JP2003033760A

JP2003033760A - 現像液再生装置

Info

Publication number: JP2003033760A
Application number: JP2001225837A
Authority: JP
Inventors: Toru Usui; 透臼井
Original assignee: KEMITEKKU KK
Current assignee: KEMITEKKU KK
Priority date: 2001-07-26
Filing date: 2001-07-26
Publication date: 2003-02-04
Also published as: TWI264618B; KR20030035814A

Abstract

(57)【要約】【課題】感光性有機樹脂用アルカリ現像液のレジスト
濃度およびアルカリ濃度を所定の濃度に自動制御するこ
とにより、現像性能を一定に保持することができるとと
もに、操業停止時間の大幅な短縮と総合的な製造コスト
の低減を図ることができる現像液再生装置を提供するこ
と。【解決手段】現像廃液のレジスト濃度を測定する第１
レジスト濃度測定手段５と、第１レジスト濃度測定手段
５の測定結果に基づく割合分の現像廃液を廃棄する第１
廃棄手段７，６１と、第１廃棄手段７，６１により廃棄
される現像廃液の量に基づく分の現像新液を補給する第
１補給手段９，７１と、第１補給手段９，７１による補
給の結果得られる現像液のアルカリ濃度を測定する第１
アルカリ濃度測定手段２２と、第１アルカリ濃度測定手
段２２による測定結果に基づく量の現像原液を補給する
第２補給手段１６，７２とを備えていることを特徴とし
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板製造工程
やプリント基板製造、半導体基板製造工程等において使
用された後の感光性有機樹脂用アルカリ系現像液の再生
をする装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶基板製造工程やプリント基板製造工
程、半導体基板製造工程等においては、樹脂の現像液と
してテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（Ｔ
ＭＡＨ）水溶液（一例として２．３８０ｗｔ％）、水酸
化カリウム水溶液などのアルカリ水溶液がスプレー方式
やディップ方式などで使用されている。従来法では、現
像処理槽へ所定濃度の一定量の新液アルカリ系現像液を
充填してスタートし、経験等にもとづく基板処理枚数な
どを指標として、該アルカリ系現像液のアルカリ濃度や
レジスト濃度が所定の濃度となった場合に、予め用意し
た新液と一挙に全量交換する方式がとられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方式においては、所定の劣化具合となるまでアルカリ現
像液を継続して使用しているため、アルカリ現像液のレ
ジスト濃度やアルカリ濃度が経時的に変化し、現像され
たレジストパターンの形状を決定する線幅や膜厚の寸法
を一定に制御できないという問題点があった。ひいて
は、製品の品質が不安定となったり、歩留まりの量が多
くなってしまうという問題点があった。

【０００４】また、液全部を交換する必要があるので、
液交換時の操業停止時間が長くなり、大幅な稼働率低下
をきたし、液交換作業に伴う労務コストが高くなってし
まうという問題点があった。

【０００５】そこで上記問題点を解決するために案出さ
れたのが本発明であって、液晶基板製造工程やプリント
基板製造工程、半導体基板製造工程等において繰り返し
使用される感光性有機樹脂用アルカリ現像液のレジスト
濃度およびアルカリ濃度を所定の濃度に自動制御するこ
とにより、現像性能を一定に保持することができるとと
もに、操業停止時間の大幅な短縮と総合的な製造コスト
の低減を図ることができる現像液再生装置を提供するこ
とを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に請求項１記載の現像液再生装置は、感光性有機樹脂用
アルカリ系現像廃液のレジスト濃度を測定する第１レジ
スト濃度測定手段と、その第１レジスト濃度測定手段の
測定結果に基づく割合分の前記現像廃液を廃棄する第１
廃棄手段と、その第１廃棄手段により廃棄される現像廃
液の量に基づく分のアルカリ系現像新液又は純水を補給
する第１補給手段と、その第１補給手段による補給の結
果得られる現像液のアルカリ濃度を測定する第１アルカ
リ濃度測定手段と、その第１アルカリ濃度測定手段によ
る測定結果に基づく量のアルカリ系現像原液を補給する
第２補給手段とを備えている。

【０００７】請求項２記載の現像液再生装置は、感光性
有機樹脂用アルカリ系現像廃液を膜分離するクロスフロ
ー式の第１膜分離手段と、その第１膜分離手段へ前記現
像廃液を供給する第１供給手段と、前記第１膜分離手段
による膜分離の結果得られる第１透過液を更に膜分離す
るクロスフロー式の第２膜分離手段と、その第２膜分離
手段へ前記第１透過液を供給する第２供給手段と、前記
第１膜分離手段による膜分離の結果得られる第１非透過
液を第１供給手段により供給される現像廃液へ還流させ
る第１還流手段と、その第１還流手段により還流させら
れる前の第１非透過液、又は還流させられた後の現像廃
液のレジスト濃度を測定する第２レジスト濃度測定手段
と、その第２レジスト濃度測定手段によるレジスト濃度
の測定結果に基づいて前記第１非透過液又は還流後の現
像廃液を廃棄する第２廃棄手段とを備えている。

【０００８】請求項３記載の現像液再生装置は、請求項
２記載の現像液再生装置において、更に、第２膜分離手
段による膜分離の結果得られる第２非透過液を第１供給
手段により供給される現像廃液に還流させる第２還流手
段を備えている。

【０００９】請求項４記載の現像液再生装置は、請求項
２記載の現像液再生装置において、更に、第２膜分離手
段による膜分離の結果得られる第２非透過液を第２供給
手段により供給される第１透過液に還流させる第３還流
手段と、その第３還流手段により還流させられる前の第
２非透過液、又は還流させられた後の第１透過液のレジ
スト濃度を測定する第２レジスト濃度測定手段と、その
第２レジスト濃度測定手段の測定結果に基づいて前記第
２非透過液、又は還流後の第１透過液を廃棄する第２廃
棄手段とを備えている。

