TW201223760A - Formed body, production method thereof, electronic device member and electronic device - Google Patents

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201223760 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一 而組成之電子裝置用 子裝置。 種成形體、其製造方法、由該成形體 %件以及包括該電子裝置用元件之電 【先前技術】 向來，塑膠薄腺笙+ ^ 、4之向分子成形體係低價格且加工性 良好’因此，賦予要求夕 之機月b而使用在各種領域。 例如為了在食品或醫筚〇夕勹驻田③时 W樂。口之包裝用溥膜，抑制蛋白質 或油脂等之氧化或變質而 I負而保持味道或鮮度，因此，使用防 止水蒸氣或氧之透過之裔^ <礼體障敝性之塑膠薄膜。 此外，在近年爽， 馬了在液晶顯示器或電激發光（EL) 顯示器等之顯示器，實現薄型化 '輕量化、可撓曲化等， 因此’檢討作為具有電極之基板係使用透明塑膠薄膜來 取代玻璃板。但是，翅聰^_ J膠溥膜係比起玻璃板，還更加容易 透過水蒸氣或氧等，有所β ’所明谷易引起顯示器内部之元件惡 化之問題發生。 為了解決該問題，因此太奎 口此在專利文獻1，提議：在透 明塑膠薄膜來層積由今麗g 1 曰檟田i屬氧化物之所組成之透明氣體障蔽 層之可撓曲顯示器基板。 但疋，该文獻記載之可撓曲顯示器基板係在透明塑膠 /專膜之表面’ ϋ由⑨鑛法、離子植人法m等而層積 由金屬氧化物之所組成之透明氣體障蔽層’因此，在該基

