TW200417576A - Curing resin composition, adhesive epoxy resin paste, adhesive epoxy resin sheet, conductive connection paste, conductive connection sheet, and electronic component joined body - Google Patents

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TW200417576A
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/)/() 狄、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 4本發明係關於具有高可靠性之硬化性樹脂組成物、接 =壞氧樹脂糊、接著性環氧樹脂片、導電連接糊、導電 :片:電子元件接合體。又,本發明中所謂之「片」係 包含「薄膜」。 【先前技術】 电、近年來之對半導體裝置的小型化與高性能化的要 二各種的電子材料用接著劑-直在開發著。此等的電子 材料用接著劑須要求高度的可 ^ , ,為了確保此可靠性, 取吊使用者為硬化收縮少、有 人 < 外〜日 頁回接者力、且種類豐富而配 口汉计谷易的環氧樹脂。作為 優異方面考量 :此的…“旨,由作業性 ㈣, 使用例如雙酶A型液狀環氧樹脂盘 雙酚F型液狀環氧樹脂等之通用的液" 使用此等通用的液狀严翁执此 日…、而, 以、、“二 的電子材料用接著劑,已難 以滿足現今之非常高可靠性的難 樹脂仍-直在開發中。又,本…新的间性能的環氣 黏著劑。 本發明中所謂之接著劑係包含 作為現今之電子材料用接著劑所要求之對可 之具體的要求性能’可列舉例如:耐熱性面 熱循環性、耐炼焊性等,其中尤以耐濕性及耐炫^耐冷 硬化之接著劑的低吸水率與低吸水量有關, 去於 理由在於··硬化後的接| 马义要者。 到接菩^ 吸水率若高,則水容易伊入 到接著界面,而有界面的垃发 彳又入 的接者力降低的顧慮;又,硬化後 200417576 的接者Μ之吸水!若大,則達到2〇〇26『C之炫焊溫度會 使水分f速地氣化,致電子元件有被破壞的顧慮之故。s 曰另方面,為了提高耐冷熱循環性’通常係填充以多 里的用乂使線膨脹係數(線膨脹率)減小的無機填料。其理 由在t:,機填料的線膨脹係數遠小於有機填料之故。然 而右夕里填充無機填料,則雖線膨脹係數減小,但接著 劑的彈性模數卻增高,致硬化後的接著劑之應力緩和變得 困難疋問題點所在。亦即,經由無機填料的填充以提高 耐冷熱循環性的方法有其限度。於使用將接著劑加工成片 ㈣接著片的場合,所填充的無機填料,會使硬化前的接 著片的強度降低,或是在使用於須有通孔的基板時,藉由 雷射之加工變得困難,欲形成精度高的通孔會有困難,曰是 問題點所在。 ,、2 ’有關耐冷熱循環性的^ ’為使產生的應力減低 ▲ L ¥亦採用著添加丙烯酸橡膠等之橡膠聚合物的方法( 茶照例如曰本專利第3342703號公報)。 然而,若添橡膠聚合物,雖可提高耐冷熱循環性,卻 須付出耐熱性降低的代價以使應力緩和,故欲兼顧高耐熱 f生與耐濕性和高耐冷熱循環性有其困難。亦即,為了達成 高水準的耐冷熱循環性,使冷熱循環時所發生的應力緩和 是必要的。 、、為了邊和上述應力之效果,通常係使用對環氧樹脂以 成為相溶或相分離的方式混合羧酸或縮水甘油基改質之聚 稀煙、例如具有CTM或刪等之官能基之二埽系橡朦聚 200417576 ?勿、腈橡膠、末端反應基矽酮、丙烯酸橡膠、苯乙稀系 彈性體等之可撓性賦予成分 y、 风刀的方法。然而,當此等可撓性 賦予成分與作為基體樹脂之環氧樹脂相溶的場合,會使财 熱性大幅地降低,致無法發揮高料之高耐熱接著力。又 ,即使是此等可撓性賦予成分為相分離構造的場合經由 該可撓性賦予成分與環氧樹脂的界面之部分㈣,有使耐 熱性降低的傾向。上述相分離構造,對於溫度變化並非完 全是安定的,故有因溫度變化而成相溶狀態的情形。 ^又,過去,環氧樹脂系的硬化性樹脂組成物多以酸酐 等作為硬化劑’惟’會有硬化後的硬化物中殘存有未反應 物的情形。由於此未反應物經由吸濕等發生反應而成為酸 性或鹼性,故酸性物質或鹼性物質會流出到硬化物表面及 附近,而有引起鋁或銅等的電極金屬的腐蝕之問題存在。 又會發生硬化物中經由水解等所產生的酸成為觸媒之氯 吸引反應致氯離子流出,而損及可靠性的問題。 另一方面,於液晶顯示器、個人電腦、行動式通訊器 材等之電子製品的製造過程中,於使半導體元件等之小型 元件與基板做電氣連接的場合中,須使微細的電極彼此作 對向連接。又,於玻璃電路基板的製造過程中,於汽車的 車燈部分等的玻璃表面設置導通電路之場合,必須使玻璃 表面與導通電路的電極面作對向連接。 作為連接此等電極的方法,通常係採用以焊料或導電 糊等來連接突塊(bump)或使對向的突塊直接壓合的方法。 又’為了保護連接後的電極,係採用以樹脂將連接後的電 200417576 極密封的方法。 然而,由於微細的電極之連接距離短,故在短時間内 要均-地注入樹脂進行密封有困難。又,於將玻璃表面與 導通電路的電極面連接之場合,於使用焊料連接時,連接 部位會達到過高溫度,是其問題。 因此,為了解決這樣的問題點,以導電氣微粒子與絕 緣性的接著劑混合形成為片狀或糊狀的異向導電氣接著劑 曾被檢討(參照例如日本專利第3114162號公報、及特公平 7-73066號公報)。 然而,於過去之片㈣異向導電氣接著劑中,經由在 電極或突塊上藉加熱壓接來壓接導電氣微粒子而將電極密 封的場σ電極與導電氣微粒子之間會殘存絕緣性的接著 劑,致連接可靠性降低,是問題所在。 於糊狀的異向導電氣接著劑中,於糊塗佈之時, 良㈣㈣精度與塗佈效率等良好的塗佈性是必要的,過 去之多量填充無機填料的糊狀異向導電氣接著劑,由於流 動性未必充分,故塗佈性方面未能充分滿丨,是其問題。 又於以也塑法製造異向導電氣接著片時,亦要求須有良 ㈣m㈣’由於導電氣微粒子未均一地分散於絕 緣性的接著劑中,致導電氣微粒子彼此會凝集,使相鄰的 電極發生短路,是其問題點。 口此本發明者等先前開發出在操作之時導電氣微粒 子可保持於接著性樹脂片上並且導電氣微粒子的一部份會 接著1±树月曰片露出之導電連接片。由於此導電連接片於 200417576 電極與導電氣微粒子間不會殘 ^ b 9殘邊絕緣性接著劑且微粒子不 會滅集,故可得到高連接可靠性Γ ΟΛΛ 罪注(參照例如日本專利特開 2002-313143 號公報)。 而,本發明者等發現:此導電連接片使用於例如電 乂品的連接部分或汽車的車燈部分等的場合,豆使用中 f露於以壓力鋼試驗(Ρα)為代表之高溫高濕的環境下, 顧導電氣微粒子的保持與片材的形狀的保持會有困難 =而言’在此導電連接片巾4為了提高導電氣微 呆持力而提高常溫下之硬化前片材對於導電氣微粒 ㈣妾者1生’則於硬化後在高溫高濕下片材也會軟化而使 :持力降低’致產生連接可靠性降低之問題。又,若 :在::皿向濕下也不軟化的方式而提高片材的形狀保持力 /吊:下之片材對導電氣微粒子的接著性會降低,故會 I生導電氣微粒子的保持力降低的問題。 又1氧樹脂系硬化性㈣組成物雖可用作為絕緣基 2材料’但於多層印刷基板等所使用之絕緣基板須要求不 對電氣特性造成影響、吸濕性低、具有容易用雷射進行 料透明性’再者,於溶焊時等之高溫處理之時的尺寸 、定化小亦為強烈要求者。 又,裱氧樹脂系硬化性樹脂組成物雖可用作為絕緣美 材料,但於多層印刷基板等所使用之絕 =氣特性造成影響、吸濕性低、具有容易用光::: 各片材彼此對位之透明性,再者,於熔焊時等之高 200417576 溫處理之時的尺寸變化小亦為強烈要求者。 於用以使碎晶片與金屬框架、多層板、增厚(buiid— 叩)基板等之有機基板、陶究基板等接合之晶粒安裝(仏 attach)膜絕緣材料,亦要求著與上述相同的性能。再者, 作,附有晶粒安裝臈之石夕晶片,雖有在晶圓階段直接黏貼 上薄膜之晶圓級與對單片化之石夕晶片個別地黏貼的方式, 惟’所要求的性能並無不同。 【發明内容】 鑑於上述之現狀及問題點,本發明之目的在於提供:_ 硬化後於機械強度、耐熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循 % |±、耐熔焊性、尺寸安定性等方面優異且可發揮高接著 可靠性與作為導通材料時之高導通可靠性的硬化性樹脂組 成物、及使用此硬化性樹脂組成物的接著性環氧樹脂糊、 接著性環氧樹脂片、導電連接糊、導電連接片、以及使用 此等之電子元件接合體。 依據申請專利範圍第1項的發明(以下,記為「第1本 發明」)之硬化性樹脂組成物係含有:環氧樹脂、具有可· 與%氧基反應的官能基之固態聚合物、與環氧樹脂用硬化 劑;其特徵在於,將硬化物以重金屬染色,經由穿透型電 子顯微鏡觀察時,於樹脂所構成的基體中不會觀察到相分 離構造。 依據申請專利範圍第2項之發明之硬化性樹脂組成物 係於上述申請專利範圍第1項之硬化性樹脂組成物中, 八硬化物之黏彈性曲線測定之tan占的峰值為單一者且前 11 200417576 述峰值的溫度為120°c以上。 依據申請專利範圍第3項的發明之硬化性樹脂組成物 ,係於上述中請專利範圍第1或帛2項之硬化性樹脂組成 物中,其硬化物於加埶到1 ?。 …j C之二甲亞硼溶液中所測定 的膨潤率為5 0 %以内。 依據申5月專利範圍第4項的發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第卜2或3項之硬化性樹月旨組成 物中,於將硬化物的溶出成分以U(rc的熱水萃取時的萃 取水之pH為5. 0〜8. 5。 依據申請專利範圍第5項的發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第1、2、3或4項之硬化性樹脂 組成物中,於將硬化物的溶出成^ 11〇<t的熱水萃取時 的萃取水之電導度為100#s/cra以下。 依據申請專利範圍第6項的發明之硬化性樹脂組成物 ,係於上述申請專利範圍第1、2、3、4或5項之硬化性樹 脂組成物中,其硬化物的介電率為3.5以下,且介電損耗 因子為0.02以下。 依據申明專利|巳圍第7項的發明之硬化性樹脂組成物 ,係於申請專利範圍第i、2、3、4、5或6項之硬化性樹 月曰組成物中,裱氧樹脂為主鏈上具有多環式烴骨架的環氧 :脂,具有可與環氧基反應之官能基的固態聚合物為具有 環氧基的高分子聚合物,且不含有無機填料。 依據申叫專利範圍第8項的發明之硬化性樹脂組成物 ,係於上述中請專利範圍第7項之硬化性樹脂組成物中, 12 戊二烯骨 主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹脂為且有二 架的環氧樹脂或具有萘骨架的環氧樹脂。 +叫專利範圍第9項的發明之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第
或8項之硬化性樹脂組成物 中’具有環氧基的高分子聚人你+壬B 以上。 U口物之重量平均分子量為i萬 依據申請專利範圍第1 〇 夕 、的t月之硬化性樹脂組成物 ’係於上述申請專利範圍第7、8 士 ^ ^ 8或9項之硬化性樹脂組成 物中,具有環氧基的高分 门刀于t合物之環氧當量為200〜1000 依據申請專利範圍第"項的發明之硬化性樹脂組成物 ,係於上述中請專利範圍第7、8、9或1()項之硬化性樹脂 組成物中’具有環氧基的高分子聚合物係藉由懸浮聚合法 所製造者。
依據申請專利範圍第12項的發明之硬化性樹脂組成# ,係於上述申請專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8、 、10或11項之硬化性樹脂組成物中,進一步含有201 3 彈性模數⑹)為i X 1G5〜! x 1Q8pa的低彈性模㈣ 質,該低彈性模數物質係對環氧樹脂及具有可與環氧基及 應之官能基的固態聚合物為不相溶且分散成島狀者。 依據申請專利範圍第13項的發明(以下記為「第2本 發明」)之硬化性樹脂組成物,其特徵在於,係含有··由 具有一 %戊一烯骨架的環氧樹脂、具有萘骨架的環氧樹脂 、與環氧樹脂用石更化劑所混合而得的環氧樹脂組成物,和 13 200417576 、。卩之玻璃轉化溫度為2 〇 °c以下、外殼之玻璃轉化溫度為 4 0 C以上的芯殼構造之橡膠粒子。 依據申請專利範圍第14項的發明(以下記為「第3本 t明」)之接著性環氧樹脂糊,其特徵在於,係由上述申 請專利範圍第 或1 3項之硬化性樹脂組成物所構成。 依據申凊專利範圍第15項的發明(以下記為「第4本
:明」)之層間接著劑,其特徵在於,係由上述申請專利 範圍第14 X員之接著性環氧樹脂糊所構成。 依據申請專利範圍第16項的發明(以下記為「第5本 ^月^之非導電氣糊’其特徵在於’係由上述中請專利 fe圍第14項之接著性環氧樹脂糊所構成。 &依據申明專利範圍第17項的發明(以下記為「第6本 」)之底填料’其特徵在於,係由上述申請專利範圍 弟14項之接著性環氧樹脂糊所構成。
χ依據申明專利範圍第18項的發明(以下記為「第7本 接著性環氧樹脂片,其特徵在於,係
St 二 2:3、4、5、6、7、8 + 、 对月曰組成物成形為片狀所構成。 依據申請專利範圚笛,η = ,係於申請專利發明之接著性環氧樹脂片 ^ θ 犯圍第18項之接著性環氧樹脂片中,豆 以昇溫速度45γ /八★ ^ T 八 ^ ^ ^ 4 刀進仃昇溫使其加熱硬化之加熱硬化物 的貝如性模數(G。為1 χ i〇3pa以上。 依據申請專利範圍第2〇項的發明之接著性環氧樹脂片 14 200417576 ,係於申請專利範圍第18或19項之接著性環氧樹脂片中 ,依據動黏彈性之tan 3的峰值溫度於硬化前為—2〇〜4〇它 的範圍,於硬化後為12〇°c以上。 依據申請專利範圍第21項的發明(以下記為「第8本 發明」)之非導電氣薄膜,其特徵在於,係由申請專利範 圍第18、19或20項之接著性環氧樹脂片所構成。 依據申請專利範圍第22項的發明(以下記為「第9本 發明」)之晶粒安裝膜,其特徵在於,係由申請專利範圍 第18、1 9或20項之接著性環氧樹脂片所構成。 依據申請專利範圍第23項的發明(以下記為「第1〇本 發明」)之導電連接糊,其特徵在於,係於申請專利範圍 第14項之接著性壞氧樹脂才胡中含冑|電氣微粒子所構成 〇 依據申请專利範圍第24項的發明(以下記為「第丨丨本 毛明」)之異向性導電糊,其特徵在於,係由申請專利範 圍第2 3項之導電連接糊所構成。 發明」)之導電連接κ ,甘&加丄l 1 依據申請專利範圍第25項的發明(以下記為「第以本
該接著性環氧樹脂片露出著。
•、特徵在於,係由申請專利範圍 性環氧樹脂片、與導電氣微粒子 該導電氣微粒子之至少一部份係 第2 6項的發明(以下記為「第13本 其特徵在於,係於上述申請專利範 :接著性環氧樹脂片中埋設有較前述 15 200417576 接者性環氧樹脂片的厚度小的導電氣微粒子。 依據巾請專利範圍第27項的發明(以τ記為「第 之異向性導電薄臈,其特徵在於,係由中請專利 乾圍苐26項之導電連接片所構成。
依據申請專利範圍第28項的發明(以下記為「第15本 1月」)之導電連接片,係由黏著性樹脂片(為由含有經由 :加可塑劑賦予黏著性之樹脂、及常溫下為液狀之具有萘 骨架之環氧樹脂的黏著性樹脂組成物所構成者)與導電氣 微粒子所形成者;其特徵在於,該黏著性樹脂片,其依據 動黏彈性之tan<5的峰值溫度於硬化前為—別〜“它的範圍 ,於硬化後為120。(:以上,並且,於該黏著性樹脂片之任 意的位置配置有該導電氣微粒子,該導電氣微粒子之至少 一部份係自該黏著性樹脂片露出著。
依據申請專利範圍第29項的發明之導電連接片,係於 申請專利範圍第28項之導電連接片中,對硬化後之黏著 性樹脂片,於溫度12(TC、濕度85%RH、時間12小時的條 件下進行加壓鍋試驗後之硬化後的黏著性樹脂片之伸展率 為5%以下。 依據申請專利範圍第30項的發明(以下記為「第16本 發明」)之覆晶膠帶,係由申請專利範圍第25、28或29項 之導電連接片所構成。 依據申請專利範圍第31項的發明(以下記為「第17本 發明」)之電子元件接合體,其特徵在於,係藉由上述申 請專利範圍第 1、2、3、4、5、6、7、8、9、1〇、ι1、12 16 200417576 或13項之硬化性樹脂組成物、申請專利範圍第14項之接 著性%氧祕脂糊、申請專利範圍第丨5項之層間接著劑、 申叫專利範圍第16項之非導電氣糊、申請專利範圍第i 7
項之底填料、申請專利範圍第23項之導電連接糊、申請 專利耗圍第24項之異向性導電糊、申請專利範圍第18、 19或20項之接著性環氧樹脂片、申請專利範圍第21項之 非‘電氣薄膜、中請專利^圍第22 #之晶粒安裝膜、申 請專利範圍第25、26、28或29項之導電連接片、申請專 利範圍第27項之異向性導電薄膜、或申請專利範圍第3〇 :之覆晶膠帶之中的任一者’使電子元件的突塊狀的突起 電極與另一方的電極於導通的狀態下接合所構成者。 甲睛專利範圍第32項的發明( 電子元件接合體,其特徵在於,係藉由申請專利 圍第卜 2、3、4、5、6、7、8、9、1〇、u、i2^"
硬化性樹脂組成物、巾請專㈣圍第14項之接著性環 :脂,、申請專利範圍第15項之層間接著劑、申請專 耗圍第16項之非導電氣糊、申請專利範圍第17項之底 :、申請專利範圍第23項之導電連接糊、申請專利範 第24項之異向性導電糊、申請專利範圍第18、19或20: :接著I·生j衣氧樹脂片、申請專利範圍帛$之非導電 缚,、中請專利範圍第22項之晶粒安裝膜、中請專利】 圍弟25、26 Κ 29項之導f連接片、巾請專利範圍) 項之異向性導電薄膜、或申請專利範圍第3〇項之 膠▼之中的任"'者’使選自金屬引線框、陶瓷基板、 17 200417576 基板、矽基板、化合物半導體基板及玻璃基板所構成群中 至少1種的電路基板進行接合所構成者。 申請專利範圍第33項的發明之電子元件接合體,係於 申請專利範圍第32項之電子元件接合體中,樹脂基板為 玻璃環氧基板、雙馬來酸酐縮亞胺三嗪基板、或聚醯亞胺 基板。 發明之詳細揭示 以下’就本發明加以揭示。 弟1本發明之硬化性樹脂組成物,係含有:環氧樹脂 、具有可與環氧基反應的官能基之固態聚合物、與環氧樹 脂用硬化劑者;於將硬化物以重金屬染色,經由穿透型電 子顯微鏡觀察時,在由樹脂所構成的基體中不會觀察到相 分離構造。 將第1本發明之硬化性樹脂組成物以重金屬染色,經 由穿透型電子顯微鏡觀察時,在硬化物之樹脂基體中不會 觀察到相分離構造。藉由使用穿透型電子顯微鏡 (Transmission Electron Microscope: TEM)可對高分子材 料的内部進行觀察是公知的,此乃藉由對高分子材料以四 氧化鐵、四氧化釕、磷鎢酸等之重金屬染色,以染色的濃 淡來觀察樹脂材料中的組成差異的方法。 又,於本說明書中,所謂之「硬化物」,係指將本發 明之硬化物於例如17(rc、30分鐘等之條件下加熱使其硬 化所得者。 通〶’對環氧樹脂添加聚合物成分係以賦予所得之樹 18 ZUU41/^76 進:’例如,於使上述樹脂組成物作 添加,例如::上述聚合物成分係作為造膜成分而 , 、述樹脂組成物係作成為糊狀材料的場合 述♦合物成分係以硬化樹脂強度之 賦予箄Α曰欠门久π反應性之 等為目的而添加。然而,環氧樹脂與 脂之聚合物成分 』/衣乳树 物成分之間::化後的環氧樹脂與添加之聚合 的相/合性非極為相近則難以相溶。 經由對環氧樹脂添加聚合物成分得到之具有相分離槿
脂組成物’雖具有因添加之聚合物成分之應力J ; 果,但由於聚合物成分本身並非溶入作為基體之環 乳对月曰本身中’故於提高樹脂組成物的硬化物之強 有其限度。 又W囬 办、第1本發明之硬化性樹脂組成物,將其硬化物用上述 牙=型電子顯微鏡觀察時,於樹脂基體中觀察不到相分離 構k 士亦即’吾人認為於第1本發明之硬化性樹脂組成物 中,樹脂成分係完全相溶的狀態。 所明壞氧樹脂與添加到該環氧樹脂的樹脂完全相溶者 # ,必須為添加之上述聚合物在其構造中有環氧基本身,或 在其構造中有可與環氧基反應的官能基。 亦即,第1本發明之硬化性樹脂組成物為含有環氧樹 月曰和具有可與環氧基反應的官能基之固態聚合物者。 作為上述環氧樹脂,並無特別限定,以主鏈上具有多 裒式t月架的環氧樹脂為佳。理由在於··若含有主鏈上具 有夕%式骨架的環氧樹脂,則其硬化物為剛硬狀態可阻 19 200417576 礙分子的運動,可發揮優異的機械強度與柳,且吸水 性低,故可發揮優異的耐濕性之故。 作為上述主鏈上具有多環式煙骨架的環氧樹脂,並益 特別限定,可列舉例如:二環戊二稀二氧化物、有二環: 二烯骨架之酚醛清漆環氧樹脂等之有二環戊二烯骨架的環 氧樹脂(以下記為「二環戊二烯型環氧樹脂」)"'縮水甘 油基萘、2-f水甘油基/蔡、12二縮水甘油基蔡、< 縮水甘油基萘、1’6-二縮水甘油基萘、U —二縮水甘油基 萘、2’7_二縮水甘油基萘、三縮水甘油基萘、1,2, 5, 6-四 細水甘油基奈等之具有萘骨架的環氧樹脂(以下記為蔡型 環氧樹脂);四經基苯基乙院型環氧樹脂、四(縮水甘油、基 羥苯基)乙烧、3,4-環氧基—6_甲基環己基甲基_3,4_環氧基 -6-甲基環己烷碳酸酯等。其中尤以使用二環戊二烯型環: 樹脂或萘型環氧樹脂為較佳。此等之主鏈上具有多環式煙 骨架的環氧樹脂’可單獨使用,亦可至少2種併用。又, 上述一裱戊二烯型環氧樹脂及萘型環氧樹脂亦可單獨使用 ,或兩種併用。 上述主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹脂,分子量之 下限X 5 0 0為佳,上限以丨〇 〇 〇為佳,惟並非特別限定於 此。主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹脂之分子量若未滿 500,則硬化性樹脂組成物的硬化物之機械強度、耐熱性、 耐濕性等會有無法充分提高的情形’反之,若主鏈:具有 f環式烴骨架的環氧樹脂的分子量若超過1〇〇〇,則硬化性 樹脂組成物的硬化物會過於剛硬而會有變脆的情形。 200417576 。作為上述具有可與環氧基反應之官能基的固態聚合物 "歹】舉例如·具有胺基、胺基甲酸酯基、醯亞胺基、羥 土羧基、袼氧基等之樹脂,惟,並非限定於此等,其中 且^八有%氧基的高分子聚合物為佳。理由在於若含有 :有%氧基的高分子聚合物,則其硬化物可發揮優異的可 撓性之故。亦即,第丨本發明之硬化性樹脂組成物的硬化 物匕由於兼具源自上述主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹 脂之優異的機械強度、優異的耐熱性、優異的财濕性等與 原自上述具有環氧基的高分子聚合物之優異的可撓性,故 耐冷熱循環性、耐熔焊性、尺寸安定性等皆優異,並可發 揮高接著可靠性與高導通可靠性。 作為上述具有環氧基的高分子聚合物,只要是在末端 及/或支鏈(側位)有環氧基的高分子聚合物皆可,可列舉例 如:含有環氧基之丙烯酸橡膠、含有環氧基之丁二烯橡膠 、雙酚型高分子量環氧樹脂、含有環氧基之苯氧樹脂、含 有環氧基之丙稀酸樹脂、含有環氧基之聚胺甲酸酯樹脂、 έ有環氧基之聚酯樹脂等,惟,並非限定於此等,其中, 就可得到含有多量的環氧基之高分子聚合物、且第丨本發 明之硬化性樹脂組成物的硬化物之機械強度與耐熱性為更 優異者考量,尤以使用含有環氧基之丙烯酸樹脂為較佳。 此專具有環氧基的高分子聚合物,可單獨使用,亦可至少 2種併用。 若只有上述雙酚型高分子量環氧樹脂,只在末端含有 壞氧基,交聯點間距離變長甚多,故硬化性樹脂組成物之 21 200417576 硬化物的機械強度與耐熱性無法充分提高。 又,通常丙烯酸系樹脂(丙烯酸系聚合物)係使用以溶 劑作為介質之溶液聚合法製造為多,於溶液聚合法中,於 生成高分子量的丙烯酸系樹脂時,溶液的黏度會極端地昇 高,有時甚至有膠化的顧慮,故難以製得高分子量的丙烯 酸系樹脂。又,於溶液聚合法中,由於容易殘留未反應的 單體,故殘留的單體須與溶劑一起除去,製程較繁雜。 例如,使用縮水甘油基甲基丙烯酸酯(GMA)作為具有環 氧基的丙烯酸系單體,在其他的丙烯酸系單體中多量添加 GMA而進行溶液聚合,則藉由環氧基本身的凝集力,只能 =得比較低分子量(未滿1 0000)的含有環氧基之丙烯酸樹 脂,若欲得到更高分子量的含有環氧基之丙烯酸樹脂,則 容易發生上述般的極端的黏度上昇與膠化的情形。 另一方面,若使用上述GMA等,而以水或非溶劑作為 介質之懸浮聚合法來製造含有環氧基之丙烯酸樹脂,則會 a有夕里裱氧基,且可製得高分子量的含有環氧基之丙烯 酸樹脂。此含有環氧基之丙烯酸樹脂,不但為幾乎無單體 殘留的純淨的樹脂,並且自聚合系的分離操作也容易,故 製程較簡單。 亦即’第1本發明之硬化性樹脂組成物中所用的具有 環氧基的高分子聚合物(尤以含有環氧基的丙烯酸樹脂為 佳),以使用懸浮聚合法所製造的高分子聚合物為佳。藉 由使用以懸浮聚合法所製造之具有環氧基的高分子聚合物 (尤以含有環氧基的丙烯酸樹脂為佳),第1本發明之硬化 22 200417576 性树脂組成物的硬化物,可發揮更優異的機械強度與耐熱 性。 上述具有%氧基的高分子聚合物(尤以含有環氧基的丙 婦樹脂為佳)的重量平均分子量以1萬以上為佳。具有環 Γ 土的咼刀子1合物(尤以含有環氧基的丙稀酸樹脂為佳) 的重1平均分子量若未滿丨萬,則硬化性樹脂組成物的造 膜性不充分,致硬化性樹脂組成物之硬化物的可撓性無法 充分提高。 Μ 又,上述具有環氧基的高分子聚合物(尤以含有環氧基 _ 的丙烯酸樹脂為佳),其環氧當量以下限為200、上限為 1000為佳具有環氧基的高分子聚合物(尤以含有環氧基 的丙烯酸樹脂為佳)的環氧當量若未滿200,則硬化性樹脂 組成物的可撓性無法充分提高,反之,環氧基的高分子聚 ό物(尤以§有ί衣氧基的丙稀酸樹脂為佳)的環氧當量若超 過1 0 0 0則硬化性樹脂組成物之硬化物的機械強度與耐熱性 會不理想。 第1本發明之硬化性樹脂組成物,以硬化物之黏彈性 ® 曲線測定之tan 5的峰值為單一且前述峰值的溫度為12(rc 以上為佳。 如上述般,在環氧樹脂中添加聚合物成分所成之樹脂 組成物的樹脂基體之相分離構造之認定,可經由使用穿透 型電子顯微鏡(TEM)觀察加以確認,又,上述樹脂基體之相 分離之認定,經由硬化物的黏彈性曲線測定亦可容易地得 知。 23 /576 /576 亦即 有相分離 為2層的 會顯現出 ,此黏彈性的tan5,於硬化物的樹脂基體為具 構造時並非顯示為單一的峰值,而是例如相構造 場合會顯現出2個峰值,相構造為3層的場合則 3個峰值。 口、 八於本說明書中所謂之「ta以的峰值」係指與其他的部 刀相比為特別突出的峰值。 、。又,上述tan 5的峰值的溫度若未滿12(rc,則在傳統 的:罪性試驗所料溫度區域(12Gt:)前後會發生樹脂軟化 的情形’其結果’會成為導致水分透過、冷熱循環試驗時 的界面剥離的原因。 1本^月之硬化性樹脂組成物的硬化物,以在加熱 到120 C之二甲亞碾(DMS〇)溶液中不過度膨潤為佳。具體 而。’上述硬化物,以在加熱到12〇t之二甲亞楓⑽⑻ 溶液中所敎的膨潤率為5G%以内為佳。膨潤率超過5〇%表 不在此溫度下的交聯是鬆散的,水分子及氧分子非常容易 透過。因而’膨潤率若超過5〇% ’則作為帛i本發明之硬 化性樹脂組成物的接著劑等之可靠性會降低。 如上述般,第1本發明之硬化性樹脂組成物,由於苴 硬化物的樹脂基體中無相分離構造,故在刚⑽之 二曱亞硼溶液中所測定的膨潤率$ 5〇%以内。例如,於由 環氧樹脂與和該環氧樹脂為相分離之聚合物成分所構成的 :脂組成物的場合’其硬化物的相構造係由環氧交聯相( 環氧樹脂相)與聚合物相所構成。但,上述環氧交聯相雖 可谷易地使玻璃轉化溫度(Tg)成為12〇。〇以上而不發生膨 200417576 潤情形,上述聚合物相,於其構造中雖具有交聯基卻未能 有夠多的數量,故為比較鬆散的交聯構造,因而,觀察其 在1 20°C附近的膨潤度時呈現出甚大的膨潤情形。 於第1本發明之硬化性樹脂組成物中,較佳者為·上 述環氧樹脂為上述主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹脂, 上述具有可與環氧基反應之官能基的固態聚合物為上述具 有環氧基的高分子聚合物,且不含無機填料。 通常,欲提高電子材料用接著劑等之可靠性,添加大 里的無機填料是必須的。經由添加此無機填料可提高吸水鲁 性、彈性模數、耐濕性能等是周知的,惟,於電極:的壓 接接合日寺’電極間會填入無機填料粒+,尤其錢行狹長 的電極間的接著時,會因上述無機填料的存在 不良的情形。 要者 ,作為上述無機填料之常用者可舉出球狀二氧化矽 著氧化石夕基本上為有粒徑分布者’在機率上存在 :料(:狀 子的可能性。尤其,於大量添加無機 填#(球狀二氧化矽)時,含有 3有非❼粗大的粒子的機率很高 而谷易發生上述的不良情形。 有鐘於此等情形,第彳太 不含無機填料為佳。 X月之硬化性樹脂組成物以 …又,例如,只要是無機填料的粒徑分布非常集 大粒徑非常小的無機填料, 八 形。因而,若是這樣的無機=手;;會^生上述的不良情 之硬化性樹脂組成物中。具體:言亦:添加到第.1本發明 ^ 較佳者為·無機填料 25 200417576 的最大粒杈為3 # m以下,且以樹脂全部定為1 00重量份時 的η、、加里為3〇重量份以下。 若含有最大粒徑超過3/zm的無機填料,則於發生上述 不良凊形之同時,將將第1本發明之硬化性樹脂組成物使 :屑有通孔的基板時,雷射加工時的貫通孔的正圓度會 降低,且因上述無機填料會導致通孔的加工表面的平滑性 之喪失。
作為最大粒徑為3 # m以下之不含粗大的粒子之無機填 :,可列舉例如:熱解法二氧化矽、膠體二氧化矽等之二 軋=矽、玻璃纖維、氧化鋁微粒子等,惟,並非限定於此 ,其中,尤以二氧化矽為較佳,尤其在表面施有疏水化處 理的疏水性二氧切為更佳。此等無機填料,可單獨使用 ’亦可至少2種併用。x,於第i本發明之硬化性樹脂組 旦中〃、要疋最大粒徑為3 # m以下,亦可含有由低分 子ΐ的微粒子狀有貞物所構成之有機填料。
於第1本發明之硬化性樹脂組成物中含有上述最大 徑為3#„以下的無機填料的場合,對於上述主鏈上且 多環式烴骨架的環氧樹脂與上述具有環氧基的高分子聚 物之合計量1GG重量份若超過3G重量份,則於將第i本; 明之硬化性樹脂組成物使用於須有通孔的基板時,雷射, 工時的貫通孔的正圓度铸低,且因±述無機填料而導』 加Γ表面的平滑性之喪失、或硬化性樹脂組成… /辰度έ過鬲致妨礙到塗佈性。 第 本發明之硬化性樹脂組成物 20°C之彈性模數 26 200417576 — 〜1 X 1〇8Pa的低彈性模數物質在硬化 性樹脂組成物中以非相溶的方式做島狀分散為佳。 藉由使得20°C之彈性模數((^)為丨χ ί〇5〜〗χ 1 〇 Pa的低彈性模數物質在硬化性樹脂組成物中以非相溶 的方式做島狀分散,第!本發明之硬化性樹脂組成物的硬 化物係形成為海-島構造,而為兼具更優異的機械強度、 财熱it ’與更優異的可撓性者,亦即,為可發揮更優異的 強韌性者。 上述低彈性模數物質在2rc之彈性模數(G,)若未滿1 · X 10 Pa,則硬化性樹脂組成物的硬化物之機械強度與耐 …、丨生曰無法充分挺鬲,反之,上述低彈性模數物質在2 〇。〇 之彈性模數(G,)若超過丨x 1〇8pa,則硬化性樹脂組成 物的可撓性會無法充分提高。又,上述低彈性模數物質若 與硬化性樹脂組成物相溶,由於在硬化性樹脂組成物的硬 化物中不會形成海-島構造,故無法充分得到上述效果。 作為上述低彈性模數物質,其2〇t之彈性模數(G,)的 :限為1 X l〇5Pa,上限為! χ 1〇8pa,只要是與硬化性· 树脂組成物不相溶者之任何物質皆可,可舉出例如:各種 熱塑性樹脂、各種熱固性樹脂、各種橡膠(各種彈性體)等 ’惟’並非限定於此等。此等低彈性模數物質,可單獨使 用’亦可至少2種併用。 第2本發明之硬化性樹脂組成物,係含有:由二環戊 一烯型環氧樹脂、萘型環氧樹脂、與環氧樹脂用硬化劑所 混合而構成的環氧樹脂組成物,和芯部之玻璃轉化溫度為 27 200417576 40°C以上的芯殼構造之 2 0°C以下、外殼之玻璃轉化溫度為 橡膠粒子。 匕上述壤减脂組成物中所含有之二環戊二婦型環氧樹 月曰,係由具有壞乳基之二環戊二稀骨架所構成的環氧樹脂 ,此二環戊二烯型環氧樹脂’由於富於疏水性,藉由在上 述環氧樹肋成物巾含有:環戊二㈣環氧樹脂,帛 發明之硬化性樹脂組成物可被疏水化,而使其硬化物之吸
水率低’⑥以熱壓鋼試驗等所代表之高溫高濕的環境下可 發揮高的疏水性。 μ迷二核戊二稀型環氧樹脂,以聚合度及/或軟化點伯 者為佳。經由使用此種二環戊二稀型環氧樹脂,於使用第 2 =明之硬化性樹脂組成物作為例如接著性環氧樹脂糊 的…糊的流動性可提高,又,於使用第2本發明之硬 化性樹脂組成物作為例如接著性環氧樹脂片的場合,可賦 予硬化前的樹脂片適度的柔軟性,而不易破裂。
…作為上述二環戊二烯型環氧樹脂,可舉出例如:具有 ,戊—稀—減物或二環戊二烯骨架的㈣清漆 二:惟’並非限定於此等。此等二環戊二稀型環氧樹脂 可早獨使用,亦可至少2種併用。 士述環氧樹脂組成物中所含有之萘型環氧樹脂,係由 -%氧基之蔡骨架所構成之環氧樹脂,於第2本發明中 笼較佳之適用者為在常溫下為液狀的萘型環氧樹脂。由於 氧樹脂具有剛硬的萘骨架,因此,於將帛2本發明 更化性樹脂組成物作為例如接著性環氧樹脂片的場合, 28 200417576 更化後的Μ月日片即使於南溫高濕下仍可得到高的形狀保持 性’並可發揮高的耐濕接著性。 於以第發明之硬化性樹脂組成物作為例如接著性 環氧樹脂糊使用的場合,上述萘型環氧樹脂以黏度低者為 :圭。又,於以第2本發明之硬化性樹脂組成物作為例如接 者性J衣乳樹脂片使用的場合,上述蔡型環氧樹脂,通常由 於含有異構物故炫點成為常溫以下,因此,亦可使常溫下 之樹脂片的柔軟性提高,硬化前的樹脂片不易破裂,:可
增進硬化速度。 作為上述常溫下為液狀的萘型環氧樹脂,可舉出例士 丄卜縮水甘油基萘、2'缩水甘油基萘、12_二縮水甘油連 奈、1’5-二縮水甘油基萘、16—二縮水甘油基葶、1 7一二 縮水甘油基萘、2,7-二縮水甘油基萘、三縮水甘、油基笼: 1,2,5, 6-四縮水甘油基萘等’惟,並非特別限定於此等。 此專奈型環氧樹脂,可單獨使用,亦可至少2種併用。
