JP2013202610A - 超純水製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱交換器15及び逆浸透膜分離装置12を備える一次純水製造装置10に原水を通水して一次純水を製造し、この一次純水を二次純水製造装置20に通水して超純水を製造する超純水製造装置において、二次純水製造装置20からの二次純水を第2熱交換器42及び第3熱交換器43で加熱してユースポイント40へ送る。第2熱交換器42の熱源はユースポイント40からの戻り水である。第3熱交換器43の熱源は蒸気である。
【選択図】図1
Description
15 熱交換器
20 二次純水製造装置
21 サブタンク
40 ユースポイント
43 熱交換器
45 前段側熱交換器
46 後段側熱交換器
50,51,52 超純水返送用配管
Claims (4)
- 一次純水製造装置と、該一次純水製造装置からの一次純水を処理して超純水を製造する二次純水製造装置と、該二次純水製造装置からの超純水を加熱するための熱交換器とを有し、該熱交換器で加熱された超純水をユースポイントに供給する超純水製造装置において、
該熱交換器として、ユースポイントからの戻り水を熱源とする前段側熱交換器と、該前段側熱交換器で加熱された超純水をさらに加熱する後段側熱交換器とを備えたことを特徴とする超純水製造装置。 - 請求項1において、該後段側熱交換器は蒸気を熱源とすることを特徴とする超純水製造装置。
- 請求項1又は2において、前記二次純水製造装置は、一次純水を受け入れるサブタンクを備えており、
前記前段側熱交換器を通ったユースポイント戻り水が該サブタンクに導入されることを特徴とする超純水製造装置。 - 一次純水製造装置と、該一次純水製造装置からの一次純水を処理して超純水を製造する二次純水製造装置と、該二次純水製造装置からの超純水の一部が導入される水質測定器とを有する超純水製造装置において、
該水質測定器からの測定廃水を処理して前記一次純水製造装置で利用することを特徴とする超純水製造装置。
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