TW200403181A - Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists - Google Patents

Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists Download PDF

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Description

200403181 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本申請專利範圍涵蓋先前2002年6月19曰申請的美國暫時 專利申請號碼60/3 89,993，題Η為”根據垂直輸送帶及高架 升降機之組合用於半導體製造之自動化材料處理系統 (Automated Material Handling System for Semiconductor Manufacturing based on a Combination of Vertical Carousels and Overhead Hoists)1’，及2002年10月11日申請的美國暫時專利申 請號碼 60/4 1 7，993，題目為 ’’Offset Zero Footprint Storage (ZFS) Using Moving Shelves or a translating Hoist Platform”。 【先前技術】 本發明一般關於自動化材料處理系統，及更特別地關於 自動化材料處理系統其允許高架升降機直接從Wip儲存單 元存取在製品（WIP)零件以增加整體材料處理系統的效率。 已知的自動化材料處理系統使用WIP儲存單元及高架升 降機在一產品製造環境中之各種工作站及/或製程機器之 間儲存與輸送WIP零件。例如，該自動化材料處理系統 (AMHS)—般使用在積體電路（IC)晶片的製造中。一典型的 1C晶片製造製程包含各種步驟包括沉積，清潔，離子佈植 ，姓刻，及保護層步驟。進一步，製造Ic晶片製程這些步 驟的每一步驟通常是利用不同的製程機器如化學氣相沉積 腔體，離子佈植腔體，或一蚀刻機實施。據此，該WIp零 件，例如，半導體晶圓，典变地在各種工作站及/或製程機 器之間輸送好幾次以實施製造1C晶片所需的各種製程步驟。 2? 3 84461 ^ 200403181 用來製造1C曰 日日月的傳統AMHS包括許多WIP儲存單亓^ 稱做”儲存櫃，，）用爽 平凡（也 降機輸送載罝用也认 门木升 戰”用來輸送製造IC晶片現場上各種工 程機器之間的a问 ”衣 ，.明J。儲存在WIp儲存櫃中的半導體 型I地裝進卡以如相式-體卡印QUP)，其接著被= 到一高架升降機於f寻牙夕 别k載具建構在一懸吊執道上運輸。 ^AMHS ’母個儲存櫃典型地提供許多主動的輸入/輸出 二連:乍一内部機械臂(其可提供至三或更多支移動 “進/出儲存櫃裝卸F0UP。該F0UP利用 降機輸送載具進/出耠入/仏山 门木升 s輸入/輸出口被選取或放入。 傳統AMHS的一缺a / 、…，疋正個糸統的效率受到機械臂在 WIP儲存樞的主動輪 ’ 入/輸出口存取FOUP所需時間的限制 。因為半導體晶圓-般脆弱的特性，嚴格限制機械臂正常 施加的加速度。因此 ’/、51地要求極少量時間用來移 =咖P進出儲存樞的輸入/輸出口。該極少量移動時間通 :决疋儲存櫃的產量，其限令需要支應所需n片生產規 模的儲存櫃數目與其侧㈣總成本。雖然AMHS的材料處 理效率可以利用增加在每個儲存櫃上的主動輪入/輸出口 之數目以及利用允許高架輸送載具同時存取多個輸入/輸 出、，來〜進’提供更多輸人/輸出σ大大增加儲存櫃的成本。 並且，在具有許多輸人/輸出σ儲存櫃中三或多抽内部機 器人的組合，每—個具有w支移動軸，意指-典型的儲存 櫃可以具有5至16支移動轴。對儲存材料這是—個非常複雜 ，低可靠度，及高成本的解決方案。 84461 ^00403181 此而要有一自動材料處理系統克服 系統的缺點以提供增進材料處理的效率。、材料處理 【發明内容】
根據本發明，提供一稽率 (AMHS)允，一 一加儿.一 ·動化材料處理系統 ^ * 降機直接進出—個或多個包括U 統中的WIP儲存單元以裝卸在製品_)零件。 在糸 體實施例’改進的A聰包括—高架升降機輸送次 夕料入^ —垂直輸送帶WIP儲存單元（”儲存櫃·，）包括， 夕枓层。該高架升降機輪送次系統包括古口 輸送載具建構沿著至 同木升降機 者至乂—預疋路線限定的懸Μ道運輸。 -預疋路線通過垂直輸送帶 降機直接從選擇的輸送帶料倉之一存取被=才谷“架升-件。户― Τ付层之存取—個或多個WIP零 千在s亥弟一具體實施例，該選擇的輪详w . —實際上直接位於二:下 存植的頂端。接著 f，1 h ^ 、戟/、/口者懸吊執道移 夂不、直接在該選擇的輸送帶料倉之上的位置。該高架 升降機於是下降到選擇的料倉。最後，握4 4 启取傻，知作咼架升降機直 2輸送帶料倉挑選所需的WIP批量，或放入一個或多個 WIP批量到輸送帶料倉内。 、在第二具體實施例，由懸吊軌道限定的預定路線平行通 ……、，輸WIP館存櫃，其被建構容許高架升降機直接 伙輸运帶料倉之—存取—個❹個WIP零件。似廳進— 步包括一抽取機構，其與垂直輸送帶儲存櫃連結工作適當 也相對於軌逼疋位包含所需WIP批量的選擇輸送帶料倉。 84461 200403181 例如，該抽取機構可以被建構沿_ 近軌道的楚一 ° 的伺服控制軸從鄰 、一移動選擇的輸送帶料倉(例如，一可移動 木）到貫際上直接位於執道之下 動 施例中，•高架輸送載具㈣在第二具體實 第^ w > u …九逼秘動到貫際上直接位於 置。在 ❺位置。接者’高架升降機下降到第二位 —具體實施例’選擇的輸送帶料倉包括_沿著執 邊疋位的架子’及該高架升降機被固定到一轉移台用 來挑選及置放-個或多個WIP批量到高架輸送載具旁邊的 架子。最後’操作高架升降機直接從選擇的料倉挑選所需 的WIP批量，或放入一個或多個WIP批量到選擇的料倉内。 利用建構AMHS允許該高架升降機從位於個別料倉上方 一位置進出輸送帶料倉以直接裝卸在製品（WIp)零件，可以 達到更有效率的AMHS操作。 其他特徵，功能，及本發明的方面從以下本發明的詳細 說明將是明顯的。 【實施方式】 2002年6月19日申請的美國暫時專利申請號碼6〇/389993 ，題目為，’Automated Material Handling System f〇r
Semiconductor Manufacturing based on a Combination of
Vertical Carousels and Overhead Hoists”，及 2002 年 l〇 月 ii 曰申請的美國暫時專利申請號碼60/4 17,993，題目為，，Offset Zero Footprint Storage (ZFS) Using Moving Shelves or a translating Hoist Platform"併入本文做參考。 揭露一種自動化材料處理系統（AMHS)可以具增進的效 •沿 84461 -10 - 200403181 率進出-醫儲存單元以裝卸在製品（WIP)零件。本揭露的 AMHS達到該增加的材料處理效率藉由位於個別料倉之上 的高架升降機允許在-垂直輸送帶健存單元中之料倉頂端 做裝卸。 ' 圖1描述-傳統的AMHS 100, #可以在一產品製造環境 中’例如’-製造積體電路⑽晶片的潔淨環境，使用在各 種工作站及/或製程機器之間自動儲存及輸送紐零件。如 圖！所示，傳統的AMHS 100包括一 WIp儲存單元（”儲存樞 ”）1〇2及-高架升降機輪送次系統1()4。該w㈣存櫃⑽包 括輸入/輸出口 111-112，及該高架升降機輸送次系統丨〇4包 括-懸吊軌道U38及許多高架升降機輸送載具iG5，建構 來在執道m上運送。在一典型的操作模式，該聊零件在 -卡莢110如前開式一體卡英(F0UP)中輸送。第一高架輸送 載具105沿著執道108運送及停在適合卸下F〇up 11〇進入輸 入口 111的位置或從儲存櫃1〇2的輸出口 裝上另一 FOUP 進一步，第二咼架輸送載具1〇6等候在軌道丨〇8上直到第 一高架輸送載具105完成裝卸F0UP及移動離開軌道。 在傳統的AMHS 100, F0UP從高架升降機卸下進入輸入 口 111，從輸出口 m裝進高架升降機，或因此利用可以提 供高達三或更多軸移動的機械臂107從儲存櫃102内存取。 =一步，從儲存櫃102存取F0UP所需的極少量移動時間通 =決定儲存櫃的產[其限令需要支應所fIC晶片生產規 模的儲存櫃數目。據此，用來存取F0UP的多軸機械臂107 之複雜移動引起增加最少的移動時間，因此增加AMHS100 84461 -11 - 200403181 中所需儲存櫃的數目與材料處理系統的總成本。 圖2描述根據本發明一自動化材料處理系統（amhs)2〇〇 的說明具體實施例。在該說明的具體實施例，AMHS 2〇〇包
括一高架升降機輸送次系統204，及至少一垂直輸送帶WIP 儲存單元（”儲存櫃”）202包括許多料倉如一輸送帶料倉2〇3 。该垂直輸送帶WIP儲存櫃202被建構容許在高架升降機 輸运次系統204中的高架升降機直接從選擇的輸送帶料倉之 一直接存取WIP零件。 應該知道像傳統的AMHS 1〇〇(見圖丨），圖2的AMHS 2⑽ 可以使用在製造1C晶片如200 mm或300 mm的FAB工廄之潔 淨環境，或任何其他適合的產品製造環境。如圖2所示， 晶片製造環境包括第一及第二樓板22〇與226，及天花板214 。第一樓板220典型地包括一由鋼筋混凝土製造的井式樓 板及第一樓板226包括一升局的樓板位在井式樓板220之 上。垂直輸送帶儲存櫃202位於井式樓板22〇之上。進一步 ，建構來實施製造1C晶片的各種製程步驟之工作站及/或 製程機器（未表示）定位在升高的樓板226上，其典型地以電 性非導體材料覆蓋及設計符合特定負載與地震的要求。例 如，該升高的樓板226可以位在井式樓板22〇之上一距離 228(約〇·6 m)及天花板214之下一距離224(大於或等於約 4.15m)。 在本揭硌的具體實施例，該垂直輸送帶儲存櫃2〇2包括一 术構252，及第一與第二滑輪25 0-2 51與佈置在架構252之内 的輸送帶254。如圖2所示，該輸送帶料倉（例如，料倉2〇3) 84461 -12- 200403181 /口者輸达页耦合到輸送帶25 士— 不同間隔位置，及輸送帶 之間利用驅動滑輪？50 251之一以容許料倉
J者輸达页路徑位置旋轉。例如，爷 垂直輸送帶儲存櫃202可以具有—高度218(約3 85 ‘垂直X 輸送帶儲存櫃2G2的頂端可以因此是在升高的樓板咖之上二 距離216(約 3.25m)。 如上5兄明，建構垂直輸送帶儲存樞2〇2以容許一高架升降 機直接從輸送帶料倉存取WIP零件，例如，半導體晶圓。 在該說明的具體實施例，接近天花板214之儲存櫃架構攻 的部伤至少部份開啟以容許選擇的輸送帶料倉之頂端裝卸 。進一步，每一個輸送帶料倉包括一固定的架子，及半導 體晶圓裝進卡莢如佈置在該架子2G3上的前開式—體卡笑 (F〇UP)210中。例如，每一個阳仰21〇可以抓住—或更多 半導體晶圓批量’因此允許高架升降機同時在_單獨的輸 送帶料倉中存取許多晶圓批量。 該高架升降機輸送次系統2〇4包括一懸吊執道2〇8及至少 一高架升降機輸送載具205被建構用來在執道2〇8上運送。 該懸吊轨道208定義至少一預定路徑通過垂直輸送帶儲存 櫃202，因此允許該高架輸送載具2〇5直接從位於接近儲存 櫃202頂端的輸送帶料倉之一存取F〇up。例如，該高架輸 送載具205可以從天花板214延伸一距離222(約0.9 m)。 在一說明的操作模式中，該選擇的輸送帶料倉，例如， 料倉203包含FOUP 210，位於軌道2〇8之下接近垂直輸送帶 儲存櫃202的頂端。接著高架輸送載具2〇5沿執道2〇8移到實 84461 -13- 200403181 I不丄且仗议％之上的位置。接著，高架升降機從高 架輸运載具205經儲存櫃架構252開口下降到料倉2〇3。例如 高架升降機可以在平行儲存櫃縱軸Li的方向下降。接著高 架升降機被操作直接從料倉203抓起F〇up 21()後續輸送到 1C晶片製造樓板上的工作站或製程機器。已知高架升降機 可以交替地操作放置一 FOUP進入輸送帶料倉2〇3。 圖3描述AMHS 200(見圖2)的另—具體實施例3〇〇。如圖3 所示’該AMHS 300包括一高架升降機輸送系統3〇4，及至 少一垂直輸送帶WIP儲存櫃302包括許多料倉如一滑動固 著式料倉332。像垂直輸送帶儲存櫃2〇2，該垂直輸送帶儲 存櫃302被建構容許在高架升降機輸送系統3〇4中的高架升 降機直接從選擇的輸送帶料倉之一直接存取零件，例 如，半導體晶圓。 特別地，該AMHS 300可以使用在IC晶片製造環境包括一 天花板314, 一井式樓板32〇,及位在井式樓板32〇之上的升 高樓板326。如圖3所示，垂直輸送帶儲存櫃3〇2位於井式樓 板320上。例如，該升高的樓板326可以位在井式樓板之 上一距離328(約0.6 m)及天花板314之下一距離324(大於約 5.4m)。進一步，垂直輸送帶儲存櫃3 02包括一架構3 52,及 第一與第二滑輪350_351及一佈置在架構352之内的輸送帶 354。該輸送帶料倉（例如，滑動固著式料倉332)沿著輸送帶 可耦合到輸送帶354各種不同間隔位置，及輸送帶354環繞 在第一與第二滑輪35〇_351之間利用驅動滑輪35〇_35丨之一 以容許料倉可沿著輸送帶路徑位置旋轉。例如，該垂直輸 84461 -14- 200403181 一高度3 1 8(約6 m)。 送帶儲存櫃302可以具有 士上次明’忒垂直輸送帶儲存櫃3 〇2被建構容許一高架升 降機直接從輸送帶料倉之—存取半導體晶圓。在說明的具 體實施例，至少架構352的_邊是至少部份打開以允許從架 冓〃之内抽取遥擇的輸送帶料倉，及允許利用高架升降機 k擇料层接績的頂端裝卸。特別地，AMHS 300進一步包括 至夕抽取機構330，其從儲存櫃302之内工作抽取半導體 曰曰圓，及適當地相對包括在高架升降機輸送系統3〇4中的懸 吊執運308定位該材料。應該知道每一個料倉可以包括一可 移動的或固定的架子。進一步，帛導體晶圓被裝入卡莢如 佈置在架子332上的一 FOUP310。 ▲該高架升降機輸送次系統304包括懸吊軌道308及至少一 向架升降機輸送載具305被建構用來在執道3〇8上運送。該 九、3 08疋義至少一預定路徑通過平行垂直輸送帶儲存櫃 #02、因此允許該高架輸送載具3〇5直接從一選擇的滑動固 著式料倉之一存取一 F〇up。 在σ兄明的刼作模式中，該選擇的滑動固著式料倉，例 如’料倉332包含F0UP31G，位於容許抽取機構33()從儲存 3櫃302之内工作抽取料倉332及定位該料倉332直接在軌道 ΤΙ之7。應該知道抽取機構330可以併入儲存櫃302及建構 來&著一獨立的伺服控制軸398移動料倉332。接 送载具奶沿軌道3卿到直接位於抽取的料倉3以上^ 位置。接著，高架升降機從高架輸送載具3〇5下降到料倉Μ〗 ’例如，在平行館存櫃縱軸k的方向。接著高架升降機被 84461 -15- 200403181 操作直接從料倉332抓起F0UP 310後續輸送到1(：晶片製造 樓板上的工作站或製程機器。已知高架升降機可以交替地 刼作放置一FOUP進入輸送帶料倉332。 一圖4描述AMHS 3〇〇(見圖3)的一詳細具體實施例_。在 說明的具體實施例，該AMHS4〇〇包括一高架升降機輸送系 統404及-垂直輸送帶儲存櫃術。該高架升降機輸送系統 4〇4包括-懸吊軌道彻及—高架升降機輸送載具彻被建 構用來在執道上運送。例如’該高架輪送載具4〇5可以 從執道延伸—距離心（約m)。該垂直輸送帶儲存樞 4〇2包括許多輸送帶料倉如一佈置在料倉架構内的料倉432 。例如，該料倉432可以在升高㈣晶片製造樓板之上—距 離 438(約 2.6 m)。 如^說明，從料倉架構内抽取一F〇up4i〇以允許選擇料 倉後績的頂端裝卸。該高架輸送載具405進一步包括一高架 升降機叫建構具有—夾頭進/出料倉似頂端裝卸^^ 41〇。在較佳的具體實施例，該升降機夹頭彳则著在轉移 台上允許高架升降機抓取/放置—卡莢到高架輸送載具他 的任'邊。 圖5b描述一移動升降機載具次系統704存取固定^ 存位置。在說明的具體實施例，移動升降機載具次系統 包括-懸吊執道708，及一高架升降機輪送載具Μ被讀 用來在執ΙΪ上運运。該高架輸送載具7G5被建構抓取續 一 FOUP710到一固定的储存位置732。例如，該高架輸送 具705可以延伸至天花板714之下-(約0圳，及 84461 -16 - 200403181 儲存位置732可以佈置在升高的1(：晶片製造樓板之上一距 離738(約2.6 m)。進一步，該天花板714可以是在升高的樓 板之上一距離790(約3.66 m)。 回架輸迗載具705被建構抓取（放置）F〇TJp 7丨〇到一直接 該高架輸送載具 位於懸吊執道7 〇 8之下的位置。到達終點 7〇5包括一升降機夾頭731固著到一轉移台及建構從載具 705延伸，抓取FOUP71〇，及退回載具7〇5，因此在高架輸 送載具705内移動FOUP710(見圖5b)。在較佳具體實施例中 ’轉移台被建構允許高架升降機抓取/放置一卡笑到高架 輸送載具7G5的任-邊。—當刚P71Q被升降機夾頭731抓 住，高架輸送載具705將其輸送到ic晶片製造樓板上的工作 站或製程機器。 圖6描述一移動升降機載具系統8〇〇存取材料在輸送帶 895上儲存或移動。特別地，一移動升降機輸送次系統8 = 被使用直接抓取或放置一 F0UP 810到高架執道基礎的輸送 帶895。在說明的具體實施例，高架升降機輸送次系統肋4 包括一懸吊軌道808及一高架升降機輸送載具δ〇5被建構在 執道808上運送。例如，高架輸送載具8〇5可以在執道8⑽之 下延伸一距離836(約0.9 m)及被佈置在軌道基礎的輸送帶 895之上一距離892(約0.35 m)。進一步，高架軌道898可以 在升高的ic晶片製造樓板之上一距離838(約2 6m)。應該瞭 解執道898在垂直於圖面的方向延伸。該移動升降機載具系 統800進一步包括一製程工具負載口 899。 ^ 高架輸送載具805可以被使用來實施執道基礎的輸送帶 84461 -17- 200403181 895之頂端裝卸。到達終點’該該高架輸送載具8〇5包括一 升降機831具有升降機夹頭奶，被固著到-轉移台833被建 構允序水平及垂直移動，個別如方向箭頭及所示。 在-說明的操作模式，執道基礎的輸送帶895被移動以致 FOUP 810直接定位在高㈣降機831之下。該升降機夹頭 835接著經轉移台833下降到F〇up8i()，及操作來直接從輸 送帶895抓取F0UP 81〇。接著，攜帶f⑽δι〇的升降機夹 頭835經轉移台833升高及退回，因此在高架輸送載具別5内 移動FOUP 810。輸送載具8〇5於是輸送F〇up 8_ic晶片 製造樓板上的工作站或製程機器。 操作本揭露自動材料處㈣統的—方法參考圖7做說明 。如描述在步驟902，一 &含F〇up的選擇料倉位在一垂直 輸送帶儲存櫃内允許利用一高架升降機存取。例如，該選 擇的輸送帶料倉可以定位在垂直輸送帶儲存櫃頂端或旁邊 (見圖2-3)。接著，高架升降機輸送載具沿—軌道移動，如 步驟904描述’到接近選擇的料倉之位置。在本例該選擇的 料倉位在儲存櫃頂端’該高架輸送載具位在料倉之上。在 本例該選擇的料倉位在儲存櫃旁邊，該高架輪送載具位在 料倉旁邊。高架升降機於是從輸送載具延伸及下降，如步 驟906所描述，允許升降機夾頭接觸選擇料倉中的酬卜 接著’操作升降機夾頭，如步驟9()8所描述，直接從料倉抓 取FOUP。高架升降機於是升高及退回，如步驟㈣所描述 ，在高架輸送載具内移動刚P。在該方式，該F〇up從選 擇的料倉被從頂端負载到高架輸送載具。最後，高架輸送 84461 -18- 200403181 載/、如步驟912所描述，輸送FOUp到產品製造樓板上的 工作站或製程機器。 热悉此項技藝人士將進一步瞭解可以對上面說明的自動 材料處理系統做修正及改變而不偏離本文揭露的發明概念 據此’本發明不應被視為僅受限於輯巾請專 範圍及精神。 ％幻 【圖式簡單說明】 茶考本發明前述詳細今日月PH fl 士 44*人rr 、平、、田况明同枯結合附圖將更完整地瞭解 本發明，其中： 圖1是傳統的自動材料處理系統的透視圖； 圖2是根據本發明一自動材 動材枓處理糸統的第一具體實施 例之方塊圖； 圖3是圖2自動材料處理系 圖4是圖2自動材料處理系 圖5 a - 5 b疋根據本發明一 位置之方塊圖； 圖6是圖5a-5b的移動升 方塊圖；及 統的第二具體實施例之方塊圖； 統的第三具體實施例之方塊圖； 移動升降機載具存取固定儲存 降機載具存取一輸送帶上材料之 圖 【圖 7是操作圖2的自動材料處 式代表符號說明】 理系統之方法的流程圖 100, 200, 300, 400 102, 202, 302, 402 104, 204, 304, 404, 704, 804 105, 106, 205, 305, 405, 705, 805 自動化材料處理系統 在製品儲存櫃 向架升降機輸送次系統 向架升降機輸送載具 84461 ' 19. 200403181 108, 208, 308, 408, 708, 808 懸吊軌道 107 機械臂 110 卡莢 111 輸入口 112 輸出口 203,432 輸送帶料倉 214, 314, 714 天花板 218,318 高度 220 第一樓板 226 第二樓板 ， 216，222，224，228，324，328, 一距離 436, 438, 736, 738, 790, 836, 892 250-251，350-351 滑輪 252, 352 架構 254, 354 輸送帶 210, 310, 410, 710, 810 前開式一體卡莢 332 滑動固著式料倉 320 井式樓板 326 升高的樓板 330 抽取機構 332 架子 398 伺服控制軸 430, 730, 835 升降機夾頭 431，831 高架升降機 84461 -20- 200403181 732 800 895 898 899 833 870 902, 904, 906, 908, 910, 912 固定的儲存位置 移動升降機載具系統 輸送帶 高架執道 製程工具負載口 轉移台 方向箭頭 步驟 84461 -21 -

Claims (1)

  1. 403181 拾、申請專利範圍：h 一種自動化材料處理系統，包括：至少-儲存單元包括許多料倉，每個料倉被建構抓住 至少一單元的材料；及古-高架升降機輸送次系統包括至少—高架升降機，該 两架升降機被建構直接從選擇的許多料倉之一存取至少 材料單元以後續輪送到一預定的位置。 2申請專利範圍第㈣的系統，其中該高架升降機進一步2構提供至少—材料單元直接給選擇的料倉做為後續 傅存在料倉内。 、 如申睛專利範圍第1項的糸 ^ .m 的錢，其中該選擇的材料單元利 ^儲存單元相—位置直接移_高架升降機。 Γ；：專利範圍第3項的“，其中該儲存單元進-步包 5·二建構在至少-轴向移動材料單元。 申明專利範圍第1項的系絲 ^ m w . y、、，八中該選擇的料倉包括一 口疋条子佈置在儲存單元内。 如申請專利範圍第5項的系 一 系統包括一絲々 ’、、，，、中該尚架升降機輸送次 匕括一轉移台麵合至丨丨古加 ^ % ^ ^ ^ 阿木升降機，該轉移台被建構 才多勳該鬲架升降機至第一 再 架子存取至少一材料單元。置以允許升降機直接從固定 如申請專利範圍第6項的系構移動該高架升降機至第;；、中該轉移台進一步被建 元移走至少一材料單元一位置以允許升降機從儲存單 如申睛專利範圍第〗項糸、、先，其中至少一儲存單元包括 2. 3· 4. 6 84461 200403181 一垂直輸送帶儲存櫃。 +申#專利*i圍第8項的系統，其中該垂直輸送帶儲存樞 被建構移動該選擇的料倉到儲存櫃的上方區域以允許該 :木升IV機攸砥擇的料倉之上的一位置存取至少一材料 單元。 ’’ 1 0 ·如申請專利筋（f|笤Q H / J乾圍弟9項的系統，其中該高架升降機輸送次 糸統進—步包括-轨道及—載具用來輸送建構移動在軌 道上的高㈣降機，至少—部份執道實際上直接佈置在 儲存櫃上方位置區域的選擇料倉之上。 11. 12專利範圍第8項的系統，其中該垂直輸送帶儲存樞 被建構移動該選擇的料倉到沿儲存櫃—邊的第_位置以 允㈣而架升降機從沿選擇儲存櫃旁邊第 少一材料單元。 夏许取至 12. 如申請專利範圍第"項的系統，其中該 次系統進一步包括一執 ^ 牛機輸迗 其被建構來在軌道上載具用來輪送高架升降機 &軌逕上運运’至少一部份執 平行於儲存櫃之縱軸接近靠儲存樞旁邊“上佈置 :申明專利乾圍弟1項的系統，其中該高架升降機， 夾頭部份被建構抓住至少一材料單元。升~栈包括- 14.如中請專利範圍第以㈣統，其中該# 荚。 . 早凡包括—^ 15•一種操作一自動化材料處理系統的方 利用選擇包括在_材料儲存單元中許二下步驟： 至少一單元材料； /、层之- 84461 403181 和用包括在-⑧架升降機輸送次古加 直接^擇的料倉存取至少—材料單元& ♦枯 :=高架升降機輸送次系統輸送該至 到預定的位置。 刊了十早7L 1 6·如申請專利範圍第1 5項的方法， 降機提供至少-材料單元直接給選利用高架升 後續健存在儲存單元内。 、；:”启之步驟做為 17.如申請專利範圍第15項的方 料倉提供至少一材料單元直接二=選擇的 選擇的料倉包括一可移動的架子，、料機之步驟，該 士申明專利乾圍第工7項的方法，進—+ 儲存單元内—機構在 A括利用包含在 1…請專利範圍㈣項的方:方 台移動高架升降機至第—位 A括利用-轉移 接從選擇的料倉存取至少以允許該升降機直 括—固定的架子。 該選擇的料倉包 2〇.如申請專利範圍第19項的方法 移動高架升降機至第二位置 V L括利用轉移台 倉移走至少-㈣單元。❹允許料降機從料 21.如申請專利範圍第μ項的方法，進—牛 在儲存單元申的輸送帶機構移動選擇二 =利用-包括 的上方區域’因此允許高架升降機 @至錯存單元 位置存取至少一材料單元。 、擇的料倉上方的 22·如申請專利範圍第21項的方法， 進一步包括利用在執道 84461 200403181 =運运的载具輸送高架升降機的步驟，高㈣降機輸送 、具及執道包括在高㈣降機輪送H㈣，其中至+ W伤軌道貫際上直接佈置在料倉上方區域的選擇料倉 之上。 23·如中請專利範圍第15項的方法，進-步包括利用包括在 料倉中之輸送帶機構移動該 在 邊之第—位置的步驟，因^允沿館存櫃的一 館存櫃旁邊的第二位置 ：5亥：架升降機從靠選擇 24 ^ ^ ± ^ 直仔取至少一材料單元。 •申“利範圍第23項的方法，進一 + 、 上運送的載具輸送高架升降 ^ 1用在軌道 載具及執道包括在高㈣降機輪^ ^架升降機輸送 -部份執道實際上直接佈置平:儲：：統二，其中至少-料倉旁邊的第一位置。 早70的縱軸鄰近沿 25·如中請專利範圍第15項的方法，進—牛 . 降機的夾頭部份夹住至少—材料„ 7利用高架升 26.如申請專利範圍第25項的方法:早進::步驟。 υ 降機的夹頭部份夹住至少 一步包括利用高架升 料單元包括一卡莢。 ^早^的步驟，其中該材 84461
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