KR930020228A - 현상액 관리장치 - Google Patents

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도시모또 나까가와
고오죠 즈까다
슈 오가와
신니찌로 시오쓰
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도시모또 나까가와
가부시끼가이샤 히라마리카 겐꾸죠
나가세 히데오
나가세 산교 가부시끼가이샤
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    • G03F7/30—Imagewise removal using liquid means

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Abstract

액정기판 제조공정이나 프린트기판 제조공정등에 있어서, 감광성 유기수지의 현상에 사용되는 알칼리계 현상액의 현상성능을 항시 일정화함과 동시에, 조업정지시간을 콘폭으로 단축할 수 있는 현상액 관리장치로서, 현상액의 용해수지농도를 흡광공도계(16)으로 검출하여 현상액을 배출하는 현상액 배출수단과, 현상액의 액면레벨을 액면레벨계(3)으로 검출하여 현상원액과 순수를 보급하는 제1보급 수단과, 현상액의 알칼리 농도를 도전율계(15)에 의해 검출하여 현상원액 또는 순수를 보급하는 제2보급수단을 갖추고 있다.

Description

현상액 관리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예를 나타내는 현상액관리 장치의 계통도.
제2도는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 현상관리 장치의 계통도.
제3도는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 현상관리 장치의 계통도.

Claims (4)

  1. 감광성 유기수지용 현상액의 용해수지 농도를 흡광광도계(16)으로 검출하여 현상액을 배출하는 현상액 배출수단과, 현상액의 액면레벨을 액면레벨계(3)으로 검출하여 현상원액과 순수를 보급하는 제1보급수단과, 현상액의 알칼리 농도를 도전율계(15)로 검출하여 현상원액 또는 순수를 보급하는 제2보급수단을 갖춘것을 특징으로 하는 현상액 관리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1보급수단에서, 현상원액과 순수를 보급하는 대신에 현상원액과 순수를 미리 조합한 현상신액을 보급하도록 한 것을 특징으로 하는 현상액 관리장치.
  3. 감광성 유기수지용 현상액의 용해수지농도를 흡광광도계(16)으로 검출하여 현상원액과 순수를 보급하는 제3보급수단과, 현상액의 알칼리농도를 도전율계(15)로 검출하여 현상원액 또는 순수를 보급하는 제2보급수단을 갖춘것을 특징으로 하는 현상액관리장치.
  4. 제3항에 있어서, 제3보급수단에서, 현상원액과 순수를 보급하는 대신에, 현상원액과 순수를 미리 조합한 현상신액을 보급하도록 한것을 특징으로 하는 현상액 관리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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