KR101431571B1 - 반송 시스템 및 반송 시스템 내에서의 통신 방법 - Google Patents

반송 시스템 및 반송 시스템 내에서의 통신 방법 Download PDF

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Abstract

착탈 가능한 장치 전 자동 창고(10)를 설치함과 아울러 장치 전 자동 창고(10)의 착탈에 따른 제 1 컨트롤러(20)의 배선의 변경을 불필요하게 한다. 제 1 로딩 포트(12)와 제 1 컨트롤러(20)를 구비한 장치에 대해 반송차(6)와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트(16)와, 제 2 컨트롤러(22)를 구비한 장치 전 자동 창고(10)를 착탈 가능하게 설치한다. 또한 물품의 반송차와 통신 가능한 범위 내에 배치된 통신 단말과, 통신 단말에 접속된 통신 장치(30)를 설치한다. 통신 장치(30)는 제 1 컨트롤러(20)의 접속처를 상기 제 2 컨트롤러(22)와 통신 단말(30) 사이에서 스위치에 의해 스위칭한다.

Description

반송 시스템 및 반송 시스템 내에서의 통신 방법{CONVEYANCE SYSTEM AND METHOD OF COMMUNICATION IN CONVEYANCE SYSTEM}
본 발명은 반송 시스템에 관한 것이고, 특히 반송 시스템 내에서의 통신에 관한 것이다.
클린 룸 내에서의 반도체의 반송 등에서 처리 장치의 로딩 포트(loading port)를 덮도록 장치 전 자동 창고를 장착하여 반송차와 로딩 포트 사이의 물품의 이송을 장치 전 자동 창고에서 중계하는 것이 알려져 있다(예를 들면 특허문헌 1: 일본 특허 제 2001-298069A 호). 도 6에 장치 전 자동 창고를 사용한 반송 시스템을 도시한다. 도면에 있어서 4는 주행 레일, 6은 천정 주행차이며 통신 유닛(7)을 구비하고 로딩 포트(12)의 상부에서 주행 레일(4)의 주위에 설치된 통신 단말(36)과 통신한다. 8은 처리 장치이며 반도체 웨이퍼 등을 처리하고 로딩 포트(12)를 1개∼복수개 구비하고 있다. 10은 장치 전 자동 창고이며 복수의 선반(16)과 창고 내 반송 장치(18)를 구비하고 있다. 천정 주행차(6)는 장치 전 자동 창고(10)의 선반(16)과의 사이에서 FOUP(14) 등의 물품을 이송하고 창고 내 반송 장치(18)에 의해 선반(16)과 로딩 포트(12) 사이로 물품을 이송한다.
천정 주행차(6)는 선반(16) 또는 로딩 포트(12) 사이로 물품을 이송하기 전에 지상측의 컨트롤러(20, 22)와 통신할 필요가 있다. 이를 위해 통신 단말(36)을 로딩 포트(12)의 상부에서 주행 레일(4)의 주위에 설치하여 광 통신에 의해 천정 주행차(6)의 통신 유닛(7)과 통신한다. 통신 단말(36)은 로딩 포트(12) 마다에 설치되고, 또한 천정 주행차(6)가 물품을 이송 가능한 선반(16) 마다에 설치되어 있다. 도 6에서는 로딩 포트(12)가 4개 있고, 천정 주행차(6)가 물품을 이송 가능한 선반(16)이 2개 있는 것으로 하고 있다. 또한 로딩 포트(12)로 천정 주행차(6)가 직접 물품을 이송할 일은 없으므로 커넥터(41)를 컨트롤러(20)로의 배선으로부터 q분리한다. 그리고 처리 장치(8)의 컨트롤러(20)를 장치 전 자동 창고(10)의 컨트롤러(22)에 커넥터(40, 42)를 통해 접속한다. 또한 장치 전 자동 창고(10)의 컨트롤러(22)를 커넥터(43)를 통해 통신 단말(36)에 접속한다.
발명자는 여기에서 도 7에 도시되는 바와 같이 장치 전 자동 창고(10)를 장치(8)에 대해 착탈 가능하게 할 가능성을 검토했다. 또한 도 7은 발명자의 검토 결과를 도시하는 것이며 공지의 시스템을 도시하는 것은 아니다. 도 7과 같이 장치 전 자동 창고(10)를 처리 장치(8)로부터 분리하면 커넥터(42)를 분리하고 커넥터(41)를 컨트롤러(20)에 접속할 필요가 있다. 이로 인해 지상측과 천정측 사이에서 다수 개의 배선을 행할 필요가 있어 장치 전 자동 창고(10)의 착탈에 따라 커넥터(41)의 착탈 등의 배선의 스위칭을 행할 필요가 있다.
일본 특허 제 2001-298069A 호
본 발명의 기본적 과제는 배선의 변경 없이 장치 전 자동 창고를 착탈 가능하도록 하는 것이다.
본 발명의 부차적 과제는 천정측과 지상측의 배선을 간단하게 하는 것이다.
본 발명은 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템으로서,
물품의 반송차와,
상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
상기 반송차와 통신 가능한 범위 내에 배치된 통신 단말과,
상기 통신 단말에 접속된 통신 장치를 구비하고,
상기 통신 장치는 상기 제 1 컨트롤러의 접속처를 상기 제 2 컨트롤러와 상기 통신 단말 사이에서 스위칭 가능한 스위치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템 내에서 통신하는 방법으로서,
상기 반송 시스템은,
물품의 반송차와,
상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
상기 반송차와 통신 가능한 범위 내에 배치된 통신 단말과,
상기 통신 단말에 접속된 통신 장치를 구비하고,
상기 통신 장치 내의 스위치에 의해 상기 제 1 컨트롤러를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러에 접속하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 통신 단말에 접속하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템 내에서의 통신 방법에 있다.
본 발명에서는 제 1 로딩 포트와 제 2 로딩 포트 중 어느 하나를 유효하게 할지의 시점에서 스위치를 스위칭하는 것만으로 좋고, 장치의 컨트롤러와 장치 전 자동 창고의 컨트롤러의 접속을 차단하고 장치의 컨트롤러를 통신 단말로 다시 접속하는 작업이 불필요하게 된다.
바람직하게는 상기 스위치는 상기 제 1 컨트롤러를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러에 접속하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 통신 단말에 접속한다. 이와 같이 하면 장치 전 자동 창고의 착탈 시에 배선을 다시 접속하는 작업이 불필요하게 된다.
바람직하게는 상기 통신 단말은 상기 장치 전 자동 창고의 통신 단말을 적어도 1개, 상기 처리 장치의 통신 단말을 적어도 1개, 합계 복수개 설치되고, 복수의 통신 단말은 직렬로 접속되어 직렬로 통신 데이터를 전송하고, 그 기단측의 1개만이 상기 통신 장치에 접속되고, 또한 복수의 통신 단말 중의 1개가 상기 반송차와 통신함과 아울러 상기 기단측의 통신 단말을 통해 상기 통신 장치와 통신하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하면 통신 장치와 통신 단말의 배선을 1개로 통합할 수 있어 장치 전 자동 창고와 장치 마다에 또한 그것들의 각 로딩 포트 마다에 별도의 배선을 실시할 필요가 없다.
본 발명은 또한 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템으로서,
물품의 반송차와,
상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
상기 반송차와 와이어리스로 통신하는 통신 장치를 구비하고,
상기 통신 장치는 상기 제 1 컨트롤러의 접속처를 상기 제 2 컨트롤러와 상기 반송차와의 사이에서 스위칭 가능한 스위치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 또한 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템 내에서 통신하는 방법으로서,
상기 반송 시스템은,
물품의 반송차와,
상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
상기 반송차와 와이어리스로 통신하는 통신 장치를 구비하고,
상기 통신 장치 내의 스위치에 의해 상기 제 1 컨트롤러를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러에 접속하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 반송차에 접속하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 하면 제 1 로딩 포트와 제 2 로딩 포트 중 어느 것을 유효하게 할지의 시점에서 스위치를 스위칭하는 것만으로도 좋게 된다. 또한 통신 단말이 불필요하여 통신 단말과의 배선도 불필요하게 된다. 또한 반송차가 제 1 로딩 포트 및 제 2 로딩 포트의 부근에 도착하기 전부터 통신할 수 있으므로 제 1 로딩 포트 또는 제 2 로딩 포트와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 없을 경우 반송차는 정지하지 않고 통과할 수 있어 반송 효율이 향상된다.
본 발명은 또한 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템으로서,
물품의 반송차와,
상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
상기 반송차와 통신 가능한 범위 내에 배치된 통신 단말과,
상기 통신 단말에 접속된 통신 장치를 구비하고,
상기 통신 장치는 상기 통신 단말로부터 상기 통신 장치로의 통신의 접속처를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러로 하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 제 1 컨트롤러로 하는 스위치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 하면 장치 전 자동 창고의 착탈에 따라 통신 단말로부터의 통신처를 스위치로 변경하므로 배선의 변경이 불필요하게 된다.
본 발명은 또한 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템으로서,
물품의 반송차와,
상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
상기 반송차와 와이어리스로 통신하는 통신 장치를 구비하고,
상기 통신 장치는 상기 반송차로부터 상기 통신 장치로의 통신의 접속처를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러로 하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 제 1 컨트롤러로 하는 스위치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 하면 장치 전 자동 창고의 착탈에 따라 반송차로부터의 통신처를 스위치로 변경하므로 배선의 변경이 불필요하게 된다. 또한 통신 장치와 반송차는 와이어리스로 통신하므로 통신 단말을 반송차의 주행 경로의 부근에 설치할 필요가 없게 된다. 또한 제 1 로딩 포트 또는 제 2 로딩 포트와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 없을 경우 반송차는 정지하지 않고 통과할 수 있어 반송 효율이 향상된다.
도 1은 실시예의 반송 시스템에서의 처리 장치와 장치 전 자동 창고와 천정 주행차의 통신 환경을 도시하는 도면이다.
도 2는 실시예로부터 장치 전 자동 창고를 분리했을 때의 통신 환경을 도시하는 도면이다.
도 3은 실시예의 반송 시스템의 요부 평면도이다.
도 4는 제 2 실시예의 반송 시스템에서의 처리 장치와 장치 전 자동 창고와 천정 주행차의 통신 환경을 도시하는 도면이다.
도 5는 도 4의 실시예로부터 장치 전 자동 창고를 분리했을 때의 통신 환경을 도시하는 도면이다.
도 6은 종래예의 반송 시스템에서의 처리 장치와 장치 전 자동 창고와 천정 주행차의 통신 환경을 도시하는 도면이다.
도 7은 장치 전 자동 창고를 착탈 가능하게 할 시의 참고예를 도시하는 도면이다.
이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 설명한다. 본 발명의 범위는 특허청구의 범위의 기재에 의거하여 명세서의 기재와 이 분야에서의 주지 기술을 참작하여 당업자의 이해에 따라 규정되어야 한다.
실시예
도 1∼도 5에 제 1 실시예 및 제 2 실시예를 도시하고, 도 6, 도 7의 종래예와의 상위점을 중심으로 설명한다. 또한 설명을 생략하는 사항은 클린 룸 내에서의 반도체 반송 분야에 있어서 주지의 사항이다. 도 1∼도 3은 제 1 실시예를 도시하고, 2는 반송 시스템이며 클린 룸 내에서 반도체 웨이퍼 등을 반송하고, 4는 천정 공간에 설치된 주행 레일이며, 6은 천정 주행차이며 지상 주행의 반송차라도 좋다. 8은 처리 장치이며 반도체 웨이퍼 등을 처리하고, 1개∼복수개, 도면에서는 예를 들면 4개의 로딩 포트(12)를 구비하고, 컨트롤러(20)에 의해 로딩 포트(12)를 포함되는 처리 장치(8)를 제어한다. 또한 반도체 웨이퍼 등의 검사 장치도 처리 장치(8)에 포함시키는 것으로 한다. 10은 장치 전 자동 창고에서 처리 장치(8)에 대해 착탈 가능하다. 또한 장치 전 자동 창고(10)는 복수개의 선반(16)과 창고 내 반송 장치(18)를 구비하고, 선반(16)과 로딩 포트(12) 사이로 FOUP(14) 등의 물품을 이송한다. 그리고 선반(16) 내의 1∼복수개의, 도면에서는 예를 들면 2개의 선반(16)이 천정 주행차(6)와 물품을 주고 받을 수 있다. 처리 장치(8)의 로딩 포트(12)를 제 1 로딩 포트, 자동 창고(10)의 선반(16)을 제 2 로딩 포트라고 칭한다.
