KR100862987B1 - 기판 반송장치 - Google Patents

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KR100862987B1
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정춘석
박호윤
이석주
이승원
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주식회사 디엠에스
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Abstract

평판표시소자용 기판 제조를 위한 현상 작업을 진행할 때 처리액(현상액)의 액절이 가능하게 기판을 반송할 수 있는 기판 반송장치를 개시한다.
그러한 기판 반송장치는, 기판을 반송하는 제1 반송부와, 상기 제1 반송부 일단과 떨어져서 배치되는 제2 반송부와, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 사이를 연결하는 상태로 배치되며 기판의 반송 중에 이 기판에 묻어 있는 현상액의 액절이 가능하도록 경사 반송하는 제3 반송부 그리고, 상기 제3 반송부의 경사 반송 각도 및 연결 형태를 제어하기 위한 반송 제어부를 포함한다.
Figure R1020080008523
평판표시소자용 기판, 현상 작업, 현상액 액절, 제1 반송부, 제2 반송부, 제3 반송부, 반송 제어부, 기판의 경사 반송, 캠 운동 또는 링크 운동에 의한 동력 전달, 작업성 및 액절 효율 향상

Description

기판 반송장치{transferring apparatus of substrate}
본 발명은 평판표시소자용 기판 제조를 위한 습식 현상(wet development) 작업에 사용되며,특히 기판의 반송 중에 처리액(현상액)의 액절 효율을 높일 수 있는 경사 반송 기능을 제공하는 기판 반송장치에 관한 것이다.
평판표시소자용 기판 제조시 소정의 회로 패턴을 기판 상에 형성하는 작업에는 포토리소그라피(photo lithography) 기술이 널리 사용되며, 기판의 노광된 레지스트막을 현상액으로 현상하는 습식 현상 작업을 포함하여 이루어진다.
이러한 습식 현상 작업은, 노광 처리된 기판의 레지스트막에 현상액을 도포하는 단계와, 기판을 세정액하는 단계 그리고, 기판을 건조하는 단계로 구성되며, 이러한 작업 단계들은 반송장치를 이용하여 챔버 내부 일측에서 타측으로 기판을 반송하는 중에 각각 순차적으로 진행된다.
상기 반송장치는 대부분 반송용 로울러의 회전에 의해 기판을 반송하는 통상의 로울러 컨베이어 타입으로 이루어지며, 기판의 반송 중에 현상액의 회수 및 재활용 효율을 높일 수 있도록 액절을 위한 경사 반송 구간을 구비하여 이루어진다.
이처럼, 액절을 위한 경사 반송 구간을 구비한 장치로는 2007년 특허 출원되 어 공개된 특허공개 제10-2007-0093343호의 기판처리장치가 있다.
상기 특허공개 제10-2007-0093343호의 기판처리장치는, 기판의 전체 반송 구간 중에서 현상 구간과 세정 구간 사이에 현상액의 액절을 위한 경사 반송 구간을 제공하고 있으며, 이 경사 반송 구간은 기판이 현상 구간을 벗어날 때에는 상향의 경사 반송 구간을 따라 반송되고, 세정 구간으로 진입할 때에는 하향의 경사 반송 구간을 따라 반송될 수 있도록 되어 있다.
이와 같이 기판의 전체 반송 구간 내에 액절을 위한 경사 반송 구간을 형성하면, 기판이 상향의 경사 반송 구간을 따라 반송될 때 상기 기판에 묻어 있는 잔존 현상액이 낙하되면서 현상 영역(챔버)으로 회수될 수 있다.
그러므로, 현상 작업시 현상액의 회수율을 높일 수 있을 뿐만 아니라, 세정 영역(챔버) 내부로 현상액이 과다하게 유입되어 세정액이 조기에 혼탁하게 되는 것을 방지할 수 있다.
하지만, 상기 특허공개 제10-2007-0093343호의 기판처리장치는, 경사 반송 구간 내에 위치되는 반송용 로울러들이 챔버 내부에 일체로 결합 고정된 고정 타입으로 이루어지므로 현상 작업 중에 다음과 같은 문제가 발생될 수 있다.
예를들어, 기판의 사이즈나 요구되는 작업 환경(현상 속도)과 부합하도록 경사 반송 구간의 경사 각도 및 연결 상태를 적절하게 제어할 수 없으므로 작업 호환성이 좋지 못한 단점이 있다.
특히, 이처럼 기판 사이즈나 작업 환경과 부합하는 경사 반송 각도를 제공하지 못하면, 기판의 경사 반송 중에 만족할 만한 액절 효과를 기대할 수 없다.
그러므로, 현상액의 회수율이 좋지 못하여 사용량을 절감하기 어렵고, 세정액 중에 잔여 현상액과 과다하게 혼합되어 세정액의 재활용 비율이 현저하게 낮아질 수 있다.
그리고, 경사 반송 구간으로 기판이 진입하거나 경사 반송 구간을 벗어날 때 상기 기판의 전방 일단이 반송용 로울러들 사이에 끼이거나 쉽게 접촉되면서 충격이나 마찰 등에 의해 위치가 변화된 비정상적인 상태로 반송될 수 있다.
이와 같이 기판이 비정상적인 상태로 반송되면 세정 작업이나 건조 작업을 진행할 때 세정액이나 건조용 에어가 기판의 피처리면에 불균일하게 공급되면서 세정 및 건조 품질이 저하되는 또 다른 문제를 야기할 수 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,
본 발명의 목적은 현상 작업이 가능하도록 기판을 안정적으로 반송할 수 있으며 특히, 기판의 반송 중에 처리액(현상액)의 액절 효율을 높일 수 있는 경사 반송 기능을 구비한 기판 반송장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,
기판을 반송하는 제1 반송부;
상기 제1 반송부 일단과 떨어져서 배치되는 제2 반송부;
상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 사이를 연결하는 상태로 배치되며 기판의 반송 중에 이 기판에 묻어 있는 현상액의 액절이 가능하도록 경사 반송하는 제3 반송부;
상기 제3 반송부의 경사 반송 각도 및 연결 형태를 제어하기 위한 반송 제어부;
를 포함하는 기판 반송장치를 제공한다.
이와 같은 본 발명은, 제1 반송부와 제2 반송부 사이에서 현상액의 액절을 위한 경사 반송 구간을 형성하는 제3 반송부를 제공하고 있으므로 제1 챔버부 내부 에서 현상액을 액절시킨 상태로 제2 챔버부 측에 공급할 수 있다.
특히, 상기 제3 반송부는 반송 제어부에 의해 경사 각도 및 연결 상태가 적절하게 제어될 수 있는 비고정 가변 타입으로 이루어지므로 현상 작업시 기판 사이즈나 요구되는 작업 환경(현상 속도)에 따라 이와 부합하는 최적의 경사 반송 구간을 제공할 수 있다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송장치의 전체 구조를 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 제1 챔버부를 지칭하고, 도면 부호 4는 제2 챔버부를 지칭한다.
상기 제1 챔버부(2)는 내부에 일정 크기의 제1 챔버(C1)를 구비한 박스 형상의 챔버 케이스로 이루어진다.
그리고, 상기 제2 챔버부(4)는 내부에 일정 크기의 제2 챔버(C2)를 구비한 박스 형상의 챔버 케이스로 이루어진다.
상기 제1 챔버부(2)와 상기 제2 챔버부(4)는 도 1을 기준으로 할 때 일면이 마주하도록 좌/우로 연결 배치되며, 기판(G)이 좌측에서 우측으로 통과하기 위한 개구부(D1, D2, D3)가 형성되어 있다.
상기 제1 챔버부(2)와 제2 챔버부(4) 내부에는 제1 유체공급기(N1)와 제2 유체공급기(N2), 제3 유체공급기(N3)가 위치된다.
상기 제1 유체공급기(N1)는 현상액(W1)을 공급하고, 상기 제2 유체공급기(N2)는 세정액(W2)을 공급하며, 상기 제3 유체공급기(N3)는 건조용 에어(W3)를 공급하기 위한 것이다.
즉, 상기 제1 및 제2, 제3 유체공급기(N1, N2, N3)들은 도면에는 나타내지 않았지만 유체공급부(저장탱크)로부터 현상액(W1)이나 세정액(W2), 건조용 에어(W3)를 공급받아서 기판(G)의 레지스트막(G1)을 습식 방식으로 현상하기 위한 통상의 구조(슬릿 노즐, 에어 나이프)로 이루어진다.
