JP7109505B2 - 超純水製造装置 - Google Patents
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Description
一つの態様では、超純水製造装置は濃縮水流量調整手段の作動を制御する制御部と、第1の限外ろ過膜に接続され、第1の限外ろ過膜を透過した超純水を、ユースポイントを迂回して第1の限外ろ過膜の上流に返送する超純水返送ラインと、超純水返送ラインに設けられた弁と、を有し、制御部は、濃縮水の流量が変化したときに圧力計で測定された第1の限外ろ過膜の出口圧力の変動が所定の範囲に収まるように、圧力計で測定された出口圧力に応じて、超純水返送ラインに設けられた弁を制御する。
他の態様では、超純水製造装置は第1の濃縮水返送ラインから分岐して、第1の限外ろ過膜の濃縮水を第1の限外ろ過膜の透過水の返送先より上流に返送する第2の濃縮水返送ラインと、第1の限外ろ過膜の入口と出口の少なくともいずれかに設けられた微粒子検出手段と、を有し、濃縮水流量調整手段は、濃縮水の流量が変化したときに圧力計で測定された第1の限外ろ過膜の出口圧力の変動が所定の範囲に収まるように、微粒子検出手段の微粒子検出結果に応じて、第2の濃縮水返送ラインを流れる濃縮水の流量を調整する。
さらに他の態様では、超純水製造装置は第1の濃縮水返送ラインに設けられ、第1の限外ろ過膜の濃縮水をろ過し、透過水を第1の限外ろ過膜の上流に返送する第2の限外ろ過膜と、第2の限外ろ過膜の濃縮水を透過水の返送先より上流に返送する第3の濃縮水返送ラインと、を有し、濃縮水流量調整手段は第3の濃縮水返送ラインに設けられた弁であり、弁は、濃縮水の流量が変化したときに圧力計で測定された第1の限外ろ過膜の出口圧力の変動が所定の範囲に収まるように操作可能である。
図1に、本発明の第1の実施形態に係る超純水製造装置1の概略構成を示す。超純水製造装置1は、原水を処理して一次処理水を製造する前処理システム11と、前処理システム11で製造された一次処理水から純水を製造する一次純水システム21と、一次純水システム21で製造された純水から超純水を製造する二次純水システム31(以下、サブシステム31という)と、を有している。一次純水システム21は一次処理水を貯蔵する一次処理水タンク22の他、図示しない逆浸透膜、紫外線酸化装置、精密ろ過膜などからなる浄化ユニット23を備え、純水供給ラインL1を通して、純水をサブシステム31のサブタンク32に供給する。
図4に、第2の実施形態に係る純水製造装置のサブシステム31の概略構成を示す。本実施形態では、第2のポンプ38の代わりに第2の弁V2の開度を制御する。第1の弁V1と第2の弁V2と圧力計PIが制御部40に接続されており、圧力計PIの測定値に応じて第1の弁V1と第2の弁V2の開度が調整される。具体的には、制御部40は、第1の限外ろ過膜39の出口圧力が増加したときは第2の弁V2の開度を増し(または開き)、それによって第1の限外ろ過膜39の出口圧力を減少させる。制御部40は、第1の限外ろ過膜39の出口圧力が減少したときは第2の弁V2の開度を減じ(または閉じ)、それによって第1の限外ろ過膜39の出口圧力を増加させる。リターンラインL4のバイパスラインL5の合流部の下流側に破線で示す別の弁V6を設け、2つの弁V2,V6の開度を制御することも可能である。あるいは第1のポンプ33または第2のポンプ38の出口弁(図示せず)の開度を制御することも可能である。
図5に、第3の実施形態に係る純水製造装置のサブシステム31の概略構成を示す。本実施形態では、第1の濃縮水返送ラインL3から分岐する第2の濃縮水返送ラインL6が設けられている。第2の濃縮水返送ラインL6は、第1の限外ろ過膜39の濃縮水を第1の限外ろ過膜39の透過水の返送先より上流に返送する。濃縮水の返送先は特に限定されないが、本実施形態では濃縮水は一次純水システム21の一次処理水タンク22に返送される。第1の濃縮水返送ラインL3の第2の濃縮水返送ラインL6の分岐部の下流側に第3の弁V3が、第2の濃縮水返送ラインL6に第4の弁V4が設けられている。第3の弁V3と第4の弁V4は本実施形態における濃縮水流量調整手段を構成する。
図6に、第4の実施形態に係る純水製造装置のサブシステム31の概略構成を示す。本実施形態では、第1の限外ろ過膜39の濃縮水をろ過する第2の限外ろ過膜42が、第1の濃縮水返送ラインL3に設けられている。第2の限外ろ過膜42の透過水は第1の限外ろ過膜39の上流に返送され、第2の限外ろ過膜42の濃縮水は第3の濃縮水返送ラインL7を通って、透過水の返送先より上流に返送される。透過水と濃縮水の返送先は特に限定されないが、本実施形態では透過水はサブタンク32に返送され、濃縮水は一次純水システム21の一次処理水タンク22に返送される。第2の限外ろ過膜42を設けることで、サブタンク32に返送される濃縮水の水質が向上するため、第1の限外ろ過膜39の出口水の水質の低下が抑制される。
図7に、第5の実施形態に係る純水製造装置のサブシステム31の概略構成を示す。本実施形態では、第4の実施形態における第1の弁V1が削除され、第3の濃縮水返送ラインL7に第5の弁V5が設けられている。従って、本実施形態では、濃縮水流量調整手段は第3の濃縮水返送ラインL7に設けられた第5の弁V5である。第5の弁V5の開度を調整することで第2の限外ろ過膜42の圧力損失が変化し、それによって第1の濃縮水返送ラインL3の濃縮水の流量を制御することができる。本実施形態では、第1の濃縮水返送ラインL3の濃縮水の流量が間接的に制御されるため、第5の弁V5の開度の変化に対する、第1の濃縮水返送ラインL3を流れる濃縮水の流量の変化の応答性が鈍化し、第1の実施形態において第1の弁V1を緩やかに操作したのと同様の効果が得られる。なお、第1の弁V1は設けたままとして、濃縮水流量調整手段としての機能を第5の弁V5だけで行うようにしてもよい。
図8に、第6の実施形態に係る純水製造装置のサブシステム31の概略構成を示す。本実施形態では、複数のサブシステム31A,31B,31Cが並列に設けられている。サブタンク32とユースポイント51との間に複数の主ラインL2A,L2B,L2Cが並列に設けられ、各主ラインL2A,L2B,L2Cに沿ってサブシステム31A,31B,31Cの前段浄化ユニット41A,41B,41Cと第1の限外ろ過膜39A,39B,39Cが配置されている。換言すれば、第1の実施形態の前段浄化ユニット41A及び第1の限外ろ過膜39Aと、他の前段浄化ユニット41B,41C及び他の第1の限外ろ過膜39B,39Cとが並列に設けられ、各第1の限外ろ過膜39A,39B,39Cはユースポイント51に接続され、ユースポイント51に超純水を供給する。各主ラインL2A,L2B,L2Cにはそれぞれ第1の弁V1A,V1B,V1Cが設けられ、主ラインL2A,L2B,L2Cは合流して第2の限外ろ過膜42に接続されている。第2の限外ろ過膜42には各サブシステム31A,31B,31Cの第1の限外ろ過膜39A,39B,39Cの濃縮水が供給される。つまり、第2の限外ろ過膜42は複数のサブシステム31A,31B,31Cで共用されている。各サブシステム31A,31B,31Cの第1の限外ろ過膜39A,39B,39Cの濃縮水の流量は小さいため、第2の限外ろ過膜42を共用することで、超純水製造装置1のコストを低減することができる。
33 第1のポンプ
33A 第1のインバータ
38 第2のポンプ
38A 第2のインバータ
39 第1の限外ろ過膜
40 制御部
42 第2の限外ろ過膜
51 ユースポイント
L2 主ライン
L3 第1の濃縮水返送ライン
L4 リターンライン
L5 バイパスライン
L6 第2の濃縮水返送ライン
L7 第3の濃縮水返送ライン
PC1,PC2 微粒子検出手段(第1及び第2のパーティクルカウンタ)
PI 圧力計
Claims (9)
- ユースポイントに接続され、前記ユースポイントに超純水を供給する第1の限外ろ過膜と、
前記第1の限外ろ過膜の濃縮水を前記第1の限外ろ過膜の上流に返送する第1の濃縮水返送ラインと、
前記第1の限外ろ過膜の出口圧力を測定する圧力計と、
前記濃縮水の流量を調整する濃縮水流量調整手段と、
前記濃縮水流量調整手段の作動を制御する制御部と、
前記第1の限外ろ過膜に接続され、前記第1の限外ろ過膜を透過した超純水を、前記ユースポイントを迂回して前記第1の限外ろ過膜の上流に返送する超純水返送ラインと、
前記超純水返送ラインに設けられた弁と、を有し、
前記制御部は、前記濃縮水の流量が変化したときに前記圧力計で測定された前記第1の限外ろ過膜の前記出口圧力の変動が所定の範囲に収まるように、前記圧力計で測定された前記出口圧力に応じて、前記超純水返送ラインに設けられた前記弁を制御する、超純水製造装置。 - 前記濃縮水流量調整手段は、前記第1の濃縮水返送ラインに設けられた弁であり、前記制御部は、前記濃縮水流量調整手段の該弁の作動を制御する、請求項1に記載の超純水製造装置。
- ユースポイントに接続され、前記ユースポイントに超純水を供給する第1の限外ろ過膜と、
前記第1の限外ろ過膜の濃縮水を前記第1の限外ろ過膜の上流に返送する第1の濃縮水返送ラインと、
前記第1の限外ろ過膜の出口圧力を測定する圧力計と、
前記濃縮水の流量を調整する濃縮水流量調整手段と、
前記第1の濃縮水返送ラインから分岐して、前記第1の限外ろ過膜の濃縮水を前記第1の限外ろ過膜の透過水の返送先より上流に返送する第2の濃縮水返送ラインと、
前記第1の限外ろ過膜の入口と出口の少なくともいずれかに設けられた微粒子検出手段と、を有し、
前記濃縮水流量調整手段は、前記濃縮水の流量が変化したときに前記圧力計で測定された前記第1の限外ろ過膜の前記出口圧力の変動が所定の範囲に収まるように、前記微粒子検出手段の微粒子検出結果に応じて、前記第2の濃縮水返送ラインを流れる前記濃縮水の流量を調整する、超純水製造装置。 - ユースポイントに接続され、前記ユースポイントに超純水を供給する第1の限外ろ過膜と、
前記第1の限外ろ過膜の濃縮水を前記第1の限外ろ過膜の上流に返送する第1の濃縮水返送ラインと、
前記第1の限外ろ過膜の出口圧力を測定する圧力計と、
前記濃縮水の流量を調整する濃縮水流量調整手段と、
前記第1の濃縮水返送ラインに設けられ、前記第1の限外ろ過膜の濃縮水をろ過し、透過水を前記第1の限外ろ過膜の上流に返送する第2の限外ろ過膜と、
前記第2の限外ろ過膜の濃縮水を前記透過水の返送先より上流に返送する第3の濃縮水返送ラインと、
を有し、
前記濃縮水流量調整手段は前記第3の濃縮水返送ラインに設けられた弁であり、前記弁は、前記濃縮水の流量が変化したときに前記圧力計で測定された前記第1の限外ろ過膜の前記出口圧力の変動が所定の範囲に収まるように操作可能である、超純水製造装置。 - 前記第1の濃縮水返送ラインに設けられた弁を有する、請求項4に記載の超純水製造装置。
- 前記ユースポイントに接続され、前記第1の限外ろ過膜と並列に設けられ、前記ユースポイントに超純水を供給する他の第1の限外ろ過膜を有し、
前記第1の限外ろ過膜の濃縮水と前記他の第1の限外ろ過膜の濃縮水が前記第2の限外ろ過膜に供給される、請求項4または5に記載の超純水製造装置。 - 前記制御部は、前記第1の限外ろ過膜の前記出口圧力の変動が前記所定の範囲に収まるように、前記濃縮水流量調整手段の作動を制御する、請求項3から6のいずれか1項に記載の超純水製造装置。
- 前記第1の限外ろ過膜の上流に位置するポンプを有し、
前記制御部は、前記第1の限外ろ過膜の前記出口圧力の変動が前記所定の範囲に収まるように、前記圧力計で測定された前記出口圧力に応じて前記ポンプを制御する、請求項7に記載の超純水製造装置。 - 前記所定の範囲は0.02MPa以内、前記第1の限外ろ過膜の運転時出口圧力の5%以内のいずれかである、請求項1から8のいずれか1項に記載の超純水製造装置。
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