JP6806179B2 - 監視装置、水処理システム及び水処理方法 - Google Patents
監視装置、水処理システム及び水処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6806179B2 JP6806179B2 JP2019061708A JP2019061708A JP6806179B2 JP 6806179 B2 JP6806179 B2 JP 6806179B2 JP 2019061708 A JP2019061708 A JP 2019061708A JP 2019061708 A JP2019061708 A JP 2019061708A JP 6806179 B2 JP6806179 B2 JP 6806179B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- reclaimed
- carbon amount
- toc2
- toc1
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 950
- 238000011282 treatment Methods 0.000 title claims description 105
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 279
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 279
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 230
- 101100435119 Arabidopsis thaliana APRR1 gene Proteins 0.000 claims description 165
- 101100435120 Arabidopsis thaliana APRR2 gene Proteins 0.000 claims description 165
- 101100481792 Schizosaccharomyces pombe (strain 972 / ATCC 24843) toc1 gene Proteins 0.000 claims description 165
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 89
- 230000002085 persistent effect Effects 0.000 claims description 85
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 67
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 49
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 claims description 32
- 238000002242 deionisation method Methods 0.000 claims description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 6
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 20
- 239000000047 product Substances 0.000 description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 7
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 7
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 6
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 6
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 6
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 6
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 5
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 5
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 5
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 150000003672 ureas Chemical class 0.000 description 3
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 2
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 2
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 2
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 2
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000009296 electrodeionization Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- -1 urea compound Chemical class 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002349 well water Substances 0.000 description 1
- 235000020681 well water Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N31/00—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/18—Water
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Pathology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Description
本発明は、監視装置、水処理システム及び水処理方法に関する。
一般に、純水は、濁質成分が除去された原水を、純水製造装置において、逆浸透膜処理や脱イオン処理等を行うことにより製造される。製造された純水は、ユースポイントに供給される。
最近は、環境負荷の低減やコスト低減のために、ユースポイントにおいて使用された純水を回収して再利用することが行われている。すなわち、ユースポイントにおいて使用された純水を回収水として回収し、回収水処理装置によって回収水中の不純物量を低減させて再生水とし、この再生水を再び純水製造装置に供給することが行われている。
例えば、特許文献１には、工場からの廃水または使用済みの超純水を回収水として回収し、回収水から超純水を製造する超純水製造装置が記載されている。特許文献１では、サブ超純水製造システムによって得られた処理水（超純水）中の全有機炭素濃度を測定することで、処理水の品質を管理している。
ところで、ユースポイントにおいては、純水に種々の薬剤を添加して各種の処理に用いたり、あるいは、中間製品や最終製品を洗浄する際に純水を洗浄水として利用することがある。このため、ユースポイントから回収された回収水には、様々な有機物が不純物として含まれる場合がある。そこで、回収水処理装置によって、純水製造装置の原水として利用可能な程度まで、回収水から不純物としての有機物を取り除いている。
しかし、有機物の中には、回収水処理装置や純水製造装置によっても除去が難しい難分解性有機物が存在する。このような難分解性有機物の例として、尿素および尿素化合物が挙げられる。このため、ユースポイントと回収水処理装置と純水製造装置とによって水の再利用システムを構築した場合、水の循環を繰り返すことにより、純水中に難分解性有機物が徐々に蓄積されるおそれがある。
一方、難分解性有機物は、全有機炭素濃度計で検出されるが、全有機炭素濃度計は、難分解性有機物以外の有機物も検出する。すなわち、全炭素濃度計は、難分解性有機物と、難分解性有機物以外の有機物の合計量を検出する。しかしながら、全炭素濃度計は、この合計量の中から難分解性有機物の量を求めることは難しいとされている。このため、特許文献１では、処理水中の全有機炭素濃度を測定しているものの、難分解性有機物の含有量は十分に監視できていない可能性がある。
一方、ユースポイントにおいては、純水の品質管理の一環で、純水中の難分解性有機物の濃度を監視する場合がある。供給された純水に、基準値を超える濃度の難分解性有機物が含まれる場合は、純水の受入れ及び利用を停止する必要があるが、代替の処理水を直ちに入手できるとは限らず、ユースポイントにおける操業に支障が生じるおそれがある。このため、純水の製造拠点においても、純水中の難分解性有機物の監視を行う必要がある。
しかし、上述したように、全炭素濃度計によって純水中の難分解性有機物の含有量を求めることは難しいとされている。また、難分解性有機物の測定に適した分析装置の導入も考えられるが、設備コストが増大するおそれがある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、全炭素濃度計によって難分解性有機物の濃度の監視を可能にする監視装置、この監視装置を備えた水処理システム及び水処理方法を提供することを課題とする。
上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を採用する。
［１］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて前記再生水を前記純水製造装置に供給する供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、を備え、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする監視装置。
［２］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて前記再生水を前記純水製造装置に供給する供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、前記第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな前記第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする監視装置。
［３］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて、前記再生水を前記純水製造装置若しくは別のユースポイントに供給するか、または前記再生水を外部に排出させる供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、を備え、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする監視装置。
［４］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて、前記再生水を前記純水製造装置若しくは別のユースポイントに供給するか、または前記再生水を外部に排出させる供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、前記第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな前記第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする監視装置。
［１］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて前記再生水を前記純水製造装置に供給する供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、を備え、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする監視装置。
［２］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて前記再生水を前記純水製造装置に供給する供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、前記第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな前記第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする監視装置。
［３］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて、前記再生水を前記純水製造装置若しくは別のユースポイントに供給するか、または前記再生水を外部に排出させる供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、を備え、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする監視装置。
［４］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて、前記再生水を前記純水製造装置若しくは別のユースポイントに供給するか、または前記再生水を外部に排出させる供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、前記第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな前記第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする監視装置。
［５］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、を少なくとも備え、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
を備え、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に前記再生水の供給手段が備えられ、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段は、前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする水処理システム。
［６］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置された前記再生水の供給手段と、を少なくとも備え、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係を判定し、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段によって前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする水処理システム。
［７］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、を少なくとも備えた水処理システムであって、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
を備え、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に前記再生水の供給手段が備えられ、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段は、前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段は、前記再生水を別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段は、前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする水処理システム。
［８］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置された前記再生水の供給手段と、を少なくとも備えた水処理システムであって、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段によって前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段によって前記再生水を別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段によって前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする水処理システム。
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、を少なくとも備え、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
を備え、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に前記再生水の供給手段が備えられ、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段は、前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする水処理システム。
［６］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置された前記再生水の供給手段と、を少なくとも備え、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係を判定し、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段によって前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする水処理システム。
［７］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、を少なくとも備えた水処理システムであって、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
を備え、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に前記再生水の供給手段が備えられ、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段は、前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段は、前記再生水を別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段は、前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする水処理システム。
［８］ ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置された前記再生水の供給手段と、を少なくとも備えた水処理システムであって、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段によって前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段によって前記再生水を別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段によって前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする水処理システム。
［９］ 再生水製造装置により、ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生工程と、
監視装置により、前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視工程と、
純水製造装置により、前記再生水から純水を製造する純水製造工程と、を少なくとも備え、
前記監視工程は、
第１全炭素量測定装置により、前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定し、
前記再生水から分取された第２試験水に対して、紫外線酸化装置による酸化分解処理と脱イオン装置による脱イオン処理を順次行ってから、第２全炭素量測定装置により、前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定し、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視し、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に備えられた前記再生水の供給手段により、前記再生水を前記純水製造装置に供給することを特徴とする水処理方法。
［１０］ 再生水製造装置により、ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生工程と、
監視装置により、前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視工程と、
純水製造装置により、前記再生水から純水を製造する純水製造工程と、を少なくとも備え、
前記監視工程は、
第１全炭素量測定装置により、前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定し、
前記再生水から分取された第２試験水に対して、紫外線酸化装置による酸化分解処理と脱イオン装置による脱イオン処理を順次行ってから、第２全炭素量測定装置により、前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定し、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視し、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に備えられた前記再生水の供給手段により、前記再生水を前記純水製造装置に供給し、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段により、前記再生水を別のユースポイントに供給し、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段により、前記再生水を水処理システムの外部に排出することを特徴とする水処理方法。
監視装置により、前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視工程と、
純水製造装置により、前記再生水から純水を製造する純水製造工程と、を少なくとも備え、
前記監視工程は、
第１全炭素量測定装置により、前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定し、
前記再生水から分取された第２試験水に対して、紫外線酸化装置による酸化分解処理と脱イオン装置による脱イオン処理を順次行ってから、第２全炭素量測定装置により、前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定し、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視し、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に備えられた前記再生水の供給手段により、前記再生水を前記純水製造装置に供給することを特徴とする水処理方法。
［１０］ 再生水製造装置により、ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生工程と、
監視装置により、前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視工程と、
純水製造装置により、前記再生水から純水を製造する純水製造工程と、を少なくとも備え、
前記監視工程は、
第１全炭素量測定装置により、前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定し、
前記再生水から分取された第２試験水に対して、紫外線酸化装置による酸化分解処理と脱イオン装置による脱イオン処理を順次行ってから、第２全炭素量測定装置により、前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定し、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視し、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に備えられた前記再生水の供給手段により、前記再生水を前記純水製造装置に供給し、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段により、前記再生水を別のユースポイントに供給し、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段により、前記再生水を水処理システムの外部に排出することを特徴とする水処理方法。
本発明の監視装置は、第１全炭素量測定装置と、第２全炭素量測定装置とが備えられており、第１全炭素量測定装置によって、監視対象水に含まれる有機物の全有機性炭素量TOC1が測定され、また、第２全炭素量測定装置によって、紫外線酸化装置及び脱イオン装置により除去されなかった有機物の全有機性炭素量TOC2が測定される。これら全有機性炭素量TOC1及びTOC2を把握することで、監視対象水の難分解性有機物の濃度の変動を監視でき、また、監視対象水の水質も監視できる。
また、本発明の監視装置は、全有機性炭素量TOC1及び第１閾値Th1の大小関係と全有機性炭素量TOC2及び第２閾値Th2の大小関係とから、難分解性物質の濃度を監視する制御部が更に備えられているので、難分解性有機物の濃度の変動を継続して監視できるとともに、監視対象水の水質も継続して監視できる。
次に、本発明の水処理システムは、ユースポイントにおいて使用された排水を再生水にする再生水製造装置と、再生水中の難分解性物質を監視する監視装置と、再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置とを備え、監視装置が、全有機性炭素量TOC1及びTOC2を把握することで、再生水中の難分解性有機物の濃度の変動を監視でき、また、再生水の水質も監視できる。
また、本発明の水処理システムは、供給手段を備えている場合に、全有機性炭素量TOC1、TOC2、第１閾値Th1及び第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、供給手段は、再生水を純水製造装置に供給させるので、難分解物質濃度が低く純水製造に適した再生水を純水製造装置に供給することができ、難分解性物質濃度が低減された純水を製造できる。
また、本発明の水処理システムは、制御部と供給手段とを備えている場合には、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、制御部は、供給手段によって再生水を純水製造装置に供給させるので、難分解物質濃度が低く純水製造に適した再生水を純水製造装置に供給することができ、難分解性物質濃度が低減された純水を製造できる。
また、本発明の水処理システムは、供給手段を備えている場合に、全有機性炭素量TOC1、TOC2、第１閾値Th1及び第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に供給手段は再生水を純水製造装置に供給させ、また、Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段は再生水を別のユースポイントに供給させ、更に、Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段は再生水を水処理システムの外部に排出させる。
また、本発明の水処理システムは、制御部と供給手段とを備えている場合に、制御部は、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に供給手段によって再生水を純水製造装置に供給させ、また、Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段によって再生水を別のユースポイントに供給させ、更に、Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段によって再生水を水処理システムの外部に排出させる。
これにより、再生水の水質に応じて、再生水の供給先を変更できる。すなわち、比較的高純度の再生水は純水製造装置の原水とし、純水製造装置の原水には適さないが他の用途に利用可能な純度を有する再生水は当該用途のユースポイントに供給し、別のユースポイントの利用にも適さない再生水は系外に排出することができ、再生水をその水質に応じて適切に利用できる。また、純水製造に適さない再生水は別のユースポイントに送るか、または系外に排出するので、純水製造装置、ユースポイント及び再生水製造装置を循環する水に難分解性物質を蓄積させることがなく、常に高品質な純水を製造できる。
また、本発明の水処理システムは、制御部と供給手段とを備えている場合に、制御部は、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に供給手段によって再生水を純水製造装置に供給させ、また、Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段によって再生水を別のユースポイントに供給させ、更に、Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段によって再生水を水処理システムの外部に排出させる。
これにより、再生水の水質に応じて、再生水の供給先を変更できる。すなわち、比較的高純度の再生水は純水製造装置の原水とし、純水製造装置の原水には適さないが他の用途に利用可能な純度を有する再生水は当該用途のユースポイントに供給し、別のユースポイントの利用にも適さない再生水は系外に排出することができ、再生水をその水質に応じて適切に利用できる。また、純水製造に適さない再生水は別のユースポイントに送るか、または系外に排出するので、純水製造装置、ユースポイント及び再生水製造装置を循環する水に難分解性物質を蓄積させることがなく、常に高品質な純水を製造できる。
次に、本発明の水処理方法は、ユースポイントにおいて使用された排水を再生水にする再生工程と、再生水中の難分解性物質を監視する監視工程と、再生水から純水を製造する純水製造工程とを備え、監視工程は、全有機性炭素量TOC1及び第１閾値Th1の大小関係と全有機性炭素量TOC2及び第２閾値Th2の大小関係とを判定するので、再生水中の難分解性有機物の濃度の変動及び再生水の水質を継続して監視することができ、難分解性有機物の濃度が低減された純水を製造できる。
また、本発明の水処理方法は、監視工程において、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、供給手段によって再生水を純水製造装置に供給するので、難分解物質濃度が低く純水製造に適した再生水を純水製造装置に供給することができ、難分解性物質濃度が低減された純水を製造できる。