천정 주행차(6)는 무선, 광, 적외선 등을 사용한 통신 유닛(7)에 의해 주위의 즉 통신 가능 범위 내의 통신 단말(36a∼36c)과 통신한다. 복수개의 통신 단말(36a∼36c)은 데이지 체인(daisy chain)에 의해 직렬로 접속되고, 데이지 체인의 기단이 되는 통신 단말(36a)은 통신 장치(30)와 유선으로 접속되어 있다. 36b는 데이지 체인의 종단이 되는 통신 단말이고, 36c는 중계가 되는 통신 단말이다. 또한 통신 단말(36a∼36c)은 도 3에 도시되는 바와 같이 로딩 포트(12) 및 선반(16)의 상부에 배치되고, 주행 레일(4)을 따라 연장되는 LAN을 구성하는 것은 아니다.
도 3은 천정측으로부터 본 반송 시스템을 도시하고, 처리 장치(8)는 주행 레일(4)의 바로 아래에 예를 들면 4개의 로딩 포트(12)를 구비하고, 각각의 로딩 포트(12)의 부근에 대응하는 통신 단말(36c)이 설치되어 있다. 또한 장치 전 자동 창고(10)는 천정 주행차(6)와의 사이로 물품을 이송 가능한 선반(16)을 예를 들면 2개 구비하고 각각의 선반(16)의 부근에 1개씩, 합계 2개의 통신 단말(36a, 36b)을 구비하고 있다. 그리고 통신 단말(36a∼36c)은 데이지 체인에 의해 직렬로 접속되고 기단측의 통신 단말(36a)만이 통신 장치(30)의 통신 유닛(34)과 접속되어 있다.
지상측의 통신 장치(30)는 디스트리뷰터(32)와 통신 유닛(34)을 구비하고, 디스트리뷰터(32)는 컨트롤러(20)로부터 커넥터(40)를 통해 접속된 배선의 접속처를 컨트롤러(22)와 통신 유닛(34) 사이에서 스위칭한다. 디스트리뷰터(32)는 스위치의 예이며, 스위치는 릴레이 등의 전기적 스위치라도 반도체를 사용한 전자적 스위치라도 좋다. 또한 통신 유닛(34)은 데이지 체인의 기단이 되는 통신 유닛(36a)과 통신을 행한다.
장치 전 자동 창고(10)가 처리 장치(8)에 장착되어 있는 경우 디스트리뷰터(32)에 의해 컨트롤러(20)로부터 통신 장치(30)로 접속된 배선은 컨트롤러(22)로 접속된다. 이에 따라 컨트롤러(20, 22)가 통신하고, 장치 전 자동 창고(10)와 로딩 포트(12) 사이의 이송에 관한 데이터를 교환할 수 있다. 도 2와 같이 장치 전 자동 창고(10)를 처리 장치(8)로부터 분리하면 디스트리뷰터(32)는 컨트롤러(20)로부터의 배선을 통신 유닛(34)으로 접속한다. 이에 따라 컨트롤러(20)와 통신 단말(36a∼36c)을 접속하여 로딩 포트(12)와 천정 주행차(6) 사이의 이송에 관한 데이터를 교환할 수 있다.
천정 주행차(6)의 통신 유닛(7)은 각각의 통신 단말(36a∼36c)을 구별하여 통신하기 위해 포트 번호 등을 통신 단말의 ID로 하여 통신 데이터에 ID를 부가하여 통신한다. 또한 통신 유닛(34)은 통신 장치(30) 내의 어느 배선으로부터 취득한 신호인지에 따라 통신 데이터에 포트 번호 등의 ID를 부가하여 통신 단말(36a∼36c)로 송신한다. 그리고 통신 단말(36a∼36c)이 구성하는 데이지 체인에서는 통신 단말(36a∼36c)의 ID를 발신원의 어드레스 또는 목적지의 어드레스로 하여 데이터를 전송한다. 통신 유닛(34)으로부터의 통신에서는 목적지 어드레스 이외의 통신 단말(36a∼36c)은 종단측으로 신호를 전송하고, 목적지 어드레스의 통신 단말(36a∼36c)은 종단측으로 전송하지 않고 통신 유닛(7)으로 송신한다. 통신 유닛(7)으로부터의 통신에서는 목적지 어드레스의 통신 단말(36a∼36c)이 수신하여 데이지 체인의 기단측으로 신호를 전송한다. 여기서 통신 단말(36a∼36c)이 데이지 체인을 형성한다는 것은 기단의 통신 단말(36a)로부터 종단의 통신 단말(36b)까지 각통신 단말이 직렬로 접속되어 중간의 통신 단말(36c)이 중계 단말이 되는 것을 말한다. 또한 물리적으로는 중간의 통신 단말(36c)은 데이지 체인의 기단측과 종단측을 인접하는 통신 단말(36a∼36c)과 동종의 커넥터로 접속되어 있다. 기단 및 종단의 통신 단말(36a, 36b)은 중계의 통신 단말(36c)과 동종의 커넥터로 접속되어 있다. 또한 통신의 방식 자체는 전 2중, 반 2중 등 임의적이다.
도 1과 같이 장치 전 자동 창고(10)를 처리 장치(8)에 장착한 상태에서는 천정 주행차(6)는 통신 유닛(7)을 통해 적절한 통신 단말(36a∼36c)과 통신하고 데이지 체인을 통해 통신 결과는 통신 유닛(34)으로 입력되어 컨트롤러(22)로 전달된다. 컨트롤러(22)로부터의 통신은 역 경로를 통해 통신 단말(36a∼36c)로부터 통신 유닛(7)으로 전달된다. 그리고 컨트롤러(20)와 컨트롤러(22)는 디스트리뷰터(32)를 통해 서로 통신한다.
이것에 대해 도 2와 같이 장치 전 자동 창고(10)를 분리하면 컨트롤러(20)로부터의 배선의 접속처가 디스트리뷰터(32)에서 통신 유닛(34)으로 스위칭되어 컨트롤러(20)는 천정 주행차(6)와 통신할 수 있다. 이로 인해 장치 전 자동 창고(10)를 분리해도 디스트리뷰터(32)의 접속처를 스위칭하는 것만으로 로딩 포트(12)와 천정 주행차(6) 사이에서 물품의 이송이 가능하다. 이 결과, 이하의 효과가 얻어진다. 천정측과 지상측을 연결하는 배선은 1개면 충분해서 배선 작업이 간단하다. 장치 전 자동 창고(10)의 착탈 시 필요한 것은 디스트리뷰터(32)의 스위칭뿐이며 도 6, 도 7의 종래예와 같이 커넥터(40∼42)의 스위칭은 불필요하다.
