JP2001323246A - 電極接続用接着剤及びこれを用いた接着方法 - Google Patents

電極接続用接着剤及びこれを用いた接着方法

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JP2001323246A
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Yukio Yamada
幸男 山田
Masao Saito
雅男 斉藤
Osamu Takamatsu
修 高松
Tomoyuki Ishimatsu
朋之 石松
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Abstract

(57)【要約】 【課題】リペア性及び導通信頼性を確保しうる絶縁性接
着剤又は接着フィルムを提供するとともに、これらの接
続方法を提供する。 【解決手段】ラジカル重合系熱硬化機構を有する低温硬
化接着剤と、エポキシ系熱硬化機構を有する高温硬化接
着剤とを混合させた絶縁性接着剤10を用い、低温硬化
接着剤の80%反応温度でICチップ30を回路基板2
0に1次圧着(仮圧着)を行う。その後、高温硬化接着
剤の80%反応温度以上でICチップ30を回路基板2
0に2次圧着(本圧着)する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、基板同士
を固定するとともに電極同士を電気的に接続するための
接着技術に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、例えば配線基板の電極とIC
チップの電極とを電気的に接続した状態で固定する手段
として、例えば、絶縁性接着剤に導電粒子を分散させた
異方性導電ペースト又はこれをフィルム状にした異方導
電性接着フィルム、また、導電粒子を含まない絶縁性接
着剤等の接合材料が用いられている。
【0003】このような接着剤を用いて基板にICチッ
プを実装する場合には、まず、基板及びICチップの電
極間に接合材料を挟んだ状態でこれらをプレスしながら
熱を加えることにより樹脂成分を硬化させ、又は樹脂の
種類によっては紫外線を照射することにより接着剤の樹
脂成分を硬化させる。この接着剤の硬化によりICチッ
プが基板に固定されるとともに、電極間の接続が行われ
る。
【0004】従来、例えばマルチチップモジュールのよ
うに基板に複数のベアチップ(ICチップ)を実装する
場合には、ICチップを実装する度に検査する必要があ
るため、上述したような工程を、接着剤を半ば硬化させ
てICチップを基板に仮に接続する仮接続工程と、その
半硬化状態の接着剤を最終段階まで硬化させてICチッ
プを基板に本接続する本接続工程との2段階に分けてい
る。
【0005】そして、仮接続工程の段階でICチップを
検査した結果不良であった場合には、そのICチップを
基板から取り外して良好なものと交換する作業(リペア
作業)を行っている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の接着
剤には、大別すると、熱可塑性タイプ、熱硬化性タイ
プ、紫外線硬化タイプの3種類があり、さらに従来の接
着剤には、熱可塑性タイプと熱硬化性タイプとの中間的
な性質を示す、いわゆる半熱硬化性タイプと、熱硬化性
タイプと紫外線硬化タイプとの複合タイプとが挙げられ
る。
【0007】しかしながら、このような従来の接着剤を
用いて電極間の接続を行うと、以下のような問題があっ
た。すなわち、熱可塑性タイプの接着剤を用いた場合に
は、リペアを行う際、基板からICチップの取り外しや
すさ(リペア性)はよいものの、熱プレスを行う際、接
着剤の耐熱性が低いため導通信頼性が悪いという問題が
あった。
【0008】また、熱硬化性タイプの接着剤を用いた場
合には、導通信頼性はよいものの、完全に熱硬化した場
合にはリペア性が悪く、その一方でリペア性を確保する
ように熱硬化の反応を途中で止めるには、加熱温度、加
熱時間等の諸条件を設定しなければならず、また、基板
ごとにその設定条件が異なり接着剤の取扱いが困難であ
るという問題があった。
【0009】さらに、半熱硬化性タイプの接着剤を用い
た場合には、熱硬化性タイプと比べて、リペア性が良く