また、本発明の水処理方法は、監視工程において、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に供給手段によって再生水を純水製造装置に供給し、また、Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段によって再生水を別のユースポイントに供給し、更に、Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段によって再生水を水処理システムの外部に排出する。これにより、再生水の水質に応じて、再生水の供給先を変更できる。すなわち、比較的高純度の再生水は純水製造装置の原水とし、純水製造装置の原水には適さないが他の用途に利用可能な純度を有する再生水は当該用途のユースポイントに供給し、別のユースポイントの利用にも適さない再生水は系外に排出することができ、再生水をその水質に応じて適切に利用できる。また、純水製造に適さない再生水は別のユースポイントに送るか、または系外に排出するので、純水製造装置、ユースポイント及び再生水製造装置を循環する水に難分解性物質を蓄積させることがなく、常に高品質な純水を製造できる。
以下、本発明の実施形態である監視装置、水処理システム、監視対象水中の難分解性物質の監視方法及び水処理方法について図１を参照して説明する。
（水処理システム、監視装置）
図１に示すように、本実施形態の水処理システム１は、再生水製造装置２と、監視装置３と、純水製造装置４と、供給手段５とを備えている。再生水製造装置２は、ユースポイント６１において使用された排水ｗ１を浄化して再生水ｗ２にするものである。また、監視装置３は、再生水製造装置２によって浄化された再生水ｗ２の一部を分取し、再生水ｗ２中の難分解性物質の濃度を監視する。供給手段５は、再生水製造装置２よって浄化された再生水ｗ２を、純水製造装置４、別のユースポイント６２または水処理システムの外部のいずれかに送る。また、純水製造装置４は、供給手段５から送られた再生水ｗ２を原水として受け入れ、再生水ｗ２から純水ｗ４を製造する。純水製造装置４によって製造された純水ｗ４は、ユースポイント６１に供給される。
図１に示すように、本実施形態の水処理システム１は、再生水製造装置２と、監視装置３と、純水製造装置４と、供給手段５とを備えている。再生水製造装置２は、ユースポイント６１において使用された排水ｗ１を浄化して再生水ｗ２にするものである。また、監視装置３は、再生水製造装置２によって浄化された再生水ｗ２の一部を分取し、再生水ｗ２中の難分解性物質の濃度を監視する。供給手段５は、再生水製造装置２よって浄化された再生水ｗ２を、純水製造装置４、別のユースポイント６２または水処理システムの外部のいずれかに送る。また、純水製造装置４は、供給手段５から送られた再生水ｗ２を原水として受け入れ、再生水ｗ２から純水ｗ４を製造する。純水製造装置４によって製造された純水ｗ４は、ユースポイント６１に供給される。
また、水処理システム１には、各装置間で水を送水するための供給路Ｌ１〜Ｌ６が設けられている。供給路Ｌ１は、ユースポイント６１と再生水製造装置２を接続し、ユースポイント６１から排出された排水ｗ１を再生水製造装置２に送る、供給路Ｌ２は、再生水製造装置２と監視装置３とを接続し、再生水ｗ２の一部を再生水製造装置２から監視装置３に送る。供給路Ｌ３は、再生水製造装置２と供給手段５とを接続し、再生水ｗ２の残部を再生水製造装置２から供給手段５に送る。
供給路Ｌ４は、供給手段５と純水製造装置４とを接続し、再生水ｗ２を供給手段５から純水製造装置４に送る。供給路Ｌ５は、供給手段５と別のユースポイント６２とを接続し、再生水ｗ２を供給手段５から別のユースポイント６２に送る。供給路Ｌ６は、再生水ｗ２を供給手段５から水処理システム１の外部に排出する。
ユースポイント６１は、純水製造装置４によって製造された純水ｗ４を利用する設備若しくは施設である。ユースポイント６１における純水ｗ４の利用形態は様々だが、例えば、純水ｗ４に種々の薬剤を添加して各種の処理に用いたり、あるいは、中間製品や最終製品を洗浄する際に純水ｗ４を洗浄水として利用する場合がある。このため、ユースポイント６１から回収された排水ｗ１には、様々な有機物が不純物として含まれる場合がある。
また、別のユースポイント６２は、再生水ｗ２を設備用水として利用可能な設備若しくは施設である。別のユースポイント６２では、純水ｗ４のような高純度の水は必要としない。このような設備の一例として一次純水程度の水質で十分適用可能な他のプロセスや、クーリングタワー、スクラバーやボイラー等を例示できる。
再生水製造装置２は、ユースポイント６１から排出された排水ｗ１を、純水製造装置４の原水として利用できる程度まで浄化できるものであればよい。例えば、再生水製造装置２は、逆浸透膜及び脱イオン装置を備えたものであってもよく、更に紫外線酸化装置を備えたものでもよく、更に脱ガス装置を備えたものでもよい。
監視装置３は、第１全炭素量測定装置３１と、紫外線酸化装置３２と、脱イオン装置３３と、第２全炭素量測定装置３４とを備えている。また、監視装置３は、制御部３５を備えていてもよい。監視装置３は、供給路Ｌ２を介して、再生水製造装置２によって浄化された再生水ｗ２の一部を、監視対象水ｗ３として受け入れる。そして、受け入れた監視対象水ｗ３を第１試験水ｗ３１と第２試験水ｗ３２の２つに二分し、第１試験水ｗ３１を第１全炭素量測定装置３１に送り、第２試験水ｗ３２を紫外線酸化装置３２に送る。
第１全炭素量測定装置３１は、再生水ｗ２から分取された第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1を測定するものである。すなわち、第１全炭素量測定装置３１は、再生水ｗ２の全有機性炭素量TOC1を測定するものである。また、第１全炭素量測定装置３１は、測定した全有機性炭素量TOC1を制御部３５に出力してもよい。
紫外線酸化装置３２は、再生水ｗ２からから分取された第２試験水ｗ３２に対して紫外線酸化処理を行う。紫外線酸化装置３２は、再生水ｗ２に含まれる有機物を、比較的低分子量の分解物にまで分解できるものがよく、より具体的には再生水ｗ２中の有機物を低分子量の有機酸まで分解できるものがよい。ただし、尿素や尿素化合物のような難分解性有機物の分解能力までは必要ない。
脱イオン装置３３は、紫外線酸化装置３２によって処理された第２試験水ｗ３２に対して、脱イオン処理を行う。脱イオン装置３３は、紫外線酸化処理によって生成した再生水ｗ２中の分解物を、再生水ｗ２から除去できるものがよい。脱イオン装置３３は例えば、電気脱イオン装置（電気再生式イオン交換装置，Continuous Deionization:ＣＤI）、逆浸透膜、イオン交換装置であってもよい。また、イオン交換樹脂を容器（カラム）に充填したイオン交換樹脂カラムでもよい。
更に、第２全炭素量測定装置３４は、脱イオン装置３３によって処理された第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2を測定するものである。すなわち、第２全炭素量測定装置３４は、紫外線酸化処置及び脱イオン処理された再生水ｗ２の全有機性炭素量TOC2を測定するものである。また、第２全炭素量測定装置３４は、測定した全有機性炭素量TOC2を制御部３５に出力してもよい。
制御部３５は、全有機性炭素量TOC1及びTOC2が入力され、全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、全有機性炭素量TOC2と第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、再生水ｗ２中の難分解性物質の濃度を監視する。そして、その監視結果を供給手段５に出力する。制御部３５の動作の詳細は後述する。なお、第２閾値Th2は、第１閾値Th1よりも小さな閾値である。
制御部３５として具体的には例えば、全有機性炭素量TOC1及びTOC2を受け入れるデータ入力部と、中央演算装置と、メモリ装置と、監視結果を供給手段５に出力するデータ出力部と、表示部とを備えたコンピュータを用いることができる。メモリ装置には、制御部３５を動作させるためのコンピュータプログラムが保持され、このコンピュータプログラムが中央演算装置によって実行されるようにしてもよい。また、第１全炭素量測定装置３１、第２全炭素量測定装置３４及び供給手段５と制御部３５とは、有線回線で接続されていてもよく、無線回線で接続されていてもよい。
供給手段５は、制御部３５による再生水ｗ２の監視結果が入力され、その結果に応じて、再生水ｗ２を、純水製造装置４、別のユースポイント６２または水処理システム１の外部のいずれかに送るものである。供給手段５の動作の詳細は後述する。
また、水処理システム１には、供給手段５とは別の供給手段５１を備えても良い。供給手段５１は、純水製造装置４への再生水ｗ２の供給量が不足する際、その不足分を補うために、再生水ｗ２とは異なる別の原水ｗ５を純水製造装置４へ供給するための手段である。別の原水ｗ５としては、例えば、上水、工業用水、河川水、湖沼水あるいは井戸水などを凝集加圧浮上及び／又は濾過処理などされたものが挙げられる。
純水製造装置４は、再生水製造装置２によって浄化された再生水ｗ２から純水ｗ４を製造する。図１に示す純水製造装置４は、原水槽４１と、一次純水製造装置４２と、二次純水製造装置４３とを備えている。一次純水製造装置４２は、再生水ｗ２から純水ｗ４を製造する。また、二次純水製造装置４３は、一次純水製造装置４２によって製造された純水ｗ４を更に高純度の純水ｗ４（超純水）とする。なお、純水製造装置４は図１に示す構成に限るものではなく、二次純水製造装置４３が省略されたものでもよい。また、一次純水製造装置４２は、逆浸透膜及び脱イオン装置を備えたものであってもよく、更に脱ガス装置を備えたものであってもよい。更に、二次純水製造装置４３は、例えば、脱イオン装置及びUF膜装置を備えたものであってもよく、更に紫外線酸化装置を備えたものであってもよく、更には脱ガス装置や触媒樹脂装置を備えたものであってもよい。
（水処理方法、監視対象水中の難分解性物質の監視方法）
次に、図１に示す水処理システム１を利用した、水処理方法及び監視対象水中の難分解性物質の監視方法について、説明する。
本実施形態の水処理方法は、再生工程と、監視工程と、純水製造工程とを備える。再生工程は、図１に示す再生水製造装置２により、ユースポイント６１において使用された排水ｗ１を浄化して再生水ｗ２にする。また、監視工程においては、再生水製造装置２よって浄化された再生水ｗ２を監視対象水ｗ３とし、図１に示す監視装置３によって監視対象水ｗ３中の難分解性物質の監視を行う。更に、純水製造工程では、図１に示す純水製造装置４により、再生水ｗ２から純水ｗ４を製造する。以下、各工程について説明する。