V 201223760 板變圓或脊曲時，有所謂太# ^ t q π Μ在軋體障蔽層來發生破裂而降低 氣體障蔽性之問題發生。 此外，在專利文獻 揭示：在薄膜之至少一邊之面， &成聚@ U膜’在該聚碎氨院膜，施行電I處理，製造 氣體障蔽性薄膜之方法。但是，在該方法，如果氣體障蔽 層之厚度無成為微米位級的$，則有所謂無法出現充分之 氣體障蔽性能之問題發生。例如記載：在氣體障蔽層之厚 度成為之時’水蒸氣透過率係G 5Gg/mVday。 【先前技術文獻】 【專利文獻】 【專利文獻1】日本特開200〇_ 3389〇1號公報 【專利文獻2】日本特開2〇〇7— 237588號公報 【發明内容】 【發明所欲解決之課題】 本發明係有鑒於前述先前技術而完成的，以提供一種 氣體障蔽性及透明性呈良好之成形體、其製造方法、由該 成形體而組成之電子裝置用元件以及包括該電子裝置用元 件之電子裝置，來作為課題。 【用以解決課題之手段】 本發明人們係為了解決前述課題，因此，全心地進行 祆纣，結果發現··成為基材層、含有含羥基聚合物之底塗 ^層和氣體障蔽層來按照該順序而層積來組成的成形體且 前述氣體障蔽層至少由包含氧原子和梦原子之材料而構成 4 201223760 而其表層部之氧原子、氨 ^ . , ^ 氣原子和矽原子之存在比例以及膜 抬度成為特疋值的成形體传 體係蔽性及透明性呈良好。 此外，發現可以藉由在基材層 今+讲 $成含有含羥基聚合物 之底塗佈層，並且，在苴 „ t ^ /、上面形成包含聚矽氨烷化合物之 層來作為氣體障蔽層之德， s 層之後在包含該聚石夕氨烧化合物之 曰入離+而簡便且效率良好地製造氣體障蔽性及透 明性呈良好之成形體，以致於完成本發明。 像這樣，如果藉由本發明之第1種的話’則提供下列 之U)〜（8)之成形體。 •一種成形體’係基材層、含有含羥基聚合物之 - '布層矛氣體障蔽層來按照該順序而層積來組成的成形 體’前述氣體障蔽層係至少由包含氧原子和矽原子之材料 而構成’其表層部之氧原子相對於氧原子、氮原子和石夕原 子之整體存在ϊ之存在比例係6〇〜75%，氮原子之存在比 例係0〜1〇% ’石夕原子之存在比例係25〜35% ，並且，該 表層部之膜密度係2.4〜4 〇g/cm3。 (2) .如（1)所述之成形體係前述氣體障蔽層在 包含聚矽氨烷化合物之層來注入離子而得到。 (3) :如（1)或（2)所述之成形體係前述含羥基聚 &物，包含羥基之重複單位相對於全重複單位而含有1 〇爪〇丄 %以上。 (4):如（2)或（3)所述之成形體係前述離子，由 氫'氮、氧、氬、氦、氖、氙和氪而組成之群組來選出之 至少一種氣體而進行離子化。 5 201223760 (5) :如（2)至（4)中任一項所述之成形體係前述 氣體障蔽層，在包含聚矽氨烷化合物之層’藉由電浆離子 注入而注入離子來得到之層。 (6) :如（2)至（5)中任一項所述之成形體係前述 聚石夕氨烧化合物為全氫化聚梦氨烧。 (7 ):如（1 )至（6 )中任一項所述之成形體係在 4 0 C、相對濕度9 0 %之氣氛下之水蒸氣透過率為未滿 0. 1 0 g / m2 / d a y。 (8) :如（1)至（7)中任一項所述之成形體係根據 JISK7361— 1之全光線透過率為90%以上。 如果藉由本發明之第2種的話，則提供下列之（9 )〜（i） 之成形體之製造方法。 (9) :如（2)所述之成形體之製造方法，係具有： 在含有含羥基聚合物之底塗佈層來形成於表面之基材之前 述底塗佈層之上，形成包含聚矽氨烷化合物之層之製程； 以及在包含前述聚矽氨烷化合物之層之表面部，注入離子 之製程。 (1 0 ):如（9 )所述之成形體之製造方法，係具有： 在3有3羥基聚合物之底塗佈層來形成於表面之基材之前 述底塗佈層之上，形成包含聚矽氨烷化合物之層之製程； 以及在包含該聚矽氨烷化合物之層之表面部，對於由氫、 氮氧、氬、氦、氖、氙和氪而組成之群組來選出之至少 種氣體，進行離子注入之製程。 (11 ):如（9)所述之成形體之製造方法，係具有： 6 201223760 在含有含經基聚合物之底塗佈層來形成於表面《基材之前 述底塗佈層之上，形成包含聚石夕氨烧化合才勿之層之製程； 以及在包含該聚矽氨烷化合物之層之表面部，#由電渡離 子注入法’來對於由氫、氮、氧、氬'氦、氖、氣和氣而 組成之群組來選出之至少一種氣體，進行離子注入之製程。 如果藉由本發明之第3種的話，則提供下列之（12) 之電子裝置用元件。 (12) . —種電子裝置用元件係由前述（㈠至（8) 中任一項所述之成形體而組成。 如果藉由本發明之第4種的話，則提供下列之（13) 之電子裝置。 (13) : —種電子裝置係包括前述（12)所述之電子 裝置用元件。 【發明效果】 本發明之成形體係具有良好之氣體障蔽性能，透明性 呈良好。於是’本發明之成形體係可以適合使用成為太陽 能電池、觸控面板、電子紙、顯示器等之電子裝置用元件。 如果藉由本發明之製造方法的話，則可以安全且簡便 地製造具有良好之氣體障蔽性之本發明之成形體。此外， 比起無機膜之成膜’還能夠以低成本且容易地達到大面積 化。 本發明之電子裝置用元件係具有良好之氣體障蔽性和 透明性，因此’可以適合使用在觸控面板、電子紙、有機 •無機EL之可撓性顯示器、太陽能電池等之電子裝置等。 201223760 【實施方式】 在以下，本發明係分成為丨）成形體、2)成形體之製造 方法以及3)電子裝置用元件及電子裝置之項目而詳細地進 行說明。 1)成形體 本發明之成形體，係基材層、含有含羥基聚合物之底 塗佈層和氣體障蔽層來按照該順序而層積來組成的成形 體，其特徵在於：前述氣體障蔽層係至少由包含氧原子和 石夕原子之材料而構成’其表層部之氧原子相對於氧原子、 氮原子和矽原子之整體存在量之存在比例係〜㈣，氮 原子之存在比例係。〜10% ’石夕原子之存在比例係25〜35 % ，並且，該表層部之膜密度係2.4〜4.〇g/cm3。 (基材層） 本發明之成形體係具有基材層。作為該基材層之素材 係如果是⑭纽化合物以外而符合成形體之目的的話， 則並無特別限制。列舉例如聚醯亞胺、聚醯胺、聚醯胺醯 亞胺、聚笨撐基醚、聚醚酮、聚醚醚酮、聚烯烴、聚酵、 聚碳酸酯H聚醚礙、聚苯撐基m 其 丙稀系樹脂、環稀烴系聚合物、芳香族系聚合物二 即使是在這些當中，也由於透明性 性，因此，最好是聚酯、聚醯胺、聚碾、 基硫醚、聚芳基化物或環烯烴系聚合物， 或環烯烴系聚合物。 良好且具有通用 聚醚砜、聚笨揮 更加理想是聚酯 201223760 作為聚酯係列舉聚乙稀對 甲酸酯、聚乙烯萘二甲酸醋、 作為聚醯胺係列舉全芳香 耐綸共聚物等。 笨二甲酸酯、聚丁烯對笨二 聚芳基化物等。 族5^醯胺、财論6、耐論6 6、 作為環烯烴系聚合物係列與 + '歹I舉原波院系聚合物、單環 環狀烯烴系聚合物、環狀共 一 视—卸系聚合物、乙烯脂環式 烴聚合物、以及這些之氫化物。 作為其具體例係列舉a P e 1 (三井化學公司製之乙稀—環稀烴共聚物）、A_⑽ 公司製之職院系聚合物）、Z_R(日本議公司製之 原菠烷系聚合物）等。 限定’可以配合成形體 500 # m，最好是1〜ι〇〇 作為基材層之厚度係並無特別 之目的而決定’但是，通常為〇. 5〜 β m。 (含有含羥基聚合物之底塗佈層） “本發明之成形體係在前述基材層和後面敎述之氣體障 蔽層之間，具有含有含羥基聚合物之底塗佈層（在以下， 僅稱為「底塗佈層」。）。 可以藉由形成此種底塗佈層，而正如後面之敛述，提 高基材層和氣體障蔽層之密合性，並且，纟包含聚石夕氨烷 化合物之層來注入離子而形成氣體障蔽層之狀態下，可以 防止離子通過包含聚矽氨烷化合物之層而離子注入至基材 層來著色基材層。 前述底塗佈層係最好是以重量比，來包含3〇%以上之 合羥基聚合物，更加理想是包含5〇%以上。 201223760 作為含羥基聚合物係 曰，丨斗— 俯如果疋含有羥基之聚合物的話， 、j並無特別限制，但是， b ° 最好疋相對於整體之重複單位 含有l〇mol%以上之具右甘、 报早位而 、.s 土之重複單位，更加理想是 有50mol%以上。如果 ^ 3 基之§有量為該範圍的話， 以提高基材層和氣體障蔽層之層間密合性。 、 作為含經基聚合物之具體例係列舉聚 醇縮丁醛、聚乙烯基缩醛广咕 乙烯 埽土細酪' 乙烯一乙烯醇共聚物等之聚 稀醇系聚合物；丙稀多元醇、聚醋多元醇、聚喊多元醇等 之夕疋醇系聚合物；聚（2_經基乙基甲基丙烯酸自旨）等之 含羥基丙烯系聚合物：纖維素等之纖維素系聚合物等。 即使疋在這些當中，也由更加有效地防止成形體之透 明性之降低之觀料來看的話，則最好是聚乙料系聚合 物更加理想疋聚乙烯醇。此外，聚乙烯醇係可以是呈部 分地鹼化聚乙酸乙烯之鹼化物，也可以完全地進行鹼化， 聚乙稀醇之鹼化度係最好是8〇%以上。 此外’聚乙烯醇縮丁醛或聚乙烯基縮醛係聚乙烯醇進 仃縮酸化或縮酮化，最好是進行反應而使得羥基殘留前述 範圍之量。 含經基聚合物之數平均分子量係最好是2〇〇〜 1，〇〇〇, 00 0，更加理想是300〜800, 000，甚至最好是1, 〇〇〇 〜20, 000。 含有含羥基聚合物之底塗佈層係可以藉由例如含羥基 聚合物溶解或分散於適當之溶劑來組成之底塗佈層形成用 溶液，塗佈於基材層上，乾燥得到之塗膜，由於要求，來 10 201223760 進行加熱，而形成底塗佈屏。 曰 作為底塗佈層形成用溶液係 可以仍然直接地使用市面 , 敗賈〇〇 (例如曰本合成化學工業 公司製、gohsenol GL〜〇3等）。 作為底塗佈層形成用溶 · 收不塗佈於基材層之方法係可 以使用通常之濕式塗佈方 万法。列舉例如浸潰法、壓輥塗佈、 照相凹版印刷塗佈、到刀给蚀 . 塗佈、二氧刀塗佈、壓輥刮刀塗 佈、模塗佈、網版印刷法 J ^噴射塗佈、照相凹版印刷偏位 法等。 作為乾餘底塗佈声丑3 士、r〇 ^ _ S /成用浴液之塗膜之方法係可以採 用熱風乾無、教壓黯兹極 ,. 輥乾燥、紅外線照射等之向來習知 燥方法。 lOOOnm，最好是1〇 底塗佈層之厚度係通常為1 1OOnm 。 (氣體障蔽層） 本發明之成形體係在形成於前述基材層上之底塗佈/ 上’還具有氣體障蔽層。 該氣體障蔽層係以下列之⑷〜（c)，來作為特徵 ()至v由包含氧原子和矽原子之材料而構成。 文（b)表層部之氧原子相對於氧原子、氮原子和矽原j 之查體存在量之存在比例係60〜75%，最好是6〇〜72% 更,理想是63〜70%，氮原子之存在比例係〇〜⑽：最 好是〇.1〜8% ’更加理想是〇1〜6%，石夕原子之存在比例 二 ，最好是27〜35% ，更加理想是29〜32% 。 (C)表層部之膜密度係2.4〜4.0g/cm3。 11 201223760 前述氣體障蔽層之所謂表層部係指在氣體障蔽層之表 面以及由該表面開始沿㈣度方向而直到-為止之區 域。此外’所謂氣體障蔽層之表面係也是包含和其他層之 境界面之狀態之意義而相反於前述底塗佈層之相反面。 表層部之氧原子、氮原子和石夕原子之存在比例係在實 施例’藉由§兒明之方法而進行測定。 膜密度係可以使用X射線反射率法（XRR)而算出。 X射線係在對於基板上之薄膜以非常淺之角度來進行 反射時，進行全反射。在入射之X射線之角度成為全反射 臨界角以上之時，X射線係侵入至薄膜内部而在薄膜表面 或界面，分成為透過波和反射波，干涉反射波。可以藉由 解析全反射臨界角而求出膜密度。此外，可以改變入射角 度，同時，進行測定，由隨著光路差之變化而造成之反射 波之干涉訊號之解析，也求出薄膜之膜厚。 膜密度係可以藉由以下之方法而進行測定。 一般而言’知道物質相對於X射線之折射率n以及折 射率η之實部部分之5係滿足以下之公式1及公式2。 π = 1 一 5 — i β • ••公式1 3= 一 ^〇<°Σ χι +Σ χ>^> \ ) i i • ••公式2 在此，rc係表示電子之古典半徑（2. 818x10-%) ，N〇 係表示阿伏伽德羅（Avogadro)數，λ係表示X射線之波 長’/〇係表示密度（旦/(：1113)，2;、^^、乂1係分別表示第土 12 201223760 個原子之原子編號、原子量及原子數比（莫爾數比）， 係表示第i個原子之原子散亂因子（異常分數項）。此外， 全反射臨界角度0 c係在忽視關係到吸收之石之時，藉由 公式3而賦予。 Θο = 726 • ••公式3 因此’可以由公式2及公式3之關係，藉由公式4而 求出密度ρ。 %2ΣχιΜι p =—— j__ —VoE^/^/+//) \ π J i • ••公式4 在此，Θ c係可以藉由x射線反射率而求出之值，rc、 Νο、λ係常數，Zi、Mi、fi，係分別在構成原子，成為固有 值。此外，關於Xi :原子數比（莫爾數比），使用由xps 剛定而得到之結果。 氣體障蔽層之表層部之膜密度係在實施例，藉由說明 之方法而進行測定，使用公式4而得到。 在本發明’氣體障蔽層之厚度係並無特別限制，但是， 通常為20nm至100/zm，最好是3〇〜5〇〇nm，更加理想是 4〇〜2〇〇nm。 在本發明，氣體障蔽層係即使是奈米位級，也可以得 到具有充分之氣體障蔽性能之成形體。 此外，本發明之氣體障蔽層係可以在包含聚矽氨烷化 13 201223760 合物之層（在以下’稱為「聚矽氨烷層」。）來注入離子 而得到之層（在以下，稱為「離子注入層」。）。 前述離子注入層係最好是滿足前述（a)〜（C)之要 件。 使用於本發明之聚石夕氨燒化合物係在/分子内而具有包 含一Si —N—鍵之重複單位之高分子。具體地說，列舉具有 藉由化學式（1 )

Rx Rz \ II、 —N—I— (1)

Ry / n 所表示之重複單位之化合物。 在化學式（1 )中，n係表示任意之自然數。

Rx ' Ry、Rz係分別獨立地表示氫原子、無取代或具有 取代基之院基、無取代或具有取代基之環烷基、無取代或 具有取代基之鏈烯基、無取代或具有取代基之芳基、或者 疋烧基甲矽烧基等之非水解性基。 作為前述無取代或具有取代基之烷基之烷基係列舉例 如甲基、乙基、n—丙基、異丙基、n — 丁基、異丁基、sec —丁基、t — 丁基、n —戊基' 異戊基、新戊基、n_己基、 η —庚基、辛基等之碳數1〜1〇之烷基。 作為無取代或具有取代基之環烷基之環烷基係列舉環 丁基、環戊基、環己基、環庚基等之碳數3〜10之環烷基。 作為無取代或具有取代基之鏈烯基之鏈烯基係列舉例 14 201223760 如乙稀基、卜㈣基、2_丙烯基、卜丁烯基、2— 丁錦 基、3—丁烯基等之碳數2〜1〇之鏈烯基。 料前述㈣、我基及鏈稀基之取代基係列舉敗原 子？原子、溴原子、碘原子等之鹵素原羥基；硫代 基；環氧基；環氧丙氧基；（甲基）丙稀醯氧基；笨基、4 -甲基苯基'4-氯代苯基等之無取代或具有取代基之芳美 等。 土 作為無取代或具有取代基之芳基之芳基係列舉例如笨 基1奈基、2 —秦基等之碳數6〜1〇之芳基。 作為前述芳基之取代基係列舉氣原子、氣原子、演原 子、碘原子等之函素原子；甲基、乙基等之碳數 、二 1〜6之烷氧基；硝基；氰基； 基；甲氧基、乙氧基等之碳數 羥基；硫代基；環氧基；環氧丙氧基；（甲基）丙烯醯氧 基；苯基、4 一甲基苯基、4 —氯代苯基等之無取代或具有 取代基之芳基等。 作為烷基曱矽烷基係列舉三甲基甲矽烷美、= 土 二乙*基甲 石夕炫基、二異丙基曱石夕烧基、三t — 丁基甲石夕院基、七 基二曱基曱矽烷基、甲基二乙基甲矽烷基、二曱基甲矽浐 基、二乙基甲矽烷基、曱基甲矽烷基、乙基甲矽烷基等。& 即使是在這些當中’作為RX、Ry、係也最好是氣原 子、碳數1〜6之烷基或苯基，特別最好是氫原子。 作為具有藉由前述化學式（1)所表示之重複單位之聚 矽氨院化合物係可以是Rx、Ry、RZ全部為氫原子之無機聚 矽氨烷、Rx、Ry、RZ之至少一個並非為氫原子之有機聚矽 15 201223760 氨炫·之任何—種。 列舉將具有下列之 Z為：機聚矽氨燒係

—-li Η „ 7 + 保表示任意之自然數。）所表示之重複 早位之直鏈狀構造 、工旦& 丁以包括且具有690〜2000之分子里而 在一分子中I右q ! _ /、 10個之Sifh基之全氫化聚矽氨烷（曰 25戒公報）、具有化學式（a)

本特公昭63-161% %、 [在化學式中，b 俜 ，上 饰表不任意之自然數，Y!係表示氫原 子或化學式（Β )

(Β) (在化學式中’d杨矣 d係表不任意之自然數，木係表示鍵位置， 矿、示氫原子或前述（B) 矣 v 所表不之基。）所表示之基。] 所表不之重複單位且| ^ ^ ^ ^ /、啕1鏈狀構造和支鏈構造之全氫化 16 201223760 聚矽氨烷、以及具有化學式（c)

所表示全氳化聚石夕氨炫樣造八义 K / 在为子内具有直鏈狀構造、 支鏈構造和環狀構造之全氫化聚矽氨烷等。 作為有機聚矽氨烷係列舉（i)以_ (Rx，siHNH)— (Rx’係表示無取代或具有取代基之烷基'無取代或具有 取代基之環烷基、無取代或具有取代基之鏈烯基、無取代 或具有取代基之芳基、或者是烷基甲矽烷基。以下之Rx， 也相同。）來作為重複單位而主要具有聚合度為3〜5之環 狀構造者、（ϋ )以_ (Rx，SiHNRz， ）_ ( Rz，係表示 無取代或具有取代基之烷基、無取代或具有取代基之環烷 基、無取代或具有取代基之鏈烯基、無取代或具有取代基 之芳基、或者是烷基甲矽烷基。）來作為重複單位而主要 具有聚合度為3〜5之環狀構造者、（iii)以一 (Rx’ Ry’ SiNH) — (Ry，係表示無取代或具有取代基之 烧基、無取代或具有取代基之環烷基、無取代或具有取代 基之鏈烯基、無取代或具有取代基之芳基、或者是烷基甲 石夕院基。）來作為重複單位而主要具有聚合度為3〜5之環 狀構造者、（iv)在分子内具有藉由下列之化學式而表示 t構造之聚有機（氫化）矽氨烷 17

I 201223760

任意之自然數，r係表示氮原子或化…e) (E) =學式中，g係表示任意之自然數，"表示鍵位置， :表不氫原子或前述⑴所表示之基。）所表示之基。 斤表不之重複單位構造之聚矽氨烷等。 前述聚石夕氨院係可以藉由向來習知之方法而進行製 造。例如可以藉由在以下列之化學式（2)所表示之無㈣ 或具有取代基之鹵化石夕烧化合物和二級胺之反應生成物， 反應氨或一級胺而得到。 18 (2) 201223760 R 4_mSiXm :在化學式⑺巾，m係表示2或3，χ係表示_素原子， R】係表示前述 Rx、Ry、Rz、Rx， 、Rv， N n_. ^ J 之任何 '—種 取代基。） 使用之二級胺、氨及-級胺係可以配合作為目的之聚 矽氨烷化合物之構造而適度地進行選擇。 此外，在本發明，作為聚矽氨烷化合物係也可以使用 聚石夕氨烧變性物。作為聚碎氨烧變性物係列舉例如包含金 屬原子（該金屬原子係可以形成交聯。）之聚金屬矽氨烷、 重複單位藉由[(SiH2) g(NH) h]及[(“Η。i〇](在化學 式中，g、h、i係分別獨立地成為丨、2或3。）所表示之 聚石夕氧院（日本特開昭62_195G24號公報）、在聚石夕氨烧 來反應爛化合物而製造 < 聚棚石夕氨& (曰|特開平2 一 4437號公報）、反應聚矽氨烷和金屬醇鹽而製造之聚金 =氨院（日本特開昭63_81122號公報等）、無機石夕氨 =聚物或改質聚石夕氨境（曰本特開平1-咖。8號公報 在聚錢烧料人有誠分之共㈣氨⑮（日本特 =一 1 75726號公報等）、在聚嫩來加成或添加用 陶是化之觸媒化合物之低溫陶竟化聚矽氨烷（日本 寺開平5- 238827號公報等）、石夕醇 本特開平5— 238 /虱沉C曰 I公報）、縮水甘油加成聚矽氨烷（日 I将開平 氨烷（曰本特門工號公報）、乙醯丙酮錯合物加成聚矽 聚石夕氨燒（日=二3_9號公報^金屬賴鹽加成 特開平6 — 2991 18號公報等）、在前述聚 19 201223760 石夕氨烧或其變性物來添加胺類及/或酸類而組成之聚石夕氨 烧組成物（曰本特開平9 __ Ή 幵间十9 31 333號公報）、在全氫化聚矽 氨烧而甲醇等之醇或六甲基二石夕氨院來加成於末端Ν原子 而得到之變性聚石夕氨烧（日本特開平5_ 345826號公報、 曰本特開平4〜63833號公報）等。 即使疋在每些當中，作為使用於本發明之聚石夕氨院化 合物係也最好部為氯原子之無機聚石夕氨 坑、Rx、Ry、Rz之至少-個並非為氫原子之有機聚石夕氨烧， 由可以形成具有得到容易性及良好之氣體障蔽性之注入層 之觀點來看的話，則更加理想是無機聚梦氨院。 〜㈣之聚石夕氨烧化合物之數平均分子量係並無特別限 疋’但疋’最好是100〜50,〇〇〇。 此外’在本發明’聚石夕氨烧化合物係可以仍然直接地 使用市面販賣之市面販賣品，來作為玻璃塗佈材料等。 聚矽氨烷層係除了聚矽氨烷化合物以外，也可以在不 妨礙本發明目的之範圍’來包含其他成分。作為其他成分

係列舉硬化劑、其他之高分子、老化防止劑 難燃劑等。 ％ t疋齊J 聚石夕氨炫層中之聚石夕氨烧化合物之含有量係由可以形 成具有良好之氣體障蔽性之離子注入層之觀點來看的話， 貝1最好是5〇重量％以上，更加理想是7〇重量％以上j 作為形成聚矽氨烷層之方法係並無特別限制， :!有容氨炫化合物之至少一種、由於要求之其他成分 冷劑等之層形成用溶液，來塗佈於前述底塗佈層之 20 201223760 上，適度地乾燥得到之塗膜而形成之方法。 作為塗佈装置係可以使用旋轉塗佈器、刮刀塗敷器、 照相凹版印刷塗佈器等之習知裝置。 :得到之塗膜之乾燥、成形體之氣體障蔽性之提 升’因此’最好是加熱塗膜。加熱係纟80〜150°C，進行 數十秒鐘至數十分鐘。 此外：聚矽氨烷層係也可以藉由二甲基二矽氨烷、四 甲土夕氨烷、六甲基二矽氨烷等之電漿聚合性矽氨烷化 合物’接觸到塑膠成形體’施行電漿聚合處理，而形成聚 矽氨烷層（日本特開平9_ 143289號公報）。 在本發明，形成之聚矽氨烷層之厚度係並無特別限 制仁疋，通常為20nm至100 " m，最好是3〇〜5〇〇nm，更 加理想是40〜20〇nm。 在本發明，聚矽氨烷層係即使是奈米位級，也可以得 到具有充分之氣體障蔽性能之成形體。 認為在聚矽氨烷層形成於底塗佈層上之時，正如圖丄 (a)所示’在聚;g夕氨烧層go和底塗佈層2〇之境界部，將 聚矽氨烷化合物和含羥基聚合物之所具有之羥基發生反應 而形成之反應生成物之層4〇予以形成。正如圖1(b)所 不，該層40係在聚矽氨烷層3〇來注入離子，在得到圖i (C)所示之形成具有注入離子之區域60之離子注入層（氣 體障蔽層）50a之成形體1()(^之狀態下，將阻止離子通過 聚矽氨烷層30而注入至基材層10表面之功能予以發揮。 也就疋說’認為在聚石夕氨炫層3 0和底塗佈層2 〇之境 21 201223760 界部’聚碎氨烷層30之聚矽氨烷化合物和底塗佈層20中 之含經基聚合物之羥基係發生反應，作為前述反應生成物 之層40係正如LCh等，形成在分子内具有_Si_〇_鍵之 化合物之層。藉由在該形成之分子内具有一Si — 0—鍵之化 合物之層之存在，而在聚矽氨烷層30來注入離子之製程， 阻止離子注入至基材層1〇,並無碳化基材層1〇。於是，可 以防止基材層1 G之著色’結果，無降低成形體之透明性。 應生成物之層40係可以藉由在實施例，使用說明之 方法’測定聚矽氨烷層3。和底塗佈層2〇之境界部之氧原 子、氮原子和％原子之存在比例，*進行確認。 在本發明之成形體，離子 卞，主入層係包含聚矽氨烷化合 物之至少一種之層，如果 在該層中來注入離子的話，則 並無特別限制。 離子之注入量係可以配人 (.Φ 成之成形體之使用目的 (必要之氣體障蔽性、透明性 ,,^ 寺）專而適度地決定。 為注入之離子係列舉轰、 ^ 氣體、惫石山-卜 氮、吼、氪、氤等之稀有 ® 鼠妷、虱、氮、氧、- 子；金、4P Μ ^ 一虱化碳、氯、氟 '硫等之離 金、銀、銅、白金、冑、& 鎢、銘等之金屬離子等。 鈦、翻、鈮、组、 即使是在其中，也可以更 氣和氪而組成之群組 有特別良好之氣體障蔽性和透i A進行注人’得到具 最好是由氫、氮、氧、氩、.之離子注入層’因此， 來選出之至少一種之料。 飞 離子之注入量係可以配合 ^成之成形體之使用目的 22 201223760 必要之氣體障蔽性、透明性等）等而適度地決定。 /生入離子之方法係並無特別限定，列舉例如在形成聚 石夕乳院層之後，在該聚錢燒層來注人離子之方法。 作為注入離子之方法係列舉照射藉由電場而加速之離 :(離子束）之方法'注入電漿中之離子之方法等。即使 θ -中也在本發明，由於簡便地得到氣體障蔽性之成 形體，因此’最好是後者之注入電漿離子之方法。 電聚離子注入係例如可以藉由在包含稀有氣體等之電 聚士成氣體之氣氛下，纟生電敷，在聚發氨院層，施加負 的向電壓脈衝’而使得該電漿中之離子（陽離子），注入 至聚矽氨烷層之表面部來進行。 可以藉由離子之注入，而以離子之種類或施加電壓、 處理時間等之注入條件，來控制注入離子之區域之厚度， 可以配合聚矽氨烷層之厚度'成形體之使用目的等而進行 决疋’但疋’通常為10〜l〇〇〇nm。 注入離子係可以藉由使用X射線光電子分光分析 (XPS)，進行由表面開始至10ηιη附近之元素分析測定， 而進行確認。 (成形體） 在圖2，顯示本發明之成形體1 〇〇b之層構造剖面圖。 在圖2中’ 10係基材層，2〇係底塗佈層，5〇b係氣體障蔽 層。本發明之成形體l〇〇b係含有包含羥基之聚合物之底塗 佈層20 ’形成於基材層1〇和氣體障蔽層50b之間，因此， 成為基材層10和氣體障蔽層50b之密合性呈良好且氣體障 23 201223760 蔽性和透明性也良好之成形體。 本發明之成形體係並非限定在具有圖2所示之層構 並且也可以配置其他層。其他層係可以是一種或同 種或異種之2層以上。作為其他層係列舉無機化合物層、 撞擊吸收層、導電體層等。 無機化合物層係由無機化合物之一種或二種以上而組 成之層。可以藉由設置無機化合物層而還更加地提高氣體 障蔽性。 作為無機化合物係一般可以進行真空成膜，具有氣體 障敝性’列舉例如無機氧化物、無機氮化物、無機碳化物、 無機硫化物 '成為這些之複合體之無機氧化氮化物、無機 一反化物無機氮化碳化物、無機氧化氮化碳化物等。 無機化合物層之厚度係通常為10〜lOOOnrn，最好是2〇 〜500nm，更加理想是20〜lOOnm之範圍。 撞擊吸收層係用以在氣體障蔽層來施加撞擊之時，保 護氣體障蔽層。形成撞擊吸收層之素材係並無特別限定， 但列舉例如丙烯系樹脂、胺基甲酸乙I系樹脂、矽酮 系樹脂、烯烴系樹脂、橡膠系材料等。 此外，作為黏著劑、塗佈劑、密封劑等係也可以使用 市面販貝者，特別最好是丙烯系黏著劑、矽酮系黏著劑、 橡膠系黏著劑等之黏著劑。 作為揸擊吸收層之形成方法係並無特別限制，列舉例 如相同於前述包含聚石夕氨烧化合物之層之形成方法包含 形成前述撞擊吸收層之素材（黏著劑等）卩及由於要求之 24 201223760 溶劑專之其他成分之播般w 才擊吸收層形成用溶液，來塗佈於應 該層積之層上，乾、燥理 、 ”仔到之塗膜，由於要求，來進行加熱 等而形成之方法。 ' 此外，也可以£从丄 另外在剝離基材上，成膜撞擊吸收層， 得到之膜來轉印於庫兮 應' 这層積之層上，進行層積。 撞擊吸收層之厘 又係通㊉為1〜100#m’最好是5〜50 // m。 導電體層係用以在使用本發明之成形體來作為電極等 之狀態或者是賦予帶電防止性能之狀態下，具有導電性。 作為構成導電體層之材料係列舉金屬、合金、金屬氧化物、 電傳導性化合物、這些之混合物等。具體地列舉掺雜録之 氧化錫（ΑΤ0);摻雜氟之氧化錫（FT〇);氧化錫、氧化 鋅氧化銦氧化銦錫（ΙΤ0)、氧化辞銦（IZ0)等之半 導電性金屬氧化物；金、銀、鉻、鎳等之金屬；這些金屬 和導電1±金屬氧化物之混合物；填化銅、硫化銅等之無機 導電性物質；$苯胺、聚嘆吩、聚対等之有機導電性 料等。 作為導電體層之形成方法係並無特別限制。列舉例如 蒸鍍法、濺鍍法、離子植入法、熱CVD法、電漿CVD法等。 導電體層之厚度係可以配合其用途等而適度地選擇。 通常為1 Onm至50//ΙΠ，最好是2〇nm至20//m。 在本發明之成形體包含其他層之狀態下，只要底塗佈 層和氣體障蔽層呈鄰接的話，則其他層之配置位置係並無 特別限定。 ^ 25 201223760 作為本發明之成形體之形狀 狀係被好是薄膜狀或薄片 狀。在本發明之成形體之形狀為 q丹膜狀或4片狀之狀態 下，厚度係可以藉由作為目的之雷 电千裝置之用途而適度地 決定。 本發明之成形體係具有良好之義 〜钆體卩早敝性和透明性。 本發明之成形體具有良好之紊俨 乃< 乳體p早敝性係可以由本發 明之成形體之水蒸氣等之氣體透過率非常小而進行確認。 例如水蒸氣透過率係在4G°C、相對濕度m之氣氛下，最 好是未滿（MOW/細，更加理想是〇 〇5仏2/_以 下。此外’成形體之水蒸氣等之透過率係可以使用習知之 氣體透過率測定裝置而進行測定。 本發明之成㈣具有良好之透明性係可以由本發明之 成办體之全光線透過率或可見光線读沾变嫌> 疋*琛迓過率變兩而進行破 認。 例如根據JISK7361 — 1之令伞m应士/ 光線透過率係最好是90% 以 可見光線透過率係波長55〇nm之透過率，最好是9〇% 以上。成形體之全光線透過率及可見光線透過率係可以使 用習知之測定裝置而進行測定。 2)成形體之製造方法 本發明之成形體之製造方法，其特徵在於：具有：在 含有含羥基聚合物之底塗佈層來形成於表面之基材之前述 底塗佈層之上，形成包含聚矽氨烷化合物之層之製程；以 及在包含前述聚發纽化合物之層之表面部，注入離子之 26 201223760 製程。 :乍=含有含㈣聚合物之底塗佈層來形成於表面之

::土佈層上而形成聚矽氨烷層之方法係並無特 別限制’但疋，备拉B 塗# β之η 疋1+在藉由前述基材層上來形成底 塗佈層之方法而形成底 _ 邵增之後’在得到之底塗佈層 上藉由則迷形成聚矽氨烷声之古.土二 七、+ 虱沉層之方法而形成聚矽氨烷層之 万法。 在本發明之成形體之製造方法，最好是在基材層上’ 形成含有含羥基聚人铷夕 … 土表σ物之底塗佈層，並且，沿著一定方向， 搬送在其上面形成聚石夕_ 夕丑烷層之長尺狀之成形物，同時， 在前述聚錢㈣之表面部，注人離子而製造成形體。 如果藉由該製造方法的話，則例如可以由捲出壓輥， 來捲出長尺狀之成形物，沿著一 &乃问搬运個，同時， 注入離子，藉由捲繞壓輥而進行捲繞，因此，可以連 製造離子注入而得到之成形體。 貝 長尺狀之成形物係如果是聚石夕氨燒層形成在表面部並 且底塗佈層和聚⑦线層呈鄰接的話，則可以包含直他 層。作為其他層係列舉相同於前面敘述者。 成形物之厚度係由捲出、捲繞及搬送之操作性 來看的話，則最好是1/ZIn〜 500 //m， " 心疋5以m〜300 β m。 在聚石夕氨院層來注入離子之方法係並無特別限定。即 使疋在其中，也特別最好是藉由電漿離子 s今* a 士 ， 、次而在則述 曰之表面部來开> 成離子注入層之方法。 27 201223760 電漿離子注入法俜 ^,r^ ^ 糸错由在曝露於電漿中之表面具有聚 石7乳坑層之成形物 負的高電壓脈衝，而使得電漿中 之離子，注入至前述層 .仏屯 g之表面部，形成離子注入層之方法。 作為電漿離子注入 八法係最好是U)使得存在於使用外 琢，之電漿中之離子’注入至前述層之表面部之 :’’者疋⑷丨使用外部電場’使得存在於僅藉由以 施加於前述層之g沾古 、、阿電壓脈衝來造成之電場而產生之電 中之：子’注入至前述層之表面部之方法。 、、在別述（A)之方法’在注入離子時之壓力（電漿離子 庄入時之壓力）係最好I 〇 〇1〜ipa。在電漿離子注入時 ，壓力位處於此種範圍0夺’能夠簡便且效率良好地形成均 勻之離子注人層’彳以效率良好地形成兼具透明性和氣體 障蔽性之離子注入層。 …别述（B)之方法係不需要提高減壓度，處理之操作變 传簡便’也可以大幅度地縮短處理時間。此外，可以涵蓋 前述層之整體而均句地進行處理，可以在施加負的高電壓 脈衝之時’以高能f ’在層之表面部，連續地注入電浆中 之離子。此外，不需要radi〇 frequency (高頻·在以下， 縮寫為「RF」。）或微波等之高頻電力源等之特別之其他 手&，可以藉由在層，僅施加負的高電壓脈衝，而在層之 表面部’均勻地形成良質之離子注入層。 即使是在前述（A )及（B )之任何一種方法，也在施 加負的高電壓脈衝之時、也就是注入離子時之脈衝幅寬係 最好是1〜1 5 // sec。在脈衝幅寬位處於此種範圍時，能夠 28 201223760 更加簡便且效率良好地形成透明且均勻之離子注入層。 此外在產生電漿時之施加電壓係最好是一 1 kV〜一 50kV，更加理想是—lkv〜_3〇kv，特別最好是_5kv〜— 20kV。在以施加電壓大於—lkV之值來進行離子注入之時， 離子注入量（摻雜量）變得不充分，無法得到要求之性能。 另一方面，在以小於— 5〇kV之值來進行離子注入之時於 離子'主入時，成形體係帶電，並且，發生對於成形體之著 色等之意外，變得不理想。 電聚離子注入<離子種係正如冑面之敛述。可以更加 間便地進行離子注入’能夠效率良好地製造具有透明且良 好之氣體障蔽性之成形體，因此，最好是氫、氮、氧、氬、 氦、氖、氙、氪，更加理想是氮、氧、氬、氦。 在聚石夕氨烧層之表面部來注入電漿中之離子之際，使 用電漿離子注入裝置。 作為電襞離子注入裝置係具體地列舉（α )藉由電漿， 而均等地包圍在聚矽氨烷層（在以下，稱&「離子注入之 層」。）施加負的高電壓脈衝之場通來重疊高頻電力而進 仃離子注人之層之周圍，激發•注人•撞擊•堆積電裝中 之離子之裝置（日本特開2〇〇1_ 26887號公報）；（万） 在處理Μ，設置天線，在電漿到達至料高頻電力而產 生電聚來進行離子注人之層之後，藉由在進行離子注 入之層’父互地施加正和負的脈衝，而加熱以正脈衝來激 :·撞擊電漿中之電子而進行離子注入之層，控制脈衝常 ’進行溫度控制，並且，施加負脈衝，激發•注入電漿 29 201223760 中之離子之裝置（日本特開 使用微波等之高頻電力源等 高電壓脈衝，激發•注入電 置；以及（5 )不使用外部 衝之施加來產生之電場而發 注入裝置等。 2001 - 1 5601 3 號公報）；（r ) 之外部電場，產生電漿，施加 漿中之離子之電漿離子注入裝 電場’注入僅藉由以高電壓脈 生之電漿中之離子之電漿離子 即使是在這些當中， 可以大幅度地縮短處理時 好是使用（7 )或（5 ) 也由於處理之操作變得簡便，也 間，適合於連續使用，因此，最 之電漿離子注入裝置。 在以下，就使用前述〇)及之電漿離子注入 、方法而。列舉6己載於國際公開W0201 0/ 021 326號 公報者。 之表面部，注入電漿中之離子 )之電漿離子注入裝置，藉由高 電漿之電漿產生手段，因此，不 在前述（γ)及（5 電壓脈衝電源而兼用產生 需要RF或微波等之高頻電力 僅藉由施加負的高電壓脈衝 源等之特別之其他手段，可以 而產生電漿，在聚矽氨烷層 連續地形成離子注入層， 量產形成離子注入層之成形體。 3)電子裝置用元件及電子裝置 本發明之電子裝置用元件，其特徵在於：由本發明之 成形體而組成。因此，本發明之電子裝置用元件係具有良 好之氣體障蔽性，因此’可以防止由於水蒸氣等之氣體而 造成支援件之惡化。此外，光透過性變高，因此，適合成 為電子紙、觸控面板、顯示器、太陽能電池等之電子裝置 30 201223760 用7L件等。 ，本發明之電子裝置係包括本發明之電子I置用元件。 作為具體例係列舉觸控面板、 . 攸及日日顯不窃、有機EL顯示 、…機EL顯示器、電子紙、太陽能電池等。 =之電子裝置係包括由本發明之成形體而組成之 ::裝置用兀件，因此’具有良好之氣體障蔽性和透明性。 【實施例】 处月r玍 人邵砰細地說明本發 你Μ卜，列舉實 本發明係完全非限定於以下之實施例 使用之X射線光電子分光测定裝置、藉由 率法而造成之腺漆择、日丨6 、線反射 严 ^之_度測定方法、電衆離子注 乳透過率測定裝置和測定 、置、水二、、 條件、全級m m氧透過率測定裝置和測定 係正如m外，使見先線透過率測定裝置 場而進行離子注人之裝置。漿離子^裝係、使用外部電 (X射線光電子分光測定裝置） 错由顯示於下列之、、制6 部之氧原子、氮原子及砂行氣體障蔽層之表層 、、則〜壯祖 々'子之存在比例之測定。 /則疋裝置：「Pm Quante 】疋 x射線源：ΑΐΚα 」、ulvac —Phi公司製 X射線束徑：100# m 電力值：25W 電壓：15kV 取出角度：45。 31 201223760 真空度：5. 〇xur8pa 濺鍍條件

濺鍍氣體：氬 施加電壓：_ 4kV (藉由X輯反料法而造成之膜密度測定 氣體障蔽層之表層部之膜密度係藉由下 條件而測定X射線之反射率，求出全反射臨 該值而算出。 方法） 列顯示之測定 界角度Θ c，由 測定裝置及測定條件係正如以下。 測定裝置：？專膜評價用試 c , π > 丁 1 Λ射線繞SmartLab」、Rigaku 公司製 測定條件： 射裝置 X 射線源：Cu_Kal (波長：L54〇59A) 光學系：並行束光學系 入射側縫隙系：Ge ( 220 ) 2社曰、古声pp Α 。υ 6、.、口日日、冋没限制綠隙 入射縫隙0.05mm ' 文光側縫隙系.受光縫隙0. 1 0mm、太陽縫隙5。 檢測器：閃爍計數管 5mm ' 管電壓•管電流：45kv—2⑽mA 掃描軸：2 β β 掃描模式：連續掃描 掃描範圍：3.〇deg> 掃描速度：ldeg./min. 採樣間隔：〇· 〇〇^/step 32 201223760 此外’原子數比（Xi )係使用藉由X射線光電子分光 測定而得到之氣體障蔽層之表層部之氧原子、氮原子及矽 原子之存在比例。 (電漿離子注入裝置） RF電源：曰本電子公司製、型號r RF」56000 南電壓脈衝電源：栗田製作所公司製、「PV - 3 - HSHV — 0835」 (水蒸氣透過率之測定） 水热氣透過率測定裝置：mocon公司製、「PERMATRAN-W3/33」 測定條件：相對濕度90% 、40°C (氧透過率之測定） 氧透過率測定裝置：mocon公司製、「OX—TRAN2/21」 測定條件：相對濕度60% 、23°C (全光線透過率之測定） 全光線透過率測定裝置：日本電色工業公司製；使用 「NDMOOOj ’根據JIS K7361 - 1而測定全光線透過率。 (可見光線透過率之測定） 紫外線可見近紅外線分光透過率計：島津製作所公司 製；使用「UV3600」而測定可見光線透過率。 測定條件：波長5 5 0 n m 在底塗佈層之形成，使用以下者。 •樹脂A:以聚乙烯醇作為主成分之「gohsenol GL—〇3」 (曰本合成化學工業公司製；包含羥基之重複單位：86.5 33 201223760 — 89. Omo 1 % ) 作為主成分之「gohsenol LW — 300」 司製；包含羥基之重複單位：53. 〇 •樹脂B :以聚乙烯醇 (曰本合成化學工業公 —60.Omol% ) •樹脂C:乙烯/乙烯醇（27/73m〇l% )共聚物「eval L — 1 〇4β」（kUraray公司製：包含經基之重複單位：73m〇i % ) •樹脂D:作為不含有包含羥基之重複單位者係以聚胺 基甲酸乙S旨丙烯酸S旨系uv石更化型樹脂化合物來作為主成 分之樹脂（東洋紡織公司製；商品名稱「vy1〇nUR1 350」） 溶解於甲基乙基甲酮溶媒之溶液（固態成分重量比8% ) •树脂E .聚乙烯基縮醛樹脂「s _ LEC KS _丨〇」（積水 化學工業公司製；包含羥基之重複單位：25m〇l% ) 作為聚矽氨烷層形成用組成物係使用以下者。 以全氫化聚矽氨烷來作為主成分之塗佈劑「aqamika NLI10—20」（日本ciariant公司製） (實施例1 ) 在作為基材層之聚乙烯對苯二甲酸酯薄膜（t〇ray公 司製、商品名稱「PET25T—61M」、厚度25#ra;在以下， 稱為「PET薄膜」。），成為底塗佈層係以樹脂a之水溶 液’來作為底塗佈層形成用溶液，藉由旋轉塗佈來進行塗 佈而使得乾燥後之厚度成為4 5 rnn ’在1 2 0。(：，加熱得到之 塗膜2分鐘，形成底塗佈層。 然後’在得到之底塗佈層上，藉由旋轉塗佈法來塗佈 34 201223760 樹脂E之塗佈液而使得乾燥後之厚度成為45nm，在12〇。〇， 加熱仔到之塗膜2分鐘’在pET薄膜上，形成底塗佈層（厚 度45nm)和聚碎氨烧層（厚度45nm)，使用電漿離子注入 裝置，在聚石夕氨院層之表面’對於氛（Ar)進行電默離子 注入，形成氣體障蔽層，製作成形體丄。 在以下’顯示電漿離子注入之條件。 •氣體流置：lOOsccm •工作比：〇. 5%

•重複頻率：1 000Hz •施加電壓：一 1 〇kV RF電源.頻率1 3. 56MHz、施加電力1 〇〇〇ψ •處理室之内壓：〇. 2Pa •脈衝幅寬：5" sec •處理時間（離子注入時間）：5分鐘 •搬送速度：〇. 2m/分鐘 (實施例2) /除了在實施例1，使用樹脂B，來取代樹脂A以外，其 餘係相同於實施例丨而得到成形體2。 (實施例3) 除了在實施例卜使用樹脂c溶解於甲基亞碼之溶液， 來取代樹脂A之水溶液以外，其餘係相同於實施例丄 到成形體3。 (實施例4) 除了在實施例1，使用樹脂E溶解於甲苯，乙酸乙酯 35 201223760 =1 : 1 (容積比）混合液之溶液，來取代樹脂A之水溶液 以外’其餘係相同於實施例1而得到成形體4。 (比較例1 ) 除了不進行離子注入以外’其餘係相同於實施例1而 製作成形體。也就是說，在PET薄膜上，形成底塗佈層以 及聚矽氨烷層而成為成形體1Γ。 (比較例2)

除了在底塗佈層上而無形成聚矽氨烷層以外，其餘係 相同於實施例1而製作成形體。也就是說，在形成於PET 薄膜上之底塗佈層之表面，對於氬進行電漿離子注入而成 為成形體2r。 (比較例3) 除了在PET薄膜上而無形成底塗佈層以外，其餘係相 同於實施例1而製作成形體。也就是說，在PET薄膜上， 形成聚矽氨烷層，在該聚矽氨烷層之表面，對於氬進行電 漿離子注入而形成氣體障蔽層，成為成形體卄。 (比較例4) 除了在實施例1，使用樹脂D溶解於甲基乙基甲鲷/ 環己烷=1 : 1 (容積比）混合液之溶液，來取代樹脂A之 水溶液，藉由旋轉塗佈來進行塗佈而使得乾燥後之厚度成 為45nm，在12代，力口熱2分鐘，使用uv光照射線，^行 UV光照射（高壓水銀燈、線速度：2〇m/分鐘、累積光量 lOOmJ/cm2、波峰強度i 466w、脈衝次數2次），形成底 塗佈層以外，其餘係相同於實施例i而得到成形體打。 36 201223760 (比較例5) PET薄犋本身係成為成形體旰。 一確°"在貫施例1〜3及比較例2〜4 ,藉由使用X射線 光電子刀光測定裝置，以X射線光電子分光分析（XPS)， 來進行由表® pq上 子。 幵。至1 〇 ηιη附近之元素分析測定，而注入離 在下列·$ I 1 之 、 衣1 ’整理及記載使用在各實施例、比較例 ^底塗佈層箸> <形成用樹脂之種類、形成之底塗佈層等之 厚度、聚矽蠡栌β 層之厚度以及籬；、+ 夂離子庄入之有無。

及圖4 ’分別顯示在實施例1及比較例&得到 成之由々 之藉由以xps來造成之元素分析測定而完 '沉層形成用組成物之種類、形聚矽氨烷 孔體障敝層之表面開始沿著深度方向至50mn程度 37 201223760 之區域之氧原子、氣 果。在圖…4 ::::原子之存在比例之分析結 纖軸係表不右、；g 原子之存在量之合計來作為1〇。之 氮原子及石夕 (%)，橫轴係表示it狀態下之原子存在比例 鐘）。㈣ 鍍之累積時間（SpuUer Tinie、分 鐘）。濺鍍之條件係成為一 (SPuUerTime)係對因此’ _之累積時間 ' 氣體障蔽層之表面開始之深度。 1 p ® 5及圖6’分別顯示在實施例1及比較例4 付到之成形體1、4r之藉由以y 而完成之氧原子、氮” 來造成之元素分析測定 子及原'子及矽原子之存在比例之 :析：果。…及圖6,縱轴係表示在以氧原子、氣原 石厌原子及石夕原子之存在量之合計來作為】之狀離下 之原子存在比請），橫軸係表示滅鍍之累積時間 (Sputter Time、分鐘）。濺錢之條件係成為一定，因此， 歲鍍之累積時間（Sputter τ_)係對應由氣體障蔽層之 表面開始之深度。 由圖5及圖6(或者是圖3及圖4)之比較而得知：由 轧體障敝層之表面開始濺鍍至某一定之深度（5。⑽程度） 為止之所需要之濺鍍累積時間係比起比較例4 (圖4、圖 6)’實施例1 (圖3、圖5 )變得比較長。顯示所謂錢鑛 之累積時間越長而越加不容易進行濺鍍，也就是層變硬。 付知所謂在實施例1 (圖3、圖5)得到之成形體，在由氣 體障蔽層之表面開始某一定之深度（5〇nm程度）之區域， 存在由矽原子和氧原子而組成之不容易進行濺鍍之區域 (硬層）。 38 201223760 為^個h 3有含每基聚合物來作為底塗佈層之實施 例1之成形體1 ’在氣體障蔽層和底塗佈層之境界部，存 在聚石夕氨览化合物和含經基聚合物之所具有之經基發生反 應而形成之反應生成物之s 级 成物之層，藉由存在該層而增長成形體 1之濺鍍累積時間。 此外’就在實施例1〜4以及比較例卜3、4而得到之 成形體1〜4、lr、3r、打，载氣體障蔽層之表層部之氧 原子、氮原子切原子之存在比例和膜密度。此外，就在 實她例1 4以及比較例i〜5而得到之成形體1〜4、工犷〜 5r，測定全光線透過率、可見錢透過率、氧透過率以及 水蒸氣透過率。在下列之表2,顯示敎之結果。 表2

線率、 光過. 全透' 2 3 3 9 9 9 3 9 可見光線 透過率 (550nm) (% ) 氧透過率 (cc/m2/ day/atm) 水蒸氣 透過率 (g/m2 /day)

93 93 0.04 0.04 <0. 02 <0.02

26.9 11

39 201223760 „« 而件知.包括含有含羥基聚合物之底塗佈層以 =原子相對於氧原子、氮原子和石夕原子之整體存在量之 子比例為60〜75%、氮原子之存在比例為卜⑽、矽 \之存在比例為25〜35%且膜密度4 2.4〜4.0g〜 ^體障_之實錢之成形體卜4係比起不具有底塗 層之比較例3之成形體叶以及不具有含經基聚合物來作 :、’、底塗佈層之比較例4之成形體4r，全光線透過率及可見 光線透過率變冑，基材層也無進行著色，具有良好之透明 性。 4係比起比較例之成形體 此外，實施例之成形體 之氣體 1Γ〜，氧透過率及水蒸氣透過率變小，具有高度 障蔽性。 & 【圖式簡單說明】 圖1 (a)〜（c)係藉由在聚矽氨烷層進行離子注入而 形成氣體障蔽層來得到本發明之成形體之製程之成形體之 層構造剖面圖。 圖2係本發明之成形體之層構造剖面圖。 圖3係顯示實施例1之成形體1之表面部區域（由表 面開始至深度方向之50mn程度之區域）之氧原子、氮原子 及石夕原子之存在比例（％ )之圖。 圖4係顯示比較例4之成形體4r之表面部區域（由表 面開始至深度方向之50nm程度之區威）之氧原子、氣原子 及矽原子之存在比例（％ )之圖。 40 201223760 圖5係顯示實施例1之成形體1之氧原子、碳原子、 氮原子及石夕原子之存在比例（％ )之圖。 圖6係顯示比較例4之成形體4r之氧原子、碳原子、 氣原子及石夕原子之存在比例（％ )之圖。 【主要元件符號說明】 10〜基材層； 2 0〜底塗佈層； 30〜聚碎氨烧層； 4 0〜聚碎氨烧化合物和含經基聚合物具有之經基係發 生反應之反應生成物層； 5 0a、 /離子注入層（氣體障蔽層）； 50b、 -氣體障蔽層； 6 0〜 注入離子之區域； 100a 〜本發明之成形體； 100b 〜本發明之成形體。 41

Claims (1)

1. 201223760 七、申請專利範圍·· 佈屏p種成形體係基材層、含有含羥基聚合物之底爹 佈層和氧體障蔽層來垃 _ 按‘、、、該順序而層積來組成的成形體， :中刖述乳體障蔽層係至少由包含氧原子和碎原手 矽Γ而構成，其表層部之氧原子相對於氧原子、氮原孑 ^夕原子之整體存在量之存在比例係6G〜75%，氮原子之 存在比例係0〜丨 1(U矽原子之存在比例係25〜35% ，龙 且’該表層部之膜密度係2.4〜4.0g/cm3。 障如Γ專利範圍帛1項之成形體，其中，前述氣體 敝曰係在包含聚石夕氨烧化合物之層來注入離子而得到。 3·如申請專利範圍第…項之成形 含經基聚合物係包含 T 'J 含有lOmol%以上。“ 目對於全重複單位而 4. 如申μ專利範圍第2或3項 齙；成體，其中，前述 離子係由蛊、氮'氧、氬、氦、氖、 步.@ b 巩矾和氪而組成之群組 术選出之至少一種氣體而進行離子化。 5. 如申請專利範圍第2至4項中任一項之成形體，立 ’前述氣體障蔽層係在包含聚⑦氨院化合物之層出 電漿離子注入而注入離子來得到之層。 曰 中 中 6.如申請專利範圍第2至5項 前述聚矽氨烷化合物係全氫化 中任—項之成形體，其 聚矽氨烷。 滿 7.如申凊專利範圍第1至6項中 ’在40°C、相對濕度90%之氣氛下 0. 1 Og/ m2/day。 任項之成形體，其 之水蒸氣透過率係未 42 201223760 8·如申請專利範圍第1至7項中任一項之成形體，其 中’根據JISK7361—1之全光線透過率係90%以上。 9. 一種成形體之製造方法，係申請專利範圍第2項所 述之成形體之製造方法，具有： 在含有含經基聚合物之底塗佈層來形成於表面之基材 之前述底塗佈層之上，形成包含聚矽氨烷化合物之層之製 程；以及 在包含前述聚矽氨烷化合物之層之表面部，注入離子 之製程。 10.如申請專利範圍第9項之成形體之製造方法，其 中’具有： 八 在含有含羥基聚合物之底塗佈層來形成於表面之基材 之前述底塗佈層之上，形成包含聚 程；以及 在包含該聚石夕氨烧化合物之層之表面部，對於由氣、 氮、氧、氬、氦、I、氙和氪而組成之群組來選出之：小 一種氣體，進行離子注入之製程。 v 11.如申請專利範圍第9項之成形體之製造方 中，具有： 其 在含有含羥基聚合物之底塗佈層 π甩來形成於表面之其 之前述底塗佈層之上，形成包含聚 土材 程；以及 錢化合物之層之製 在包含該聚矽氨烷化合物之層 藉由電漿離 氖、氙和氪 曰〈表面部， 子注入法，來對於由氫、氮、氧、 虱、氦、 43 201223760 而組成之群組來選出之至少一種氣體，進行離子注入之製 程。 12. —種電子裝置用元件，由申請專利範圍第1至8項 中任一項所述之成形體而組成。 13. —種電子裝置，包括申請專利範圍第12項所述之 電子裝置用元件。 44