CN112723623B - 超纯水制备系统和超纯水制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种超纯水制备系统和超纯水制备方法，超纯水制备系统包括生产三级水和一级水的超纯水处理管路，用于生产三级水和一级水，超纯水制备系统还包括：位于三级水的产出位置的第一检测部件，用于检测三级水的电导率或电阻率以判断三级水是否合格；第一支路，其入口与第一检测部件下游的管路连接，出口位于废水排放处，以使不合格的三级水到达废水排放处；第二支路，其入口位于一级水的产出位置处，出口位于三级水的产出位置和第一检测部件之间，以在三级水在预设时间内一直不合格时，停止生产三级水并用剩余的部分三级水生产一级水，利用一级水清洗第一检测部件，解决了现有技术中超纯水机关机再开机后的初始产水存在电导率不合格的问题。
Description
技术领域
本发明涉及超纯水机领域，具体而言，涉及一种超纯水制备系统和超纯水制备方法。
背景技术
现有技术中，实验室的超纯水机是以市政自来水为原水，经过超滤滤芯、炭纤维滤芯、一级反渗透膜、二级反渗透膜、EDI模块、紫外线杀菌和抛光树脂滤芯7级处理后得到超纯水，有效滤除了原水中的悬浮物、铁锈、余氯、有机物、细菌和离子等杂质，出水水质符合GB/T6682-2018一级水用水标准。
超纯水机适用于实验室等需要使用超纯水的场所，以实时提供三级水和一级水。其中，反渗透膜必须在一定压力下运行才能保证产水水质，而关机后超纯水机不能提供压力，在渗透的作用下经过反渗透膜的产水的电导率会超标，即再次开机后初始产水存在电导率不合格的问题，这部分不合格产水经过电导率传感器及电导池后直达三级水箱，导致三级水箱内的三级水的电导率偏高。长期使用不合格产水的电导池内会逐渐积累杂质，最终导致超纯水机长时间生产不合格的三级水(纯水)和一级水(超纯水)。
其中，电导率是用来描述物质中电荷流动难易程度的参数，水样本的电导率是测量水的含盐成分、含离子成分、含杂质成分等等的重要指标。电阻率和电导率互为倒数，电阻率＝1/电导率，水越纯净，电导率越低，电阻率越高。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种超纯水制备系统和超纯水制备方法，以解决现有技术中的超纯水机关机再开机后的初始产水存在电导率不合格的问题。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种超纯水制备系统，包括超纯水处理管路，超纯水处理管路用于生产三级水和一级水，三级水经处理后得到一级水，超纯水制备系统还包括：第一检测部件，第一检测部件设置在超纯水处理管路的三级水的产出位置处，以通过检测三级水的电导率或电阻率来判断产出的三级水是否合格；第一支路，第一支路的入口与超纯水处理管路的位于第一检测部件下游的管路连接，第一支路的出口设置在超纯水处理管路的废水排放处，以将第一检测部件所测得的不合格的三级水排放至废水排放处；第二支路，第二支路的入口设置在超纯水处理管路的一级水的产出位置处，第二支路的出口设置在三级水的产出位置和第一检测部件之间的管路上，以在第一检测部件所测得的三级水的电导率或电阻率在预设时间段内一直不合格时，停止生产三级水并利用剩余的部分三级水生产一级水，以使产出的一级水通过第二支路排放至第一检测部件处以对其进行清洗；其中，三级水为纯水，一级水为超纯水。
进一步地，第一检测部件包括第一电导池和设置在第一电导池中的第一电导率传感器或第一电阻率传感器，第一电导池设置在超纯水处理管路上。
进一步地，第一支路上设置有第一电磁阀，第一电磁阀位于第一支路的入口处，以用于控制第一支路的通断。
进一步地，超纯水制备系统还包括第二检测部件，第二检测部件设置在超纯水处理管路上的一级水的产出位置和第二支路的入口之间，以通过检测一级水的电导率或电阻率来判断一级水是否合格，以使第二检测部件所测得的不合格的一级水依次通过第二支路和第一支路排放至废水排放处。