그리고, 상기 제1 챔버(C1)와 상기 제2 챔버(C2)의 바닥면에는 기판(G)에 공급된 현상액(W1)이나 세정액(W2)을 배출하기 위한 드레인 파이프(Q1, Q2)와 연결된다.
상기 제1 챔버부(2)와 상기 제2 챔버부(4)는 도 1에서와 같이 독립된 두 개의 챔버 케이스로 구성되거나, 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 하나의 챔버 케이스 내부에서 일정 크기로 분할 형성될 수 있다.
상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송장치는, 상기 제1 챔버부(2) 및 제2 챔버부(4)와 대응하도록 설치되는 제1 반송부(6)와 제2 반송부(8)를 포함한다.
상기 제1 반송부(6)와 제2 반송부(8)는 도 1에서와 같이 복수 개의 반송용 로울러(R1, R2)들이 지지 브라켓트(P1, P2) 측에 각각 이격 설치된 통상의 로울러 컨베이어 타입의 구조로 이루어진다.
그리고, 상기 반송용 로울러(R1, R2)들은 도면에는 나타내지 않았지만 모터의 구동시 체인/스프라켓 또는 벨트/풀리로부터 통상의 방법으로 동력을 전달받아서 축선을 중심으로 회전된다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 제1 챔버(C1)와 상기 제2 챔버(C2) 내부에서 상기 제1 및 제2 반송부(6, 8)를 이용하여 도 1을 기준으로 할 때 좌측에서 우측을 향하여 기판(G)을 수평 반송할 수 있는 수평 반송 구간(L1, L2)을 제공할 수 있다.
그러므로, 상기 제1 챔버부(2)와 제2 챔버부(2) 내부에서 기판(G)의 반송 중에 이 기판(G)의 피처리면을 향하여 현상액(W1)과 세정액(W2), 건조용 에어(W3)를 순차적으로 공급하면서 일련의 작업(현상, 세정, 건조)을 진행할 수 있다.
한편, 상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송장치는 제3 반송부(10)를 포함한다.
상기 제3 반송부(10)는 상기 제1 반송부(6)와 제2 반송부(8) 사이에서 액절을 위한 가변의 경사 반송 구간을 제공하기 위한 것으로서, 제1 가변 반송부(10A)와 제2 가변 반송부(10B)로 구성된다.
상기 제1 가변 반송부(10A) 및 제2 가변 반송부(10B)는 도 1에서와 같이 복수 개의 반송용 로울러(R3, R4)들이 일정 간격으로 이격되어 지지 브라켓트(P3, P4) 측에 각각 이격 설치된 통상의 로울러 컨베이어 타입으로 이루어진다.
그리고, 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)는 도면에는 나타내지 않았 지만 상기 제1 반송부(6) 및 제2 반송부(8)와 연계하여 구동하도록 셋팅되거나, 이외에도 별도의 구동장치(모터, 체인/스프라켓, 벨트/풀리)를 이용하여 구동할 수 있다. 이러한 구동 방식은 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
도 2를 참조하면, 상기 제1 가변 반송부(10A)는 상기 제1 반송부(6) 일단과 대응하도록 위치되고, 상기 제2 가변 반송부(10B)는 상기 제2 반송부(8) 일단과 대응하도록 위치된다.
그러므로, 상기 제1 챔버부(2)와 상기 제2 챔버부(4)의 경계 지점에 형성된 개구부(D2)를 사이에 두고 좌/우측에 위치된 상기 제1 반송부(6)와 상기 제2 반송부(8) 사이로 기판(G)의 반송이 가능하게 연결할 수 있다.
그리고, 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)의 지지 브라켓트(P3, P4) 일단은 도 2에서와 같이 힌지축(H1, H2)에 의해 상기 제1 및 제2 챔버부(2,4) 내부에서 통상의 방법으로 힌지 결합된다.
이와 같은 구조에 의하면, 힌지 결합 지점을 중심으로 상기 지지 브라켓트(P3, P4)들을 회동시키면서 도 2에서와 같이 상기 제1 가변 반송부(10A)를 상향 경사지게 하고, 상기 제2 가변 반송부(10B)를 하향 경사지게 셋팅 및 조절할 수 있다.
그러므로, 상기 제1 챔버부(2)와 상기 제2 챔버부(4)의 경계부에서 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)로 기판(G)을 반송할 때 현상액(W)을 액절하기 위한 두 개의 가변 반송 구간(L3, L4)을 제공할 수 있다. 특히 상기 두 개의 가변 반송 구간(L3, L4)은 상기 제1 반송부(6)와 제2 반송부(8) 사이에서 기판(G)의 반송 중에 액절이 가능한 경사 반송 구간을 제공하므로 예를들어, 현상 작업시 기판(G)의 반송을 멈추지 않고 연속적으로 현상액의 액절 작업을 진행할 수 있다.
상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송장치는 반송 제어부(12)를 포함한다.
상기 반송 제어부(12)는 상기 제3 반송부(10)의 제1 가변 반송부(10A)와 제2 가변 반송부(10B)의 경사 각도 및 연결 상태를 적절하게 제어하기 위한 것으로서, 도 3에서와 같이 구동원(M1)과, 이 구동원(M1)으로부터 동력을 전달받아서 업/다운되는 푸쉬 아암(A)으로 구성된다.
상기 구동원(M1)은 통상의 실린더를 사용할 수 있으며, 상기 제1 챔버부(2)와 제2 챔버부(4) 내부에 마련된 보조 공간부(C3)에 설치될 수 있다.
상기 보조 공간부(C3)는 현상액(W1)이나 세정액(W2)이 내부로 유입되지 않도록 상기 제1 챔버(C1) 및 제2 챔버(C2)와 차단되도록 형성하면 좋다.
상기 푸시 아암(A)은 도 3에서와 같이 상부에 두 개의 지지단(A1, A2)을 구비하고, 하부에는 연결단(A3)이 구비된 형태로 이루어지며, 상기 보조공간부(C3)의 일면(윗면)을 관통하는 상태로 끼워져서 업/다운 동작이 가능하게 지지된다.
그리고, 상기 푸쉬 아암(A)은 상기 구동원(M1)의 실린더가 구동할 때 통상의 캠(U1) 운동 방식으로 동력을 전달받아서 업/다운되도록 셋팅될 수 있다.
즉, 상기 푸쉬 아암(A)의 지지단(A1, A2)은 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)의 지지 브라켓트(P3, P4) 저면 일측을 각각 지지할 수 있도록 위치하고, 상기 연결단(A3)은 상기 캠(U1)의 캠면(U1a)과 접촉되도록 도 3에서와 같이 배치된다.
상기 캠(U1)은 상기 구동원(M1)의 실린더 피스톤 로드 단부와 고정되며, 상 기 캠면(U1a)은 도 3을 기준으로 할 때 좌측에서 우측을 향하여 상향 경사진 구조로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 지지단(A1, A2)과 연결단(A3)에는 접지용 로울러(A4)들을 설치하면 좋다. 이처럼, 접지용 로울러(A4)를 설치하면 상기 두 개의 지지단(A1, A2)으로 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)의 지지 브라켓트(P3, P4)를 접촉 상태로 지지하거나, 상기 연결단(A3)과 상기 캠면(U1a)이 접촉될 때 마찰을 줄일 수 있다.
즉, 상기 푸쉬 아암(A)은 상기 구동원(M1)의 구동시 통상의 캠 운동 방식으로 동력을 전달받아서 상기 두 개의 지지단(A1, A2)으로 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)를 푸싱할 수 있도록 업/다운된다.
그러므로, 상기한 반송 제어부(12)는 상기 푸쉬 아암(A)의 푸싱 동작에 의해 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)를 힌지 지점을 중심으로 각각 회동시켜서 기판(G)의 반송 중에 현상액(W1)의 액절이 가능하도록 도 4에서와 같이 상향 및 하향 경사진 상태의 가변 반송 구간(L3, L4)을 제공할 수 있도록 작동된다.
특히, 상기 반송 제어부(12)는 상기 캠(U1)에 의해 상기 푸쉬 아암(A)의 업/다운 이송 피치를 조절하면서 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)를 다양한 경사 각도 및 연결 상태로 제어할 수 있으므로 예를들어 종래의 반송장치와 같이 특정 경사 각도로 셋팅된 고정 타입의 경사 반송 구조와 비교할 때 한층 향상된 작업 호환성을 확보할 수 있다. 즉, 작업 환경에 따라 기판(G)의 사이즈나 형태와 부합하도록 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)의 경사 반송 각도 및 연결 상태를 적절하게 조절할 수 있다.
그리고, 상기 반송 제어부(12)는 도면에는 나타내지 않았지만 상기와 같은 작용이 가능하도록 상기 제1 및 제2 챔버부(2, 4) 외측에 설치될 수도 있으며, 캠을 사용하지 않고 실린더의 피스톤 로드로 상기 푸쉬 아암(A)을 직접 밀거나 당기면서 업/다운되도록 셋팅될 수도 있다.
도 5는 상기 반송 제어부(12)의 다른 구조를 나타내는 도면으로서, 링크(U2)를 이용하여 동력을 전달하는 구조이다.
즉, 통상의 스탭핑 모터를 구동원(M2)으로 사용하고, 모터 축과 상기 링크(U2) 일단을 고정한다. 그리고, 상기 링크(U2)의 타단은 상기 푸쉬 아암(A)의 연결단(A3)과 통상의 끼움 결합(홈과 돌기)으로 연결한다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 구동원(M2)의 스탭핑 모터로 상기 링크(U2)를 소정의 회전 각도 내에서 정/역 회전시킬 때 통상의 2절 링크 운동에 의해 상기 푸쉬 아암(A)을 업/다운시킬 수 있다.
그러므로, 2절 링크 운동에 의해 상기 푸쉬 아암(A)을 업/다운시키면서 상기 지지단(A1, A2)으로 상기 제3 반송부(10)의 경사 각도와 연결 상태를 적절하게 제어할 수 있다.
상기한 반송 제어부(12)는 통상의 캠 운동이나 링크 운동에 의한 동력 전달 방식에 한정되는 것은 아니다.
예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 모터 축과 연결된 스크류의 정/역 회전에 의해 상기 푸쉬 아암(A)이 업/다운되도록 셋팅될 수도 있으며, 이외에도 상기 푸쉬 아암(A)을 업/다운시키면서 상기 3 반송부(10)의 경사 반송 각도 및 연결 상태를 적절하게 제어할 수 있는 다양한 동력 발생 및 전달 구조로 이루어질 수 있으 며 이러한 구조가 본 발명의 범위에 포함되는 것은 당연하다.
그리고, 상기에서는 한 개의 반송 제어부(12)로 상기 제1 가변 반송부(10A)와 제2 가변 반송부(10B)의 경사 각도 및 연결 상태를 동시에 제어하는 구조를 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만, 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를들어, 도 6에서와 같이 상기 제1 가변 반송부(10A) 및 제2 가변 반송부(10B)와 대응하도록 두 개의 반송 제어부(12A, 12B)를 설치할 수도 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 제1 챔버부(2) 및 제2 챔버부(4) 내부에서 상기 제1 및 제2 가변 반송부(10A, 10B)의 경사 각도 및 연결 상태를 각각 개별적으로 제어할 수 있다.
도 7은 상기 제3 반송부(10)의 다른 설치 상태를 나타내는 도면으로서, 수평 반송 구간(L1, L2)이 서로 다른 높이를 갖는 제1 반송부(6)와 제2 반송부(8) 사이에 설치될 수도 있다.
즉, 제1 가변 반송부(10A)의 일단은 상기 제1 반송부(6)의 일단과 대응하도록 힌지 결합되고, 상기 제2 가변 반송부(10B)는 상기 제2 반송부(8)의 일단과 대응하도록 힌지 결합된다.
그리고, 상기 푸쉬 아암(A)의 지지단(A1, A2)은 도 7에서와 같이 약간의 높이 편차를 갖으며 일괄 또는 개별적으로 업/다운되도록 셋팅된다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 푸쉬 아암(A)을 적절하게 업/다운시켜서 도 7에서와 같이 상기 제1 가변 반송부(10A)와 상기 제2 가변 반송부(10B)에 의해 상향 경사진 상태로만 가변 반송 구간(L3, L4)을 형성할 수 있다.
그리고, 상기와 같은 상태에서 상기 푸쉬 아암(A)을 약간 더 업시키면 도 8에서와 같이 제1 가변 반송부(10A)는 상향 경사진 상태로 가변 반송 구간(L3)을 형성하고, 상기 제2 가변 반송부(10B)는 하향 경사진 상태로 가변 반송 구간(L4)을 형성할 수 있다.
또한, 상기 푸쉬 아암(A)을 적절하게 업/다운시켜서 도 9에서와 같이 상기 제1 가변 반송부(10A)는 대략 수평한 상태의 가변 반송 구간(L3)을 형성하고, 상기 제2 가변 반송부(10B)는 상향 경사진 가변 반송 구간(L4)을 형성하도록 제어할 수도 있다.
따라서, 상기한 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송장치는, 현상 작업시 상기 반송 제어부(12)로 상기 제3 반송부(10)의 경사 각도 및 연결 상태를 다양하게 제어하면서 현상액(W1)의 액절을 위한 경사 반송 작업을 한 가지 타입 이상으로 진행할 수 있다.
상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송장치는, 반송용 가이드부재(14)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 반송용 가이드부재(14)는 일정한 폭을 가지는 고무 벨트 또는 고무 링을 사용할 수 있으며, 기판(G)의 반송 구간 내에서 반송이 원활하게 이루어질 수 있도록 셋팅된다.
예를들어, 상기 제3 반송부(10)에서 상기 제1 반송부(6)와 대응하는 제1 가변 반송부(10A) 측에 셋팅할 수 있다.
즉, 도 10에서와 같이 상기 제1 가변 반송부(10A)의 반송용 로울러(R3) 중에 서 상기 제1 반송부(6) 일단과 인접된 복수 개의 반송용 로울러(R3) 사이를 연결하는 상태로 설치한다.
이외에도 예를들어, 상기 제3 반송부(10)의 제2 가변 반송부(10B) 일단과 대응하는 상기 제2 반송부(8) 측에 셋팅할 수 있다.
즉, 도 11에서와 같이 상기 제2 반송부(8)의 반송용 로울러(R2) 중에서 상기 제2 가변 반송부(10B) 일단과 인접된 복수 개의 반송용 로울러(R2) 사이를 연결하는 상태로 설치한다.
이와 같은 구조에 의하면, 기판(G)이 상기 제3 반송부(10)로 진입하거나, 벗어날 때 상기 반송용 로울러(R3, R2)들 사이에 상기 기판(G)의 일단이 끼이거나 접촉되지 않고 원활하게 반송될 수 있도록 가이드 할 수 있다.
그러므로, 기판(G)의 반송 중에 로울러와의 접촉 충격이나 마찰에 의해 파손(변형)되거나 위치가 변화된 비정상적인 상태로 반송되는 현상을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송장치의 전체 구조를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 제3 반송부의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 반송 제어부의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 1의 반송 제어부의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 1의 반송 제어부의 또 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 7 내지 도 9는 도 1의 제3 반송부의 다른 설치 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 10 내지 도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반송장치의 가이드 벨트 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
2: 제1 챔버부 4: 제2 챔버부 6: 제1 반송부
8: 제2 반송부 10: 제3 반송부 10A: 제1 가변 반송부
10B: 제2 가변 반송부 12: 반송 제어부 14: 반송용 가이드부재
G: 기판 W1: 현상액 W2; 세정액
L1, L2: 수평 반송 구간 L3, L4: 가변 반송 구간

Claims (15)

  1. 기판을 반송하는 제1 반송부;
    상기 제1 반송부 일단과 떨어져서 배치되는 제2 반송부;
    상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 사이에서 일단이 힌지 결합으로 각각 고정되어 기판 반송 구간 내에서 기판의 반송 중에 현상액의 액절이 가능하고 경사 반송 각도 및 연결 형태를 조절할 수 있는 가변의 경사 반송 구간을 형성하는 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부를 구비한 제3 반송부;
    상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부를 힌지 결합 지점을 중심으로 회동시키면서 경사 반송 각도 및 연결 형태를 제어하기 위한 반송 제어부;
    를 포함하며,
    상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부는,
    힌지 결합 지점을 중심으로 회동되면서 상향 경사진 상태로 연결된 가변 반송 구간 또는, 상향 및 하향 경사진 상태로 연결된 가변 반송 구간을 제공할 수 있도록 셋팅되는 기판 반송장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 반송부는,
    복수 개의 반송용 로울러들로 구성되는 로울러 컨베이어 타입으로 이루어지며,
    기판에 현상액을 공급하기 위한 챔버부 내부 일측에서 타측으로 기판을 반송할 수 있도록 셋팅되는 기판 반송장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 반송부는,
    복수 개의 반송용 로울러들로 구성되는 로울러 컨베이어 타입으로 이루어지며,
    기판에 세정액을 공급하기 위한 챔버부 내부 일측에서 타측으로 기판을 반송할 수 있도록 셋팅되는 기판 반송장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 반송부 및 제2 반송부는,
    기판의 반송 구간 높이가 수평하거나 어느 하나의 반송 구간이 다른 하나의 반송구간보다 더 높게 셋팅되는 기판 반송장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제2 반송부는,
    기판의 반송 구간 높이가 상기 제1 반송부의 반송 구간보다 높게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부는,
    복수 개의 반송용 로울러들로 구성되는 로울러 컨베이어 타입으로 이루어지는 기판 반송장치.
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 반송 제어부는,
    동력을 발생하는 구동원;
    상기 구동원에 의해 업/다운되면서 상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부의 하부를 푸싱 가능하게 지지하는 푸쉬 아암;
    을 포함하는 기판 반송장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 구동원은,
    모터나 실린더, 스탭핑 모터 중에서 어느 하나를 사용하는 기판 반송장치.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 푸쉬 아암은,
    상기 구동원의 구동시 캠 운동이나 링크 운동 또는 스크류의 나사 결합력에 의해 동력을 전달받아서 푸싱 동작이 가능하게 업/다운되도록 셋팅되는 기판 반송장치.
  11. 청구항 8 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 푸쉬 아암은,
    상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부와 대응하는 두 개의 지지단과, 상기 구동원과 대응하는 연결단을 구비하고,
    상기 구동원의 구동시 전/후로 이동되는 캠의 경사진 캠면에 상기 연결단이 캠 운동되면서 상기 두 개의 지지단이 일괄 또는 개별적으로 업/다운 가능하게 셋팅되는 기판 반송장치.
  12. 청구항 8 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 푸쉬 아암은,
    상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부와 대응하는 두 개의 지지단과, 상기 구동원과 대응하는 연결단을 구비하고,
    상기 구동원의 구동시 일정 각도로 회전되는 링크에 의해 상기 연결단이 링크 운동되면서 상기 두 개의 지지단이 일괄 또는 개별적으로 업/다운 가능하게 셋팅되는 기판 반송장치.
  13. 청구항 8 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 푸쉬 아암은,
    상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부와 대응하는 두 개의 지지단과, 상기 구동원과 대응하는 연결단을 구비하고,
    상기 구동원에 의해 축선을 중심으로 정/역 회전하는 스크류의 나사 결합력에 의해 상기 두 개의 지지단이 일괄 또는 개별적으로 업/다운 가능하게 셋팅되는 기판 반송장치.
  14. 청구항 1 또는 청구항 8에 있어서,
    상기 반송 제어부는,
    푸싱 동작에 의해 상기 제1 가변 반송부 및 제2 가변 반송부를 회동시키면서 경사 반송 각도 또는 연결 형태를 조절 및 변화시킬 수 있도록 작동되는 기판 반송장치.
  15. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 반송장치는,
    기판의 반송을 가이드 하기 위한 반송용 가이드부재를 더 포함하며,
    상기 반송용 가이드부재는,
    고무 벨트 또는 고무 링 중에서 어느 하나를 사용하고,
    상기 제1 반송부 및 제2 반송부, 제3 반송부의 반송 구간 내에서 일부 구간 사이를 연결하는 상태로 설치되는 기판 반송장치.
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