JP2018113137A - 有機素子用封止フィルムおよび有機素子 - Google Patents

Abstract

【課題】水蒸気透過率が小さく、高い透明性を有し、かつフレキシブル性が良好である有機素子用封止フィルムを提供する。【解決手段】樹脂フィルムの少なくとも一方の面に無機膜および封止樹脂層をこの順に有し、前記無機膜が少なくとも酸化亜鉛、二酸化ケイ素および酸化アルミニウムを含む無機膜であることを特徴とする、有機素子用封止フィルム。【選択図】図１

Description

本発明は、有機素子を水蒸気から保護するための有機素子用封止フィルム、および有機素子用封止フィルムで封止された有機素子に関する。

有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子や有機光電変換素子等の有機素子は、水蒸気に接触することによって機能低下（発光特性や光電変換効率の低下）を起こすため、それを抑制するために、有機素子を封止用フィルム（封止用粘着シート）で封止することが提案されている（特許文献１〜７）。

上記特許文献には、基材に封止樹脂層や封止粘着剤層を積層した封止フィルム（封止粘着フィルム）が開示されており、基材として防湿性を有するプラスチックフィルム、銅箔、アルミニウム箔、酸化ケイ素膜などの無機膜が積層されたプラスチックフィルムが記載されている。

特開２０１０−８０２９３号公報 特開２０１２−５７０６５号公報 特開２０１３−５４９８５号公報 特開２０１５−１２２１７０号公報 特開２０１６−１８６０４２号公報 国際公開第２０１０／０８４９３９号 国際公開第２０１３／００２２８８号

有機素子用封止フィルムは、水蒸気透過率が小さいこと、高い透明性を有することが求められている。さらに、有機素子用封止フィルムには、フレキシブル性を有する有機素子に適用すべく、湾曲、屈曲あるいは複雑な平面形状に耐え得るフレキシブル性が求められている。

一般的に、水蒸気透過率を小さくするには、基材に積層される無機膜の厚みを大きくすることが有効であるが、その反面、透明性やフレキシブル性が低下する傾向にある。また、無機膜として酸化ケイ素からなる無機膜がよく知られているが、酸化ケイ素からなる無機膜は、水蒸気透過率を十分に小さくするには厚みを比較的大きくする必要があり、厚みを大きくすると透明性や低フレキシブル性が低下するという問題がある。

上記観点から、上述した特許文献は、いずれも、低い水蒸気透過率、高い透明性および良好なフレキシブル性を同時に満足するもではない。

従って、本発明の目的は、上述の課題に鑑み、水蒸気透過率が小さく、高い透明性を有し、かつフレキシブル性が良好である有機素子用封止フィルムを提供することにある。本発明の他の目的は、本発明の有機素子用封止フィルムで封止された有機ＥＬ素子を提供することにある。

本発明の上記目的は、以下の本発明によって達成される。
［１］樹脂フィルムの少なくとも一方の面に無機膜および封止樹脂層をこの順に有し、前記無機膜が少なくとも酸化亜鉛、二酸化ケイ素および酸化アルミニウムを含む無機膜であることを特徴とする、有機素子用封止フィルム。
[２]前記無機膜のＸ線光電子分光法（ＸＰＳ法）により測定される、Ｚｎ原子濃度が２０〜４０ａｔｏｍ％、Ｓｉ原子濃度が５〜２０ａｔｏｍ％、Ａｌ原子濃度が０．５〜５ａｔｏｍ％、Ｏ原子濃度が３５〜７０ａｔｏｍ％である、[１]に記載の有機素子用封止フィルム。
[３]前記封止樹脂層が、封止樹脂として、ゴム系ポリマー、ポリオレフィン系ポリマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、（メタ）アクリル系ポリマー、ポリエステル系ポリマーおよびシリコーン系ポリマーからなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂を含有する、[１]または[２]に記載の有機素子用封止フィルム。
[４]前記樹脂フィルムの波長５５０ｎｍの光に対する面内方向のリターデーション（Ｒｅ５５０）が３００ｎｍ以下である、[１]〜[３]のいずれかに記載の有機素子用封止フィルム。
[５]前記樹脂フィルムの厚みが５０μｍ未満である、[１]〜[４]のいずれかに記載の有機素子封止用フィルム。
[６]前記樹脂フィルムが環状オレフィン樹脂フィルムである、[１]〜[５]のいずれかに記載の有機素子用封止フィルム。
[７]水蒸気透過率が９．０×１０^−３ｇ／ｍ^２／ｄａｙ未満である、[１]〜[６]のいずれかに記載の有機素子用封止フィルム。
[８]前記有機素子が有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子である、[１]〜[７]のいずれかに記載の有機素子用封止フィルム。
[９][１]〜[８]のいずれかに記載の有機素子用封止フィルムで封止された有機素子。

本発明によれば、水蒸気透過率が小さく、高い透明性を有し、かつフレキシブル性が良好である有機素子用封止フィルムを提供することができる。

本発明における無機膜を積層するための巻き取り式スパッタリング装置を模式的に示す概略図である。

本発明の有機素子用封止フィルムは、樹脂フィルムの少なくとも一方の面に無機膜および封止樹脂層をこの順に有する。かかる無機膜は、少なくとも酸化亜鉛、二酸化ケイ素および酸化アルミニウムを含む無機膜である。以下、少なくとも酸化亜鉛、二酸化ケイ素および酸化アルミニウムを含む無機膜を「無機膜（ＺＳＡ）」ということがある。

以下、本発明の有機素子用封止フィルムを構成するそれぞれの要素について詳細に説明する。以下、有機素子用封止フィルムを単に「封止フィルム」ということがある。

［樹脂フィルム］
本発明における樹脂フィルムとしては、ポリエステル樹脂フィルム、アクリル樹脂フィルム、ポリカーボネート樹脂フィルム、セルロースエステル樹脂フィルム、オレフィン樹脂フィルム、環状オレフィン樹脂フィルムなどが挙げられる。

本発明の有機素子用封止フィルムを有機ＥＬ素子に適用する場合は、封止フィルムを構成する樹脂フィルムは、低リターデーション（複屈折率が小さい）であることが好ましい。このような低リターデーションである樹脂フィルムを用いた封止フィルムは、有機ＥＬ素子の発光色の視野角依存性が小さいという利点を備えている。

樹脂フィルムのリターデーションは、具体的には、波長５５０ｎｍの光に対する面内方向のリターデーション（Ｒｅ５５０）が３００ｎｍ以下であることが好ましく、１００ｎｍ以下がより好ましく、さらに５０ｎｍ以下が好ましく、特に３０ｎｍ以下が好ましい。下限は０ｎｍである。

また、封止フィルムに位相差機能（λ／４位相差機能）を付与する場合は、樹脂フィルムのリターデーション（Ｒｅ５５０）は、１１０〜１７０ｎｍの範囲が好ましく、１２０〜１５０ｎｍの範囲がより好ましく、１３０〜１４５ｎｍの範囲が特に好ましい。

樹脂フィルムの波長５５０ｎｍの光に対する面内方向のリターデーション（Ｒｅ５５０）は、下記式で表される値である。

｜ｎｘ−ｎｙ｜×ｄ
（式中、ｎｘは樹脂フィルムの面内の遅相軸方向の屈折率を表し、ｎｙは樹脂フィルムの面内の進相軸方向の屈折率を表し、ｄは膜厚を表す。）
ここで、面内とは、樹脂フィルム面内を指し、該フィルムの厚み方向に垂直な面内を指す。リターデーションは、実施例で使用したような複屈折計を用いて平行ニコル回転法により測定できる。

上記の低リターデーションの樹脂フィルムとしては、アクリル樹脂フィルム、ポリカーボネート樹脂フィルム、セルロースエステル樹脂フィルム（トリアセチルセルロース樹脂フィルム）、環状オレフィン樹脂フィルムが好ましく、特に環状オレフィン樹脂フィルムが好ましい。

樹脂フィルムの厚みは特に限定されないが、良好なフレキシブル性を確保するという観点、および封止フィルムが適用された有機素子の厚みを小さくするという観点から、樹脂フィルムの厚みは小さい方が好ましく、具体的には、８０μｍ未満が好ましく、５０μｍ未満がより好ましく、４０μｍ未満が特に好ましい。下限の厚みは１０μｍ以上が好ましく、１５μｍ以上がより好ましい。

［環状オレフィン樹脂フィルム］
本発明における樹脂フィルムとしては、環状オレフィン樹脂フィルムが特に好ましい。以下、環状オレフィン樹脂フィルムについて詳細に説明する。

環状オレフィン樹脂フィルムは、上記したようにリターデーション（Ｒｅ５５０）が小さく、透明性が高いという利点がある。つまり、本発明における樹脂フィルムとしては、波長５５０ｎｍの光に対する面内方向のリターデーション（Ｒｅ５５０）が３００ｎｍ以下の範囲である環状オレフィン樹脂フィルムが好ましく、さらに環状オレフィン樹脂フィルムのリターデーション（Ｒｅ５５０）は、１００ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以下がより好ましく、特に３０ｎｍ以下が好ましい。下限は０ｎｍである。

また、環状オレフィン樹脂フィルムは、従来から広く用いられているポリエステルフィルム（例えばポリエチレンテレフタレートフィルム）に比べて相対的に透湿性が小さい（水蒸気透過率が小さい）という特長がある。また、環状オレフィン樹脂フィルムは、十分なフレキシブル性を有する。

環状オレフィン樹脂フィルムは、環状オレフィン樹脂（ＣＯＰ）あるいは環状オレフィン共重合樹脂（ＣＯＣ）を主成分とする樹脂フィルムである。ここで、主成分とするとは、樹脂フィルムを構成する樹脂成分のうち、ＣＯＰあるいはＣＯＣの構成比率が５０質量％以上であることを意味するものであり、好ましくは６０質量％以上であり、より好ましくは８０質量％以上であり、さらに好ましくは９０質量％以上であり、特に好ましくは９５質量％以上である。

環状オレフィン樹脂（ＣＯＰ）とは、「主鎖に環状オレフィンを含有した繰り返し単位」のみを重合させた樹脂を意味する。環状オレフィン共重合樹脂（ＣＯＣ）とは、少なくとも「主鎖に環状オレフィンを含有した繰り返し単位」と「主鎖に環状オレフィンを含有しないオレフィンからなる繰り返し単位」を共重合させた樹脂を意味する。

ＣＯＰ、ＣＯＣを構成する環状オレフィンとしては、例えば、
シクロブテン、シクロペンテン、シクロヘプテン、シクロヘキセン、シクロオクテン、シクロペンタジエン、１，３−シクロヘキサジエン、３，４−ジメチルシクロペンテン、３−メチルシクロヘキセン、２−（２−メチルブチル）−１−シクロヘキセン、３ａ，５，６，７ａ−テトラヒドロ−４，７−メタノ−１Ｈ−インデンなどの単環式オレフィン、
ノルボルネン、ジシクロペンタジエン、テトラシクロドデセン、エチルテトラシクロドデセン、エチリデンテトラシクロドデセン、テトラシクロ〔７．４．０．１１０，１３．０２，７〕トリデカ−２，４，６，１１−テトラエンなどの多環式オレフィン、
などが挙げられる。これらの環状オレフィンは、それぞれ単独であるいは２種以上組合せて用いることができる。

環状オレフィン共重合樹脂（ＣＯＣ）を構成する環状オレフィン以外の他のモノマーとしては、例えば、エチレン、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、１−ヘキセン、３−メチル−１−ブテン、３−メチル−１−ペンテン、３−エチル−１−ペンテン、４−メチル−１−ペンテン、４−メチル−１−ヘキセン、４，４−ジメチル−１−ヘキセン、４，４−ジメチル−１−ペンテン、４−エチル−１−ヘキセン、３−エチル−１−ヘキセン、１−オクテン、１−デセン、１−ドデセン、１−テトラデセン、１−ヘキサデセン、１−オクタデセン、１−エイコセン等が挙げられる。

環状オレフィン樹脂フィルムは、市販品として入手することもできる。市販品としては、例えば、日本ゼオン（株）製の「ゼオネックス」、「ゼオノア」（登録商標）、積水化学工業（株）の「エッシーナ」、ＪＳＲ（株）の「アートン」、日立化成（株）の「オプトレッツ」、三井化学（株）の「アペル」などがある。

［無機膜］
本発明における無機膜（ＺＳＡ）は、少なくとも酸化亜鉛、二酸化ケイ素および酸化アルミニウムを含む無機膜である。つまり、無機膜（ＺＳＡ）は、酸化亜鉛、二酸化ケイ素および酸化アルミニウムが共存（混在）する一つの膜である。

一つの無機膜の中に、３成分（酸化亜鉛、二酸化ケイ素および酸化アルミニウム）が共存（混在）することにより、比較的薄膜であっても水蒸気透過率を低くすることができる。また、一つの無機膜の中に、３成分（酸化亜鉛、二酸化ケイ素および酸化アルミニウム）が共存（混在）することにより、高い透明性と良好なフレキシブル性を有する無機膜が得られる。

上記観点から、無機膜（ＺＳＡ）の組成としては、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ法）により測定される、Ｚｎ原子濃度が２０〜４０ａｔｏｍ％、Ｓｉ原子濃度が５〜２０ａｔｏｍ％、Ａｌ原子濃度が０．５〜５ａｔｏｍ％、Ｏ原子濃度が３５〜７０ａｔｏｍ％であることが好ましい。

Ｚｎ原子濃度が４０ａｔｏｍ％より大きくなると、またはＳｉ原子濃度が５ａｔｏｍ％より小さくなると、酸化亜鉛の結晶成長を抑制する酸化物が不足するため、空隙部分や欠陥部分が増加し、水蒸気透過率を十分に小さくすることができない場合がある。Ｚｎ原子濃度が２０ａｔｏｍ％より小さくなると、またはＳｉ原子濃度が２０ａｔｏｍ％より大きくなると、無機膜内部の二酸化ケイ素の非晶質成分が増加して無機膜の柔軟性が低下する場合がある。

Ａｌ原子濃度が５ａｔｏｍ％より大きくなると、酸化亜鉛と二酸化ケイ素の親和性が過剰に高くなるため無機膜の硬度が上昇し、熱や外部からの応力に対してクラックが生じやすくなる場合がある。Ａｌ原子濃度が０．５ａｔｏｍ％より小さくなると、酸化亜鉛と二酸化ケイ素の親和性が不十分となり、無機膜を形成する粒子間の結合力が上がらないため、柔軟性が低下する場合がある。

Ｏ原子濃度が７０ａｔｏｍ％より大きくなると、無機膜内部の欠陥量が増加するため、水蒸気透過率を十分に小さくすることができない場合がある。Ｏ原子濃度が３５ａｔｏｍ％より小さくなると、亜鉛、ケイ素、アルミニウムの酸化状態が不十分となり、結晶成長が抑制できず粒子径が大きくなるため、水蒸気透過率が悪化する場合がある。

上記観点から、さらに、Ｚｎ原子濃度が２５〜３５ａｔｏｍ％、Ｓｉ原子濃度が１０〜１５ａｔｏｍ％、Ａｌ原子濃度が１〜３ａｔｏｍ％、Ｏ原子濃度が５０〜６４ａｔｏｍ％であることが好ましい。

上記組成は、無機膜（ＺＳＡ）の形成時に使用した混合焼結材料と同程度の組成で形成されるため、目的とする無機膜（ＺＳＡ）の組成に合わせた組成の混合焼結材料を使用することで調整することができる。

無機膜（ＺＳＡ）を形成する方法は特に限定されず、例えば、酸化亜鉛と二酸化ケイ素と酸化アルミニウムの混合焼結材料を使用して、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等によって形成することができる。また、酸化亜鉛と二酸化ケイ素と酸化アルミニウムの単体材料を使用する場合は、酸化亜鉛と二酸化ケイ素と酸化アルミニウムをそれぞれ別の蒸着源またはスパッタ電極から同時に成膜し、所望の組成となるように混合させて形成することができる。これらの方法の中でも、無機膜（ＺＳＡ）の組成再現性の観点から、混合焼結材料を使用したスパッタリング法がより好ましい。

無機膜（ＺＳＡ）は、他の金属、例えば、チタン、錫、銅、インジウム、ガリウム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、タンタルなどの金属、あるいはこれらの金属の酸化物、窒化物、硫化物を、本発明の効果（低い水蒸気透過率、フレキシブル性、透明性）を阻害しない範囲で含むことができる。

無機膜（ＺＳＡ）は、厚みが比較的小さくとも水蒸気透過率を小さくすることができる。例えば、厚みが５０ｎｍ程度であっても、水蒸気透過率が５．０×１０^−３ｇ／ｍ^２／ｄａｙ未満の封止フィルムを得ることができる。

特に、樹脂フィルムとして環状オレフィン樹脂フィルムを用いた場合、環状オレフィン樹脂フィルムは、透湿性が比較的小さく、かつ表面が平滑であることから、環状オレフィン樹脂フィルムに厚みが５０ｎｍ程度の無機膜（ＺＳＡ）を積層することにより、水蒸気透過率が３．０×１０^−３ｇ／ｍ^２／ｄａｙ未満、さらには１．０×１０^−４ｇ／ｍ^２／ｄａｙ未満である封止フィルムを得ることができる。

封止フィルムの水蒸気透過率を小さくするという観点から、無機膜（ＺＳＡ）の厚みは、１０ｎｍ以上が好ましく、３０ｎｍ以上がより好ましく、５０ｎｍ以上が特に好ましい。一方、無機膜（ＺＳＡ）の厚みの上限は、封止フィルムのカールを抑制するという観点、高い透明性を得るという観点および良好なフレキシブル性を得るという観点から、２００ｎｍ以下が好ましく、１５０ｎｍ以下がより好ましく、１００ｎｍ以下が特に好ましい。

また、樹脂フィルムに無機膜（ＺＳＡ）を積層した構成において、高い透明性（高い全光線透過率）を得るという観点から、無機膜（ＺＳＡ）の厚みは、１０〜７０ｎｍの範囲、あるいは１２０〜１７０ｎｍの範囲が好ましい。無機膜（ＺＳＡ）は、可視光線の屈折率が１．７０前後であり、樹脂フィルムに無機膜（ＺＳＡ）を積層したときの透過率は、上記の２つの厚み範囲（１０〜７０ｎｍの範囲、および１２０〜１７０ｎｍの範囲）において比較的高くなる。

さらに、樹脂フィルムの厚みを５０μｍ未満にした場合、封止フィルムのカールを抑制し、かつ高い透明性を得るという観点から、無機膜（ＺＳＡ）の厚みは、１０〜７０ｎｍの範囲が好ましい。

［他の無機膜］
本発明の有機素子用封止フィルムは、無機膜（ＺＳＡ）と封止樹脂層との間に、他の無機膜を設けることができる。他の無機膜としては、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化錫、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化チタン、酸化ニオブおよび酸化インジウムからなる群より選択される少なくとも１つを含むことが好ましい。特に、他の無機膜としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化錫および酸化マグネシウムからなる群より選択される少なくとも１つを含むことが好ましい。但し、本発明における無機膜（ＺＳＡ）は、他の無機膜には含まれない。

上記したような他の無機膜を設けると、透明性、フレキシブル性およびカール性が低下することがあるので、他の無機膜の厚みは比較的小さくすることが好ましい。他の無機膜の厚みは、具体的には、７０ｎｍ以下が好ましく、６０ｎｍ以下がより好ましく、５０ｎｍ以下が特に好ましい。下限の厚みは５ｎｍ以上が好ましく、１０ｎｍ以上がより好ましく、２０ｎｍ以上が特に好ましい。

無機膜（ＺＳＡ）と他の無機膜とを積層する場合は、透明性、フレキシブル性およびカール性の観点から、無機膜の（ＺＳＡ）の厚みは、６０ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以下がより好ましく、４０ｎｍ以下がさらに好ましく、３０ｎｍ以下が特に好ましい。下限の厚みは１０ｎｍ以上が好ましい。

［封止樹脂層］
本発明における封止樹脂層は、少なくとも封止樹脂を含む層である。かかる封止樹脂としては、ゴム系ポリマー、ポリオレフィン系ポリマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、（メタ）アクリル系ポリマー、ポリエステル系ポリマーおよびシリコーン系ポリマーからなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂を含有することが好ましい。

上記封止樹脂の中でも、水蒸気透過率を小さくするという観点から、ゴム系ポリマー、ポリオレフィン系ポリマーおよびスチレン系熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂を含有することが好ましい。

ゴム系ポリマーは、天然ゴム又は合成ゴム等のゴム弾性を有するものである。例えば、天然ゴム、ブタジエン単独重合体（ブタジエンゴム）、クロロプレン単独重合体（クロロプレンゴム）、イソプレン単独重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体（ニトリルゴム）、エチレン−プロピレン−非共役ジエン三元共重合体、イソブチレン系重合体、またはこれらを変性したものが挙げられる。ゴム系ポリマーの中でも、イソブチレン系重合体が好ましい。

イソブチレン系重合体は、主鎖および／または側鎖に、イソブチレン由来の繰り返し単位を有する重合体をいう。イソブチレン由来の繰り返し単位の含有比率は、５０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましく、７０質量％以上が特に好ましい。上限の含有比率は９９質量％程度である。

イソブチレン系重合体としては、イソブチレン単独重合体（ポリイソブチレン）、イソブチレン−イソプレン共重合体（ブチルゴム）、イソブチレン−ｎブテン共重合体、イソブチレン−ブタジエン共重合体、およびこれらの重合体を臭素化または塩素化して得られるハロゲン化重合体などが挙げられる。これらの中でも、イソブチレン−イソプレン共重合体（ブチルゴム）が好ましい。

ゴム系ポリマーの数平均分子量（Ｍｎ）は、５万〜３００万の範囲が好ましく、１０万〜２００万の範囲がより好ましく、１５万〜１５０万の範囲が特に好ましい。ゴム系ポリマーの数平均分子量（Ｍｎ）が上記範囲内であることで、水蒸気透過率の小さい封止フィルムが得られる。

ゴム系ポリマーの数平均分子量（Ｍｎ）は、テトラヒドロフランを溶媒として用いてゲルパーミエーションクロマトグラフィーを行い、標準ポリスチレン換算値として求めることができる。

ポリオレフィン系ポリマーは、主鎖および／または側鎖に、オレフィン系モノマー由来の繰り返し単位を有する重合体であり、オレフィン系モノマー単独重合体や共重合体、あるいはこれらを変性したものが挙げられる。

かかるオレフィン系モノマーとしては、プロピレン、１−ブテン、４−メチル−１−ペンテン、３−メチル−１−ブテン、１−ヘキセン、１−オクテン等の炭素数３〜２０のα−オレフィン、あるいはシクロブテン、テトラシクロドデセン、ノルボルネン等の炭素数４〜２０の環状オレフィンが挙げられる。

スチレン系熱可塑性エラストマーは、スチレン由来の繰り返し単位を有する重合体もしくは該重合体を変性したものである。例えば、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体および該共重合体の水素添加物であるスチレン−エチレン−ブテン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体および該共重合体の水素添加物であるスチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−ブタジエン共重合体（スチレンブタジエンゴム）、スチレン−イソプレン共重合体、スチレン−イソブチレンジブロック共重合体、スチレン−イソブチレン−スチレントリブロック共重合体等が挙げられる。

（メタ）アクリル系ポリマーは、主鎖および／または側鎖に、（メタ）アクリル系モノマー由来の繰り返し単位を有する重合体である。例えば、（メタ）アクリル系モノマーの単独重合体もしくは共重合体、またはこれらを変性したものが挙げられる。ここで、「（メタ）アクリル」は、アクリルまたはメタクリルを意味する。

（メタ）アクリル系ポリマーにおける（メタ）アクリル系モノマー由来の繰り返し単位の含有比率は、５０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましく、７０以上が特に好ましい。上限の含有比率は９９質量％程度である。

（メタ）アクリル系モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等のアルキル基の炭素数が１〜２０の（メタ）アクリル酸エステル、あるいは（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸ヒドロキシメチル等の反応性官能基を有する（メタ）アクリル系モノマーが挙げられる。

ポリエステル系ポリマーは、多価カルボン酸とポリオールとの重縮合により得られる重合体またはこれを変性したものである。かかる多価カルボン酸としては、例えば、フタル酸、イソフタル酸、オルソフタル酸、コハク酸、アジピン酸、セバシン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、トリメリット酸等が挙げられる。ポリオールとしては、エチレングリコール、プロピレングリコール等の脂肪族アルコールや、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリエーテルポリオールが挙げられる。

シリコーン系ポリマーは、主鎖および／または側鎖に、（ポリ）シロキサン構造を有する重合体またはこれを変性したものである。かかるシリコーン系ポリマーとしては、例えば、ジメチルポリシロキサン、メチルフェニルポリシロキサン、メチルハイドロジェンポリシロキサン等が挙げられる。

封止樹脂層は、上述した封止樹脂を単独もしくは複数種組み合わせて用いることができる。封止樹脂層における封止樹脂の含有量は、封止樹脂層の固形分総量１００質量％に対して、２５〜９０質量％の範囲が好ましく、３０〜８０質量％の範囲がより好ましく、４０〜７０質量％の範囲が特に好ましい。

封止樹脂層は、さらに粘着付与樹脂を含有することが好ましい。かかる粘着付与樹脂としては、例えば、脂環族系石油樹脂、脂環族系水添石油樹脂、芳香族系石油樹脂、およびロジン系樹脂が挙げられる。これらの粘着付与樹脂の中でも脂環族系石油樹脂が好ましく、さらに脂環族系水添石油樹脂の中でも、水素添加テルペン系樹脂、水素添加エステル系樹脂、Ｃ５系石油樹脂の水素添加樹脂、Ｃ９系石油樹脂の水素添加樹脂が好ましい。

封止樹脂層における粘着付与樹脂の含有量は、封止樹脂層の固形分総量１００質量％に対して、５〜６０質量％の範囲が好ましく、１０〜５０質量％の範囲がより好ましく、１５〜４０質量％の範囲が特に好ましい。

封止樹脂と粘着付与樹脂との質量比（封止樹脂／粘着付与樹脂）は、２０／８０〜９５／５であることが好ましく、３０／７０〜９０／１０であることがより好ましい。

封止樹脂層は、架橋構造が形成されていてもよい。架橋構造が形成されることで、封止樹脂層は、十分な凝集力を有するものとなり、接着性により優れ、かつ、水蒸気透過率がより低いものとなる。

封止樹脂層中に架橋構造を形成する際は、接着剤等における公知の架橋構造形成方法を利用することができる。例えば、水酸基やカルボキシル基を有する封止樹脂を用いる場合、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤等の架橋剤を用いることで、架橋構造を形成することができる。

封止樹脂層は、さらに、エポキシ樹脂を含有することが好ましい。かかるエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、芳香族グリシジルアミン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン構造を有するエポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、ビスフェノールのジグリシジルエーテル化物、ナフタレンジオールのジグリシジルエーテル化物、フェノール類のグリシジルエーテル化物、アルコール類のジグリシジルエーテル化物等が挙げられる。

上記エポキシ樹脂の中でも、耐熱性を向上させるという観点から、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、芳香族グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく用いられる。

封止樹脂層におけるエポキシ樹脂の含有量は、封止樹脂層の固形分総量１００質量％に対して、０．１〜２０質量％の範囲が好ましく、１〜１５質量％の範囲がより好ましく、２〜１０質量％の範囲が特に好ましい。

エポキシ樹脂は、市販品を使用することができる。市販品としては、例えば、ジャパンエポキシレジン社製「８２８ＥＬ」、ＤＩＣ社製「ＨＰ４０３２」、「ＨＰ４０３２Ｄ］、「ＨＰ４７００」「ＨＰ７２００シリーズ」、東都化成社製「ＥＳＮ−４７５Ｖ」、「ＥＳＮ−１８５Ｖ」、ダイセル化学工業社製「ＰＢ−３６００」、日本化薬社製「ＮＣ３０００Ｈ」、「ＮＣ３０００Ｌ」、「ＮＣ３１００」、「ＮＣ３０００」、「ＮＣ３０００ＦＨ−７５Ｍ」、ジャパンエポキシレジン社製「ＹＸ４０００」、「ＹＸ８８００」などが挙げられる。これらは１種または２種以上組み合わせて使用することができる。

封止樹脂層は、さらに、無機充填材を含有することが好ましい。かかる無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウムなどが挙げられる。これらの中でも、耐透湿性向上の観点から、タルクが特に好ましく用いられる。

また、封止樹脂層は、さらに、吸湿性金属酸化物を含有することができる。ここで、「吸湿性金属酸化物」とは、水分を吸収する能力をもち、吸湿した水分と化学反応して水酸化物になる金属酸化物を意味する。具体的には、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化ストロンチウム、酸化アルミニウム、酸化バリウム等から選ばれる１種か、或いは、２種以上の混合物若しくは固溶物である。上記吸湿性金属酸化物の中でも、吸湿性が高い点、コスト、原料の安定性の点から、酸化カルシウム、酸化マグネシウムが好ましい。

また、封止樹脂層層は、さらに、紫外線吸収剤、酸化防止剤、帯電防止剤、可塑剤、充填剤、難燃剤、および防錆剤等を含有することができる。

封止樹脂層の厚みは、５〜１５０μｍの範囲が好ましく、１０〜１００μｍの範囲がより好ましく、２０〜８０μｍの範囲が特に好ましい。また、封止樹脂層は、水蒸気透過率が、４０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下であることが好ましく、３０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下であることがより好ましく、２０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下であることが特に好ましい。

封止樹脂層は、封止フィルムの無機膜（ＺＳＡ）の上に塗布して形成してもよいし、一旦離型フィルムに封止樹脂層を塗布した後、封止樹脂層の面と封止フィルムの無機膜（ＺＳＡ）の面とを貼合してもよい。

［有機素子用封止フィルム］
本発明の有機素子用封止フィルムは、樹脂フィルムの少なくとも一方の面に、無機膜（ＺＳＡ）および封止樹脂層をこの順に有する。無機膜（ＺＳＡ）および封止樹脂層は、樹脂フィルムの片面のみに設けられてもよいし、両面に設けられてもよいが、片面のみに設けられることが好ましい。

無機膜（ＺＳＡ）および封止樹脂層が樹脂フィルムの片面のみに設けられる態様においては、樹脂フィルムの無機膜（ＺＳＡ）と封止樹脂層が設けられた面とは反対面（以下、「裏面」ということがある）には、バックコート層を設けることができる。バックコート層の詳細は後述する。

また、本発明の有機素子用封止フィルムは、樹脂フィルムと無機膜（ＺＳＡ）との間に硬化樹脂層を設けることができる。硬化樹脂層の詳細は後述する。

本発明の有機素子用封止フィルムは、フレキシブル性が高いことが好ましい。上記フレキシブル性を評価する一つの指標として円筒形マンドレル法（ＪＩＳ Ｋ５６００−５−１：１９９９）を用いることができる。

円筒形マンドレル法は、直径２ｍｍ〜数十ｍｍの円筒マンドレル（円柱棒）に封止フィルムを巻き付けたときのクラック等の発生状況を観察し評価する方法である。具体的には、円筒形マンドレル法（ＪＩＳ Ｋ５６００−５−１：１９９９）に準拠し、封止フィルムを、無機膜（ＺＳＡ）側が外側となるように直径２ｍｍの円筒マンドレルに巻き付けたとき、その巻き付け部分の無機膜（ＺＳＡ）にクラックが発生しないことが好ましい。

本発明の有機素子用封止フィルムの水蒸気透過率は、９．０×１０^−３ｇ／ｍ^２／ｄａｙ未満であることが好ましく、５．０×１０^−３ｇ／ｍ^２／ｄａｙ未満であることがより好ましく、さらに３．０×１０^−３ｇ／ｍ^２／ｄａｙ未満が好ましく、特に１．０×１０^−３ｇ／ｍ^２／ｄａｙ未満であることが好ましい。

また、本発明の有機素子用封止フィルムは、透明性が高いことが好ましい。具体的には、本発明の有機素子用封止フィルムは、全光線透過率が８７％以上であることが好ましく、８８％以上であることがより好ましく、８９％以上であることが特に好ましい。

［硬化樹脂層］
本発明の有機素子用封止フィルムは、樹脂フィルムと無機膜（ＺＳＡ）との間に、硬化樹脂層を設けることができる。

本発明の有機素子用封止フィルムはフレキシブル性が高いことが好ましく、この観点から、樹脂フィルムと無機膜（ＺＳＡ）との間に硬化樹脂層が設けられた封止フィルムについても、フレキシブル性が良好であることが好ましい。具体的には、前述したように、円筒形マンドレル法（ＪＩＳ Ｋ５６００−５−１：１９９９）に準拠し、封止フィルムを、硬化樹脂層および無機膜（ＺＳＡ）が設けられた面が外側となるように直径２ｍｍの円筒マンドレルに巻き付けたとき、その巻き付け部分の硬化樹脂層および無機膜（ＺＳＡ）にクラックが発生しないことが好ましい。

上記観点から、硬化樹脂層は適度な硬度を有していることが好ましい。硬化樹脂層の硬度は、ナノインデンテーション法により測定される押し込み硬さ（以下、「押し込み硬さ」と略記することがある）で表すことができる。

硬化樹脂層の押し込み硬さは、２００〜６００Ｎ／ｍｍ^２の範囲が好ましく、２５０〜５５０Ｎ／ｍｍ^２の範囲がより好ましく、特に３００〜５００Ｎ／ｍｍ^２の範囲が好ましい。

このような硬化樹脂層は、架橋密度を制御することによって調整することができる。例えば、硬化樹脂層が活性エネルギー線硬化樹脂層である場合、構成する樹脂の重合前のモノマーやオリゴマーの官能基数や分子量を制御することによって調整することができる。

本発明における硬化樹脂層は、熱硬化樹脂層あるいは活性エネルギー線硬化樹脂層であることが好ましく、特に活性エネルギー線硬化樹脂層であることがより好ましい。

熱硬化樹脂層は、少なくとも熱硬化樹脂を含有する被膜を加熱することによって硬化せしめられた硬化樹脂層である。かかる熱硬化樹脂としては、例えばアクリル系樹脂、ポリビニル樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリイミド系樹脂等があげられる。これらの樹脂の中でも、ポリウレタン樹脂が好ましく用いられる。

また、熱硬化樹脂層は、上記樹脂を架橋する架橋剤（例えば、メラミン系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤）を含有することができる。

本発明における硬化樹脂層は活性エネルギー線硬化樹脂層であることが好ましい。以下、硬化樹脂層が活性エネルギー線硬化樹脂層である態様について詳細に説明する。

活性エネルギー線硬化樹脂層は、少なくとも活性エネルギー線硬化樹脂を含有する塗布膜に紫外線や電子線を照射することによって硬化せしめられた硬化樹脂層である。活性エネルギー線硬化樹脂は、活性エネルギー線によって重合されて硬化する樹脂を意味する。かかる活性エネルギー線硬化樹脂としては、分子中に少なくとも１個のエチレン性不飽和基を有する化合物（モノマーやオリゴマー）が挙げられる。ここで、エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アリル基、ビニル基等が挙げられる。かかる化合物としては、例えば、ウレタン系化合物、アクリル系化合物、エポキシ系化合物、ポリエーテル系化合物、シリコーン系化合物などが挙げられる。これらの中でも、ウレタン系化合物が好ましい。さらに、ウレタン系化合物としては、ウレタン（メタ）アクリレートあるいはウレタン（メタ）アクリレートオリゴマーが好ましく用いられる。

尚、本発明において、「・・・（メタ）アクリレート」なる表現は、「・・・アクリレート」と「・・・メタクリレート」との２つの化合物を含む。

ウレタン系化合物（ウレタン（メタ）アクリレートあるいはウレタン（メタ）アクリレートオリゴマー）としては、例えば、以下の化合物が挙げられる。

ａ）１分子中に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネートと、１〜５官能のポリカプロラクトン変性アルキル（メタ）アクリレートとを反応させて得られる化合物、
ｂ）１分子中に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネートと、１〜５官能のポリアルキレングリコール（メタ）アクリレートとを反応させて得られる化合物、
ｃ）１分子中に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネートと、ポリカーボネートジオールおよび１〜５官能のヒドロキシ変性（メタ）アクリレートとを反応させて得られる化合物、
ｄ）１分子中に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネートと、１〜５官能のヒドロキシ変性エポキシ（メタ）アクリレートとを反応させて得られる化合物。

ｅ）ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートヘキサメチレンジイソシアネートウレタンオリゴマー、
ｆ）ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートトルエンジイソシアネートウレタンオリゴマー、
ｇ）ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートイソホロンジイソシアネートウレタンオリゴマー、
などが挙げられる。

上記ポリイソシアネートとしては、トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、メチレンジフェニルジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、α，α，α’，α’−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香環を有する脂肪族ジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、プロピレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート、シクロヘキサンジイソシアネート、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、イソプロピリデンジシクロヘキシルジイソシアネート等の脂環族ジイソシアネート等が挙げられる。

また、ウレタン系化合物（ウレタン（メタ）アクリレートあるいはウレタン（メタ）アクリレートオリゴマー）またはウレタン系化合物を含む組成物は、市販されており用いることができる。例えば、共栄社化学社製のＡＴ−６００、ＵＡ−１０１ｌ、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６ｌ、ＵＦ−８００１、ＵＦ−８００３等、日本合成化学社製のＵＶ７５５０Ｂ、ＵＶ−７６５０Ｂ、ＵＶ−６３００Ｂ等、新中村化学社製のＵ−４ＨＡ、Ｕ−６ＨＡ、ＵＡ−１００Ｈ、Ｕ−６ＬＰＡ、Ｕ−１５ＨＡ、ＵＡ−３２Ｐ、Ｕ−３２４Ａ、Ｕ−２ＰＰＡ、ＵＡ−ＮＤＰ等、ダイセルユーシービー社製のＥｂｅｃｒｙｌ−２７０、Ｅｂｅｃｒｙｌ−２８４、Ｅｂｅｃｒｙｌ−２６４、Ｅｂｅｃｒｙｌ−９２６０、Ｅｂｅｃｒｙｌ−１２９０、Ｅｂｅｃｒｙｌ−１２９０Ｋ、Ｅｂｅｃｒｙｌ−５１２９等、根上工業社製のＵＮ−３２２０ＨＡ、ＵＮ−３２２０ＨＢ、ＵＮ−３２２０ＨＣ、ＵＮ−３２２０ＨＳ等、三菱レイヨン製のＲＱシリーズ、荒川化学工業製のビームセットシリーズ、大日精化工業（株）製のセイカビームシリーズ、アイカ工業（株）製のアイカアイトロンシリーズ、ＤＩＣ（株）製のユニディックシリーズ、大成ファインケミカル（株）の８ＫＸシリーズ等が挙げられる。

上記したウレタン（メタ）アクリレートあるいはウレタン（メタ）アクリレートオリゴマーの中でも、硬化樹脂層のフレキシブル性を向上させるという観点から、一分子中における官能基（エチレン性不飽和基）の数は、５個以下が好ましく、４個以下がより好ましく、３個以下が特に好ましい。下限の官能基数は１個以上が好ましく、２個以上がより好ましい。

ウレタン（メタ）アクリレートあるいはウレタン（メタ）アクリレートオリゴマーの官能基数が５個を超えるとフレキシブル性が低下することがある。

硬化樹脂層は、上記したウレタン系化合物に加えて、さらにウレタン系化合物以外の化合物（分子中にエチレン性不飽和基を２〜８個有する化合物（モノマー）を含有することができる。ウレタン系化合物以外の化合物（モノマー）の含有量は、ウレタン系化合物１００質量部に対して１〜３０質量部の範囲が好ましく、３〜２０質量部の範囲が好ましく、５〜１５質量部の範囲が特に好ましい。

ウレタン系化合物以外の化合物（モノマー）としては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、グリセリンプロポキシトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。

活性エネルギー線硬化樹脂層は、さらに光重合開始剤を含むことが好ましい。かかる光重合開始剤の具体例としては、例えばアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、４，４’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、ミヒラーケトン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、メチルベンゾイルフォルメート、ｐ−イソプロピル−α−ヒドロキシイソブチルフェノン、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどのカルボニル化合物、テトラメチルチウラムモノスルフィド、テトラメチルチウラムジスルフィド、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントンなどの硫黄化合物などを用いることができる。これらの光重合開始剤は単独で使用してもよいし、２種以上組み合せて用いてもよい。

また、光重合開始剤は一般に市販されており、それらを使用することができる。例えば、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製のイルガキュア１８４、イルガキュア９０７、イルガキュア３７９、イルガキュア８１９、イルガキュア１２７、イルガキュア５００、イルガキュア７５４、イルガキュア２５０、イルガキュア１８００、イルガキュア１８７０、イルガキュアＯＸＥ０１、ＤＡＲＯＣＵＲ ＴＰＯ、ＤＡＲＯＣＵＲ１１７３等、日本シイベルヘグナー（株）製のＳｐｅｅｄｃｕｒｅＭＢＢ、ＳｐｅｅｄｃｕｒｅＰＢＺ、ＳｐｅｅｄｃｕｒｅＩＴＸ、ＳｐｅｅｄｃｕｒｅＣＴＸ、ＳｐｅｅｄｃｕｒｅＥＤＢ、Ｅｓａｃｕｒｅ ＯＮＥ、Ｅｓａｃｕｒｅ ＫＩＰ１５０、Ｅｓａｃｕｒｅ ＫＴＯ４６等、日本化薬（株）製のＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ−Ｓ、ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＣＴＸ、ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＢＭＳ、ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＭＢＩ等が挙げられる。

上記光重合開始剤の含有量は、硬化樹脂層（活性エネルギー線硬化樹脂層）の固形分総量１００質量％に対して０．１〜１０質量％の範囲が好ましく、０．５〜８質量％の範囲がより好ましい。

活性エネルギー線硬化樹脂層を硬化させるための活性エネルギー線としては、紫外線、可視光線、赤外線、電子線、線、β線、γ線などが挙げられる。これらの活性エネルギー線の中でも、紫外線および電子線が好ましく、特に紫外線が好ましく用いられる。

紫外線を照射するための光源としては、特に限定されないが、例えば、紫外線蛍光灯、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ等を用いることができる。また、ＡｒＦエキシマレーザ、ＫｒＦエキシマレーザ、エキシマランプ又はシンクロトロン放射光等も用いることができる。このうち、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、キセノンアーク、メタルハライドランプを好ましく用いられる。また、紫外線を照射するときに、低酸素濃度下の雰囲気下、例えば、酸素濃度が５００ｐｐｍ以下の雰囲気下で照射を行なうと、効率よく硬化させることができるので好ましい。

紫外線の照射光量は、５０ｍＪ／ｃｍ^２以上が好ましく、１００ｍＪ／ｃｍ^２以上がより好ましく、特に１５０ｍＪ／ｃｍ^２以上が好ましい。上限は２０００ｍＪ／ｃｍ^２以下が好ましく、１０００ｍＪ／ｃｍ^２以下がより好ましい。

硬化樹脂層は、樹脂フィルム上に、ウェットコーティング法により塗布されることが好ましく、例えばリバースコート法、スプレーコート法、バーコート法、グラビアコート法、ロッドコート法、ダイコート法、スピンコート法、エクストルージョンコート法等の塗布方法を用いることができる。

硬化樹脂層の塗布に先立ち、樹脂フィルムの硬化樹脂層塗布面に、コロナ処理、プラズマ処理、真空紫外線処理等の親水化処理を施すことが好ましい。

硬化樹脂層の厚みは、良好なフレキシブル性を得るという観点から、４μｍ未満が好ましく、３μｍ未満がより好ましく、２μｍ未満が特に好ましい。硬化樹脂層の厚みが４μｍ以上となると、封止フィルムのフレキシブル性が低下することがある。下限の厚みは、０．３μｍ以上が好ましく、０．５μｍ以上がより好ましく、０．７μｍ以上が特に好ましい。

硬化樹脂層の表面は平滑であることが好ましい。硬化樹脂層上に無機膜（ＺＳＡ）を積層するとき、硬化樹脂層の表面平滑性が低いと、無機膜（ＺＳＡ）にピンホールやクラックが発生し、水蒸気透過率が悪化することがある。

硬化樹脂層の表面平滑性は、例えば、原子間力顕微鏡で測定される表面粗さ（Ｒａ）で表すことができる。硬化樹脂層表面の原子間力顕微鏡で測定される表面粗さ（Ｒａ）は、２．０ｎｍ未満が好ましく、１．５ｎｍ以下がより好ましく、１．０ｎｍ以下が特に好ましい。下限は特に限定されないが、０．１ｎｍ程度である。

［バックコート層］
封止フィルムの無機膜（ＺＳＡ）が設けられた面とは反対面（裏面）には、バックコート層を設けることができる。バックコート層を設けることにより、封止フィルムの耐擦傷性が向上する。この観点から、バックコート層の鉛筆硬度（ＪＩＳ Ｋ５６００−５−４（１９９９）で規定される鉛筆硬度）は、Ｆ以上であることが好ましく、Ｈ以上であることがより好ましい。上限の鉛筆硬度は高くなり過ぎると後述するフレキシブル性が悪化するので、３Ｈ以下が好ましく、２Ｈ以下が特に好ましい。

バックコート層は、熱硬化樹脂層または活性エネルギー線硬化樹脂層であることが好ましく、特に活性エネルギー線硬化樹脂層であることが好ましい。活性エネルギー線硬化樹脂層としては、紫外線硬化樹脂層が好ましい。

また、バックコート層は、粒子を含有することが好ましく、さらに、バックコート層表面に粒子による微小突起を有することが好ましい。これによって、封止フィルムの滑り性や耐ブロッキング性が向上する。

樹脂フィルムとして環状オレフィン樹脂フィルムを用いた場合、製造工程におけるロール搬送性や巻き取り性を円滑にするために、環状オレフィン樹脂フィルムの一方の面に保護フィルムが積層されていることが望ましいが、その反面、生産性やコスト面で不利となる場合がある。そこで、上記したように、環状オレフィン樹脂フィルムの裏面に粒子を含有するバックコート層を設けることにより、封止フィルムの生産工程や加工工程において、封止フィルムの滑り性が向上し、保護フィルムを積層しなくともロール搬送性や巻き取り性が良好となる。

封止フィルムに、高い透明性を確保しながら滑り性を付与するという観点から、粒子を含有するバックコート層を設ける場合は、バックコート層の厚みより平均粒子径が十分に小さい粒子を含有し、バックコート層表面に該粒子による突起が形成されていることが好ましい。例えば、バックコート層に含有される粒子の平均粒子径（ｒ：μｍ）とバックコート層の厚み（ｄ：μｍ）との比率（ｒ／ｄ）は、０．７以下が好ましく、０．５以下がより好ましく、０．３以下が特に好ましい。下限の比率は、小さくなり過ぎると良好な滑り性が得られないことから、０．０１以上が好ましく、０．０２以上がより好ましく、０．０３以上が特に好ましい。

バックコート層が積層された封止フィルムについても、高いフレキシブル性を確保するという観点から、円筒形マンドレル法（ＪＩＳ Ｋ５６００−５−１：１９９９）に準拠し、封止フィルムを、バックコート層側の面が外側となるように直径２ｍｍの円筒マンドレルに巻き付けたとき（封止フィルムの無機膜（ＺＳＡ）側が円筒形マンドレルと接するように巻き付けたとき）、その巻き付け部分のバックコート層にクラックが発生しないことが好ましい。つまり、本発明の有機素子用封止フィルムは、どちらの面を外側にして折り曲げてもクラックが発生しないことが好ましい。

上記したように、バックコート層に高いフレキシブル性を付与するという観点から、バックコート層のナノインデンテーション法により測定される押し込み硬さは、２００〜６００Ｎ／ｍｍ^２の範囲が好ましく、２５０〜５５０Ｎ／ｍｍ^２の範囲がより好ましく、特に３００〜５００Ｎ／ｍｍ^２の範囲が好ましい。

上記観点から、バックコート層は、前述の硬化樹脂層と同様の樹脂組成物を用いることが好ましい。

バックコート層の厚みは、良好なフレキシブル性を確保するという観点および封止フィルムのカールを抑制するという観点から、４μｍ未満が好ましく、３μｍ未満がより好ましく、２μｍ未満が特に好ましい。下限の厚みは、良好な滑り性を付与するという観点から、０．３μｍ以上が好ましく、０．５μｍ以上がより好ましく、０．７μｍ以上が特に好ましい。

バックコート層に含有させる粒子の平均粒子径（ｒ）は０．０２〜０．５μｍの範囲が好ましく、０．０３〜０．４μｍの範囲がより好ましく、０．０４〜０．２μｍの範囲が特に好ましい。

バックコート層に含有させる粒子の平均粒子径（ｒ）が０．０２μｍ未満であると良好な滑り性が得られなくなることがあり、一方、平均粒子径（ｒ）が０．５μｍより大きくなるとヘイズ値が大きくなり透明性が低下することがある。

バックコート層に含有させる粒子の含有量は、高い透明性を確保しながら滑り性を向上させるという観点から、バックコート層の固形分総量１００質量％に対して２〜４０質量％の範囲が好ましく、３〜３０質量％の範囲がより好ましく、５〜２０質量％の範囲が特に好ましい。

バックコート層に含有させる粒子としては、有機粒子や無機粒子が挙げられる。

有機粒子を構成する樹脂としては、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、あるいは上記樹脂の合成に用いられる２種以上のモノマーの共重合樹脂が挙げられる。これらの中でもアクリル系樹脂が好ましく用いられる。

アクリル系樹脂としては、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、アクリルモノマーあるいはメタクリルモノマーと他のモノマー、例えば、スチレン、ウレタンアクリレート、ウレタンメタクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエステルメタクリレート、シリコーンアクリレート、シリコーンメタクリレート等との共重合樹脂が挙げられる。

これらの有機粒子は乳化重合法により合成されることが好ましく、乳化重合法で合成されることによって平均粒子径が０．５μｍ以下の有機粒子を得ることができる。

無機粒子としては、シリカ粒子、酸化チタン粒子、酸化アルミニウム粒子、酸化ジルコニウム粒子、炭酸カルシウム粒子、ゼオライト粒子などの無機粒子が挙げられる。これらの中でもシリカ粒子が好ましく、特にコロイダルシリカ粒子や気相法シリカ（乾式シリカやヒュームドシリカとも言う）粒子が好ましい。

無機粒子、例えば、シリカ粒子は、有機化合物で変性（表面処理）することが好ましい。無機粒子を有機化合物で表面処理することにより、バックコート層の表面側（樹脂フィルムとは反対側）に粒子を多く局在（浮上）させることができる。これによって、比較的少ない粒子含有量で高い滑り性を付与することができる。

無機粒子の変性（表面処理）に使用する有機化合物としては、下記の一般式（１）〜（３）で表される有機化合物が挙げられ、これらの有機化合物を単独もしくは組み合わせて用いることができる。
Ｃ_ｎＦ_２ｎ＋１−（ＣＨ_２）_ｍ−Ｓｉ（Ｑ）_３ ・・・・一般式（１）
（一般式（１）において、ｎは１〜１０の整数、ｍは１〜５の整数を表す。Ｑは炭素数１〜５のアルコキシ基またはハロゲン原子を表す。）
Ｂ−Ｒ^４−ＳｉＲ^５ _ｎ（ＯＲ^６）_３−ｎ ・・・・一般式（２）
Ｄ−Ｒ^７−Ｒｆ^２ ・・・・一般式（３）
（一般式（２）および（３）において、ＢおよびＤはそれぞれ独立に反応性部位を表し、Ｒ^４およびＲ^７はそれぞれ独立に炭素数１から３のアルキル基、あるいは前記アルキル基から導出されるエステル構造を表し、Ｒ^５およびＲ^６はそれぞれ独立に水素あるいは炭素数が１から４のアルキル基を表し、Ｒｆ^２はフルオロアルキル基を表し、ｎは０から２の整数を表す。）。

一般式（１）の化合物として、具体的には下記の化合物を例示することができる。
Ｃ_４Ｆ_９ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３
Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３
Ｃ_８Ｆ_１７ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３
Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３
Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３
Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３
Ｃ_８Ｆ_１７ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３
Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_３
Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２ＳｉＣｌ_３
Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２ＳｉＢｒ_３
Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＳｉＣｌ_３
Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）Ｃｌ_２。

一般式（２）の具体例としては、アクリロキシエチルトリメトキシシラン、アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、アクリロキシブチルトリメトキシシラン、アクリロキシペンチルトリメトキシシラン、アクリロキシヘキシルトリメトキシシラン、アクリロキシヘプチルトリメトキシシラン、メタクリロキシエチルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、メタクリロキシブチルトリメトキシシラン、メタクリロキシヘキシルトリメトキシシラン、メタクリロキシヘプチルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン及びこれら化合物中のメトキシ基が他のアルコキシル基または水酸基に置換された化合物を含むものなどが挙げられる。

一般式（３）の具体例としては、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレート、２，２，３，３，３−ペンタフロオロプロピルアクリレート、２−パーフルオロブチルエチルアクリレート、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−パーフルオロヘキシルエチルアクリレート、３−パーフルオロヘキシル−２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−パーフルオロオクチルエチルアクリレート、３−パーフルオロオクチル−２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−パーフルオロデシルエチルアクリレート、２−パーフルオロ−３−メチルブチルエチルアクリレート、３−パーフルオロ−３−メトキシブチル−２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−パーフルオロ−５−メチルヘキシルエチルアクリレート、３−パーフルオロ−５−メチルヘキシル−２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−パーフルオロ−７−メチルオクチル−２−ヒドロキシプロピルアクリレート、テトラフルオロプロピルアクリレート、オクタフルオロペンチルアクリレート、ドデカフルオロヘプチルアクリレート、ヘキサデカフルオロノニルアクリレート、ヘキサフルオロブチルアクリレート、２，２，２−トリフルオロエチルメタクリレート、２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロピルメタクリレート、２−パーフルオロブチルエチルメタクリレート、３−パーフルオロブチル−２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−パーフルオロオクチルエチルメタクリレート、３−パーフルオロオクチル−２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−パーフルオロデシルエチルメタクリレート、２−パーフルオロ−３−メチルブチルエチルメタクリレート、３−パーフルオロ−３−メチルブチル−２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−パーフルオロ−５−メチルヘキシルエチルメタクリレート、３−パーフルオロ−５−メチルヘキシル−２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−パーフルオロ−７−メチルオクチルエチルメタクリレート、３−パーフルオロ−７−メチルオクチルエチルメタクリレート、テトラフルオロプロピルメタクリレート、オクタフルオロペンチルメタクリレート、オクタフルオロペンチルメタクリレート、ドデカフルオロヘプチルメタクリレート、ヘキサデカフルオロノニルメタクリレート、１−トリフルオロメチルトリフルオロエチルメタクリレート、ヘキサフルオロブチルメタクリレートなどが挙げられる。

バックコート層が高い透明性を確保しながら滑り性を向上させるという観点から、バックコート層表面の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で測定される表面粗さ（Ｒａ）は、２．０ｎｍ以上１０．０ｎｍ以下の範囲であることが好ましい。バックコート層の表面粗さ（Ｒａ）が２．０ｎｍ未満となると、滑り性が低下することがある。また、表面粗さ（Ｒａ）が１０．０ｎｍを超えると、透明性が低下することがある。上記観点から、さらに、バックコート層表面の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で測定される表面粗さ（Ｒａ）は、２．５ｎｍ以上７．０ｎｍ以下の範囲であることがより好ましく、３．０ｎｍ以上６．０ｎｍ以下の範囲であることが特に好ましい。

［封止フィルムの適用例］
本発明の有機素子用封止フィルムは、有機ＥＬ素子や有機光電変換素子などの有機素子に適用される。本発明の有機素子用封止フィルムは、特に、有機ＥＬ素子に好適である。

また、本発明は、本発明の有機素子用封止フィルムによって封止された有機素子を提供する。本発明の有機素子用封止フィルムの封止樹脂層側を有機素子に貼合することにより、封止フィルムで封止された有機素子を得ることができる。

以下、本発明を実施例に基づき、具体的に説明する。ただし、本発明は下記実施例に限定されるものではない。
［評価方法］
まず、各実施例および比較例における評価方法を説明する。評価ｎ数は、特に断らない限り、ｎ＝５とし算術平均値を求めた。

（１）封止フィルムのフレキシブル性（Ａ）の評価
円筒形マンドレル法（ＪＩＳ Ｋ５６００−５−１：１９９９）に準拠して、直径２ｍｍの円筒形マンドレルに、封止フィルムの無機膜（ＺＳＡ）側の面が外側になるように巻き付け、その巻き付け部分の無機膜（ＺＳＡ）あるいは硬化樹層にクラックが生じるか否かを目視で観察し、以下の基準で評価した。
○：クラックが確認できない。
×：クラックが確認される。

（２）封止フィルムの反対面のフレキシブル性（Ｂ）の評価
上記（１）と同様にして評価した。但し、直径２ｍｍの円筒形マンドレルに、封止フィルムの無機膜（ＺＳＡ）とは反対面（バックコート層が設けられている場合はバックコート層）が外側になるように巻き付け、反対面（バックコート層）にクラックが発生しているかどうかを評価した。

（３）封止フィルムの水蒸気透過率の測定
温度４０℃、湿度９０％ＲＨ、測定面積５０ｃｍ^２の条件で、英国、テクノロックス（Ｔｅｃｈｎｏｌｏｘ）社製の水蒸気透過率測定装置（機種名：ＤＥＬＴＡＰＥＲＭ（登録商標） ）を使用して測定した。サンプル数は１水準当たり２検体とし、測定回数は各検体について５回とし、得られた１０点の算術平均値を水蒸気透過率（ｇ／ｍ^２／ｄａｙ）とした。尚、離型フィルムが積層されている場合は、離型フィルムを剥離して測定した。

（４）無機膜（ＺＳＡ）の組成分析
無機膜（ＺＳＡ）の組成分析は、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ法）により行った。すなわち、アルゴンイオンを用いたスパッタエッチングにより、最表層を５ｎｍ程度エッチングして除去した後、各元素の含有比率を測定した。ＸＰＳ法の測定条件は下記の通りである。
・装置 ：ＥＳＣＡ ５８００（アルバックファイ社製）
・励起Ｘ線 ：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｃ ＡｌＫα
・Ｘ線出力 ：３００Ｗ
・Ｘ線径 ：８００μｍ
・光電子脱出角度 ：４５°
・Ａｒイオンエッチング ：２．０ｋＶ、１０ｍＰａ。

（５）樹脂フィルムのリターデーション（Ｒｅ５５０）の測定
樹脂フィルムの波長５５０ｎｍに光に対する面内方向のリターデーション（Ｒｅ５５０）について、王子計測器社製複屈折計ＫＯＢＲＡ−ＷＲを用いて、平行ニコル回転法により測定した。

（６）全光線透過率
封止フィルムの全光線透過率を、ＪＩＳ Ｋ７３６１（１９９７）に基づき、濁度計ＮＤＨ２０００（日本電色工業（株）製）を用いて測定した。尚、離型フィルムが積層されている場合は、離型フィルムを剥離して測定した。

（７）ナノインデンテーション法による押し込み硬さの測定
硬化樹脂層もしくはバックコート層が積層されたフィルムについて、硬化樹脂層の面およびバックコート層の面の押し込み硬さを、（株）エリオニクス製のナノインデンター「ＥＮＴ−２１００」を用いて測定した。

測定に際し、フィルムの測定面（硬化樹脂層面もしくはバックコート層面）とは反対面を、接着剤（東亞合成（株）製「“アロンアルファ”（登録商標）」を介して専用のサンプル固定台に固定し、硬化樹脂層あるいはバックコート層の押し込み硬さ（Ｈ_ＩＴ（Ｎ／ｍｍ^２））を、稜間角１１５°の三角錐ダイヤモンド圧子（Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ圧子）を用いて下記条件にて測定した。測定データは「ＥＮＴ−２１００」の専用解析ソフト（ｖｅｒｓｉｏｎ ６．１８）により処理した。
＜測定条件＞
・測定モード：負荷−除荷試験
・最大荷重：１００ｍＮ
・最大荷重に達した時の保持時間：１秒
・荷重速度、除荷速度：１０ｍＮ／ｓｅｃ
・押し込み深さ：膜厚の１／１０。

（８）各層の厚み
封止フィルムの断面観察用サンプルをマイクロサンプリングシステム（日立製ＦＢ−２０００Ａ）を使用してＦＩＢ法により（具体的には「高分子表面加工学」（岩森暁著）ｐ．１１８〜１１９に記載の方法に基づいて）作製した。透過型電子顕微鏡（日立製Ｈ−９０００ＵＨＲII）により、加速電圧３００ｋＶとして、断面観察用サンプルの断面を観察し、無機膜（ＺＳＡ）、封止樹脂層、他の無機膜、硬化樹脂層、バックコート層の厚みを測定した。

（９）バックコート層に含有される粒子の平均粒子径の測定
バックコート層の断面をＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）で観察（約１万〜３０万倍）し、その断面写真の幅（バックコート層の厚み方向に直交する長さ）１μｍに存在する全ての粒子の最大長さを計測し、それらを算術平均した値を粒子の平均粒子径とした。

（１０）原子間力顕微鏡で測定される表面粗さ（Ｒａ）の測定
硬化樹脂層およびバックコート層の表面粗さ（Ｒａ）を、日立ハイテクサイエンス製の原子間力顕微鏡「ＡＦＭ５１００Ｎ」を用い、下記条件による測定した。
・走査モード：ＤＦＭ
・走査範囲：５μｍ×５μｍ
・データ数：２５６×２５６
・測定環境：２５℃、大気中。

（１１）バックコート層の鉛筆硬度の測定
鉛筆硬度試験機ＨＥＩＤＯＮ−１４（新東科学（株））を用いて、ＪＩＳ Ｋ５６００−５−４（１９９９）に従って測定した。

［実施例１］
厚みが５０μｍの環状オレフィン樹脂フィルム（日本ゼオン（株）の「ＺｅｏｎｏｒＦｉｌｍ」（登録商標）ＺＦ１４−０５０：リターデーションＲｅ５５０＝３ｎｍ）の一方の面に、下記の無機膜（ＺＳＡ）を積層した。無機膜（ＺＳＡ）の厚みは１３０ｎｍとなるように調整した。

＜無機膜（ＺＳＡ）の積層＞
図１に示す構造の巻き取り式のスパッタリング装置を使用し、酸化亜鉛と二酸化ケイ素と酸化アルミニウムで形成された混合焼結材であるスパッタターゲットをスパッタ電極１２に設置してアルゴンガスおよび酸素ガスによるスパッタリングを実施し、樹脂フィルム４の一方の面上に無機膜（ＺＳＡ）を積層した。

具体的な操作は以下の通りである。まず、スパッタ電極１２に酸化亜鉛／二酸化ケイ素／酸化アルミニウムの組成質量比が７７／２０／３で焼結されたスパッタターゲットを設置した巻き取り式スパッタ装置１の巻き取り室６の中で、巻き出し軸７に環状ポリオレフィン樹脂フィルムの無機膜（ＺＳＡ）を設ける側の面がスパッタ電極１２に対向するようにセットし、巻き出し、巻き出し側ガイドロール８、９、１０を介して、クーリングドラム１１に通した。減圧度２×１０^−１Ｐａとなるように酸素ガス分圧１０％としてアルゴンガスおよび酸素ガスを導入し、直流電源により投入電力４０００Ｗを印加することにより、アルゴン・酸素ガスプラズマを発生させ、無機膜を形成した。厚みは、フィルム搬送速度により調整した。その後、巻き取り側ガイドロール１３、１４、１５を介して巻き取り軸１６に巻き取った。

この無機膜（ＺＳＡ）の組成は、Ｚｎ原子濃度が２７．５ａｔｏｍ％、Ｓｉ原子濃度が１３．１ａｔｏｍ％、Ａｌ原子濃度が２．３ａｔｏｍ％、Ｏ原子濃度が５７．１ａｔｏｍ％であった。

＜封止樹脂層の形成＞
厚みが３８μｍの離型フィルム（東レフィルム加工（株）の「セラピール」（登録商標）ＳＹ０１）上に、下記の封止樹脂層用粘着組成物ａ１をバーコーターで、乾燥厚みが３０μｍとなるように塗布し、１１０℃で乾燥して封止樹脂層を形成した。

次に、上記で環状オレフィン樹脂フィルムに積層された無機膜（ＺＳＡ）の面と、離型フィルムに形成された封止樹脂層とが向き合うように貼合して、封止フィルムを作製した。

＜封止樹脂層用粘着組成物ａ１＞
封止樹脂としてポリイソブチレン樹脂（ＢＡＳＦ社製の「オパノールＢ１００」）６０質量部と、粘着付与樹脂として脂環族系水添石油樹脂（エクソン・モービル社製の「エスコレッツ５３４０」）４０質量部とをトルエンに溶解して１５質量％の樹脂溶液を調製した。

［実施例２］
厚みが２３μｍの環状オレフィン樹脂フィルム（日本ゼオン（株）の「ＺｅｏｎｏｒＦｉｌｍ」（登録商標）ＺＦ１４−０２３：リターデーションＲｅ５５０＝３ｎｍ）に変更し、かつ無機膜（ＺＳＡ）の厚みを５０ｎｍに変更する以外は、実施例１と同様にして封止フィルムを作製した。

［実施例３］
下記要領で、位相差機能（λ／４位相差機能）を有する封止フィルムを作製した。すなわち、厚みが２８μｍ、リターデーションＲｅ５５０が１４０ｎｍである環状オレフィン樹脂フィルム（日本ゼオン（株）の「ＺｅｏｎｏｒＦｉｌｍ」（登録商標）ＺＭ１４−１４０）の一方の面に、実施例１と同様にして厚みが５０ｎｍの無機膜（ＺＳＡ）積層し、実施例１と同様にして封止樹脂層を積層して封止フィルムを作製した。

［実施例４］
下記の封止樹脂層に変更する以外は、実施例２と同様にして、封止フィルムを作製した。

＜封止樹脂層＞
下記の封止樹脂層用粘着組成物ａ２を、離型フィルム（東レフィルム加工（株）の「セラピール」（登録商標）ＳＹ）上にバーコーターで、乾燥厚みが３０μｍとなるように塗布し、１１０℃で乾燥して封止樹脂層を形成した。

＜封止樹脂層用粘着組成物ａ２＞
ポリイソブチレン樹脂（ＢＡＳＦ社製の「オパノールＢ５０」）１００質量部、ポリブテン樹脂（新日本石油社製の「日石ポリブテン グレードＨＶ−１９００」）３０質量部、環状オレフィン系重合体（イーストマンケミカル社製の「Ｅａｓｔｏｔａｃ Ｈ−１００Ｌ Ｒｅｓｉｎ」）５０質量部を、トルエンに溶解し、固形分濃度約２５質量％の粘着組成物を調製した。

［実施例５］
下記の封止樹脂層に変更する以外は、実施例２と同様にして、封止フィルムを作製した。

＜封止樹脂層＞
下記の封止樹脂層用粘着組成物ａ３を、離型フィルム（東レフィルム加工（株）の「セラピール」（登録商標）ＳＹ）上にバーコーターで、乾燥厚みが３０μｍとなるように塗布し、８０℃で３０分間乾燥し、１２０℃で３０分間加熱硬化させることにより、封止樹脂層を形成した。

＜封止樹脂層用粘着組成物ａ３＞
ポリイソブチレン樹脂（ＢＡＳＦ社製の「オパノールＢ１００」）４０質量部、テルペン樹脂（ヤスハラケミカル社製の「ＹＳレジンＰＸ１１５０Ｎ」）２０質量部、液状ポリイソブチレン（新日本石油社製の「Ｔｅｔｒａｘ３Ｔ」）５質量部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して混合溶液を得た。この混合溶液に、エポキシ樹脂（ＤＩＣ社製の「ＨＰ７２００Ｈ」）５質量部と、アニオン重合型硬化剤（（２，４，６−トリス（ジアミノメチル）フェノール）０．６質量部とを、混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、粘着組成物を得た。

［実施例６］
厚みが２３μｍの環状オレフィン樹脂フィルム（日本ゼオン（株）の「ＺｅｏｎｏｒＦｉｌｍ」（登録商標）ＺＦ１４−０２３：リターデーションＲｅ５５０＝３ｎｍ）の一方の面に、実施例１と同様にして、厚みが２０ｎｍの無機膜（ＺＳＡ）を積層し、該無機膜（ＺＳＡ）上に、図１に示す構造の巻き取り式のスパッタリングを使用し、スパッタターゲットとして二酸化ケイ素を焼結したスパッタターゲットを用いてスパッタリングして、厚みが４０ｎｍの二酸化ケイ素膜を積層した。

次に、実施例１と同様にして、封止樹脂層を積層して封止フィルムを作製した。

［比較例１］
実施例１において、無機膜（ＺＳＡ）を二酸化ケイ素膜（厚み１５０ｎｍ）に変更する以外は、実施例１と同様にして封止フィルムを作製した。ここで、二酸化ケイ素膜は、実施例６と同様の方法により積層した。

［比較例２］
実施例２において、無機膜（ＺＳＡ）を二酸化ケイ素膜（厚み４０ｎｍ）に変更する以外は、実施例１と同様にして封止フィルムを作製した。ここで、二酸化ケイ素膜は、実施例６と同様の方法により積層した。

［比較例３］
厚み５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）製の「ルミラー」（登録商標）Ｕ４８；リターデーションＲｅ５５０＝１０００ｎｍ）に、実施例６と同様にして、無機膜（ＺＳＡ）と二酸化ケイ素膜をこの順に積層した。無機膜（ＺＳＡ）の厚みは１００ｎｍ、二酸化ケイ素膜の厚みは１００ｎｍであった。但し、封止樹脂層は設けなかった。

［評価］
上記の実施例および比較例で得られた封止フィルムについて、前述の測定および評価を行った。その結果を表１に示す。

［実施例１１］
厚みが２３μｍの環状オレフィン樹脂フィルム（日本ゼオン（株）の「ＺｅｏｎｏｒＦｉｌｍ」（登録商標）ＺＦ１４−０２３：リターデーションＲｅ５５０＝３ｎｍ）の一方の面に、コロナ処理を施し、下記のバックコート層用塗布液をグラビアコーターで塗布し、９０℃で乾燥後、紫外線を４００ｍＪ／ｃｍ^２照射し硬化させてバックコート層を形成した。このバックコート層の厚みは１．２μｍ、粒子の平均粒子径は０．０８μｍ、粒子の平均粒子径（ｒ：μｍ）とバックコート層の厚み（ｄ：μｍ）との比率（ｒ／ｄ）は、０．０７であった。また、このバックコート層の鉛筆硬度はＦであった。

＜バックコート層用塗布液＞
アイカ工業（株）製の紫外線硬化性コート剤「アイカアイトロン（登録商標）Ｚ−８５０−３」に、下記シリカ粒子分散液ｃ１を固形分換算で塗布液の全固形分に対して１０質量％となるように添加し、有機溶剤（ＭＥＫ）で希釈して固形分濃度が２０質量％の塗布液を調製した。

＜シリカ粒子分散液ｃ１＞
気相法シリカ（日本アエロジル（株）の「アエロジルＯＸ５０」）を有機溶剤（ＭＥＫ）中で分散してシリカ濃度が１５質量％の分散液を得た。分散装置としてビーズミルを用いた。

次に、この分散液３００質量部に、フルオロアルキルアルコキシシラン（信越化学（株）製の「ＫＢＭ７１０３」）を８質量部混合し、５０℃で１時間加熱撹拌して、表面処理されたシリカ粒子の分散液を得た。

＜硬化樹脂層の積層＞
次に、バックコート層が積層された環状オレフィン樹脂フィルムのバックコート層とは反対面に、コロナ処理を施し、下記の硬化樹脂層用塗布液をグラビアコーターで塗布し、９０℃で乾燥後、紫外線を４００ｍＪ／ｃｍ^２照射し硬化させて硬化樹脂層を形成した。この硬化樹脂層の厚みは１．２μｍであった。

＜硬化樹脂層用塗布液＞
３官能のウレタンアクリレートオリゴマーを含有する紫外線硬化性樹脂塗布液（日本合成化学（株）の「ＵＶ−７５５０Ｂ」）を、有機溶剤（ＭＥＫ）で固形分濃度が２０質量％となるように希釈した。

＜無機膜（ＺＳＡ）の積層＞
上記で積層された硬化樹脂層の面に、実施例１と同様にして無機膜（ＺＳＡ）を形成した。但し、無機膜（ＺＳＡ）の厚みは５０μｍに変更した。

＜封止樹脂層の積層＞
上記で積層された無機膜（ＺＳＡ）の面に、実施例１と同様にして封止樹脂層を積層して、封止フィルムを作製した。

［比較例１１］
厚みが２３μｍの環状オレフィン樹脂フィルム（日本ゼオン（株）の「ＺｅｏｎｏｒＦｉｌｍ」（登録商標）ＺＦ１４−０２３：リターデーションＲｅ５５０＝３ｎｍ）の一方の面に、コロナ処理を施し、下記のバックコート層用塗布液をグラビアコーターで塗布し、９０℃で乾燥後、紫外線を４００ｍＪ／ｃｍ^２照射し硬化させてバックコート層を形成した。このバックコート層の厚みは１．２μｍ、粒子の平均粒子径は１．５μｍ、粒子の平均粒子径（ｒ：μｍ）とバックコート層の厚み（ｄ：μｍ）との比率（ｒ／ｄ）は、１．２５であった。また、このバックコート層の鉛筆硬度はＨであった。

＜バックコート層用塗布液＞
１０官能のウレタンアクリレートオリゴマーを含有する紫外線硬化性樹脂塗布液（日本合成化学（株）の「ＵＶ−１７００Ｂ」）に、有機粒子（信越化学（株）製の「ＫＭＰ５９０」、平均粒子径１．５μｍ）を固形分換算で塗布液の全固形分に対して４質量％となるように添加し、有機溶剤（ＭＥＫ）で希釈して固形分濃度が２０質量％の塗布液を調製した。

＜硬化樹脂層の積層＞
次に、バックコート層が積層された環状オレフィン樹脂フィルムのバックコート層とは反対面に、コロナ処理を施し、下記の硬化樹脂層用塗布液をグラビアコーターで塗布し、９０℃で乾燥後、紫外線を４００ｍＪ／ｃｍ^２照射し硬化させて硬化樹脂層を形成した。この硬化樹脂層の厚みは１．２μｍであった。

＜硬化樹脂層用塗布液＞
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート３０質量部、Ｎ−ビニルピロリドン８質量部、メチルメタクリレート２質量部、光重合開始剤（チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製「イルガキュア（登録商標）１８４」）３質量部、有機溶剤（ＭＥＫ）６０質量部を混合して調製した。

＜無機膜（ＺＳＡ）の積層＞
上記で積層された硬化樹脂層の面に、厚みが４０ｎｍの二酸化ケイ素膜を積層した。ここで、二酸化ケイ素膜は、実施例６と同様の方法により積層した。

＜封止樹脂層の積層＞
上記で積層された無機膜（ＺＳＡ）の面に、実施例１と同様にして封止樹脂層を積層して、封止フィルムを作製した。

［評価］
上記の実施例および比較例で得られた封止フィルムについて、前述の測定および評価を行った。その結果を表２に示す。

１ 巻き取り式スパッタリング装置
４ 樹脂フィルム
６ 巻き取り室
７ 巻き出し軸
８、９、１０ 巻き出し側ガイドロール
１１ クーリングドラム
１２ スパッタ電極
１３、１４、１５ 巻き取り側ガイドロール
１６ 巻き取り軸

Claims (9)

1. 樹脂フィルムの少なくとも一方の面に無機膜および封止樹脂層をこの順に有し、前記無機膜が少なくとも酸化亜鉛、二酸化ケイ素および酸化アルミニウムを含む無機膜であることを特徴とする、有機素子用封止フィルム。
2. 前記無機膜のＸ線光電子分光法（ＸＰＳ法）により測定される、Ｚｎ原子濃度が２０〜４０ａｔｏｍ％、Ｓｉ原子濃度が５〜２０ａｔｏｍ％、Ａｌ原子濃度が０．５〜５ａｔｏｍ％、Ｏ原子濃度が３５〜７０ａｔｏｍ％である、請求項１に記載の有機素子用封止フィルム。
3. 前記封止樹脂層が、封止樹脂として、ゴム系ポリマー、ポリオレフィン系ポリマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、（メタ）アクリル系ポリマー、ポリエステル系ポリマーおよびシリコーン系ポリマーからなる群から選ばれる少なくとも１種の樹脂を含有する、請求項１または２に記載の有機素子用封止フィルム。
4. 前記樹脂フィルムの波長５５０ｎｍの光に対する面内方向のリターデーション（Ｒｅ５５０）が３００ｎｍ以下である、請求項１〜３のいずれかに記載の有機素子用封止フィルム。
5. 前記樹脂フィルムの厚みが５０μｍ未満である、請求項１〜４のいずれかに記載の有機素子封止用フィルム。
6. 前記樹脂フィルムが環状オレフィン樹脂フィルムである、請求項１〜５のいずれかに記載の有機素子用封止フィルム。
7. 水蒸気透過率が９．０×１０^−３ｇ／ｍ^２／ｄａｙ未満である、請求項１〜６のいずれかに記載の有機素子用封止フィルム。
8. 前記有機素子が有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子である、請求項１〜７のいずれかに記載の有機素子用封止フィルム。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載の有機素子用封止フィルムで封止された有機素子。
   

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