JP5962135B2 - 超純水製造装置 - Google Patents
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(i) TOC濃度200ppb以上:排水受槽14へ送水。
(ii) TOC濃度100〜200ppb:回収水槽17へ送水。
(iii) TOC濃度50〜100ppb:脱塩水槽4へ送水。
(iv) TOC濃度50ppb以下:一次純水槽7へ送水。
13,21,22,23 排水送水用配管
Claims (5)
- 一次純水製造装置と、該一次純水製造装置から一次純水槽を経て送られた一次純水を処理して超純水を製造する二次純水製造装置と、該二次純水製造装置からの超純水をユースポイントに供給する手段と、
該ユースポイントで未使用の超純水を該一次純水槽に返送する手段と、
該ユースポイントからの排水を処理する排水処理手段とを有する超純水製造装置において、
該排水処理手段の処理水を一次純水製造装置に送水する第1送水手段と、
該ユースポイントからの排水を二次純水製造装置に送水する第2送水手段と、
該ユースポイントからの排水を前記排水処理手段の最上流部に送水する第3送水手段と、
該ユースポイントからの排水を前記排水処理手段の途中部に送水する第4送水手段と、
該ユースポイントからの排水を一次純水製造装置に送水する第5送水手段と、
第1ないし第5の送水手段のうち作動させるものを選択する選択手段とを備えたことを特徴とする超純水製造装置。 - 請求項1において、前記一次純水製造装置は、少なくとも、順次に通水される第1逆浸透膜処理装置、脱塩水槽及び第2逆浸透膜処理装置を備えており、前記第1送水手段及び第5送水手段は該脱塩水槽に送水することを特徴とする超純水製造装置。
- 請求項1又は2において、前記第2送水手段は前記二次純水製造装置の最上流部に送水することを特徴とする超純水製造装置。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記選択手段は、ユースポイントの稼動形態に応じて送水手段を選択することを特徴とする超純水製造装置。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記選択手段は、ユースポイントからの排水の水質に応じて送水手段を選択することを特徴とする超純水製造装置。
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