なるものの導通信頼性が十分でなかった。
【0010】一方、紫外線硬化タイプ、又は複合タイプ
の接着剤を用いる場合には、プレス装置とは別に、紫外
線を照射するためのUV照射装置を導入しなければなら
ず、しかも、このUV照射装置はその目的以外の用途が
ないため汎用性に欠けるという問題があった。
【0011】本発明は、このような従来の技術の課題を
解決するためになされたもので、その目的とするところ
は、リペア性と導通信頼性との両方を確保でき、しかも
汎用性に富む電極接続用接着剤を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた請求項1記載の発明は、相対向する基板の電
極間に配置した状態で加圧又は加熱加圧することにより
前記基板同士を固定するとともに前記電極同士を電気的
に接続するための絶縁性接着剤であって、熱硬化機構の
異なる複数の接着剤成分を内在させたことを特徴とす
る。
【0013】この場合、請求項2記載の発明のように、
請求項1記載の発明において、熱硬化機構の異なる2種
の接着剤成分を含むことも効果的である。
【0014】また、請求項3記載の発明のように、請求
項2記載の発明において、2種の接着剤成分のDSC発
熱ピークの温度差が20℃以上であることも効果的であ
る。
【0015】さらに、請求項4記載の発明のように、請
求項2又は3のいずれか1項記載の発明において、2種
の接着剤成分が低温側硬化成分と高温側硬化成分からな
り、前記低温側硬化成分の80%反応温度が100℃以
上であり、前記高温側硬化成分の80%反応温度が14
0℃以上であることも効果的である。
【0016】さらにまた、請求項5記載の発明のよう
に、請求項2乃至4のいずれかに記載の発明において、
2種の接着剤成分のうち一方が、過酸化物を用いたラジ
カル重合系熱硬化機構を有する樹脂からなり、前記2種
の接着剤成分のうち他方が、エポキシ系熱硬化機構を有
する樹脂からなることも効果的である。
【0017】一方、請求項6記載の発明は、請求項1乃
至5のいずれか1項記載の絶縁性接着剤中に導電粒子を
分散してなることを特徴とする異方導電性接着剤であ
る。
【0018】また、請求項7記載の発明は、請求項1乃
至5のいずれか1項記載の絶縁性接着剤を薄膜状に形成
してなることを特徴とする絶縁性接着フィルムである。
【0019】この場合、請求項8記載の発明のように、
請求項7記載の発明において、熱硬化機構の異なる複数
の接着剤成分からなる複数の層を形成してなることも効
果的である。
【0020】また、請求項9記載の発明は、請求項7又
は8のいずれか1項記載の絶縁性接着剤フィルム中に導
電粒子を分散してなることを特徴とする異方導電性接着
剤フィルムである。
【0021】他方、請求項10記載の発明は、相対向す
る基板の電極間に請求項1乃至5のいずれか1項記載の
絶縁性接着剤を配置し、前記2種以上の接着剤成分のう
ち一方の80%反応温度で前記絶縁性接着剤を加熱加圧
し、その後、前記2種以上の接着剤成分のうち他方の8
0%反応温度以上で前記絶縁性接着剤を加熱加圧するこ
とを特徴とする電極の接続方法である。
【0022】また、請求項11記載の発明は、相対向す
る基板の電極間に請求項6記載の異方導電性接着を配置
し、前記2種以上の接着剤成分のうち一方の80%反応
温度で前記異方導電性接着剤を加熱加圧し、その後、前
記2種以上の接着剤成分のうち他方の80%反応温度以
上で前記異方導電性接着剤を加熱加圧することを特徴と
する電極の接続方法である。
【0023】さらに、請求項12記載の発明は、相対向
する基板の電極間に請求項7又は8のいずれか1項記載
の絶縁性接着フィルムを配置し、前記2種以上の接着剤
成分のうち一方の80%反応温度で前記絶縁性接着フィ
ルムを加熱加圧し、その後、前記2種以上の接着剤成分
のうち他方の80%反応温度以上で前記絶縁性接着フィ
ルムを加熱加圧することを特徴とする電極の接続方法で
ある。
【0024】さらにまた、請求項13記載の発明は、相
対向する基板の電極間に請求項7又は8のいずれか1項
記載の異方導電性接着フィルムを配置し、前記2種以上
の接着剤成分のうち一方の80%反応温度で前記異方導
電性接着フィルムを加熱加圧し、その後、前記2種以上
の接着剤成分のうち他方の80%反応温度以上で前記異
方導電性接着フィルムを加熱加圧することを特徴とする
電極の接続方法である。
【0025】本発明にあっては、まず、接着剤の低温側
硬化成分の熱硬化がある段階まで進む温度(例えば80
%反応温度)で加熱しながら仮接続を行い、基板同士を
ある程度固定して導通試験等の検査を行う。
【0026】この状態では、低温側硬化成分は完全に熱
硬化しておらず、また、高温側硬化成分はまだ熱硬化の
反応が開始していないため、検査結果が不良の基板を容
易に取り外すことができる。
【0027】また、検査済みの基板同士を仮接続した
後、高温側硬化成分が熱硬化する温度(例えば80%反
応温度以上の温度)で本接続を行えば、低温側硬化成分
とともに高温側硬化成分が熱硬化するため、基板同士が
完全に固定される。
【0028】このように、本発明によれば、リペア性と
導通信頼性との両方を確保しうる電極接続用接着剤を提
供することができる。
【0029】しかも、本発明の接着剤は熱圧着のみによ
って接続を行うことができるので、例えばUV照射装置
等の特殊な装置を導入する必要がなく、汎用性に富むと
いうメリットがあるものである。
【0030】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して詳細に説明する。
【0031】本発明の絶縁性接着剤は、相対向する基板
の電極間に配置した状態で加圧又は加熱加圧することに
より基板同士を固定するとともに電極同士を電気的に接
続するためのものである。
【0032】ここで、「基板」は、いわゆるマザーボー
ドやドーターボード等の回路基板のほか、例えばICチ
ップ等の電子部品を含むものとする。
【0033】そして、本発明の絶縁性接着剤は、2種以
上の熱硬化機構を有する接着剤成分を内在させたことを
特徴とする。
【0034】以下、本明細書においては、まず、熱硬化
機構の異なる2種の接着剤成分(低温側硬化成分及び高
温側硬化成分とする。)を含む場合を例にとって説明す
る。
【0035】本発明においては、接着剤成分の反応性に
鑑み、接着剤成分の熱硬化機構を、DSC発熱ピークと
80%反応温度を用いて規定する。
【0036】ここで、DSC発熱ピークとは、支差走査
熱量測定(Differential ScanningCalorimetry)、すな
わち、温度調節された電気炉の中に置かれた試料と基準
物質への熱量の出入りの差を試料温度とともに測定する
方法によって得られた温度をいう。
【0037】また、80%反応温度とは、所定時間(例
えば10秒間)圧着後に当該接着剤が80%以上反応す
る温度をいう。
【0038】この80%反応温度は、当該接着剤成分の
サンプルの初期DSC発熱ピークの測定値を100%と
し、このサンプルを硬化させた後のDSC発熱ピークの
測定値に基づいて算出する。
【0039】本発明の場合、仮圧着と本圧着における反
応性を考慮すると、低温側硬化成分と高温側硬化成分の
DSC発熱ピークの温度差が20℃以上であることが好
ましく、より好ましい当該温度差は、30℃以上であ
る。
【0040】ここで、保存安定性及び反応性確保の観点
からは、低温側硬化成分として、DSC発熱ピークが6
0〜140℃のものを用いることが好ましく、より好ま
しい当該温度は、80〜130℃である。
【0041】また、作業性及び接続信頼性確保の観点か
らは、高温側硬化成分として、DSC発熱ピークが80
〜170℃のものを用いることが好ましく、より好まし
い当該温度は、100〜150℃である。
【0042】一方、作業性確保の観点からは、低温側硬
化成分として、10秒間圧着後の80%反応温度が10
0℃以上のものを用いることが好ましく、より好ましい
当該温度は、110℃以上である。
【0043】また、作業性及び接続信頼性確保の観点か
らは、高温側硬化成分として、10秒間圧着後の80%
反応温度が140℃以上のものを用いることが好まし
く、より好ましい当該温度は、150℃以上である。
【0044】本発明の場合、低温側硬化成分としては、
反応速度及び保存安定性の観点から、例えば過酸化物を
用いたラジカル重合系熱硬化機構を有するアクリレート
系の接着剤を好適に用いることができる。
【0045】一方、高温側硬化成分としては、接続信頼