도 1, 도 2의 실시예에서는 통신 단말(36a∼36c)과 천정 주행차(6) 사이에서 통신했지만 천정 주행차(6)가 지상측의 통신 장치(30)와의 사이에서 직접 통신하는 것도 가능하다. 이와 같은 실시예를 도 4, 도 5에 도시한다. 특히 지적한 점 이외에는 도 1, 도 2의 실시예와 동일하며, 통신 장치(30)는 유선의 통신 유닛(34)에 대신하여 무선 통신, 광 통신, 적외선 통신 등을 행하는 통신 유닛(35)을 구비하고 있다. 이로 인해 통신 단말(36a∼36c)이 불필요하게 되지만 어느 로딩 포트(12) 또는 어느 선반(16)과의 사이의 이송에 관한 통신인지를 지정하기 위하여 통신 단말(36a∼36c)이 가상적으로 존재하는 것으로 하여 그 ID를 사용한다. 천정 주행차(6)의 통신 유닛(7)은 가상적인 통신 단말(36a∼36c)의 ID를 지정하여 통신 유닛(35)을 향하여 통신한다. 통신 유닛(35)도 가상적인 통신 단말(36a∼36c)의 ID를 부가하여 통신 유닛(7)과 통신한다. 통신 유닛(35)과 통신 유닛(7)의 통신은 통신 단말(36a∼36c)의 ID를 부가하여 행해지므로 천정 주행차(6)로부터 하면 도 1, 도 2와 동일한 환경에서 같은 순서에 의해 통신하게 된다. 또한 컨트롤러(20, 22)로부터 해도 도 1, 도 2와 동일한 순서로 통신하는 것이 된다. 상위점은 지상측의 통신 유닛(35)이 각각의 통신 단말(36a∼36c)의 ID를 사용하여 천정 주행차측의 통신 유닛(6)과 직접 통신하는 것이다.
도 4는 장치 전 자동 창고(10)가 처리 장치(8)에 장착된 상태를 도시하고, 컨트롤러(22)는 통신 유닛(35)을 통해 천정 주행차(6)와 통신하고, 또한 디스트리뷰터(32)를 통해 컨트롤러(22)와 통신한다. 도 5는 장치 전 자동 창고(10)를 처리 장치(8)로부터 분리한 상태를 도시한다. 디스트리뷰터(32)에 의해 컨트롤러(20)의 접속처를 컨트롤러(22)로부터 통신 유닛(35)으로 변경하고, 컨트롤러(20)는 디스트리뷰터(32)와 통신 유닛(35)을 통해 천정 주행차(6)와 통신한다.
도 4, 도 5의 실시예에서는 천정 공간과 지상측의 배선이 불필요하다. 또한 천정 주행차(6)는 장치 전 자동 창고(10) 또는 로딩 포트(12)의 바로 위에 도달하기 전에 통신 유닛(35)과 통신할 수 있다. 따라서 물품의 이송에 관한 데이터를 천정 주행차(6)가 목적지에 도착하기 전에 교환할 수 있고, 예를 들면 물품의 주고 받기를 할 수 없을 경우 천정 주행차(6)는 정지하지 않고 바람직하게는 감속하지 않고 로딩 포트(12) 및 장치 전 자동 창고(10)의 상부를 통과할 수 있다. 따라서 천정 주행차(6)의 불필요한 정지를 줄이고 정체를 완화할 수 있다.
각 실시예에서는 컨트롤러(22)를 상시 통신 유닛(34, 35)과 접속하지만 장치 전 자동 창고(10)를 처리 장치(8)로부터 분리했을 시에 디스트리뷰터(32)에 의해 컨트롤러(22)와 통신 유닛(34, 35)의 접속을 해제해도 좋다. 디스트리뷰터(32)는 장치 전 자동 창고(10)가 처리 장치(8)에 착탈된 것을 검출하여 자동적으로 스위칭해도 수동으로 스위칭해도 좋다. 실시예에서는 로딩 포트(12)를 구비한 장치로서 처리 장치(8)를 도시하지만 검사 장치 등의 다른 장치라도 좋다. 또한 반송하는 물품은 반도체 웨이퍼 이외에 레티클 등의 다른 물품이라도 좋다. 장치 전 자동 창고(10)는 선반(16)을 사용하여 천정 주행차(6)와 물품을 주고 받지만 선반 이외의 로딩 포트를 사용해도 좋다.
또한 각 실시예에서는 장치 전 자동 창고(10)를 처리 장치(8)로부터 분리했을 시라도 통신 장치(30)와 컨트롤러(22)로부터의 배선은 유효하다. 그러나 통신 유닛(34, 35)과 컨트롤러(22)의 배선도 디스트리뷰터(32)를 경유하도록 하여 장치 전 자동 창고(10)를 처리 장치(8)로부터 분리하면 통신 유닛(34, 35)과 컨트롤러(22)의 통신을 차단해도 좋다.
도 1∼도 3의 실시예에서의 신호의 흐름을 다시 설명한다. 천정 주행차(6)는 이송하려고 하는 로딩 포트(12) 또는 선반(16)의 부근에서 정지하고, 로딩 포트(12) 또는 선반(16)의 ID를 부가하여 물품의 이송용 신호를 통신 단말(36a∼36c)로 송신한다. 통신 단말(36a∼36c)은 데이지 체인으로 접속되고, 신호는 기단측의 통신 단말(36a)로부터 통신 장치(30)의 통신 유닛(34)으로 송신된다. 도 1과 같이 장치 전 자동 창고(10)가 처리 장치(8)에 장착되어 있을 경우 통신 단말(36a∼36c)의 ID이며 로딩 포트(12)에 대응하는 것이 부가된 신호는 통신 장치(30)로부터 컨트롤러(22)로 전송되지 않고 예를 들면 무응답으로 에러가 된다. 또한 이와 같은 신호를 컨트롤러(22)로 전송하여 컨트롤러(22)로부터 로딩 포트(12)로는 이송할 수 없지만, 선반(16)으로는 이송할 수 있는 등의 신호를 회신해도 좋다. 또한 선반(16)에 대응하는 ID가 부가된 신호는 컨트롤러(22)로 전송되어 역의 경로에서 이송의 승인 신호 등이 회신된다.
도 2와 같이 장치 전 자동 창고(10)가 처리 장치(8)로부터 분리되어 있을 경우 로딩 포트(12)의 ID가 부가된 신호는 통신 장치(30)로부터 컨트롤러(20)로 전송되고, 컨트롤러(20)로부터의 회신은 디스트리뷰터(30), 통신 유닛(34), 통신 단말(36a)을 통해 상기 ID로 정해지는 통신 단말(36a∼36c)로 회신된다. 선반(16)에 대응하는 ID가 부가된 신호는 통신 유닛(34)으로부터 컨트롤러(22)로 전송되고, 장치 전 자동 창고(10)는 물품을 이송할 수 없는 상태이므로 에러 신호가 회신되는지가 무응답으로 에러가 된다. 이 때 통신 유닛(34)은 선반(1, 6)에 대응하는 ID가 부가된 신호를 컨트롤러(22)로 전송하지 않고 무시해도 좋다.
도 4, 도 5의 실시예에서는 통신 단말(36a∼36c)이 실재하지 않아 천정 주행차(6)는 로딩 포트(12) 또는 선반(16)의 상류측에서 정지하지 않고 통신 유닛(7)으로부터 이송에 관한 신호를 통신 유닛(35)으로 송신한다. 도 4와 같이 장치 전 자동 창고(10)가 처리 장치(8)에 장착된 상태에서는 로딩 포트(12)에 대응하는 ID가 부가된 신호는 예를 들면 통신 유닛(35)에서는 처리되지 않아 천정 주행차(6) 측에서는 타임 오버로 에러가 된다. 또한 이와 같은 신호를 컨트롤러(22)로 전송하여 컨트롤러(22) 측에서 처리해도 좋다. 또한 천정 주행차(6)는 정지하지 않고 통신을 개시하여 이송에 관한 신호의 교환에 성공하지 않을 경우 감속할 일이 있어도 정지할 일은 없다. 또한 선반(16)에 대응하는 ID가 부가된 신호는 컨트롤러(22)로 전송되어 컨트롤러(22) 측으로부터 통신 유닛(35)을 통해 천정 주행차(6)의 통신 유닛(7)으로 회신한다.
도 5와 같이 장치 전 자동 창고(10)가 처리 장치(8)로부터 분리되어 있는 상태에서는 천정 주행차(6)의 통신 유닛(7)으로부터의 통신은 부가된 ID에 따라 통신 유닛(35)에 의해 컨트롤러(20, 22)로 분배된다. 컨트롤러(22)로의 통신은 예를 들면 무응답으로 에러가 되고, 컨트롤러(20)는 통신에 대해 로딩 포트(12)로의 이송에 관한 신호를 회신한다. 이 경우도 천정 주행차(6)는 정지하지 않고 이송에 관한 신호를 교환한다.
2: 반송 시스템 4: 주행 레일
6: 천정 주행차 7: 통신 유닛
8: 처리 장치 10: 장치 전 자동 창고
12: 로딩 포트 14: FOUP
16: 선반 18: 창고 내 반송 장치
20,22: 컨트롤러 30: 통신 장치
32: 디스트리뷰터 34,35: 통신 유닛
36: 통신 단말 40∼43: 커넥터

Claims (8)

  1. 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템으로서,
    물품의 반송차와,
    상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
    상기 반송차와 통신 가능한 범위 내에 배치된 통신 단말과,
    상기 통신 단말에 접속된 통신 장치를 구비하고,
    상기 통신 장치는 상기 제 1 컨트롤러의 접속처를 상기 제 2 컨트롤러와 상기 통신 단말 사이에서 스위칭 가능한 스위치를 구비하며,
    상기 스위치는 상기 제 1 컨트롤러를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러에 접속하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 통신 단말에 접속하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 통신 단말은 상기 장치 전 자동 창고의 통신 단말을 적어도 1개, 상기 처리 장치의 통신 단말을 적어도 1개, 합계 복수개 설치되고, 복수의 통신 단말은 직렬로 접속되어 직렬로 통신 데이터를 전송하고, 그 기단측의 1개만이 상기 통신 장치에 접속되고,
    또한 복수의 통신 단말 중의 1개가 상기 반송차와 통신함과 아울러 상기 기단측의 통신 단말을 통해 상기 통신 장치와 통신하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  4. 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템으로서,
    물품의 반송차와,
    상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
    상기 반송차와 와이어리스로 통신하는 통신 장치를 구비하고,
    상기 통신 장치는 상기 제 1 컨트롤러의 접속처를 상기 제 2 컨트롤러와 상기 반송차와의 사이에서 스위칭 가능한 스위치를 구비하며,
    상기 스위치는 상기 제 1 컨트롤러를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러에 접속하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 통신 단말에 접속하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  5. 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템 내에서 통신하는 방법으로서,
    상기 반송 시스템은,
    물품의 반송차와,
    상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
    상기 반송차와 통신 가능한 범위 내에 배치된 통신 단말과,
    상기 통신 단말에 접속된 통신 장치를 구비하고,
    상기 통신 장치 내의 스위치에 의해 상기 제 1 컨트롤러를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러에 접속하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 통신 단말에 접속하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템 내에서의 통신 방법.
  6. 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템 내에서 통신하는 방법으로서,
    상기 반송 시스템은,
    물품의 반송차와,
    상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
    상기 반송차와 와이어리스로 통신하는 통신 장치를 구비하고
    상기 통신 장치 내의 스위치에 의해 상기 제 1 컨트롤러를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러에 접속하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 반송차에 접속하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템 내에서의 통신 방법.
  7. 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템으로서,
    물품의 반송차와,
    상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
    상기 반송차와 통신 가능한 범위 내에 배치된 통신 단말과,
    상기 통신 단말에 접속된 통신 장치를 구비하고,
    상기 통신 장치는 상기 통신 단말로부터 상기 통신 장치로의 통신의 접속처를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러로 하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 제 1 컨트롤러로 하는 스위치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  8. 제 1 로딩 포트와 제 1 컨트롤러를 구비한 처리 장치에 대해 물품을 반출입하기 위한 반송 시스템으로서,
    물품의 반송차와,
    상기 반송차와의 사이에서 물품을 주고 받을 수 있는 제 2 로딩 포트와 제 2 컨트롤러를 구비하고, 또한 상기 처리 장치에 착탈 가능한 장치 전 자동 창고와,
    상기 반송차와 와이어리스로 통신하는 통신 장치를 구비하고,
    상기 통신 장치는 상기 반송차로부터 상기 통신 장치로의 통신의 접속처를 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치에 장착되어 있을 시에는 상기 제 2 컨트롤러로 하고, 상기 장치 전 자동 창고가 상기 처리 장치로부터 분리되어 있을 시에는 상기 제 1 컨트롤러로 하는 스위치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
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