JP2018020272A - 超純水製造装置および超純水製造方法 - Google Patents
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- マイクロウェーブにより紫外線発光する発光体を備える反応槽と、マイクロウェーブ発生手段と、を有し、前記マイクロウェーブ発生手段により発生させたマイクロウェーブを前記発光体に照射しながら、有機物を含む被処理水を前記反応槽に通水させて、前記有機物の酸化分解処理を行う紫外線照射処理装置を備えることを特徴とする超純水製造装置。
- 請求項1に記載の超純水製造装置であって、
前記紫外線照射処理装置の後段側に、マイクロウェーブによる加熱装置を備えることを特徴とする超純水製造装置。 - 請求項2に記載の超純水製造装置であって、
前記加熱装置により加熱された加熱水のTOC濃度および温度のうちの少なくとも1つの値に応じて、前記マイクロウェーブ発生手段および前記加熱装置のうちの少なくとも1つで用いられるマイクロウェーブの出力を制御することを特徴とする超純水製造装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の超純水製造装置であって、
前記被処理水の電気抵抗率が1MΩ・cm以上であり、かつ前記被処理水のTOC濃度が100ppb未満であることを特徴とする超純水製造装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の超純水製造装置であって、
一次純水製造装置により製造された一次純水を前記被処理水として用いることを特徴とする超純水製造装置。 - マイクロウェーブ発生手段により発生させたマイクロウェーブを、マイクロウェーブにより紫外線発光する発光体を備える反応槽における前記発光体に照射しながら、有機物を含む被処理水を前記反応槽に通水させて、前記有機物の酸化分解処理を行う紫外線照射処理工程を含むことを特徴とする超純水製造方法。
- 請求項6に記載の超純水製造方法であって、
前記紫外線照射処理工程の後段側に、マイクロウェーブによる加熱工程を含むことを特徴とする超純水製造方法。 - 請求項7に記載の超純水製造方法であって、
前記加熱工程により加熱された加熱水のTOC濃度および温度のうちの少なくとも1つの値に応じて、前記マイクロウェーブ発生手段および前記加熱工程のうちの少なくとも1つで用いられるマイクロウェーブの出力を制御することを特徴とする超純水製造方法。 - 請求項6〜8のいずれか1項に記載の超純水製造方法であって、
前記被処理水の電気抵抗率が1MΩ・cm以上であり、かつ前記被処理水のTOC濃度が100ppb未満であることを特徴とする超純水製造方法。 - 請求項6〜9のいずれか1項に記載の超純水製造方法であって、
一次純水製造工程により製造された一次純水を前記被処理水として用いることを特徴とする超純水製造方法。
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Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01307487A (ja) * | 1988-06-02 | 1989-12-12 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水供給端末殺菌装置 |
JPH06147390A (ja) * | 1992-11-11 | 1994-05-27 | Shinko Pantec Co Ltd | 純水加熱装置 |
JPH09253638A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-09-30 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水製造装置 |
JPH1119637A (ja) * | 1997-07-03 | 1999-01-26 | Daido Hoxan Inc | 浴槽湯水の循環恒温浄化装置 |
JP2000283939A (ja) * | 1999-03-29 | 2000-10-13 | Japan Organo Co Ltd | 水質監視装置及び水質監視方法並びに脱塩装置 |
JP2002263643A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-17 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置 |
US20040232358A1 (en) * | 2001-08-30 | 2004-11-25 | Moruzzi James Lodovico | Pulsed uv light source |
JP2008159387A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Satoshi Horikoshi | 紫外線光源及び化学反応促進装置 |
JP2010123897A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Kurita Water Ind Ltd | 温超純水供給ユースポイント配管の立ち上げ洗浄方法 |
JP2010274173A (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-09 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
JP2013202610A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-07 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置 |
JP2014079722A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Japan Organo Co Ltd | オゾン水製造方法 |
-
2016
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01307487A (ja) * | 1988-06-02 | 1989-12-12 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水供給端末殺菌装置 |
JPH06147390A (ja) * | 1992-11-11 | 1994-05-27 | Shinko Pantec Co Ltd | 純水加熱装置 |
JPH09253638A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-09-30 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水製造装置 |
JPH1119637A (ja) * | 1997-07-03 | 1999-01-26 | Daido Hoxan Inc | 浴槽湯水の循環恒温浄化装置 |
JP2000283939A (ja) * | 1999-03-29 | 2000-10-13 | Japan Organo Co Ltd | 水質監視装置及び水質監視方法並びに脱塩装置 |
JP2002263643A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-17 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置 |
US20040232358A1 (en) * | 2001-08-30 | 2004-11-25 | Moruzzi James Lodovico | Pulsed uv light source |
JP2008159387A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Satoshi Horikoshi | 紫外線光源及び化学反応促進装置 |
JP2010123897A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Kurita Water Ind Ltd | 温超純水供給ユースポイント配管の立ち上げ洗浄方法 |
JP2010274173A (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-09 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
JP2013202610A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-07 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置 |
JP2014079722A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Japan Organo Co Ltd | オゾン水製造方法 |
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