性確保及び反応速度の観点から、例えば潜在性硬化剤を
用いたエポキシ系熱硬化機構を有する接着剤を好適に用
いることができる。
【0046】この場合、接着剤の配合量は、低温側硬化
成分及び高温側硬化成分の合計を100重量部としたと
きに低温側硬化成分の配合量を5〜70重量部とするこ
とが好ましく、より好ましい当該配合量は、10〜50
重量部である。
【0047】低温硬化側接着剤の配合量が5重量部より
小さいと、仮圧着時の導通の保持を確実に行うことがで
きないという不都合があり、70重量%より大きいと、
完全に硬化した後の接続信頼性が低下するという不都合
がある。
【0048】次に、本発明に係る接着フィルムの好まし
い実施の形態を図面を参照して説明する。図1(a)
(b)は、本発明に係る絶縁性接着フィルムの好ましい
実施の形態を示す概略構成図である。また、図2(a)
(b)は、本発明に係る異方導電性接着フィルムの概略
構成を示す図である。
【0049】図1(a)に示す絶縁性接着フィルム1A
は、例えばポリエステル樹脂等からなる剥離フイルム2
上に、上記2種類の熱硬化機構を有する接着剤成分を用
いた絶縁性接着剤層10が形成されたものである。
【0050】この場合、絶縁性接着剤層10の厚さは特
に限定されるものではないが、種々の用途に対応する観
点から、5〜100μmとすることが好ましい。
【0051】本実施の形態の絶縁性接着フィルム1A
は、常法によって作成することができる。すなわち、上
述した2種類の接着剤成分を所定の溶剤に溶解し、この
バインダーペーストを剥離フィルム2上に塗布して乾燥
させることにより得られる。
【0052】一方、図1(b)に示す絶縁性接着フィル
ム1Bは、剥離フィルム2上に、低温側硬化成分層11
a、高温側硬化成分層12、低温側硬化成分層11bが
形成されて構成される。
【0053】この場合、低温側硬化成分層11a、高温
側硬化成分層12、低温側硬化成分層11bの厚さは特
に限定されるものではないが、接続信頼性確保の観点か
らは、低温側硬化成分層11aの厚さは2〜50μm、
高温側硬化成分層12の厚さは3〜100μm、低温側
硬化成分層11bの厚さは2〜50μmとすることが好
ましい。
【0054】また、低温側硬化成分層11a、高温側硬
化成分層12、低温側硬化成分層11bを形成する順序
は特に限定されるものではないが、リペア性及び仮圧着
時の特性確保の観点からは、図1(b)に示すように、
低温側硬化成分層11a、11bによって高温側硬化成
分層12を挟む構成にすることが好ましい。
【0055】本実施の形態の絶縁性接着フィルム1B
は、常法によって作成することができる。すなわち、上
述した低温側硬化成分及び高温側硬化成分をそれぞれ所
定の溶剤に溶解し、これらバインダーペーストを、順
次、剥離フィルム2上に塗布して乾燥させることにより
得られる。
【0056】一方、図2(a)に示す異方導電性接着フ
ィルム1Cは、上述した図1(a)の接着フィルム1A
の絶縁性接着剤層10中に導電粒子13が分散されたも
のである。
【0057】また、図2(b)に示す異方導電性接着フ
ィルム1Dは、上述した図1(b)の絶縁性接着フィル
ム1Bの低温側硬化成分層11a、高温側硬化成分層1
2、低温側硬化成分層11b中に、それぞれ導電粒子1
3が分散されたものである。
【0058】ここで、導電粒子13の配合量は特に限定
されるものではないが、導通及び絶縁特性確保の観点か
らは、1〜20体積%であることが好ましい。
【0059】また、導電粒子13の粒径も特に限定され
るものではないが、導通信頼性確保の観点からは、1〜
20μmであることが好ましい。
【0060】本実施の形態の異方導電性接着フィルム1
C、1Dもまた常法によって作成することができる。す
なわち、所定の溶剤に溶解させた上記各接着剤成分に導
電粒子13を分散させ、このバインダーを剥離フィルム
2上に塗布して乾燥させることにより得られる。
【0061】図3(a)〜図3(e)は、本発明に係る
電極接続用接着剤を用いた接続方法の好ましい実施の形
態を示す工程図である。以下、導電粒子を含まない絶縁
性接着を用いた場合を例にとって説明する。
【0062】図3(a)に示すように、回路基板20の
接続すべき電極21a上に本発明の絶縁性接着剤を塗布
し、これにより形成された絶縁性接着フィルム10の上
にICチップ30を載置して、ICチップ30の位置決
めを行う。
【0063】そして、絶縁性接着フィルム10の温度が
低温側硬化成分の80%反応温度(例えば130℃)に
なるように調整された圧着ヘッド40を用い、例えば、
3MPa/cm2・バンプの圧力で、10秒間、仮圧着と
しての1次圧着(仮接続)を行う(図3(b))。
【0064】この状態では、絶縁性接着フィルム10の
低温側硬化成分は完全に熱硬化しておらず、また、高温
側硬化成分はまだ熱硬化の反応が開始していない。
【0065】さらに、仮接続された電極21a、31間
の導通試験を行い、その結果が良好な場合には、図3
(c)(d)に示すように、絶縁性接着フィルム10の
温度が高温側硬化成分の80%反応温度以上(例えば1
70℃)になるように圧着ヘッド40を調整し、例え
ば、3MPa/cm2・バンプの圧力で、10秒間、本圧
着としての2次圧着(本接続)を行う。
【0066】これにより、絶縁性接着フィルム10の低
温側硬化成分及び高温側硬化成分が熱硬化するため、基
板同士が完全に固定される。
【0067】その後、図3(d)に示すように、回路基
板20上の他の電極21bに、上述した手順により、別
のICチップ30を仮圧着としての1次圧着を行い所定
の導通試験を行う。
【0068】上述したように、この状態では、絶縁性接
着フィルム10の低温側硬化成分は完全に熱硬化してお
らず、また、高温側硬化成分はまだ熱硬化の反応が開始
していないため、導通試験の結果が不良な場合には、図
3(e)に示すように、当該不良のICチップ30を回
路基板20から容易に取り外すことができる。
【0069】そして、さらに別のICチップ30を上記
同様の手順によって仮圧着し、新たな導通試験の結果が
良好な場合には、上述した手順によって本圧着を行う。
【0070】以下同様に、回路基板20の電極21a、
21bにICチップ30を仮圧着して導通試験を行い、
その結果に応じて適宜リペアを行いながら、導通試験の
結果が良好なICチップ30のみを回路基板20に本圧
着する。
【0071】以上述べたように本実施の形態の絶縁性接
着剤によれば、ICチップ30を回路基板20上に実装
する際にリペア性と導通信頼性との両方を確保すること
ができる。
【0072】しかも、本実施の形態の絶縁性接着剤によ
れば、熱圧着のみによって接続を行うことができるの
で、例えばUV照射装置等の特殊な装置を導入する必要
がないというメリットがある。
【0073】なお、上記実施の形態においては導電粒子
を含まない絶縁性接着を用いた場合を例にとって説明し
たが、導電粒子を含む異方導電性接着剤又は異方導電性
接着フィルムを用いた場合も同様の手順によって接続を
行うことができる。
【0074】また、上述した実施の形態においては熱硬
化機構の異なる2種の接着剤成分を含む場合を例にとっ
て説明したが、本発明は熱硬化機構の異なる3種以上の
接着剤成分を含む場合も適用しうるものである。
【0075】
【実施例】以下、本発明の実施例を比較例とともに詳細
に説明する。まず、表1に示すように、実施例及び比較
例の絶縁性接着剤の配合材料として、ラジカル重合系熱
硬化機構を有する接着剤A−1〜A−3と、エポキシ系
熱硬化機構を有する接着剤Bを調製した。
【0076】<接着剤A−1>絶縁性接着剤樹脂とし
て、ビスフェノールF型エチレンオキサイド(EO)変
性ジアクリレート(東亞合成社製、商品名M−208)
を15重量部、開始剤として、1,1,3,3テトラメチルブ
チルパーオキシ2メチルエキサネート(日本油脂社製、
商品名パーオクタO)を5重量部を配合した。この接着
剤A−1は、DSC発熱ピークが80℃、80%反応温
度が130℃である。
【0077】<接着剤A−2>絶縁性接着剤樹脂とし
て、上記ビスフェノールF型エチレンオキサイド(E
O)変性ジアクリレートを15重量部と、開始剤とし
て、t−ブチルパーオキシベンゾネート(日本油脂社
製、商品名パーチブルZ)を5重量部を配合した。この
接着剤A−2は、DSC発熱ピークが100℃、80%
反応温度が150℃である。
【0078】<接着剤A−3>絶縁性接着剤樹脂とし
て、上記ビスフェノールF型エチレンオキサイド(E
O)変性ジアクリレートを15重量部と、開始剤とし
て、有機過酸化物(日本油脂社製、品名パーキュアH
B)を5重量部を配合した。この接着剤A−3は、DS
C発熱ピークが120℃、80%反応温度が170℃で
ある。
【0079】<接着剤B>絶縁性接着剤樹脂として、固
形ビスフェノールA型エポキシ樹脂(固形エポキシ樹
脂:油化シェル社製 商品名EP1009)50重量部
と、潜在性硬化剤として、イミダゾール系硬化剤(旭化
成社製 商品名HX3941HP)50重量部と、カッ
プリング剤として、エポキシシラン(日本ユニカー社製
商品名A187)1重量部を配合した。この接着剤B
は、DSC発熱ピークが120℃、80%反応温度が1
70℃である。
【0080】
【表1】
【0081】そして、接着剤A−1〜A−3の配合量、
接着剤Bの配合量を変えて実施例1〜4のサンプル、比
較例1〜5のサンプルとした。
【0082】[実施例1]接着剤A−1を5重量部、接
着剤Bを95重量部を配合したバインダー溶液に、導電
粒子を15重量部加えてペースト状にして実施例1のサ
ンプルとした。
【0083】[実施例2]接着剤A−1の配合量を25
重量部、接着剤Bの配合量を75重量部とした以外は実
施例1の場合と同様の方法によって実施例2のサンプル
を作成した。
【0084】[実施例3]接着剤A−1の配合量を70
重量部、接着剤Bの配合量を30重量部とした以外は実
施例1の場合と同様の方法によって実施例3のサンプル
を作成した。
【0085】[実施例4]接着剤A−1の配合量を25
重量部、接着剤A−2の配合量を75重量部とした以外
は実施例1の場合と同様の方法によって実施例3のサン
プルを作成した。
【0086】[比較例1]接着剤Bを配合せず接着剤A
−1の配合量を100重量部とした以外は、実施例1の
場合と同様の方法によって比較例1のサンプルを作成し
た。
【0087】[比較例2]実施例4のサンプルと同じも
のを比較例2のサンプルとした。
【0088】[比較例3]接着剤A−1の配合量を25
重量部、接着剤A−3の配合量を75重量部とした以外
は実施例1の場合と同様の方法によって実施例3のサン
プルを作成した。
【0089】[比較例4]接着剤Aを配合せず接着剤B
の配合量を100重量部とした以外は、実施例1の場合
と同様の方法によって比較例1のサンプルを作成した。
【0090】[比較例5]比較例4のサンプルと同じも
のを比較例5のサンプルとした。
【0091】<評価方法及び評価結果> (1次圧着後の導通抵抗)上述したサンプルを乾燥後の
厚さが40μmになるように回路基板上に塗布し、IC
チップを位置決めした後、回路基板とICチップとを1
次圧着(仮圧着)した。
【0092】この場合、回路基板としては、厚さ0.7
mmの耐熱性ガラス基材エポキシ樹脂銅張積層板(FR−
5)上に、厚さ18μm、幅100μm、ピッチ150
μmの銅(Cu)パターンを形成し、その上にニッケル
−金めっきを施したリジッド基板を用いた。
【0093】一方、ICチップとしては、外形10mm×
10mmの基板上に、外形20μm×20μm、高さ20
μmのバンプ電極が形成されたものを用いた。なお、バ
ンプ電極には、ニッケル−金めっきを施した。
【0094】1次圧着の条件は、実施例1〜3及び比較
例1、2については、温度130℃、圧力3MPa/c
2・バンプ、時間10秒とした。
【0095】また、実施例4及び比較例5については、
温度150℃、圧力3MPa/cm 2・バンプ、時間10
秒とした。
【0096】さらに、比較例3、4については、温度1
70℃、圧力3MPa/cm2・バンプ、時間10秒とし
た。
【0097】1次圧着後、すべての電極間について導通
抵抗値を測定して評価を行った。ここでの導通抵抗の判
定は、100mΩ未満のものを良好(○)、100〜5
00mΩのものをやや不良(△)、500mΩより大き
くなったものを不良(×)とした。その結果を表2に示
す。
【0098】(リペア性)温度100℃に加熱した板金
上に、ICチップを1次圧着した上記回路基板を載置し
て30秒間加熱した後、ICチップを剥離し、回路基板
上の実施例及び比較例のサンプルの残渣をアセトンを用
いて払拭した。
【0099】この場合、リペア性の判定は、ICチップ
を剥離でき、サンプルの残渣をすべて取り除くことがで
きたものを良好(○)、ICチップを剥離できたものの
サンプルの残渣をすべて取り除くことができなかったも
のをやや不良(△)、ICチップを剥離することが困難
であったものを不良(×)とした。その結果を表2に示
す。
【0100】(2次圧着後の導通抵抗)1次圧着後、実
施例及び比較例のサンプルについて所定の条件で2次圧
着(本圧着)を行った。
【0101】2次圧着の条件は、比較例1は、温度15
0℃、圧力3MPa/cm2・バンプ、時間10秒の条件
とした。
【0102】また、実施例1〜4及び比較例2〜5につ
いては、温度170℃、圧力3MPa/cm2・バンプ、
時間10秒とした。
【0103】2次圧着後、すべての電極間について導通
抵抗値を測定して評価を行った。
【0104】ここでの導通抵抗の判定は、100mΩ未
満のものを良好(○)、100〜500mΩのものをや
や不良(△)、500mΩより大きくなったものを不良
(×)とした。その結果を表2に示す。
【0105】(PCT後の導通信頼性)温度121℃、
湿度100%RH、2気圧の条件下でプレッシャクッカ
試験(Pressure Cooker Test)を行った後、すべての電
極間について導通抵抗値を測定して評価を行った。
【0106】ここでの導通抵抗の判定は、上記同様、1
00mΩ未満のものを良好(○)、100〜500mΩ
のものをやや不良(△)、500mΩより大きくなった
ものを不良(×)とした。その結果を表2に示す。
【0107】
【表2】
【0108】表2に示すように、実施例1〜4のもの
は、リペア性及び導通信頼性ともに良好な結果が得られ
た。
【0109】これに対し、接着剤A−1のみを用いた比
較例1は、PCT後の導通信頼性が良くなかった。
【0110】また、1次圧着の温度が接着剤A−1の8
0%反応温度と等しい比較例2の場合は、接着剤A−2
の硬化が十分ではないため、1次圧着後の導通抵抗が良
くなかった。
【0111】さらに、1次圧着の温度が170℃と高い
比較例3は、1次圧着時に接着剤A−1及びA−3が反
応して硬化したため、リペア性が良くなかった。
【0112】さらにまた、接着剤Bのみを用いた比較例
4は、1次圧着時に接着剤Bが反応して硬化したため、
リペア性が良くなかった。
【0113】一方、比較例4と同一の材料を用い1次圧
着時の温度を下げた比較例5にあっては、接着剤Bが十
分に硬化せず、1次圧着後の導通抵抗が良くなかった。
【0114】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、リペ
ア性と導通信頼性との両方を確保でき、しかも汎用性に
富む電極接続用接着剤を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)(b):本発明に係る絶縁性接着フィル
ムの好ましい実施の形態を示す概略構成図である。
【図2】(a)(b):本発明に係る異方導電性接着フ
ィルムの概略構成図である。
【図3】(a)〜(e):本発明に係る電極接続用接着
剤を用いた接続方法の好ましい実施の形態を示す工程図
である。
【符号の説明】
1A、1B 絶縁性接着フィルム 1C、1D 異方導電性接着フィルム 2 剥離フィルム 10 絶縁性接着剤層 11a、11b 低温側硬化成分層 12 高温側硬化成分層 13 導電粒子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C09J 163/00 C09J 163/00 5G301 H01B 1/20 H01B 1/20 D 5G307 5/16 5/16 H01L 21/60 311 H01L 21/60 311S H05K 3/32 H05K 3/32 B C 3/36 3/36 A (72)発明者 高松 修 栃木県鹿沼市さつき町12−3 ソニーケミ カル株式会社第2工場内 (72)発明者 石松 朋之 栃木県鹿沼市さつき町12−3 ソニーケミ カル株式会社第2工場内 Fターム(参考) 4J004 AA13 AA17 AB05 BA02 BA03 FA05 4J040 DN071 EC061 EL051 HB41 JA09 JA13 JB02 KA03 KA32 LA09 NA19 NA20 PA23 PA30 PA33 5E319 AA03 AC01 CC12 CC61 CD15 CD57 GG15 5E344 AA01 AA22 BB02 BB04 CD01 CD04 CD06 CD38 DD06 DD10 DD16 EE06 EE21 5F044 LL09 LL13 5G301 DA42 DA57 DD03 5G307 HA02 HC01

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】相対向する基板の電極間に配置した状態で
    加圧又は加熱加圧することにより前記基板同士を固定す
    るとともに前記電極同士を電気的に接続するための絶縁
    性接着剤であって、 熱硬化機構の異なる複数の接着剤成分を内在させたこと
    を特徴とする絶縁性接着剤。
  2. 【請求項2】熱硬化機構の異なる2種の接着剤成分を含
    むことを特徴とする請求項1記載の絶縁性接着剤。
  3. 【請求項3】2種の接着剤成分のDSC発熱ピークの温
    度差が20℃以上であることを特徴とする請求項2記載
    の絶縁性接着剤。
  4. 【請求項4】2種の接着剤成分が低温側硬化成分と高温
    側硬化成分からなり、前記低温側硬化成分の80%反応
    温度が100℃以上であり、前記高温側硬化成分の80
    %反応温度が140℃以上であることを特徴とする請求
    項2又は3のいずれか1項記載の絶縁性接着剤。
  5. 【請求項5】2種の接着剤成分のうち一方が、過酸化物
    を用いたラジカル重合系熱硬化機構を有する樹脂からな
    り、前記2種の接着剤成分のうち他方が、エポキシ系熱
    硬化機構を有する樹脂からなることを特徴とする請求項
    2乃至4のいずれか1項記載の絶縁性接着剤。
  6. 【請求項6】請求項1乃至5のいずれか1項記載の絶縁
    性接着剤中に導電粒子を分散してなることを特徴とする
    異方導電性接着剤。
  7. 【請求項7】請求項1乃至5のいずれか1項記載の絶縁
    性接着剤を薄膜状に形成してなることを特徴とする絶縁
    性接着フィルム。
  8. 【請求項8】熱硬化機構の異なる複数の接着剤成分から
    なる複数の層を形成してなることを特徴とする請求項7
    記載の絶縁性接着フィルム。
  9. 【請求項9】請求項7又は8のいずれか1項記載の絶縁
    性接着剤フィルム中に導電粒子を分散してなることを特
    徴とする異方導電性接着剤フィルム。
  10. 【請求項10】相対向する基板の電極間に請求項1乃至
    5のいずれか1項記載の絶縁性接着剤を配置し、前記2
    種以上の接着剤成分のうち一方の80%反応温度で前記
    絶縁性接着剤を加熱加圧し、その後、前記2種以上の接
    着剤成分のうち他方の80%反応温度以上で前記絶縁性
    接着剤を加熱加圧することを特徴とする電極の接続方
    法。
  11. 【請求項11】相対向する基板の電極間に請求項6記載
    の異方導電性接着を配置し、前記2種以上の接着剤成分
    のうち一方の80%反応温度で前記異方導電性接着剤を
    加熱加圧し、その後、前記2種以上の接着剤成分のうち
    他方の80%反応温度以上で前記異方導電性接着剤を加
    熱加圧することを特徴とする電極の接続方法。
  12. 【請求項12】相対向する基板の電極間に請求項7又は
    8のいずれか1項記載の絶縁性接着フィルムを配置し、
    前記2種以上の接着剤成分のうち一方の80%反応温度
    で前記絶縁性接着フィルムを加熱加圧し、その後、前記
    2種以上の接着剤成分のうち他方の80%反応温度以上
    で前記絶縁性接着フィルムを加熱加圧することを特徴と
    する電極の接続方法。
  13. 【請求項13】相対向する基板の電極間に請求項7又は
    8のいずれか1項記載の異方導電性接着フィルムを配置
    し、前記2種以上の接着剤成分のうち一方の80%反応
    温度で前記異方導電性接着フィルムを加熱加圧し、その
    後、前記2種以上の接着剤成分のうち他方の80%反応
    温度以上で前記異方導電性接着フィルムを加熱加圧する
    ことを特徴とする電極の接続方法。
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