JP4366490B2 - 現像液供給方法及び装置 - Google Patents
現像液供給方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4366490B2 JP4366490B2 JP2003299216A JP2003299216A JP4366490B2 JP 4366490 B2 JP4366490 B2 JP 4366490B2 JP 2003299216 A JP2003299216 A JP 2003299216A JP 2003299216 A JP2003299216 A JP 2003299216A JP 4366490 B2 JP4366490 B2 JP 4366490B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- concentration
- chemical species
- carbon dioxide
- measurement
- solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 46
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 150
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 93
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 91
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 claims description 86
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims description 75
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims description 75
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 58
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 45
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 37
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical group [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 21
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 claims description 10
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M Bicarbonate Chemical compound OC([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 9
- 238000001739 density measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 4
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000004448 titration Methods 0.000 claims description 4
- 238000011481 absorbance measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 44
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 44
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 30
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 3
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 TMA salt Chemical class 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N tetramethylammonium Chemical compound C[N+](C)(C)C QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Description
Mc/Mt≦0.4 …(1)
で表される関係を満たすように使用済液の液性を調整すると好適である。式中、Mcは使用済液中の炭酸ガス由来の化学種の濃度を示し、Mtは使用済液中のアルカリ成分の濃度を示す。この比の値が0.4を越えると、アルカリ成分に対する炭酸ガス由来の化学種濃度の増大に伴いアルカリ成分濃度が低下してゆき、感光済フォトレジストの溶解性能の低下が顕著となるおそれがある。かかる観点から、Mc/Mtの値は、0.3以下であるとより好ましく、0.2以下であると更に好ましい。
Mc/Mt≦0.4 …(1)
で表される関係を満たすように、使用済液Wの液性を調整すると好適であり、Mc/Mtの値は、0.3以下であるとより好ましく、0.2以下であると特に好ましい。式中、Mcは使用済液W中の炭酸ガス由来の化学種の濃度を示し、Mtは使用済液W中のアルカリ成分の濃度を示す。Mc/Mtの値が0.4を上回ると、アルカリ成分に対する炭酸ガス由来の化学種濃度が適度に増大して第2のアルカリ成分濃度が低下し、感光後のフォトレジストの溶解性能の低下が顕著となるおそれがある。また、使用済液Wの液性管理をこのように二種のパラメータ、すなわち各絶対濃度と濃度比に基づいた第2のアルカリ成分濃度で実施するので、精度の安定性に一層優れた現像工程を実現可能となる。
Claims (12)
- 基板上に塗布されたフォトレジストの現像工程にアルカリ系現像液を供給する現像液供給方法であって、
前記現像工程で使用された前記アルカリ系現像液の使用済液を受け入れる受入工程と、
前記使用済液に含まれる炭酸ガス由来の化学種の濃度測定を行う第1の測定工程と、
前記使用済液に含まれるアルカリ成分の濃度測定を導電率計により行う第2の測定工程と、
前記第2の測定工程により得られたアルカリ成分濃度と、前記第1の測定工程により得られた炭酸ガス由来の化学種濃度とから、前記炭酸ガス由来の化学種濃度が加算されていないアルカリ成分濃度を得る算出工程と、
前記第1の測定工程により得られた炭酸ガス由来の化学種濃度、及び、前記算出工程により得られたアルカリ成分濃度に基づいて、前記使用済液に含まれる前記炭酸ガス由来の化学種及びアルカリ成分の濃度が一定の管理値となるように、前記使用済液の液性を調整して再生液を得る調整工程と、
