TW200932647A - Substrate transfer apparatus - Google Patents

Description

200932647 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種在渴式龜勒制& + 钱武顯影製程中使用的基板傳輸 裝置，用於製造平面顯示器件 ...^ 窃仟之基板。更特定言之，本發 明係關於-種經設計以提供傾斜傳輸功能的基板傳輸裝 置’該傾斜傳輸功能在基板之傳輸期間改良處理溶液（顯 影溶液）之液體節省效率。 © 【先前技術】 光微影製程通常用於在平面顯示器件之基板上形成電 路圖案《微影製程包括用於使用顯影溶液將基板上之經 曝露之抗蝕劑層顯影的濕式顯影製程。 i濕式顯影製程包括—用於將顯影溶液塗覆至經曝露 之基板之抗姑劑層的製程、一用於清潔基板的製程及一用 於使基板乾燥的製程。在基板由傳輸裝置於一腔室中自第 ❹—側傳輸至第二侧期間，連續地執行此等製程。 #輸裝置通常係以藉由旋轉傳輸滚子來傳輸基板的滚 子輸送器類型之形式提供，2具有—用於液體節省以在基 板之傳輸自m文良顯影溶液之目收及再循環效率的傾斜傳 輸區。 韓國公開專利第10_2007 0093343號（2〇〇7年申請） 揭不一種具有用於節省液體之傾斜傳輸區的基板處理裝 置。 公開專利之基板處理裝置在整個基板傳輸區之顯影區 5 200932647 二二时之間具有傾斜傳輸區。設計該傾斜傳輪區以使得 在基板離開顯影區時，基板沿著向上傾斜傳輸區傳輸且 在基板進人清潔區時，基板沿著向下傾斜傳輪區傳輸。 肖於節省液體之傾斜傳輸區界定於整個傳輸區中 :寒耠之剩餘顯影溶液隨著基板沿著向上傾斜傳輸區 傳輸而流出，藉此回收至顯影腔室。 因此，傾斜傳輸區在顯影製程期間增加顯影溶液之回 ❹ 收率且防止清潔溶液因顯影溶液過度流動至清潔腔 被污染。 然而’因為公開專利第1G細7_謝3343號中所揭示之 基板處理裝置經結構化以使得位於傾斜傳輸區處之傳輸滾 子係整體地耗接至腔室，所以可能在顯影製程 下問題。 舉例而言，因為不可回應於基板之大小及工作環境（顯 影速度）來恰當地調整傾斜傳輸區之傾斜角度及連接狀 態’所以工作相容性惡化。 特定。之，當並未回應於基板之大小及工作環境來恰 當地調整傾斜傳輸區之傾斜角度時，難以預期在基板之： 斜傳輸期間一充足液體節省效應。 因此，顯影溶液之回收率惡化且因此顯影溶液之消耗 增加n因為過多數量之顯影溶液與清潔溶液混合， 所以清潔溶液之再循環率顯著減小。 當基板進入或離開傾斜傳輸區時，基板之前端可容易 置於滾子之間或接觸滾子’且因此基板可能被損壞或其位 200932647 置可能改變。此情形造成基板在基板之位置改變或基板被 損壞之異常狀態下被傳輸。 當如上所述異常傳輸基板時，在清潔製程或乾燥製程 期間，清潔溶液或乾燥空氣係非均勻地供應至基板之處理 表面’且因此清潔及乾燥品質可能惡化。 在此背景章節中揭示之上述資訊僅用於增強對本發明 之背景的理解，且因此其可含有並不形成在本國為一般熟 習此項技術者已知之先前技術之資訊。 【發明内容】

本申請案主張2008年i月28日於韓國智慧財產局申 請之韓國專利申請案第1〇_2〇〇8 〇〇〇8523號之優先權及權 利，該案之全部内容以引用的方式併入本文中。已製造本 發明以致力於提供一種基板傳輸裝置，其經設計以對於顯 影製程穩定地傳輸基板，_^具有可在基板之傳輸期間改良 處理溶液（顯影溶液）t液體節省效率的傾斜傳輸功能。 本發明之一例示性實施例提供一種基板傳輸裝置，其 ^括：一第一傳輸單元，其用於傳輸一基板；一第二傳輸 早凡，其與該第一傳輸單元之一末端間隔開；一第三傳輸 單元，其安置於該第一傳輸單元與該第二傳輸單元之間且 提供一能夠在該基板之傳輸期間節省一黏附至該基板之顯 影溶液的傾斜傳輸區；及一傳輸控制器，纟用於控制該第 二傳輸單元之一傾斜傳輸角度及一連接狀態。 根據本發明之例示性實施例，因為在第一傳輸單元與 7 200932647 第二傳輸單元之間提供該提供用於流體節省之傾斜傳輸區 之第三傳輸單元，所以可將基板在第一腔室單元中節省顯 影溶液之狀態下傳輸至第二腔室單元。 特定言之’因為該第三傳輸單元形成為非固定、可變 類型’其可藉由傳輸控制器恰當地控制傾斜角度及連接狀 態，可在顯影製程期間回應於基板之大小及工作環境（顯 影速度）來提供最佳傾斜傳輸區。 【實施方式】 下文將參看隨附圖式更全面地描述本發明，在隨附圖 式中展示了本發明之例示性實施例。 如熟習此項技術者將認識到，可以各種不同方式修改 所描述之實施例，而皆不脫離本發明之精神或範_。 圖1為根據本發明之例示性實施例之基板傳輸裝置的 示意圖。參考元件符號2及4分別指示第一腔室單元及第 二腔室單元。 第一腔室單元2係被提供為盒形腔室殼體之形式，以 界定具有預定容積之第一腔室C1。 第二腔室單元4係被提供為盒形腔室殼趙之形式，以 界定具有預定容積之第二腔室C2。 參看圖1將第一腔室單元2及第二腔室單元4配置於 左側及右侧，以使得其各別第一表面彼此鄰接且具備開口 Dl、D2及D3，基板G穿過開口 Dl、D2及D3自左侧傳遞 至右側。 200932647 第一流體供應單元N1、第二流趙供應單元N2及第三 流體供應單元N3位於第一腔室單元2及第二腔室單元4中。 第一流體供應卓元N1係用於供應顯影溶液wi且第二 流體供應單元N2係用於供應清潔溶液W2。第三流體供應 單元N3係用於供應乾燥空氣W3。 亦即，第一流體供應單元N1、第二流體供應單元N2 及第三流體供應單元N3以典型結構（狹縫式喷嘴、氣刀） ❹形成’以用於藉由分別自各別流體貯槽（未圖示）接收顯 影溶液W1、清潔溶液W2及乾燥空氣W3而將基板g之抗 蝕劑層G1濕式顯影。 第腔至C1及第二腔室C2之底部分別連接至排水管 Q1及Q2,供應至基板G之顯影溶液W1及清潔溶液w2通 過該排水管Q1及Q2而排放。 如圖1中所示，可由兩個獨立腔室殼體形成第一腔室 單元2及第一腔室單元4。或者，可藉由將一個腔室殼體之 © ^部空間劃分為各自具有預定容積之兩個空間以形成第一 腔室單元2及第二腔室單元4。 根據本發明之例示性實施例的基板傳輸裝置進一步包 括分別安裝以對應於第一腔室單元2及第二腔室單元4的 第-傳輸單元6及第二傳輸單元8。 女^圖 】 ώί· t所不’以典型滾子輸送器類型之形式提供第 傳輸單二6及第二傳輸單元8,該典型滾子輸送器類型具 支撑托架P1及P2以及彼此間隔開且安裝於支撐托架P1 及P2上的複數個傳輸滾子R1及R2。 200932647 虽驅動一馬達（未圖示）時，傳輸滾子R1及R2自典 型鏈條7鏈輪（未圖示）或皮帶/皮帶輪（未圖示）接收動力 以圍繞一軸線旋轉。 根據上述結構，提供水平傳輸區L1及L2,於其中藉由 第：腔室C1及第二腔室C2中之第一傳輸單元6及第二傳 輸單兀* 8將基板G自左側傳輸至右侧，參看圖i。 因此，在於第一腔室單元2及第二腔室單元4中傳輸 基板G期間，將顯影溶液W1、清潔溶液W2及乾燥空氣 W3連續地供應至基板〇的處理表面。 同時，本發明之例示性實施例的基板傳輸裝置進一步 包括第三傳輸單元10。 。。該第三傳輸單元1〇係用於在第一傳輸單元6與第二傳 輸單:8之間提供用於液體節省之可變傾斜傳輸區。第三 傳輸單7L 1G包括第_可變傳輸單元1QA及第二可變傳輸單 © 中所示，以典型滾子輸送器類型之形式提供之 支一可變傳輸單元1GA及第二可變傳輸單A 10B，其具有 及P4以及彼此間隔開且被支撐於耗架μ及p4 上的複數個傳輪滾子R3及R4。 ' 定為=二可變傳輪單元1〇A及第二可變傳輸單元10B設 :〜、傳輸單元6及第二傳輸單元8同步。或者，可 第條/鍵輪及皮帶/滑輪之獨立驅動㈣ 習此項St可=第二可變傳輸單…-般熟 J谷易地執行上述驅動方法且因此本文中將 200932647 省略其詳細描述。 參看圖2,將第一可變傳輸單元1〇A定位成對應於第一 傳輸單几6之第一末端，且將第二可變傳輸單元1〇B定位 成對應於第二傳輸單元8之第一末端。 因此，可在第一傳輸單元6與第二傳輸單元B之間傳 輸基板G’該第—傳輸單元6與該第二傳輸單元8分別位於 相對在第一腔室單元2及第二腔室單元4之邊界部分處形 成的開口 D2之左側及右側。 第一可變傳輸單元10A及第二可變傳輸單元1〇B之支 樓托架P3及P4的第一末端藉由鉸轴（hinge shaft)Hl及H2 较鏈耦接至第一腔室單元2及第二腔室單元4。 根據上述結構，如圖2中所示，藉由使支擇托架p3及 p4圍繞鉸鏈耦接點樞轉，可將第一可變傳輸單元1〇A調整 為向上傾斜且可將第二可變傳輸單元1〇B調整為向下傾斜。 因此，可提供兩個可變傳輸區L3及L4,當基板G自 第腔至單元2及第二腔室單元4之邊界部分傳輸至第一 可變傳輸單元10A及第二可變傳輸單元1〇B時，可在可變 傳輸區L3及L4中節省顯影溶液。 根據本發明之例示性實施例的基板傳輸裝置進一步包 括傳輸控制器12。 傳輸控制器12係用於恰當地控制第三傳輸單元1〇之 第可變傳輸單元1〇A及第二可變傳輸單元1〇B的傾斜角 度及連接狀態。如圖3中所示，傳輸控制器12包括驅動源 Ml及藉由驅動源Ml上下移動的推臂A。 200932647 可將典型汽缸用作為驅動源Μι。 於界定於第 二腔室單元4中的子腔室 可將驅動源Ml C3中。 安裝 §Α腔至C3可從第一腔室C1及第

^A /入矛一股至12隔雜，ΙΜ 使得該顯影溶㈣或該清潔溶液W2不會被引入於其中。 如圖3中所示，該推臂A在上部部分處具備兩 知A1及A2且在下部部分處具備連接末端A3。該推臂A 係被支擇以使得其適於通過子腔室C3之-表面（頂表 而裝配以能夠上下移動。 設定該推臂A以經由典型凸輪⑴運動接收動力， 該驅動源Ml之汽缸被驅動時上下移動。 亦即，定位該推臂A之支撐末端^及八2以支撐第— 可變傳輸單元1GA及第二可變傳輸單元刚之支推托架 及P4之底部的側面。安置連接末端A3以使得其接觸凸輪 U1之凸輪表面Ula，如圖3中所示。 將凸輪U1固定於驅動源M1之汽缸的活塞桿末端上。 參看圖3，凸輪表面Ula可自左側至右側向上傾斜。 支撐末端A1及A2以及連接末端A3可具備各別底部 接觸滾子A4。當底部接觸滾子A4被安裝，在兩個支撐末 端A1及A2接觸且支撐第一可變傳輸單元1〇A及第二可變 傳輸單元10B之支撐托架P3&P4時或在連接末端八3接觸 凸輪表面U1 a時，可減小摩擦。 亦即，當該驅動源Ml係被驅動時，推臂a經由典型 凸輪運動接收動力且上下移動以允許兩個支撐末端Ai及 A2推動第一可變傳輸單元1〇A及第二可變傳輸單元1〇B。 12 200932647 因此，傳輸控制器12藉由推臂A之推動操作使第一可 變傳輸單元10A及第二可變傳輸單元1〇B圍繞其鉸鏈點樞 轉，以便提供如圖4中所示之向上或向下傾斜之可變傳輸 區L3及L4,藉此使得有可能在基板G之傳輸期間節省顯 影溶液W1。 特疋5之，因為傳輸控制器12可控制第一可變傳輸單 兀· 10A及第二可變傳輸單元1〇B之傾斜角度及連接狀態， 同時使用凸輪U1調整推臂A之上/下傳輸節距，所以與傾 斜傳輸區之傾斜角度固定之狀況相比，可進一步改良工作 相容性。 雖然在圖式中未展示，但可將傳輸控制器12安裝於第 腔至單元2及第二腔室單元4之外側處，以使得上述操 作可貫現。可没定傳輸控制器丨2以上下移動，同時使用汽 缸之活塞桿而不使用凸輪來直接推動或拉動推臂Αβ 圖5為圖3及圖4之傳輸控制器之經修改的實例的示 © 意圖。在此經修改的實例中，連桿U2用於傳輸動力。 將典型步進馬達用作為驅動源M2且將步進馬達Μ2之 :桿固定至連桿U2之第一末端。連桿仍之第二末端經由 突出/凹槽嚙合而連接至推臂A之連接末端A3。 根據上述結構，當驅動源M2之步進馬達使連桿U2以 預定角度在兩個方向上旋轉時，推臂A可經由典型雙連桿 運動上下移動。 因此，該推臂A經由雙連桿運動上下移動，且可由支 撐末端A1及A2恰當地控制第三傳輸單元1〇之傾斜角度及 13 200932647 連接狀態β 傳輸控制器12不限於使用凸輪運動或連桿運動的動力 傳送方法。 舉例而5 ’雖然在圖式中未展示’但可設定該推臂A X藉由連接至馬達轴之螺桿的前向/反向旋轉而上下移動。 另卜可恰*地控制第三傳輸單元1〇之傾斜傳輸角度及連 接狀態的各種其他動力傳送及產生結構係在本發明之範疇 内。 ❹ 在先前描述中’由一個傳輸控制器12同時控制第一可 變傳輸單70 10A及第二可變傳輸單元10B之傾斜角度及連 接狀態。然而’本發明不限於此組態。

舉例而言，如圖6中所示，可安裝兩個傳輸控制器12A 及12B以分別對應於第一可變傳輸單元10A及第二可變傳 輸單元10B。 根據此結構’可在第一腔室單元2及第二腔室單元4 © 中獨立地控制第一可變傳輸單元10A及第二可變傳輸單元 1〇B之傾斜角度及連接狀態。 圖7為第三傳輸單元1〇之經修改的實例的示意圖。在 此經修改的實例中，可在具有不同高度之第一傳輸單元6 與第二傳輪單元8之間提供水平傳輸區L1及L2。 亦即’第一可變傳輸單元1〇A之第一末端相應地鉸鏈 耦接至第一傳輸單元6的第一末端，且第二可變傳輸單元 1〇B之第一末端相應地鉸鏈耦接至第二傳輸單元8的第一 末端。 200932647 % 如圖7中所示，設定推臂A之支撐末端A1及A2以使 得其高度彼此稍微不同且其個別地或共同地上下移動。 根據此結構，藉由恰當地使推臂A上下移動，可形成 可變傳輸區L3及L4，以使得其藉由第一可變傳輸單元1 〇 A 及第二可變傳輸單元1 0B而向上傾斜。 在此狀態下，當推臂A稍微進一步向上移動時，第一 可變傳輸單元10A形成向上傾斜之可變傳輸區L3，如圖8 中所示且第二可變傳輸單元l〇B形成向下傾斜之可變傳輸 ❹區L4。 另外，藉由恰當地使推臂A上下移動，第一可變傳輸 單元10A可形成大致水平之可變傳輸區l3,如圖9中所示 且第一可變傳輸單元10B可形成向上傾斜之可變傳輸區 L4。 因此，因為傳輸控制器丨2在顯影製程期間控制第三傳 輸單元10之傾斜角度及連接狀態，所以根據本發明之例示 性實施例的基板傳輸裝置可執行用於節省顯影溶液wi的 各種傾斜傳輸工作。 根據本發明之例示性實施例的基板傳輸裝置可進一步 包括傳輸導引構件 可將具有預疋寬度之橡膠皮帶或橡膠環用作傳輸導引 構件14。將傳輸導⑽件14設定於基板g之傳輸區中，以 使得可有效地傳輸基板G。 舉例而5，可將傳輸導引構件14設定為接近第一可變 傳輸單το 1GA，其對應於第三傳輸單元中之第—傳輸單 15 200932647 亦即如圖10中所示，安裝傳輸導弓丨 於第一可變傳輪單元1GA之傳輸滾子R3t 以互連 =該複數個傳輸滾…近於第-傳輸單Π: 或者’可將傳輪導5丨構件14安裝為接近 8，其對應於第=侓舲留；1Λ +够 得輸單兀 亦即二 第二可變傳輸單元咖。 ❹ 圖11中所示，安裝傳輸導引構件14以互遠 第二傳輸單元8之傳輸滾子R2#中的複數 該複數個傳輸滚子R2鄰近於第二可變傳輸單元10B:一末 端。 禾 根據上述結構，當基板G進人或離開第三傳輸單元10 時，基板G並未置於傳輸滾子R3與R2之間或並未接觸傳 輸滾子R3及R2’而是在由傳輸導引構件14導引之同時平 滑地傳輸。 因此，可防止基板G損壞（變形）且其正常位置改變 且因此在異常狀態下傳輸基板G的現象。 雖然已結合當前被視為實用例示性實施例之内容描述 本發明，但應理解，本發明不限於所揭示之實施例，而是 相反，本發明意欲涵蓋包括於所附申請專利範圍之精神及 範_内的各種修改及等效配置。 【圖式簡單說明】 圖1為根據本發明之例示性實施例之基板傳輸裝置的 16 200932647 示意圖。 圖2為圖1中所描繪之第三傳輸單元的示意圓。 圖3及圖4為說明® 1中所描繪之傳輸控制器之結構 及操作的示意圖。 圖5為圖3及圖4之傳輪控制器之經修改的實例的示 意圖。 圖6為圖3及圖4 + .. 固4之傳輪控制器之經修改的實例的不 意圖。 圖7至圖9為圖1中所描繪之笛_ 〇 的實例的示意圖。 二傳輸單元之經修改 圖10至圖11為說明根據 裝置之導引皮帶之結構及操作發k實施例的基板傳輸 惠圖。 【主要元件符號說明】 2:第一腔室單元 © 4:第二腔室單元 6 :第一傳輸單元 8 .第一傳輸單元 10 :第三傳輸單元 10A:第一可變傳輸單元 10B :第二可變傳輸單元 12 :傳輸控制器 14 :傳輸導引構件 G :基板 17 200932647

Ll :水平傳輸區 L2 :水平傳輸區 L3 :可變傳輸區 L4 :可變傳輸區 W1 :顯影溶液 W2 :清潔溶液

Claims (1)

1. 200932647 十、申請專利範圔： 1.一種基板傳輸裝置，其包含： 一第一傳輪單元，其用於傳輸一基板； 一第二傳輸單元，其與該第一傳輸單元之一末端間隔 ❹ ❹ 一第三傳輸單元，其安置於該第一傳輪單元與該第二 傳輸單元之間且提供一能夠在該基板之傳輸期間節^一: 附至該基板之顯影溶液的傾斜傳輸；及 傾斜 一傳輸控制器，其用於控制該第三傳輸單元之 傳輸角度及一連接狀態。 2. 如申請專利範圍第1項之基板傳輸裝 傳輸早兀似-具錢數㈣輸滾子之滾讀^類型的 形式提供，且經設定以將該基板自一腔室單元之一第一 側傳輸至該腔室之一第二内㈣，在該腔室單元中，該顯= 溶液被供應至該基板0 人抑 3. 如申請專利範圍第丨項之基板傳輸裝置，其中該第二 傳輸單元係以-具有複數個傳輸滚子之滾子輸送器類型的 形式提供，且經設定以將該基板自一腔室單元之一第一内 t傳輸至該腔室之一第二内侧，在該腔室單元中，一清潔 溶液被供應至該基板。 月/ 4.如申請專利範圍第i項至第3項中任—項之基板傳輸 裝置二其中該第一傳輸單元及該第二傳輸單元具有具相同 水平高度或不同水平高度的各別傳輸區。 5·如申請專利範圍第！項及第3項中任—項之基板傳輸 19 200932647 裝置，其中該第二 一傳輸區的傳輸區 傳輸單7L具有一高於該第一傳輸單元之 η如申请專利範圍帛1項之基板傳輸裝置，其中該第三 ::單元包含第一可變傳輸單元及第二可變傳輸單元，其 中t一者係以一具有複數個傳輸滾子之滾子輸送器類型的 形式提供，且具有一钫铋知& 鉸鏈耦接於該第一傳輸單元與該第二 傳輸單元之間的末端。 7·如申請專利範圍第6項之基板傳輸裝置，其中該第一 可變傳輸單元及該第二可變傳輸單元經設定以提供可變傳 輸區’該兩個可變傳輸區皆向上傾斜或分別向上傾斜及向 下傾斜，同時圍繞各別鉸鏈耦接點柩轉。 8.如申請專利範圍第i項之基板傳輸裝置，其中該傳輸 控制器包含： 一驅動源，其產生動力；及 一推臂，丨支撐該第三傳輸單元之 ❹在藉由該驅動源被上下移動之同時推動該第三傳輸單^ 該下部部分。 9.如申請專圍第8項之基板傳輸裝置，其中該驅動 源係選自由-馬達、-汽缸及一步進馬達組成之群。 ^ 1〇·如申請專利範圍第8項之基板傳輸裝置，其中該推 臂經設定以在該驅動源被驅動時藉著經由凸輪運動、連桿 運動或螺旋聯結器（screw_c〇up〗ing)接收動力而上下移動。 11.如申請專利範圍第8項及第10項中任一項之基板傳 輸裝置，其中該推臂包含對應於該第三傳輸單元之兩個支 20 200932647 撐末端及一對應於該驅動源的連接末端，且 該推臂經設定以使得該兩個支撐末端在一凸輪之一傾 斜凸輪表面上經由該連接末端的凸輪運動而個別地或共同 地上下移動，該凸輪在該驅動源被驅動時係前後移動。 12. 如申請專利範圍第8項及第1〇項中任一項之基板傳 輸裝置，其中該推臂包含對應於該第三傳輸單元之兩個支 撐末端及一對應於該驅動源的連接末端；且 ❹ 該推臂經設定以能夠在該驅動源被驅動時藉由一以一 預疋角度樞轉之線路經由該連接末端的連桿運動而個別地 或共同地上下移動。 13. 如申請專利範圍第8項及第1〇項中任一項之基板傳 輸裝置，其中該推臂包含對應於該第三傳輸單元之兩個支 撐末端及一對應於該驅動源的連接末端，且 一螺桿之一末端經連接以能夠圍繞該驅動源之一轴線 旋轉且穿透一側面，且該兩個支撐末端經設定以能夠藉由 Q 該螺桿之螺旋聯結器及螺桿之前向/反向旋轉而個別地及共 同地上下移動。 14_如申請專利範圍第1項及第8項中任一項之基板傳 輸裝置’其中該傳輸控制器經設計以控制該第三傳輸單元 之該傾斜角度及該連接狀態，同時經由一推動操作而使該 第三傳輸單元樞轉。 15.如申請專利範圍第1項之基板傳輸裝置其進一步 包含一用於導引該基板之該傳輸的傳輸導引構件，其中該 傳輸導引構件為一橡膠皮帶或一橡膠環中之一者且經安裝 21 200932647 以互連在一由該第一傳輸單元、該第二傳輸單元及該第三 傳輸單元界定之整個傳輸區中的一些區。 十一、圈式： 如次頁

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