次に、図１に示す水処理システム１を利用した、水処理方法及び監視対象水中の難分解性物質の監視方法について、説明する。
本実施形態の水処理方法は、再生工程と、監視工程と、純水製造工程とを備える。再生工程は、図１に示す再生水製造装置２により、ユースポイント６１において使用された排水ｗ１を浄化して再生水ｗ２にする。また、監視工程においては、再生水製造装置２よって浄化された再生水ｗ２を監視対象水ｗ３とし、図１に示す監視装置３によって監視対象水ｗ３中の難分解性物質の監視を行う。更に、純水製造工程では、図１に示す純水製造装置４により、再生水ｗ２から純水ｗ４を製造する。以下、各工程について説明する。
再生工程は、ユースポイント６１において使用され、供給路L１を介して再生水製造装置２に導入された排水ｗ１に対して、浄化処理を行う。再生工程は、例えば、逆浸透膜によって比較的分子量が大きい有機物を排水ｗ１から除去し、次いで、逆浸透膜を通過した有機物を紫外線酸化装置によって低分離量の分解物まで分解し、更に、紫外線酸化装置によって分解された分解物を、脱イオン装置によって除去する。ただし、再生工程によっても、尿素や尿素化合物のような難分解性物質は除去できない可能性がある。
再生工程によって得られた再生水ｗ２は、その一部が供給路Ｌ２によって監視装置３に送られる。また、再生水ｗ２の残部は、供給路Ｌ３によって供給手段５に送られる。再生水ｗ２の監視装置３と供給手段５の分配比率は特に制限はない。
次に、監視工程について説明する。監視工程では、再生水製造装置２から供給路Ｌ２を介して送られた再生水ｗ２を監視対象水ｗ３とし、図１に示す監視装置３によって監視対象水ｗ３中の難分解性物質の濃度を監視する。
監視装置３では、供給路Ｌ２を介して供給された再生水ｗ２を、更に２分して第１試験水ｗ３１と第２試験水ｗ３２とする。第１試験水ｗ３１は、そのまま、第１全炭素量測定装置３１に送られて、全有機性炭素量TOC1が測定される。一方、第２試験水ｗ３２は、紫外線酸化装置３２及び脱イオン装置３３を通過した後に第２全炭素量測定装置３４に送られて、全有機性炭素量TOC2が測定される。
監視装置３では、供給路Ｌ２を介して供給された再生水ｗ２を、更に２分して第１試験水ｗ３１と第２試験水ｗ３２とする。第１試験水ｗ３１は、そのまま、第１全炭素量測定装置３１に送られて、全有機性炭素量TOC1が測定される。一方、第２試験水ｗ３２は、紫外線酸化装置３２及び脱イオン装置３３を通過した後に第２全炭素量測定装置３４に送られて、全有機性炭素量TOC2が測定される。
第２試験水ｗ３２が紫外線酸化装置３２及び脱イオン装置３３を通過することにより、第２試験水ｗ３２中に残留する有機物のうち、比較的分解されやすい有機物が、紫外線酸化装置３２によって分解されて低分子量の分解物とされ、更に、この分解物が脱イオン装置３３によって除去される。このように、第２全炭素量測定装置３４に送られる第２試験水ｗ３２は、再生水ｗ２に対して更に紫外線酸化処理と脱イオン処理が施されたものとなるから、同じ再生水ｗ２から二分された第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1に比べて、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2は低くなる。
図１に示す水処理システム１の監視装置３では、第１全炭素量測定装置３１及び第２全炭素量測定装置３４によって測定した全有機性炭素量TOC1及びTOC2を制御部３５に出力する。そして、制御部３５において、全有機性炭素量TOC1及びTOC2に基づき、難分解性物質の濃度の監視を行う。以下、制御部３５の動作を説明する。
制御部３５では、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2と第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、難分解性物質の濃度を監視する。
第１閾値Th1は、全有機性炭素量TOC1が所定の基準を満たすかどうかを判定する閾値である。第１閾値Th1は、例えば、５〜１０００ｐｐｂの範囲内のいずれかの値である。また、第２閾値Th2は、全有機性炭素量TOC2が所定の基準を満たすかどうかを判定する閾値である。第２閾値Th2は１〜１００ｐｐｂの範囲内のいずれかの値であり、かつ、第１閾値Th2未満の値である。
第１閾値Th1及び第２閾値Th2は、純水製造装置４の処理能力、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質、ユースポイント６２における再生水ｗ２の要求品質等を参考にして適宜設定すればよい。例えば、純水製造装置４に供給する原水の水質基準の一つとして、全有機性炭素量の上限値が決められている場合は、その原水の全有機性炭素量の上限値を第１閾値Th1としてもよい。また、ユースポイント６１において、純水ｗ４の水質基準の一つとして、尿素や尿素化合物のような難分解性物質濃度の上限値が決められている場合は、その純水ｗ４の難分解性物質濃度の上限値及び純水製造装置４の処理能力を参考にして、第２閾値Th2を設定してもよい。
制御部３５では、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係と、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2と第２閾値Th2との大小関係とに基づき、供給手段５に対して以下に説明するような動作を行わせる。表１には、TOC1とTh1との大小関係、TOC2とTh2との大小関係、及び、供給手段５における動作との相互関係を示す。
パターン１（Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の場合）
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合、例えば、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1が、純水製造装置４の原水の水質基準のうち全有機性炭素量の上限を下回り、かつ、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2が、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満足させる程度に低い場合は、制御部３５は供給手段５に対して再生水ｗ２を純水製造装置４に供給させる指令を発し、供給手段５は再生水ｗ２を純水製造装置４に供給する。
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合、例えば、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1が、純水製造装置４の原水の水質基準のうち全有機性炭素量の上限を下回り、かつ、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2が、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満足させる程度に低い場合は、制御部３５は供給手段５に対して再生水ｗ２を純水製造装置４に供給させる指令を発し、供給手段５は再生水ｗ２を純水製造装置４に供給する。
パターン２（Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の場合）
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合、例えば、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1が、純水製造装置４の原水の水質基準のうち全有機性炭素量の上限を下回るが、その一方で、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2が、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満足させられない場合は、制御部３５は供給手段５に対して再生水ｗ２を別のユースポイント６２に供給させる指令を発し、供給手段５は再生水ｗ２を別のユースポイント６２に供給する。このように判断する理由は、純水製造装置４が難分解性物質を除去できないおそれがあることから、監視工程においてTh1≧TOC1かつTh2＜TOC2を満たすと判定された再生水ｗ２を純水製造装置４に供給して純水ｗ４を製造したとしても、製造された純水ｗ４は、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満たさない可能性があるためである。
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合、例えば、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1が、純水製造装置４の原水の水質基準のうち全有機性炭素量の上限を下回るが、その一方で、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2が、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満足させられない場合は、制御部３５は供給手段５に対して再生水ｗ２を別のユースポイント６２に供給させる指令を発し、供給手段５は再生水ｗ２を別のユースポイント６２に供給する。このように判断する理由は、純水製造装置４が難分解性物質を除去できないおそれがあることから、監視工程においてTh1≧TOC1かつTh2＜TOC2を満たすと判定された再生水ｗ２を純水製造装置４に供給して純水ｗ４を製造したとしても、製造された純水ｗ４は、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満たさない可能性があるためである。
パターン３（Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2の場合）
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合、例えば、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1が、純水製造装置４の原水の水質基準のうち全有機性炭素量の上限を上回る場合は、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2が、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満足させる程度に低い場合であっても、制御部３５は供給手段５に対して再生水ｗ２を水処理システムの外部に排出させる指令を発し、供給手段５は再生水ｗ２を水処理システムの外部に排出させる。このように判断する理由は、監視工程においてTh1＜TOC1を満たすと判定された再生水ｗ２、例えTh2≧TOC2であったとしても、再生水ｗ2としてのそもそもの有機物濃度が高いために、別のユースポイント６２に供給したとしても何らかの問題を起こすおそれがあるためである。
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合、例えば、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1が、純水製造装置４の原水の水質基準のうち全有機性炭素量の上限を上回る場合は、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2が、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満足させる程度に低い場合であっても、制御部３５は供給手段５に対して再生水ｗ２を水処理システムの外部に排出させる指令を発し、供給手段５は再生水ｗ２を水処理システムの外部に排出させる。このように判断する理由は、監視工程においてTh1＜TOC1を満たすと判定された再生水ｗ２、例えTh2≧TOC2であったとしても、再生水ｗ2としてのそもそもの有機物濃度が高いために、別のユースポイント６２に供給したとしても何らかの問題を起こすおそれがあるためである。
パターン４（Th1＜TOC1かつTh2＜TOC2の場合）
Th1＜TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合、例えば、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1が、純水製造装置４の原水の水質基準のうち全有機性炭素量の上限を上回り、かつ、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2が、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満足させられない場合は、制御部３５は供給手段５に対して再生水ｗ２を水処理システムの外部に排出させる指令を発し、供給手段５は再生水ｗ２を水処理システムの外部に排出させる。このように判断する理由は、監視工程においてTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2を満たすと判定された再生水ｗ２は、別のユースポイント６２に供給したとしても何らかの問題を起こすおそれがあるためである。
Th1＜TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合、例えば、第１試験水ｗ３１の全有機性炭素量TOC1が、純水製造装置４の原水の水質基準のうち全有機性炭素量の上限を上回り、かつ、第２試験水ｗ３２の全有機性炭素量TOC2が、ユースポイント６１における純水ｗ４の要求品質を満足させられない場合は、制御部３５は供給手段５に対して再生水ｗ２を水処理システムの外部に排出させる指令を発し、供給手段５は再生水ｗ２を水処理システムの外部に排出させる。このように判断する理由は、監視工程においてTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2を満たすと判定された再生水ｗ２は、別のユースポイント６２に供給したとしても何らかの問題を起こすおそれがあるためである。
次に、純水製造工程について説明する。上記パターン１のように、供給手段５から供給路Ｌ４を介して再生水ｗ２が純水製造装置４に供給された場合は、純水製造装置４の原水槽４１が再生水ｗ２を受入れ、再生水ｗ２を一次純水製造装置４２及び二次純水製造装置４３によって処理することで、純水ｗ４を製造する。製造された純水ｗ４はユースポイント６１に送られ、ユースポイント６１において利用される。
また、上記パターン２のように、供給手段５から供給路Ｌ５を介して再生水ｗ２が別のユースポイント６２に供給された場合は、再生水ｗ２はユースポイント６２において利用される。
更に、上記パターン３及び４のように、供給手段５から供給路Ｌ６を介して再生水ｗ２が水処理システム１の外部に排出される場合もある。
更に、上記パターン３及び４のように、供給手段５から供給路Ｌ６を介して再生水ｗ２が水処理システム１の外部に排出される場合もある。
なお、上記の実施形態では、制御部３５において全有機性炭素量TOC1、TOC2、第１閾値Th1及び第２閾値Th2の大小関係を判定し、その判定結果に基づき、制御部３５が供給手段５に対して再生水ｗ２の供給先を指令する態様について説明したが、本発明はこれに限らず、全有機性炭素量TOC1、TOC2、第１閾値Th1及び第２閾値Th2の大小関係の判定をオペレータが行い、その判定結果に基づき、オペレータが供給手段５に対して再生水ｗ２の供給先を指示してもよい。また、全有機性炭素量TOC1、TOC2、第１閾値Th1及び第２閾値Th2の大小関係の判定を制御部３５が行い、その判定結果に基づき、オペレータが供給手段５に対して再生水ｗ２の供給先を指示してもよい。
以上説明したように、本実施形態の監視装置３は、第１全炭素量測定装置３１と、第２全炭素量測定装置３４とが備えられており、第１全炭素量測定装置３１によって、監視対象水ｗ３に含まれる有機物の全有機性炭素量TOC1が測定され、また、第２全炭素量測定装置３４によって、紫外線酸化装置３２及び脱イオン装置３３により除去されなかった有機物の全有機性炭素量TOC2が測定される。これら全有機性炭素量TOC1及びTOC2を把握することで、監視対象水ｗ３の難分解性有機物の濃度の変動を監視でき、また、監視対象水ｗ３の水質も監視できる。
また、本実施形態の監視装置３は、全有機性炭素量TOC1及び第１閾値Th1の大小関係と全有機性炭素量TOC2及び第２閾値Th2の大小関係とから、難分解性物質の濃度を監視する制御部３５が更に備えられているので、難分解性有機物の濃度の変動を継続して監視できるとともに、監視対象水ｗ３の水質も継続して監視できる。
次に、本実施形態の水処理システム１は、ユースポイント６１において使用された排水ｗ１を再生水ｗ２にする再生水製造装置２と、再生水ｗ２中の難分解性物質を監視する監視装置３と、再生水ｗ２を原水として受け入れ可能な純水製造装置４とを備え、監視装置３が、全有機性炭素量TOC1及びTOC2を把握することで、再生水ｗ２中の難分解性有機物の濃度の変動を監視でき、また、再生水ｗ２の水質も監視できる。
また、本実施形態の水処理システム１は、供給手段５を備えており、全有機性炭素量TOC1、TOC2、第１閾値Th1及び第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、供給手段５は、再生水ｗ２を純水製造装置４に供給させるので、難分解物質濃度が低く純水製造に適した再生水ｗ２を純水製造装置４に供給でき、難分解性物質濃度が低減された純水ｗ４を製造できる。
また、本実施形態の水処理システム１は、制御部３５と供給手段５とを備えており、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、制御部３５は、供給手段５によって再生水ｗ２を純水製造装置４に供給させるので、難分解物質濃度が低く純水製造に適した再生水ｗ２を純水製造装置４に供給でき、難分解性物質濃度が低減された純水ｗ４を製造できる。
また、本実施形態の水処理システムは、供給手段５を備えており、全有機性炭素量TOC1、TOC2、第１閾値Th1及び第２閾値Th2の大小関係に応じて、供給手段５は再生水ｗ２を純水製造装置４に供給させるか、再生水ｗ２を別のユースポイント６２に供給させるか、あるいは、供給手段５は再生水ｗ２を水処理システム１の外部に排出させる。
また、本実施形態の水処理システムは、制御部３５と供給手段５とを備えている場合には、制御部３５は、全有機性炭素量TOC1、TOC2、第１閾値Th1及び第２閾値Th2の大小関係を判定した上で、供給手段５によって、再生水ｗ２を純水製造装置４に供給させるか、再生水ｗ２を別のユースポイント６２に供給させるか、あるいは、再生水ｗ２を水処理システム１の外部に排出させる。
これにより、再生水ｗ２の水質に応じて、再生水ｗ２の供給先を変更できる。すなわち、比較的高純度の再生水ｗ２は純水製造装置４の原水とし、純水製造装置の原水には適さないが他の用途に利用可能な純度を有する再生水ｗ２は当該用途のユースポイント６２に供給し、別のユースポイント６２の利用にも適さない再生水ｗ２は系外に排出することができ、再生水ｗ２をその水質に応じて適切に利用できる。また、純水製造に適さない再生水ｗ２は別のユースポイントに送るか、または系外に排出するので、純水製造装置４、ユースポイント６１及び再生水製造装置２を循環する水に難分解性物質を蓄積させることがなく、常に高品質な純水ｗ４を製造できる。
また、本実施形態の水処理システムは、制御部３５と供給手段５とを備えている場合には、制御部３５は、全有機性炭素量TOC1、TOC2、第１閾値Th1及び第２閾値Th2の大小関係を判定した上で、供給手段５によって、再生水ｗ２を純水製造装置４に供給させるか、再生水ｗ２を別のユースポイント６２に供給させるか、あるいは、再生水ｗ２を水処理システム１の外部に排出させる。
これにより、再生水ｗ２の水質に応じて、再生水ｗ２の供給先を変更できる。すなわち、比較的高純度の再生水ｗ２は純水製造装置４の原水とし、純水製造装置の原水には適さないが他の用途に利用可能な純度を有する再生水ｗ２は当該用途のユースポイント６２に供給し、別のユースポイント６２の利用にも適さない再生水ｗ２は系外に排出することができ、再生水ｗ２をその水質に応じて適切に利用できる。また、純水製造に適さない再生水ｗ２は別のユースポイントに送るか、または系外に排出するので、純水製造装置４、ユースポイント６１及び再生水製造装置２を循環する水に難分解性物質を蓄積させることがなく、常に高品質な純水ｗ４を製造できる。
次に、本実施形態の監視方法は、全有機性炭素量TOC1及び第１閾値Th1の大小関係と全有機性炭素量TOC2及び第２閾値Th2の大小関係を判定する。これにより、監視対象水ｗ３の難分解性有機物の濃度の変動を継続して監視できるとともに、監視対象水ｗ３の水質も継続して監視できる。
次に、本実施形態の水処理方法は、ユースポイント６１において使用された排水ｗ１を再生水ｗ２にする再生工程と、再生水ｗ２中の難分解性物質を監視する監視工程と、再生水ｗ２から純水ｗ４を製造する純水製造工程とを備え、監視工程は、全有機性炭素量TOC1及び第１閾値Th1の大小関係と全有機性炭素量TOC2及び第２閾値Th2の大小関係とを判定するので、再生水ｗ２中の難分解性有機物の濃度の変動及び再生水ｗ２の水質を継続して監視することができ、難分解性有機物の濃度が低減された純水ｗ４を製造できる。
また、本実施形態の水処理方法は、監視工程において、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、供給手段５によって再生水ｗ２を純水製造装置４に供給するので、難分解物質濃度が低く純水製造に適した再生水ｗ２を純水製造装置４に供給することができ、難分解性物質濃度が低減された純水ｗ４を製造できる。
また、本実施形態の水処理方法は、監視工程において、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に供給手段５によって再生水ｗ２を純水製造装置４に供給し、また、Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段５によって再生水ｗ２を別のユースポイント６２に供給し、更に、Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2を満たす場合に供給手段５によって再生水ｗ２を水処理システム１の外部に排出する。これにより、再生水ｗ２の水質に応じて、再生水ｗ２の供給先を変更できる。すなわち、比較的高純度の再生水ｗ２は純水製造装置４の原水とし、純水製造装置４の原水には適さないが他の用途に利用可能な純度を有する再生水ｗ２は当該用途のユースポイント６２に供給し、別のユースポイント６２の利用にも適さない再生水ｗ２は系外に排出することができ、再生水ｗ２をその水質に応じて適切に利用できる。また、純水製造に適さない再生水ｗ２は別のユースポイントに送るか、または系外に排出するので、純水製造装置４、ユースポイント６１及び再生水製造装置２を循環する水に難分解性物質を蓄積させることがなく、常に高品質な純水ｗ４を製造できる。
１…水処理システム、２…再生水製造装置、３…監視装置、４…純水製造装置、５…供給手段、３１…第１全炭素量測定装置、３２…紫外線酸化装置、３３…脱イオン装置、３４…第２全炭素量測定装置、３５…制御部、４１…原水槽、４２…一次純水製造装置、４３…二次純水製造装置、５１…別の原水の供給手段、６１…ユースポイント、６２…別のユースポイント、Ｌ１〜Ｌ６…供給路、TOC1、TOC2…全有機性炭素量、Th1…第１閾値、Th2…第２閾値、ｗ１…排水、ｗ２…再生水、ｗ３…監視対象水、ｗ３１…第１試験水、ｗ３２…第２試験水、ｗ４…純水、ｗ５…別の原水。
Claims (10)
- ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて前記再生水を前記純水製造装置に供給する供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、を備え、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする監視装置。 - ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて前記再生水を前記純水製造装置に供給する供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、前記第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな前記第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする監視装置。 - ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて、前記再生水を前記純水製造装置若しくは別のユースポイントに供給するか、または前記再生水を外部に排出させる供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、を備え、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする監視装置。 - ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置されて、前記再生水を前記純水製造装置若しくは別のユースポイントに供給するか、または前記再生水を外部に排出させる供給手段と、を少なくとも備えた水処理システム用の監視装置であって、
前記再生水の一部である監視対象水に含まれる難分解性物質の濃度を監視する監視装置であり、
前記監視対象水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記監視対象水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、前記第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな前記第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段に、前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする監視装置。 - ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、を少なくとも備え、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
を備え、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に前記再生水の供給手段が備えられ、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係が、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段は、前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする水処理システム。 - ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置された前記再生水の供給手段と、を少なくとも備え、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係を判定し、Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記供給手段によって前記再生水を前記純水製造装置に供給させることを特徴とする水処理システム。 - ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、を少なくとも備えた水処理システムであって、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
を備え、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に前記再生水の供給手段が備えられ、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段は、前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段は、前記再生水を別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段は、前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする水処理システム。 - ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生水製造装置と、
前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視装置と、
前記再生水を原水として受け入れ可能な純水製造装置と、
前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に配置された前記再生水の供給手段と、を少なくとも備えた水処理システムであって、
前記監視装置は、
前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定する第１全炭素量測定装置と、
前記再生水から分取された第２試験水が導入される紫外線酸化装置と、
前記紫外線酸化装置によって処理された前記第２試験水が導入される脱イオン装置と、
前記脱イオン装置によって処理された前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定する第２全炭素量測定装置と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記第１全炭素量測定装置によって測定された前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1、前記第２全炭素量測定装置によって測定された前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2、第１閾値Th1及び前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2の大小関係がそれぞれ、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記供給手段によって前記再生水を前記純水製造装置に供給させ、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段によって前記再生水を別のユースポイントに供給させ、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段によって前記再生水を前記水処理システムの外部に排出させることを特徴とする水処理システム。 - 再生水製造装置により、ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生工程と、
監視装置により、前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視工程と、
純水製造装置により、前記再生水から純水を製造する純水製造工程と、を少なくとも備え、
前記監視工程は、
第１全炭素量測定装置により、前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定し、
前記再生水から分取された第２試験水に対して、紫外線酸化装置による酸化分解処理と脱イオン装置による脱イオン処理を順次行ってから、第２全炭素量測定装置により、前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定し、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視し、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2を満たす場合に、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に備えられた前記再生水の供給手段により、前記再生水を前記純水製造装置に供給することを特徴とする水処理方法。 - 再生水製造装置により、ユースポイントにおいて使用された排水を浄化して再生水にする再生工程と、
