DE69227343D1 - Vorrichtung zur Kontrolle einer Entwicklerlösung - Google Patents
Vorrichtung zur Kontrolle einer EntwicklerlösungInfo
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Families Citing this family (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5479233A (en) * | 1992-07-06 | 1995-12-26 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Photosensitive lithographic printing plate processing apparatus |
US5822039A (en) * | 1993-02-10 | 1998-10-13 | Noritsu Koki Co., Ltd. | Photographic printing and developing apparatus |
TW256929B (de) * | 1993-12-29 | 1995-09-11 | Hirama Rika Kenkyusho Kk | |
US5416552A (en) * | 1994-01-28 | 1995-05-16 | Surface Tek, Inc. | Apparatus and method for replenishing developer |
JP3238834B2 (ja) * | 1994-10-12 | 2001-12-17 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜パターンの形成方法および化学反応装置 |
JPH09162094A (ja) * | 1995-12-05 | 1997-06-20 | Tokuyama Corp | 現像原液の希釈方法 |
JP3093975B2 (ja) * | 1996-07-02 | 2000-10-03 | 株式会社平間理化研究所 | レジスト剥離液管理装置 |
KR20000062334A (ko) * | 1996-12-25 | 2000-10-25 | 나카노 가츠히코 | 패턴 가공용 약액 집중 관리 장치 |
JP3795627B2 (ja) * | 1997-05-15 | 2006-07-12 | 東芝電子エンジニアリング株式会社 | レジストの現像方法 |
JPH1184679A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-26 | Nagase & Co Ltd | 感光性樹脂の連続現像方法及び現像開始剤 |
JP2000081700A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-03-21 | Nippon Zeon Co Ltd | パタ―ン形成方法 |
JP3728945B2 (ja) | 1998-10-30 | 2005-12-21 | オルガノ株式会社 | フォトレジスト現像廃液からの現像液の回収再利用方法及び装置 |
TWI298423B (en) * | 2001-02-06 | 2008-07-01 | Nagase & Co Ltd | Developer producing equipment and method |
JP3795342B2 (ja) * | 2001-04-05 | 2006-07-12 | シャープ株式会社 | ハイブリッド型レジスト現像装置、レジスト現像方法および液晶ディスプレイの製造方法 |
JP3497841B2 (ja) * | 2001-06-01 | 2004-02-16 | 長瀬産業株式会社 | 現像廃液再生装置及び現像廃液再生方法 |
JP2003033760A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-04 | Kemitekku:Kk | 現像液再生装置 |
US6752545B2 (en) * | 2001-08-16 | 2004-06-22 | Nagase & Co., Ltd. | Alkali-based treating liquid, treating liquid adjusting method and equipment, treating liquid supplying method and equipment |
US20030073242A1 (en) * | 2001-10-11 | 2003-04-17 | Kitchens Keith G. | Apparatus for controlling stripping solutions methods thereof |
JP2004101999A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Mitsubishi Chemical Engineering Corp | 現像液のリサイクル供給装置 |
TW575796B (en) * | 2002-09-27 | 2004-02-11 | Au Optronics Corp | System and method for recovering TMAH developer |
JP3894104B2 (ja) * | 2002-11-15 | 2007-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法及び現像装置及び現像液再生装置 |
JP2004219452A (ja) * | 2003-01-09 | 2004-08-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版用自動現像装置の現像補充方法 |
CN101452224B (zh) * | 2003-06-27 | 2010-12-01 | 友达光电股份有限公司 | 氢氧化四甲铵显影液的回收系统及其方法 |
JP4366490B2 (ja) * | 2003-08-22 | 2009-11-18 | 長瀬産業株式会社 | 現像液供給方法及び装置 |
US20050076801A1 (en) * | 2003-10-08 | 2005-04-14 | Miller Gary Roger | Developer system |
US7078162B2 (en) * | 2003-10-08 | 2006-07-18 | Eastman Kodak Company | Developer regenerators |
JP4183604B2 (ja) * | 2003-12-01 | 2008-11-19 | 東京応化工業株式会社 | 現像装置および現像方法 |
JP4194541B2 (ja) * | 2004-08-05 | 2008-12-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、液処理方法及び液状態検出装置 |
US7153045B2 (en) * | 2005-01-07 | 2006-12-26 | Eastman Kodak Company | Electro-mechanical system and method for mixing replenishment for plate precursor developers |
KR100862987B1 (ko) * | 2008-01-28 | 2008-10-13 | 주식회사 디엠에스 | 기판 반송장치 |
JP5637676B2 (ja) * | 2009-11-16 | 2014-12-10 | 石原ケミカル株式会社 | 現像液中のフォトレジスト溶解量の測定方法 |
JP6713658B2 (ja) | 2015-07-22 | 2020-06-24 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液の成分濃度測定装置、成分濃度測定方法、現像液管理装置、及び現像液管理方法 |
JP6721157B2 (ja) * | 2015-07-22 | 2020-07-08 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液の成分濃度測定方法及び装置、並びに、現像液管理方法及び装置 |
JP6505534B2 (ja) * | 2015-07-22 | 2019-04-24 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液の管理方法及び装置 |
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Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8001443A (nl) * | 1980-03-11 | 1981-10-01 | Anderson & Vreeland Bv | Werkwijze en inrichting voor het nabehandelen van een buigzame drukvorm. |
JPS5895349A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性プレ−トの現像補充液補充方法 |
JPH0634890B2 (ja) * | 1985-07-10 | 1994-05-11 | 株式会社日立製作所 | 薬液調合方法 |
JPS6264792A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-23 | 株式会社島津製作所 | 超伝導磁場発生装置における保冷用液体補給装置 |
JPS62131368A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-13 | Nec Corp | 給油所における油液の在庫管理システム |
JPS62186266A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Canon Inc | 現像装置 |
JPS62186265A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Canon Inc | 現像装置 |
JPS63100460A (ja) * | 1986-10-16 | 1988-05-02 | Konica Corp | 現像処理の安定性等が改良される感光材料の処理方法と自動現像機 |
JPH067910B2 (ja) * | 1987-02-10 | 1994-02-02 | 日立プラント建設株式会社 | 現像原液の希釈装置 |
US4857750A (en) * | 1987-12-17 | 1989-08-15 | Texas Instruments Incorporated | Sensor for determining photoresist developer strength |
JP2729797B2 (ja) * | 1988-01-12 | 1998-03-18 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性平版印刷版の現像方法 |
US5168296A (en) * | 1988-04-20 | 1992-12-01 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method and apparatus for processing photosensitive material |
US5121164A (en) * | 1988-06-06 | 1992-06-09 | Spectrum Sciences B.V. | Method for maintaining a liquid composition |
US5055870A (en) * | 1989-02-17 | 1991-10-08 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Waterless presensitized lithographic printing plate developing apparatus |
JPH02254342A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-15 | Hitachi Condenser Co Ltd | 現像液の不純物量検出方法 |
JPH0330314A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-08 | Fujitsu Ltd | レジスト現像装置と現像液の管理方法 |
JPH03107167A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光材料処理装置 |
JP2979093B2 (ja) * | 1989-12-07 | 1999-11-15 | カシオ計算機株式会社 | フォトレジストの現像装置 |
-
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