【００１０】請求項５記載の現像液再生装置は、請求項
２から４の何れかに記載の現像液再生装置において、更
に、第２膜分離手段による膜分離の結果得られる第２透
過液のアルカリ濃度を測定する第２アルカリ濃度測定手
段と、その第２アルカリ濃度測定手段の測定結果に基づ
く量のアルカリ系現像新液又はアルカリ系現像原液を補
給する第３補給手段とを備えている。

【００１１】請求項６記載の現像液再生装置は、請求項
５記載の現像液再生装置において、第３補給手段により
補給される液は、アルカリ系現像原液である。

【００１２】まず、本願発明によれば、第１レジスト濃
度測定手段により、現像廃液（感光性有機樹脂用アルカ
リ系現像廃液）のレジスト濃度が測定されると、第１廃
棄手段により、かかるレジスト濃度の測定結果に基づく
量の現像廃液が廃棄され、第１補給手段により、かかる
廃棄された量に基づく分の現像新液又は純水が補給され
る。このため、「現像に供せられた後の液体である」現
像廃液が所望濃度（適正濃度の意味を含む。以下、同
じ。）のレジスト成分を含んだ状態に再生され、ひいて
は、高い塗れ性が保持される。

【００１３】また、本願発明によれば、現像新液又は純
水の補給後、第１アルカリ濃度測定手段により、上記第
１補給手段による補給の結果得られる現像液のアルカリ
濃度が測定され、アルカリ濃度の測定後、第２補給手段
により、かかるアルカリ濃度の測定結果に基づく量のア
ルカリ系現像原液が補給される。このため、現像廃液の
アルカリ濃度が逐次、所望濃度（適正濃度の意味を含
む。以下、同じ。）に再生される。

【００１４】更に、本願発明によれば、クロスフロー式
の第１膜分離手段により、現像廃液がレジスト成分の除
去された第１透過液とレジスト成分の濃縮された第１非
透過液とに膜分離され、同じくクロスフロー式の第２膜
分離手段により、かかる第１透過液が更に、レジスト成
分の除去された第２透過液とレジスト成分の濃縮された
第２非透過液とに膜分離される。このため、現像廃液に
含まれるレジスト成分が入念に除去される。

【００１５】更に、本願発明によれば、第１還流手段に
より、第１非透過液が第１供給手段により供給される現
像廃液は還流させられ、第２レジスト濃度測定手段によ
り、第１非透過液、又は還流後の現像廃液のレジスト濃
度が測定され、第２廃棄手段により、その測定結果に基
づいて第１非透過液又は還流後の現像廃液が廃棄され
る。このため、レジスト成分を濃縮状態とされた現像廃
液が廃棄される。

【００１６】更に、本願発明によれば、第２還流手段に
より、第２膜分離手段による膜分離の結果得られる第２
非透過液が、第１供給手段により供給される現像廃液に
還流させられる。ここで、第２非透過液は、第１膜分離
手段により既に膜分離されており、第１供給手段による
現像廃液の供給先は、第１膜分離手段である。即ち、一
度レジスト成分の除去された現像液が再度、現像廃液と
ともに第１膜分離手段により膜分離されるのである。こ
のため、ランニングコストが低減されるとともに、資源
が有効活用される。

【００１７】更に、本願発明によれば、第３還流手段に
より、第２膜分離手段による膜分離の結果得られる第２
非透過液が、第２供給手段により供給される第１透過液
に還流させられる。そして、第２レジスト濃度測定手段
により、還流前の第２非透過液、又は還流後の第１透過
液の濃度が測定され、第２廃棄手段により、かかる測定
結果に基づいて、第２非透過液、又は第１透過液が廃棄
されるのである。即ち、一度レジスト成分の除去された
現像液が再度、第２膜分離手段へ循環させられるのであ
る。このため、ランニングコストが低減されるととも
に、資源が有効活用される。

【００１８】更に、本願発明によれば、第２アルカリ濃
度測定手段により、第２膜分離手段による膜分離の結果
得られる第２透過液のアルカリ濃度が測定されると、第
３補給手段により、その第２アルカリ濃度測定手段の測
定結果に基づく量のアルカリ系現像新液又はアルカリ系
現像原液が補給される。このため、現像に供せられた現
像廃液のアルカリ濃度が逐次、所望濃度に再生可能とさ
れる。

【００１９】更に、本願発明によれば、第３補給手段に
より、アルカリ系現像原液が補給される。ここで、第１
膜分離手段、又は第２膜分離手段はクロスフロー式であ
るが、透過液と濃縮液との比率は透過液の方がかなり高
くなる。このため、現像に供せられた後の現像液のアル
カリ濃度は低下するが、アルカリ濃度を所望濃度に調整
するために、現像液の量自体が変化してしまうことが防
止される。液の量が変化してしまうと、現像液の量が適
正な範囲となるように監視するという煩雑な処理（作
業）が強いられ、例えば、現像液の量が多くなった場合
には、廃棄処分とするまで劣化していない現像液の廃棄
が強いられる一方、現像液の量が足りなくなった場合に
は、現像液のアルカリ濃度及びレジスト濃度が所望濃度
となるように、現像原液や現像新液、純水の補給が強い
られる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施例に
ついて添付図面を参照して説明する。本発明の現像液再
生プラントは、液晶工程製造工程や、プリント基板製造
工程、半導体基板製造工程において使用され、現像に供
せられた後の現像廃液の再生処理を行うためのものであ
る。図１は、本発明の一実施例である現像液再生プラン
ト１００の概略フロー図である。なお、各添付図面にお
いては、発明の理解を容易とするために、簡略化された
各プラントが図示されている。

【００２１】図１に示すにように、現像液再生プラント
１００には、第１貯留タンク１と、第１タンク送液バル
ブ２、第１ポンプ３と、第１帰還液量調節バルブ４と、
第１吸光光度計５と、第１送液量調節バルブ６と、第１
廃液量調節バルブ７と、第１再使用液量調節バルブ８
と、第１新液供給量調節バルブ９と、第２貯留タンク１
０と、第１アルカリ濃度計１１と、第１温度計１２と、
第１ロードセル１３と、第２タンク送液バルブ１４と、
第３ポンプ１５と、第１原液供給量調節バルブ１６と、
第１調合タンク１７と、第２ロードセル１８と、第３ポ
ンプ１９と、第１熱交換器２０と、第１小タンク２１
と、第２アルカリ濃度計２２と、第２温度計２３と、第
１調合タンク送液バルブ２４と、第４ポンプ２５と、第
４貯留タンク２６と、第４タンク送液バルブ２７と、第
５ポンプ２８と、微細粒子除去フィルター２９と、窒素
送気管３０とが設けられている。

【００２２】第１貯留タンク１は、現像工程（フォトリ
ソ工程）に使用された、即ち、現像に供せられた後の現
像液（現像廃液）を貯留するタンクである。この第１貯
留タンク１には、現像廃液の流入する流入区１ａと現像
廃液の流出する流出区１ｂとが形成されるとともに、流
入区１ａと流出区１ｂとの間には、樹脂スクリーンより
成る脱泡フィルター１ｃが設けられている。流入区１ａ
には、何の再生処理も施されていない現像廃液（以下、
便宜上、「未再生現像廃液」と称する。）が流入するよ
うにされている。流出区１ｂには、この流入区１ａに流
入し、更には脱泡フィルター１ｃにより未再生現像廃液
中の泡沫の除去された現像廃液（以下、便宜上、「未再
生現像廃液」と称する。）が貯留するようにされてい
る。このように脱泡フィルター１ｃにより未再生現像液
中の泡沫が除去されるので、以降の現像液再生処理の障
害を除去することができるのである。

【００２３】第１タンク送液バルブ２は、第１貯留タン
ク１の下端に接続されている第１送液管５１の流路を開
閉することにより、第１送液管５１中を送液される第１
次再生処理済み現像廃液の流量（当然、第１タンク送液
バルブ２の閉塞時には、「０」ｌ（リットル）となる。
以下に説明するバルブについても同様。）を調節するた
めのバルブ（弁）であり、第１ポンプ３は、第１送液管
５１を介して次工程側（下流側）へ第１次再生処理済み
現像廃液を送液するためのポンプである。

【００２４】第１帰還液量調節バルブ４は、第２送液管
５２の流路の開閉することにより、第２送液管５２中を
送液される現像廃液の流量を調節するためのバルブであ
る。かかる第２送液管５２は、第１送液管５１より分岐
する一方の流路であり、この第２送液管５２の一端は、
第１送液管５１に接続される一方、第２送液管５２の他
端は、第１貯留タンク１に接続されている。即ち、かか
る第１帰還液量調節バルブ４により、第１貯留タンク１
側へ帰還される（戻される）現像廃液の量を調節するの
である。

【００２５】第１吸光光度計５は、第２送液管５２を介
して送液される第１次再生処理済み現像廃液のレジスト
濃度を測定するための測定器であり、第２送液管５２に
対して並列に配設されている。この第１吸光光度計５の
測定結果に基づいて、即ち、第１次再生処理済み現像廃
液のレジスト濃度に基づいて、再使用し、又は廃棄する
現像液の割合が制御するようにされている。

【００２６】第１送液量調節バルブ６は、第３送液管５
３を介して送液される第１次再生処理済み現像廃液の流
量を調節するためのものである。この第３送液管５３
は、第１送液管５１より分岐する流路であり、その一端
は、第３送液管５３に接続され、他端は、第２貯留タン
ク１０に接続されている。

【００２７】第１廃液量調節バルブ７は、第１廃液管６
１の流路を開閉することにより、その第１廃液管６１中
を流れる第１次再生処理済み現像廃液の量を調節するた
めのものである。ここで、第１廃液管６１は、第１送液
管５１より分岐する流路であり、一端が第１送液管５１
に接続され、他端が所定の廃液タンク又は廃液処理装置
等へ接続されている。一方、第１再使用液量調節バルブ
８は、第３送液管５３の流路を開閉することにより、第
３送液管５３中を流れる第１次再生処理済み現像廃液の
液量を調節するためのものである。

【００２８】これら第１廃液量調節バルブ７及び第１再
使用液量調節バルブ８とは互いに連動するようにされて
おり、これら第１廃液量調節バルブ７及び第１再使用液
量調節バルブ８の開放量及び開放時間は、第１吸光光度
計５の測定結果に基づいて制御されるのである。また、
第１廃液量調節バルブ７を通過する第１次再生処理済み
現像廃液の量と第１再使用液量調節バルブ８を通過する
現像廃液の量とを合わせた液量は、第１送液量調節バル
ブ６を通過する現像廃液の量と一致するようにされてい
る。従って、第１次再生処理済み現像廃液中のレジスト
濃度に応じて、再使用し、又は廃棄する現像液の割合が
制御されるのである。

【００２９】第１新液供給量調節バルブ９は、第１供給
管７１の流路を開閉することにより、第１供給管７１中
を流れるアルカリ系現像新液の量を調節するためのもの
である。ここで、アルカリ系現像新液とは、アルカリ系
現像原液（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイ
ド（ＴＷＡＨ）を、２．３８ｗｔ％に薄めた現像液であ
る。このアルカリ系現像原液は、通常、輸送コスト削減
のため、予め工場等により生産され本現像液再生プラン
ト１００の設置場所へ輸送（運搬）される２０〜２５ｗ
ｔ％のアルカリ系現像液である。

【００３０】第１供給管７１の下流側端部は、第１再使
用液量調節バルブ８の下流側であって、第３送液管５３
に接続されている。即ち、第１新液供給量調節バルブ９
により、第３送液管５３中を流れる現像廃液に対して追
加供給される、現像新液の量を調節可能とされている。
第２貯留タンク１０は、現像廃液に現像新液を追加供給
した後の液（以下、現像廃液に対して現像新液を追加供
給した後の液を、「第２次再生処理済み現像液」と称す
る。）を一時的に貯留するためのタンク（容器体）であ
る。

【００３１】第１アルカリ濃度計１１は、第２貯留タン
ク１０に貯留されている第２次再生処理済み現像液」の
アルカリ濃度を測定するための測定機器である。この第
１アルカリ濃度計１１の測定原理は、現像廃液が触媒と
なるように一次側コイルと二次側コイルとの間に電流を
流すとともに、二次側コイルに発生する交流電流を測定
し、一次側コイルに流れる電流の位相と二次側コイルに
流れる電流との位相差を導出して、アルカリ濃度を測定
するのである。

【００３２】第１温度計１２は、第２貯留タンク１０内
に貯留されている第２次再生処理済み現像廃液の温度を
測定するための測定機器であり、この温度計の測定結果
に基づいて、第１アルカリ濃度計１１の測定値より導出
される第２次再生処理済み現像廃液の温度値が補正され
るのである。従って、第２次再生処理済み現像廃液のア
ルカリ濃度を測定する精度を高めることができるのであ
る。これは、第１アルカリ濃度計１１の測定値が、第２
次再生処理済み現像廃液の温度変化に応じて若干ながら
変動することに起因している。

【００３３】第１ロードセル１３は、荷重の大きさに応
じた電流値を出力するものであり、第２貯留タンク１０
の外壁に突出した状態に設けられた突出部１０ａと床部
１０ｂ（台座）との間に挟持されている。従って、第１
ロードセル１３により出力される電流値により、第２貯
留タンク１０全体の重量を測定することができ、更に
は、この測定値より第２貯留タンク１０の自重分の値を
減算すれば、第２貯留タンク１０内に貯留されている現
像廃液の量を導出することができる。そして、この第１
ロードセル１３の測定結果に基づいても、第１新液供給
量調節バルブ９の開放量及び開放時間が制御されるので
ある。

【００３４】第２タンク送液バルブ１４は、第２貯留タ
ンク１０の下方（下端）に接続されている第４送液管５
４の流路を開閉することにより、第４送液管５４中を送
液される第２次再生処理済み現像廃液の流量を調節する
ためのバルブである。第３ポンプ１５は、第４送液管５
４を介して次工程側（下流側）へ第２次再生処理済み現
像廃液を送液するためのポンプである。

【００３５】第１原液供給量調節バルブ１６は、第２供
給管７２の流路を開閉することにより、その第２供給管
７２中を流れるアルカリ系現像原液（２０〜２５％のＴ
ＷＡＨ水溶液）の流量を調節するためのバルブである。
かかる第２供給管７２の下流側端部は、第１調合タンク
１７へ接続されている。

【００３６】第１調合タンク１７は、第４送液管５４を
介して送液される第２次再生処理済み現像廃液、及び第
１原液供給量調節バルブ１６を介して送液されるアルカ
リ系現像原液の両液を貯留するタンクであり、この第１
調合タンク１７には、撹拌翼１７ａ及び駆動モータ１７
ｂが配設されている。これら撹拌翼１７ａ及び駆動モー
タ１７ｂは、第１調合タンク１７内に貯留されている溶
液を撹拌させるためのものである。従って、第４送液管
５４を介して送液される第２次再生処理済み現像廃液、
及び第２供給管７２を介して供給される現像原液の両現
像液を均等に混合させることができるのである。このよ
うに、混合された現像液を「第３次再生処理済み現像廃
液」と称する。

【００３７】第２ロードセル１８は、第１ロードセル１
３と同様に、荷重の大きさに応じた電流値を出力するも
のであり、第１調合タンク１７の外壁に突出した状態に
設けられた突出部１７ａと床部１７ｂ（台座）との間に
挟持されている。従って、第１ロードセル１３の場合と
同様の要領で第１調合タンク１７内に貯留されている現
像廃液の量を導出することができ、第１原液供給量調節
バルブ１６の開放量及び開放時間の制御は、この第２ロ
ードセル１８の出力電流値にも基づいて為されるように
されている。

【００３８】第３ポンプ１９は、第１循環管８１を介し
て第１熱交換器２０側へ第３次再生処理済み現像廃液を
送液するためのポンプである。ここで、第１循環管８１
は、第１調合タンク１７内に貯留されている第３次再生
処理済み現像廃液を循環させるための流路であり、この
流路を流れる第３次再生処理済み現像廃液のアルカリ濃
度を測定することにより、かかる第３次再生処理済み現
像廃液のアルカリ濃度を正確に測定することができるの
である。

【００３９】第１熱交換器２０は、第１循環管８１中を
流れる現像液を冷却するための機器である。第１調合タ
ンク１７内により貯留される第３次再生処理済み現像廃
液は撹拌されるので液温が上昇してしまうが、液温の上
昇に伴い第２アルカリ濃度計２２の測定結果に誤差が生
じてしまうことを防止することができるのである。

【００４０】第１小タンク２１は、第１循環管８１を介
して送液（循環）される現像液を貯留するためのタンク
であり、第１熱交換器２０の下流側に配設されている。
第２アルカリ濃度計２２は、この第１小タンク２１内に
貯留されている第３次再生処理済み現像廃液のアルカリ
濃度を測定するための測定機器である。この第２アルカ
リ濃度計２２の測定原理は、第１アルカリ濃度計１１の
測定原理と同一であるから、その説明は省略する。

【００４１】第２温度計２３は、第１小タンク２１内に
貯留されている第３次再生処理済み現像廃液の液温を測
定するためのものであり、この第２温度計２３の測定結
果に基づいて第２アルカリ濃度計２２の測定結果を補正
することにより、かかる第２アルカリ濃度計２２の測定
精度を高めることができるのである。

【００４２】第１調合タンク送液バルブ２４は、第３貯
留タンク１６の下端に接続されている第５送液管５５の
流路を開閉することにより、第５送液管５５中を送液さ
れる第３次再生処理済み現像廃液の流量を調節するため
のバルブであり、第４ポンプ２５は、第５送液管５５を
介して下流側へ第３次再生処理済み現像廃液を送液する
ためのポンプである。

【００４３】第４貯留タンク２６は、第５送液管５５を
介して下流側へ送液される第３次再生処理済み現像廃液
を貯留するためのタンクであり、第４貯留タンク２６に
より、現像工程で必要な分の第３次再生処理済み現像廃
液が貯留されるのである。第４タンク送液バルブ２７
は、第４貯留タンク２６の下端に接続されている第６送
液管５６の流路を開閉することにより、その第６送液管
５６中を送液される第３次再生処理済み現像廃液の流量
を調節するためのバルブであり、第５ポンプ２８は、第
４貯留タンク２６内に貯留される第３次再生処理済み現
像廃液を第６送液管５６を介して次工程側、即ち、現像
工程側へ送液するためのポンプである。

【００４４】微細粒子除去フィルター２９は、現像工程
へ送液される第３次再生処理済み現像廃液中より更に微
少パーティクルを除去するためのものであり、この微少
パーティクルの除去された現像廃液が再生処理後の現像
液として、現像工程側へ送液されるのである。

【００４５】窒素送気管３０は、第１貯留タンク１、第
２貯留タンク１０、第１調合タンク１７、及び第４貯留
タンク２６の全ての貯留タンクに対して、窒素を送気す
るための流路を構成している。従って、各貯留タンク
１，１０，１７，２６内に貯留されている現像廃液が空
気と反応して、アルカリ濃度が変化してしまうことを防
止することができるのである。

【００４６】以下、上記実施例（第１実施例）の変形例
について説明する。図２は、第２実施例の現像液再生プ
ラント２００の概略フロー図であり、図３は、第３実施
例の現像液再生プラント３００の概略フロー図であり、
図４は、第４実施例の現像液再生プラント４００の概略
フロー図である。ここで、第２実施例から第４実施例ま
での現像液再生プラント２００，３００，４００は何れ
も、第１実施例の現像液再生プラント１００に比べて高
いレジスト成分除去能力を有するものである。

【００４７】「第２実施例」図２に示すように、第２実
施例の現像液再生プラント２００は、第１貯留タンク２
０１と、第１貯留タンク送液バルブ２０２、第１ポンプ
２０３と、第１フィルター２０４と、第１ナノフィルタ
ー２０５と、第２ポンプ２０６と、第１吸光光度計２０
７と、第１バルブ２０８と、第２バルブ２０９と、第１
熱交換器２１０と、第２ナノフィルター２１１と、第１
調合タンク２１２と、第２吸光光度計２１３と、第３バ
ルブ２１４と、第４バルブ２１５と、第１ロードセル２
１６と、第３ポンプ２１７と、第２熱交換器２１８と、
第１小タンク２１９と、第１アルカリ濃度計２２０と、
第１温度計２２１と、第１調合タンク送液バルブ２２２
と、第４ポンプ２２３と、第２貯留タンク２２４と、第
２貯留タンク送液バルブ２２５と、第５ポンプ２２６
と、微細粒子除去フィルタ２２７とを備えている。尚、
第１実施例と同一の部分には同一の符号を付して其の説
明は省略し、異なる部分のみを説明する。

【００４８】第１貯留ポンプ２０１、第１貯留タンク送
液バルブ２０２、及び第１ポンプ２０３は、夫々第１実
施例における第１貯留ポンプ１、第１タンク送液バルブ
２、及び第１ポンプ２０３と略同一の構成とされている
ので、その説明を省略する。

【００４９】第１フィルター２０４は、第１送液管２５
１を介して送液される第１次再生処理済み現像廃液中よ
り微少パーティクルを除去するものであり、第１ナノフ
ィルター及び第２ナノフィルターの透過膜に微少パーテ
ィクルが詰まってしまうことを防止し、レジスト成分の
除去処理を円滑とすることができるのである。

【００５０】第１フィルター２０４の下流側には、第１
ナノフィルター２０５が配設されており、この第１ナノ
フィルター２０５は、通常数ｎｍ（ナノメートル）程度
の大きさの粒子や高分子を除去する可能なＮＦ膜２０５
ａを有しており、クロスフロー式とされている。従っ
て、ＮＦ膜２０５ａを透過した現像廃液は、レジスト成
分の大幅に除去された現像廃液であり、その分、ＮＦ膜
２０５ａを非透過した現像廃液中には、多量のレジスト
成分が含まれるのである。

【００５１】第１ナノフィルター２０５を非透過の現像
廃液は、第１還流管２５２を介して、第１送液管２５１
中の現像廃液に合流するようにされており、再度、第２
ポンプ２０６を介して第１ナノフィルター２０５へ送液
されるのである。

【００５２】第１吸光光度計２０７は、第１還流管２５
２を介して帰還される現像廃液のレジスト濃度を測定す
るための測定器であり、第１還流管２５２に対して並列
に配設されている。この第１吸光光度計２０７の測定結
果に基づいて、第１バルブ２０８及び第２バルブ２０９
の開閉量が制御されるのである。ここで、第１バルブ２
０８は、第１還流管２５２に配設されており、第１還流
管２５２中を流れる現像廃液量を調節するものであり、
第２バルブ２０９は、第１廃液管２５３に配設されてお
り、第１廃液管２５３中を流れる現像廃液量を調節する
ものである。従って、第１吸光光度計２０７によるレジ
スト濃度の測定の結果、現像廃液のレジスト濃度が再使
用に耐えない程に劣化するまで、現像廃液を再使用する
ことができるのである。ひいては、廃棄する現像廃液の
量を低減することができ、更には、ランニングコストを
低減することができることは勿論のこと、資源を有効活
用することもできるのである。

【００５３】第１熱交換器２１０は、第１還流管２５２
中を流れる現像廃液を冷却させるためのものであり、こ
の第１熱交換器２１０により、第１吸光光度計２０７の
測定値に誤差が生じてしまうことを防止することができ
るのである。

【００５４】第２ナノフィルター２１１は、第１ナノフ
ィルター２０５と略同一の構成を有するものであり、第
２送液管２５４を介して送液される現像廃液中を膜分離
することにより、レジスト成分を多量に含む現像廃液
と、レジスト成分の除去された現像廃液とに分離するた
めのものである。この第２ナノフィルター２１１を透過
した現像廃液は、第３送液管２５５を介して第１調合タ
ンク２１２側へ送液され、第２ナノフィルター２１１を
非透過の現像廃液は、第２還流管２５６を介して再度、
第２送液管２５４へ合流されるのである。

【００５５】第２吸光光度計２１３は、第３送液管２５
５を介して第１混合タンク２１０側へ送液される現像廃
液中のレジスト濃度を測定するための測定器であり、こ
の第２吸光光度計２１３の測定値に基づいて、第３バル
ブ２１４及び第４バルブ２１５の開閉量が制御される。
ここで、第３バルブ２１４は、第２還流管２５６に設け
られ、第４バルブ２１５は、第２廃棄管２５７に設けら
れている。即ち、第３バルブ２１４は、第２還流管２５
６の流量を、第４バルブ２１５は、第２排気管２５７の
流量を調節するためのものである。

【００５６】第１調合タンク２１２、第１ロードセル２
１６、第３ポンプ２１７、第２熱交換器２１８、第１小
タンク２１９、第１アルカリ濃度計２２０、第１温度計
２２１、第１調合タンク送液バルブ２２２、第４ポンプ
２２３、第２貯留タンク２２４、第２貯留タンク送液バ
ルブ２２５、第５ポンプ２２６、及び微細粒子除去フィ
ルタ２２７は、第１実施例における、第１調合タンク１
７、第２ロードセル１８、第３ポンプ１９、第１熱交換
器２０、第１小タンク２１、第２アルカリ濃度計２２、
第２温度計２３、第１調合タンク送液バルブ２４と、第
４ポンプ２５と、第４貯留タンク２６と、第４送液バル
ブ２７と、第５ポンプ２８と、微細粒子除去フィルター
２９と、窒素送液管３０と、夫々対応するものであり構
成が略同一とされているので、その説明を省略する。

【００５７】「第３実施例」以下、第３実施例の現像液
再生プラント３００について説明する。第３実施例を説
明するに当たり、第１実施例及び第２実施例と同一の部
分には同一の符号を付してその説明を省略する。

【００５８】図３に示すように、第３実施例の現像液再
生プラント３００は、第１貯留タンク２０１と、第１貯
留タンク送液バルブ２０２、第１ポンプ２０３と、第１
フィルター２０４と、第１ナノフィルター２０５と、第
２ポンプ２０６と、第１吸光光度計２０７と、第１バル
ブ２０８と、第２バルブ２０９と、第１熱交換器２１０
と、第２ナノフィルター２１１と、第１調合タンク２１
２と、第２吸光光度計２１３と、第１ロードセル２１６
と、第３ポンプ２１７と、第２熱交換器２１８と、第１
小タンク２１９と、第１アルカリ濃度計２２０と、第１
温度計２２１と、第１調合タンク送液バルブ２２２と、
第４ポンプ２２３と、第２貯留タンク２２４と、第２貯
留タンク送液バルブ２２５と、第５ポンプ２２６と、微
細粒子除去フィルタ２２７とを備えている。

【００５９】この第３実施例の現像液再生プラント３０
０は、第２実施例の現像液再生プラント２００に対し、
第２ナノフィルター２１１を非透過した現像廃液の還流
箇所を変更したものである。具体的には、第３実施例の
現像液再生プラント２００は、第２ナノフィルター２１
１を非通過した現像廃液の還流先を、第１貯留タンク２
０１（第２還流管を介して）としたものである。このよ
うに構成することにより、第２ナノフィルター２１１を
通る現像廃液は一度第１ナノフィルター２０５により膜
分離された現像廃液であるから、第１貯留タンク２０１
へ戻すことにより、資源を有効活用することができるの
である。尚、第２ナノフィルターを非通過した現像廃液
の還流先は、第１貯留タンク２０１に限られるものでは
なく、例えば、第１還流管２５２としても良い。

【００６０】「第４実施例」以下、第４実施例の現像液
再生プラント４００について説明する。第４実施例を説
明するに当たり、第１実施例及び第２実施例と同一の部
分には同一の符号を付してその説明を省略する。

【００６１】図４に示すように、第４実施例の現像液再
生プラント４００は、第１貯留タンク２０１と、第１貯
留タンク送液バルブ２０２、第１ポンプ２０３と、第１
フィルター２０４と、第１ナノフィルター２０５と、第
２ポンプ２０６と、第１吸光光度計２０７と、第１バル
ブ２０８と、第２バルブ２０９と、第１熱交換器２１０
と、第２ナノフィルター２１１と、第３貯留タンク４０
１と、第３貯留タンク送液バルブ４０２と、第６ポンプ
４０３と、第３還流量調節バルブ４０４と、第３送液量
調節バルブ４０５と、第１調合タンク２１２と、第２吸
光光度計２１３と、第１ロードセル２１６と、第３ポン
プ２１７と、第２熱交換器２１８と、第１小タンク２１
９と、第１アルカリ濃度計２２０と、第１温度計２２１
と、第１調合タンク送液バルブ２２２と、第４ポンプ２
２３と、第２貯留タンク２２４と、第２貯留タンク送液
バルブ２２５と、第５ポンプ２２６と、微細粒子除去フ
ィルタ２２７とを備えている。

【００６２】第３貯留タンク４０１は、第１ナノフィル
ター２０５のＮＦ膜２０５ａを透過した現像廃液を一時
的に貯留するタンクであり、第３貯留タンク送液バルブ
４０２は、第３貯留タンク４０１内に貯留されている現
像廃液を次工程側へ送液する液量を調節するものであ
り、第６ポンプ４０３は、第３貯留タンク４０１内に貯
留されている現像廃液を次工程側へ送液するものであ
る。

【００６３】第３還流量調節バルブ４０４は、第６ポン
プ４０３により次工程側へ送液された現像廃液を再度第
３貯留タンク４０１側へ還流させるためのものであり、
第３送液量調節バルブ４０５は、第２ナノフィルター２
１１側へ送液される現像廃液の流量を制御するためのバ
ルブである。

【００６４】即ち、第４実施例の現像液再生プラント４
００は、第３実施例の現像液再生プラント３００の現像
液再生プラント３００の第１ナノフィルター２０５と第
２ナノフィルター２１１との間に、第３貯留タンク４０
１を設けるとともに、第６ポンプ４０３を設けたもので
ある。従って、第１ナノフィルター２０５を透過した現
像廃液の圧力は低下するが、第６ポンプ４０３により再
度加圧することができ、第２ナノフィルター２１１の面
積を第３実施例の場合に比べて大幅に小さくすることが
できるのである。ひいては、製造コスト及びランニング
コストの低減を図ることができるのである。尚、必ずし
も、第１ナノフィルター２０５と第２ナノフィルター２
１１との間に第３貯留タンクを設けないようにしても良
い。

【００６５】以上、実施例に基づき本発明を説明した
が、本発明は上記実施例に何ら限定されるものではな
く、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形
が可能であることは容易に推察することができるもので
ある。

【００６６】

【発明の効果】請求項１記載の現像液再生装置によれ
ば、第１廃棄手段により、第１レジスト濃度測定手段の
測定結果（現像廃液のレジスト濃度）に基づく量の現像
廃液が廃棄され、第１補給手段により、かかる廃棄され
た量に基づく分の現像新液又は純水が補給される。そし
て、現像新液又は純水の補給後、第１アルカリ濃度測定
手段により、上記第１補給手段による補給の結果得られ
る現像液のアルカリ濃度が測定され、第２補給手段によ
り、第１アルカリ濃度測定手段による測定結果に基づく
量のアルカリ系現像原液が補給されるのである。従っ
て、現像に供せられた後の液体である現像廃液のレジス
ト濃度及びアルカリ濃度を逐次、所望濃度（適正濃度の
意味を含む。以下、同じ。）に再生することができると
いう効果がある。ひいては、製品の品質が不安定となっ
たり、歩留まりの量が多くなってしまうことを防止する
ことができ、更には、高い塗れ性が保持される。また、
液全部を交換する回数を大幅に低減することができるの
で、稼働率が低下してしまうこと、及び、液交換作業に
伴う労務コストが高くなってしまうことを防止すること
ができるという効果もある。

【００６７】請求項２記載の現像液再生装置によれば、
クロスフロー式の第１膜分離手段により、「現像に供せ
られた後の液体である」現像廃液がレジスト成分の除去
された第１透過液とレジスト成分の濃縮された第１非透
過液とに膜分離され、同じくクロスフロー式の第２膜分
離手段により、かかる第１透過液が更に、レジスト成分
の除去された第２透過液とレジスト成分の濃縮された第
２非透過液とに膜分離される。従って、現像廃液に含ま
れるレジスト成分を入念に除去することができ、ひいて
は、レジストパターンに忠実な回路を基板上に構成する
ことができるという効果がある。具体的には、露光によ
り凝固された樹脂が溶解してしまうことを防止すること
ができるのである。例えば、半導体デバイス（ＬＳＩや
メモリ等）を製造する場合、微細な回路構成となるとき
が多い。しかしながら、このときにおいても、回路の断
線や混線を防止することができるのである。

【００６８】一方、第１還流手段により、第１膜分離手
段による膜分離の結果得られる第１非透過液は第１供給
手段により供給される現像廃液へ還流させられるが、第
２レジスト濃度測定手段により、第１非透過液、又は還
流後の現像廃液のレジスト濃度が測定され、その測定結
果に基づいて第１非透過液又は還流後の現像廃液が廃棄
される。このため、レジスト濃度を高めた状態で現像液
を廃棄することができ、廃棄される現像液の量を低減す
ることができるという効果がある。また、膜分離手段に
レジスト成分が詰まってしまい、膜分離量が低下してし
まうことを防止することができるという効果もある。

【００６９】請求項３記載の現像液再生装置によれば、
請求項２記載の現像液再生装置の奏する効果に加え、更
に、第２還流手段により、第２非透過液が第１供給手段
により供給される現像廃液に還流させられるので、一度
レジスト成分の除去された現像液を再度、現像廃液とと
もに第１膜分離手段により膜分離させて、ランニングコ
ストを低減し、更には、資源を有効活用することができ
るという効果がある。

【００７０】請求項４記載の現像液再生装置によれば、
請求項２記載の現像液再生装置の奏する効果に加え、更
に、第３還流手段により、第２非透過液が第１透過液に
還流させられ、廃棄手段により、還流前の第２非透過
液、又は還流後の第１透過液の濃度に基づいて、かかる
液が廃棄されるので、一度レジスト成分の除去された現
像液を再度、現像廃液とともに第１膜分離手段により膜
分離させて、ランニングコストを低減し、更には、資源
を有効活用することができるという効果がある。

【００７１】請求項５記載の現像液再生装置によれば、
請求項２から４の何れかに記載の現像液再生装置の奏す
る効果に加え、更に、第３補給手段により、第２アルカ
リ濃度測定手段の測定結果に基づく量のアルカリ系現像
新液又はアルカリ系現像原液が補給されるので、現像に
供せられた後の現像廃液のアルカリ濃度を逐次、所望濃
度に再生することができるという効果がある。ひいて
は、製品が不安定となったり、歩留まりの量が多くなっ
てしまうことを防止することができるという効果があ
る。更には、液全部を交換する回数を大幅に低減するこ
とができるので、稼働率が低下してしまうこと、及び液
交換作業に伴う労務コストが高くなってしまうことを防
止することができるという効果もある。

【００７２】請求項６記載の現像液再生装置によれば、
請求項５記載の現像液再生装置の奏する効果に加え、更
に、第３補給手段により補給される液がアルカリ系現像
原液であるので、アルカリ濃度を所望濃度に再生するた
めに、現像液の量が変化してしまうことを防止すること
ができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である現像液再生プラント
の概略フロー図である。

【図２】本発明の他の実施例（第２実施例）である現
像液再生プラントの概略フロー図である。

【図３】本発明の更に他の実施例（第３実施例）であ
る現像液再生プラントの概略フロー図である。

【図４】本発明の更に他の実施例（第４実施例）であ
る現像液再生プラントの概略フロー図である。

【符号の説明】

５第１吸光光度計（第１レジスト濃度測定手段）７第１廃液量調節バルブ（第１廃棄手段の一部）９第１新液供給量調節バルブ（第１補給手段の一
部）１６第１原液供給量調節バルブ（第２補給手段及び
第３補給手段の一部）２２第２アルカリ濃度計（第１アルカリ濃度測定手
段）６１第１廃棄管（第１廃棄手段の一部）７１第１供給管（第１補給手段の一部）７２第２供給管（第２補給手段及び第３補給手段の
一部）１００現像液再生プラント２００現像液再生プラント２０３第１ポンプ（第１供給手段の一部）２０５第１ナノフィルター（第１膜分離手段）２０６第２ポンプ（第１供給手段の一部）２０７第１吸光光度計（第２レジスト濃度測定手段）２０８第１バルブ（第１還流手段の一部）２０９第２バルブ（第２廃棄手段の一部）２１１第２ナノフィルター（第２膜分離手段）２１３第２吸光光度計（第２レジスト濃度測定手段）２１４第３バルブ（第３還流手段の一部）２１５第４バルブ（第２廃棄手段の一部）２２０第１アルカリ濃度計（第２アルカリ濃度測定手
段の一部）２５１第１送液管（第１供給手段の一部）２５２第１還流管（第１還流手段の一部）２５３第１廃棄管（第２廃棄手段の一部）２５６第２還流管（第３還流手段の一部）３００現像液再生プラント３５１第２還流管（第２還流手段）４００現像液再生プラント

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６９ＺＦターム(参考） 2H096 AA25 AA26 AA27 GA21 LA19 LA30 4D006 GA07 KA52 KE12 PA02 PB20 PB70 PC01 5F046 LA19

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】感光性有機樹脂用アルカリ系現像廃液の
レジスト濃度を測定する第１レジスト濃度測定手段と、その第１レジスト濃度測定手段の測定結果に基づく割合
分の前記現像廃液を廃棄する第１廃棄手段と、その第１廃棄手段により廃棄される現像廃液の量に基づ
く分のアルカリ系現像新液又は純水を補給する第１補給
手段と、その第１補給手段による補給の結果得られる現像液のア
ルカリ濃度を測定する第１アルカリ濃度測定手段と、その第１アルカリ濃度測定手段による測定結果に基づく
量のアルカリ系現像原液を補給する第２補給手段とを備
えていることを特徴とする現像液再生装置。
【請求項２】感光性有機樹脂用アルカリ系現像廃液を
膜分離するクロスフロー式の第１膜分離手段と、その第１膜分離手段へ前記現像廃液を供給する第１供給
手段と、前記第１膜分離手段による膜分離の結果得られる第１透
過液を更に膜分離するクロスフロー式の第２膜分離手段
と、その第２膜分離手段へ前記第１透過液を供給する第２供
給手段と、前記第１膜分離手段による膜分離の結果得られる第１非
透過液を第１供給手段により供給される現像廃液へ還流
させる第１還流手段と、その第１還流手段により還流させられる前の第１非透過
液、又は還流させられた後の現像廃液のレジスト濃度を
測定する第２レジスト濃度測定手段と、その第２レジスト濃度測定手段によるレジスト濃度の測
定結果に基づいて前記第１非透過液又は還流後の現像廃
液を廃棄する第２廃棄手段とを備えていることを特徴と
する現像液再生装置。
【請求項３】第２膜分離手段による膜分離の結果得ら
れる第２非透過液を第１供給手段により供給される現像
廃液に還流させる第２還流手段を備えていることを特徴
とする請求項２記載の現像液再生装置。
【請求項４】第２膜分離手段による膜分離の結果得ら
れる第２非透過液を第２供給手段により供給される第１
透過液に還流させる第３還流手段と、その第３還流手段により還流させられる前の第２非透過
液、又は還流させられた後の第１透過液のレジスト濃度
を測定する第２レジスト濃度測定手段と、その第２レジスト濃度測定手段の測定結果に基づいて前
記第２非透過液、又は還流後の第１透過液を廃棄する第
２廃棄手段とを備えていることを特徴とする請求項２記
載の現像液再生装置。
【請求項５】第２膜分離手段による膜分離の結果得ら
れる第２透過液のアルカリ濃度を測定する第２アルカリ
濃度測定手段と、その第２アルカリ濃度測定手段の測定結果に基づく量の
アルカリ系現像新液又はアルカリ系現像原液を補給する
第３補給手段とを備えていることを特徴とする請求項２
から４の何れかに記載の現像液再生装置。
【請求項６】第３補給手段により補給される液は、ア
ルカリ系現像原液であることを特徴とする請求項５記載
の現像液再生装置。