前記再生液を前記現像工程に送給する送給工程と、
を備える現像液供給方法。 - 前記調整工程においては、アルカリ系現像液の原液、純水及び予め所定の濃度に調整されたアルカリ系現像液の新液のうち少なくとも一つを前記使用済液と混合することにより該使用済液の液性を調整して前記再生液を得る請求項1記載の現像液供給方法。
- 前記第1の測定工程においては、前記化学種として、重炭酸塩、炭酸塩、炭酸イオン及び炭酸水素イオンのうち少なくとも一つの濃度を測定する請求項1又は2記載の現像液供給方法。
- 前記第1の測定工程においては、前記化学種の濃度を、吸光度測定、屈折率測定、中和滴定、超音波濃度測定又は液体密度測定により測定する請求項1〜3のいずれか一項に記載の現像液供給方法。
- 前記アルカリ系現像液は、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドであることを特徴と
する請求項1〜4のいずれか一項に記載の現像液供給方法。 - 前記調整工程においては、前記炭酸ガス由来の化学種の管理値を0.9質量%以下とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の現像液供給方法。
- 前記調整工程においては、下記式(1);
Mc/Mt≦0.4 …(1)
[式中、Mcは前記使用済液中の前記炭酸ガス由来の化学種の濃度を示し、Mtは前記第3の測定工程により得られた前記使用済液中の前記アルカリ成分の濃度を示す。]
で表される関係を満たすように、前記使用済液の液性を調整する請求項1〜6のいずれか一項に記載の現像液供給方法。 - 基板上に塗布されたフォトレジストの現像部にアルカリ系現像液を供給するための現像液供給装置であって、
前記現像部からアルカリ系現像液の使用済液が供給される受入部と、
前記使用済液に含まれる炭酸ガス由来の化学種の濃度測定を行う第1の測定部と、
前記使用済液に含まれるアルカリ成分の濃度測定を導電率計により行う第2の測定部と、
前記第2の測定部により得られたアルカリ成分濃度と、前記第1の測定部により得られた炭酸ガス由来の化学種濃度とから、前記炭酸ガス由来の化学種濃度が加算されていないアルカリ成分濃度を得る算出部と、
前記第1の測定部により得られた炭酸ガス由来の化学種濃度、及び、前記算出部により得られたアルカリ成分濃度に基づいて、前記使用済液に含まれる前記炭酸ガス由来の化学種及びアルカリ成分の濃度が一定の管理値となるように、前記使用済液の液性を調整して再生液を得る調整部と、
前記再生液を前記現像部に送給する送給部と、を備える現像液供給装置。 - 前記調整部は、前記受入部に接続されたアルカリ系現像液の原液、純水及び予め所定の濃度に調整されたアルカリ系現像液の新液のうち少なくとも一つの供給源を有する請求項8記載の現像液供給装置。
- 前記第1の測定部は、前記化学種として、重炭酸塩、炭酸塩、炭酸イオン及び炭酸水素イオンのうち少なくとも一つの濃度を測定するものである請求項8又は9に記載の現像液供給装置。
- 前記第1の測定部は、吸光度測定装置、屈折率測定装置、中和滴定装置、超音波濃度測定装置又は液体密度測定装置である請求項8〜10のいずれか一項に記載の現像液供給装置。
- 前記アルカリ系現像液は、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドであることを特徴と
する請求項8〜11のいずれか一項に記載の現像液供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003299216A JP4366490B2 (ja) | 2003-08-22 | 2003-08-22 | 現像液供給方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003299216A JP4366490B2 (ja) | 2003-08-22 | 2003-08-22 | 現像液供給方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005070351A JP2005070351A (ja) | 2005-03-17 |
JP4366490B2 true JP4366490B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=34404497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003299216A Expired - Lifetime JP4366490B2 (ja) | 2003-08-22 | 2003-08-22 | 現像液供給方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4366490B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103852978B (zh) * | 2006-11-30 | 2019-03-22 | 三菱化学工程株式会社 | 显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液 |
KR101339933B1 (ko) | 2013-05-06 | 2013-12-10 | (주)세미로드 | 현상액의 농도 측정 장치 |
JP6505534B2 (ja) * | 2015-07-22 | 2019-04-24 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液の管理方法及び装置 |
JP6713658B2 (ja) * | 2015-07-22 | 2020-06-24 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液の成分濃度測定装置、成分濃度測定方法、現像液管理装置、及び現像液管理方法 |
JP2018120895A (ja) * | 2017-01-23 | 2018-08-02 | 株式会社平間理化研究所 | 現像装置 |
JP2018120898A (ja) * | 2017-01-23 | 2018-08-02 | 株式会社平間理化研究所 | 現像装置 |
JP2018120901A (ja) * | 2017-01-23 | 2018-08-02 | 株式会社平間理化研究所 | 現像装置 |
JP6763608B2 (ja) * | 2017-01-23 | 2020-09-30 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液の二酸化炭素濃度表示装置、及び現像液管理装置 |
JP2018120897A (ja) * | 2017-01-23 | 2018-08-02 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液の濃度監視装置、及び現像液管理装置 |
JP2018120900A (ja) * | 2017-01-23 | 2018-08-02 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液管理装置 |
JP6712415B2 (ja) * | 2017-01-23 | 2020-06-24 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液管理装置 |
CN109632571A (zh) * | 2019-01-29 | 2019-04-16 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显影液浓度测量装置及方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54124976A (en) * | 1978-03-22 | 1979-09-28 | Cho Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Method of automatically controlling density of positive photoresist developer |
JP2561578B2 (ja) * | 1991-08-07 | 1996-12-11 | 株式会社平間理化研究所 | 現像液管理装置 |
JP2000147786A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-05-26 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | Tabテープの現像処理方法およびそのためのtabテープの現像処理装置 |
JP2001154373A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版の処理方法 |
JP4472088B2 (ja) * | 2000-02-03 | 2010-06-02 | パナソニック環境エンジニアリング株式会社 | 現像廃液再生方法 |
JP3508712B2 (ja) * | 2000-09-25 | 2004-03-22 | カシオ計算機株式会社 | レジスト剥離装置およびそれを用いたデバイスの製造方法 |
JP2002107948A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 現像液のアルカリ濃度推定方法及び装置 |
JP4097973B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2008-06-11 | 松下環境空調エンジニアリング株式会社 | アルカリ現像液の濃度測定方法 |
-
2003
- 2003-08-22 JP JP2003299216A patent/JP4366490B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005070351A (ja) | 2005-03-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4366490B2 (ja) | 現像液供給方法及び装置 | |
JP5604770B2 (ja) | 現像液の濃度調節方法および調製装置 | |
JP2561578B2 (ja) | 現像液管理装置 | |
TWI278898B (en) | Processing solution preparation and supply method and apparatus | |
TW583516B (en) | Alkaline system working fluid, method and apparatus for preparing working fluid and method and apparatus for feeding working fluid | |
JP2011128455A (ja) | 炭酸系塩類濃度測定装置、アルカリ現像液管理システム、及び、炭酸系塩類濃度測定方法 | |
JP2010261793A (ja) | 液体中の溶存物質含有量測定方法及び測定装置、並びに、エッチング液再生システム | |
JP2017028091A (ja) | 現像液の管理方法及び装置 | |
JP4026376B2 (ja) | 現像液の供給装置 | |
JP4097973B2 (ja) | アルカリ現像液の濃度測定方法 | |
TWI312105B (ja) | ||
TW386900B (en) | Developer solution centrally managing device for processing patterns | |
JP6712415B2 (ja) | 現像液管理装置 | |
TW461989B (en) | Developing device | |
JP2005300421A (ja) | 薬液の認定方法および半導体装置の製造方法 | |
TW200530767A (en) | The management method and apparatus of controlling a developer for photoresist | |
JP4281439B2 (ja) | 現像液の供給装置 | |
JP2007316360A (ja) | 水系フォトレジスト剥離液の管理方法および管理装置 | |
JPS591679A (ja) | エツチング液の制御管理方法 | |
JP6624762B2 (ja) | 現像液の管理方法及び装置 | |
KR20070065209A (ko) | 현상액의 공급장치 | |
JP6582037B2 (ja) | レジスト現像液の管理装置及び管理方法 | |
JPH0871389A (ja) | 現像液の調整方法 | |
JP2018120901A (ja) | 現像装置 | |
JP2018120900A (ja) | 現像液管理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060602 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090630 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090728 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4366490 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120904 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130904 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |