JP4917942B2 - 高平滑ガスバリアフィルムおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、表面平滑性、ガスバリア性および密着性に優れた高平滑ガスバリアフィルムおよびその製造方法を提供することを目的とする。
すなわち、本発明の第一の態様は、フィルム基材上に、中心平均粗さ(Ra)が1.0nm以下の高平滑化層、中間層及びガスバリア層をこの順に積層する高平滑ガスバリアフィルムの製造方法であって、フィルム基材上に高平滑化層を積層し、真空引きされたチャンバー内にプラズマ生成ガスを導入し、該チャンバー内において高平滑化層が積層された前記フィルム基材に高周波電力を印加して該フィルム基材の周辺で該プラズマ生成ガスをプラズマ化させ、更に、該フィルム基材に負の直流高電圧のパルスを印加しつつターゲット材料をスパッタすることにより、該フィルム基材上に中間層を積層し、高平滑化層及び中間層が積層された該フィルム基材上にガスバリア層を積層することを特徴とする高平滑ガスバリアフィルムの製造方法である。
従って、本発明の高平滑ガスバリアフィルムは、水蒸気の発生、表面の突起を嫌う、液晶表示素子、有機EL表示素子などにおいて、水蒸気等による有機物の劣化の防止、表面突起による異常放電による回路の破損の防止、正孔注入効率の向上などが期待され、特に有機EL表示素子においては発光寿命、発光効率を向上させるために好適に用いることができる。
本発明の高平滑ガスバリアフィルムは、フィルム基材上に高平滑化層、中間層及びガスバリア層がこの順に積層された構成を有する。
本発明の高平滑ガスバリアフィルムにおいて、フィルム基材の材料としては、液晶表示素子、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)表示素子などの用途分野の要求性能に応じて適宜選択され、特に制約はないが、例えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、アクリル系樹脂、脂環式構造含有重合体、芳香族系重合体などが挙げられる。これらの中でも汎用性、透明性、耐熱性等の観点からポリエステル、ポリアミドが特に好ましい。
ここで、エネルギー線硬化型化合物とは、紫外線や電子線のようなエネルギー線を照射することにより、架橋、硬化する重合性化合物を指す。
このようなエネルギー線硬化型化合物としては、例えば光重合性プレポリマー及び/又は光重合性モノマーを挙げることができる。光重合性プレポリマーとしては、例えば、ポリエステルアクリレート系、エポキシアクリレート系、ウレタンアクリレート系、ポリオールアクリレート系などが挙げられる。また、光重合性モノマーとしては、例えば1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性リン酸ジ(メタ)アクリレート、アリルかシクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらは1種類で用いても良いし、2種類以上組み合わせて用いても良い。
また、前記エネルギー線硬化型化合物は、所望により光重合開始剤を併用することができる。光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン系、アセトフェノン系、ベンゾフェノン系、アントラキノン系等を挙げることができる。配合量としては、通常、前記エネルギー線硬化型化合物に対して、0.2〜10質量%の範囲で選ばれる。
ハードコート層形成材料としては、エネルギー線硬化型化合物以外にも溶剤を含有させることができる。例えば、脂肪族炭化水素系、芳香族炭化水素系、アルコール系、ケトン系、セロソルブ系、グリコールエーテル系などの溶剤が挙げられる。
この他、ハードコート層形成材料として光増感剤、架橋剤、酸化防止剤、重合禁止剤、レベリング剤、消泡剤などを適宜含有させてもよい。
本発明において、高平滑化層はそれを積層することによりフィルム基材の凹凸を埋め、高平滑な面を得ることを目的としている。従って、高平滑化層を形成するための材料、例えば前記ハードコート層形成材料には、フィラー等の固形物が含まれないことが好ましい。尚、高平滑化層を積層していないフィルム基材、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)の中心平均粗さ(Ra)は、最も平滑性の高いグレードのものでも1.5nm程度である。
これに対して、高平滑化層の中心平均粗さ(Ra)としては、1.0nm以下であることが好ましく、0.5nm以下であることがより好ましく、0.3nm以下であることが特に好ましい。尚、本発明で用いる中心平均粗さ(Ra)とは、JIS B0601に定義されているものを、測定面に対して適用できるよう三次元に拡張したものをいう。詳細は後述する。
高平滑化層の厚さとしては特に制約はなく、通常5〜100μm、好ましくは8〜50μm、さらに好ましくは9〜20μmである。高平滑化層の厚さが5μm未満の場合、フィルム基材の凸凹の影響により高平滑な表面が得られない場合があり、また、高平滑化層の厚さが100μmを超える場合、カール等の問題を生じる恐れがある。
本発明の高平滑ガスバリアフィルムの製造方法は、フィルム基材上に高平滑化層、中間層及びガスバリア層をこの順に積層する高平滑ガスバリアフィルムの製造方法であって、フィルム基材上に高平滑化層を積層し、真空引きされたチャンバー内にプラズマ生成ガスを導入し、該チャンバー内において高平滑化層が積層された前記フィルム基材に高周波電力を印加して該フィルム基材の周辺で該プラズマ生成ガスをプラズマ化させ、更に、該フィルム基材に負の直流高電圧のパルスを印加しつつターゲット材料をスパッタすることにより、該フィルム基材上に中間層を積層し、高平滑化層及び中間層が積層された該フィルム基材上にガスバリア層を積層することを特徴とする。
エネルギー線としては、例えば紫外線や電子線などが挙げられる。上記紫外線は、高圧水銀ランプ、ヒュージョンHランプ、キセノンランプなどで得られ、照射量は、通常100〜500mJ/cm2であり、一方、電子線は、電子線加速器などによって得られ、照射量は、通常150〜350kVである。このエネルギー線の中では、特に紫外線が好ましい。尚、電子線を使用する場合は、光重合開始剤を添加することなく、硬化層を得ることができる。
尚、アルゴンはプラズマ化して負に印加されたターゲット材料に誘引されることにより珪素等をスパッタするために使用され、窒素等は同じくプラズマ化されることによりターゲット材料に誘引され、珪素と反応して酸窒化珪素等をスパッタするために使用される。
また、フィルム基材とガスバリア層との間の密着性、特に高平滑化層とガスバリア層との間の密着性をより優れたものとするために、中間層積層の際、酸素を窒素と同流量以上の割合で導入することがより好ましい。
尚、ガスバリアフィルムの構成や性能は、下記の方法に従って評価した。
触針式段差計(AMBIOS TECNOLOGY社製、XP-1)により測定する。
日本スチールウール(株)製スチールウール#0000(超微細)を用い、高平滑化層表面を擦り付けた際の外観を目視にて観察し、
傷付きがないものを○
傷が確認されたものを×
として評価する。
透過率測定装置(UV-3101PC、島津製作所製)を使用し、JIS K7361に準拠して測定する。
原子間力顕微鏡(SIIナノテクノロジー社製、SPA300HV、DMFモード)により測定する(測定範囲:縦1μm×横1μm)。JIS B0601を測定面に対して適用できるよう三次元に拡張して、基準面から指定面までの偏差の絶対値を平均した値であり、次式で表される。
JIS K5600−5−6に準拠し、クロスカット法にて0〜5(5が最も密着性が悪い。)の6段階にて評価する。
(6)水蒸気透過率
Lyssyガス透過度計(Lyssy、L80-5000)にて測定する(フィルムの面積:50cm2、試験条件:40℃、90%、常圧)。
X線光電子分光分析計(Quantera SXM, アルバック・ファイ社製)により、各層表面の元素組成を以下の条件に基づき分析した。結果は表2、4にモル比にて示す。
励起X線:Al
X線径:100μm
X線出力:15kV, 25W
光電子脱出角度:45°
低抵抗値測定器(三菱化学社製、ロレスター・MCP-T6)により測定した。
(高平滑化層の塗工液の調製)
活性エネルギー線硬化型化合物である多官能アクリレート混合物[荒川化学工業(株)製、商品名「ビームセット577CB」、固形分濃度100%]100重量部に、光重合開始剤[チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名「イルガキュア907」]2重量部を添加して混合したのち、全体の固形分濃度が30重量%になるようにメチルイソブチルケトン(MIBK)で希釈して、塗工液を調製した。
基材フィルムとして厚さ188μmの両面易接着処理ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム[東洋紡績(株)製、商品名「A4300」]表面に、前記塗工液を硬化後の厚さが10μmになるように、マイヤーバーNo.16で塗布した。次いで、90℃で1分間乾燥したのち、紫外線を光量300mJ/cm2で照射して硬化させることにより高平滑化層をフィルム基材上に積層した。
前記高平滑化層が積層されたフィルム基材は前記真空スパッタ装置のチャンバー内に高平滑化層側をスパッタされるように設置した。該チャンバーは真空引き後、アルゴン、窒素及び酸素からなるプラズマ生成ガスを導入し、前記フィルム基材に高周波電力を印加して該フィルム基材の周辺で該プラズマ生成ガスをプラズマ化させ、更に、該フィルム基材に負の直流高電圧のパルスを印加するとともに珪素をターゲットとしてスパッタすることにより、該フィルム基材上に酸窒化珪素をからなる中間層を積層した。続けて、該チャンバー内にアルゴン及び窒素からなるプラズマ生成ガスを導入し、中間層が積層された前記フィルム基材に高周波電力を印加して該フィルム基材の周辺で該プラズマ生成ガスをプラズマ化させ、更に、該フィルム基材に負の直流高電圧のパルスを印加するとともに珪素をターゲットとしてスパッタすることにより、該フィルム基材上に窒化珪素からなるガスバリア層を積層させて高平滑ガスバリアフィルムを得た。実施条件は次のとおりである。
中間層の積層の際には、直流高電圧のパルスの電源(栗田製作所製、PV-3-HSHV-0835)を装着させた真空スパッタ装置(ロック技研工業製)を用い、下記の条件にてガスバリア層の積層を行った。
・高周波電力(13.56MHz):1000 W
・ターゲット:Si
・プラズマ生成ガス:Ar, N2, O2
・ガス流量(ml/min):Ar:100, N2:30, O2:30
・プラズマガス圧力:2×10-1 Pa
・直流高電圧:-5 kV、5μs(パルス幅)
・ターゲット電力:2500 W
・スパッタ時間:33s
・膜厚:30nm
ガスバリア層の積層の際には、直流高電圧のパルスの電源(栗田製作所製、PV-3-HSHV-0835)を装着させた真空スパッタ装置(ロック技研工業製)を用い、下記の条件にてガスバリア層の積層を行った。
・高周波電力(13.56MHz):1000 W
・ターゲット:Si
・プラズマ生成ガス:Ar, N2
・ガス流量(ml/min):Ar:100, N2:60
・プラズマガス圧力:2×10-1 Pa
・直流高電圧:-5 kV、5μs(パルス幅)
・ターゲット電力:2500 W
・スパッタ時間:110s
・膜厚:100nm
中間層のスパッタ時間を55s, 膜厚を50nm とした以外は実施例1と同様にして高平滑ガスバリアフィルムを得た。
中間層のスパッタ時間を11s, 膜厚を10nm とした以外は実施例1と同様にして高平滑ガスバリアフィルムを得た。
ガスバリア層のスパッタ時間を165s, 膜厚を150nmとした以外は実施例1と同様にして高平滑ガスバリアフィルムを得た。
ガスバリア層のスパッタ時間を55s, 膜厚を50nmとした以外は実施例1と同様にして高平滑ガスバリアフィルムを得た。
実施例1と同様にして中間層、ガスバリア層を積層後、次の条件で透明導電膜層を積層した。
・ターゲット:ITO
・プラズマ生成ガス:Ar, O2
・ガス流量(ml/min):Ar:100, O2:5
・プラズマガス圧力:2×10-1 Pa
・ターゲット電力:1500 W
・スパッタ時間:60s
・膜厚:100nm
実施例1と同様にしてフィルム基材(前記と同じ)上に高平滑化層が積層されたフィルムを得た。該高平滑化層が積層されたフィルム基材を前記真空スパッタ装置のチャンバー内に高平滑化層側がスパッタされるように設置した。該チャンバーは真空引き後、アルゴン、窒素及び酸素からなるプラズマ生成ガスを導入し、珪素をターゲットとしてスパッタすることにより、該フィルム基材上に酸窒化珪素からなる中間層を積層し、続けて、真空引きされたチャンバー内にアルゴン及び窒素からなるプラズマ生成ガスを導入し、珪素をターゲットとしてスパッタすることにより、該フィルム基材上に窒化珪素からなるガスバリア層を積層して、高平滑ガスバリアフィルムを得た。尚、実施例1〜6と異なり前記フィルム基材をスパッタする際、前記フィルム基材に高周波電力や直流高電圧のパルスの印加(ダイナミックイオンミキシング法)は行っていない。実施条件は次のとおりである。
中間層の積層の際には、直流高電圧のパルスの電源(栗田製作所製、PV-3-HSHV-0835)を装着させた真空スパッタ装置(ロック技研工業製)を用い、下記の条件にてガスバリア層の積層を行ったが、直流高電圧のパルスの電源は使用しなかった。
・ターゲット:Si
・プラズマ生成ガス:Ar, N2, O2
・ガス流量(ml/min):Ar:100, N2:30, O2:30
・プラズマガス圧力:2×10-1 Pa
・ターゲット電力:2500 W
・スパッタ時間:11s
・膜厚:10nm
ガスバリア層の積層の際には、直流高電圧のパルスの電源(栗田製作所製、PV-3-HSHV-0835)を装着させた真空スパッタ装置(ロック技研工業製)を用い、下記の条件にてガスバリア層の積層を行ったが、直流高電圧のパルスの電源は使用しなかった。
・ターゲット:Si
・プラズマ生成ガス:Ar, N2
・ガス流量(ml/min):Ar:100, N2:60
・プラズマガス圧力:2×10-1 Pa
・ターゲット電力:2500 W
・スパッタ時間:110s
・膜厚:100nm
実施例1と同様にしてフィルム基材(前記と同じ)上に高平滑化層が積層されたフィルムを得た。尚、中間層及びガスバリア層は積層されていない。
厚さ188μmのPETフィルム(東洋紡製:A-4300)の表面に前記真空スパッタ装置を用いて比較例1と同様の条件で中間層、ガスバリア層を積層後、実施例6と同様の条件で透明導電膜層を積層して、透明導電膜層を備えたガスバリアフィルムを得た。
中間層のスパッタ時間を55s, 膜厚を50nm とした以外は実施例4と同様にして高平滑ガスバリアフィルムを得た。
中間層を以下の条件で積層し、実施例4と同様にしてガスバリア層を積層して、高平滑ガスバリアフィルムを得た。
・高周波電力(13.56MHz):1000 W
・ターゲット:Si
・プラズマ生成ガス:Ar, O2
・ガス流量(ml/min):Ar:100, O2:60
・プラズマガス圧力:2×10-1 Pa
・直流高電圧:-5 kV、5μs(パルス幅)
・ターゲット電力:2500 W
・スパッタ時間:55s
・膜厚:50nm
実施条件が下表のとおりであるほかは、実施例1と同様に、厚さ188μmのPETフィルム(東洋紡製:A-4300)の表面にハードコート処理(荒川化学工業(株)製:ビームセット577CB)を施して高平滑化層が積層された前記フィルム基材を用意し、前記真空スパッタ装置を用いて、該高平滑化層に中間層、ガスバリア層を形成させ高平滑ガスバリアフィルムを得た。
装置は前記のとおりである。
・高周波電力(13.56MHz):1000 W
・ターゲット:Si
・プラズマ生成ガス:Ar, N2, O2
・ガス流量(ml/min):Ar:100, N2:55, O2:5
・プラズマガス圧力:2×10-1 Pa
・直流高電圧:-5 kV、5μs(パルス幅)
・ターゲット電力:2500 W
・スパッタ時間:55s
・膜厚:50nm
装置は前記のとりである。
・高周波電力(13.56MHz) :1000 W
・ターゲット:Si
・プラズマ生成ガス:Ar, N2
・ガス流量(ml/min):Ar:100, N2:60
・プラズマガス圧力:2×10-1 Pa
・直流高電圧:-5 kV、5μs(パルス幅)
・ターゲット電力:2500 W
・スパッタ時間:165s
・膜厚:150nm
中間層積層時のガス流量(ml/min)をAr:100, N2:50, O2:10とした以外は実施例9と同様にして高平滑ガスバリアフィルムを得た。
中間層積層時のガス流量(ml/min)をAr:100, N2:40, O2:20とした以外は実施例9と同様にして高平滑ガスバリアフィルムを得た。
Claims (3)
- フィルム基材上に、中心平均粗さ(Ra)が1.0nm以下の高平滑化層、中間層及びガスバリア層をこの順に積層する高平滑ガスバリアフィルムの製造方法であって、
フィルム基材上に高平滑化層を積層し、
真空引きされたチャンバー内にプラズマ生成ガスを導入し、該チャンバー内において高平滑化層が積層された前記フィルム基材に高周波電力を印加して該フィルム基材の周辺で該プラズマ生成ガスをプラズマ化させ、更に、該フィルム基材に負の直流高電圧のパルスを印加しつつターゲット材料をスパッタすることにより、該フィルム基材上に中間層を積層し、
高平滑化層及び中間層が積層された該フィルム基材上にガスバリア層を積層することを特徴とする高平滑ガスバリアフィルムの製造方法。 - フィルム基材上に、中心平均粗さ(Ra)が1.0nm以下の高平滑化層、中間層及びガスバリア層をこの順に積層する高平滑ガスバリアフィルムの製造方法であって、
フィルム基材上に高平滑化層を積層し、
真空引きされたチャンバー内にプラズマ生成ガスを導入し、該チャンバー内において高平滑化層が積層された前記フィルム基材に高周波電力を印加して該フィルム基材の周辺で該プラズマ生成ガスをプラズマ化させ、更に、該フィルム基材に負の直流高電圧のパルスを印加しつつターゲット材料をスパッタすることにより、該フィルム基材上に中間層を積層し、
真空引きされたチャンバー内にプラズマ生成ガスを導入し、該チャンバー内において高平滑化層及び中間層が積層された前記フィルム基材に高周波電力を印加して該フィルム基材の周辺で該プラズマ生成ガスをプラズマ化させ、更に、該フィルム基材に負の直流高電圧のパルスを印加しつつターゲット材料をスパッタすることにより、該フィルム基材上にガスバリア層を積層することを特徴とする高平滑ガスバリアフィルムの製造方法。 - 前記中間層積層の際、プラズマ生成ガスとして、酸素を窒素と同流量以上の割合で導入する請求項1又は2に記載の高平滑ガスバリアフィルムの製造方法。
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