監視装置により、前記再生水中の難分解性物質の濃度を監視する監視工程と、
純水製造装置により、前記再生水から純水を製造する純水製造工程と、を少なくとも備え、
前記監視工程は、
第１全炭素量測定装置により、前記再生水から分取された第１試験水の全有機性炭素量TOC1を測定し、
前記再生水から分取された第２試験水に対して、紫外線酸化装置による酸化分解処理と脱イオン装置による脱イオン処理を順次行ってから、第２全炭素量測定装置により、前記第２試験水の全有機性炭素量TOC2を測定し、
前記第１試験水の前記全有機性炭素量TOC1と第１閾値Th1との大小関係を判定するとともに、前記第２試験水の前記全有機性炭素量TOC2と前記第１閾値Th1よりも小さな第２閾値Th2との大小関係を判定することにより、前記難分解性物質の濃度を監視し、
Th1≧TOC1かつTh2≧TOC2の関係にある場合に、前記再生水製造装置と前記純水製造装置との間に備えられた前記再生水の供給手段により、前記再生水を前記純水製造装置に供給し、
Th1≧TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段により、前記再生水を別のユースポイントに供給し、
Th1＜TOC1かつTh2≧TOC2またはTh1＜TOC1かつTh2＜TOC2の関係にある場合に、前記供給手段により、前記再生水を水処理システムの外部に排出することを特徴とする水処理方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019061708A JP6806179B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 監視装置、水処理システム及び水処理方法 |
| PCT/JP2020/010849 WO2020195902A1 (ja) | 2019-03-27 | 2020-03-12 | 監視装置、水処理システム、監視対象水中の難分解性物質の監視方法及び水処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019061708A JP6806179B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 監視装置、水処理システム及び水処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020159961A JP2020159961A (ja) | 2020-10-01 |
| JP6806179B2 true JP6806179B2 (ja) | 2021-01-06 |
Family
ID=72609306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019061708A Active JP6806179B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 監視装置、水処理システム及び水処理方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6806179B2 (ja) |
| WO (1) | WO2020195902A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023114712A (ja) * | 2022-02-07 | 2023-08-18 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置、および超純水製造装置の運転管理方法 |
| CN114677013B (zh) * | 2022-03-28 | 2022-10-25 | 王大成 | 一种基于物联网的大气碳浓度监控系统 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2696111B2 (ja) * | 1992-04-17 | 1998-01-14 | 株式会社ティ・アンド・シー・テクニカル | 造水プラント |
| JP2002282850A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-02 | Mitsubishi Electric Corp | 超純水製造装置 |
| US8652336B2 (en) * | 2006-06-06 | 2014-02-18 | Siemens Water Technologies Llc | Ultraviolet light activated oxidation process for the reduction of organic carbon in semiconductor process water |
| JP5962135B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-08-03 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
| JP6022194B2 (ja) * | 2012-04-17 | 2016-11-09 | 中国電力株式会社 | Ｔｏｃ低減装置およびｔｏｃ低減方法 |
| JP2016107249A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 超純水製造システム及び超純水製造方法 |
| JP6978353B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2021-12-08 | オルガノ株式会社 | 水処理管理装置及び水質監視方法 |
-
2019
- 2019-03-27 JP JP2019061708A patent/JP6806179B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-12 WO PCT/JP2020/010849 patent/WO2020195902A1/ja active Application Filing
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2020159961A (ja) | 2020-10-01 |
| WO2020195902A1 (ja) | 2020-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6806179B2 (ja) | 監視装置、水処理システム及び水処理方法 | |
| JP5649520B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
| JPH0790219B2 (ja) | 純水製造装置及び製造方法 | |
| JP2016107249A (ja) | 超純水製造システム及び超純水製造方法 | |
| KR20170097036A (ko) | 초순수 제조 장치 및 초순수 제조 방법 | |
| JP2008194560A (ja) | 膜分離装置被処理水の評価方法、水処理方法及び水処理装置 | |
| EP2256090A1 (en) | Process for producing recycled water | |
| JP6907514B2 (ja) | 超純水製造システム及び超純水製造方法 | |
| JP2019209324A (ja) | 排水処理システム及び排水処理方法 | |
| JP3413883B2 (ja) | 純水製造装置 | |
| JP5962135B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
| JP4305905B2 (ja) | 排水処理方法および装置 | |
| JP4854726B2 (ja) | 油洗浄装置及び絶縁油洗浄システム | |
| KR101036880B1 (ko) | 폐수 재이용 장치 및 상기 폐수 재이용 장치에 의해 제조된 재이용수를 이용하는 초순수의 제조방법 | |
| WO2020209036A1 (ja) | 膜脱気装置の洗浄方法及び超純水製造システム | |
| JP2006263553A (ja) | 陰イオン性有機物含有排水の処理方法 | |
| Lo et al. | A pilot plant study using ceramic membrane microfiltration, carbon adsorption and reverse osmosis to treat CMP (chemical mechanical polishing) wastewater | |
| JP2006212540A (ja) | 化学洗浄廃液の処理方法 | |
| CN1278958C (zh) | 回用污水的除氨氮方法 | |
| JP3992996B2 (ja) | 排水処理方法及び装置 | |
| JP3259557B2 (ja) | 有機物の除去方法 | |
| JPH06328070A (ja) | 半導体洗浄排水からの純水回収方法 | |
| JP3654579B2 (ja) | 排水の浄化処理方法 | |
| KR20200009285A (ko) | 역삼투를 이용한 폐수 재이용 방법 및 장치 | |
| JP2004091224A (ja) | フッ素水溶液又はフッ酸水溶液の回収装置、その回収方法、及びその循環利用システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200317 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200616 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200804 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200910 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201104 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201117 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6806179 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |