一項之鑽孔用輔助板，其係使用於利用直徑0.2mmφ以下之鑽頭進行之開孔加工。
(20)如(1)至(19)中任一項之鑽孔用輔助板，其係使用於疊層板或多層板之鑽孔加工。
依本發明，能提供比起習知之鑽孔用輔助板，孔位置精度更優異之鑽孔用輔助板。
A‧‧‧鑽頭
B‧‧‧水溶性樹脂(A)之結晶
C‧‧‧金屬支持箔
D‧‧‧向芯力
E‧‧‧二硫化鉬
圖1顯示二硫化鉬之一例之掃描型電子顯微鏡照片。
圖2顯示鉬酸鋅之一例之掃描型電子顯微鏡照片。
圖3顯示三氧化鉬之一例之掃描型電子顯微鏡照片。
圖4顯示固體潤滑劑之粒度分布之一例之粒度分布曲線。
圖5顯示比較實施例及比較例之孔位置精度之圖。
圖6顯示比較實施例及比較例之孔位置精度之圖。
圖7顯示將孔位置精度對累積開孔數作圖而得之圖。
圖8顯示說明鑽頭之向芯力之圖。
圖9顯示說明鑽頭之向芯力之圖。
以下視需要參照圖式針對用以實施本發明之形態(以下簡稱稱為「本實施形態」)詳細說明。又，圖式中相同要素標註相同符號，並省略重複的說明。又，上下左右等位置關係，若無特別指明，係依據圖式所示之位置關係。再者，圖式尺寸比例不限於圖示之比例。又，本說明書中，「(甲基)丙烯酸基」係指「丙烯酸基」及其對應的「甲基丙烯酸基」，「(甲基)丙烯酸酯」係指「丙烯酯」及其對應的「甲基丙烯酸酯」。
本實施形態之鑽孔用輔助板(以下也簡單稱為「輔助板」)，係指具備：金屬支持箔、及在此金屬支持箔之至少單面上形成之由樹脂組成物構成的層(以下稱為「樹脂組成物層」)之鑽孔用輔助板。本實施形態之鑽孔用輔助板中，該樹脂組成物含有：樹脂、及相對於此樹脂100質量份為70質量份~130質量份之作為固體潤滑劑之二硫化鉬，且該由樹脂組成物構成之層之厚度為0.02~0.3mm之範圍。
本實施形態中，固體潤滑劑係為了保護鑽頭與印刷電路板材料之孔壁表面在相對運動中受損，並減少磨擦或磨損，以薄膜或粉末的形式使用的固體。固體潤滑劑宜為熔點300℃以上者較佳，藉此，即使在比鑽孔時之輔助板之使用溫度更高的溫度(例如200℃)的空氣中，仍在熱方面更安定，不易熔融，能維持固體狀態。又，鑽孔時輔助板之使用溫度，取決於鑽頭徑、鑽頭轉速(rpm)、加工對象物而異，但宜為100℃以上未達200℃。例如：通常大小的0.9mmφ的鑽頭可為120℃。
又，本實施形態之樹脂組成物，宜為含水溶性樹脂(A)之組成物較佳。在此，水溶性樹脂(A)，係包含除了水溶性樹脂以外，也包含非為固體潤滑劑之水溶性潤滑劑的概念。又，本說明書中，「非為固體潤滑劑之」的潤滑劑，係包含液體潤滑劑及半固體潤滑劑之概念。
當然本實施形態之樹脂組成物也可含公知之熱塑性之非水溶性樹脂、非為固體潤滑劑之非水溶性潤滑劑，作為其他添加劑，也可含有例如：核劑、著色劑、熱安定化劑等。在此，「非水溶性」，係指於室溫對水之溶解度為10mg/dm3以下。亦即，本說明書中，「水溶性」，係指於室溫對水之溶解度超過10mg/dm3。
本實施形態之樹脂組成物所含之樹脂，可列舉水溶性樹脂(A)、熱塑性之非水溶性樹脂、及非為固體潤滑劑之非水溶性潤滑劑。樹脂組成物含有的樹脂，除了輔助板中的樹脂原本的作用以外，也具有作為固體潤滑劑朝鑽頭與印刷電路板材料移動之載體的作用。亦即，當利用鑽頭開孔時，樹脂會將固體潤滑劑朝鑽頭或印刷配線材料推壓而使朝向此等移動。
本實施形態之樹脂組成物，宜含有二硫化鉬，其含量相對於樹脂組成物所含之樹脂100質量份為70質量份~130質量份，更佳為含量為80質量份~110質量份，含量為80質量份~100質量份又更佳。藉由使二硫化鉬之含有比例為70質量份以上，能更有效且確實地達成本發明之目的。藉由使二硫化鉬之含有比例為130質量份以下，能更有效且確實地抑制二硫化鉬的凝集，結果能成為孔位置精度十分良好者。又，藉由使二硫化鉬之含有比例為130質量份以下，能更輕易製作二硫化鉬之凝集受抑制之輔助板，而且從經濟合理性之觀點亦為較理想。又，於鑽孔用輔助板之領域，至今為止尚無將比石墨昂貴的二硫化鉬以如本發明般摻合多量的構想。雖有將鉬酸鋅或三氧化鉬相對於樹脂組成物所含之樹脂100質量份摻合至多達40質量份之例，但因為昂貴。故以往係以少量摻合為前提來探尋作用效果。
針對二硫化鉬(MoS2)有如下特徵。亦即，二硫化鉬係摩式硬度1~1.5，柔軟性次於滑石的礦物。二硫化鉬即使加熱也不熔融，會在大氣中從350℃開始緩慢氧化而成為三氧化鉬(MoO3)。若進一步將二硫化鉬升溫，會熱分解。二硫化鉬的特性為：相較係慣用固體潤滑劑的石墨，磨擦係數μ小，尤其，於100℃以上未達200℃的溫度區域，不易受濕度影響，所以磨擦係數μ穩定。另一方面，石墨，不一定如此，在上述溫度領域的磨擦係數μ上升。
本實施形態中，本案發明人等發現：當摻合於鑽孔用輔助板之固體潤滑劑係使用二硫化鉬的情形，有展現特殊的孔位置精度提高的臨界含有比例之範圍。亦即可知：若在樹脂組成物中以特定比例含有二硫化鉬，相較於至今為止被認為對於提高孔位置精度方面為良好之固體潤滑劑的鉬酸鋅、三氧化鉬等，能展現分外高的孔位置精度提高的作用效果。
二硫化鉬，尤其在100℃以上未達200℃的鑽孔溫度具有0.2以下的磨擦係數μ較佳。磨擦係數μ之測定方法係依JIS K7125(1999)。藉由設定磨擦係數μ為0.2以下，能夠更有效且確實發揮作為固體潤滑劑之原本的性能。再者，二硫化鉬之純度較佳為85質量%以上，更佳為90質量%以上，又更佳為95質量%以上。又，二硫化鉬之純度之上限不特別限定，可為100質量%也可為99質量%。藉由使二硫化鉬之純度為85質量%以上，能使雜質量少，故能更有效地發揮作為固體潤滑劑的性能。二硫化鉬之純度係依差數法測定。亦即，將二硫化鉬含有的氧化鉬、鐵、不溶性殘分、碳、水、油分作為雜質，以全體質量減去此雜質之質量而得之數值作為二硫化鉬之質量，並定二硫化鉬之質量相對於全體質量之比例作為其純度。又，作為其他二硫化鉬之純度測定方法，可列舉ICP(感應偶合電漿(Inductively Coupled Plasma))質量分析法等。
固體潤滑劑所為之作用的機轉可認為係如下所示。惟，作用之機轉不限定於此。亦即，鑽孔時利用鑽頭與開孔對象物(例如：疊層板或多層板等印刷電路板材料)間的磨擦熱使鑽頭被加熱。藉此，鑽頭周圍之樹脂組成物成為比含於其中之樹脂之熔點更高的溫度，所以樹脂熔融並發揮提供潤滑性 之作用。惟，其副作用為樹脂組成物所含之樹脂熔融或熱變形而使得鑽頭容易橫向打滑。
圖8、9顯示鑽孔時鑽頭鑽入輔助板的狀態的示意圖，樹脂係使用以符號B表示之成為結晶之水溶性樹脂(A)，圖8顯示樹脂組成物不含固體潤滑劑的情形，圖9顯示樹脂組成物含有作為固體潤滑劑之二氧化鉬的情形。水溶性樹脂(A)含B之樹脂組成物係不含固體潤滑劑之如圖8所示之情形，鑽頭A的前端會鑽入樹脂組成物層，並邊橫向打滑邊找尋鑽入點。鑽頭A周圍的樹脂組成物成為柔軟狀態，故作用於鑽頭A的向芯力D減弱，鑽頭A的橫向打滑不易停止。所以，孔位置精度之提高有其極限。而，本案發明人等發現：摻合二硫化鉬作為固體潤滑劑並將其摻合量予以最佳化。
首先，為固體潤滑劑之二硫化鉬有適當的硬度。而且，即使於鑽孔時之溫度，仍維持形狀固定的固體狀態，且其位置也容易固定。其結果，水溶性樹脂(A)含B之樹脂組成物含有作為固體潤滑劑之二氧化鉬E之如圖9所示之情形，鑽頭A的前端鑽入樹脂組成物層時，會鑽入形狀或位置已固定的固體潤滑劑E。如此一來，向芯力D增強，尤其可發揮初始及累積3,000擊(hit)的孔位置精度優異的作用效果。
第二，係固體潤滑劑之二硫化鉬E即使於鑽孔時之溫度仍維持形狀已固定之固體之狀態，所以能夠抑制樹脂組成物之熱變形與鑽頭A之橫向打滑。如此一來，鑽頭A能獲得充分的向芯力D，孔位置精度提高。其結果，即使於鑽頭A的磨損已進展的累積6,000擊，仍可發揮孔位置精度優良的顯著作用效果。
第三，二硫化鉬E係附著於鑽頭A的溝，所以利用其固體潤滑作用而提高潤滑性。其結果，切屑順利排出，可防止切屑成塊掉落，可防止鑽頭A跨越停留於塊狀之切屑而可能引起的鑽頭折損。
第四，於鑽頭A之表面或溝、及開孔對象物之孔壁有係固體潤滑劑之二 硫化鉬E附著。固體潤滑劑二硫化鉬E，為固體因此形狀固定，所以可一直存在於開孔對象物與鑽頭A之間，而發揮提高潤滑性、抑制鑽頭磨損的作用效果。
係固體潤滑劑之二硫化鉬，也可含於可在金屬支持箔與樹脂組成物層之間具備之樹脂皮膜(於後詳述。以下也稱為「底塗層」)內。底塗層係直接接觸金屬支持箔(例如：鋁箔)，所以底塗層含有二硫化鉬，即便緊鄰金屬支持箔也能發揮二硫化鉬所獲致之孔位置精度提高之效果。尤其，二硫化鉬係以粒子彼此接觸地(細密填充)而含於底塗層，所以能更提高孔位置精度之提高效果。二硫化鉬，相對於構成底塗層之組成物100質量份宜含有1質量份~50質量份較佳，含有5質量份~30質量份更佳。藉由使二硫化鉬之含有比例為1質量份以上，能更有效且確實地發揮二硫化鉬所獲之作用效果。藉由使二硫化鉬之含有比例為50質量份以下，能夠維持薄厚的底塗層與金屬支持箔間之黏著性為更高。構成含二硫化鉬之底塗層之樹脂，為熱硬化性樹脂及熱塑性樹脂均可，又，也可為黏著性樹脂。
二硫化鉬，宜因應開孔對象物例如：疊層板或多層板等印刷電路板材料之規格而在特定之範圍內選擇最適粒徑及含有比例更佳。二硫化鉬係有層狀結構且形狀固定、有適當硬度的固體。樹脂組成物所含之二硫化鉬，宜為粒徑0.1μm~50μm之範圍者，粒徑0.5μm~29μm之範圍者更佳。二硫化鉬之平均粒徑宜為1μm~20μm，更佳為1μm~15μm，又更佳為1μm~10μm，尤佳為3μm~8μm。二硫化鉬，由於其特性，在孔位置精度為重要的小徑鑽頭中，鑽頭特別容易鑽入。又，二硫化鉬係層狀結構且有薄片形狀，所以鑽頭旋轉時容易捲入其溝，也有助於切屑排出。二硫化鉬之平均粒徑藉由定為1μm以上，形狀已固定之固體潤滑劑其位置更容易固定，所以能更有效且確實地發揮作為固體潤滑劑的功能。另一方面，二硫化鉬之平均粒徑為20μm以下的情形，孔位置精度更優良，且同時，切屑排出能更順利進行。
二硫化鉬之粒徑，平均粒徑值比起最大粒徑值更重要。原因在於，就樹脂組成物中相對於樹脂100質量份以70質量份~130質量份之高比例含有 的二硫化鉬全體而言的粒徑，對於鑽孔用輔助板之特性即孔位置精度及潤滑性發揮更大的影響力。因此，相較於管理二硫化鉬之最大粒徑，管理平均粒徑對於提升鑽孔用輔助板之性能係更重要。二硫化鉬等固體潤滑劑之粒度測定法，首先係將試樣分散於由0.2%六偏磷酸溶液與數滴10% Triton構成的溶液，並使用雷射繞射式粒度分布測定裝置(型號：SALD-2100、公司島津製作所(股)製)，分別測定經投影之固體潤滑劑之粒子的最大長度。其次，從測定結果製作粒度分布曲線。將此曲線顯示之最大粒徑至最小粒徑之範圍作為固體潤滑劑之粒徑之範圍，又，將粒度分布曲線中之固體潤滑劑之以體積基準計之含有比例中最大的粒徑作為平均粒徑。
二硫化鉬係非膨潤性。所以，不須如膨潤性之固體潤滑劑一般嚴加管理保濕程度，於工業上有利。在此，針對非膨潤性之定義，係將於水90質量份摻合了10質量份固體潤滑劑而得的水溶液容納於燒杯或燒瓶等於高度方向有一定內徑且有平坦內底面的容器，攪拌至充分混合。之後，靜置1小時後測量固體潤滑劑之沈降高度，當沈降高度比(固體潤滑劑之沈降物頂面距內底面之高度相對於水溶液之液面距容器內底面之高度的之比例)小於50%的情形，則定義為非膨潤。又，沈降高度比為90%以上的情形，定義為分散或膨潤。沈降高度比為50%以上未達90%的情形定義為膨潤。本實施形態之二硫化鉬，液面距內底面之高度為68mm、二硫化鉬之沉降物頂面距內底面之高度為28mm、沈降高度比為41.2%，且有明確分離為2層之例。
如此的特性，當樹脂組成物所含之樹脂為水溶性樹脂(A)且製作輔助板時係製造含有水溶性樹脂(A)與二硫化鉬之溶液(分散液)的情形，有以下的好處。首先，二硫化鉬容易均勻分散於液中，不易凝集。其結果，獲得之輔助板中，二硫化鉬能在整個板中良好地分散。又，開孔加工後，於二硫化鉬殘留於孔內的情形，容易洗滌。惟，製造水溶性樹脂(A)的溶液的情形，宜充分攪拌以不發生二硫化鉬之濃度梯度較佳。
水溶性樹脂(A)不特別限定。水溶性樹脂(A)，如上述，係包含水溶性樹脂、及非固體潤滑劑之水溶性潤滑劑之概念。水溶性樹脂，例如：含有選自 於由聚環氧乙烷、聚環氧丙烷、聚丙烯酸鈉、聚丙烯醯胺、聚乙烯基吡咯烷酮、纖維素衍生物、聚四亞甲基二醇及聚伸烷基二醇(polyalkylene glycol)之聚酯構成的群組中之1種或2種以上較佳。聚伸烷基二醇之聚酯，係將聚伸烷基二醇與二元酸反應而獲得之縮合物。聚伸烷基二醇，例如以聚乙二醇、聚丙二醇、聚四亞甲基二醇或該等之共聚物例示之二醇類。二元酸，例如：鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對苯二甲酸、癸二酸及苯均四酸等多元羧酸之部分酯、及酸酐。此等可以單獨使用1種或組合使用2種以上。
又，非為固體潤滑劑之水溶性潤滑劑，例如以聚乙二醇、聚丙二醇；聚氧乙烯油醚、聚氧乙烯鯨蠟醚、聚氧乙烯硬脂醚、聚氧乙烯月桂醚、聚氧乙烯壬基苯醚、聚氧乙烯辛基苯醚等例示之聚氧乙烯之單元醚類；聚氧乙烯單硬脂酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐單硬脂酸酯；六甘油單硬脂酸酯、十六甘油單硬脂酸酯等例示之聚甘油單硬脂酸酯類；聚氧乙烯丙烯共聚物。此等可以單獨使用1種或組合使用2種以上。
熱塑性之非水溶性樹脂不特別限定，可使用公知物質。熱塑性之非水溶性樹脂，例如：醯胺系彈性體、丁二烯系彈性體、酯系彈性體、烯烴系彈性體、胺甲酸酯系彈性體、苯乙烯系彈性體、聚丁烯、低密度聚乙烯、氯化聚乙烯、二茂金屬(metallocene)系聚烯烴樹脂、乙烯‧丙烯酸酯‧馬來酸酐共聚物、乙烯‧(甲基)丙烯酸環氧丙酯共聚物、乙烯‧乙酸乙烯酯共聚合樹脂、改性乙烯‧乙酸乙烯酯共聚合樹脂、乙烯‧(甲基)丙烯酸共聚合樹脂、離子聚合物樹脂、及乙烯‧(甲基)丙烯酸酯共聚合樹脂。此等可以單獨使用也可組合使用2種以上。
非為固體潤滑劑之非水溶性潤滑劑不特別限定，可使用公知的物質。非為固體潤滑劑之非水溶性潤滑劑，例如：乙烯雙硬脂醯胺、油醯胺、硬脂醯胺、亞甲基雙硬脂醯胺等所例示之醯胺系化合物、月桂酸、硬脂酸、棕櫚酸、油酸等例示之脂肪酸系化合物、硬脂酸丁酯、油酸丁酯、月桂酸二醇酯等例示之脂肪酸酯系化合物、流動石蠟、聚乙烯蠟等例示之脂肪族烴系化合物、油醇等例示之高級脂肪族醇。此等可以單獨使用1種或組合使用 2種以上。
樹脂組成物層之厚度，取決於鑽孔加工時使用之鑽頭徑、或加工之開孔對象物(例如：疊層板或多層板等印刷電路板材料)之構成等而異。樹脂組成物層之厚度宜為0.02~0.3mm之範圍較理想，0.02~0.2mm之範圍更佳。藉由使樹脂組成物層之厚度為0.02mm以上，能獲得更充分的潤滑效果，可減輕對於鑽頭的負荷，更能抑制鑽頭折損。另一方面，藉由使樹脂組成物層之厚度為0.3mm以下，能抑制樹脂組成物捲附於鑽頭。
又，形成樹脂組成物層之方法，例如：在金屬支持箔之至少單面上直接或間接塗佈適當熔解有樹脂組成物之溶解液、或溶解或分散樹脂組成物於溶劑而得之液體(以下簡單稱為「樹脂組成物溶液」。)後，將塗液乾燥、或冷卻、或固化，而形成樹脂組成物之方法(塗覆法)。或也可採用預先製好樹脂組成物之板片並與金屬支持箔貼合之方法(熱熔法)。此時，若於金屬支持箔之形成樹脂組成物層之單面上預先形成樹脂皮膜(底塗層)，能使得金屬支持箔與樹脂組成物層疊層一體化，故較理想。詳情將於後述。
再者，當採用利用塗覆法等將樹脂組成物溶液直接或間接地塗佈於金屬支持箔之至少單面上後使乾燥、冷卻、或固化之方法的情形，使用之溶劑宜為含有水與沸點較水低之溶劑的混合溶劑較佳。使用含有水與沸點較水低之溶劑的混合溶劑能生成緻密的球晶，有助於減少樹脂組成物中之殘留氣泡。沸點較水低之溶劑不特別限定，例如：乙醇、甲醇或異丙醇等醇類，也可使用甲乙酮或丙酮等低沸點溶劑。作為其他溶劑。例如：水及醇類中混入一部分與樹脂組成物之互溶性高的四氫呋喃或乙腈而得的溶劑。水、與沸點較水低之溶劑的摻合比(水/沸點低之溶劑)，以質量基準計，宜為90/10~50/50之範圍較理想，80/20~50/50之範圍更佳，70/30~50/50之範圍更佳，60/40~50/50之範圍又更佳。沸點較水低之溶劑之摻合比藉由為10以上，當使用水溶性樹脂(A)的情形，更容易生成緻密的球晶。藉由使沸點較水低之溶劑之摻合比為50以下，在工業上可更安定的生產輔助板。
又，當採用以塗覆法或熱熔法等而直接或間接地在金屬支持箔之至少單面上塗佈樹脂組成物溶液後使加熱乾燥、或冷卻固化之方法的情形，加熱乾燥時之鑽孔用輔助板之溫度宜為120℃~160℃較理想，冷卻固化為常溫較理想，加熱乾燥後以5~30秒冷卻至常溫(例如：10~30℃)較佳。藉由使加熱溫度為160℃以下，能以工業化更安定的生產輔助板。又，藉由使冷卻溫度為常溫，能抑制於後步驟發生結露。
本實施形態之鑽孔用輔助板使用之金屬支持箔不特別限定，宜為與樹脂組成物層間的密合性高、能耐受由於鑽頭帶來的衝撃的金屬材料。金屬支持箔之厚度較佳為0.05~0.5mm，更佳為0.05~0.3mm。藉由使該金屬支持箔之厚度為0.05mm以上，能抑制鑽孔加工時在開孔對象物(例如：疊層板)出現毛邊(burr)。又，藉由使金屬支持箔之厚度為0.5mm以下，更容易排出鑽孔加工時產生之切屑。金屬支持箔之金屬，從取得性、成本、加工性之觀點，宜為鋁較佳。又，從同樣之觀點，鋁箔之材質宜為純度95%以上之鋁較佳。如此的鋁箔，例如：JIS-H4160規定的5052、3004、3003、1N30、1N99、1050、1070、1085、8021。金屬支持箔藉由使用鋁純度95%以上之鋁箔，能緩和鑽頭所致之衝撃、及提高與鑽頭前端部的鑽入性，與利用樹脂組成物所獲致之鑽頭之潤滑效果相輔相成，能更進一步提高加工孔的孔位置精度。
又，從與樹脂組成物層之密合性之觀點，宜使用預先在表面上形成有樹脂皮膜(底塗層)之金屬支持箔較佳。從密合性、成本、開孔特性之觀點，底塗層之厚度宜為0.002~0.02mm較佳，0.002~0.01mm更佳。該底塗層含有作為固體潤滑劑之二硫化鉬的情形，底塗層之厚度可因應二硫化鉬之粒徑適當選擇。針對該底塗層所含之樹脂，宜為能提高與樹脂組成物層間之密合性者，可為熱塑性樹脂及熱硬化性樹脂中之任一者或可為黏著性樹脂。熱塑性樹脂，例如：胺甲酸酯系聚合物、乙酸乙烯酯系聚合物、氯乙烯系聚合物、聚酯系聚合物、丙烯酸系聚合物及此等的共聚物。熱硬化性樹脂，例如：環氧系樹脂、氰酸酯系樹脂。作為黏著劑之功能的黏著性樹脂，除了上述樹脂以外，例如：三聚氰胺樹脂、尿素樹脂、苯酚樹脂等合成樹脂、氯 丁二烯橡膠、腈橡膠、苯乙烯丁二烯橡膠及矽酮橡膠等合成橡膠。底塗層所含之樹脂，可以單獨使用1種或組合使用2種以上。
構成鑽孔用輔助板之各層之厚度，係依下述方式測定。亦即，使用剖面拋光機(JEOL DATUM(股)公司製、商品名「CROSS-SECTION POLISHER SM-09010」)、或超微切割刀(Leica公司製、商品名「EM UC7」)從鑽孔用輔助板之樹脂組成物層側之表面將鑽孔用輔助板沿各層之疊層方向切斷。之後，使用SEM(掃描型電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)、KEYENCE公司製、品項「VE-7800」)，從垂直於切斷而露出之剖面的方向觀察其剖面，並測定金屬支持箔及樹脂組成物層、及視需要之底塗層之厚度。就1個視野測定5處之厚度，並以其平均值作為各層之厚度。
本實施形態之鑽孔用輔助板若使用於疊層板或多層板之鑽孔加工，能更有效且確實地發揮本發明之目的，故較理想。又，該鑽孔加工，若為直徑(鑽頭徑)0.2mmφ以下之鑽孔加工，較佳為直徑0.05mmφ以上0.2mmφ以下之鑽孔加工，能更有效且確實地發揮本發明之目的。尤其，於孔位置精度為重要之直徑0.05mmφ以上0.15mmφ以下之小徑之鑽頭用途，其中，又以0.05mmφ以上0.105mmφ以下之極小徑之鑽頭用途，能顯著減少鑽頭折損，為較理想。又，0.05mmφ之鑽頭徑係能取得之鑽頭徑之下限，若能獲得更小徑之鑽頭，則不限於上述。又，在使用直徑超過0.2mmφ之鑽頭之鑽孔加工，採用本實施形態之輔助板亦無問題。
本實施形態之鑽孔用輔助板例如使用於印刷電路板材料，更具體而言，使用於將疊層板或多層板鑽孔加工時。具體而言，在重疊1片或多片疊層板或多層板者(印刷電路板材料)的至少最頂面，配置鑽孔用輔助板使得金屬支持箔側成為接觸於印刷電路板材料，並從此輔助板之頂面(樹脂組成物層之面)實施鑽孔加工。
本實施形態之鑽孔用輔助板，由於開孔加工時之優良孔位置精度與樹 脂組成物層之優良潤滑性，能減少開孔加工時之鑽頭之折損。其結果，能進行更高密度的設計，能實施高品質且生產性優異的開孔加工。或可增加一次能開孔加工的重疊片數，有助於生產性提高及成本下降。
以上已針對本發明之實施形態說明，但是本發明不限於上述實施形態。本發明在不脫離其要旨之範圍可施加各種改變。
【實施例1】
以下比較本發明之實施例之效果與落於本發明之範圍外之比較例並說明。惟，本發明不限定於該等實施例。又，有時簡稱「聚乙二醇」為「PEG」、簡稱「聚環氧乙烷」為「PEO」。
<實施例1>
將重量平均分子量150,000之聚環氧乙烷(明成化學工業(股)公司製、商品名：ALTOP MG-150)30質量份、與重量平均分子量20,000之聚乙二醇(三洋化成工業(股)公司製、商品名：PEG20000)70質量份溶於水/MeOH(甲醇)混合溶液，使樹脂固體成分成為30質量%。此時之水與MeOH之比例，以質量比計，為60/40。再者，於此水溶性樹脂組成物之溶液中，將作為固體潤滑劑之二硫化鉬(DAIZO(股)公司製、粒徑之範圍：0.5μm~29μm、平均粒徑：5μm、二硫化鉬純度：98%、磨擦係數μ：0.4)以相對於水溶性樹脂組成物所含之樹脂100質量份為80質量份進行摻合並使充分分散。將如此獲得之樹脂組成物溶液使用桿塗機塗佈於單面已形成厚度0.01mm之環氧樹脂皮膜的鋁箔(使用鋁箔：1100、厚度0.1mm、三菱鋁(股)公司製)的樹脂皮膜面側，使得乾燥後之樹脂組成物層之厚度成為0.05mm，以乾燥機於120℃進行5分鐘乾燥後，冷卻至常溫，以製成鑽孔用輔助板。又，本實施例使用之二硫化鉬之一部分掃描型電子顯微鏡照片(倍率：10000倍)，如圖1所示。
<實施例2>
依實施例1，以表1所示各材料之種類及含有比例製備樹脂組成物溶液，並製作乾燥後之樹脂組成物層之厚度為0.05mm的鑽孔用輔助板。
<比較例1~22>
依實施例1，以表1所示各材料之種類及含有比例製備樹脂組成物溶液，並製作乾燥後之樹脂組成物層之厚度為0.05mm之鑽孔用輔助板。
<評價方法>
針對實施例及比較例製作之鑽孔用輔助板之各樣本實施以下評價。
(1)孔位置精度
在已堆疊的覆銅疊層板上配置鑽孔用輔助板成以其樹脂組成物層朝上，進行鑽孔加工。針對1根鑽頭進行6,000擊的開孔加工，重複實4根鑽頭。就鑽頭1根的分量，針對1~1,500擊、1~3,000擊、1~4,500擊、1~6,000擊的孔，使用孔洞分析儀(型號：HA-1AM、HITACHI VIA MECHANICS(股)公司製)測定在已堆疊的覆銅疊層板的最下板的背面(底面)的孔位置與指定座標間的偏離。針對此偏離計算平均值及標準偏差(σ)，並計算「平均值+3σ」。之後，作為鑽孔加工全體之孔位置精度，針對已使用之4根鑽頭，計算對各「平均值+3σ」之值的平均值並表示記載。使用之算式如下。1~3,000擊、1~6,000擊的結果如表1。
(在此，n代表使用的鑽頭的的根數。)
孔位置精度，係參考鑽頭磨損較未進行之累積開孔數3,000擊之孔位置精度、及鑽頭磨損較有進行之累積開孔數6,000擊之孔位置精度，以表1所示之判定基準判定。累積開孔數3,000擊及6,000擊時之判定之較低者作為綜合判定。此時，「◎」代表孔位置精度為非常優異、「○」代表孔位置精度良好、「△」代表孔位置精度有些差、「×」代表孔位置精度差。
(2)固體潤滑劑之粒度
固體潤滑劑之粒度依下列方式測定。首先將固體潤滑劑之試樣分散於 由0.2%六偏鄰酸溶液與數滴10%Triton構成的溶液，並使用雷射繞射式粒度分布測定裝置(型號：SALD-2100、公司島津製作所(股)製)，測定已投影之固體潤滑劑之粒子分別的最大長度。其次從測定結果製作粒度分布曲線。將此曲線顯示之最大粒徑至最小粒徑之範圍作為固體潤滑劑之粒徑之範圍，並將粒度分布曲線中固體潤滑劑以質量基準計之含有比例為最高之粒徑作為平均粒徑。圖4顯示二硫化鉬、鉬酸鋅及三氧化鉬之粒度分布曲線。平均粒徑係從小而大依序為鉬酸鋅、二硫化鉬、三氧化鉬。
【表1】
表1所示之實施例之中，針對獲得最良好結果之實施例1與比較例1、11、16，於1~1,500擊、1~3,000擊、1~4,500擊、1~6,000擊之孔的孔位置精度(平均值(Ave.)+3σ之平均值)之結果如表2。又，此等實施例及比較例之結果，就孔位置精度對於累積開孔數作圖如圖7。再者，全部實施例及比較例之孔位置精度對固體潤滑劑之摻合量作圖並比較的結果如圖5(累積開孔數3000擊的情形)及圖6(累積開孔數6000擊的情形)所示。圖中，「□」代表未摻合固體潤滑劑之比較例、「●」代表實施例1、2、「○」代表使用了固體潤滑劑2之比較例、「△」代表使用了固體潤滑劑3之比較例、「×」代表使用了固體潤滑劑4之比較例之描點。
水溶性樹脂(A)之組成(1)，係聚環氧乙烷(明成化學工業(股)公司製、商品名：ALTOP MG-150、Mw：150,000)30質量份、聚乙二醇(三洋化成工業(股)公司製、商品名：PEG20000、Mw：20,000)70質量份，合計100質量份。
固體潤滑劑之種類(2)，係二硫化鉬(DAIZO製(股)公司、商品名：M-5粉、粒徑之範圍：0.5~29μm、平均粒徑：5μm、二硫化鉬純度：98%、層狀結構)。
固體潤滑劑之種類(3)，係鉬酸鋅(日本無機化學工業(股)公司製、粒徑之範圍：0.4μm~13μm、平均粒徑：3μm、層狀結構。鉬酸鋅之部分掃描型電子顯微鏡照片(倍率：10000倍)如圖2)。
固體潤滑劑之種類(3)，係三氧化鉬(日本無機化學工業(股)公司製、粒徑之範圍：0.7μm~55μm、平均粒徑：16μm、柱狀結構。三氧化鉬之部分掃描型電子顯微鏡照片(倍率：10000倍)如圖3)。
又，未使用固體潤滑劑者，設為種類(5)。
固體潤滑劑之含有比例，相對於樹脂組成物所含之樹脂100質量份，為0質量份、5質量份、10質量份、20質量份、40質量份、60質量份、80質量份、90質量份、100質量份、200質量份中之任一者。
開孔加工條件(1)，係使用鑽頭(Tungaloy(股)公司製C-CFU020S、鑽頭徑：0.2mmφ)，設定轉速：200,000rpm、遞送速度：13μm/rev.、上昇速度：25.4m/min，開孔對象物係使用疊合5片覆銅疊層板(三菱瓦斯化學(股)公司製、商品名：CCL-HL832、厚度：0.2mm、銅箔厚度：12μm)者。
如表1之結果，本案發明人等發現：藉由相對於樹脂組成物所含之樹脂100質量份，摻合70質量份至130質量份之作為固體潤滑劑之二硫化鉬的多量，能達成特別好的孔位置精度的臨界範圍。以往，雖已有人努力將孔位置精度往1μm提高，但是如此之達成特別好的孔位置精度的本發明之結果，並非該技術領域中具有通常知識者所能預測的。又，如表2之結果，可知：二硫化鉬在任一累積開孔數都可達成特別好的孔位置精度。
從表1之結果可知：實施例1~2之樣本比起比較例1~22的樣本，在鑽頭磨損未進行的階段及磨損已進行的段階均顯示孔位置精度優異。亦即，可知：藉由將二硫化鉬之摻合量最佳化，本發明之二硫化鉬比起以往使用的固體潤滑劑即鉬酸鋅或三氧化鉬，孔位置精度更顯著優異。
又，本申請案基於2012年3月27日向日本特許廳提申的日本專利申請案 (日本特願2012-071081號)主張優先權，其內容納入於此作為參考。
【產業利用性】
依照本發明，能提供比起習知之鑽孔用輔助板的孔位置精度更優異、鑽頭折損更減低的鑽孔用輔助板。

Claims (20)

  1. 一種鑽孔用輔助板，其係具備：金屬支持箔、及在此金屬支持箔之至少單面上形成之由樹脂組成物構成的層；該樹脂組成物含有：樹脂、及相對於此樹脂100質量份為70質量份~130質量份之作為固體潤滑劑之二硫化鉬，該由樹脂組成物構成之層之厚度為0.02~0.3mm之範圍。
  2. 如申請專利範圍第1項之鑽孔用輔助板，其中，該二硫化鉬之平均粒徑為1~20μm。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之鑽孔用輔助板，其中，該二硫化鉬之純度為85質量%以上。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之鑽孔用輔助板，其中，該樹脂組成物含有水溶性樹脂(A)。
  5. 如申請專利範圍第4項之鑽孔用輔助板，其中，該水溶性樹脂(A)含有選自於由聚環氧乙烷、聚環氧丙烷、聚丙烯酸鈉、聚丙烯醯胺、聚乙烯基吡咯烷酮、纖維素衍生物、聚四亞甲基二醇及聚伸烷基二醇(polyalkylene glycol)之聚酯、聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧乙烯之單醚類、聚氧乙烯單硬脂酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐單硬脂酸酯、聚甘油單硬脂酸酯類、及聚氧乙烯丙烯共聚物構成的群組中之1種或2種以上之水溶性樹脂。
  6. 如申請專利範圍第1或2項之鑽孔用輔助板，其中，該樹脂組成物含有熱塑性之非水溶性樹脂。
  7. 如申請專利範圍第6項之鑽孔用輔助板，其中，該熱塑性之非水溶性樹脂包含選自於由醯胺系彈性體、丁二烯系彈性體、酯系彈性體、烯烴系彈性體、胺甲酸酯系彈性體、苯乙烯系彈性體、聚丁烯、低密度聚乙烯、氯化聚乙烯、二茂金屬(metallocene)系聚烯烴樹脂、乙烯‧丙烯酸酯‧馬來酸酐共聚物、乙烯‧(甲基)丙烯酸環氧丙酯共聚物、乙烯‧乙酸乙烯酯共聚合樹脂、改性乙烯‧乙酸乙烯酯共聚合樹脂、乙烯‧(甲基)丙烯酸共聚合樹脂、離子聚合物樹脂、及乙烯‧(甲基)丙烯酸酯共聚合樹脂構成的群組中之1種或2種以上之非水溶性樹脂。
  8. 如申請專利範圍第1或2項之鑽孔用輔助板，其中，該樹脂組成物含有 不是固體潤滑劑的非水溶性潤滑劑。
  9. 如申請專利範圍第8項之鑽孔用輔助板，其中，該不是固體潤滑劑之非水溶性潤滑劑，包含選自於由醯胺系化合物、脂肪酸系化合物、脂肪酸酯系化合物、脂肪族烴系化合物、及高級脂肪族醇構成的群組中之1種或2種以上之化合物。
  10. 如申請專利範圍第1或2項之鑽孔用輔助板，其中，該金屬支持箔之厚度為0.05~0.5mm之範圍。
  11. 如申請專利範圍第1或2項之鑽孔用輔助板，其中，在該金屬支持箔與該由樹脂組成物構成之層之間，更具備係樹脂皮膜之底塗層，該底塗層之厚度為0.002~0.02mm之範圍。
  12. 如申請專利範圍第11項之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層含有含二硫化鉬之固體潤滑劑。
  13. 如申請專利範圍第12項之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層中，相對於構成底塗層之組成物100質量份，含有1質量份~50質量份之該二硫化鉬。
  14. 如申請專利範圍第11項之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層包含之該樹脂，含有選自於由環氧系樹脂及氰酸酯系樹脂構成之群組中之1種或2種以上之熱硬化性樹脂。
  15. 如申請專利範圍第11項之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層包含之該樹脂，含有選自於由胺甲酸酯系聚合物、乙酸乙烯酯系聚合物、氯乙烯系聚合物、聚酯系聚合物、及丙烯酸系聚合物及此等之共聚物構成的群組中之1種或2種以上之熱塑性樹脂。
  16. 如申請專利範圍第11項之鑽孔用輔助板，其中，該底塗層包含之該樹脂，含有選自於由三聚氰胺樹脂、尿素樹脂、苯酚樹脂、氯丁二烯橡膠、腈橡膠、苯乙烯丁二烯橡膠、及矽酮橡膠構成之群組中之1種或2種以上之黏著性樹脂。
  17. 如申請專利範圍第1或2項之鑽孔用輔助板，其中，該由樹脂組成物構成之層，係在該金屬支持箔之該至少單面上以塗覆法形成者，且該由樹脂組成物構成之層，係將該樹脂組成物溶解或分散於水與沸點比水低之溶劑的混合溶劑而得獲得液體，並將該塗佈在該金屬支持箔之該 至少單面上而得者，該沸點比水低的溶劑包含選自於由醇、甲乙酮、丙酮、四氫呋喃、及乙腈構成的群組中之1種或2種以上之溶劑。
  18. 如申請專利範圍第17項之鑽孔用輔助板，其中，該混合溶劑所含之該水與該沸點比水低之溶劑的摻合比，以質量基準計，係90/10~50/50之範圍。
  19. 如申請專利範圍第1或2項之鑽孔用輔助板，其係使用於利用直徑0.2mmφ以下之鑽頭進行之開孔加工。
  20. 如申請專利範圍第1或2項之鑽孔用輔助板，其係使用於疊層板或多層板之鑽孔加工。
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