^述二環紅烯型環氧樹脂及㈣環氧樹脂中所含有 之裱氧基的數目,以每1分子羊妁糸 卜 刀千干均為1個以上為佳,而以 母1分子平均2個以上為爭4^ L L ^ 為更佳惟,並非特別限定於此。 此處,每1分子之環氧基的數 ^ j田一 %戊二烯型環氧 樹脂中的環氧基之總數或笼型璜4 丁虱树脂中的環氧基之總數 除以二環戊二烯型環氧樹脂的分 的分子之總數求出。 刀子之、-數或柰型環氧樹脂 必要時’亦可含有二環戊 以外的環氧樹脂或含有環 於上述環氧樹脂組成物中, 二烯型環氧樹脂及萘型環氧樹脂 29 200417576 氧基之化合物。 二第本發明之硬化性樹脂組成物含有環氧樹脂 用硬化劑(以下,亦雜私 稱為硬化劑」),該硬化劑係可和 ^鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹脂中之 —,_ 3之—%戊一烯型環氧樹脂中之環氧基、或 奈型環氧樹脂中之環氧基起作用,使得主鏈上具有多環式 烴骨架的環氧樹脂、具有環氧基的高分子聚合物、二環戊 一烯型%氧樹脂、或蔡型環氧樹脂發生硬化。 弟1本發明之硬化性樹脂組成物及第2本發明之硬化 性樹脂組成物之環氧樹脂組成物,由於含有上述環氧樹脂 用,化劑,故,主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹脂、具 有,氧基的高分子聚合物、二環戊二烯型環氧樹脂、或萘 型裱氧樹脂宜在加熱下強固而迅速地硬化,則第1及第2 本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物,可成為於機械強度 、耐熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐熔焊性、 尺寸安定性等皆優異,且可發揮高接著可靠性與作為導通 材料時之高導通可靠性者。 作為上述環氧樹脂用硬化劑,可舉出例如:三烧基四 氣苯二曱酸酐等之熱固型酸酐系硬化劑、苯酚系硬化劑、 胺系硬化劑、雙氰胺系硬化劑等潛在性硬化劑、陽離子系 觸媒型硬化劑等,惟,並非特別限定於此。此等環氧樹脂 用硬化劑,可單獨使用,亦可至少2種併用。 於上述環氧樹脂用硬化劑中,尤以常溫下為液狀的熱 30 200417576 固型硬化劑、與具有多官能基而以當量計之添加量少量即 可之雙氰胺等之潛在性硬化劑為較佳之適用者。藉由使用 此等硬化劑,於使用第1及第2本發明之硬化性樹脂組成 物於例如製作接著性環氧樹脂片的場合,可得到於硬化前 在常溫下為柔軟的,且操作性良好的樹脂片。相對於此, 在常溫下為固體以當量計之添加量較多的苯紛系硬化劑, 樹脂片本身之硬化前的玻璃轉化溫度(Tg)會相當地上昇, 成為易於在初期即發生破裂致操作性差的樹脂片,故非良 好。 作為上述常溫下為液狀的熱固型硬化劑的代表者,可 舉出例如:甲基四氫苯二曱酸酐、曱基六氫苯二曱酸針、 曱基納迪克酸肝(nadic anhydride)、三烧基四氫苯二甲酸 酐等之酸酐系硬化劑,其中,就基於已成為疏水化的狀態 ,以曱基納迪克酸酐與三烷基四氫苯二曱酸酐為較佳之適 用者。相對於此,甲基四氫苯二甲酸酐、甲基六氫苯二曱 酸酐,由於耐水性差,並非良好。此等酸酐系硬化劑,可 單獨使用,亦可至少2種併用。 於本發明之第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物中 ,為了調整硬化速度與硬化物的物性等,亦可於上述環氧 樹脂用硬化劑中併用硬化促進劑。 上述硬化促進劑並無特別限定,可舉出例如咪唑系硬 化促進劑、3級胺系硬化促進劑等,纟中,基於用以調整 硬化速度與硬化物的物性等之反應系的控制可容易進行, 較佳為使用咪唑系硬化促進劑。該等硬化促進劑可單獨使 31 200417576 用亦可併用2種以上。 上述咪唑系硬化促進劑並無特別限定,可與 J卒出例如咪 唑之1位受到氰乙基保護之1 一氰乙基一 2 一苯基咪唑或是以 一 I異氣酸保護驗性之商品名「2MA-0K」(四國化成工業、 司製造)等。該等咪唑系硬化促進劑可單獨使用 ' a J J 1开用 2 種以上。 於併用酸酐系硬化劑與例如咪唑系硬化促進劑等之硬 化促進劑的場合,酸酐系硬化劑的添加量以定為對環氧美 為理論上的必要的當量以下為佳。酸酐系硬化劑的添加& 若為必要量以上而過剩,則有易受水分的影響而自第1及 第2本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物溶解出氣離子的 顧慮。例如,於第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的 硬化物以熱水將溶出成分萃取時,萃取水的pH低達4〜5的 程度,自環氧樹脂所脫離的氣離子會大量地溶出。 又’於併用胺系硬化劑與例如咪唑系硬化促進劑等之 硬化促進劑的場合,胺系硬化劑的添加量以定為對環氧基 為理論上的必要的當量以下為佳。胺系硬化劑的添加量若 為必要量以上而過剩,則有易受水分的影響而自第丨及第 2本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物溶解出氣離子的顧 慮。例如,於第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的硬 化物以熱水將溶出成分萃取時,萃取水的p[I會成為鹼性 ’自環氧樹脂脫離出的氣離子亦會大量地溶出。 第2本發明之硬化性樹脂組成物,係於上述環氧樹脂 中含有芯部(芯材)之玻璃轉化溫度為2 〇 以下、殼部(外 32 200417576 殼)之玻璃轉化溫度為4(TC以上的芯殼構造之橡膠粒子。 藉由含有此等橡膠粒子,第2本發明之硬化性樹脂組成物 、 物叮九成為橡膠成分對於基體樹脂之環氧樹脂為 安定的相分離構造,既柔軟且可發揮應力緩和性。 上述橡膠粒子,具有由玻璃轉化溫度為20°c以下之芯 部與玻璃轉化溫度I 4G°C以上之外殼所構成的芯殼構造。 ^述橡膠粒子’只要是自2層以上的複層構造所構成的芯 -又構xe的粒子皆可’於自3層以上的複層構造所構成的芯 殼構造的粒子之場合,外殼係指最外殼。 述橡膠粒子的芯部之玻璃轉化溫度若超過2 0 °C,則 I 一本^月之硬化性樹脂組成物的應力緩和性無法充分地 提门又上述橡膠粒子的外殼之玻璃轉化溫度若未滿4〇 ^則橡膠粒子會彼此融合(凝集),㉟於環氧樹脂組成物 X生刀政不良的情形。又,上述橡膠粒子的外殼,較佳 者=與%氧樹脂為非相溶者,歧由部分地交聯而膠化致 不溶解於環氧樹脂中者。 作為此等構成橡膠粒子的樹脂成分 =轉化溫度為抓以下,外殼之玻璃轉化溫度為抓^ 何樹脂成分皆可,基於玻璃轉化溫度的設計範圍寬 :二’通常以使用丙稀酸系樹脂為佳,·,並非特別限 …。此等樹脂成分,可單獨使用,亦可至少2種併用 =’橡膠粒子的外殼亦可具有可和環氧樹脂中的環氧 土 α的官能基。作為可和環氧樹脂中的環氧基反應的官 33 能基’可舉出例如:胺基、 基、減… 酸醋基、醢亞胺基、經 基羧基ϋ基等,惟,並 堂、、四下ΤW此專,其中,就於 脂:成=氧基反應、不t導致第2本發明之硬化性樹 A奸-其I濕性之降低與貯藏安定性之降低考量,以經 苴 ^ οσ y 寻J和J衣虱基反應的官能 基,可早獨使用,亦可至少2種併用。
上述橡膠粒子以平均粒徑為3〇…下為佳,惟,並 =特別限定於此。橡神子的平均粒徑若超過Μ",則 f古2本發明之硬化性樹脂組成物的應力緩和性無法充分地 提门X於以第2本發明之硬化性樹脂組成物作為例如 接著性環氧樹脂糊使用的場合,由於流動性不理想,會有 妨礙塗佈性與對於間隙部的填充性,χ,於以第2本發明 之硬化性樹月曰組成物作為例如接著性環氧樹脂片使用的場 合,薄膜的樹脂片的成形會有困難。 作為如此的橡膠粒子之市售品,可舉出例如:根上工 業公司製之商品名「派拉克龍RP_101」、「派拉克龍RP一 103」
派拉克龍RP-412」等之「派拉克龍」系列,岡 炫化成公司製之商品名「斯塔費洛伊德IM_1〇1」、「斯塔 費洛伊德IM-101」、「斯塔費洛伊德IM-203」、「斯塔費 洛伊德IM-301」、「斯塔費洛伊德^401」、「斯塔費洛 伊德IM-601」、「斯塔費洛伊德AC-3355」、「斯塔費洛 伊德AC-3364」、「斯塔費洛伊德AC-3816」、「斯塔費洛 伊德AC-3832」、「斯塔費洛伊德AC-4030」、等之「斯塔 費洛伊德」系列,杰翁化成公司製之商品名「杰翁F351」 34 200417576 等之「杰翁」系歹丨丨,-贫丄田妓、 J二瓮嫘縈公司製之商品名「美挞並、* C;140;:; r^^C-201Aj ^ r^titc_2l5;^ 吴塔曰連C-223A」、「美塔普連㈠·」、「美塔普 」、「美塔普連C-M」、「美塔普連c_132」、「 =普連=2」、「美塔ME-咖」、「美塔普連w、 」 美塔日連W-300A」、「美塔普連W-450A」、「 吳塔普連s—_」、「美塔普連sx_〇〇5」、「 :―〇〇6」、「美塔普連議0」、等之「美塔普= 父惟:f?!別限定於此等…作為預先使橡膠二 刀月之%乳树月曰的市售品,可舉出例如:曰本觸媒公 之商品名「艾波昔特BPA_828」、「艾波昔特bpf, ,乂波日特」系列等,惟,並非特別限定於此。此等橡 膠粒子或分散有橡縣子之環氧樹脂可單獨使用, 少2種併用。 & 於需要時,於帛2纟發明之硬化性樹脂組成物中亦可 含有熱塑性樹脂或熱固性樹脂。 作為上述熱塑性樹脂,可舉出例如··醋酸乙烯酯系樹 脂、乙烯-醋酸乙烯酯系共聚物、丙稀酸系樹脂、聚乙烯 醇縮丁醛樹脂等之聚乙烯醇縮醛系樹脂、苯乙烯系樹脂、 飽和聚醋系樹脂、熱塑性樹脂胺基甲酸酯系樹脂、聚酿胺 系樹脂、熱塑性聚醯亞胺系樹脂、酮系樹脂、降冰片稀系 樹脂、苯乙烯-丁二烯系嵌段共聚物等,惟,並非特別限 定於此等。此等熱塑性樹脂可單獨使用,亦可至少2種併 用0 35 200417576 ^作為上述熱固性樹脂,可舉出例如:尿素樹脂、三聚 氛胺樹脂等之胺系樹脂、齡酸系樹脂、不飽和聚醋系樹脂 、,,,性胺基甲酸醋系樹脂、上述戊二稀型環氧樹脂及萘 ^ %乳樹脂以外之環氧系樹脂、熱固性聚醯亞胺系樹脂、 胺基醇酸系樹脂等,惟,並非特別限定於此等。此等熱固 性樹脂可單獨使用,亦可至少、2種併用。又,上述熱塑性 樹脂及熱固性樹脂可分別單獨使用,亦可兩者併用。 於以第2本發明之硬化性樹脂組成物作為例如糊狀的 接著性環氧樹脂糊使用的場合,上述熱塑性樹脂或献固性 樹料發揮作為增黏劑的作用。此時,只要糊的黏度不變 成=端的冑’上述熱塑性樹脂或熱固性樹脂的重量平均分 子量並無特別限定。又’需要時,亦可添加溶劑以調整糊 的黏度。 於以第2轉明之硬化性樹脂組成物作為例如在分離 物(離型片或離型紙)上成形為片狀之接著性環氧樹脂片使 用的场合’為了確保良好的形狀,上述熱塑性樹脂或熱固 ㈣脂以有較高的玻璃轉化溫度之高分子量聚合物為佳。 此%,上述熱塑性樹脂或熱固性樹脂以重量平 1萬以上為佳’…萬以上為更佳,惟,並非特別2 於此熱塑性樹脂或熱固性樹脂的重量平均分子量若未滿 1萬,則樹脂片本身的凝集力不足,容易將塗佈在樹脂片
Wmu料等之塗佈物排開’於將分離物剝離時會 發生/破集破壞的情形。 述…、2 11树脂或熱固性樹脂以具有可和環氧基反應 36 200417576 的官能基為佳。藉由使得熱塑性樹脂或熱固性樹脂具有可 和環氧基反應的官能基,第2本發明之硬化性樹脂組成物 的硬化物可發揮更優異的機械強度與耐熱性。 作為可和上述環氧基反應的官能基,可舉出例如··胺 基、胺基甲酸酯基、醯亞胺基、羥基、羧基、環氧基等, 惟,並非特別限定於此。此等可和環氧基反應的官能基, 可單獨使用,亦可至少2種併用。 於以第2本發明之硬化性樹脂組成物作為以溶劑進行 黏度調整之接著性環氧樹脂糊使用、或作為藉由溶劑塑造 法成形之接著性環氧樹脂片使用的場合,上述可和環氧基 反應的官能基之中’較佳者宜使用:纟用以使溶劑乾燥的 ii〇c的程度之溫度下不會與環氧樹脂反應,於丨5〇〜23〇它 的耘度之皿度下可和環氧基進行反應之羥基或環氧基。作 為具有經基或環氧基的樹脂,可舉出例如:聚乙烯醇縮丁 路樹脂或含有環氧基之丙烯酸樹脂等,惟,並非限定於此 〇 作為可和裱氧基反應的官能基若使用胺基或羧基等, 則將第2本發明之硬化性樹脂組成物作為以溶劑進行黏度 °接著& %氧樹脂糊使用、或作為藉由溶劑洗塑法成 形之接著性環氧樹脂片使用的場合,由於在用以使溶劑乾 =U代的程度之溫度下會和環氧基反應,故於乾燥時 :、、夺Μ月日糊或樹脂片會成為半硬化狀態(B階段之狀態 而會妨礙樹脂糊的塗佈性,或對於樹脂糊或樹脂片的被 黏3物的密合性與耐濕接著性等有時會降低。 37 200417576 又,1種的熱塑性樹脂或熱固性樹脂所具有的可和環 氧基反應之官能基的當量以i萬以下為佳,尤以1〇〇〇以下 更佳,惟,並非特別限定於此。藉由使用此當量之具有可 和環氧基反應的官能基之熱塑性樹脂或熱固性樹脂,第2 本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物可形成高交聯密度的 網路。又,所謂之可和環氧基反應的官能基的當量,係將 熱塑性樹脂或熱固性樹脂的重量平均分子量除以可和熱塑 性樹脂或熱固性樹脂中所存在的環氧基反應的官能基的總 數所得之值。 於第1本發明之硬化性樹脂組成物中,於需要時,亦 可含有:第2本發明之硬化性樹脂組成物中所含有之上述 心。卩的玻璃轉化溫度為2 0 °C以下、外殼的玻璃轉化溫度為 40 C以上之芯殼構造的橡膠粒子,或在第2本發明之硬化 性樹脂組成物中所可含有之上述熱塑性樹脂或熱固性樹脂 〇 於弟2本發明之硬化性樹脂組成物中,需要時,亦可 含有在第1本發明之硬化性樹脂組成物中所含有之上述具 有環氧基的高分子聚合物。又,第2本發明之硬化性樹脂 組成物以不含平均粒徑超過3 // m的填料為佳。 於第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物中,需要時 ,亦可添加例如:密合性增進劑、pH調整劑、離子捕捉劑 、黏度調整劑、觸變性賦予劑、氧化防止劑、熱安定劑、 光女疋劑、紫外線吸收劑、著色劑、脫水劑、難燃劑、靜 電防止劑、防霉劑、防腐劑、溶劑等之各種添加劑的丨種 38 200417576 或至少2種。 作為上述密合性增進劑, 較佳者可舉出例如··矽烷偶 合劑、鈦偶合劑、鋁偶合劍笑 ^ ^ ^ ,其中,尤以使用矽烷偶合 劑為較佳,惟,並非特別〜 疋於此。此等密合性增進劑可 早獨使用,亦可至少2種併用。 作為上述碎烧偶合劑,可與 〇 1 了舉出例如··胺基矽烷偶合劑 玉衣氧基碎统偶合劑、酿日运其 乂人 ⑬脲基矽烷偶合劑、異氰酸酯矽烷 偶合劑、乙烯基矽烷偶合劑、 口 W 丙烯基矽烷偶合劑、酮亞胺
(kehnune)矽烷偶合劑等,1 # ,、τ 就硬化速度與相對於環 氧树脂的親和性的觀點考量, 可里以使用胺基矽烷偶合劑為佳 。此等石夕院偶合劑可單獨使用,亦可至少2種併用。
上述密合性增進劑的添加量以對於第1或第2本發明 ^硬化性樹脂組成物100重量份使用密合性增進劑2〇重量 知乂下為佳’惟,並非特別限定於此。對於第1或第2本 發明之硬化性樹脂組絲⑽重量份使用密合性增進劑的 添加量若超過2〇重量份,則在以硬化性樹脂組成物作為 例如接著性環氧樹脂片使用的場合,硬化前的樹脂片的強 度與凝集力有時會太弱。 作為上述pH調整劑,可舉出例如::氧切等之酸性 填料或碳酸約等之驗性填料等"准,並非特別限定於此。 此等PH調整劑可單獨使用,亦可至少2種併用。 作為上述離子捕捉劑,只要是可使離子性雜質的量減 低者自可,可舉出例如:鋁矽酸鹽、水合氧化鈦、水合氧 化鉍、磷酸鍅、磷酸鈦、水滑石、磷酸銨鉬、六氰合辞、 39 200417576 有機系離子交換樹脂等 捉劑之市售的東亞合成 ’並非特別限定於此等 可至少2種併用。 、或作為高溫下特性優異之離子捕 公司製之商品名「IXE」系列等,惟 。此等離子捕捉劑可單獨使用,亦 述離子捕捉劑的添加量,以對於第i或第2本發明 樹脂組成物⑽重量份使用離子捕捉劑iq重量份 下為佳,惟’並非特別限定於此。對於第i或第2本發 化性樹脂組成物⑽重量份❹離子捕捉劑的添加 =。過10重讀,則硬化性樹脂組成物的硬化速度會 受成極端的慢。 第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的製造方法, 可藉由例如:將均質分散機、萬用混合機、班伯里混合機 、捏合機、"昆、3輥、擠壓機等之公知的各種混練機單 獨使用或併用,將各必要成分的各既定量、可含有之各成 刀的::置、與可添加之各種添加劑的^種或至少2種的 各既定量,在常溫下或加熱下,在㈣下、減麼下、加塵 下或惰性氣流下等之條件下均一地加以混練,來製造所要 的硬化性樹脂組成物准’並非特別限定於此。又,於環 氧樹脂用硬化劑為熱固型硬化劑或潛在性硬化劑的場合, 可用上述的製造方法’而於環氧樹脂用硬化劑為常溫硬化 型硬化劑的場合’環氧樹脂用硬化劑的添加,以在欲使用 硬化性樹脂組成物或使用其之最終製品之前添加為佳。 如此得到之第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物, 將硬化物樹脂組成物的溶出成分以n(rc的熱水萃取時的 200417576 萃取水之pH以5· 0〜8· 5為佳。 若第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物之硬化物的 溶出成分以11(TC的熱水萃取時的萃取水之pH未滿5.0或 是超過8. 5,則會於硬化物表面及附近流出酸性物質或鹼 性物質致引起鋁或銅等之電極的金屬之腐蝕,或在硬化物 引發以水解等所產生的酸為觸媒之脫氯反應而流出氣離子 致損及可靠性。 於將弟1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物 之/谷出成分以110C的熱水萃取時的萃取水之電導度以1〇〇 # S/cm以下為佳。超過1〇〇 # s/cm以下係意味著尤其在濕 潤條件下放置的場合中樹脂中的導電氣會增加,於用第上 及第2本發明之硬化性樹脂組成物進行導電連接的場合, 會發生在電極間之漏電或絕緣破壞的情形。 又’第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物之硬化物 =介電率為3· 5以下且介電損耗因子為〇· 〇2以下為佳。介 電率若超過3.5且介電損耗因子超過〇 〇2,則於現今的高 頻下之傳送特性會變差。 苐1及第2本發明之硬化性樹脂組成物的用途,適合 :使用於例如·加工成接著性環氧樹脂糊、接著性環氧樹 脂片、導電連接糊、導電連接片等而用於電子材料之固定 f,、惟,並非特別限定於此。又,亦可將上述硬化性樹脂 成物加工作成為清漆,以旋塗等之塗佈方法在矽晶圓上 形成薄膜作為接著劑使用。 於第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物中亦可添加 200417576 以助熔劑(flux)。上述助熔劑,以去活性助熔劑為佳。上 述硬化性樹脂組成物由於不含平均粒徑大的填料,可用來 作為實質上之非填料型樹脂糊或非填料型樹脂片,由於硬 化物係以使pH成為中性域的方式而設計,故亦適合作為 導電連接用之含有助熔劑的樹脂糊或含有助熔劑的樹脂片 〇 第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物,若為顆粒狀 ,則可使用作為例如:半導體封裝用密封劑、QFN用密封 劑、一體成形CSP用密封劑等之密封劑。又,上述硬化性鲁 樹脂組成物若為實質上的無填料型樹脂糊,可用網版印刷 法或旋塗法直接塗佈於具備再配線及外部電氣連接用金屬 柱(post)的晶圓上使其硬化後,經由研磨,於晶圓上將再 配線電路密封。再者,藉由使用印刷法直接塗佈於晶圓上 ,可在晶圓上作為保護劑。 又’第1及第2本發明之硬化性樹脂組成物,若成形 為片狀,可使用來作為半導體晶片固定用之接著片。 第3本發明之接著性環氧樹脂糊,係由第i或第2本_ 發明之硬化性樹脂組成物所構成。第】及第2本發明之硬 化性樹脂組成物,由於原本即具有接著性,故可容易地作 成本發明之接著性環氧樹脂糊。帛3本發明的接著性環氧 =脂糊,於第i或第2本發明之硬化性樹脂組成物的製造 ^藉由在而要時使用黏度調整劑與觸變性賦予劑等,將 硬化性樹脂組成物加工成糊狀,可容易地製得。 第4本發明之層間接著劑,第5本發明之非導電氣糊 42 200417576 ""本t明之底填料(under fill),係由第3本發明之 接著性環氧樹脂糊所構成。 第7本發明之接著性環氧樹脂片,係由第1或第2本 發明之硬化性樹脂組成物成形為片狀所構成。 乍為使第1或第2本發明之硬化性樹脂組成物成形成 片狀的方法,可~與山/ ^ 牛出例如··使用擠壓機之擠壓成形法;將 更化欧树月曰組成物以溶劑稀釋調製成硬化性樹脂組 ' :/合液允’主於分離物上之後使溶劑乾燥之溶液澆塑
=旦准、並非特別限定於此,其中,以不須要高溫的觀點 一 乂使用,合液澆塑法為佳。惟,並非特別限定於此。 ^ 一 本毛月之接著性環氧樹脂片,於使接著性環氧樹 月曰片以幵溫速度45°C/分進行昇溫時所呈現的貯藏彈性模 數超過1 X 1Q3Pa為佳。接著性環氧樹脂片之上述 ^藏弹性松數(G’)若為i χ 1()3pa以下,則於接著性環氧 4片之加熱硬化時’在接著性環氧樹脂片與被接著物的 接著界面會產生空孔(v〇id)。
第7本發明之接著性環氧樹脂片,其依據動態黏彈性 之taW的峰值溫度,以於硬化前為普4代的範圍,於 硬化後為12(TC以上為佳,而以於硬化前$ 〇〜阶的範圍 ’於硬化後為16(TC以上為更佳。此處,所謂之4以」 ’係指藉由動態黏彈性測定(測定頻率:1〇Hz、昇溫速产Ί 3°C/分),以所求出之力學上的介電耗損因子表示:值二又 ’此處㈣〔硬化前」’係指藉由加熱至既定的溫度以 上使接者性裱氧樹脂片熱硬化之前的狀態,·所謂之「硬化 43 200417576 後」’係指接著性環氧樹脂片之熱硬化後的狀態。又第^ 本發明之接著性環氧樹脂片,通_ 20 23(rc&溫度 中熱硬化。 a 藉由具有此種tan δ的峰值溫度,第7本發明之接著 性::樹脂片,於常溫下為柔軟的,且操作性優異,並且 於常溫下為有黏著性者,不須熱壓即能於常溫下使被黏著 物彼此黏纟,並且,H由熱烘箱等施行加熱硬化(後熟化) 可Ιχ揮w的接著可靠性。亦即,帛7本發明之接著性環氧 树脂片’由於硬化前在常溫下具有黏著性且經由加熱硬化 後:發揮優異的物性,故能以具有黏著性的片材進行黏合 —疋位或暫時固定,並且藉由後續的加熱可發揮優異的接 著力等之物H ’而可發揮作為接著性片之充分的接著可 性。 接著('生環氧树脂片的硬化前之$的峰值溫度若未 滿一2〇°C,則由於接著性環氧樹脂片的凝集力不充分,故不 易自分離物剝離。x,於使後述的導電氣微粒子進入接著 性環氧樹脂片中以製作導電連接片之時,€氧樹脂會有流 入用以配置導電氣微粒子而設置的貫通孔中而將貫通孔填 埋的清形。反之’接著性環氧樹脂片的硬化前t tan 5的 峰值/里度右超過40°c,則於將導電氣微粒子加入接著性環 乳樹脂片中以製作導電連接片之時,由於在常溫下之對於 導電乳微粒子之黏著性不充分,致欲保持導電氣微粒子會 有困難。 接著丨生環氧樹脂片的硬化後之tan 3的峰值溫度 44 200417576 若未滿wc,則在以熱㈣試驗等所代表的高溫高渴環 境下,已硬化之接著性環氧樹脂片會軟化,致接 性 降低。 第7本發明之接著性環氧樹脂片,硬化後之線膨脹係 數之下限卩10ppra/t為佳,上限則以200ppm,c為佳而 以下限為20卿a:、上限為15〇卿/。〇更佳尤以 30ppm/°C、上限為〗〇〇Ppm/t:為特佳。 接著性環氧樹脂片之硬化後的線膨脹係數若未滿 1 Oppm/ C ’於將導電氣微粒子加入接著性環氧樹脂片中以 製作^電連接片之時,接著性環氧樹脂片與導電氣微粒子 差會變a ’於對導電連接片施行熱循環試 括會無法追隨到導電氣微粒子的線膨服,欲維 持南導通可靠性會有困難,反之,接著性環氧樹脂片之硬 化後的線膨脹係數若料⑽卿/t,則將導電氣微粒子 加巧者性環氧樹脂片中以製作導電連接片之時,
熱循壞試驗的場人,士日姐A _ 對向的電極間距離會過度拉大致使 ¥電,U粒子自電極分離,而成為導通不良的原因。 弟8本發明之非導電氣薄膜,及第9本發明之晶粒安 —糸由第7本發明之接著性環氧樹脂片所構成。 产氣二2本發明之導電連接糊’係於第3本發明之接著性 衣乳^糊中含有導電氣微粒子而構成。 奸本毛月之異向性導電糊,係由第丄〇 電連接糊所構成。 r月之導 第12本發明之導電連接片,係於上述第7本發明之接 45 200417576 著性環氧樹脂片中含入導電氣微粒子所構成,且上述導電 氣微粒子的至少一部份為自接著性環氧樹脂片露出的狀態 〇 第13本發明之導電連接片,係於上述第7本發明之接 著性環氧樹脂片中埋設較樹脂片的厚度小的導電氣微粒子 所構成。 作為第10本發明之導電連接糊、第u本發明之導電 連接糊、及第12與第13本發明之導電連接片中所使用之 導電氣微粒子,只要是具有導電氣的微粒子皆可,可舉出 例如··由金屬、碳黑等之導電氣無機物、導電氣高分子所 構成者、由樹脂所構成的高分子量聚合物、藉由鍍敷處理 等方法在非導電氣無機物或非導電氣高分子等之最外層設 置導電被覆膜者、在導電氣無機物或導電氣高分子等之最 外層進-步設置導電被覆膜者等,惟,並非特別限定於此 ,其中,由容易得到適當的彈性、柔軟性、形狀回復性等 之球狀物考里’較佳之可使用者為由高分子量聚合物所構 成的芯部(芯材)的表面形成有導電被覆膜所成的導電氣微 粒子。此等導電氣微粒子,可單獨使用,亦可至少2種併 用。 上述導電被覆膜,以由金屬所構成者為佳,惟,並非 限定於此。作為導電被覆膜形成用的金屬,可舉出例如: 、—銀鋁銅、錫、焊料等,惟,並非限定於此等 。此等導電被覆膜,若就與電極間的接觸電阻、導電氣及 不發生氧化惡化等考量,則以最外層使用金的導電被覆膜 46 200417576 為^又,導電被覆膜,以具有複層化絲護層或用以增 心邛與金屬間的密合性的鎳層為佳。
上述導電被覆膜的厚度只要有能夠充分導通且不致剝 離的程度之皮膜強度即可,以〇·4…上為佳,而以M 、更仏尤以2 // m以上為特佳,惟,並非特別限定於 〜邛的直徑,只要是不會使芯部的特性喪失之程 度白可,以導電氣微粒子的直徑之i /5以下為佳,惟, 並非特別限定於此。 作為上述作成為導電氣微粒子的芯部之高分子量聚合 物,較佳者可使用例如··尿素樹脂、三聚氰胺樹脂等之: 系樹脂、酚醛系樹脂、丙浠酸系樹脂、乙烯—醋酸乙烯酉旨 系/、來物、苯乙烯—丁二烯系嵌段共聚物、聚酯系樹脂、 醇酸系樹脂、|醯亞胺系樹脂、胺基曱酸酯系樹脂、環氧 系树脂等之熱塑性樹脂與熱固性樹脂、交聯樹脂、有機無 機混成聚合物等,惟,並非特別限定於此,纟中,就财熱 性優異方面考量,以使用交聯樹脂為佳。此等高分子量聚 合物,於需要時,亦可含有填充物。又,此等高分子量聚 合物’可單獨使用,亦可至少2種併用。 上述導電氣微粒子,以平均粒徑、粒徑的長寬比、粒 徑的CV值(變動係數)、電阻值、壓縮回復率、線膨脹係數 及K值分別在下述的範圍内為佳,惟,並非特別限定於此 〇 作為上述導電氣微粒子的平均粒徑,於以上述導電氣 微粒子混入於樹脂中而使用的場合,以下限為1 # m、上限 47 200417576 為5 // m為佳。尤以下限為2 # m為更佳。 又於以上述導電氣微粒子使用於樹脂片巾而成為導 電氣微粒子外露的場合,上述導電氣微粒子的平均粒徑, 固然依樹脂片的厚度而#,而以下限為1〇_、上限為8〇〇 μ為佳。若未滿1Mm’則由於電極與基板的平滑性的精 度的問題’致導電氣微粒子與電極不易接觸而引起導通不 良’若超過8GG",則無法因應於微細間隔的電極,致使 鄰接電極短路。而以下限為15"m、上限為3〇—為佳,
以下限為30㈣、上限為15〇㈣為更佳,尤以下限為心 m、上限為80//m為特佳。 又,上述導電氣微粒子的平均粒徑可經由對任意的 100個導電氣微粒子以顯微鏡觀察進行測定。 ^ 上述導電氣微粒子的粒徑的長寬比以未滿13為佳, 而以未滿1.1更佳,尤以未滿U5為特佳。又,導電氣微 粒子的粒徑的長寬比,係、由導電氣微粒子的平均長徑除以 平均短徑所求出的值。
上述導電氣微粒子的粒徑的長寬比若為13以上,由 於導電氣微粒子不齊―’故短徑部分無法到達電極致發生 導通不良的情形。冑常,導電氣微粒子以粒徑的長寬比高 者為多,故本發明中所使用的導電氣微粒子係在可變形的 狀態下經由利用表面張力等的方法施行球形化處理而作成 者為佳。 CV值(變動係數)以5%以 1 %以下為特佳。又,所謂 上述導電氣微粒子的粒徑的 下為佳,而以2%以下更佳,尤以 48 200417576 之導電氣微粒子粒徑的cv A,如下述算式所示般,係由 粒位的;^準偏差除以平均粒徑再乘以⑽所求出的值。 粒徑的〇值(%)=(粒徑的標準偏差/平均粒徑)X 1〇〇 /一 ^述導電氣微粒子的粒徑的CV值若超過5%,由於粒 I不片 較小的導電氣微粒子無法觸及電極致會有發生 導〔不良的Jf形。通常的導電氣微粒子’由於粒徑的〇 本I月中所用的導電氣微粒子以經由分級使粒徑齊 一者為佳。尤其欲使粒徑以良好的精度分級為200 “以下 的微粒子有困_,故以組合進行篩分級、氣流分 分級等為佳。 …八 1 0 %時,其 〇 · 0 5 Ω以下 上述導電氣微粒子,於壓縮達平均粒徑的 電阻且為1 Ω以下,而以〇· 3 Ω以下為佳,以 更佳,尤以〇 · 〇 1 Q以下為特佳。 上述導電氣微粒子的電阻值若超過1Ω,欲確保充八 的電流值會有困難,欲对高電壓亦有困難,故元件會有: 法正㊉進仃動作的情形。又,導電氣微粒子的電阻值若為 、下則即使是電流驅動型的元件亦可在確保言導 通可靠性之下動作,可顯著地提高效果。 1 上述導電氣微粒子的壓縮回復率宜為5%以上,以2⑽ 以上為2 ’而以50%以上更佳,尤以m以上為特佳。又/ 此處所明之導電氣微粒子的壓縮回復率,係於201的環产 氣氛下’ 1G%的壓縮變形狀態下的形狀回復率,係依據= 千=5165號公報中所記載的方法,用微小壓縮試驗器(例 如’ ’聿製作所公司製的商品名「PCT—200」),以鑽石製 49 200417576 的直徑50“的圓柱的平滑端面,對導電氣微教子以壓縮 ::0.28-/秒、原點負荷值1〇mN、翻轉負荷值的 條件進行㈣,至翻轉點為止的移位差的比以%表示之值 Ο 上述導電氣微粒子的壓縮回復率若未滿5%,則對向的 電㈣因衝擊等而瞬間拉大距離時,㈣氣微粒子會無法 追隨跟上,致會發生瞬間性的導通不良的情形。 上述導電氣微粒子的線膨脹係數以下限為丨、 上限為200卿/。(:為佳,而以下限a 2〇卿/<t、上限為 150卿/t為更佳,尤以下限為3〇卿、上限為⑽卿/ C為特佳。又,導電氣微粒子的線膨脹係數可經由公知的 方法測定。 上述導電氣微粒子的線膨脹係數若未滿1〇ppm/(5c,則 將導電氣微粒子加入例如第4本發明之接著性環氧樹脂片 中,作成Μ 6或第7本發明之導電連接片之時,由於導 電氣微粒子與接著性環氧樹脂片的線膨脹係數的差增大, 於施仃熱循帛等之時會_以追隨接著性氧樹脂片的伸長 :而會導致導通不安定m導電氣微粒子的線膨脹 係數若超過200ppm/°C,則於導電連接片經由黏著而接合 於基板上的場纟,於施行熱循玉裒等之時,間距離會過 度拉大,致使經由黏著的接合部分受到破壞使得應力集中 於電極連接的部分,而會導致導通不良的情形。 上述導電氣微粒子的K值,以下限為400N/mm2、上限 為1 5000N/mm2為佳,而以下限為1〇〇〇N/mm2、上限為 50 200417576 10000N/mm2 為更佳 8000N/mm2 又更佳, N/mm2為特佳。又, 95165號公報中所記載般,係定義為(3//2) · F · S—3/2 · R-1/2(單位為N/_2),係對球體的硬度做普遍且定量的表示 之值具體而έ,係依據上述公報中所記載的方法,用微 ’以下限為2000N/mm2、上限為 尤以下限為3000N/mm2、上限為6〇〇〇 導電氣微粒子的K值,如特公平7一 小壓縮試驗器(例如,島津製作所公司製的商品名「PCT一 2〇〇」),以鑽石製的直徑5〇# m的圓柱的平滑端面,對導 電氣微粒子以壓縮硬度〇·27Ν/秒、最大試驗負荷i〇g的條 件進行壓縮所算出的值。此處,F為i關縮變形之負荷值 (N),S為10%壓縮變形之壓縮移位(_),R為半徑(_)。 上述導電氣微粒子的K值若未滿4〇〇N/mm2,則由於相 對向的電極間無法充分地含入導電氣微粒子,於電極表面 發生氧化的場合會無法導通,或接觸電阻增大致導通可靠 性降低,反之,導電氣微粒子的κ值若超過15〇〇〇N/mm2, 則以相對向電極包夾之時,會對電極局部性地施加過大的 壓力致使元件破壞,或電極間的間距僅由粒徑較大的導電 氣微粒子所決定致粒徑較小的導電氣微粒子無法觸及電極 而成為導通不良的原因。 第10本發明之導電連接糊,可經由對第3本發明之接 著性環氧樹脂糊添加既定量的上述導電氣微粒子進行均一 的〉昆練而製作。 第12及第13本發明之導電連接片,可在第7本發明 之接著性環氧樹脂片中含入、配置或埋設既定量的上述導 200417576 電氣彳政粒子而製作。 作中所使用之接著性環氧樹脂片 的平均粒徑的1/2〜2倍為佳,而 以3/4〜1.3倍又更佳 上述導電連接片的製 的厚度,以導電氣微粒子 以2/3〜1· 5倍為更佳, 4/5〜1· 2倍數為特佳。 π上述导電連接片中, 雷齑私工+, 於作成為在樹脂片尹有 未達導電氣微粒子的平均粒_ 予度; 月匕Η热、丄 的1/2倍,則接著性環氧名
曰難以支持電極基板,反之,垃装从s — 芒初、Μ、# 之接者性^氧樹脂片的厚;ΐ 右超過導電氣微粒子的平均粒 子; M u ^ , J Ζ ^ 則導電氣微粒j :觸及電極而成為導通不良的原因。尤其是在元件及男 板上有突塊的場合,接著性 ^ ^ Γ生衣乳树月曰片的厚度以導電氣微 沒有4的粒徑的1倍以上為佳,反之,在元件及基板上 :::塊的場合,接著性環氧樹脂片的厚度以導電氣微粒 的平均粒徑的1倍以下為佳。
於上述導電連接片的製作中所使用的接著性環氧樹脂 中’以設置有用以配置導電氣微粒子的貫通孔為佳。設 置:述貫通孔的位置,可依導通對象的基板或晶片而適當 地選擇,可任意地設置在與所要導通的對向基板的電極之 相同位置上,惟,並非限定於此。 上述貫通孔,其平均孔徑、孔徑的長寬比及孔徑的cv 值以刀別在下述的範圍内為佳,惟,並非特別限定於此 貫通孔的平均孔徑,以導電氣微粒子的平均粒徑的 52 200417576 1 / 2〜2倍為佳,而 ,尤以心佳"倍更佳’以4/5〜"倍更佳 氣微粒子的平均粒。Λ 通孔的平均隸若未達導電 〜虹的1/2或超過其2倍,則埋設之導 氣微:子容易自貫通孔脫離。 之導電 貝通孔的孔徑之長寬比,以未滿2為佳,而 下為佳,以1 3以ΠΓ西& 乂 的孔徑之長寬比若為2以上尤:1·1以下為?!:貫通孔 易自貫通孔脫離。又,所神*配置之導電錢粒子會容 所明之貝通孔的孔徑之長寬比, 由孔役的平均長徑除以平均短徑所求出的值。' :通孔的。孔徑的^值,以1〇%以下為佳,而瑪下 ’ Μ 2“下又更佳’尤以1%以下為特佳。貫通孔 孔徑的CV值若超過1()% 貝通孔的 粒子合白*3 則孔徑不齊一,配置之導電氣微 粒:會自貝通孔脫離。又,所謂之貫通孔的孔徑之⑺值 "乘:?:异广經由以孔徑的標準偏差除以平均孔 仫冉采以1〇〇而求出的值。 ,徑的α值〇〇=(孔徑的標準偏差/平均粒徑)χ⑽ 上設置ί=!連接片之製作中所用的接著性環氧樹脂片 wΜ貝通孔,在此貫通孔配置導電氣微粒子之時, 於已賦予接著性環氧樹脂片本身黏著性之場合,藉由:貫 通孔的周圍的黏著性,可得到對導電氣微粒子之接著性, 而可禮保在室溫範圍附近之高導電氣微粒子的保持性。 ^ ’作為在設置於接著性環氧樹赌片的貫通孔中配置 導::微粒子的方法,可舉出例如:通 氣微粒子的方法、在貫通孔上麼抵導電氣微粒子的方二導電 53 200417576 …第12本發明之導電連接片,係在第7本發明之接著性 裱乳樹脂片中使導電氣微粒子含入,亦即,係於帛? ===環氧樹脂片中的任意的位置配置多數的導電’氣 ^子所構成,且導電氣微粒子之至少—部份係 環氧樹脂片露出。 ’' ,由前述構成之導電連接片,於使微細的對向電極導 鄰接的電極間不會漏電’可在短時間内容易地進 仃回可罪性的導通。 < 至二電氣微粒子的位置,可使導電氣微粒子的 μ路出於接著性環氧樹脂片的__ 亦可使導電氣微粒子的至少一部 片的兩面的方式配置。路出於接著性環氧樹脂 =3本發明之㈣連接片,係於第了本㈣之接 二ΓΛ:埋設有較該樹脂片的厚度小的導電氣微粒子 電二:子=二 面或兩面,亦可*^ 接著性環氧樹脂片的一 於未在接著性環氧樹脂片上 經由將厚度^孔的%合’亦可 樹脂片上而埋㈣…“粒子緊於接著性環氧 氧樹脂片本身二:微粒子。此時,於已對接著性環 氣微粒子以安定=場合,藉由此黏著性可使導電 樹脂片的黏著= 達硬化的程度之加i 可進行接著性環氧樹脂片未 …以提两接著性環氧樹脂片的黏著性。 54 200417576 ^氣樹脂片的内 以安定的狀態埋 又,所埋設之導電氣微粒子,以在接著性 部有重心為佳。藉此,可使導電氣微粒子 設0 13本發明之 第14本發明之異向性導電薄膜,係由第 導電連接片所構成。
弟15本發明之導電連接片,係由黏著性樹脂片(為, ,有經由添加可塑劑而被賦予黏著性之樹脂、及常溫下名 液狀之具有奈骨架之環氧樹脂所成的黏著性樹脂組成物戶, 構成者與導電氣微粒子所形成者;該黏著性樹脂片,你 據動黏彈性之ta“的峰值溫度於硬化前為,的箣 圍’於硬化後為12(TC以上,並h於該黏著性樹脂片之 任意的位置配置有該導電氣微粒子,料電氣微粒子之至 少一部份係自該黏著性樹脂片露出著。 作為藉由上述黏著性樹脂組成物中所含有的可塑劑之 T加而賦予黏著性的樹脂,可舉出例如:gf酸乙烯酷系樹
月曰乙烯醋酸乙烯酯系共聚物、丙烯酸系樹脂、聚乙烯 醇縮丁醛樹脂等之聚乙烯醇縮醛系樹脂、苯乙烯系樹脂、 飽和聚酯系樹脂、熱塑性樹脂聚胺基甲酸酯系樹脂、聚醯 胺系樹脂、熱塑性聚醯亞胺系樹脂、酮系樹脂、降冰片烯 糸树月曰本乙烤-丁一浠糸後段共聚物等,惟,並非特別 限定於此。此等樹脂,欲使其具有高耐熱性且經由可塑劑 之添加而賦予黏著性,以具有較高的玻璃轉化溫度的高分 子Ϊ聚合物為佳。又,此等樹脂,可單獨使用,亦可至少 2種併用。 55 200417576 作為上述黏著性樹脂組成物中所含有之可塑劑,可使 用在常溫下為液狀的萘型環氧樹脂。所謂之上述寧型環氧 =脂,指由具有環氧基之萘骨架所構成的環氧樹脂。上述 奈型環氧樹脂,*於具有剛硬的萘骨架,故第8本發明之 導電連接片,其硬化後的樹脂片即使在高溫高濕的環境下 亦可得到高的形狀保持性。 〜上述萘型環氧樹脂,通常’由於含有異構物故熔點為 吊溫以下,因此’帛8本發明之導電連接片,即使於低溫 :麵作亦可具有黏著性。亦即,對具有比較高的玻璃轉化 溫度之高分子量聚合物冑予黏著性的場合’#纟使用在常 溫下為液狀的萘型環氧樹脂,可發揮優異的可塑化效果, 而可得到兼具於低溫下操作對導電氣微粒子有黏著性且於 面溫高濕環境下可有形狀保持性的黏著性樹脂片乃至於導 電連接片。 •作為上述在常溫下為液狀的萘型環氧樹脂,可舉出例 如〜丨―縮水甘油基萘、2 —縮水甘油基萘、1,2-二縮水甘油 基奈、1,5-二縮水甘油基萘、16-二縮水甘油基萘、I,? — -、、伯水甘油基桌、2, 7-二縮水甘油基萘、三縮水甘油基蔡 、1,^ 5, 6-四縮水甘油基萘等,惟,並非特別限定於此。 此等奈型%氧樹脂,可單獨使用,亦可至少2種併用。 上述在常溫下為液狀的萘型環氧樹脂中所含有之環氧 二的二目“ 1分子單位之平均為1個以上為佳,而以1 分子單位之平均為2個以上更佳,惟,並非特別限定於此 56 200417576 於上述黏著性樹脂組成物中,以含有用以使在常溫下 為液狀的奈型環氧樹脂硬化的環氧樹脂用硬化劑為佳。 作為上述環氧樹脂用硬化劑,可為與上述第〗及第2 本發明之硬化性樹脂組成物中作為必須成分而含有者相同 的硬化劑’可舉出例如··三烧基四氯苯二甲酸野等之酸酐 糸硬化劑、苯酚系硬化劑、胺系硬化劑、雙氰胺系硬化劑 等潛在性硬化劑、陽離子系觸媒型硬化劑等,惟,並非特 另J限疋於此,其中尤以上述在常溫下為液狀的熱固型硬化 ^與夕吕旎基而以當量計添加量少量即可的雙氰胺等之潛 _ 在:硬化劑為較佳之可使用者。此等環氧樹脂用硬化劑, 可單獨使用,亦可至少2種併用。 又,於上述黏著性樹脂組成物中,為了硬化速度盥硬 化物的物性等之調整,亦可與上述環氧樹脂用硬化劑併用 硬化促進劑。 作為上述硬化促進劑,可為與上述第i及第2本發明 之硬化性樹脂組成物中所可併用者相同的硬化促進劑,可 舉出例如:味唑系硬化促進劑、3級胺系硬化促進劑等,· 惟’並非特別限定於此’其中就用以調整硬化速度與硬化 物之物性等的反應系之控制較容易的觀點考量,尤以上述 味嗤系硬化促進劑為較佳之可使用者。此等硬化促進劑, 可單獨使用,亦可至少2種併用。 於上述黏著性樹脂組成物中,必要時,亦可含有:即 使添加可塑劑(奈型環氧樹脂)也不會賦予黏著性的高分子 量聚合物、或例如二環戊二稀型環氧樹脂等之蔡型環氧樹 57 200417576 月曰从外的環氧樹脂、或含有環氧基的化合物。 又,於上述黏著性樹脂組成物 例如:μa人α μ 义要時’亦可添加 •述抢a性扣進劑、Ρίί調整劑、離+ # 調整,、^ U W離子捕捉劑、黏度 、觸變性賦予劑、氧化防止 劑、妙从A W 熱女疋劑、光安定 I外線吸收劑、著色劑、 劑、奸,w 難燃劑、靜電防止 ;丨種防Μ劑、防腐劑、溶劑等之各種添加劑的丨種或至少 性2 = Γ黏著性樹龍絲成形為片狀以製作黏著 .=月曰片的方法,可舉出例如:使用擠麼機之擠壓成形法 、硬化性樹脂組成物以溶劑稀釋調製成硬化性樹脂组成 /容液,將此溶液洗注於分離物上之後使溶劑乾縹之溶液 ^塑法’_,並非特別限定於此,其中,以不須要高溫的 觀點考量’以使用溶液洗塑法為佳。惟,並非特別限定於 此。 〜如此製付之黏著性樹脂片,其依據上述動態黏彈性測 定(測定頻率·· 10Hz、昇溫速度·· 3t/分)所求出之以力學 上2介電耗損因子所表示之七⑽占的峰值溫度必須為於硬 化刖為-20〜40°C的範圍,於硬化後為12〇〇c以上,而以於 硬化前為〇〜35°C的範圍,於硬化後為16(rc以上為佳。 藉由具有如此的tan 5的峰值溫度,使用上述黏著性 樹脂片所製作的第15本發明之導電連接片為在常溫下為 柔軟的且操作性良好者,並且於常溫下為有黏著性者,不 須熱壓即能於常溫下使被黏著物彼此黏合,並且,藉由熱 洪箱等施行加熱硬化(後熟化)可發揮高的接著可靠性與高 58 200417576 導通可靠性。亦即,使用上述黏著性樹脂片所製作的第15 本發明之導電連接片’由於硬化前在常溫下具有黏著性且 經由加熱硬化後可發揮優異的物性,故能以具有黏著性的 樹脂片進行黏合、定位與暫時固定,並且藉由後續的加熱 可發揮優異的接著力與優異的導通性等之物性,而可發揮 作為導電連接片之充分的接著可靠性與導通可靠性。 黏著性樹脂片之硬化前的tan 3的峰值溫度若未達—別 °c,則由於黏著性樹脂片的凝集力不充分,故第15本發 明之導電連接片不易自分離物剝離,或發生黏著性樹脂組籲 成物流入在黏著性樹脂片所設置之用以配置前述導電氣微 粒子之貫通孔中的情形;反之,黏著性樹脂片的硬化前之 tan d的峰值溫度若超過4(rc,則將導電氣微粒子加入黏 著性樹脂片中以製作導電連接片之時,由於在常溫下之對 於導電氣微粒子之黏著性不充分,致欲保持導電氣微粒子 會有困難。 又,上述黏著性樹脂片,以對於硬化後的黏著性樹脂 片在溫度120t、濕度85%RH、時間12小時的條件下施^ · 熱壓鍋試驗後之黏著性樹脂片的伸長率為5%以下為佳。 ^行上述熱壓鋼試驗後之硬化後的黏著性樹脂片的伸 長率若超過5%,則使用上述黏著性樹脂片所製作之第工5 本發明之導電連接片的接著可靠性與導通可靠性會不理邦 〇 作為第1 5本發明之導電連接片中所用之導電氣微粒子 ’可為與第1 0本發明之導電連接糊、第丨丨本發明之異向 59 200417576 =電糊、第12及第13本發明之導電連接片中所含有之 導電氣微粒子’可舉出例由金屬、碳黑等之導 :二::物導電氣高分子所構成者’由樹脂所構 物’藉由鑛敷處理等方法在非導電氣無機物或 導電乳面分子等之最外層設置導電被覆膜者 無機物或導電氣$分+蓉$ # & a % ^ 者聲,子荨之取外層進-步設置導電被覆瞑 /‘隹,並非特別限定於此,丨中,由容易得到適當的 舞性、柔軟性、形狀回復性等之球狀物考量,較佳之;使 ::為由高分子量聚合物所構成的芯部(芯材)的表 有㈣被覆膜所成的導電氣微粒子。此等導電氣微粒子, 可單獨使用,亦可至少2種併用。 第15本發明之導電連接片,係於上述黏著性樹脂片中 含有上述導電氣微粒子所構成,亦即,係於黏著性樹脂片 :的任意的位置配置多數的導電氣微粒子所構成,且 氣U粒子之至少一部份係自黏著性樹脂片露出著。 、藉由上述構成之導電連接片,於使微細的對向電極導 通之吩,鄰接的電極間不會漏電,可在短時間内容易地進 行高可靠性的導通。 又,配置導電氣微粒子的位置,可使導電氣微粒子的 9 ^伤路出於黏著性樹脂片的一面的方式配置,亦可 使導電氣微粒子的至少一部份露出於黏著性樹脂 的方式配置。 作為在黏著性樹脂片中之任意的位置配置多數的導電 氣微粒子以製作導電連接片的方法,可使用與製作第12 60 本發明之導電連接片之相同的方法。 第3本明之接著性環氧樹脂糊及 連接糊(以下亦簡稱為「糊彳^ 导電 , 蝴」),由於係糊狀,異於片狀者 =…片或電子元件等之尺寸的大小預先對片材 , 不須黏合作業用的裝置,故極適於多 種類少量生產方面。 夕 的位^值上述糊由於是糊狀’異於片狀者’不會有黏合時 之部八且對於配線部分的凹凸大的基板或配線以外 合:…基板也不會產生空孔。又,片狀者的場 ,於糊狀产黏。時會有片材伸長或斷裂的顧慮,相較於此 或Si二則無此顧慮。因而,對於尺寸小…片 有利。#、或凹凸大的基板,較片狀者於使用上更為 連接性環氧樹脂糊及第10本發明之導電 的黏度,則可為轉劑㈣M f 置了進仃塗佈 ,上述糊,可塗佈為無溶劑型者。又 基板。亦即,塗… 等’亦可塗佈於 泠#旦t ;各易塗佈的一方即可。又,通常,就 塗佈^父容易調節考量,以預先塗佈於基板為佳。就 至少二it:以溶劑稀釋的場合’可於塗佈於被黏著物的 熟化使溶·發7其不致出現硬化的方式在低溫下進行 電子元件等3位t糊狀往Bp&b段變化,進行ic晶片或 糊為無溶劑型者的=以覆晶連接等方法接合。又,上述 者的场合,亦可同樣地進行Ic晶片或電子 61 200417576 兀件等,定位後,以覆晶連接等方法做接合。 述輛亦可只對欲接著的部分以配料器、輥、壓印 土的塗佈。又,為提高接著可靠性與導通可 罪性,亦可細士上" 工17…、作成為流動的糊,以覆晶連接時之加 熱將基板的凹凸填埋。 、由第3本發明之接著性環氧樹脂糊及帛1 0本發明之導電 連接糊的用途,可、翁 接 〃 了適用於例如··電路基板的接著與導通連 電子兀件的突塊狀之突起電極與另一方的電極之導 、連㈣之電子材料_定等1,並非㈣㈣於此。 另-方面’第7本發明之接著性環氧樹脂片及第12、 ,雜妙”本t月之導電連接片’由於是片狀,與糊狀者相異 材::A IC B曰曰片或電子元件等之尺寸的大小預先對片 仃古、切、加工,須黏合作業用的裝置Μ旦由於在生產 、上^速生產,故極適於少數種類多量生產方面。 "丄弟12、13、15本發明之導電連接片的用途,可適用於 :…夜晶顯示器、個人電腦、行動通訊器材等之電子製 此Η體几件等小型零件與基板的電氣連接、基板彼 =軋連接之方法中之使微細的電極對向進行電氣連 途准並非特別限定於此。作為實際製品,可舉 的二:5己憶卡、1C卡等。又’亦適用於:玻璃電路基板 、k過程之汽車的車燈部分等之玻璃表面上設置導通電 路的方法中,使玻璃表面與導通電路的電極面相對向而進 仃連接之用途。如此,可作成為電子元件接合體。又,上 述導电連接片’不只可使用於單層的基板,亦可使用於以 62 417576 ‘電氣微粒子作為 上下導通材之由複數的層所構成之基板 第16本發明之覆晶膠帶,係由第12或15本發明之導 電連接片所作成。
第丨2、13、15本發明之導電連接片,特別適用於裸晶 的:合用。通常,於進行裸晶接合之時使用覆晶的場合須 有大塊’而使用上述導電連接片的場合,由於導電氣微粒 子可發揮作為突塊的作用,故可不使用突塊而進行連接。 因此’:省略突塊製作之繁複的製程,是甚大的優點。又 人導電氣微粒子為具有上述般的較佳# K值A CV值等之場 P使疋鋁電極等之容易氧化的電極,亦可破壞其氧化 膜而進行連接。
作為第12、13、15本發明之導電連接片與上述基板 無突塊之晶片的連接方法,可舉出例如下述的方法。其 .在表面形成有電極的基板或晶片上,使導電氣微粒子; 達電極的位置的方式載放導電連接片,再使另—方之具; 電,面的基板或晶片以使電極對位的方式置放。經由在^ 狀’%下進行加熱或加魔等透過導電連接片進行連接。又 力…、或加>1 ’以使用附有加熱器㈣合機或接合機等為士 作為上述接合條件,基於可確實地達成導通考量(亦即 就電極:導電氣微粒子可確實地接觸考量),以施加溫 又為佳☆未確實做到,則在電極與導電氣微粒子未接觸 的狀態下,因熱致樹脂流動,十樹脂流入電極與導電 63 200417576 氣微粒子之間致導通不良。二者,由於不存在著限制導電 氣微粒子的力量,故於樹脂流動之同時,導電氣微粒子會 自電極的位置移動開,致無法得到確實的導通。具體而言 ’先在未施加溫度的狀態下,以高壓加壓,經由一邊監測 電阻值以確認電極彼此接觸之後,將壓力降低到導電氣微 粒子不存在破裂的領域後再進行加熱,藉此,導電氣微粒 子藉由與電極間的摩擦力而不致因樹脂的流動而移動,且 在電極與導電氣微粒子之間不會咬入樹脂而可確實地得到 導通連接。因而,壓力條件係採取由高壓往低壓之二階段 的歷程(prof i le)。 又,此時以陶瓷加熱器一舉昇溫之時,於樹脂中或接 著界面處會有產生空孔的情形。此乃於高溫時(2〇〇勺的程 度)所產生之例如水分等之揮發成分發泡而引起密合不良 所致。為了防止此情形’有對樹脂中的揮發成分本身加以
抑制的方法。^而,於使用有機基板作為被黏著體之時 即使怎麼減少樹脂中的揮發成分的量,自被黏著體所產 的揮毛成77有時仍會成為發泡的原因。基於此情形,吾 認為:藉由使加熱之時的樹脂彈性模數保持於特定的彈 模數以上可抑制此種發泡現象。 作為此種考量的方法’有通常所使用之請段化(半 化)的方法。藉此可抑制樹脂的流動性,且可抑制發泡 然而’此方法在本質上係使樹脂往間隙的流動不易發生 致:吏對於接著性(尤其是水容易集中存在於界面處之耐 接者性)有不良的寻彡塑 m '、因°因而,B階段化的方法,若就整 64 200417576 的均衡性能考量 並非好的方法。 =一方法為對流動性影響不大而使樹脂的彈性模數成 ::二的程度以上的方法。其較佳者可使用微小的無機填 ' 如·通常作為增黏劑使用的微粉(粒徑為1 # m以 ,奈米等級)之二氧化矽等。尤其是在不使用上述B階段 化的方法,而S藉纟提高彈性模數來抑制f孔&發生是周 ^的。上述者雖係針對導電氣微粒子定點配置於片材的任 意位置上所構成的導電連接片做說明,惟即使於導電氣微
粒子埋設於片#中所構成的導電連接片,亦可用相同的方 法使用於導電連接材料用途。 用第丨2、13、15本發明之導電連接片進行連接之導 電,接構造體,為了避免發生自片材的連接端面之水分筹 的侵入之不良情形,亦可將片材的周圍密封。作為密封印 用的密封材,較佳者可使用纟,可舉出例如:環氧樹脂、 矽酮樹脂、酚醛樹脂、聚醯亞胺樹脂、無機材料等,惟, 並非特別限定於此。
第17本發明之電子元件接合體,係利用下述之任一者 之材料使電子元件的突塊狀的突起電極與另一方的電極在 導通的狀態下接合所作成。其等材料包括:第)或第之本 發明,硬化性樹脂組成物、帛3本發明之接著性環氧樹脂 糊一第4本毛明之層間接著劑、帛5本發明之非導電氣糊 、“本發明之底填料、第7本發明之接著性環氧樹脂片 、弟8本發明之非導電氣薄膜、帛9本發明之晶粒安裝膜 、第10本發明之導電連接糊、第11本發明之異向性導電 65 200417576 糊第12、13或15本發明之導電連接片、第丨4本發明之 異向性導電薄膜、或第1 6本發明之覆晶膠帶。 又第18本發明之電子元件接合體,係利用下述任一 者之材料,使選自由金屬引線框、陶瓷基板、樹脂基板、 矽基板、化合物半導體基板及玻璃基板所構成群中至少i 種的電路基板進行接合所作成。其等材料包括··第丨或第 2本發明之硬化性樹脂組成物、第3本發明之接著性環氧 树月曰糊、帛4本發明之層間接著劑、第5本發明之非導電 氣糊第6本發明之底填料、第7本發明之接著性環氧樹鲁 =片、第8本發明之非導電氣薄膜、第9本發明之晶粒安 、第1G本發明之導電連接糊、第n本發明之異向性 導電糊、第12、13或15本發明之導電連接片、第14本發 明之異向性導電薄膜、或第16本發明之覆晶膠帶。 一上述樹脂基板,以玻璃環氧基板、雙馬來酸酐縮亞胺 二嗪基板、或聚醯亞胺基板為佳。 苐1本^明之硬化性樹脂組成物,由於係含有:環氧 樹脂、具有可與環氧基反應的官能基之聚合物、與環氧樹籲 脂用硬化劑,以重金屬染色,經由穿透型電子顯微鏡觀察 之硬化物的樹脂基體中觀察不到相分離構造之故,硬化後 於機械強度、耐熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、 耐溶*干性、尺寸安定性等方面皆優異,並可發揮高接著可 靠性與作為導通材料時之高導通可靠性。 第2本發明之硬化性樹脂組成物,由於係在含有由具 有二環戊二烯骨架的環氧樹脂、具有萘骨架的環氧樹脂、 66 200417576 與環氧樹脂用硬化劑所混合而構成的環氧樹脂組成物中, 含有象玻璃轉化溫度為耽以下、外殼之玻璃轉化浪 度為4(TC以上的芯殼構造之橡膠粒子之故,硬化後於機: 強度、耐熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐 性、尺寸安定性等方面皆優異,並可發揮高接著可靠性與 作為導通材料時之高導通可靠性。 、 第3本發明之接著性環氧樹脂糊及第7本發明 性環氧樹脂片,由於係由上述第i或第2本發明之硬化性 樹脂組成物所構成之故,硬化後於機械強度、耐熱性 濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐炫焊性、尺寸安定 ^面白優異’並可發揮高接著可靠性與作為導通材料時之 高導通可靠性。 、 〃由於第4本發明之層間接著劑、第5本發明之非導雷 现糊、及第6本發明之底填料,係由第3本發明之接著性 %乳樹脂糊所構成,·第8本發明之非導電氣薄膜、及第9 女裝膜’係由$7本發明之接著性環氧樹脂 構成之故,硬化後於機械強度、耐熱性、耐濕性 =性、、耐冷熱循環性、耐炼焊性、尺寸安定性等方面皆優 /、,並可發揮高接著可靠性與高導通可靠性。 “由於第10本發明之導電連接糊係於上述第3本 接著性環氧樹脂糊中含有導電氣微粒子;又,第12 13本發明之導電連接片係於上述第7本發明之 = 樹脂片中配置或埋設導電氣微粒子之衣 於機械強度、耐熱性、耐濕性、可挽性、耐冷熱吏 67 200417576 ㈣焊性'尺寸安定性等方面皆優異,並可發揮高接著可 靠性與高導通可靠性。 第11本么月之異向性導電糊,由於係由第1 〇本發明 之導電連接糊所構成之故,硬化後於機械強度、财熱性、 耐濕性、可撓性、对冷熱循環性、财炼焊性、尺寸安定性 等方面皆優異’並可發揮高接著可靠性與高導通可靠性。 第14本發明之異向性導電薄膜,由於係由第13本發 月之‘電連接片所構成之故,硬化後於機械強度、耐熱性 、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐料性、尺寸安定 Φ 性等方面皆優異’並可發揮高接著可靠性與高導通可靠性 Ο 第15本發明之導電連接片,由於係由黏著性樹脂片( 為由含有經由添加可塑劑而被賦予黏著性之樹脂、及常溫 下為液狀之具有萘骨架之環氧樹脂所成的黏著性樹脂組成 物所構成者)與導電氣微粒子所形成,該黏著性樹脂片, 依據動黏彈性之tan5的峰值溫度於硬化前為_2〇〜4〇t的 範圍’於硬化後為12m,並且,於該黏著性樹脂# · 之任似的位置配置有5亥導電氣微粒子’所以硬化後於機械 強度、财熱性、耐濕性、可撓性、<冷熱循環性、财炼焊 性、尺寸安定性等方面皆優異,並可發揮高接著可靠性與 高導通可靠性。 第16本發明之覆晶膠帶,由於係由第12或第15本發 明之導電連接片所構成之故,硬化後於機械強度、耐熱性 、耐濕性、可撓性、财冷熱循環性、财炼桿性、尺寸安定 68 200417576 面皆優異’並可發揮高接著可靠性與高導通可靠性 …弟17及第18本發明之電子元件接合體,由於係使月 弟1或第2本發明之硬化性樹脂組成物、第3本發明之去 著性環氧樹脂糊、第4本㈣之㈣接㈣、第5本發3; 之:導電氣糊、第6本發明之底填料、第7本發明之接著 性壤氧樹脂片、第8本發明之非導電氣薄膜、第9本發明 之晶粒安裝膜、第10本發明之導電連接糊、帛u本發明
:異向性導電糊、帛m戈15本發明之導電連接片、 :14本發明之異向性導電薄膜、或帛料發明之覆晶膠 ▼所製作’故可發揮高接著可#性及高導通可靠性。 【實施方式】 以下’揭示實施例就本發明更詳細地加以說明,惟, 本發明並非僅限定於此等實施例。 於本實施例中,除了特別表示的場合之外,係使用下 述的原材料。 1 ·環氧樹脂 _ (1)一 ί衣戊一烯型固態環氧樹脂(商品名「⑽刖 」、大曰本油墨化學工業公司製) 、⑵奈型液狀環氧樹脂(商品名「Ηρ—偏2D」、大日本 油墨化學工業公司製) 卜雙酚A型液狀裱氧樹脂(商品名「EP828」、日本環 氧樹脂公司製) 2·具有環氧基的高分子 69 2〇〇417576 (1) 含有環氧基之丙烯酸樹脂-a (商品名「麻普爾夫 ^2〇50M」、懸浮聚合法、環氧當量:340、重量平均分子 里· 2 0萬、玻璃轉化溫度:8 0 °C、日本油脂公司製) (2) 含有環氧基之丙烯酸樹脂-b (商品名「卜連瑪CP-15」、懸浮聚合法、環氧當量:500、重量平均分子量:1 萬、玻璃轉化溫度:80。(:、日本油脂公司製) (3) 含有環氧基之丙烯酸橡膠-c (使丙烯酸乙酯99重 量份與縮水甘油基甲基丙烯酸酯1重量份在醋酸乙酯中經 由熱自由基法進行溶液聚合所成者,環氧當量:㈣⑽、重 量平均分子量:20萬、玻璃轉化溫度:1〇。〇) (4) 含有環氧基之丙烯酸樹脂-d (商品名rNipp〇1 ar -42W」、曰本杰翁公司製) 3·高分子量聚合物 (1)聚乙烯醇縮丁醛樹脂(商品名:「Βχ-5Z」、積水化 學工業公司製) 4· 環氧樹脂用硬化劑 (1) 三烷基四氫苯二曱酸酐(商品名rYH 一 3〇7」、曰本 環氧樹脂公司製) (2) 雙氰胺(商品名「eh-3636 AS」旭電化工業公司製) (3) 脈口丫嗪(guanazine)化合物(商品名「DX147」曰本 ί哀氧樹脂公司製) 5 · 硬化促進劑 (1)三聚異氰酸改質固體分散型咪唑(商品名「2ΜΑΟΚ-PW」、四國化成公司製) 200417576 (2) 1 —氣乙基-2 -苯基味cr坐 (3) 2-乙基-4 -曱基口米α坐 6 ·接著性賦予劑 (1) 咪唑矽烷偶合劑(商品名rSP—10〇〇」、日礦材料) (2) 胺基矽烷偶合劑(商品名「S320」、吉索公司製) 7.填料 (1) 表面疏水化熱解法二氧化矽(商品名「雷歐羅矽爾 MT-1 0」、平均粒徑:1 v ^以下,德山公司製) (2) 球狀二氧化矽(平均粒徑:5 # m) 8 · 應力緩和性賦予劑 (1) 含有羥基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子(商品名「斯塔 費洛伊德AC-4030」、岡茲化成公司製) (2) 含有羧基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子(商品名「杰翁 F451」、曰本杰翁公司製) (3) 末端環氧基改質矽酮油(商品名「kf — 1〇5」、信越 化學工業公司製) 9.溶劑 (1)醋酸乙酯 (實施例1) 使用均質分散型攪拌機,使二環戊二烯型固態環氧樹 脂76重量份、萘型液狀環氧樹脂2〇重量份、含有環氧基 之丙烯酸樹脂-a 4重量份、三烷基四氫苯二曱酸酐6〇重 量份、三聚異氰酸改質固體分散型咪唑8重量份及咪唑矽 ㈣合劑2重量份均-地混練’調製成接著性環氧樹脂糊。 200417576 (實施例2〜4及比較例1〜2) 除了將接著性環氧樹脂糊的配方組成改為表1所示之 組成之外,其餘係與實施例1的場合相同,調製成接著性 環氧樹脂糊。 就實施例1〜4、及比較例1、2中所得之接著性環氧樹 脂糊的性能(1·膠化率、2·初期接著力—A、3•於2〇〇。。之發 泡狀態)以下述的方法進行評價。結果示如表i。 1 ·膠化率 使接著性環氧樹脂糊在爐中以丨7〇丨分鐘及1 它2 分鐘的2條件下進行加熱硬化。然後,將硬化物浸潰於常 溫的醋酸乙S旨巾24小時後,將不溶成分濾除,經充分乾 爍後’求出醋酸乙酯浸潰前後的硬化物的重量比(浸潰後 的重量/浸潰前的重量),算出膠化率(重量%)。
2·初期接著力-A 將接著性環氧樹脂糊滴丨滴到FR_4之玻璃環氧基板上 ,在其周圍放i 5mm見方的分離物,在其上貼上具有叫 純化膜之1〇腦見方的石夕晶片後,在17(TC下加熱硬化30 分鐘,製作成接合體。然後,在所得之接合體的上下裝上 夾具’以W分的拉伸速度進行上下拉伸,求出最大破裂 強度(N/25mm2) ’以其作為初期接著力—A。 3· 200°C之發泡狀態 將接著性環氧樹脂糊置人2GGt的爐中,i分鐘後取出 ’以目視觀察發泡狀態’經由下述基準作2〇(TC之發泡狀 態之評價。 72 200417576 [判斷基準] 〇:未看到發泡的情形。 X :出現發泡。 表J:
實方彳 _ 比較例 1 2 3 4 1 2 二環戊二烯型固態環氧樹月旨 76 78 76 48 76 48 組 萘型液狀環氧樹脂 20 20 30 50 20 50 成 含有環氧基之丙烯酸樹脂 4 2 - - - - 含有環氧基之丙烯酸樹脂-b - - 4 2 - - 重 三院基四氫苯二甲酸酐 60 60 60 52 60 52 量 三聚異氰酸改質固體分散型咪唑 8 8 8 8 8 8 份 咪唑矽烷偶合劑 2 2 2 0.5 2 0.5 表面疏水化熱解法二氧化矽 - 4 4 4 4 4 含有纖之丙讎変麵好 - - 5 5 5 5 膠化率 170〇C1分鐘硬化 100 100 58 55 35 15 評 (雷量%) 170〇C2分鐘硬化 100 100 100 100 100 100 價 初期接著性-a (N/25mm2) 412 441 588 568 304 343 於2 00°C之發泡狀態 〇 〇 〇 〇 X X 由表1可知:於實施例1〜4中所得之接著性環氧樹脂 糊,任一者之膠化率皆高,硬化性良好或優異,且不但初 期接著力-A優異並且於200°C未看到發泡情形,可抑制空 孔的產生。 相對於此,於未含有具有環氧基之高分子聚合物(含有 環氧基之丙烯酸樹脂)的比較例1、2中所得之接著性環氧 樹脂糊,任一者皆於170°C 1分鐘硬化時的膠化率低,硬化 性差,且,不但初期接著力-A差並且於200°C出現發泡的 情形。 73 200417576 (實施例5) 使一壞戊二稀型固態環氧樹脂76重量份、萘型液狀環 乳樹脂20重量份、含有環氧基之丙烯酸樹脂-a 10重量份 、二烧基四氣苯二曱酸酐50重量份、三聚異氰酸改質固 體分散型咪唑8重量份、胺基矽烷偶合劑2重量份、及表 面疏水化熱解法二氧化矽4重量份溶解於醋酸乙酯中,用 均質分散型授拌機,以攪拌速度3〇〇〇rpm的條件下均一地 檀掉此a ΰ周製成固態成分為5 0重量%之硬化性樹脂組成 物的醋酸乙酯溶液。 然後’將上述所得之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶 夜以使乾燥後的厚度成為50//m的方式,用棒塗機塗佈 於表面施有離型處理之厚度5〇#m的聚對苯二甲酸乙二醇 酉旨(PET)片的離型處理面上,之後,在n(rc下進行乾燥3 分鐘,製作成接著性環氧樹脂片。 (實施例6) 除了將接著性環氧樹脂片(硬化性樹脂組成物)的配方 、、且成改為表2所示之組成之外,其餘係與實施例5的場合 同樣的做法,製作成硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶液( 固態成分50重量及接著性環氧樹脂片。 就實鈀例5及實施例6、及比較例3所得之接著性環 虱樹脂片的性能(4·穿透型電子顯微鏡觀察、5•硬化物之玻 璃轉化溫度、6·初期接著力-B、7· PCT1 00小時後的接著力 )以下述的方法進行評價。結果示如表2。 4.穿透型電子顯微鏡(TEM)觀察 200417576 將在170°C經過30分鐘熟化硬化的接著性環氧樹脂片 以切片機(microtome)裁切成薄膜,對其使用四氧化餓染色 。對此試樣以穿透型電子顯微鏡觀察(倍率1 〇萬倍),觀察 其經由此等染色之相分離構造。藉由此等染色來觀察相分 離構造。 5 ·硬化物之玻璃轉化溫度 使接著性環氧樹脂片在17(rc下進行3〇分鐘加熱硬化 後,以昇溫速度3°C/分、拉伸模式的條件下進行硬化物的 黏彈性之測定,以tan5的峰值溫度作為玻璃轉化溫度(t 鲁
6·初期接著力-B 將裁切成5nm見方的接著性環氧樹脂片黏合到吓_4之 玻璃%氧基板上,在其上黏合具有Sit鈍化膜之矽晶片, 進行加壓使其密合後,在17(rc下進行3q分鐘加熱硬化, :作成接合體。然後,在接合體的上下裝上夾具,以5_/ '拉伸速度進行上下拉伸’求出最大破裂強度職2) ’作為初期接著力—B。 7· PCT100小時後的接著力 使得與測定初期接著力—B的場合同樣的做法所製作成 的接合體的熱壓鋼試驗(PCT)於12Gt_85猶之條件進行 _小時後’將接合體取出,以# 5.的場合之相同的做法 ^出最大破裂強度(N/25随”,作為pcn〇〇小時 者力。 75 200417576 表2 實1 _ 比較例 5 6 3 組 成 重 量 份 一環戊一烯型固態環氧樹月旨 76 50 50 柰型液狀環氧樹脂 20 20 20 ¥有環氧基之丙烯酸極 10 - ¥有壤S之丙烯酸樹^ - 30 含有環氧基之丙烯酸橡膠-C - 一 30 -J完基四氫苯一甲酸酐 50 45 40 一聚異氰酸改質固體分散型咪唑 8 8 8 胺基矽烷偶合劑 2 2 r 2 表面疏水化熱解法—氧化矽 4 ~~4 4 評 價 穿透型電子顯微鏡觀察 相溶 相溶 相分離 硬化物的玻璃轉化溫度rcl 178 180 25,173 初期接著性-B (N/25mm2) 441 510 225 PCT100小時後的接著力_(N/25mm2) 392 451 20 由表2可知:於實施例5、6中所得之接著性環氧樹脂 片,其硬化物之玻璃轉化溫度皆高,並顯示出樹脂相中2 相分離構造,故初期接著力_B優異並且pcn〇〇小時後之 接者力亦降低甚少。 相對於此,以含有以溶液聚合法所製作成的含有環氧 基之丙烯酸橡膠-c代替含有環藎其 ,“有錢基之丙烯酸樹脂的比較例 =之接著性環氧樹脂片,由於硬化物的玻璃轉化溫度 而’於低,下顯現ta以的峰值,顯示出相分離構造,因 初』接著力—B差,並且Ρπ1η 地降低。 並且PCT100小時後的接著力也極端 C實施例7) 使用均質分散型攪拌機, 脂45舌旦八— 便一 J衣戊二烯型固態環氧榷j Μ重心、綱液狀環氧_45重量份、含有環氧基 76 200417576 之丙烯酸樹脂-a 10重量份、三烷基四氫苯二甲酸酐5〇重 里伤、1 -氰乙基-2-苯基咪唑4重量份、胺基矽烷偶合劑2 重畺份、表面疏水化熱解法二氧化石夕4重量份溶解到醋酸 乙酷中’以攪拌速度3000rpm的條件均一地攪拌混練,調 製成固態成分為60重量%之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯 溶液。 然後’將所得之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶液, 以乾燥後的厚度成為40//m的方式,用棒塗機塗佈於表面 施有離型處理之厚度5〇#m的聚對苯二甲酸乙二醇酯(pm) 鲁 片的離型處理面上,之後,在n(rc下進行乾燥3分鐘, 形成接著性環氧樹脂片。 (實施例8〜12及比較例4〜7) 除了將接著性環氧樹脂片(硬化性樹脂組成物)的配方 組成改為表3所示之組成之外,其餘係以與實施例7同樣 的做法’製作成硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶液(固態 成分40%)、接著性環氧樹脂片。 就實施例7〜12、及比較例4〜7中所得之接著性環氧樹鲁 脂片的性能(7.以TEM作染色時相分離構造觀察(穿透型電 子顯微鏡觀察)、8·黏彈性tan (5的峰值溫度觀察、9. 120 °C二甲亞硼膨潤比例測定、1 〇 ·萃取水pH測定、i丨·離子傳 導度測定、12.萃取氯離子雜質測定、13·介電率ε ,測定 、14·介電損耗因子測定、15.雷射加工性、16·熔融時之最 低貯藏彈性模數G,測定、17_空孔發生之有無測定、18·接 合體PCT導通測定、19·接合體TCT導通測定)以下述的方 77 200417576 法進行評價。結果示如表3。 7·穿透型電子顯微鏡觀察 將在烘箱中於1 70°C經過30分鐘熟化硬化的接著性環 氧樹脂片以切片機裁切成薄膜,對其使用四氧化餓染色。 對此試樣以穿透型電子顯微鏡觀察(倍率1 〇萬倍),觀察其 經由此等染色之相分離構造。 8.黏彈性tan (5的峰值溫度觀察 在烘箱中於1 70°C下進行30分鐘加熱硬化之接著性環 氧樹脂片,用拉伸型黏彈性測定裝置,以昇溫速度3艺/分 _ 、測定溫度-10°C〜290°C的範圍中進行測定。觀察所得之圖 ’於tan 6的峰值溫度為2個以上的場合,亦不遺漏地記 下。 9 · 12 0 C —甲亞楓膨潤比例測定
測定經17(TC下30分鐘硬化之接著片的重量,將其浸 入加熱至120°C的二甲亞楓(DMS〇)中5分鐘。5分鐘後將此 片材取出,於溶劑妥為擦除之後,以天秤再度測定其重量 DMSO的膨潤比、守、主从壬曰、± / u %以)气次潰後重置—初期重量)χ 1〇〇 (初期重量) 10·萃取水pH測定 使接著性環氧樹脂JbJ A 1 7 η V" , 曰片在170(:的烘箱中加熱硬化3〇 鐘後,秤取接著性環氧檄护ΰ 衣軋鲥月曰片的硬化物約lg。然後,將 硬化物裁切成細片置入坡 敬褐I的δ式官中,添加蒸餾水1 ,以喷燒器(burner)將兮其. 子°式官封閉,在not的烘箱中於 78 200417576 =振動下進行12小時的加熱萃取後, 水的pH。 τ W疋卒取 對上述萃取水用離子傳導度測 子傳導度(/zs/cm)。 j疋卒取水的離 12·萃取氯離子雜質測定 用離子色譜儀’就上述所得之萃取水中的 ΐ (ppm)進行測定。 μ子雜質 13.介電率ε,測定、14.介電損耗因子測定
對在17(TC下進行30分鐘硬化後的試樣以 進行介電率及介電損耗因子的測定。 GHz 15.雷射加工性 用二氧化碳雷射,對上下时PET片之接 9片施行圓孔叫約⑽㈣直徑)後,以顯微鏡對孔= 加以觀察,依據下述基準就雷射加工性進行評價。 [判斷基準]
〇·孔形狀及貫通孔的平滑性皆良好。 x ··孔形狀已破壞。 16·熔融時之最低貯藏彈性模數G,測定 將接著性環氧樹脂片(硬化前)以熱積層機進行積層作 成=約600 ^的厚度之後,使其以昇溫速度饥/分由μ C幵溫到20(TC,就以頻率1〇()rad/秒裁斷時的彈性模數 (G')進行測定。此時,接著性環氧樹脂片的溶融與硬化會 同時發生,讀取此時所顯示的最低值的彈性模數作為最低 彈性模數{(G,)Pa}。 79 417576 I7·空孔發生之有無的測定 士以破璃環氧基板與矽晶片(1cm見方)夾著接著性環氧 5曰片,在200°C下進行3〇秒鐘熱壓來接著,用超音波剝 離缺抵測裝置就此時之空孔發生之有無加以確認。 18·接合體PCT導通測定 將上述環氧樹脂片黏合到如下述構成之玻璃/ F R - 4 其 4 土板上。該基板係由:透過IC晶片做電氣連接時與 曰曰片内的金屬配線以成為菊鏈(daiSy chain)的方式進 仃配線(在18#ffl厚的銅箔上鍍上鎳5#m、金〇.3//m)之 X 20mm X l.〇mm厚度者所構成。然後,透過此樹 片將後述之1C晶片與電極基板以78N/cm2的負荷下, 依序進行190°C 15秒、230°C 15秒之加熱而進行接合,之 後在12 5 C下進行熟化1小時,製作成導通接合體。該 晶片為尺寸i〇mmX 1〇mm之預先以引線接合所製作的金 才主大塊(尺寸為l〇〇#m、高度約5〇#m)i72個配置於外圍 所成者。 對得到之導通接合體經確認其在常溫下全部的電極皆 有高的導通電阻安定性之後,將導通接合體移入熱壓鍋試 驗(PCT)環境下(12(TC、85%RH),就PCT環境下之全體導通 電阻值改變達10%所要的時間加以測定。 19.接合體TCT導通測定 以與上述的場合之相同的方法製作導通接合體,對其 使用冷熱循環試驗機(-40 °C 〇125 °C,各1〇分鐘)進行冷熱 循環試驗(TCT )’於適當的循環數取出,對導通電阻值進行 確認’就導通電阻值改變10%以上的循環數作測定。 200417576 比較例 [> LD 寸 LT) 寸 1 1 〇 rH 1 LD 1 LD rH (Ν 1 1 1 1 相分離 92220 1 rH 350 173 LD ΓΟ 〇q 〇 ο 〇 1 壊 300 >1000 VO LD 寸 LD 寸 〇 Ο ΓΟ 1 〇 LD 1 1 寸 (Ν 寸 1 1 1 相分離 -25170 in 00 卜 o 00 LT) οα 1 1 〇 1 壊 <100 500 m LD 寸 LD 寸 〇 LD 1 〇 in 1 1 CM 寸 1 1 1 相分離 -25173 Ο if) LD I> CM r- rH 1 1 〇 1 壊 <200 >1000 寸 IS) 寸 if) 寸 1 LT) 1 〇 LD 1 1 CN 1 100 1 1 相分離 -20175 LT) LD 1 (N 1 1 1 X LO ο <100 >1000 τΗ LD 寸 ϋΊ 寸 〇 Η 1 1 00 in 1 VD 1 CM 寸 1 1 1 相溶 172 1 [> 140 146 1 : 1 〇 1 摧 1 1 ιΗ rH ID 寸 LT) 寸 〇 rH 1 1 〇 LD 1 1 V0 CM 1 1 1 1 相溶 185 1 寸 LT) ID 1 1 〇 1 壊 >400 >1000 Ο rH ID 寸 LD 寸 ο Η 1 1 〇 in 1 1 寸 OJ 1 1 1 相溶 178 1 00 〇 寸 ΓΟ 1 1 〇 1 摧 >400 >1000 4^ IK Ch LD 寸 LD 寸 Ο rH 1 1 o LD 1 1 V0 CN 1 1 〇 rH 1 182 m σ\ [> CM 寸 in rH ΓΟ 0.016 〇 1 壊 >350 >1000 CO LT) 寸 LD 寸 Ο γΗ 1 1 o LD 1 1 寸 CN 1 LD 1 1 178 o m CN [> ID ro m γΗ ΓΟ 0.015 〇 in 壊 >400 >1000 [> m 寸 m Ο γΗ 1 1 〇 ID 1 1 (N 1 1 1 1 相溶 178 00 CM ι> O 寸 LT) Η ΓΟ 0.015 〇 ΓΟ 摧 >400 900 萘型環氧樹脂 二環戊二烯型環氧樹脂 含有環氧基之丙烯酸樹脂-a 含有環氧基之丙烯酸橡膠-d 聚乙烯醇縮丁醒樹脂 三烷基四氫苯二甲酸酐 雙氰胺 2-乙基-4-甲基咪唑 1-氰乙基-2-苯基咪唑 胺基矽烷偶合劑 表面疏水化熱解法二氧化矽(平均粒徑10nm,最大12nm) 球狀二氧化矽(平均粒徑5 //m,最大< 15 #m) 含有羥基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子 含有羧基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子 以ΤΕΜ觀察之染色時相分離構造 黏彈性tan δ的峰値溫度(°C) 12 0〇CDMSO膨潤比例(%) 萃取水pH 1離子傳導度(//S/cm) 萃取氯離子雜質(ppm) 介電率ε ' 介電損耗因子tan δ 雷射加工性能 熔融時之最低貯藏彈性模數G' (103/Pa) 空孔發生之有無 PCT導通(h) TCT導通(循環數) (« BI1 _ 3 ) 200417576 由表3可看出·於實施例7〜丨丨所得之接著性環氧樹脂 片中未顯不出相分離構造,由此可知高溫時DMS〇膨潤比 非常低。 ^另一方面,於顯示出相分離構造之比較例4〜6中,可 觀測到有2個tan㈣峰值,且咖膨潤比變成非常高。 由此可知PGT性能較實施例差。於萃取水pH非為中性附近 之實施例12與比較例7所得之接著性環氧樹脂片中,離子 傳導度較高,&乃由於游離的離子溶出之故。此時,鱼電 絕緣性及電極腐蚀有相當關連之氣離子雜質量變成非常多 於比車又例7中所得之接著性環氧樹脂片,其介電率 、介電損耗因子皆顯示高的數值,於物性值上是不良的結 關於熔融時的最低貯藏彈性模數,於比較例4所得之 =性環氧樹脂片為非常低的數值,因此,無法充分抑制 起因於揮發成分的發泡,而成為接著樹脂相爽雜著空孔的 接合體。又’於實施例7所得之接著性環氧樹脂片與於實 施例8所得之接著性環氧樹脂片相較之下,雖相差不大, 但可確認添加有芯殼型梭 子之實施例8所得之接著性 %乳树脂片之TCT循環性得以拇古 不 丄 侍乂棱π。吾人認為此乃與橡膠 粒子之應力緩和硬化有關連。 又’以實施例卜9所調製的硬化性樹脂組成物之醋酸 2溶液作為制接著劑1 Η晶圓㈣·^的方法製 作成砰價用的半導體封裝體。 先用疑塗機將層間接著劑以硬化後的厚度成為π 82 200417576 的方式塗佈到在周邊配置有u〇//in χ 110//m、高2〇 # m的銅突塊的8吋矽晶圓上。塗佈後,經晶圓放置到熱 風乾燥爐中進行乾燥ll〇°C X50分鐘+i2〇°c X60分鐘,使 層間接著劑硬化。然後,將硬化之層間接著劑的表層部分 用磨削機進行磨削,使銅突塊露出。 用公知的光微影法,以使封裝體的裝載焊球用銅柱位 置成為配置區域的方式形成再配線銅電路圖案。於形成再 配線銅電路圖案後,用公知的光微影法形成銅柱,使用公 知的晶圓級焊球裝配機,作成裝載有焊球的晶圓級封裝體 _ 。然後,對裝載著焊球的晶圓進行切割,製作成個別的 1C(尺寸:i〇mm X 10_、配置有172個突塊成區域狀), 作為評價用半導體封裝體。 用所得之評價用的半導體封裝體,就焊料耐熱性、pcT 環境下之導通可靠性、及TCT環境下之導通可靠性進行評 4貝之下’確認焊料耐熱性為5次以上,pct可靠性400小 時、TCT可靠性1〇〇〇循環以上。 由上述,確認實施例7〜9所調製之硬化性樹脂組成物 _ 的酷酸乙酯溶液作為層間接著劑亦為有用者。 又,此處作為評價用的半導體封裝體,雖係製造成半 導體晶圓再配線封裝體基板,惟,於增厚印刷線路板等之 场合亦相同。 (實施例13) 使用均質分散型攪拌機,使二環戊二烯型固態環氧樹 脂45重量份、萘型液狀環氧樹脂45重量份、含有環氧基 83 200417576 之丙烯酸樹脂(平均分子量】萬,環氧當量500)4重量份、 三烷基四氫苯二甲酸酐50重量份、卜氰乙基—2_苯基咪唑 4重量份、胺基㈣偶合劑2重量份均—地混練,得到接 著性環氧樹脂糊,以其作為非導電氣糊。 (實施例14〜21、及比較例8、9 ) 除了將樹脂糊的配方組成改為纟4中所示之組成之外 ,係以與實施私i 13的場合之相同的做法製作成非導電氣
糊(實施们4〜16)或異向性導電糊(實施例17〜21、比 8、9) 〇 對實施例㈣及比較例8、9所得之非導電氣糊或里 向性導電糊的性能(萃取水之pH、氣離子雜質量、使用· 觀察之染色時相分離構造、黏彈性敎之t 度、離子傳導度、介電率(ε,)及介電損耗因子(t=;; ,以上述的方法進行評價。
又,用實施例17〜21、比較例8、9所得之異向性導電 糊、1C晶片及基板,以下述的方法製作成評價用的半導體 作為ic晶片(尺寸:10mm x 1〇mm),係使用預先以 6接合所製作的金柱突塊(尺寸為剛“、高度約心 «ΟΠ2個配置於外圍所成者;作為基板,係使用透過π晶 =於電氣連接時與Ic ^内的金屬配線以成為菊鍵的方 "進仃配線(在18以m厚的銅箱上鑛敷上* 5 β m、金〇 3 " m)之20關X 20随x L〇mm厚度者(玻璃/環氧系fr_4) 84 200417576 首先,使基板在熱風乾燥爐中以120°C X6小時進行風 乾,將基板中的水分去除。 其次,將實施例17〜21、比較例8、9中所得之異向性 導電糊填充到注射器(武藏工程公司製)中。於此注射器的 前端安裝上精密喷嘴(武藏工程公司製,噴嘴前端口徑 0· 3mm),用分散裝置,以使在乾燥完成後之基板的ic晶片 接合區域内之異向性導電糊的塗佈量成為約4〇mg的方式進 行塗佈。
將經塗佈的基板之電極部分與1C晶片的電極部分以覆 晶接合機(澀谷工業公司製,DB1 0 0 ),進行覆晶連接。連接 條件係定為78N/cm2、190°C X15秒+230°C X15秒。然後, 於熱風乾燥爐中進行12(TC XI小時的乾燥,使樹脂完全硬 化,製作成評價用半導體封裝體。 用製作成的半導體封裝體,以下述的方法,進行2〇· 焊料耐熱性之評價,及以上述的方法, 導通可罪性、TCT環境下之導通可靠性 進行PCT環境下之 之評價。結果示如 表 者 又’於表4 _ ’以「—」所表示之處所係未進行測定
z u ·知料耐熱性 將評價料半導體封㈣,以乾燥條件mtx6小時 屋潤條件3GC/8G%X48小時進行處理後,再進行25〇^ Χ3〇秒的炫焊之處理,對處理後之電極的導通及電阻值變 化、及層間的剝離進行確認。 /ono f熔知後的喊樣再度以濕潤 條件30 C/80% X48小時進行處理德, 後再進仃2 5 0 °C X 3 0秒 85 200417576 的熔焊處理’對經熔焊 變化、及;間的4,- 人後之電極的導通及電阻值 久續間的剝離進杆减士 仃確 <。施仃本處理至熔焊次數到 人為止,作焊料耐埶性 ,#于 …性之评價。又,即使有導通的場合 右電阻值之變化盥鈿里 ^ ^ J的電阻值比較之變化達10%以上
省'’係判定為不良。芦M θ間之剝離係以超音波探測影像裝置 C曰立建機精密技術公司製 TTV隹一谈π J 衣,mi -scope hyper II)進订確認 ο
86 200417576 4« 比較例 σ\ LD VO m CN 1 vf) m 寸 CN 1 1 I 〇 CN 1 1 1 相分離 -15173 m 寸 140 LD Ch rH ΓΟ 0.015 300 >1000 Γ0 00 LD 寸 LD 寸 1 〇 LO CN 1 1 1 〇 1 1 1 相分離 -15178 ID ΚΩ 寸 rH 〇 rM ΓΟ 0.015 200 >1000 Γ0 實施例 rH Οί LD 寸 LD 寸 ο m 1 寸 CN 1 LT) 1 1 1 〇 m 1 182 σ\ 卜 ID CN 寸 rH ΓΟ 1 0.016 1 >400 >1000 m 〇 CM LD 寸 LD 寸 〇 LD 1 CN 1 LT) 1 1 ο CN] 1 1 _ 178 _ ιΗ \> 寸 CN ΓΟ rH ΓΟ 1 0.015 1 >400 I >!〇〇〇 I if) rH LD 寸 LD 寸 〇 LD 1 CN 1 寸 if) 1 〇 CN 1 1 1 1 178 1 CN Ο ΓΟ LO ro γΗ ΓΟ 1 0.015 1 >400 I >!〇〇〇 I If) 00 rH LD 寸 if) 寸 寸 〇 LD 1 CN 1 1 1 1 〇 CN 1 1 1 1 180 | rH Ι> 寸 ο ro rH ΓΟ I 0.015 1 1 300 1 〇 § in I> rH m 寸 LO 寸 寸 o LD 1 寸 CN 服 1 1 〇 CN 1 1 1 服 1 178 1 Ι> LD ο 寸 γΗ Γ0 1 0.015 1 1 300 1 〇 〇〇 LD ΚΩ rH LD 寸 LD 寸 寸 〇 LD 1 CN 1 LD 1 1 1 1 1 1 182 1 σ\ Ι> LT) CN 寸 γΗ ΓΟ 0.016 1 >400 1 >1000 LD LD rH LD 寸 LD 寸 CN 〇 LD 1 CN 1 寸 if) 1 1 1 1 1 178 CN ι> ΓΟ LD m γΗ ΓΟ [0.015 1 >400 1 >1000 LO 寸 rH LO VD LO CN LD LO 1 CN 1 1 1 1 1 1 1 1相溶| 1 185 1 γΗ Ι> 寸 ο ro γΗ ΓΟ 0.015 300 〇 § LD m rH LD 寸 m 寸 〇 LT) 1 CN 1 1 1 1 1 1 1 1相溶| 1 178 Ί Ι> iTi 〇 rH ΓΟ 0.015 300 〇 〇〇 LD 萘型環氧樹脂 二環戊二烯型環氧樹脂 含有環氧基之丙烯酸樹脂-b 三院基四氫苯二甲酸酐 含有環氧基之丙烯酸橡膠-d 1 -氨乙基-2 -本基味哗 胺基矽烷偶合劑 球狀二氧化矽(平均粒徑5 // m,最大< 15 /m) 表面疏水化熱解法二氧化矽(平均粒徑l〇nm,最大12nm) 含有羥基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子 Ag粒子(平均粒徑7"m) Ni粒子(平均粒徑7//m) 樹脂芯部鍍金粒子(平均粒徑3 μ m) 絕緣被覆處理樹脂芯部鍍金粒子(平均粒徑2 "m) 以TEM觀察之染色時相分離構造(只於樹脂層) 黏彈性tan δ的峰値溫度(°C) 萃取水pH 萃取氯離子雜質(ppm) 離子傳導度("S/cm) 介電率ε ' 介電損耗因子tan δ PCT導通(h)(電阻値10%以內變化) TCT導通(循環數)(電阻値10%以內變化) 焊料耐熱性(次數)(電阻値10%以內變化) ㈣丨 (« Μί & : ) 1¾ 擊 •5# 200417576 ^由表4可知·於實施例17〜21所得之異向性導電糊之 1子雜貝甚少。又’含有對二環戍二稀型環氧樹脂及對 於奈型環氧樹脂顯示出相溶性的含有環氧基之丙稀酸樹脂 =實施例1 7所知之異向性導電糊,經由觀察未觀察到 {氧树月曰基體中有相分離的情形;又,於實施合"7〜21所 =異向性導電糊之任一者的離子傳導度皆低。又,使用 、也例1 7 21所知之異向性導電糊所製作之評價用半導體 封^體,其焊料耐熱性、PCT環境下& Μ環境下之導通 可罪性皆優異。再者,使用含有低彈性粒子(芯殼型丙稀· 酸橡膠粒子)之實施例19〜21中所得之異向性導電糊所製作 之評價料導體封裝體,較使料含此等之實補i7、i8 之異,性導電糊所作成之半導體封裝體,⑨PCT環境下及 TCT壤境下之導通可靠性為更優異者。 …相對於此’纟有對萘型環氧樹脂及相對於二環戊二烯 型環氧樹脂為非相溶的含有環氧基之丙烯酸橡膠之比較例 8、9中所得之異向性導電糊,其硬化物於經由觀察時 可觀察到環氧樹脂基體中有相分離構造,離子傳導度亦冑· 〇 又’以實施例13]5所得之接著性環氧樹脂糊作為底 填料樹脂使用’將半導體晶片與基板經由下述的方法連接 ’製作成半導體封裝體。 以玻璃環氧樹脂基材FR-4之相當品作為基材,對完成 C曰u線路製程、貫通孔鑛敷、及防焊製程的基板(4層板)之 片搭載部,將附有尚熔點焊料突塊之半導體晶片(尺寸 88 200417576 龍XH)隨,將尺寸為10Mm、高度約1〇〇“之172個 犬塊配置於外圍),使其安置於覆晶接合機上,使該晶片 面朝下而將焊料突塊部與對向的基板端子部調整好=, 以23(TC、加麼力10kg、加壓時間5秒進行正式壓合。此 時,焊料突塊與基板端子部之接合、及晶片表面與基板之 接著同時完成,焊料突塊被拉伸成柱狀獲得確認。 然後,用通常的IR熔焊爐,以23〇t、2〇秒的條件使 焊料炫焊。藉由經過此製程,可修正面朝下接合時的位置 偏差,且可確認維持著柱狀的突塊形狀。 然後,將本發明之底填料樹脂填充到武藏工程公司製 之注射11巾,於此注射器的前端安裝上武藏工程公司製之 精密噴嘴(噴嘴前端口徑〇.3mm),用分散裝置,自晶片的 端部將樹脂填充到晶片與基板的間隙中。 〜然後,以125°c x 1小時的條件,於熱風乾燥爐中使樹 月日π全硬化後,用密封劑(日立化成工業公司冑,環氧樹 脂模鑄化合物CEL9200)以通常之轉印模具(成形溫度i8(rc 二成形壓力1.5kN/Cm2)製得將晶片内面之全面完全被覆的 密7品。然後,用焊球形成設備,在基板内面形成陣列狀 之焊球’得到評價用之半導體封裝體。 _對得到之評價用封裝體進行-45°C〜125°C的溫度循環試 評價之下,即使於1 000循環後的試樣之導通情形亦無 異常,且未發現焊料突塊的斷裂之情形。將試驗後的評價 用^導體封裝體裁斷,對焊料突塊部周邊進行觀察之下, 確認各焊料突塊的周邊全面及半導體晶片的外圍部皆無龜 89 200417576 裂等之情形。又,以3(TC、80糖的條件下進行48小時的 吸濕後,將經浸焊料瞻、30秒)者以超音波缺陷探測 設備進行觀察,亦未見到在密封樹脂與晶片鈍化層表面的 界面處之剝離或龜裂的存在。再者’於施行高溫高溻試驗 (120°C/85%RH、500小時)後,導通情形亦無異常,且未看 到焊料突塊的斷裂。再將高溫高濕試驗的評價用半導體封 裝體裁斷,對焊料突塊部周邊進行觀察之下,確認各焊料 犬塊的周邊全面及半導體晶片的外圍部皆無龜裂等之情形 。基於此等事實,可確認得知:實施例13〜15所得之接著 性環氧樹脂糊亦可良好地作為底填料使用。 (實施例22) 使二環戊二烯型固態環氧樹脂45重量份、萘型液狀環 氧樹脂45重量份、含有環氧基之丙烯酸樹脂—a 1〇重量2 、二烷基四氫苯二甲酸酐5〇重量份、卜氰乙基—2 —苯基咪 唑4重量份、胺基矽烷偶合劑2重量份、及銀粒子(平均粒 位7 // m) 2 0重里份溶解於醋酸乙酯中,用均質分散型授拌 機,以攪拌速度300〇rpm的條件下均一地攪拌混練,調製 成固態成分為40重量%之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶 液。又’上述銀粒子,係以清漆的狀態使用。 然後,將所得之硬化性樹脂組成物的醋酸乙酯溶液, 以使乾燥後的厚度成為42//m的方式,用棒塗機塗佈於表 面施有離型處理之厚度5〇//m的聚對苯二甲酸乙二醇酯 (PET)片的離型處理面上,之後,在11〇£^下進行乾燥3分 、’里形成接著性環氧樹脂層。將2片形成有接著性環氧樹 200417576 脂層的PET片,以使接著性環氧樹脂層相向的方式在8〇t: 下進行積層加工,製作成接著性環氧樹脂片。得到之接著 性環氧樹脂片,係成為在2片的pet片之間包夾著接著性 環氧樹脂層的狀態。 (實施例23〜26,及比較例1〇、
除了將配方組成改為表5所示之組成之外,係以與實 施例22的場合的相同做法,製作成未露出導電氣微粒子 的導電連接片(實施例22〜26、比較例i〇、u)與露出導電 氣微粒子之導電連接片(實施例2?)。 又作為表5中之導電氣微粒子,係使用下述者於清 漆的狀態下混合到樹脂中。 銀粒子:平均粒徑7 # m 鎳粒子··平均粒徑7 // m 3 // m(積水化學工業
樹脂芯部之鍍金粒子··平均粒徑 公司製「米克羅帕爾Au」) 子:將平均粒徑2 # ra之 AU」以熱塑性樹脂被覆 、、、邑緣被覆之樹脂芯部之鑛金粒 積水化學工業公司製「米克羅帕爾 所成者 ^施例27) 對製得之長2cm、寬2cm的接著性4淑收 ΤΓ曰η从不, J侵考性J衣虱樹脂片,以與 1C日日片的電極進行對位之方 # 1cm s ^ 使用C〇2雷射設置用以在 母1㈣見方形成172接腳的電極端子 的表面Λ 1 9 η 北 斤y頁之排列成複數列 表面為120“、背面為85 問隔的炎X 芦狀的貝通孔,此列的
间、、,勺為4mm,各列之久fa y么 J 各貝通孔係以的間距並排, 91 200417576 長寬比(孔的長徑/孔的短 各貫通孔之孔徑的cv值為2% 徑)為1. 04。 “對此接著性環氧樹脂片的内側,以將全數的貫通孔覆 盍且不使漏氣的方式,以直a 8mm 5〇kPa的真空度-邊進行吸引—邊對在接著性環氧樹脂片 的表面側之導電氣微粒子(平均粒徑1〇5",表層施有〇2 “鍍錄、並進一步施# 2.3“鍍金之導電氣微粒子)進
行㈣鐘的吸附。此時,於吸引口處安裝有用以支持接著 性環氧樹脂片# 50//m、網目的鋼製篩網,進一步於一邊去 除靜電之下一邊以在接著性環氧樹脂片的貫通孔以外之處 不致吸附導電氣微粒子的方式進行吸引。藉由導電氣微粒 子的吸引,使導電氣微粒子在接著性環氧樹脂片的各貫通 孔剛好各埋設丨個之後,停止吸引,製作成導電連接片。 又,於吸引後,為了慎重起見,使用柔軟的毛刷將導電連 接片表面的雜物去除。又,在此階段的導電連接片是未硬 化的狀態。
對實施例2 3〜2 7及比較例1 〇、11中所得之導電連接片 的性能(萃取水的pH、氣離子雜質量、以tem觀察之染色 時相分離構造、黏彈性之tan 5的峰值溫度、離子傳導度 、介電率(ε ’)及介電損耗因子(占)),以上述的方法 進行評價。又,藉由上述的方法,使用實施例23〜27及比 較例10、11中所得之導電連接片製作成半導體封裝體,對 此半導體封裝體之焊料耐熱性、PCT環境下之導通可靠性 、及TCT環境下之導通可靠性進行評價。結果示如表5。 92 200417576 比較例 rH γΗ ID 寸 m 寸 1 Ο rH 〇 V0 03 1 1 〇 CM 1 1 1 1 相分離 -20175 LD 寸 130 LD rH Γ〇 0.015 200 >1000 Γ0 Ο rH LT) 寸 LD 寸 1 ο Η ο LT) 寸 CN 1 1 Ο CN 1 1 1 1 相分離 -20175 If) VO rH 〇 ιΗ Γ0 0.015 200 >1000 Γ0 5 m 1> 03 U1 寸 LD 寸 〇 Η 1 〇 LD 寸 CN LD 1 1 1 1 配置型 1 178 CN Γ0 m ro Η Γ0 0.015 >400 >1000 LD VD CM ID 寸 LD 寸 〇 Η 1 〇 ID VD CN 寸 ID 1 1 1 〇 Γ0 1 1 182 σ» I> LD οα 寸 γΗ ΓΟ 0.016 >400 >1000 LT) m CM LD 寸 in 寸 Ο rH 1 〇 LD CN 寸 ID 1 1 〇 CM 1 1 1 178 rH Ο 寸 CN ro γΗ ΓΟ 0.015 >400 >1000 LD 1¾ 寸 CM IT) 寸 IT) 寸 Ο rH 1 〇 LD CN LT) 1 ο CN 1 1 1 1 178 CN l> Γ0 LH Γ0 Η Γ0 0.015 >400 >1000 LD 00 03 LD 寸 LD 寸 Ο rH 1 〇 LD CM 1 1 1 ο CN 1 1 1 相溶 180 rH I> 寸 o n γΗ ΓΟ 0.015 300 900 ω CN CM m LD 寸 Ο Η 1 〇 LT) 寸 1 1 〇 οι 1 1 1 1 相溶 178 〇 寸 Η Γ0 0.015 300 800 LD «型環氧樹脂 二環戊二烯型環氧樹脂 含有環氧基之丙烯酸樹脂-a 含有環氧基之丙烯酸橡膠-d 三院基四氫苯二甲酸酐 1-氰乙基-2-苯基咪唑 胺基矽烷偶合劑 表面疏水化熱解法二氧化矽(平均粒徑l〇nm,最大12nm) 含有羥基之芯殼型丙烯酸橡膠粒子 Ag粒子(平均粒徑7"m) Ni粒子(平均粒徑7"m) 樹脂芯部鍍金粒子(平均粒徑3 //m) 絕緣被覆處理樹脂芯部鍍金粒子(平均粒徑2 //m) 樹脂芯部鍍金粒子(平均粒徑1 〇 〇 //m) 以TEM觀察之染色時相分離構造(只於樹s旨層) 黏彈性tan δ的峰値溫度(°C) 萃取水pH 萃取氯離子雜質(ppm) 離子傳導度(//S/cm) 介電率ε ' 介電損耗因子tan δ PCT導通(h)(電阻値10%以內變化) TCT導通(循環數)(電阻値10%以內變化) 焊料耐熱性(次數)(電阻値10%以內變化) 逝 丨_ m 祕 m as 1¾ 擊 200417576 由表5可知··於實施例23~27所製作之導電連接片(微 粒子未露出型、微粒子露出型)係與使用未填入導電氣微 粒子之實施例7〜12中所製作之接著性環氧樹脂片的接合; 式同樣地,可得到高接合可靠性。 產業上可利用抖 本發明之硬化性樹脂組成物,硬化後於機械強度、耐 '、、、性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐料性、尺 安定性等皆優異,並可發揮高接著可靠性與作為導通材料 2時的4通可靠性,故甚適合使用於接著性 用、接著性環氧樹脂片用、導電連接糊用、導電連接片; 等之各種工業用途中。 又,本發明之接著性環氧樹脂糊及接著性環氧樹脂片 ,由於係使用上述本發明之硬化性樹脂組成物所製作 !化後於機械強度、耐熱性、耐濕性、可撓性、耐冷熱循 寸 性4自優異,並可發揮高接著 而可適用於各種電子元件的接合用途。 、、又,本發明之導電連接糊及導電連接片,由於係使用 述本么月之接者性環氧樹脂糊及接著性環氧樹脂片所製 作,故硬化後於機械強度、耐熱性、耐濕性、可撓性、耐 斗眭尺寸安定性等皆優異,並可發捏 。 、用於各種電子元件的導通接合用途 宴雪\本發明之層間接著劑、非導電氣糊、底填料、非 導電“膜及晶粒安_,由於係㈣上述本發明之接著 94 200417576 性環氧樹脂糊及接著性環氧樹脂片所製作,故硬化後於機 栈強度而ί熱丨生、耐濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐熔 大干性、尺寸安定性等皆優異,並可發揮高接著可靠性,而 可適用於各種電子元件的接合用途。 又,本發明之異向性導電糊、異向性導電薄膜及覆晶 膠帶,由於係使用上述本發明之接著性環氧樹脂糊及 性環氧樹脂片所製作’故硬化後於機械強度、耐故性、耐 濕性、可撓性、耐冷熱循環性、耐熔焊性、尺寸安定 皆優異’並可發揮高接著可靠性與高導通可靠性,而 用於各種電子元件的導通接合用途。 再者’本發明之電子元件接合體,係使用上述本發明 之硬化性樹脂組成物、接著性環氧樹脂糊、接著性環氧樹 月曰片、導電連接糊、導電連接片、非導電氣糊、底填料、 非導電氣薄膜、晶粒安裝膜、異向性導㈣、異向 薄膜、或覆晶膠帶所製作,故可發揮高接著可靠性及4 通可靠性。 间等
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Claims (1)

  1. 200417576 拾、申請專利範圍: 1 · 一種硬化性樹脂組成物,係含有··環氧樹脂、具 有可與環氧基反應的官能基之固態聚合物、以及環氧樹脂 用硬化劑者;其特徵在於, 將硬化物以重金屬染色,經由穿透型電子顯微鏡觀察 時’於樹脂所構成的基體中不會觀察到相分離構造。 2 ·如申請專利範圍第1項之硬化性樹脂組成物,其 硬化物之黏彈性曲線測定之tand的峰值為單一者且該峰 值的溫度為120°C以上。 _ 3.如申請專利範圍第1或2項之硬化性樹脂組成物 ,其硬化物於加熱到12(rc之二甲亞楓溶液中所測定的膨 潤率為50%以内。 4 ·如申明專利範圍第1、2或3項之硬化性樹脂組成 物,其中,將硬化物的溶出成分以丨丨〇。〇的熱水萃取時, 該萃取水之pH為5.0〜8. 5。 5. 如申請專利範圍第丨、2、3或4項之硬化性樹脂 組成物,其中,將硬化物的溶出成分以i 1(rc的熱水萃取籲 時,該萃取水之電導度為1〇〇#s/cm以下。 6. 如申請專利範圍第卜2、3、4或5項之硬化性樹 脂組成物,其硬化物的介電率為3 5以下,且介電損耗因 子為0. 0 2以下。 7·如申請專利範圍第!、?q ^ Ω ^ ^ 1 Ζ3、4、5或6項之硬化 性樹脂組成物,其中,環 衣乳树月曰為主鏈上具有多環式烴骨 架的環氧樹脂,具有可盥頊g I c虚 』一 %乳基反應之官能基的固態聚合 96 417576 物為具有裱氧基的高分子聚合物且不含有無機填料。 8_如申請專利範圍第7項之硬化性樹脂組成物,其 中,主鏈上具有多環式烴骨架的環氧樹脂,為具有二環戊 二烯骨架的環氧樹脂或具有萘骨架的環氧樹脂。 9.如申請專利範圍第7或8項之硬化性樹脂組成物 ,其中,具有環氧基的高分子聚合物之重量平均分子量為 專利範圍第7、8或9項之硬化性樹脂組 〃中具有私氧基的高分子聚合物之環氧當量為 200〜1000 。 u·如中請專利範圍第7、8、9或1G項之硬化性樹 脂組成物’其中’具有環氧基的高分子聚合物係藉由懸浮 聚合法所製造而得者。 12·如申請專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8、9 、10或11項之硬化性樹脂組成物,其係進 之彈性模數(〇')為丨X 1〇5】γ 1λ8 j 0〜1 x 10 Pa的低彈性模數 物貝’該低彈性模數物暂從地上 # 棋数物質係對㈣樹脂及具有可與環氧基 反應之官能基的固態聚合你么 口〜取σ物為不相溶且分散成島狀者。 13.-種硬化性樹脂組成物,其特徵在於,係含有: 由具有二環戊二烯骨架的 曰| — t 乳樹月曰、具有奈骨架的環氧榭 月曰、與環氧樹脂用硬化劑所 1 ^ j所此合而成的環氧樹脂組成物, 和L、邛之玻璃轉化溫度為2 i u π C以下、外殼之玻璃轉化溫度 為40C以上的芯殼構造之橡膠粒子。 4·種接者性%虱樹脂糊,其特徵在於,係由申請 97 200417576 10 、 11 、 12 或 9 專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8 1 3項之硬化性樹脂組成物所構成。 15· —種層間接著劑,其特徵在於,係由申請專利範 圍第14項之接著性環氧樹脂糊所構成。 16. -種非導電氣糊,其特徵在於,係由申請專利範 圍第14項之接著性環氧樹脂糊所構成。 Π. -種底填料,其特徵在於,係由中請專利範圍第 14項之接著性環氧樹脂糊所構成。 18. -種接著性環氧樹脂片,其特徵在於,係由 專利範圍第卜 2、3、4、5、6、7、8、9、1〇、U、12 或 13項之硬化性樹脂組成物成形為片狀所得者。 5 19. ”請專利範圍第18項之接著性環氧樹脂片, :以昇溫速度饥/分進行昇溫而加熱硬化之加熱硬化物 的貯藏彈性模數(〇,)為丨X 1〇3pa以上。 2 0.如申請專利範圍箆彳s ,㈤弟18或19項之接著性環氧樹脂 片,其依據動黏彈性之β ^ 2fi an 5的峰值溫度於硬化前為- 20〜40C的乾圍,於硬化後為12〇t以上。 21. —種非導電氣薄膜’其特徵在 範圍第18、19或20頊之姐# 》月寻利 飞U項之接者性環氧樹脂片所構成。 22. —種晶粒安裝膜,复 圍第18、1q ^ 9n ,、特徵在於,係由申請專利範 ㈣18 19或20項之接著性環氧樹脂片所構成。 23. 一種導電連接糊,其特徵在 圍第14項之接著性環氧 甲》月專利耗 者。 乳枒知糊中含有導電氣微粒子所得 98 24· —種異向性導電糊,1 範圍第23項之導電連接_構成/ 係由中請專利 圍第::種::連項接:’^^^ ^ 20項之接著性環氧 .^ 子所構成者;iη % 曰片、/、導電氣微粒 部份 〇 ”特徵在於,該導電氣微粒子之至少 係自該接著性環氧樹脂片露出著。
    圍第=導電連接片’其特徵在於,係於申請專利範 氧::戈20項之接著性環氧樹脂片中埋 者丨…樹脂片的厚度小的導電氣微粒子。 27.-種異向性導電薄膜,其特徵在於,係由 利範圍第26項之導電連接片所構成。 28. —種導電連接片,係由黏著性樹脂組成物(含有 經由添$可塑劑而被賦予黏著性之樹脂、及常溫下為液狀 之具有萘骨架之環氧樹脂)所構成之黏著性樹脂片與導電 氣微粒子所形成者;其特徵在於,
    該黏著性樹脂片,依據動黏彈性之tan 3的峰值溫度 於硬化前為-20〜40°C的範圍,於硬化後為12〇。(:以上,並 且’於該黏著性樹脂片之任意的位置配置有該導電氣微粒 子’ 5亥導電氣微粒子之至少一部份係自該黏著性樹脂片露 出著。 29·如申請專利範圍第28項之導電連接片,其中, 對硬化後之黏著性樹脂片,於溫度120°C、濕度85%RH、時 間12小時的條件下進行壓力鍋試驗後,該硬化後的黏著 性樹脂片之伸展率為5%以下。 99 200417576 —3〇·-種覆晶膠帶,其特徵在於,係由申請專利範圍 第25、28或29項之導電連接片所構成。 31. -種電子το件接合體,其特徵在於,係藉由申請 專利範圍第卜 2、3、4、5、6、7、8、9、iq、u、i2^ 13項之硬化性樹脂組成物、中請專利範㈣^項之接著 性環氧樹脂糊、申請專利範圍第15$之層間接著劑、申 凊專利範圍第16項之非導電氣糊、申請專利範圍第”項 之底填料、中請專利範圍第23 #之導電連接糊、申請專
    利範圍第24項之異向性導電糊、中請專利範圍第mg 或20項之接著性環氧樹脂片、中請專利範圍第21項之非 導電氣薄膜、申請專利_ 22項之晶粒安裝膜、申請 料m圍帛25、26、28< 29項之導電連接片、中請專利 乾圍第27項之異向性導電薄膜、或申請專利範圍第30項 之覆晶膠帶中一者’使電子元件的突塊狀的突起電極盘另 一方的電極於導通的狀態下接合所得者。 32· —種電子%件接合體,其特徵在於,係藉由申
    專利範圍第1、2、S4 R P 。 4、 5、 6、 7、 8、 9、 10、 11、 12 或 13項之硬化性樹脂組成物、中請專利㈣帛μ項之接著 性環氧樹脂糊、中請專利範圍第15 $之層間接著劑、申 月專利Iil圍第16項之非導電氣糊、中請專利範圍第^ 7項 之f填料、巾請專利範圍第23 $之導電連接糊、申請專 利乾圍第24項之異向性導電糊、巾請專利範圍第Μ、" 或2,接著性環氧樹脂片、申請專利範圍第21項之非 導電礼薄膜、申請專利範圍帛22項之晶粒安裝膜、申請 100 200417576 :利fe圍帛25、26、28 < 29項之導電連接片、申請專利 範圍第27項之異向性導電薄膜、或申請專利範圍第3〇項 之覆晶膠帶中一者,來接合選自由金屬引線框、陶瓷基板 、樹脂基板、矽基板、化合物半導體基板及玻璃基板所構 成群中至少1種的電路基板而成者。 33.申請專利範圍第32項之電子元件接合體,其中 ,樹脂基板為玻璃環氧基板、雙馬來酸酐縮亞胺三嗪基板 、或聚醯亞胺基板。 拾壹、圖式: 無0
    101 200417576 柒、指定代表圖: (一) 本案指定代表圖為:第(無)圖。 (二) 本代表圖之元件代表符號簡單說明: 捌、本案若有化學式時,請揭示最能顯示發明特徵的化學式
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