进一步地，第二检测部件包括第二电导池和设置在第二电导池中的第二电导率传感器或第二电阻率传感器，第二电导池设置在超纯水处理管路上。
进一步地，第二支路包括：第二电磁阀，第二电磁阀设置在第二支路的入口处，用于控制第二支路的通断，以防止合格的一级水通过第二支路排放至废水排放处；第一逆止阀，第一逆止阀设置在第二支路的出口处，第一逆止阀的入口与第二电磁阀连接，第一逆止阀的出口与第一检测部件和三级水的产出口之间的管路连通，以用于防止由三级水的产出口产出的三级水流到第二支路上。
进一步地，超纯水处理管路还包括第二逆止阀，第二逆止阀设置在第一逆止阀的出口和三级水的产出口之间，第二逆止阀的入口与三级水的产出口连接，第二逆止阀的出口与第一检测部件的入口连通，以用于防止由第二支路的出口流出的不合格的一级水到达三级水的产出口之前的管路上。
进一步地，超纯水处理管路还包括第五电磁阀，第二支路的入口位于第五电磁阀和第二检测部件之间；以用于防止不合格的一级水到达超纯水处理管路的一级水排放口处。
进一步地，超纯水处理管路还包括第四电磁阀，第一支路的入口位于第四电磁阀和第一检测部件之间，以用于防止不合格的三级水被取出使用或用于生产一级水。
进一步地，超纯水处理管路包括依次连接的超滤滤芯、炭纤维滤芯、一级反渗透膜、二级反渗透膜、三级水箱、EDI模块、第一紫外杀菌器和抛光树脂滤芯；其中，第一检测部件设置在二级反渗透膜的出口处，第二检测部件设置在抛光树脂滤芯的出口处。
根据本发明的另一方面，提供了一种超纯水制备方法，超纯水制备方法适用于上述的超纯水制备系统，超纯水制备方法包括：当生产三级水时，通过第一检测部件检测三级水的电导率或电阻率，并将之与三级水的标准电导率或三级水的标准电阻率作比较，以判断三级水是否合格；当检测到三级水不合格时，将不合格的三级水通过超纯水制备系统的第一支路排放至废水排放处；当检测到三级水合格时，将合格的三级水排出至三级水排放口或利用合格的三级水生产一级水。
进一步地，超纯水制备方法还包括：当第一检测部件所测得的三级水的电导率或电阻率一直不合格时，停止生产三级水，并使用超纯水处理管路中剩余的部分三级水来生产一级水，使产出的一级水通过超纯水制备系统的第二支路进入第一检测部件的第一电导池中，对第一电导池进行清洗，并通过第一支路排出至超纯水处理管路的废水排放处。
进一步地，超纯水制备方法还包括：当生产一级水时，检测一级水的电导率或电阻率，并将之与一级水的标准电导率或一级水的标准电阻率作比较，以判断一级水是否合格；当检测到一级水不合格时，将不合格的一级水依次通过第二支路和第一支路排放至废水排放处；当检测到一级水合格时，将合格的一级水排出至一级水排放口。
应用本发明的技术方案，本发明的超纯水制备系统通过在超纯水处理管路的三级水的产出位置处设置第一检测部件和第一支路，以在检测到三级水不合格时，将不合格的三级水通过第一支路排出；在检测到三级水合格时，将合格的三级水排放至三级水排放口或用于制备一级水，以确保用于制备一级水的三级水为合格的三级水，不影响一级水的制备。另外，本发明还在一级水的产出位置处设置了第二支路，以在长期使用后由于第一检测部件处的杂质累积到一定量而导致所测得的电导率或电阻率在预设时间段内一直不合格时，停止生产三级水，并使用超纯水处理管路中剩余的部分三级水来生产一级水，以对第一检测部件处进行清洗。这样，本发明解决了现有技术中的超纯水机关机再开机后的初始产水存在电导率不合格的问题，还解决了长期使用不合格产水的第一检测部件处处会逐渐积累杂质，最终导致超纯水机长时间生产不合格的三级水和一级水的问题。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了根据本发明的超纯水制备系统的实施例的结构示意图；以及
图2示出了根据本发明的超纯水制备方法的实施例的工作流程图。
其中，上述附图包括以下附图标记：
01、原水入口；02、三级水排放口；03、一级水排放口；04、废水排放处；10、超纯水处理管路；1、超滤滤芯；2、炭纤维滤芯；3、一级反渗透膜；4、二级反渗透膜；5、EDI模块；6、第一紫外杀菌器；7、抛光树脂滤芯；8、三级水箱；11、第三电磁阀；12、第二逆止阀；13、第四电磁阀；14、第五电磁阀；15、取水臂；16、取水阀；17、第六电磁阀；18、第七电磁阀；19、第八电磁阀；20、第一支路；21、第一检测部件；22、第一电磁阀；30、第二支路；31、第二检测部件；32、第二电磁阀；33、第一逆止阀。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
如图1所示，本发明提供了一种超纯水制备系统，包括超纯水处理管路10，超纯水处理管路10用于生产三级水和一级水，三级水经处理后得到一级水，超纯水制备系统还包括：第一检测部件21，第一检测部件21设置在超纯水处理管路10的三级水的产出位置处，以通过检测三级水的电导率或电阻率来判断产出的三级水是否合格；第一支路20，第一支路20的入口与超纯水处理管路10的位于第一检测部件21下游的管路连接，第一支路20的出口设置在超纯水处理管路10的废水排放处04，以将第一检测部件21所测得的不合格的三级水排放至废水排放处04；第二支路30，第二支路30的入口设置在超纯水处理管路10的一级水的产出位置处，第二支路30的出口设置在三级水的产出位置和第一检测部件21之间的管路上，以在第一检测部件21所测得的三级水的电导率或电阻率在预设时间段内一直不合格时，停止生产三级水并利用剩余的部分三级水生产一级水，以使产出的一级水通过第二支路30排放至第一检测部件21处以对其进行清洗；其中，三级水为纯水，一级水为超纯水。
本发明的超纯水制备系统通过在超纯水处理管路10的三级水的产出位置处设置第一检测部件21和第一支路20，以在检测到三级水不合格时，将不合格的三级水通过第一支路20排出；在检测到三级水合格时，将合格的三级水排放至三级水排放口02或用于制备一级水，以确保用于制备一级水的三级水为合格的三级水，不影响一级水的制备。另外，本发明还在一级水的产出位置处设置了第二支路30，以在长期使用后由于第一检测部件21处的杂质累积到一定量而导致所测得的电导率或电阻率在预设时间段内一直不合格时，停止生产三级水，并使用超纯水处理管路10中剩余的部分三级水来生产一级水，以对第一检测部件21处进行清洗。这样，本发明解决了现有技术中的超纯水机关机再开机后的初始产水存在电导率不合格的问题，还解决了长期使用不合格产水的第一检测部件21处会逐渐积累杂质，最终导致超纯水机长时间生产不合格的三级水和一级水的问题。
具体地，预设时间段大于或等于所测得的现有技术中的超纯水机从检测到出现三级水不合格的问题开始直到检测到三级水合格为止所需的时间段。由于预设时间段是与超纯水机的产水速率和反渗透膜壳容量相关的，因此针对不同规格的超纯水机，预设时间段的长度是有差异的。
合格的三级水是指符合GB/T6682-2018分析实验室用水国家标准中所规定的三级水的水质规格的水。
合格的一级水是指符合GB/T6682-2018分析实验室用水国家标准中所规定的一级水的水质规格的水。
GB/T6682-2018分析实验室用水国家标准中有一级水、二级水和三级水，但是大多数实验室使用三级水和一级水即可。其中，三级水用于一般化学分析试验；一级水主要用于有严格要求的分析试验，如化学成分分析或液相、原子吸收等精密仪器分析。
具体地，第一检测部件21包括第一电导池和设置在第一电导池中的第一电导率传感器或第一电阻率传感器，第一电导池设置在超纯水处理管路10上。
第一电导池串联在超纯水处理管路10上，产出的待检测的三级水通过第一电导池的进水口进入第一电导池中，并由第一电导池的出水口流出，第一电导率传感器或第一电阻率传感器设置在第一电导池中，以用于检测第一电导池中的三级水的电导率或电阻率。
优选地，第一支路20上设置有第一电磁阀22，第一电磁阀22位于第一支路20的入口处，以用于控制第一支路20的通断。这样，可以防止合格的三级水流入第一支路20中。
优选地，超纯水制备系统还包括第二检测部件31，第二检测部件31设置在超纯水处理管路10上的一级水的产出位置和第二支路30的入口之间，以通过检测一级水的电导率或电阻率来判断一级水是否合格，以使第二检测部件31所测得的不合格的一级水依次通过第二支路30和第一支路20排放至废水排放处04。
当第二检测部件31检测到待检测的一级水不合格时，将不合格的一级水通过第二支路30和第一支路20排出；当检测到待检测的一级水合格时，可以取用合格的一级水。
具体地，第二检测部件31包括第二电导池和设置在第二电导池中的第二电导率传感器或第二电阻率传感器，第二电导池设置在超纯水处理管路10上。
第二电导池串联在超纯水处理管路10上，产出的一级水通过第二电导池的进水口进入第二电导池中，并由第二电导池的出水口流出，第二电导率传感器或第二电阻率传感器设置在第二电导池中，以用于检测第二电导池中的一级水的电导率或电阻率。
优选地，第二支路30包括：第二电磁阀32，第二电磁阀32设置在第二支路30的入口处，用于控制第二支路30的通断，以防止合格的一级水通过第二支路30排放至废水排放处04；第一逆止阀33，第一逆止阀33设置在第二支路30的出口处，第一逆止阀33的入口与第二电磁阀32连接，第一逆止阀33的出口与第一检测部件21和三级水的产出口之间的管路连通，以用于防止由三级水的产出口产出的三级水流到第二支路30上。另外，第一逆止阀33的设置也防止了第二支路30中流出的不合格的一级水倒流回第二支路30中。
优选地，超纯水处理管路10还包括第二逆止阀12，第二逆止阀12设置在第一逆止阀33的出口和三级水的产出口之间，第二逆止阀12的入口与三级水的产出口连接，第二逆止阀12的出口与第一检测部件21的入口连通，以用于防止由第二支路30的出口流出的不合格的一级水到达三级水的产出口之前的管路上。另外，第二逆止阀12的设置也防止了生产出的三级水倒流回第一逆止阀33之前的管路上。
优选地，超纯水处理管路10还包括第五电磁阀14，第二支路30的入口位于第五电磁阀14和第二检测部件31之间；以用于防止不合格的一级水到达超纯水处理管路10的一级水排放口03处。这样，第五电磁阀14保证了不合格的产水能够从第一支路20排出。
优选地，超纯水处理管路10还包括第四电磁阀13，第一支路20的入口位于第四电磁阀13和第一检测部件21之间，以用于防止不合格的三级水被取出使用或用于生产一级水。
具体地，超纯水处理管路10包括依次连接的超滤滤芯1、炭纤维滤芯2、一级反渗透膜3、二级反渗透膜4、三级水箱8、EDI模块5、第一紫外杀菌器6和抛光树脂滤芯7；其中，第一检测部件21设置在二级反渗透膜4的出口处，第二检测部件31设置在抛光树脂滤芯7的出口处。
其中，二级反渗透膜4的出口处即为三级水的产出口，抛光树脂滤芯7的出口处即为一级水的产出口。
超滤滤芯1中的超滤是指一种加压膜分离技术，以超滤膜为过滤介质，以超滤膜两侧的压差为驱动力，比膜孔大的溶质被超滤膜截流，比膜孔小的溶质通过超滤膜到达下一个处理位置处。
EDI模块5中的EDI是指连续电除盐技术，是将电渗析和离子交换相结合的除盐新工艺。
具体地，第四电磁阀13设置在第一支路20的入口和三级水箱8之间，以用于防止不合格的三级水到达三级水箱8。
具体地，本发明的超纯水处理管路10的一级水排放管路包括依次串联的第三电磁阀11、超滤滤芯1、炭纤维滤芯2、一级反渗透膜3、二级反渗透膜4、第二逆止阀12、第一检测部件21、第四电磁阀13、三级水箱8、EDI模块5、第一紫外杀菌器6、抛光树脂滤芯7、第二检测部件31、第五电磁阀14和取水臂15，原水入口01位于第三电磁阀11之前，一级水排放口03位于取水臂15之后。
另外，三级水箱8还与三级水排放口02连接，取水阀16设置在三级水箱8和三级水排放口02之间，以用于控制三级水箱8和三级水排放口02之间的管路的通断。
超滤滤芯1、一级反渗透膜3、二级反渗透膜4以及EDI模块5均与废水排放处04连通，以将具有过滤出的杂质的浓溶液排放至废水排放处04，超滤滤芯1、一级反渗透膜3和二级反渗透膜4与废水排放处04连通的管路上分别设置有第六电磁阀17、第七电磁阀18和第八电磁阀19，以用于控制相应的各个部件与废水排放处04之间的管路的通断。
其中，第一支路20的入口位于第一检测部件21和第四电磁阀13之间，第一支路20的出口位于废水排放处04；第二支路30的入口位于第二检测部件31和第五电磁阀14之间，第二支路30的出口位于第二逆止阀12和第一检测部件21之间。
本发明的超纯水制备系统通过第一检测部件21和第二检测部件31的检测结果来实现排放处理不合格的三级水和不合格的一级水以及自动化清洗传感器及其电导池的功能。
本发明还提供了一种超纯水制备方法，超纯水制备方法适用于上述的超纯水制备系统，超纯水制备方法包括：当生产三级水时，通过第一检测部件21检测三级水的电导率或电阻率，并将之与三级水的标准电导率或三级水的标准电阻率作比较，以判断三级水是否合格；当检测到三级水不合格时，将不合格的三级水通过超纯水制备系统的第一支路20排放至废水排放处04；当检测到三级水合格时，将合格的三级水排出至三级水排放口02或利用合格的三级水生产一级水。
如图2所示，本发明的超纯水制备方法中三级水的制备流程如下：
打开第三电磁阀11，原水依次通过原水入口01、第三电磁阀11、超滤滤芯1、炭纤维滤芯2、一级反渗透膜3、二级反渗透膜4后产出的水的水即为待检测的三级水，通过第一检测部件21检测生产出的该三级水的电导率或电阻率，并将之与三级水的标准电导率或三级水的标准电阻率作比较。
当生产出的三级水不合格时，关闭第四电磁阀13并打开第一电磁阀22，将不合格的三级水通过废水支路排出。
当生产出的三级水合格时，打开第四电磁阀13并关闭第一电磁阀22，使合格的三级水到达三级水箱8处并储存在三级水箱8中，三级水箱8中的第二紫外杀菌器对其内的合格的三级水进行消毒，打开取水阀16可取用合格的三级水。
当三级水箱8内的合格的三级水的水位到达中水位时，可开始生产一级水；当三级水箱8内的合格的三级水的水位在低水位之下时，停止生产一级水，继续生产三级水并使三级水箱8内的合格的三级水的水位达到高水位。
可选地，原水为市政自来水。
超纯水制备方法还包括：当第一检测部件21所测得的三级水的电导率或电阻率一直不合格时，停止生产三级水，并使用超纯水处理管路10中剩余的部分三级水来生产一级水，使产出的一级水通过超纯水制备系统的第二支路30进入第一检测部件21的第一电导池中，对第一电导池进行清洗，并通过第一支路20排出至超纯水处理管路10的废水排放处04。
如图2所示，当第一检测部件21检测到二级反渗透膜4处的产出的三级水长时间不合格时，停止生产三级水，并使用三级水箱8内剩余的高于低水位的三级水来生产一级水，关闭第五电磁阀14，打开第二电磁阀32，关闭第四电磁阀13并打开第一电磁阀22，使一级水通过第二支路30进入第一电导池中对第一电导池进行清洗，以带走第一电导池内累积的杂质，并经第一支路20排出。
超纯水制备方法还包括：当生产一级水时，检测一级水的电导率或电阻率，并将之与一级水的标准电导率或一级水的标准电阻率作比较，以判断一级水是否合格；当检测到一级水不合格时，将不合格的一级水依次通过第二支路30和第一支路20排放至废水排放处04；当检测到一级水合格时，将合格的一级水排出至一级水排放口03。
如图2所示，本发明的超纯水制备方法中一级水的制备流程如下：
三级水箱8内的合格的三级水经过EDI模块5、第一紫外杀菌器6、抛光树脂滤芯7过滤后的产水为待检测的一级水，通过第二检测部件31检测生产出的该一级水的电导率和电阻率，并将之与一级水的标准电导率或一级水的标准电阻率作比较。
当生产出的一级水不合格时，关闭第五电磁阀14，打开第二电磁阀32，关闭第四电磁阀13并打开第一电磁阀22，使不合格的一级水通过第二支路30和第一支路20排出至废水排放处04。
当生产出的一级水合格时，关闭第二电磁阀32并打开第五电磁阀14，可通过取水臂15取用合格的一级水。
另外，超滤滤芯1、一级反渗透膜3、二级反渗透膜4以及EDI模块5处均将具有过滤出的杂质的溶液排放至废水排放处04。
从以上的描述中，可以看出，本发明上述的实施例实现了如下技术效果：
本发明的超纯水制备系统通过在超纯水处理管路10的三级水的产出位置处设置第一检测部件21和第一支路20，以在检测到三级水不合格时，将不合格的三级水通过第一支路20排出；在检测到三级水合格时，将合格的三级水排放至三级水排放口02或用于制备一级水，以确保用于制备一级水的三级水为合格的三级水，不影响一级水的制备。另外，本发明还在一级水的产出位置处设置了第二支路30，以在长期使用后由于第一检测部件21处的杂质累积到一定量而导致所测得的电导率或电阻率在预设时间段内一直不合格时，停止生产三级水，并使用超纯水处理管路10中剩余的部分三级水来生产一级水，以对第一检测部件21处进行清洗。这样，本发明解决了现有技术中的超纯水机关机再开机后的初始产水存在电导率不合格的问题，还解决了长期使用不合格产水的第一检测部件21处会逐渐积累杂质，最终导致超纯水机长时间生产不合格的三级水和一级水的问题。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (12)
1.一种超纯水制备系统，包括超纯水处理管路(10)，所述超纯水处理管路(10)用于生产三级水和一级水，所述三级水经处理后得到所述一级水，其特征在于，所述超纯水制备系统还包括：
第一检测部件(21)，所述第一检测部件(21)设置在所述超纯水处理管路(10)的三级水的产出位置处，以通过检测所述三级水的电导率或电阻率来判断产出的所述三级水是否合格；
第一支路(20)，所述第一支路(20)的入口与所述超纯水处理管路(10)的位于所述第一检测部件(21)下游的管路连接，所述第一支路(20)的出口设置在所述超纯水处理管路(10)的废水排放处(04)，以将所述第一检测部件(21)所测得的不合格的三级水排放至所述废水排放处(04)；
第二支路(30)，所述第二支路(30)的入口设置在所述超纯水处理管路(10)的所述一级水的产出位置处，所述第二支路(30)的出口设置在所述三级水的产出位置和所述第一检测部件(21)之间的管路上，以在所述第一检测部件(21)所测得的三级水的电导率或电阻率在预设时间段内一直不合格时，停止生产三级水并利用剩余的部分三级水生产一级水，以使产出的所述一级水通过所述第二支路(30)排放至所述第一检测部件(21)处以对其进行清洗；
其中，所述三级水为纯水，所述一级水为超纯水。
2.根据权利要求1所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述第一检测部件(21)包括第一电导池和设置在所述第一电导池中的第一电导率传感器或第一电阻率传感器，所述第一电导池设置在所述超纯水处理管路(10)上。
3.根据权利要求1所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述第一支路(20)上设置有第一电磁阀(22)，所述第一电磁阀(22)位于所述第一支路(20)的入口处，以用于控制所述第一支路(20)的通断。
4.根据权利要求1所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述超纯水制备系统还包括第二检测部件(31)，所述第二检测部件(31)设置在所述超纯水处理管路(10)上的一级水的产出位置和所述第二支路(30)的入口之间，以通过检测所述一级水的电导率或电阻率来判断所述一级水是否合格，以使所述第二检测部件(31)所测得的不合格的一级水依次通过所述第二支路(30)和所述第一支路(20)排放至所述废水排放处(04)。
5.根据权利要求4所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述第二检测部件(31)包括第二电导池和设置在所述第二电导池中的第二电导率传感器或第二电阻率传感器，所述第二电导池设置在所述超纯水处理管路(10)上。
6.根据权利要求4所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述第二支路(30)包括：
第二电磁阀(32)，所述第二电磁阀(32)设置在所述第二支路(30)的入口处，用于控制所述第二支路(30)的通断，以防止合格的一级水通过所述第二支路(30)排放至所述废水排放处(04)；
第一逆止阀(33)，所述第一逆止阀(33)设置在所述第二支路(30)的出口处，所述第一逆止阀(33)的入口与所述第二电磁阀(32)连接，所述第一逆止阀(33)的出口与所述第一检测部件(21)和所述三级水的产出口之间的管路连通，以用于防止由所述三级水的产出口产出的三级水流到所述第二支路(30)上。
7.根据权利要求6所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述超纯水处理管路(10)还包括第二逆止阀(12)，所述第二逆止阀(12)设置在所述第一逆止阀(33)的出口和所述三级水的产出口之间，所述第二逆止阀(12)的入口与所述三级水的产出口连接，所述第二逆止阀(12)的出口与所述第一检测部件(21)的入口连通，以用于防止由所述第二支路(30)的出口流出的不合格的一级水到达所述三级水的产出口之前的管路上。
8.根据权利要求4所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述超纯水处理管路(10)还包括第五电磁阀(14)，所述第二支路(30)的入口位于所述第五电磁阀(14)和所述第二检测部件(31)之间；以用于防止不合格的一级水到达所述超纯水处理管路(10)的一级水排放口(03)处。
9.根据权利要求1所述的超纯水制备系统，其特征在于，所述超纯水处理管路(10)还包括第四电磁阀(13)，所述第一支路(20)的入口位于所述第四电磁阀(13)和所述第一检测部件(21)之间，以用于防止不合格的三级水被取出使用或用于生产一级水。
10.根据权利要求4所述的超纯水制备系统，其特征在于，
所述超纯水处理管路(10)包括依次连接的超滤滤芯(1)、炭纤维滤芯(2)、一级反渗透膜(3)、二级反渗透膜(4)、三级水箱(8)、EDI模块(5)、第一紫外杀菌器(6)和抛光树脂滤芯(7)；
其中，所述第一检测部件(21)设置在所述二级反渗透膜(4)的出口处，所述第二检测部件(31)设置在所述抛光树脂滤芯(7)的出口处。
11.一种超纯水制备方法，其特征在于，所述超纯水制备方法适用于权利要求1至10中任一项所述的超纯水制备系统，所述超纯水制备方法包括：
当生产三级水时，通过所述第一检测部件(21)检测所述三级水的电导率或电阻率，并将之与三级水的标准电导率或三级水的标准电阻率作比较，以判断所述三级水是否合格；
当检测到所述三级水不合格时，将不合格的所述三级水通过所述超纯水制备系统的第一支路(20)排放至所述废水排放处(04)；
当检测到所述三级水合格时，将合格的所述三级水排出至三级水排放口(02)或利用合格的所述三级水生产一级水；
当所述第一检测部件(21)所测得的三级水的电导率或电阻率一直不合格时，停止生产三级水，并使用所述超纯水处理管路(10)中剩余的部分三级水来生产一级水，使产出的所述一级水通过所述超纯水制备系统的第二支路(30)进入所述第一检测部件(21)的第一电导池中，对所述第一电导池进行清洗，并通过所述第一支路(20)排出至所述超纯水处理管路(10)的废水排放处(04)。
12.根据权利要求11所述的超纯水制备方法，其特征在于，所述超纯水制备方法还包括：
当生产一级水时，检测所述一级水的电导率或电阻率，并将之与一级水的标准电导率或一级水的标准电阻率作比较，以判断所述一级水是否合格；
当检测到所述一级水不合格时，将不合格的所述一级水依次通过所述第二支路(30)和所述第一支路(20)排放至所述废水排放处(04)；
当检测到所述一级水合格时，将合格的所述一级水排出至一级水排放口(03)。
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