JP2020199436A - 超純水製造装置及び超純水製造方法 - Google Patents
超純水製造装置及び超純水製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020199436A JP2020199436A JP2019106513A JP2019106513A JP2020199436A JP 2020199436 A JP2020199436 A JP 2020199436A JP 2019106513 A JP2019106513 A JP 2019106513A JP 2019106513 A JP2019106513 A JP 2019106513A JP 2020199436 A JP2020199436 A JP 2020199436A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- heat exchanger
- water production
- pure water
- ultrapure water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 81
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 59
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 title claims abstract description 59
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 167
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 73
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 claims abstract description 51
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 17
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000003204 osmotic effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 abstract description 15
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 7
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 6
- 238000011071 total organic carbon measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 5
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 4
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 4
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 238000005188 flotation Methods 0.000 description 3
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 2
- 238000005374 membrane filtration Methods 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 2
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000008400 supply water Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 1
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000002349 well water Substances 0.000 description 1
- 235000020681 well water Nutrition 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
Description
図1は本発明の一実施形態による超純水製造装置を示すフロー図であり、図1において、超純水製造装置1は基本的には前述した従来例と同じ構成を有するので、同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
上述したような構成を有する超純水製造装置を用いた超純水の製造方法について説明する。
図2に示す超純水製造装置1を用い、原水Wを前処理装置2、一次純水製造装置3及び二次純水製造装置4により処理して超純水W2を製造した。
図1に示す超純水製造装置1を用い、原水Wを前処理装置2、一次純水製造装置3及び二次純水製造装置4により処理して超純水W2を製造した。
消費電力(W)=1000[kg/m3]×9.8[m/S2]×10[m3/h]
×Δ9[m]÷0.8÷0.8
=1.38MJ/h
2 前処理システム
3 一次純水製造装置
11 タンク
12 逆浸透膜装置(RO装置)
13 イオン交換装置
14 脱気装置
15 予熱器
16 熱交換器
17 配管
4 二次純水製造装置(サブシステム)
21 一次純水タンク
22 ポンプ
23 熱交換器
24 低圧紫外線酸化装置(UV酸化装置)
25 イオン交換装置
26 限外濾過膜(UF膜)
27 配管
28 配管
5 ユースポイント
W 原水
W0 前処理水
W1 一次純水
W2 超純水
W3 濃縮水
W4 RO膜透過水
W5 出口水
Claims (4)
- 熱交換器及び逆浸透膜分離手段を備えた一次純水製造装置と、該一次純水製造装置から得られた一次純水を処理する二次純水製造装置とを有する超純水製造装置であって、
前記熱交換器が前記逆浸透膜分離手段の後段に設けられている超純水製造装置。 - 前記逆浸透膜分離手段の処理水の流量検出手段及び温度検出手段と、前記熱交換器の出口水の目標温度を設定する手段と、これら流量検出手段及び温度検出手段で検出される流量及び温度に基づいて、 この目標温度となるように熱交換器への熱源流体の供給量を制御する手段とを備える、請求項1に記載の超純水製造装置。
- 熱交換器及び逆浸透膜分離手段を備えた一次純水製造装置に原水を通水して一次純水を製造し、この一次純水を二次純水製造装置に通水して超純水を製造する超純水製造方法において、
逆浸透膜装置分離手段の処理水を熱交換器で加温する超純水製造方法。 - 前記逆浸透膜分離手段の処理水の流量及び温度を計測し、この計測された流量及び温度に基づいて、前記熱交換器を通過した水が目標温度となるように熱交換器への熱源流体の供給量を制御する、請求項3に記載の超純水製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019106513A JP7306074B2 (ja) | 2019-06-06 | 2019-06-06 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019106513A JP7306074B2 (ja) | 2019-06-06 | 2019-06-06 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020199436A true JP2020199436A (ja) | 2020-12-17 |
JP7306074B2 JP7306074B2 (ja) | 2023-07-11 |
Family
ID=73742326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019106513A Active JP7306074B2 (ja) | 2019-06-06 | 2019-06-06 | 超純水製造装置及び超純水製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7306074B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023074147A1 (ja) * | 2021-10-25 | 2023-05-04 | オルガノ株式会社 | 水処理システム及び水処理方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63189796A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-05 | Daicel Chem Ind Ltd | 高温超純水製造用中空糸型熱交換器 |
JPH0929251A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-04 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置 |
JP2001047054A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-20 | Kurita Water Ind Ltd | 脱イオン水製造装置の殺菌方法及び脱イオン水の製造方法 |
JP2017032224A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 三浦工業株式会社 | 加温水製造システム |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000229223A (ja) | 1999-02-05 | 2000-08-22 | Kurita Water Ind Ltd | 電気脱イオン装置及びその運転方法 |
JP5953726B2 (ja) | 2011-12-07 | 2016-07-20 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造方法及び装置 |
-
2019
- 2019-06-06 JP JP2019106513A patent/JP7306074B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63189796A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-05 | Daicel Chem Ind Ltd | 高温超純水製造用中空糸型熱交換器 |
JPH0929251A (ja) * | 1995-07-17 | 1997-02-04 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置 |
JP2001047054A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-20 | Kurita Water Ind Ltd | 脱イオン水製造装置の殺菌方法及び脱イオン水の製造方法 |
JP2017032224A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 三浦工業株式会社 | 加温水製造システム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023074147A1 (ja) * | 2021-10-25 | 2023-05-04 | オルガノ株式会社 | 水処理システム及び水処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7306074B2 (ja) | 2023-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4867182B2 (ja) | 純水製造装置 | |
US6991733B2 (en) | Process for removing organics from ultrapure water | |
TWI391332B (zh) | Pure water manufacturing device | |
JPS614591A (ja) | 逆浸透水精製方法 | |
KR102107925B1 (ko) | 초순수 제조 장치 | |
WO2019244443A1 (ja) | 被処理水中のホウ素除去方法、ホウ素除去システム、超純水製造システム及びホウ素濃度の測定方法 | |
JP2012206073A (ja) | 脱イオン水製造システム | |
JP5953726B2 (ja) | 超純水製造方法及び装置 | |
US12037276B2 (en) | Apparatus for removing boron, method for removing boron, apparatus for producing pure water and method for producing pure water | |
JP2013202581A (ja) | 超純水製造装置 | |
CN114555534B (zh) | 水处理系统和超纯水制造系统以及水处理方法 | |
JP2020199436A (ja) | 超純水製造装置及び超純水製造方法 | |
JP5962135B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
CN115461133B (zh) | 液体处理装置、纯水制造系统以及液体处理方法 | |
JP7405066B2 (ja) | 超純水製造装置及び超純水製造方法 | |
JP2013202610A (ja) | 超純水製造装置 | |
US20190160452A1 (en) | Low temperature wet air oxidation | |
JP6350718B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
JP7359198B2 (ja) | 温超純水製造装置 | |
JP2006122908A (ja) | 純水の製造方法 | |
WO2022239483A1 (ja) | 超純水製造方法及び装置 | |
JP5257175B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
WO2014010075A1 (ja) | 超純水製造装置 | |
CN115702120A (zh) | 超纯水制造装置 | |
TW201404455A (zh) | 超純水製造裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220311 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230314 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230502 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230530 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7306074 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |